200817256 九、發明說明： 【發明所眉之技術領域】 本發明係有關於一種以於上下方向間隔排列之狀態固 持多數片基板之基板收納用收納容器。 5 【先前技術】 此種基板收納用收納容器係用於收納液晶顯示器或電 聚顯示器中所使用之玻璃基板等之基板。 10 15 此種基板收納用收納容器，以往係構造成將水平延伸 之四角筒狀形成之收納容器之丨端側開口作為讓基板一片 -片地出入用之出入口 ’且於容器本體之另i端側開口部裝 ，由容器本體之另㈣側之開π通風至出人σ之風扇過渡 單元(例如.芩照曰本專利公開公報第2〇〇1_3〇8169號）。 上述之基板收納用收納容器中，藉風扇過據單元將淨 化空氣由收納容器之Μ端側之開口通風至出入口且由出 卜出可防止存在於收納容器内之塵埃附著於基板， =即使因收納容器搬送裝置之作動等而導致收納容器周圍 ^流魏亦可防止外氣進人收納容⑼，而可維持收納 奋裔内之基板的清潔度。 比、而即使維持基板之清潔度之收納容器内之風速可 慢，=止存在於收納容器内之塵埃附著於基板上之程度 迷必1為防止外乳由出入口逆流，由收納容器排出時，風 收— I、較快’因此就風扇過滤單元之通風量而言，為使由 單=排㈣之風速較快，其通風量要較多， 减早几運作成本也會變高。 20 200817256 本發明係有鑑於上述 提供一種可減低風扇過濾 納容器。 貝際情形而作成者，其目的在於 no 一 早疋之運作成本的基板收納用收 【潑^明内容】 器 :、成本4明之目的’本發明之基板收納用收納容时 Γ 構造為：―種構造成崎上下方向_排列之狀 悲固持多數片基板之收納容器，其中，前述收納容器具有 形成於其1側之第l、及設置於與前述第㈣ 口間於 10 15 水平方向上空出一間隔之另_端側的第2開口且全體呈四 角形斷面之筒狀，並且前述第1開Π構造成供前述基板出入 用之出入σ，月ij述收納容器之前述第2開。區域裝設有一由 前述第2開口㈣述第1開口通風之風扇過料it ;前述容 為本體之出入口區域設有開關位於前述容器本體之前述出 入口的蓋，且於關閉狀態時有一部份形成開啟狀態。 即，開關收納容器之出入口之蓋於關閉狀態時，以有 一部分形成開啟狀態裝設於收納容器之出入口部，即使收 納谷1§之蓋呈關閉狀態時，出入口仍有一部分形成開口。 因此，即使於收納容器之蓋呈關閉狀態時，仍可藉風扇過 濾單元將淨化空氣由收納容器之另1端側之開口通風至出 2〇入口且由出入口排出，藉此可防止存在於收納容器内之塵 埃附著於基板且同時可防止外器進入收納容器内，而可維 持收納容器内之基板之清潔度。 又，於蓋呈關閉之狀態時，因藉風扇過濾單元將淨化 空氣由收納容器之另1端側之開口通風至出入口且由出入 200817256 _出於出入口¥，因蓋而導致風路變的狹小 之淨心氣之風速變快，即使風扇過鮮^出 少出排出之淨化空氣之風速快，故可防止外氣由 之出入口進入收納容器内。 、奋态 5 因此’於蓋呈關之狀態時，即使風扇過 維持基板之清潔度，因風扇過滤 可降低風扇過遽單元之運作成本，藉此，可二:！ Γ降低風扇過鮮元之運作成本之基板收納用收納容 10 本發明之基板收納用收納容器之第2特 通風口形成形成跨越與前述出入口橫寬大約相為 細縫狀，且於上下方向上形成多數個。 秩見的 即，因將與跨越與前述出入口橫寬大 細縫狀之通風口於上下方向上形成多數個，通=:的 15 =内之淨化空氣會由以上下方向排列之多數通風口 ::二 散圍之型態排出，產生清潔空氣難二 Γ故Γ淨化空氣之風速慢而使塵埃附著於基板 、、…不易被料，因此，可實現提供-種基板不易 被污染之基板收納用收納容器。 土 20 本發明之基板收納用收納容器之第3特 =口係構造⑽賴竭於前物本體之多r 基板之狀態於上下方向上形成多數個。 即，因通風口以分別對應固持於前 片基板之狀態於上™數個，通=:::: 7 200817256 内之清潔空氣可容易的沿著收納之基板通風且由通風口排 出，於基板周圍很難產生清潔空氣難以流動之處，可抑制 因淨化空氣之風速慢而使塵埃附著於基板上，故基板不易 被污染，因此，可貫現提供一種基板不易被污染之基板收 5 納用收納容器。 本發明之基板收納用收納容器之第4特徵構造為：於第 1至3特徵構造任一個中，前述蓋係構造成於呈容許前述基 板出入之開啟狀恶日寸，鄰接之基板出入用口之間呈關閉之 狀態而使前述出入口開啟。
1U 15 1主分°7巫低心印八急開啟狀態時，可1面使基板由 基板出入用口出入，因鄰接之基板出入用口之間藉蓋而關 閉’即使於開啟狀態時，於出入σ因蓋而使風路變的狹小， 故排出之淨化空氣之風速會變的較快，因此於開啟狀態或 關閉狀態擔1狀態時’即使使風扇過濾單元之通風量較 少，排出之淨化空氣之風速快，故可防止外氣由收納容器 之出入口進入收納容器内，因此，實現提供一種可更加降 低風扇韻、單元之運作成本之基板收_收納容器。 莫且基板收納用收納容器之第5特徵構造為：前述 —有；上下方_列之多數蓋 件係構造成分別具有與前述出入σ之橫寬:=成: 寬，且於前述關閉狀態時， 、5之兴 成前述通風σ，又，前鮮2之讀盍形成構件之間形 之宽方t形成構件分別沿著前述出入口 ::向I軸心旋轉而呈前述 盖形成構件之間形成前述基板出入用口。雜之讀 20 200817256 即’蓋係由具有與出入D夕4生办 蓋形成構件所構成，於開啟狀|ta^A約相同橫寬之多數 件分別旋轉操作，便可 入口 打切換絲成對應多數片基板且與出 實現芸、見、、目同杈寬之基板出入用口之關閉狀態，可 貫現盍之構造之簡化。 