TW200817646A - Heat pipe and method of manufacturing it - Google Patents

Description

200817646 九、發明說明： 【舍明所屬之技術領域】 特別是關於適合使 本發明係關於熱管及其製造方法 用於薄型，且平板狀之熱管者。 【先前技術】 作為熱管，有曰本特開2002-039693號公報及曰本特 開、20〇4-〇yi20號公報等所介紹者。如此之熱管，係以具 ^ ~媒循％用孔之薄板所構成之隔板等複數重疊，於該重 者之上下重$外壁構件等構成於内部具有冷媒循環空 間之冷卻部本體（玄：5^ °° )’於該冷卻部本體内之冷媒循環空 間封入例如水等冷媒。 在此對~部部本體内之冷媒封入，係例如於埶管之 側面或上面或者下；$ ' 甘、 叹匕’透過該孔對内部注入冷媒，於 其注入後，以填隙等 、 兴I承寻封閉之方法而進行。 於如此之埶答，山 ^ ^ ^ ^ ;以薄板狀的構件構成熱管，故有 媒循環用孔之部分成為、入拔“並且’互相重璺各冷 媒南太财βm 冷媒通過之流路，藉由毛細現象冷 ，、σ ~媒循環用孔之偏移 幾個優點。 Ρ刀移動，而熱傳導性良好等之 如此之熱管，相較於 體具有數倍至數+拉从 屬、外形、容積之金屬 ^ 4it F W ^ 。、熱散效果，可說最適合作為CPU(中 夹處理裝置）或led(發光—杌触、、 置之散熱。 °體）等散熱的重要性高的裝 200817646 專利文獻1 ·日本特開20 02-039 693號公報 專利文獻2 ·日本特開2QQ4 — Q77i2Q號公報

L贫明内容J

[發明所欲解決的課題] 然1^ ’於先w，由冷媒注人孔對冷卻部本體内例如作 為冷媒將水注入德，茲山〜 乍 ( 然後，作為如此之密封構件之 封閉 時，冷卻部本體之材： 有銲錫，但此 之材貝（例如，鋼、銅系材料、或 系材料）與密封構件之备 ^ 之内部空間之冷婵冷卻部本體 產生局部電池作用的可能。 而有 P U，即使充分小心使用例如不含離子(帶電 =之純水，難以避免含有些微的離子。藉此於(二 必然構成局部電池而產生局部電池作用，有因 =!:腐：之虞。因此’於如此之熱管，於先前雖有圖 :某^化，期望能防止因局部電池作用之_ 丽更加長壽化。 口禾罕乂先 ,，作為密封構件使用銲錫時，由於銲錫的溶點低， = 程度之高溫而減低甚至消- 果之可能性，故期望即#扁古、、西+ _ 双 效果。 Μ P使在一亦可繼續確實地發揮密封 然而 曰本特開 ，如上所述，於日本特開2002_039693 2 0 04-077120號公報所介紹之熱管等， 號公報及 隨著圖謀 217〇~Q973-pp 6 200817646 小型化及薄型化’該部分之機械強度變弱，在以密封構件 封閉冷媒注人孔料程，冷卻部本财於該冷媒注入孔部 分破損之虞。 f

卩於冷卻^本體，於對應隔板之冷卻循環用孔之位 置配置冷媒注人孔，則在將密封構件壓人冷媒注人孔封閉 之過程’有以施加於密封構件之力使冷媒注入孔週邊產生 壓潰等之破損之虞，有難以提升生產性之問題。又，在於 使用過程，有於冷媒注人孔的部分產生破損之虞。 本發明係為解決以上問題點而完成者，其目的在於提 供，較在高溫下仍可繼續確實地發揮密封效果，可圖媒 較先前更加長壽化之熱管及其製造方法。χ，以提供可以

提升生產性，以圖謀更加栖槽几 R 又加低仏化、長哥化之熱管為目的。 [用以解決課題的手段] 本發明之熱管’包括··冷卻部本體，其係由在於内部 空間形成冷媒之循環路徑之金屬所構成；冷媒注入孔，其 係形成於上述冷卻部本體，對上述内部空間注入上述： 媒；及密封構件，其係為將上述冷媒封入上述内部*門= 閉上述冷媒注人孔者，其特徵在於：上述密封構件=上 述冷卻部本體同質或類似之可塑性金屬所構成。 本發明之熱管，其特徵在於包括：冷卻部本體， 藉由設於上板及下板間之i或複數中板，於内部空間：成 冷媒的循環路徑；及冷媒注人孔，其係形成於上述冷卻 本體，對該冷卻部本體之内部空間注入上述冷媒 ; 構件封閉者，於上述中板，包括：補強部，其係形 2170-8973-PF 7 200817646 應上述冷媒注入孔之週邊 者，·及冷媒用孔，並係开之'分，具有既定的厚度 本發明之熱管、，'、其^對應上述冷媒注入孔之部分。 由在於内部空間形成冷媒：：括.冷部部本體’其係 ;=其，於上述冷卻部本體，對上： 狀由上二=检封構件封閉者’使上述冷媒成微小粒子 狀由上述冷媒庄入孔對上述内部空間注入。 子 纟月之熱s ’包括：冷卻部本體，其係藉由 板及下板間之！或複數中板，於的循 路徑之金相構成；冷媒、^ 的· 本體，對該冷卻部本體之内^其係形成於上述冷卻部 者封入上述内部空間封閉上述冷媒注入孔 或類似之可塑性金屬所=構件由與上述冷卻部本體.同質 其係形成於對應上述冷媒注丄二中：：包括··補強部， ,、/入孔之週邊區域之部分，呈 =的厚度者；及冷媒用孔’其係形成於對應上述冷媒注 部分，使上述冷媒成微小粒子狀由上述冷媒注入孔 對上述内部空間注入。 本發明之熱管’其中封閉上述冷媒注入孔之上述密封 構件沒有由上述冷卻部本體之表面凸出。 ，發明之熱管’其中於上述冷媒注入孔之内周面形成 八乳溝，其係直到以上述密封構件將上述冷媒注入孔完 王封閉之狀怨’保持外部與上述内部空間連通之狀態，當 上14冷媒注入孔呈完全封閉的狀態’則以上述密封構件封 217 〇~8 973-PF 8 200817646 本發明之熱管，其甲於上述 μ r ^ ^, 盾衣路徑包括冷媒成為基 乳擴政之瘵乳擴散流路，對應上述冷媒注入… 於上述墓氣擴散&敗 _ “ 的邛分配置 义…矾擴政机路，於上述補強部 述蒸氣擴散流路内成為墓氣擴 ^ ^ ♦媒在上 本發明之”製造；Γ:: 成有狹縫。 …吕I坆方法，其特徵在於··包括. 於金屬所構成之冷卻部本體之冷媒注入孔，對形成有；:媒 =環：徑之上述冷卻部本體之内部空間注入上述：： /入將由與上述冷卻部本體同f或類 ⑽，㈣Μ嫩入孔之㈣ 、、/ "下對上述狁封構件加壓以該密封構件將 上述冷媒柱入孔封閉之封閉步驟。 、本务明之熱官製造方法’包括：由形成於冷卻部本體 之冷媒注入孔，對形成有冷媒的循環路徑之上述冷卻部本 體之内4工間庄人上述冷媒之注人步驟；對上述冷媒注入 孔載置密封構件之载置步驟；及藉由於真空下對上述密封 構件加壓以該㈣構件將上述冷餘人孔㈣之封閉步 驟/、特试在於.於上述注入步驟，使上述冷媒成為微小 粒子狀由上述冷媒注入孔注入上述内部空間。 本么月之熱官製造方法，其特徵在於包括：準備藉由 設於上板及下板間之i或複數中板，於内部空間形成冷媒 之循環路徑’於上述中板，形成有對應形成於上述上板或 上述下板之冷媒注入孔之週邊區域之部分形成具有既定 厚度之補強部，並且於對應上述冷媒注入孔之部分形成有 9

2170-8973-PF 200817646 々媒用孔之冷卻部本體之準備步_入孔對 上述冷部部本體之内部空間注入上述冷媒之注入步驟；對 上述冷媒注入孔載置上述密封構件之載置步驟：及藉由於 真空下對上述密封構件加壓以該密封構件封閉 注入孔之密封步驟。 ” 本發明之埶管之衆j # 士, 包括：準備藉由設於上板 卜於：：：或複數中板’於内部空間形成冷媒之循環路 二：上返中板’形成有對應形成於上述上板或上述下板 t 孔之週邊區域之部分形成具有以厚度之補 強部’並且於對應上述冷媒注入孔之部分形成有冷媒用孔 之金屬所構成之冷卻部本體之準備步驟；由媒 孔對上述冷卻邱太鰣A 4 7辦W王入 “P林體之内部空間注入上述冷媒之 上述冷卻部本體同質或類似可塑性金屬所 被封構件’载置於上述冷 直☆下.h h媒注入孔之載置步驟：及藉由於 :主： 1、封構件加壓以該密封構件封閉上述冷媒 :二之密封步驟，其特徵在於：於上述注入步驟，使上、 ^ M 粒子狀由上述冷媒注 空間。 几/王入上述内部 本發明之埶營之制；生^r^ , t 以上述密封構;;===中上述密封步驟，直到 Μ再1干70王封閉上述冷媒注 成於上述冷婵、、主入巩$向田 孔之狀％，經由形 7媒左入孔之内周面之放氣溝 内部空間連通之狀態。 …與上述 由於ϋ明之熱管之製造方法，其中上述密封步驟，係藉 。工下對上述密封構件加壓以該密封構件預密封:

2170-8973-PF 10 200817646 ΐ::二孔後’藉由持續對上述密封構件加壓加熱以該 在封構件完全密封上述冷媒注入孔。 [發明效果] 虞申請專利範圍第1項之熱管及第6項之熱管之製 仏万法，可提供即使在高溫 果，可圖職先Μ加長壽化;^ 發揮密封效 提升請專利範圍第4項之熱管，可提供較先前 、升生產性’可圖謀更加低價，圖謀長壽化之熱管。 【實施方式】 本發明係於具有冷独：q λ U > A M某/主入孔之冷卻部本體之内部空 構[將與冷卻部本體同質或類似的可塑性金屬 斤封構件載置於冷媒注入孔上’藉由於真空下加 壓以该岔封構件密封冷媒注入孔。再 得到確實的密封效果，藉纟邊 ^ ^封構件 拉― 褙田遠作S加壓加熱使密封構件壓 接’猎此完全地密封冷卻注入孔而製造熱管。 藉此於熱管，冷卻部本體係以金屬構成’且密封構件 以與冷卻部本體同質或類似的可塑性金屬所構成，即使卜 卻部本體及密封構件接觸冷媒或暴露，並無會產生由該^ 部林體與密封構件之局部電池作用，可防止因該局部電 池作用之腐蝕，可圖謀較先前更加長壽化。 又’作為冷卻部本體及密封構件之㈣，使用例如， -、銀、銅、銅系材料、銘或銘系的金屬時，由於 兩’相對於銲錫即使在2〇〇〜3〇代程度之高温仍可維持密 2170-8973-PF 11 200817646 封效果，且即使在高溫仍可確實地繼續發揮密封效果。 :者’在於後述之實施例’作為熱管，使用藉由平板 人、板及下板之間夾人丨或複數平板狀之_板而形成之 ΓΡ部本體。於料卻部本體，藉由1或複數〇板於内 :形成有循環路徑，其包含：使蒸氣向該 之^ 邊部側擴散之流路（以下，將此稱為蒸氣擴散流路）；= 板間以上下方向所視時’藉由毛細現象冷媒向該 产路乂二斜方向流動之流路(以下，將此稱為毛細管 版路）〇附帶地，於卜；十nr ^ 、板之下内面形成有以格子狀等而成 (Γ 下Γ/並且經由該等形成於上板之下内面之凹部 此稱為上板内面溝部），及形成於下板之上内面 及毛細管流路將此㈣下板内面溝部）連通蒸氣擴散流路 各區it者、在錯由上板内面構部及下板内面溝部所區隔之 -或"刀別形成有前端部為平面狀之凸起 =柱的前端為平面狀可與中板密著。在此於以下的實由 =二、上板内面構部及下板内面溝部係以格子狀形成，惟 …以形成為其他的例如網眼等形狀圖案 :主，將對應其使其横剖面形成為正方形、圓形、擴圓形 多角形、星形。 彻圓升y n w亥熱官，由於藉由將蒸氣擴散流路例如包含 八：部向周邊部形成為放射狀，可將冷卻部本體 :…面地利用而可有效地將被冷卻 熱’可使熱傳導效率高，可說最適合作為熱管：

2170-8973-PF 12 200817646 耽擴散流路的形狀’可為 部向周邊部隨著寬；Λ 亦可由中央 狀。 者見度尺寸變寬或變窄，亦可為其他各種形 :::複數時’可使重疊之蒸氣擴散流路 :，：：吏蒸氣擴散流路用孔向寬方向偏移。中板…片 ’擴散流路用孔本身成為蒸氣擴散流路。 疊之貫、®!板為稷數時’藉由重疊該等複數令板，藉由重 二二’形成連通蒸氣擴散流路之毛細管流路 或將所有的中板以相二 不同圖案形成情形， 板乂相同圖案形成之情形。又 時，貫通孔本身將成毛細管流路。 中板為1片 全-：：=!各中板的各貫通孔的位置、形狀、大小完 相同❹ 之貫通孔者相互構成與其相同位置、 板之二相同大小的毛細管流路地將中板設於上板及下 =:態樣。在於此時之貫通孔，毛細管流路之= 口為例如矩形（例如正方 長方形）’亦可於角有彎曲 其、4 為㈣，於其—部分或全部的面之面（毛細 面)可為波狀、敵狀等，使表面積變寬亦可。 、、：“L路的内周面的表面積越寬冷卻效果越強。 :圓毛嗔路的形狀，可為六角形、可為圓形、亦可為 方向::之:上:方及:板以上下方向所視時，由與該上下 成，則將複數中板：：：：官流路之剖面積’更小地形 一貝通孔完全吻合之位置適宜偏

2170-8973-PF 13 200817646 私，僅使一重疊，則可使毛細管流路 較於，各貫通孔之平行方向之剖面積:的剖面積，相 具體而言，例如中板為2片之情形，兮 貫通孔之大小、形狀、位置間距相同，使中板之 定方向(例如’橫方向(貫通孔為四邊狀時之§=:既 偏移其配置間距之2分之卜貝]可使毛一邊的方幻 剖面積，縮小為各中板之貫通孔之剖面= 再去，9 μ上 領心約2分之1 〇 r

片中板之貫通孔之配置位置向與上述—方向交又 向=向(例士口，縱方向（與貫通孔之一邊方向正交之他邊方 板之各V:可使毛細管流路之實質的剖面積，縮小為中 二：通孔之剖面積之約4…。再者，在於各中板 :二通孔配置時，冷媒不僅於上下方向，形成為由該上 口向向傾斜方向流動之毛細管流路。 冷卻部本體，或構成該冷卻部本體之上板、下板 二及封閉冷媒注入孔之密封構件之材質，由熱傳導性、 =強度等之面’以銅’或者銅合金等銅系金屬最佳，惟 此’亦可為例如，具有材料費便宜等優點之銘 S、呂口金等’含鋁之鋁系金屬，亦可使用鐵、鐵合金 錄鋼等鐵系金屬、金、銀。 、再者，將冷卻部本體以銅或銅合金等形成銅系金 成時’冷卻部本體之外> " y 體卜表面，包含銅或以銅系金屬之密封 構件之表面，通常有鍍鎳。 然後，冷媒，可說以潛埶 ★ …、大的水（純水、条顧水等）最 Y土’惟並非限定於水，例如 j戈Μ乙醇、甲醇、丙酮等亦佳。