蓋—之第6特徵為：前述 部往上==_、側恢復之勢能，藉由操作 〜= 述蓋操作成開啟狀態，前述操作部係 10 15 °又、由谷器本體之底面部朝下方突出之狀態。 卩τ糟她作部往上方軸而將前絲操作成開啟 :、’且su述操作部係設成由容器本體之底面部朝下方 突出之狀態，當將收納容器載置於設定處時，操作部被往 上t移動’蓋切換成開啟狀態’藉由妓處將收納容器舉 起k ’蓋可H恢復勢能而切換至關狀態，不需要置他方 法或操作蓋開關之操作機構，可容㈣切換蓋之開啟狀態 /、關閉狀悲’因此’提供可容易的切換蓋之開啟狀態與關 閉狀恶之基板收納用收納容器。 本發明之基板收納用收納容器之第7特徵構造為：藉由 沿著前述容器本體之橫侧面部之面移動而將前述蓋操作成 2〇開啟狀態之操作部係安裝成由前述容器本體之橫側面部突 出之狀態。 即藉使操作部沿著容器本體之橫側面部之面移動， 可將盍操作成開啟或關閉狀態，因該操作部安裝成由容器 本體之橫側面部朝橫侧方突出，為可透過促_等之機械 9 200817256 知作或透過作業貝之人為操作而可容㈣作之物，因此， 實現提供-種可藉機械操作或人為操作而將蓋容易的切換 成開啟狀態或關閉狀態之基板收納用收納容器。 本發明之基板收納用收納容器之第8特徵構造為··藉沿 上下方向移動而將蓋操作成開啟狀態之操作部，其前端之 被#作部分係設纽於較前述容器、本體之橫㈣之前面部 之前方的狀態。 即，可藉由沿上下方向移動而將蓋操作成開啟狀態或 關閉狀態之操作部，因將其前端之被操作部設成位於較前 10述容器本體之橫侧壁之前面部之前方的狀態，可容易進行 藉由促動器等之機械操作或藉由作業員之人為操作，且， T將操作部設成不突出容ϋ本體之寬方向外側或突出量減 》之狀怨，因此，實現提供-種可使寬方向較小之基板收 納用收納容器。 …本發明之基板收納用收納容器之第9特徵構造為：前述 蓋係可相對前述容器本體自由裝卸。 了將现由谷裔本體取下，洗淨時可將蓋盥 體個別洗淨，可容县砵w 1 ^ ° 一 尹了谷易冼净，因此，實現提供一種可容易洗 淨之基板收納用收納容器。 又 為第10特徵構造之前述風扇過濾單元最好具有夢 «支持之風扇與過㈣與受電部。X，前述風扇過㈣ 隶好具有電池。 【ΤΛΓ 以下將依據圖式說明本發明之實施態樣。以下揭示了 20 200817256 多數個實施態樣，1個實施態樣之特徵與其他實施態樣之特 徵之組合之物也包含於本發明之範圍内。 [第1實施態樣] 如第2圖及第6圖所示，基板處理設備包含例如：多數 5基板處理裝置3，係處理矩形狀之基板1者；收納架5，係具 有多數個收納有收納容器2之收納部4者，且前述收納容器2 以於上下方向上間隔排列之狀態固持有多數片前述基板 1 ;基板搬送裝置7，係位於分別對應多數前述基板處理裝 置3之基板出入部6,且由前述收納容器2中每次取出一片基 10板1供給至前述基板處理装置3，並且將由前述基板處理裝 置3搬出之基板1收納至位於前述基板出入部6之前述收納 容裔2，及收納容器搬送裝置8，係將前述收納容器2搬送至 分別對應前述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6及前 述收納架5之前述收納部4。 15 即’如第1圖所示，基板處理設備中裝設有多數基板收 納设備A與處理程序設備b，如第2圖所示，基板收納設備a 分別具有收納架5及作為前述收納容器搬送裝置8之堆高式 起重機10，如第6圖所示，處理程序設備b分別具有基板處 理I置3與基板搬送裝置7。 2〇 且’前述基板處理設備係一面將前述收納容器2保管於 别述收納架5中，一面將所保管之前述收納容器2依序搬送 至为別對應别述多數基板處理裝置3之前述基板出入部6， 藉此，前述基板1依序經多數前述基板處理裝置3處理，採 用如此製造處理完畢基板的基板處理方法。 11 200817256 基板搬运裝置7及收納容 制裝置而控制1作# 4置8精圖外之控 — 動’猎收納容器搬送1置8，收納容写2 依序搬送至分別對應多數基 、、: t 基板以料，縣_送物，由收納容 中母*取出-片基板！供給至基板處理裝置％及收柄由 處理裝置3搬送來之基板卜藉控制裝置控制基板搬送 衣置7及收納容器搬送# ”… $置8之作動。雜制裝置包含微處 杰、通㈣、記憶體、及記憶於記憶體之處理順序等， 10 具有可進行本說明書中記載之所有機能的部分。又，該控 制裝置可配置於設備之底部、收納容雜送部、或收納架$ 皆可。 〜又，於多數基板處理裝置3中，塗佈、曝光及顯像等預 疋之處理係個別進行，因此，處理基板1之處理量上會產生 ^別依序搬达至基板出人部6時，赵基如等待處理之 月兄π A將收納有吕亥等待處理之基祀之收納容器之暫時 保吕於收納架5，藉控制裳置而控制收納容器搬送裳置 作動。 、4述收納容器搬送裝置8設有對應前述收納架5裝設作 2〇為收納架用收納容器搬送部之堆高式起重機10、及於分別 位於夕數前述收納架5之多數出入庫部9之間搬送前述收納 谷态2之架間用收納容器搬送部之來回移動搬送車丨丨及環 繞移動搬送車12。 如第1圖所示，前述來回移動搬送車丨丨及環繞移動搬送 車12係於基板收納設備A外搬送收納容器2者，來回移動搬 12 200817256 送車11係構造成來回移動於2個鄰接之基板收納設備A之間 於2個基板收納設備A之間搬送收納容器2,環繞移動搬運車 12係構造成環繞移動經過多數基板收納設備A於多數基板 收納設備A之間搬送收納容器2。 5 又，如第2圖所示’堆高式起重機10係於基板收納設備 A内搬送收納容器2者，係構造成沿著設成相互對向狀態之 一對收納架5之間形成之移動空間來回移動，且於對向之一 對收納架5之多數收納部4之間搬送收納容器2。 即，藉收納容器搬送裝置8，由搬送起點之收納部4或 10 基板出入口 6搬送收納容器2至搬送終點之收納部4或基板 出入部6時’當搬送起點與搬送終點位於不同之基板收納設 備A日寸’依搬送起點之基板收納設備a之堆高式起重機1〇、 來回移動搬送車11或環繞移動搬送車12、搬送終點之基板 收納設備之堆高式起重機10之順序，依序交接搬送收納容 15器2，當搬送起點與搬送終點於相同之基板收納設備a時， 精4基板收納a又備A之堆南式起重機1 〇搬送收納容器2。 如第4圖所示，物品處理設備中，清潔區域13中設有使 淨化空氣由頂部通風至底部之垂直層流式淨化空氣通風機 構23，該垂直層流之清潔區域13内裝設有前述多數基板處 2〇理裝置3、前述收納架5、前述基板搬送裝置7、及前述收納 容器搬送裝置8，將前述基板收納設備a周圍裝設成開放狀 態，使於基板收納設備A内外之淨化空氣可流通。 更加詳細說明淨化空氣通風機構23，如第4圖所示，淨 化空氣通風機構23係構造成：清潔區域13之底部由多孔狀 13 200817256 之分層底14形成，清潔區域13之頂部由高效率過渡器等構 成之空氣過遽器15形成，同時，形成於分層底14下方側之 吸氣室16與形成於空氣過滤器15上方側之腔室㈣具有通 風機I8及前過滤器21之循環㈣連通，藉通風機1S清潔區 5域13之空氣通過分層底14及吸氣室16經循環路^吸氣，同 時，使該吸入之空氣通過前過濾器2卜腔室17及空氣過遽 器15作為淨化空氣，於清潔區域13内朝下嘴出，將清潔區 域13内之空氣藉前過濾器21與空氣過濾器15一面清潔化一 面循環，使淨化空氣由頂部通至底部。且，於循環路19中， 10較通風機18上游側連接有取入外氣通路2〇，較通風機18下 游側連接有排氣通路22，藉淨化空氣通風機構23循環之清 潔區域13内之空氣之一部份與外氣交換。 如第6圖所示，物品處理設備設有維持藉前述基板搬送 裝置7於述基板出入部6與前述基板處理裝置3之間搬送 15前述基板1之基板搬送區域24的清潔度而通風淨化空氣之 搬送區域用淨化空氣通風機構25。 即’處理工程設備B之基板搬送區域24中，基板搬送裝 置7之基板搬送作用空間於收納架5側之端部為開放，且基 板處理裝置3側之端部與基板處理裝置3連通且設有一覆蓋 2〇之區隔壁％，此區隔壁26之頂部設有作為搬送區域用淨化 空氣通風機構25的多數區域用風扇過濾單元27，藉由多數 區域用風扇過濾單元27，使清潔區域13之淨化空氣以更加 清潔化之淨化空氣由基板搬送區域24之頂部通至底部，區 隔壁26所覆蓋之空間作為垂直層流空間。 14 200817256 如第2〜4圖所示，前述收納架5設於分層底14上，由於 架橫向間隔排列直立設置前後一對之支柱31、及架設成穿 過W後一對之支柱31且於架上下方向間隔排列設置之載置 支持部32所構成。 且，收納架5中设有多數縱橫排列之前述收納部4，前 述收納部4由前後一對之支柱31及左右一對之載置支持部 32形成。各收納部4於架橫向鄰接者及於架上下方向鄰接者 係連接成空氣可流動之狀態。 又，最下段之收納部4由分層底14之上方側隔開間隔設 置，使其最下段之收納部4之下方形成淨化空氣流動之流動 用空間。 、4述收納架5具有之多數收納部4之中之一部份作為前 此基板出入邛6 ’又，收納架5具有之收納部4之中之一部份 作為前述出入庫部9。 再加以說明，如第5圖所示，收納架5具有最下段之多 ^收納部4之中對應基板處理裝置3之收納部4為基板出入 部6，藉基板搬送襄置7，由位於基板出入部6之收納容器2 中，通過收納架5背面侧，每次取出一片基板丨或每次收納 片。且，因最下段之收納部如上述所示由分層底14之上 方側隔開間隔設置，基板出入部6設置於較底部高之位置。 又’如第7圖所示，收納架5具有中段之多數收納部4 之中對應來回移動搬送車η及環繞移動搬送車12之收納部 4為出入庫部9 ’對應來回移動搬送車11之出入庫部9可藉來 回移動搬送車11通過收納架5背面側搬送收納容器2，且， 15 200817256 對應環繞移動搬送車12之出入庫部9可藉環繞移動搬送車 12通過收納架5側面側搬送收納容器2。 如第2圖、第3圖及第8圖所示，堆高式起重機10包含2 37支持且可於收納部4與自己間移載收納容器2之叉子式物 條藉沿著收納架5前方移動路徑之較長方向設置之移動轨 5道34移動的移動台車35、藉直立設於移動台車敗一對升 降桅杆36指引支持而可自由升降之升降台37、及藉升降台 品移餘置38，藉移動台車35之水平移動、升降台37之升 10 降移動⑽品移載裝置38之作動，可於收納架5前方移動空 1在卞毛、向上自由移動，且，可將前述收納容器2搬送至前 述基板出入部6、前述出入庫部9及這些以外位於前述收納 架5之前述收納部4。 2 於移動°車35對應2條移動㈣34分別各設有前後 輪之移動車輪39,移動車輪的分別藉移動用馬達*旋 15轉驅動’使移動台車％沿移動路徑移動。 二-對升降桅杆36，其上端部藉上部框架.結。 如弟8圖所不，前述升降a 二 結有一對升降用鏈45之一端後方向之兩端部分別連 ^邛该一對升降用鏈45之中一 2。Γ=Γ降桅杆36上端部的指引扣鏈齒輪46，其 =:==衡錘47，—對升_之中另-條係 ==降桅杆36下端部的驅動扣鏈齒 另一 *而部連結於平衡錘47，葬弁隊 齒輪48，使升降台37升㈣動。