2170-8973-PF 14 200817646 冷媒注入孔’只要以放置之密封構件封閉之開 及形成於其内周面之排氣溝構成，在以密封構件進㈣鬥 作業時，透過該排氣溝進行冷卻部本體内之排氣。、才 即，於該熱管，以密封構件密封冷媒注入2時，口姑 由排氣溝進行真空脫氣，即使假設於内可、二 卻部本體之有害成分，内部空間之空氣透過:氣:::冷 可與該空氣-起由内部空間確實地去除有害成分。又 由事先將附著於冷卻部本體之内面之雜質去除， 猎 制密封後由該内面之脫氣，可防止因内部腐姓 降: 之熱管。 卞ί丨牛 然後’於該熱管，藉由加熱.加壓由可塑性金屬所 =之密封構'，邊㈣㈣構件塑性變形壓接而成為密封 二因於该熱官’精由密封構件亦可將排氣 封閉，猎此可將冷媒注入孔完全地遮蔽，故冷媒被封^ 部部本體之内部空間’可確實地防止冷媒漏出。 再者，亦可別於以噴嘴將冷媒注入内部空間之 冷卻部本體設例如相同程度大小之空氣排：二 過冷媒注人孔注人冷媒時，㈣ 二乳排出孔脫出，可滑順地進行冷媒的注入。 冷媒的供給可使用通常的喷嘴，亦可使㈣ 二冷媒成為細微的冷媒粒子以霧狀注入冷卻部本體内亦 广可防止大的水滴附著於冷媒注入孔 媒的表面張力將冷媒注入孔以水滴覆蓋之狀態，並且可省 2170-8973-PF 15 200817646 去防止產生該次、篇 時，將噴嘴保牲：Λ，使内部空間減壓之減壓作業。此 異去14冷卻部本體非接觸地進行供給為佳。 婵，、主入孔、主即使未於冷卻部本體設空氣排出孔，亦可由冷 嫖注入孔注入洽拔 屯々 更$惟s又有空氣排出孔由於可使冷媒注入 本體;!=2而佳°再者，在冷媒注入孔之外於冷卻部 孔時’以上述密封構件之㈣，不僅對冷 媒，主入：，亦可對於空氣排出孔進行。 才π也卩為使冷媒成為霧狀供給之喷嘴黑 嘴，或可使冷媒成為小的微粒子狀之微量分注器，^使 用可進—步將冷媒成為超㈣子之奈升等級分注器。 、然而，熱官’隨著被冷卻裝置之小型化、薄型化，而 要求冷卻部本體本身的小型化、薄型化，為因應要求，則 由於強度會變弱，龄交I ⑽、人" 易在將々部部本體之冷媒注入孔以 銅等金屬體封閉之過程，或使用㉟程破損。 對此’本案發明之熱管，在設於冷卻部本體之内部空 間之中板，藉由於對應冷媒注入孔之週邊區域之部分設具 有既疋厚度之補強部，提升在於該冷媒注入孔之週邊區域 之機械強度，可防止在於生產過程或使用過程之破損，並 且可圖謀較先前更加低價化，可圖謀長壽化。 設置複數中板時，藉由對全部的中板設補強部，該補 強。卩層積而岔著，藉由該部強部形成支柱構造，可更加提 升冷媒注入孔之週邊區域之機械強度。再者，亦可僅對一 部分的中板設補強部。 又，於對應冷媒注入孔之週邊區域之部分設補強部 2170-8973-PF 16 200817646 ^對應~媒注入孔之部分，將與該冷媒注入孔連通之冷 媒用孔^/成於補強部為佳。藉此於内部空間經由冷媒注入 孔注入冷媒時，可藉由冷媒用孔及狹缝使冷媒全面地充斥 中板或下板。 再者，對應冷媒注入孔之部分，配置於^板所形成之 中：構造之蒸氣擴散流路上時，亦可沿著冷媒成為蒸氣通 過療氣擴散流路時之方向形成狹缝。藉此，成為擴散於蒸

虱擴散流路之蒸氣之冷媒，不會被補強部阻礙地擴散到週 邊部’可維持散熱效果。再者，狹缝，可形成於中板的所 有的補強部，亦可僅形成於一部分的中板補強部。 實施例 以下將本發明依照圖示實施例詳細說明。 圖1係表示實施例之熱管1之上外面之外觀構造者。 該熱管1，包括以銅或銅合金等熱傳導性高的高㈣㈣ 料之銅系金屬成形之上板2及下板3，於上板2之上外面 2a穿接冷媒注入孔4及空氣排出孔5。此實施例之情形， 冷媒注入？1 4,係設於相對之—對邊角部之中的—邊的邊 角部附近，並且空齑排φ 3 c 、 孔5 ’没於與該一邊的邊角部於 對角線上對之另一邊的邊角部附近。 該等冷媒注入孔4及空氣排出孔5，以該空氣排出孔 5保持内部空間（後述之）與外部連通，由冷媒注入孔4對 内部空間注入由水等構成之冷媒後，使由與上板2及下板 3同質之銅系金屬所構成之密封構件8塑性變形密封。 該熱管1，如表示圖1之熱管1之A-A，部分之剖面 217〇一8973_PF 17 200817646 :造之圖2A’及表示圖1之熱管1之B-B，部分之剖面構 造之圖2B所示，於下板3之下外面之中央部安裝例如 1C(半導體積體電路）或LSI(大型積體電路）、c叩等發熱 體之被冷卻裝置HE。 實際上，該熱管1，係於下板3之上依序層積第2中 板7a第1中板6a、第2中板7b及第^中板⑼後，進 -步：該第1中板6b之上層積上板2,藉由基於未示於圖 之各疋位孔疋位直接接合一體化，形成冷卻部本體1 〇。 附地在此所謂直接結合，係指使欲接合之第1及 第2面α卩狁著之狀態加壓，藉由施加熱處理，藉由作用於 第1及第2面部間的原子間力使原子相互牢固地接合，藉 此無需使用接著劑而可使第丨及第2面部一體化者。 於冷卻部本體10之内部空間l〇a，藉由依序交互層積 第1中板63、61)、及第2中板7。713，形成如圖2八所示: 由於與設有被冷卻装置HE之部分相對之區域及其週邊區 域（以下，將该等合併稱為被冷卻裝置週邊區域）33&向周 邊部12放射狀延伸之蒸氣擴散流路44，及如圖2β所示細 微的毛細管流路42。再者，圖2A係冷卻部本體1〇内區分 為毛細管流路42與蒸氣擴散流路44之區域部分之剖面 圖，圖2B係冷卻部本體10内以毛細管流路42充滿之區 域部分之刹面圖。 於該冷卻部本體1 〇之内部空間丨〇a内，於減壓下封 入既定量以水構成之冷媒W，藉此降低冷媒w之彿點’由 被冷卻裝置HE之些微的熱使冷媒w成為蒸氣而可循環於 2170-8973-PF 18 200817646 蒸氣擴散流路4 4及毛細管流路4 2。 其次，顯示在於本實施例之上板2、第1中板6a、6b、 弟2中板7a、7b及下板3之各洋細構造，首先簡單說明 關於蒸氣擴散流路44及毛細管流路42如下。圖3A係表 示上板2之上外面2a之構造，圖3B係表示上板2之下内 面2b之構造者。又，圖4A係表示下板3之下外面3&之 構造、圖4B係表示下板3之上内面扑之構造者。圖5係 表示夾入上板2及下板3之第！中板6a、6b之構造，圖6 係與第1中板6a、6b同樣地，表示夹入上板2及下板3 之第2中板7a、7b之構造者。 上板2,係如圖3B所示，具有由厚度為例如5〇〇“ 程度之大致正方形狀所構成之本體部21。於本體部21之 下内面2b，除了邊框狀的周邊部， 4喊1丄z，形成有凹陷成格子 狀的上板内面溝部23。上板2’係於藉由上板内面溝部23 區隔為格子狀的區域，分別設有前端部為平面狀的凸起柱 24。 下板3，係如圖4B所示，呈古士陪—上 r 丁具有由厚度為例如500 //m 程度之大致正方形狀所構成之本體 +筱口P1l。於本體部11之 上内面3b，除了邊框狀的周邊部 U 形成有凹陷成格子 狀的上板内面溝部14。下板3，係於 一、 於猎由上板内面溝部14 區隔為格子狀的區域，分別設有前 另⑴褊部為平面狀的凸起柱 1 5 〇 士圖5所不之第1中板6a、讣之本體部3卜 如圖6所示之第2中板之本體部32,係由與上板 2170-8973-PF 19 200817646 2及下板3相同銅系金屬所構成，厚度為例如7〇〜2〇〇^m 釭度，形成為與下板3之本體部11相同的大致正方形狀。 在此關於第1中板6a、6b，由於係為相同尺寸及相 同形狀’以下，僅著眼於第丄中板6a、6b之中的第丄中 板 '說明。如圖5所示’於第1中板6a之本體部31，形 成有瘵乳擴散流路用孔34，及毛細管形成區域％。毛細 管形成區域36，係被冷卻裝置週邊區域33a，與鄰接之蒸

孔擴政机路用孔34間的區域，由被冷卻裝置週邊區域 以外的區域33b構成。再者，被冷卻裝置週邊區域心， 係將本體部31層積於下板3之本體部u時與設於該下板 3之被冷卻裝置HE相對之區域。蒸氣擴散流路用孔… 係形成為帶狀’由被冷卻裝置週邊區域33 放射狀延伸地穿設。 a四邊角以 於毛細管形成區域36，H i圖案（後述）穿設有形成 毛細管流路42(圖2A及圖2B)之複數貫通孔37。實際上， 於該毛細管形成區域36,具有格子狀的分隔壁38；藉由 該分隔壁38區隔之各區域成為貫通孔37。 貫通孔37,係如圖7所示，由四邊狀構成，作為第玉 圖案，以既定間格規則地配置，並且各四邊分別盥本體呷 32之外周之週邊部12之四邊平行地配置（圖&附帶地， 該實施例之情形，貫通孔37之寬度可選定為例如以― 程度，並且分隔壁38之寬度可選定為例如心出程产。 另-方面，圖6所示第2中板7a、7b，係以與第】 中板6a、6b相同尺寸形成。再者，力 丹考在此，以下，僅著眼 2170-8973-PF 20 200817646 於第2中板7a、7b之中的第2中板7a說明。第2中板以， 如圖6所示，雖與第！中板6a、6b同樣地設有毛細管形 成區域36及蒸氣擴散流路用孔34，惟穿設於毛細管形成 區域36之複數貫通孔4〇，以與上述第i圖案不同的第2 圖案（後述）穿設。於第2中板7a之毛細管形成區域36，

形成格子狀的分隔壁41，藉由該分隔壁41區隔之各區域 成為貫通？L 40。如圖7所示，該貫通孔4〇，係由四邊狀 構成’作為第2圖f，與第i圖案同樣地，以既定的間隔 規則地配置’且各四邊分別與本體部32之週邊部Μ之: 邊平行地配置，且盘箆1由^ . 直立/、弟1中板6a之各貫通孔37僅偏移既 定距離配置。 於該實施例，例如將第1中板6a與第2中板以定 層積時，第i中板6a之貫通孔37’向第2中板〜之貫通 孔4。之一邊的邊的χ方向，偏移邊的2分之卜 該^邊的x方^交之其他的邊的Y方向，偏移邊的Μ :2 ΐΤ?。耩此’於第1中板^之1個貫通孔37,與 苐2中板7a之相鄰之4個| ^ & 4Q # 、 營产路49 Μ π hi得$個毛細 吕級路42。糟此，可於貫通孔37，形成 通孔37、40，且區隔為細杈表 ^ 貝 然…管i，由= 毛細管流路42。 …g丄稭由弟2中板7a、7b_ 6b依序交互層積，如圖8所示，♦ a、 毛細管流路42，並且，蒗氣 ：=37、4〇偏移形成 条乳擴散流路用孔9 成蒸氣擴散流路“。又，該等蒸氣擴散流：4:=疊！ 流路‘2’經由上板内面溝部23及下板内面溝部“連通：

2170-8973-PF 21 200817646 2A及圖2B)。 猎此，於熱管1，如表示成為設置蒸氣擴 及毛細管流路42之處之圖kA—A’之側剖面圖之圖9A 所示，由於在被冷卻裝置週邊區域33a的各毛係管流路42 内直存在著冷媒w ’故各毛細管流路42内之冷膜w將由 被冷卻裝置週邊區域33a之凸起部分傳導之熱迅速且確實 地吸熱開始蒸發’藉由延伸至週邊部12《蒸氣擴散流路 44與上板内面溝部23及下板内面溝部14將

即，冷媒W，係如表示第，中板6&之正面構造之圖 10所示，以設於下板3之被冷卻裝置HE為中心冷媒界沿 著蒸氣擴散流路44與上板内面溝部23及下板内面溝部i4 放射狀均等擴散而擴散製週邊部1 2。 然後，於該熱管1 ’如表示成以毛細管流路42充滿之 處之圖1之B-B’之側剖面構造之圖9B所示，於上板内面 溝部23及下板内面溝部14、週邊部12等放熱凝縮液化之 冷媒W，由上板内面溝部23及下板内面溝部μ進入毛細 管流路42，通過該毛細管流路42等再度回到被冷卻裝置 週邊區域33a。藉此，冷媒w，如表示第i中板6&之正面 構造之圖11所示，可通過放射狀配置之區域33b之毛細 管流路42由被冷卻裝置HE之週邊均等地冷卻該被冷=

置 HE。 I 其次，說明再於本案發明之冷卻部本體1〇之冷媒注 入孔4及空氣排出孔5之週邊區域之構造如下。再者，由 於冷媒注人孔4與空氣排出& 5係以相同構造而成故為^ 2170-8973-PF 22 200817646 便說明，以下僅著眼於冷媒注入孔4說明。 圖12 A係表示形成 、上板2之下内面2b之冷媒注入 孔4之附近區域之一部八％ ^址、在 P刀砰細構造之正面圖，及在於正面 圖C-C’部分之剖面圖。上把 上板2之下内面2b，係如包圍冷 媒注入孔4地於該冷媒吁 ’、入孔4之週邊區域設有形成為圓 形狀之上板補強部5 0 〇兮μ Μ* 邊上板補強部50,較上板内面溝 部23具有厚度，選定 疋馮與玫於上板内面溝部23之凸起柱 24及週邊部12之厚度相同厚度。 於該實施例之情形，；人據 γ媒庄入孔4，於中心之圓柱狀