馬達49旋轉驅動驅動扣鏈 置38包含：可圍繞上下 如第9圖所示，前述物品移載裝 16 200817256 軸心pi自由旋轉之旋轉台50、及設於該旋轉台5〇上支持載 置部51使其可自由進退移動之連結機構52。且，物品移載 裝置38藉旋轉台50之旋轉可使載置部51旋轉移動，且，藉 連結機構52之伸縮可使物品移載裝置38呈退下於升降台37 5上之狀態（參照第5圖），或切換成物品移載裝置38突出於收 納部4側之狀態。又，物品移載裝置％相當於使所支持之收 納谷裔2旋轉之旋轉機構。 如第3圖所示，基板收納設備a具有控制堆高式起重機 10作動的控制機構Η。 10 該控制機構Η係根據管理收納容器搬送裝置8運轉之上 位控制裝置的指令，藉由控制移動用馬達4〇、升降用馬達 49及物品移載裝置38之作動，而控制在多數收納制之間搬 送收納容器2之堆高式起重機10的作動。 且，别述控制機構Η係於前述收納架5之任一者中，使 15 W述收納容器2以前述收納容器2之裝設有前述風扇過濾單 元64侧位於前述移動空間側，且前述收納容器2之前述出入 口 72側位於遠離前述移動空間側之狀態，收納於前述收納 部4 ’而控制前述收納容器搬送裝置8之作動。風扇過渡單 元64(亦稱為FFU)含有一藉FFU框體9〇支持之風機、驅動該 20風機之電動馬達、過濾器、電池71、或傳送電力至電動馬 達之受電部70a。該風機依水平方向圍繞軸旋轉。 即，控制機構Η係控制堆高式起重機ι〇之作動，使於對 向之一對收納架5之間搬送收納容器2時，當搬送起點之收 納部4與搬送終點之收納部4為同一收納架5時，由搬送起點 17 200817256 之收納部4將收納容器2取出，該收納容器2藉物品移载裝置 38不旋轉而收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2即使 於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相同， 以收納谷器2之裝設有風扇過滤單元64側位於移動空間 5側，且收納容器2之前述出入口侧裝設有蓋65之側位於遠離 移動空間側之狀態收納於收納部4，又，當搬送起點之收納 部4與搬送終點之收納部4於不同之收納架5時，由搬送起點 之收納部4將收納容器2取出，將該收納容器2藉物品移载裝 置38旋轉180度後收納於搬送終點之收納部4，使收納容器2 10即使於搬送終點之收納部4時，也與搬送起點之收納部4相 同，以收納谷态2之裝設有風扇過濾單元64側位於移動空間 側’且收納谷器2之裝設有蓋65之側位於遠離移動空間之狀 態收納於收納部4。 如第5圖及第6圖所示，基板搬送裝置7具有於基板處理 15裝置3與收納架5附近之間載置搬送基如之基板搬送輪送 帶54、及於位於基板出入部6之收納容器2與基板搬送輪送 帶54之收納架端側部之間載置搬送基板】之基板搬送 機55。 基板搬送自動機55具有沿著收納架5背面側在架横向 2〇上移動的移動台車56、支持該移動台車％使其可自由升降 及旋轉的升降部57、及藉連結機構58與該升降部57連結之 叉子狀支持部59，藉升降部57之升降與旋轉及連結機構^ 之伸縮’將位於基板出入部6之收納容器2之基板i每次Μ 搬运至基板搬送輸送帶54之收納架端側部，且，將基板搬 18 200817256 送輸送f54之收納端側部之基板1一片一片地的搬送至位 於基板出入部6之收納容器2。 如第6圖所示，基板搬送輸送帶54係於基板丨之寬方向 之兩端部藉旋轉滾子61支持，藉旋轉驅動該旋轉滾子61而 5搬送基板1。如第5圖所示，基板搬送輸送帶54具有將由基 板搬达自動機55接收之基板1朝基板處理裝置3搬送的未處 理用基板搬送輸送帶54、及將由基板處理裝置3搬出之基板 1朝收納架5側搬送的處理完畢用基板搬送輸送帶54。 如第11圖及第12圖所示，前述收納容器2呈橫倒狀態之 10四角筒狀，該收納容器2之一端側之開口（第躪口）作為供前 述基板1出入之出入口 72,由前述收納容器2之另一端側之 開口（第2開口）通風至前述出人口7之風扇職單元^裝設 於位於前述收納容器2之另一端侧之開口部（即第2開口區 域關前述收納容器2之前述出入口 72之蓋65,於關閉 5狀㈣形成-部份開口，且，於開啟狀態時呈容許藉前述 基板搬送裝置7搬送前述基板1之狀隸設於前述收納容器 2之出入口部。 令山換而言之，呈橫倒狀態之四角筒狀的容器本體66之一 2() ^側之開°係構造成供前述基板1每次1片出人狀出入口 、雨由則述容器本體66之另一端侧之開口朝前述出入口 72 #八之風扇過濾單元64裝設於位於前述容11本體66之另-^側之開口部。開關前述容器本體从之前述出人口Μ的蓋 於/關閉狀態時’一部份形成作為通氣口 75之開口，且， :開啟狀㈣’以容許前述基板搬送裝置7搬送基板丄之狀 19 200817256 態裝設於前述容器本體66之出入口部。 如第1〇圖所示，容器本體66呈矩形，且由形成容器本 體66之一端侧開口的一端側矩形框93、同樣呈矩形且形成 容器66之另一端側開口之另一端側矩形框94、一端側框體 5與另一端側框體於角部相互連結之角框材95、及於除去容 器本體66之一端侧部的另一端侧部、左右橫側部、上側部 及下側部適宜架設之連結框材96而形成格子狀之框架；於 兩橫側部，使形成於其兩橫側部之開口呈封閉形態，而具 有使矩形框或框材與外面側裝設成一面狀態之外面構件 10 97、及使矩形框或框材與内面側裝設成一面狀態之内面構 件98 ;於上側部及下側部，使形成於其上侧部及下側部之 開口呈封閉形態’而設有前述内面構件98，而呈橫倒狀能、 之四角筒狀。如第11圖所示，容器本體66含有上壁66a、底 壁66b、及左右之兩彳頁側壁66c。 15 且，於一端側矩形框93、另一端側矩形框94及位於下 側之各框材95，設有收納於收納架5之收納部4時載置支持 之收納用支持部82 ;於一端側矩形框93及另一端側矩形框 94,設有藉堆高式起重機1〇等收納容器搬送裝置8搬送時載 置支持之搬送用支持部83。 20 如第13圖及第17圖所示，容器本體66中架設有穿過左 右之兩橫側壁66c之支持體67。該支持體67為支持1片基板i 而於前後方向上設有多數個，且，對應收納於收納容器2之 基板1之片數於上下方向上設定間隔設有多數段。 且，如第13圖所示，支持體67分別由架設於穿過容器 20 200817256 本體66左右之兩橫側壁66c之連結框材96的本體架69、及直 立設於該本體架69的多數栓構件68所構成。栓構件沾係於 藉基板搬送自動機55使基板1出入收納容器裝置2時，為不 干涉基板搬送自動機55之支持部59,而直立設於本體架沾 5之設定位置，藉該多數栓構件68支持基板1，本體架69與藉 此支持之基板1間形成基板搬送自動機55之支持部％可插 通之間隙。 如第11圖所不，容器本體66裝設有3個風扇過濾單元 64，該3個風扇過濾單元以於寬方向上3個並排之狀態安裝 1〇於連結支持於容器本體66之另一端側開口部的FFU用框體 90 〇 且，FFU用框體90具有非接觸供電裝置7〇之受電部 7〇a，收納部4分別構造成藉裝設成經载置支持部32支持之 狀態之非接觸供電裝置70的供電部鳥(參照圖幻供給之電 15力而使3個風扇過濾單元64作動。 币又，FFU用框體90亦具有儲蓄供給受電部術之電力的 电池71，S收納谷器2藉堆兩式起重機搬送，受電部7〇a 離開供電部70b，沒有電力供應至收納容器2之狀態時，藉 由儲蓄於電池71之電力使3個風扇過濾單元料作動。 20 接著，說明蓋65。 义如第16圖所示，前述蓋μ之前述通風口乃形成跨越與 前述出入口 72橫寬大約相同之橫寬的細縫狀，且，以分別 對應固持於前述容器本體66之多數前述基幻的狀態於上 下方向上形成多數個。 21 200817256 且’如第16(B)圖所示，前述蓋65呈容許前述基板1出 入之開啟狀態時’使形成跨越與前述出人π72 同之橫寬的細縫狀的基板出人用口 76形成對應固持於前述 容器本體66之多數前述基板1之位置的形態，且，以關閉鄰 接之基板出人用口 76之間的形態，開啟前述出入口 72。 10 15 20 再加=明前述蓋65，如第16圖所示，具有與前述出 入口 72之橫寬大約相同之橫寬的多數蓋形成構件π，在前 述關閉狀態時，於鄰接之兩者之間形成前述通風口 75,且， 沿前述出人口 72之寬方向於圍繞軸心旋轉之前述開啟狀態 中X鄰接之兩者之間使前述基板出入用口 76呈開啟之狀 態，使前述出入口 72開啟以上下方向排列。 多數盍形成構件77於橫側面看係分別由形成中空薄板 狀之板狀體而構成，於其中心部藉蓋用框體％支持成可圍 繞橫如自由旋轉之狀態。且，蓋65，如第16(α)圖所示， 因多數蓋形成構件77分腳繞橫軸'錢轉且沿上下方向排 列，使蓋形成構件77彼此之間形紐奴開口作為 75,呈關驗態，如第16⑼圖麻，因多數蓋形成構件^ 分別圍繞㈣心旋轉且沿前後方向剩，使蓋形成構件乃 彼此之間形成較大之開口作為基板出人用口76，呈開啟狀 態0 即，如第16(A)圖及第17(A)圖所示，蓋65於關閉狀態 时口夕數盍形成構件77彼此之間之通風口乃呈開口狀 態，藉風扇過濾單元64，可將淨化空氣由收納容器另—端 侧開口通至出人口72且由位於出人口72之通風口乃排出， 22 200817256 °亥通風口75藉沿上下方向（與通風方向交叉之方向）排列之 夕數蓋形成構件77而形成得較小，因此由該通風口 75排出 之/爭化空氣風速會變得較快，藉此可防止外氣由收納容器2 之出入口 72侵入收納容器2内。 且’如第16(B)圖及第17(B)圖所示，蓋65於開啟狀態 日寸’多數蓋形成構件77彼此之間之較通風口 75大之基板出 入口 ％呈開啟狀態，可使基板丨於淨化空氣範圍内由基板出 用口 76出入’由該基板出入用口76排出之淨化空氣，因 :在有未呈關閉狀態之沿前後方向（通風方向）排列的多數 I形成構件77 ’故風路變得較狹窄，而風速變得較快，藉 此可防止外氣由收納容器2之出入口 72侵入收納容器2内。 又，多數盍形成構件77之鄰接之兩者間，如上述，於 3閉狀=時形成通風σ75，於開啟狀態時形成基板出入用 15能*皿65壬關閉狀恕或開啟狀態、及蓋65在切換這些狀 :α夕數盍形成構件77互相不會接觸，故不會因蓋形 成構=⑴目接觸而麵_，可抑㈣蓋65產生之塵埃。 連心係構造成可賊予前述關閉狀態側恢復勢能， 接你Γ80為错向上方移動而操作前述蓋65使呈開啟狀態之 钻作部，裝設成由前 0 UK Λ, 奋态本體66之底面部朝下方突出之 分別以延伸設於沿上下:^戶示，連結構件79之基端部 的形態且以可-起旋轉二_之蓋形成構件77之後下方 部分別沿上下方向排連結，此連料件79之遊端 可自由疑轉之狀態連結於連結棒 23 200817256 80’盍形 1分別沿上下方向排列之關閉狀能护 5 10 15 20 藉使連結_上升移動，使蓋形成構件77分別沿前^ ’ 排列呈開啟狀態，又，蓋形成構件77呈分別沿前後^向 列之開啟狀態時，藉使連結_下降移動，使蓋 = 77分別沿上下方向排列呈關閉狀態。 