的開口部4a之直徑例如為R 马500〜10m程度之細微孔， 於内周面幵> 成排氣溝4b，再者，於兮莖 丹有於该專開口部4a及排氣 溝4b上可安定地放置密封構件8地形成凹部4c。 於該實施例之情形，姐与、致dy 閒小排虱溝4b,係如表示冷媒注入孔 4之正面構造之圖1 5 A所千，rtt > 0日 ^ Λ所不，由較開口部4a之直徑小之直 徑之半圓狀構成，於開口部4 的内周面，具有以等間隔 配置4個之構造。 圖⑽及圖⑽係表示形成於p中板之中 板補強部52之附近區域之-部分詳細構造之正面圖。該 第1中板6a之中板補強部52，#以屑报灿漁L 1 你以原形狀與上板補強部 5 0以相同形狀而成，形成於盘 /取％興β亥上板補強部5 〇相對之位 置。於該實施例之情形’中板補強部52,由於形成於落氣 ㈣流路用孔34，-體成形於分隔壁38，將該蒸氣擴散 -路用孔34之邊角部分區隔。又，該中板補強部”，選 定為與分隔壁38及週邊部12之厚度相同之厚度，於盥上 2170-8973-pp 23 200817646 板2之冷媒注入孔4之開口部4a#對之位置穿設冷媒用 孔53 ° 圖12C及圖12E係表示形成於第2中板7&、7b之具 有狹縫之補強部55之附近區域之一部分祥地構成之正面 圖。該第2中板7a、7b之具有狹縫之補強部55係與分隔 壁41 -體成形’形成有連通蒸氣擴散流路用孔％之狹縫 56以外與第1中板6a，之中板補強部52具有相同的構 造。冷媒用孔57,係穿設於與上板2之冷媒注入孔4之開 口部4a相對之位置，具有連通狹縫％之構造。 實際上，具有狹縫之補強部55’係沿著蒸氣在於蒸氣 擴散流路用孔34之擴散之擴散方向（此時，由第2中板 7a、7b之中心點向邊角部之方向)1}形成狹縫％，與蒸氣 擴散流路用孔34連通可使蒸氣擴散至邊角。再者，該狹 缝56,例如形成為直線狀，&寬度選定$ 〇3咖程度二 圖12F係表示形成於下板3之上内面此之下板補強 部60之附近區域之一部分詳細構造之正面圖。於下板3 之上内面3b ’係於與中板補強部52及具有狹縫之補強部 55相對之區域’設有形成為圓形狀之下板補強部6〇。於 該下板補強部6G，較下板内面溝部14具有厚度，選定為 與設於下板内面溝部14間之凸起柱15及週邊部12之厚 度相同的厚度。於該下板補強部6〇,形成有連通下板内： 溝部14之狹縫對向溝61及中央凹部62。狹縫對向溝η， 係例4見度為300 // m程度，與狹縫56相對地直線狀形成 於下板補強部60。中央凹部62，係於與上板2之冷媒注 2170-8973-PF 24 200817646 入孔4之開口部4“目對之部分圓形狀形成。 在此圖13係表示於下板3之上依序層㈣$ 7a、第1中板6a、第2中板7b及第1中板6b後，進一步 於第1中板6b上層積上板2時之上板補強部5 〇、中板補 強部52、具有狹缝之補強部55及下板補強部6〇之詳細 造之剖面圖。 於上板2之冷媒注入孔4之週邊區域下方，藉由上板 補強部50、中板補強部52、具有狹縫之補強部^及下板 ( 補強部60密著形成支柱構造而可提升機械強度。 又，由喷嘴70對冷媒注入孔4，"商"商地高速(例 如每秒1 000滴）連續滴下之冷媒粒子W1，通過上板2之開 口部4a、第1中板6b之冷媒用孔53及第2中板7b之冷 媒用孔57等，到達下板3之狭缝對向溝61及中央凹部 62，並且經由各狹缝56到達冷卻部本體丨〇之内部空間 l〇a(圖2A)全域地構成。 其次，說明關於熱管1之製造方法如下。圖14A~圖 ( 14E、圖16A及圖16B’係表示關於熱管1之製造方法之一 例者’如圖14A所示，首先於下板3上，依序層積第2中 板7a、第1中板6a、第2中板7b、第i中板6b及上板2。 於第1中板6a、6b及第2中板7a、7b，有上面凸出 之接合用凸起72沿著週邊部12形成為邊框狀。又，於下 板3,有由本體部n之上内面3b凸出之接合用凸起73 >7口著週邊部12形成為邊框狀。 接著’將第2中板7a、第1中板6a、第2中板7b、 2170-8 97 3-PF 25 200817646 第1中板6b及上板2以最佳的位置重疊層積於下板3，將 该等上板2與下板3，第1中板6a、6b及第2中板7a、 7b，以熔點以下的溫度加熱，並且加壓，經由接合用凸起 7 2、7 3直接接合。 如此地上板2、下板3、第1中板6a、6b及第2中板 7a、7b，如圖1 4B所示，藉由直接接合得到一體化之冷卻 部本體10。此時，冷卻部本體1()，成僅經由形成於上板2

之冷媒注入孔4及空氣排出孔5使内部空間i 〇a與外部連 通之狀態。 附帶地’於該等第1中板6a、6b、第2中板7a、几 及下板3,分別於與被冷卻裝置肫相對之中央部分之四邊 外周位置設有凸起74，不僅週邊部12，於被冷卻裝置週 邊區域33a之周圍位置等亦以凸起74直接結合以圖一體 2。於如此之冷卻部本體10 ’於被冷卻裝置週邊區域如 寺亦設支柱構造提升機械性強度，防止產生自備冷卻裝置 HE之熱使冷媒熱膨脹而由大致中央部向外膨服之現象（以 下’將此稱為爆米花現象），破壞冷卻部本體ι〇本身。 中/Γ，於冷卻部本體1〇之内部空間…，藉由使第1 及第2中板7a'7b之各蒸氣擴散流路用孔別 重璺形成瘵氣擴散流路44，曰茲山< 重疊亦形成複數毛細管流路4且2猎:二 “及毛細管流路42所構成传到由蒸氣擴散流路 此時於冷媒注入孔4及:=圖9A及圖· 方，藉由使上板補強部50、^=孔5之週邊區域下 中板補強部52、具有狹縫之

2170-8973-PF 200817646 補強部5 5及下板補強部6 0密著可形成支柱構造。 接著，如依序表示熱管1之製造方法之圖14C，於冷 卻部本體1 〇之内部空間1 Oa，冷媒W1 (例如水）使用噴嘴 70由冷媒注入孔4於大氣壓下注入既定量。此時，空氣排 出孔5 ’成為冷媒供給時之空氣排出口，可使冷媒對内部 空間1 Oa之注入滑順。再者，冷媒例如為水之情形，封入 量以相當於等同貫通孔37、40之總體積為佳，為使熱管丄 之高壽命化，特別是沒有離子污染的超純水為佳。又，此 時，於空氣排出孔5抽真空’則可使冷媒的注入更佳圓滑。 —，次，例如將以球狀體形成之密封構件8預先準備月既 定數量’如依序表示熱管！之製造方法之圖，於冷媒 注入孔4及空氣排出孔5載置密封構件8。在此，冷媒注 入孔4及空氣排出孔5，係如圖 ,_ u 所不，於開口部4a 的内周面形成有複數排氣溝4b 1。之内部空間1〇a與外部連通知狀離、，、准持：卻部本體 體1 0之内部空間i 0a内之排氣。t而可進仃冷部部本 然後，如表示熱管1之製造方 狀態於常溫下透過排氣溝扑進行命之圖UE所示，以該 減壓之真空脫氣。於該步驟，藉如1〇分鐘程度，藉由 空脫氣，内部空間10a内的空^透經由棑氣溝4b進行真 該空氣一起由内部空間1 0a去K、過排氣溝4b排出，與 再者，圖14E中的箭頭係表示聣▲害成分，可減少脫氣。 之後，如依序表示埶管丨排氣）之方向者。 方法之圓〗6A，於常

2170-8973-PF 27 200817646 溫狀態，藉由壓製機75將密封構件8由上加壓數分鐘使 之低溫加壓變形。藉由如此之 ^ .匕之低恤真空加壓處理以密封構 件8將冷媒柱入孔4及空氣排出孔5預密封。此時冷媒柱 入孔4及空氣排出孔5以密封構件8封閉。 在此與冷媒柱入孔4及空氣排出孔5之週邊區域相對 之部分，由於藉由使上板補強部5。、中板補強部52、且 強部55及下板補強部60密著形成支柱構造： 故以壓製機75加麼密封構件“寺，將來自厂堅製機75之外 力以支柱構造承受’不會使内部空間…塵潰地，藉由壓 製機75以必要的外力確實地對密封構件8加麼。 附帶地，以較常溫高的溫度加麼密封構件8時，由於 冷媒的洛氣，例如水蒸氣容易向外m而不佳n 作為進行真空脫氣之溫度以25t程度之常溫為佳。 其次’當低溫真空加壓處理結束，則例如1〇分鐘程 於高温下使真空度為例如。.5Kpa後，

機75將密封構件8由上加 I 屡變形，深深地侵入冷婵柱入…在封構件8兩溫加 密封構件8進-步牢及空氣排出孔5内成以 ^牛固地壓接之封閉狀態。 即，一孩封構件8，主要藉由加壓作塑性變形 ::也(為副)猎由加熱塑性變性，可將包含排氣溝处之々 :柱入及空氣排出孔5封閉。並且，如圖W及請 孔：及：氣：Γ、封構件8,藉由塑性變形成惟冷媒柱人 及…:： 之形狀，實質上麼接於冷媒柱入孔4 及工氣排出孔5成_射γ 时人/、 成在封栓，將冷部部本體10之内部空間