再件 且，連結棒80藉自身重量賦予下降側勢能，連 呈由容器本體66之底面部朝下方突出之狀態時，蓋^ 關閉狀態，以此狀態將收納容器2載置於基板出入部6 s呈 時’藉由將設於基板出人部6之較支持部32的㈣突2 81上推連結棒80，透過連結構件79旋轉操作蓋形成⑷ 77，盍形成構件77變成分別沿前後方向排列，蓋6 狀態。又’基板出人部6將收納容器2 歼 自身重量透過連結構件㈣轉操作蓋形錢=错 盖形成構件77變成沿上下方向排列，蓋65呈關_態。又， 赖棒80之下降移動係藉圖中未示之控㈣件控制，使連 :杯80之下&部呈由容^本體岐底㈣朝下方突出之狀 於基板出人部以外之收納部4、及堆高式起重機1〇等收 送裝置8中沒有設置如基板出人部6之蓋用突起部 推連結棒_操作部分，除了位於基板“部6時，設 將連結棒8〇上推之操作，收納於基板出入部6之外之 芸6= 時、或藉堆高式起重機10等搬送時’收納容器2之 I65維持關閉狀態。 即’基板處理裝置採用之基板處理方法為：於前述收 24 200817256 納架5保管時或藉前述收納容器搬送裝置8搬送時，前述收 納容器2之前述蓋65呈關閉狀態，藉前述風扇過遽單元料通 風丄而維持前述基板i之清潔度，且，於前述基板出入部6 藉前述基板搬送裝置7搬送前述基板丨時，前述收納容器2之 5前述蓋65呈開啟狀態，藉前述風扇過遽單元料通風，並且 藉前述搬送區域料化空氣通風機構25維持前述基板搬送 區域24之清潔度，而維持前述基板1之清潔度。 且，收納容器2於蓋65呈開啟狀態時，為使3個風扇過 濾單兀64之通風量增大而設有控制3個風扇過濾單元斜作 1〇 動之控制部109。 即，如第11圖及第18圖所示，FFU用框體90隨著收納 谷為2載置於基板出入部6時，藉由設於基板出入部6之載置 支持部32的FFU用突起部106上推而上升移動，且，FFU用 框體90具有於收納容器2被基板出入部6舉起時，藉自身重 15量下降移動之可升降移動的檢驗片107、藉將檢驗檢驗片 107之升降移動的該檢驗情報發送至前述控制部1〇9之限位 開關而構成之檢驗開關1〇8、及根據檢驗開關108之檢驗資 訊控制風扇過濾單元64之作動的前述控制部1〇9，控制部 109於檢驗片1〇7呈上升移動狀態時，使風扇過濾單元64之 20通風量增大，於檢驗片107呈下降移動狀態時，使風扇過濾 單元64之通風量減少，根據檢驗開關1〇8之檢驗資訊控制風 扇過濾單元64之作動。 且’ FFU用突起部1〇6與蓋用突起部81相同，於基板出 入部6之外之收納部4及堆高式起重機1〇等收納容器搬送裝 25 200817256 置8中沒有裝設。 因此，收納容器2位於基板出入部6且蓋65呈開啟狀態 時，風扇過濾單元之通風量會增大，收納容器2位於基板出 入部6之外且蓋65呈關閉狀態時，風扇過濾單元之通風量會 5 減少。 即，蓋65在切換成開啟狀態之前，風扇過濾單元64之 通風量增大，蓋切換成關閉狀態之後，風扇過濾單元之通 風量會減少，宜於蓋65在切換成開啟狀態時或切換成關閉 狀態時防止由蓋65產生之塵埃污染收納容器2内之基板1， 10如此切換蓋65成開啟狀態或關閉狀態與風扇過濾單元64之 通風量增減的關係，可藉蓋用突起部81&FFU用突起部1〇6 之高度調節。 如第11圖所示，前述風扇過濾單元64及前述蓋65對於 則述容器本體66以可自由裝卸之狀態裝設，由收納容器2取 15下風扇過渡單7064與蓋65，可容易洗淨收納容器2。 即，如第14圖所示，蓋用框體78之上端部設有由上方 卡合容器本體66-端側矩形框93之上部的蓋用卡合構件 99，又，一端側矩形框93之下端部設有蓋用卡合支持板 100,其係卡合於以載置支持蓋賴體78之狀態形成於* 20框體78之下端部的被卡合溝1，蓋用卡合構件99可裳卸於 广側矩形框93之上部’且，蓋用卡合支持板100可裝卸於 f用框體78之被卡合溝I，細係構造成可對容器本體66 表卸。 又，如第15圖所示，FFU用框體9〇之上端部設有由上 26 200817256 方卡&谷态本體66之另一端側矩形框94之上部的FFU用卡 口構件88，又，另一端側矩形框94之下端部設有FFU用卡 。支持板89，其係卡合於以載置支持1^11用框體9〇之狀態 I成於FFU用框體9〇之下端部的被卡合溝_，FFU用卡合 冓件88了裝卸於另一端側矩形框94之上部，且，ρρυ用卡 合^持板89可裝卸於FFU用框體9〇之被卡合溝_，風扇過 ^單元64包含供電部7〇b或電池71係構造成可一起對容器 本體66裴卸。 且，如第2圖所示，收納架5具有最下段之多數收納部4 力中之邠伤作為手推台車用出入庫部9,其係藉通過收納 木5之月面側之手推台車85而可讓收納容器2出入者，藉手 推台車85由手推台車用出入庫部9取出收納容器2後，由收 内奋為2拆下風扇過濾單元64與蓋65後，可藉容器洗淨裝置 U 86洗淨收納容器2。又，手推台車用出入庫部9之背面侧設 有關閉遠出入庫部9背面側的活動遮板84，前述控制構件 Η於活動遮板84操作成開啟狀態時，控制堆高式起重機 之作動使對應手推台車用出入庫部9之堆高式起重機1〇不 搬送收納容器2。 [第2實施態樣] 20 a/- 此第2實施態樣係變更了第丨實施態樣中支持位於基板 入。卩6之收納各為2之構造及開關收納容器2之蓋&之構 造之物。以下說明關於支持位於基板出入部6之收納容器2 冓k及開關收納谷裔2之盍65之構造，關於與第1實施態 樣相同構造之部分使用與第1實施態樣相同之符號，省略其 27 200817256 說明。 首先，說明支持位於基板出入部6之收納容器2之構造。 