2170-8973-PF 28 200817646 1 0 a禮封。如此地社 空氣排出孔5，㈣：；㈣構件8封閉冷媒柱入孔4及 製機之加壓，社束：二力17溫、停止抽真空及解除以慶 π束该加壓、加熱、抽真空處理。 再者，此時，密封構件8之外 體1〇之外表面成大致回一亚二 之外表面之孚+ °千面上為佳。因為，保持熱管i 戶笙：一 s性’藉此使熱管本身與安裝於其之例如風 性。 良好，而無阻礙地提高之間的熱傳導 之後’冷部部本體10的外表面為防銹等，鍍鎳。在 ^设使用以銲錫所構成之密封構件封閉冷媒柱入孔4 排出孔5時’由於會伴隨難以對銲錫作良好的鑛 :、’故會產生無法在封閉冷媒柱入孔4及空氣排出孔5之 部分進行良好的錢鎳之不適。 對此於本發明，由於使用與冷卻部本體10相同的銅 糸金屬所構成之密封構件8封閉冷媒柱入孔4及空氣排出 ，5 ’故不會發生如此之不適’於封閉冷媒柱入孔4及空 氣排出孔5之部分亦可做良好的鍍鎳。 附帶地，根據如此之熱管丨之製造方法（冷媒封入方 法），於真空下排列複數熱管丨，於各熱管丨之冷媒柱入孔 4及空氣排出孔5載置密封構件8，對於該等複數熱管^ 一起進行排氣’或密封構件8之加壓及加熱’使所有的密 封構件8塑性變形可將冷媒一起密封。並且相較於對每個 冷媒注入孔4個別進行之先前之填隙作業或焊接、接著等 之麻煩的作業之密封方法，可提高熱管丨之量產性，又藉 2170-8973-PF 29 200817646 由提高量產性亦可圖謀熱管1之低價化。 再者，於該熱管1，藉由使内部空間i 〇a為減壓狀態 (冷媒為水時，例如〇.5KPa程度），使冷媒的沸點降低， 例如即使較5(TC以下的常溫稍微高的溫度（例如3〇<t〜35 °C程度）冷媒溶液變蒸氣。藉此將熱管丨形成為，即使以 來自被q部裝i HE之些微的熱仍可使冷媒的循環現象連 續且容易反覆。 、在於以上的構造，於熱管1,使用由銅系金屬所構成 之々部部本體1Q肖同f之可塑性金屬所構成之密封構件 8,封冷媒注入& 4及空氣牌出孔5,即使冷卻部本體 山封構件8接觸或暴露到冷媒，該冷卻部本體1 〇及 密封構件8並不會產生局部電池作用，結果，由於可防止 因:局部電池作用之腐姓，故此部分可圖謀較先前更加長 等化。 Q唧邵本體1〇及密封構件 塑性金眉睹，士认好 ^丨丹丨丁。使用可 ， 。、熔點高，即使在200~30(Tc程产的古 溫仍可繼續確實地發揮密封效果。 又的回 附帶地，作為宓 # @ 牛8使用銲錫時，由於銲錫含有 有害物質之鉛，故以扭 ^ $有 明由於作為密封構件8的从所 寺之成^但本發 ,,^ ^ 的材貝使用銅系金屬，故盔須兮& 的官理所需成本， …、肩4鉛 此°卩分可圖謀降低成本。 又’由於銅系金屬熱 可說冷卻部本體j / μ呵熱擴散性高，故 r ln .. 銅系金屬形成較佳，但將冷卻邻★ 體1 0以銅系金屬形 P邻本 成時，為防銹等通常會在該冷卻部本 2170-8 97 3~pp 30 200817646 " 勺外表面鑛鎳。在此將冷卻部本體l 〇之冷媒注入孔 4以鲜錫封閉時，於鍍鎳的前處理銲錫被侵蝕，於該銲錫 t面形成密著性弱的鍍敷膜，會產生使之後形成之鍍鎳膜 與底層之密著性變弱之問題。 對此，於本案發明之熱管丨，由於將冷卻部本體ι〇 屬形成’又將封閉冷媒注入孔4之密封構件8以 一屬形成’故可對外周全部確實地實施良好的鑛錄。 於該歸卜使球狀體之錢構件8配合冷媒柱 封構侔t空氣排出孔5之形狀作塑形變形成密封拴，故密 夫丁稱仔8不容易由埶管1 有損埶〜 ‘“ 1之上外面凸出，可防止因密封而 有相…& 1之外面之平坦性， 型機器之構裝之自由度。動電話或小

要放：的，例如叫led(發光二極體)等需 要放…的電子零件等，安裝於—邊H 或其他冷卻器(散熱器)時，由於密封構件 面：： :=部本體:°之外表面凸出，故可提升與 二7 等之被者性，可使之間的熱傳導性良好，進 將電子零件等所產生之熱有效地散熱。 再者，於該熱管卜另外於冷媒柱 孔5之開口邱j。‘ *叹工现排出 内周面設置排氣溝4 b。夢此脾^ 封栓之密封構件8 ㈢匕將成為密 置7 7媒柱入孔4及空氣排ψ方r 日宁’即使密封構件8開始溶融而進行些微的密封時 :入孔4及空氣排出孔5並不會被 〜媒

貫地進行由熱…内部空間…排氣封閉，可確 2170-8973-PF 200817646 然後，於該熱管1，藉由於真空下將密封構件加壓， 將令媒主入孔4以該岔封構件g預密封後，進一步對密封 構件8繼續加壓加熱，由可塑性金屬構成之密封構件8塑 形變形，配合排氣溝4b之形狀變形，故排氣溝4b亦可藉 由密封構件8確實地封閉，進而可防止封入内部空間1〇^ 之冷媒W之漏出。 又，於熱官1，在於對應冷媒柱入孔4及空氣排出孔 5之週邊區域之部分，藉由使上板補強部5〇、中板補強部 52、具有狹縫之補強部55及下板補強部6〇密著形成支柱 構造’提升冷媒柱人孔4及空氣排心5之週邊區域之機 械強度’可防止内部空Fb1 10a因由上板2之外力對密封構 二8施加的壓製機75之外力而壓潰等於製造過程之破 損，提升生產性，結果可鹼低生產成本。又，於製造後之 使用過程，可防止内部空間1〇a因由上板2或下板3施加 之各種外力而壓潰，可圖謀熱管丨之長壽化。 特別是於該實施例之情形，為邊圖謀熱管丨之小型化 及薄型化，得到效率良好的散熱效果，於内部空間1〇形 成有蒸氣擴散流路44及毛細管流路42作為循環路徑。然 後，其中蒸氣擴散流路44，為將熱擴散到冷卻部本體i 〇 之週邊部1 2而有效地散熱，配置成由中心部延伸至離最 遠之四邊的邊角部。 另一方面，冷媒柱入孔4及空氣排出孔5，為使冷媒 對熱管1内部全體的供給圓滑而容易進行，將冷媒注入孔 4配置於熱管k—邊的邊角部，將空氣排出孔5配置於

2170-8973-PF 200817646 與該一邊的邊角部於對角線上相對之另一邊的邊角部。進 而由於在成為中空構造之蒸氣擴散流路44上配置冷媒 柱入孔4及空氣排出孔5。因此若與冷媒柱入孔4及空氣 排出孔5相對之區域維持^空構造，則對該等冷媒柱入孔 4及空氣排出孔5上載置密封構件8 壓製機7 5之外力僅以上板2承受， 之虞。 進行壓製，則將來自 故有使該上板2破損 對此，本案發明之熱管丨，藉由於與冷媒柱入孔4及 空虱排出孔5之週邊區域相對之蒸氣擴散流路44内，使 上板補強部50、中板補強部52、具有狹縫之補強部“及 下板補強冑6〇密著形成支柱構造，承受來自該壓製機75 力 了防止上板2或下板3因該外力而破損使内部空 間1 〇a壓潰。 、 於上板補強部5 0、中板補強部5 2、具有狹縫之 補強部55及下板補強部60,在對應上板2之冷媒注入孔 4之°卩分’分別形成有連通該冷媒注入孔4之冷媒用孔 53、57 ’經由冷媒注入孔4對内部空間1 注入冷媒界時， 由5亥等冷媒用孔53 ' 57經由狹缝56等將冷媒到達冷卻部 本體10之全體之每個角落。 再者，此時，具有狹縫之補強部5 5，藉由沿著冷媒啄 擴散蒸氣擴散流路44内之擴散方向D形成狹縫56，透過 该狹縫56可將冷媒W引導至冷卻部本體1〇之邊角部，使 之擴散到内部空間10a之每個角落而可有效地進行散熱。 以上，說明關於本發明之實施例，惟本發明並非受限 2170〜8973-pf 200817646 於實施例者，可有種種變形 體1 〇之可塑性金屬所構成也亦可使用類似冷卻部本 上述同樣二成之密封構件，亦可得到與 又，如圖17所示，例如 給於冷卻部本體，作噴頭8G，將冷媒供 曰 > 乍為冷部部本體1 〇，可使用又 八有空氣排出孔者。於該實 也例名略内部空間1 〇 路徑之形狀、構造之圖示之說明。 10a之心 具體而言，藉由喷墨噴 或 使冷媒（例如純水），成 為例如以直徑50/zm〜300 # m t hi 工^ 之極細微的冷媒粒子（水粒 子）W2，將母秒約1 〇〇〇滴1 心t 商1滴的連續打人。如此則細 被的粒子狀的冷媒粒子W2 、、 ^ Λ 於直線上規則地排列供給 於冷卻部本體10之内部空 、 η旦 ^ a。此日守，即使1滴1滴很 谜里，由於例如以母秒約1 000滴連續高 媒供給效率極高。 、、打入，故冷 如此地，使用噴墨噴嘴8 Π 0 士 ^ 、人# 為⑽日才，可使冷媒為極細微的 Θ媒粒子W2，可1滴1滴高速地打 、、 m吧打入而供給，故可省略上 述以空軋排出孔進行之真空抽 你普』 作業，進而可圖謀省略該 作業之製造成本之降低。又，此 、旦人、 牛低又此時，例如：1〜5mg程度之極 乂里的冷媒的充填量的控制，亦 巾力J猎由對噴墨喷嘴之喷出 數以數位控制之機構，| 1自 气傅J以1滴早位之精確度簡單且高速 地充填。 圖18及圖19係表示以其他實施例之具有狹縫之補強 二 5之平面圖’與上述實施例之具有狹缝之補強部 …狹缝^形狀不同。如圖18所示，具有狹縫之補強 2170-8973-PF 34 200817646 部81，係由以圓形狀構成 、、 人々稣用孔之令心向具有狭 縫之補強部81之外周使狹縫83寬 、 心見度尺寸逐漸變寬地形 成。又’如圖19所示，且右 /、有狹縫之補強部85，係由以圓 形狀構成之冷媒用孔8 6之中心向呈右姑α r向具有狹縫之補強部85之 外周使狹，縫87之寬度尺寸逐漸變窄地形成。以該等具有 狹縫之補強部8卜85’亦可得到與上述實施例之具有狹縫 之補強部55同樣的效果。再者，狹縫56、以、85之寬度， 亦可於每個中板不均勾。 又，於上述實施例，以於圓柱狀的開口部的内周 面設4個半圓狀的排氣冑4a之狀態而成之冷媒柱入孔‘ 及空氣排出孔5之情形敘述，惟本發明並非限定於此，亦 可使用如表示冷媒注入孔或空氣排出孔之正面構造之圖 2〇A，及表示側剖面構造之圖2〇B所示，上端之徑大，越 下面漸漸地變小，於下端徑成最小之逆梯形圓錐狀之冷媒 /主入孔9 0 a及空氣排出孔9 〇 b。如表示以密封構件8密封 的樣子之圖20C所示，在此情形，球狀體之密封構件8亦 可配合冷媒注入孔9〇a及空氣排出孔90b之形狀塑形變形 成平坦狀且確實地將内部空間密封。 又，作為以其他的實施例之冷媒柱入孔及空氣排出 孔，亦可使用如表示冷媒注入孔或空氣排出孔之正面構造 之圖21A，及表示側剖面構造之圖21B所示，具有由大徑 的短圓柱形狀構成之上部92,及由小徑的短圓柱形所構成 之下4 9 3 ’上部9 2及下部9 3經由段部9 4 一體成形之冷 媒注入孔91a及空氣排出孔91b。 2170-8973-PF 35 200817646 在此情形，如表示以密封構件8密封的樣子之圖 21C，密封構件8塑性變形完全埋入下部93時，密封構件 8之殘餘部分收於大徑的上部92，藉此可防止密封構件8 由熱管1之上外面凸出而成平坦狀。再者，於圖2〇a及圖 2 0 B，與圖21A及圖21B所示之任何例，均可得與上述實 施例同樣的效果。 【圖式簡單說明】

圖1係表示本發明之熱管之外觀構造之立體圖。 圖2A係表示於圖！之^A，之熱管之剖面構造之剖面 3 ° 圖2B係表示於圖— 之熱管之剖面構造之剖面 圖3A係表示上板之上外面之正面構造之概略圖。 圖3B係表示上板之下内面之正面構造之概略圖。 圖4A係表示下板之下外面之正面構造之概略圖。 圖4B係表示下板之上内面之正面構造之概略圖。 圖5係表示第1中板之正面構造之概略圖。 圖6係表示第2中板之正面構造之概略圖。 圖7係表7^第1中板之貫通孔與第2中板之貫通孔之 配置之樣子之概略圖。 圖8係表示藉由第1 流路及毛細管流路之構造 圖9A係表 t板與第2中板形成 之概略圖。 示冷媒之循環 現象之樣子（1)之 之蒸氣擴散 詳細側剖面

2170-8973-PF 36 200817646 圖9B係表不冷媒之循環現象之樣子（2)之詳細側剖面 圖。 圖10係表示冷媒由中心部分向周邊部擴散之樣子之 概略圖。 圖11係表示冷媒由周邊部回到中心部分之樣子之概 略圖。 圖12A係表示形成於上板之下内面之冷媒注入孔之附 近區域之一部分詳細構造之正面圖，及在於正面圖d， 部分之剖面圖。 圖12B係表示形成於第j中板之中板補強部附近區域 之一部分詳細構造（1)之正面圖。 圖12C係表示形成於第2中板之具有狹縫之補強部附 近區域之一部分詳細構造（丨）之正面圖。 圖1 2D係表示形成於第i中板之中板補強部附近區域 之一部分詳細構造（2)之正面圖。 圖12E係表示形成於第2中板之具有狹缝之補強部附 近區域之一部分詳細構造（2)之正面圖。 圖12F係表示形成於下板之上内面之下板補強部附近 區域之一部分詳細構造之正面圖。 圖13係表示上板補強部、中板補強部、具有狹縫之 補強部及下板補強部之詳細構造之剖面圖。 圖14 A係表示關於熱管之製造方法之一例（1)之剖面 2170-8973-PF 37 200817646 圖 圖14B係表示關於熱管之製造方法之—例（？） 之剖面 圖14C係表示關於熱管之製造方法 圖 之一例（3)之剖 面 圖 圖14D係表示關於熱管之製造方法之—例⑷之剖 面 圖14E係表示關於熱管之製造方法 圖 之一例（5 )之剖 面 圖15 A係表示冷媒&人夕 7^ /王入孔之正面構造之概略圖。 圖1 5 B係表示於冷媒注 μ鄱 之概略圖 7呆/王入孔上載置密封構件時之樣子 概略圖 圖15C係表示冷媒注入孔以密封構件封閉時之樣子 之 圖。 圖16Α係表示關於熱管之製造方法之—例（6)之剖

圖16Β係表示關於熱管之製造方法之—例之 圖。 Π面 圖17係表示使用喷墨喷嘴將冷媒供給冷卻部本體 之樣子之概略圖。 &、 圖18係表示以其他的實施例之具有狹缝補強部之 造（1)之概略圖。 # 圖19係表示以其他的實施例之具有狹縫補強部 造（2)之概略圖。 # 圖20A係表示以其他的實施例之冷媒注入孔及空氣排 2170-8973-PF 38 200817646 出孔之正面構造（1 )之概略圖。 圖20B係表不以其他的實施例之冷媒注入孔及空氣排 出孔之側剖面構造（1)之剖面圖。 圖20C係表不以其他的實施例之冷媒注入孔及空氣排 出孔以密封構件封閉之樣子〇)之剖面圖。 圖21A係表不以其❿的實施例之冷媒注入孔及空氣排 出孔之正面構造（2)之概略圖。 圖21B係表不以其他的實施例之冷媒注入孔及空氣排 出孔之侧剖面構造（2)之剖面圖。 圖21C係表不以其他的實施例之冷媒注入孔及空氣排 出孔以密封構件封閉之樣子⑵之剖面圖。 【主要元件符號說明】 1〜熱管； 2〜上板； 2a〜上外面； 2b〜下内面； 3〜下板； 3a〜下外面； 3b〜上内面； 4〜冷媒注入孔； 4 a〜開口部； 4b〜排氣溝； 5〜空氣排出孔； 2170-8973-PF 39 200817646 6a、6b〜第1中板； 7a、7b〜第2中板； 8〜密封構件； 1 0〜冷卻部本體； 10a〜内部空間； 11〜本體部； 12〜週邊部； 14〜上板内面溝部； 1 5〜凸起柱； 21〜本體部； 23〜上板内面溝部； 2 4〜凸起柱； 32〜本體部； 33a〜冷卻裝置週邊區域； 3 3 b〜區域， 3 4〜蒸氣擴散流路用孔； 36〜毛細管形成區域； 3 7〜貫通孔； 3 8〜分隔壁； 4 0〜貫通孔； 41〜分隔壁； 4 2〜毛細管流路； 44〜蒸氣擴散流路； 5 0〜上板補強部；