如第23圖及第24®所示，基板出人部6之物品支持部32 :具有當載置於基板出人部6之收納容器2由適當位置於水 5平方向偏離時’可將該收納容器2移至適當位置之中心化裝 置 111。 ”且，中心化裝置m係由多數個支持收納容器2且同時 推堡操作收納容器2之橫側面的支持操作機構112而構成， 所支持之收納容器2由適當位置偏離於水平方向時，藉由存 之橫側面，而可將該收納容器2移至適當位置。 15 20 如第24圖所示，多數支持操作機構112分別藉設置於物 =支持部32上之基台113之搖動體114而支持成可搖動狀 恕，該搖動體U4係由載置支持收納容器2之容哭支持用滾 子山、推壓操作收納容器2之側面的推壓操作職 及規範搖動體114之搖動的搖域範用 加以說明各支持操作機構112，搖動體114=橫邊 二分及膨出於橫邊部分之相反侧的縱邊部分，由側面看形 f體m之橫邊部分之基端部由仏13支_ 搖動狀。又，搖動體114之橫邊部分夕乂 則舄邛由容器支持用 <由Ιϋ 狀，體114之縱邊部分之前端部 推麼扭作滾子116支持成可旋轉狀，搖動 部分膨出所形成之部分的頂部由遙動規範用㈣7支1邊 各支持操作機構112係構造成藉搖動規範用滾子117抵 28 200817256 接於基台113叫範搖動體114由待 相反側之搖動（參照第24(A)圖），又，藉容 抵接於基台113而規範搖動體u 勢=滾子U5 向相反側之搖動（參照第期圖），^勢至待機姿勢之 待機姿勢與支持姿勢之間搖動姿勢/搖動體114之 用滾===構1聰纽議14藉推壓操作 納容器2載置於容器支持滚子115上時，待機安勢，收 姿勢至支持姿勢 搖動體U4會由待機姿勢變更 ^收納各器2支重量 由待機姿勢變更Mu H隨料動體m 收納容器2側_作崎子m會移動至 面。 讀用滾子⑽隹壓操作收納容器2之橫惻 15 20 *第二：於::收納容器2之蓋65之構造。 之面的;^s φ沿㈣述容11本體66之橫側面部 面部突出於橫側方之狀態、Γ衣成由前述容器本體66之橫侧 之1個再明’如第25圖所示，多數蓋形成構件77之中 户二:*構件77構造成包含有其兩端部由容11本體66 之W面部突出於橫側方之操作用旋 錄之由叫斷軸㈣嫌时之= 29 200817256 上，=別有操作桿ί23以於沿著上下方向排列之蓋形成構件 π之前3沿設之狀態與其連結成可—起旋轉，操作部⑵ 係由4等操作用旋轉軸77a與操作桿丨23所構成。 又，連結構件79係構造成其基端側分別以於沿著上下 5方向排列之蓋形成構件77之前下方沿設之狀態與其連結成 可一起旋轉，連結構件79之分別之遊端部與以沿著上下方 向排列之棒狀體122連結成可旋轉，受多數蓋形成構件連 =可_。蓋形成構件77分別沿上下方向排列之關閉狀 悲時，藉將操作桿123向後方搖動操作而將蓋形成構件打變 1〇成”沿前後方向排列之開啟狀態，又，蓋形成構件77分 另$後方向排列之開啟狀態時，藉將操作桿Kg向前方搖 動操作而將蓋形成構件77變成分別沿上下方向排列之 狀態。 操作桿123可於蓋65呈關閉狀態之關閉姿勢與蓋防呈 15開啟狀態之開啟姿勢之範關自由搖動操作，藉棒狀體⑵ 抵接於下方之規範構件丨24，規||由關閉姿勢至開啟姿勢之 向相反側之搖動，又，藉棒狀體122抵接於上方之規範構件 124’規範由開啟姿勢至關閉姿勢之向相反側之搖動。即， 才木作桿123係藉棒狀體122之自身重量而賦予關閉姿勢側勢 20 能。 如第23圖與第26圖所示，位於基板出入部6之左右兩側 的支柱31之1者具有可將操作桿123於前後方向操作之蓋操 作機構125。該蓋操作機構125係構造成至少設有對應一對 操作桿123之中之1者，操作一對之操作桿123之中之丨者而 30 200817256 可將蓋65切換成開啟狀態或關閉狀態。又 位於基板出入部6之左右兩側之支柱31之另i者並不Y有蓋 操作手段，—對之操作桿123之另1者係於作業員手動將蓋 切換成開啟狀態或關閉狀態時使用。 5 w操作機構125係由具有沿前後方向滑行移動之移 動體126a之電紐筒126及直立設於移動體施之操作用 構件127所構成’藉電動滾筒126將操作用構件127向後方側 移動，操作桿123之鋪作部分12减操_構件127推壓 才木作而使操作桿123呈向後方側搖動操作之開啟姿勢，藉電 1〇動滾筒126將操作賴件127向前方側移動，操作桿123藉被 賦予之勢能向前方側搖動操作呈開啟姿勢。 又，蓋操作機構125係構造成，於藉電動滾筒126將操 作用構件127向後方側移動之狀態時，藉物品移載裝置狀將 收納容器21搬入基板出入部6時收納容器向前方側之移動 15而將蓋65切換成開啟狀態，藉物品移載裝置38將收納容器 21搬出基板出入部6時收納容器向後方側之移動而將蓋65 切換成關閉狀態。 再加以說明，蓋操作機構125之操作用構件127由正面 看形成L字形，如第27(B)圖及第28(B)圖所示，沿此操作用 2〇構件之上下方向之縱邊部分位於由藉物品移載裝置38將收 納谷器2於A後方向移載時關閉安勢之操作桿123之被操作 部分123a所在位置之高度到收納容器2載置支持於物品支 持部32時關閉姿勢之操作桿123之被操作部分123a所在位 置之高度之間，於上下方向形成長形。 31 200817256 5 狀態 且，蓋操作機構125係構造成，藉由如上述操作 m之縱邊部分於上下^向職㈣，對於祕㈣载裳置 於前後方向移载之收納容器2，將操作用構件m向前後方 側移動而將_容器2之蓋65切換操作朗啟狀 又，即使於將收納容器2搬出入基板出入部6時，蓋操 作機構ι_失誤而錢仙構件127向後方婦動亦可 彻物品移载裝置38使收納容器2移動，將操作用構件127 將盍65切換操作成開啟狀態。 