2170-8973-PF 40 200817646 5 2〜中板補強部； 55〜具有狹縫之補強部； 5 6〜狹縫； 5 7〜冷媒用孔； 6 0〜板補強部； 61〜狹縫對向溝； 6 2〜中央凹部； 70〜喷嘴； 74〜凸起； 75〜壓製機； 81、8 5〜補強部； 8 2〜冷媒用孔； 8 7〜狹縫； 9 0 a〜冷媒注入孔； 90b〜空氣排出孔； 91 a〜冷媒注入孔； 91b〜空氣排出孔； 92〜上部； 93〜下部； 94〜段部； HE〜被冷卻裝置； W〜冷媒； W1、W 2〜冷媒粒子。 2170-8973-PF 41

Claims (1)

1. 200817646 、申請專利範圍： 1 · 一種熱管，包括·· 冷部部本體，其係由在於内部空間形成冷媒之循環 對上述内 徑之金屬所構成； 、-某/主入孔，其係形成於上述冷卻部本體， 部空間注入上述冷媒；及 " 内部空間封 閉 雄封構件，其係為將上述冷媒封入上述 上述冷媒注入孔者， 其特徵在於： 似之 上述密封構件由與上述冷卻部本 塑性金屬所構成。 忒頰 2· —種熱管，包括·· 冷郃部本體’其係藉由設於上板及下板間之 中板’於内部空間形成冷媒的循環路徑；& &數 冷媒注入孔，：Ml在TT/ JL... /、係形成於上述冷卻部本 部本體之内部空間注 ^ 士 “令卻 h王入上述冷媒猎由密 其特徵在於： ^苒仵封閉者， 於上述中板，包括：補強部，其 媒注入孔之週邊區域之部分，具有既定的厚=應上述冷 用孔，其係形成於對應上述冷媒注入：，及冷媒 3· 一種熱管，包括·· h。 Q部邛本體’其係由在於内部空間 徑之金屬所構成；及 v成々媒之循環路 冷媒注入孔，其係 成於上逑冷部部本體，對上述内 2170-8973-PF 42 200817646 部空間注入上述冷媒藉由密封構件封閉者， 其特徵在於： 使上述冷媒成微小粒子狀由上述冷媒注人 内部空間注入。 丁上述 4. 一種熱管，包括·· 々部林體’其係藉由設於上板及下板間之^ 中板’於内部空間形成冷媒的循環路徑之金屬所構成；數 冷媒注入孔’其係形成於上述冷卻部本體，對該冷 部本體之内部空間注入；及 v p 密封構件，其係為將上述冷媒封入上述内部空間封門 上述冷媒注入孔者， ΓΊ封閉 其特徵在於： 上述密封構件由與上述冷卻部本體同質或類似之可 塑性金屬所構成， < T 上述中板，包括：補強部，其係形成於對應上述 注入孔之週邊區域之部分，具有既定的厚度者；及冷媒用 孔，其係形成於對應上述冷媒注入孔之部分， 使上述冷媒成微小粒子狀由上述冷媒 内部空間注入。 迷 以2中請專利範圍第1至4項中任—項所述的熱管， /、中封閉上述冷媒注入孔之上述密封構件沒 卻部本體之表面凸出。 & ν 6.如中請專利範圍第項中任—項 其中於上述冷媒注入孔之内周面形成有玫氣溝，其係直到 2170-8973-PF 43 200817646 Μ上述密封構件蔣1 外邱 、、媒注入孔完全封閉之狀態，保持 外口丨彳與上述内部办 卫胃連通之狀態，當上述冷媒注入孔呈完 王封閉的狀態，則以上述密封構件封閉者。 女申二專利乾圍第2至4項中任-項所述的熱管， 产路：廡述循％路徑包括冷媒成為蒸氣擴散之蒸氣擴散 Γ於述冷媒注人孔的部分配置於上述蒸氣擴散流 路’於上述補強部 ..^ ^ α者上述冷媒在上述蒸氣擴散流路内 成為"氣擴散之擴散方向形成有狹縫。 8· 一種熱管製造方法，其特徵在於包括·· y /成於金屬所構成之冷卻部本體之冷媒注入孔，對 形成有冷媒的循環路徑之上述冷卻部本體之内部空間注 入上述冷媒之注入步驟； ^由/、上述冷部部本體同質或類似之可塑性金屬構 、之:封構件，載置於上述冷媒注人孔之載置步驟；及 、、藉由於真工下對上述密封構件加壓以該密封構件將 上述冷媒柱入孔封閉之封閉步驟。 9· 一種熱管製造方法，包括·· …由形成於冷卻部本體之冷媒注入孔，對形成有冷媒的 循％路徑之上述冷卻部本體之内部空間注入上述冷媒之 注入步驟； 7 ” 對上述冷媒注入孔載置密封構件之載置步驟；及 、藉由於A空下對上述密封構件加壓以該密封構件將 上述冷媒柱入孔封閉之封閉步驟， 其特徵在於： 2170-8973-PF 44 200817646 於上述注入步驟，使上述冷媒成為微小板子狀由上述 冷媒注入孔注入上述内部空間。 10.—種熱管之製造方法，其特徵在於包括： 準備藉由設於上板及下板間之1或複數中板，於内部 空間形成冷媒之循環路徑’於 於F、+、μ k I γ敗形成有對應形成 述板或上述下板之冷媒注入孔之週邊區域之部分 形成具有既定厚度之 ’ 4刀 之邙八# +女X II於對應上述冷媒注入孔 …形成有冷媒用孔之冷卻部本體之準備步驟； 由上述冷敎人孔對上述冷卻部 入上述冷媒之注入步驟； q工間注 對上述冷媒注入 藉由於真空下f“ Λ 件 步驟；及 一 、述饴封構件加壓以該宓it I π 上述冷媒柱入孔封閉之封閉步驟。 ^封構件將 U. 一種熱管之製造方法，包括： 準備藉由設於上板及下 空間形成冷媒之循環 或稷數中板，於内部 於上述上板或上;徑，、於上述令板，形成有對應形成 形成具有既定厚度之反之~媒〆主入孔之週邊區域之部分 之部分形成有冷：用？強部，並且於對應上述冷媒注入孔 備步驟； ’、孔之金屬所構成之冷卻部本體之準 入上述冷媒之注竿:入孔對上述冷卻部本體之内部空間注 夕驟； 對上述冷媒注入 、 類似可塑性金屬構成之密封構半、上述〜部部本體同質或 在封構件之载置步驟；及 2170-8 973-PF 45 200817646 藉由於真空下對上述密封構件加壓以該密 上述冷媒柱入孔封閉之封閉步驟； 、 其特徵在於： 於上述注入步驟，使上诫、人Λ甘丄、^ 述冷媒成為微小粒子狀由上述 Q媒注入孔注入上述内部空間。 12·如申請專利範圍第8至^ 之黎m ^ + 11項中任一項戶斤述的熱管 之方法，其中上述密封步 人邦且到以上述密封構件穿 全封閉上述冷媒注入孔之狀能 千7^ 狀恶，經由形成於上述冷媒、、拿入 孔之内周面之放氣溝保持外 態。 卜°卩與上述内部空間連通之狀 13·如申請專利範圍第8 之製造方法，#中上述褒…2 ”任一項所述的熱管 r上之在封步驟，係藉由於直办 密封構件加壓以該密封構件預密封上述冷媒^述 由持續對上述密封構件加 ^主入孔後，藉 上述冷媒注入孔。 霉件元王雄、封 2170-8973-PF 46