士第27 29圖所不’基板處理設備係包含：檢測基板出 入部6是否有收納容器2存在之容器存在與否感應器129、檢 測基板出人部6下方是否有物品移«置财在之裝置存 在感應器130、開關操作蓋65之前述蓋操作機構125、及依 據今益存在與否感應H丨2 9與裝置存在錢_ q之檢測結 果於收納谷益2藉物品移載裝置38載置至物品支持部犯之 後二控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成開啟，且， 於藉物品移載裳置3 8將收納容器2由物品支持部3 2取走之 前，控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成關閉之開關 控制機構132。 ☆為存在與否感應n129與裝置存在感應 器130分別是 由光電感應器所構成，容器存在與否感應器⑶包含設於基 板出入部6之别部的前部側容器存在與否感應器129a及設 於基板出人部6之後部的後·容H存在與否錢器129b。 如第27圖及第28圖所示，前部侧容器存在與否感應器 32 200817256 129a係於基板出入部β之前部下方設有向上方投光之投光 部，於基板出入部6之前部下方設有接受投光部所投射之光 經收納容器2反射後之光的受光部，由測距式感應器所構成 之前部側容器存在與否感應器129a構造成當收納容器2載 5置支持於物品支持部3 2或收納容器2下降移動於接近物品 支持部32 ’檢測出與收納容器2之距離為較設定距離短時 (收納容2載置支持於物品支持部32或收納容器2下降移 動於接近物品支持部32之狀態，以下稱之為檢測狀態），開 關控制機構138將會判斷成基板出入部6内有收納容器2存 10 在。 後部側容器存在與否感應器129b係構造成於基板出入 部6之橫向一側方設有反射板，於水平方向投光之投光部與 接受投光部所投射之光經反射板反射後之光的受光部設於 基板出入部6之橫向另1側方，該後部侧容器存在與否感應 15器12肋於投射之光因收納容器2而被遮斷之檢測狀態時，開 關控制機構132將會判斷成物品支持部32上存在有收納容 器2。 衣置存在感應13 0係構造成於基板出入部β之橫向_ 側方設有反射板，於水平方向投光之投光部與接受投光部 20所投射之光經反射板反射後之光的受光部設於基板出入部 6之橫向另1側方，該裝置存在感應器13〇於投射之光因物品 移載裝置38而被遮斷之檢測狀態時，將會判斷成物品支持 部32之下方存在有物品移載裝置38。 即，將收納容器2搬入基板出入部β時，使位於較物品 33 200817256 支持部32上方且載置有收納容器2之物品移載裝置犯突出 於基板出入部6側，使物品移載裝置38下降移動於較支持收 納容器2之物品支持部32的下方，將收納容器2載置於物品 支持部32後，會使沒有載置收納容器2之空的物品移載裝置 5 38退至堆咼式起重機10側，載置有收納容器2之物品移載裝 置38突出於基板出入部6側時，後部側容器存在與否感應器 29b g全成彳欢測收納谷器2之檢測狀態，使物品移載裝置狀 下降移動於較支持收納容器2之物品支持部％的下方，前部 各3存在與否感應器129a變成檢測收納容器2之檢測狀 1〇怨後，裝置存在與否感應器130會變成檢測收納容器2之檢 測狀態。如此，於前部側與後部侧之兩者的容器存在與否 感應器129變成檢測狀態後，裝置存在與否感應器13〇也變 成檢測狀態後，開關控制機構132會判別成收納容器2已搬 入基板出入部6，控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作 15 成開啟。 且，沒有載置收納容器2之物品移載裝置38退至堆高式 起重機10時，裝置存在與否感應器130將會變成沒有檢測之 非檢測狀態。 又，收納谷2由基板出入部6搬出時，使位於較物品 支持部32下方且沒有載置收納容器2之物品移載裝置犯突 出於基板出入部6侧，使物品移載裝置38上升移動於較物品 支持部32上方取得收納容器2後，載置有收納容器2之物品 移载裳置38退至堆高式起重機1〇側，使位於物品支持部32 下方之物品移載裝置38突出於基板出入部6側時，裝置存在 34 200817256 與否感應器130會變成檢測物品移载裝置犯之檢測狀態，開 關控制機構會判別成收納容器2由基板出入部6被搬出\ 2 控制蓋操作機構125之作動而將蓋65操作成關閉。 且，使物品移載裝置38上升移動於較物品支持部上 5方，裝置存在與否感應器130變成沒有檢測物品移載裝置⑽ 之非檢測狀態後，前部側容器存在與否感應器挪會變成 沒有檢·納容112之非制狀態，魅妹納容器2之物 印移載裝置38退至堆高式起重機10側時，前部側容器存在 與否感應器129b會變成沒有檢測收納容器2之非檢測狀態。 10 [其它實施態樣] 〜 ⑴上述之實施態樣巾，錄蓋形成構件77分別由於橫 側面看形成板狀之板狀體所構成，亦可使多數蓋形成構件 77分別由於橫側面看形成板狀之蓋構件本體與立設於該蓋 構件本體之輔助蓋部分所構成。 15 ~，亦可如第19圖及第2G圖所示，以多數蓋形成構件 77分別之於油面看形成板狀之蓋構件本⑽^前後方 向排列，且於其上方垂直立設輔助蓋構件1〇2之形態，將罢 構件本體UU與輔助蓋構件102 一體形成，於橫側面看形成; 字^此時，如第20⑻圖所示，亦可使蓋形成構件77之輔 20助直構件i 02於關閉狀態時，該蓋形成構件77之蓋構件本體 收與鄰接於上方側之蓋形成構77件之蓋構件本體ι〇ι之間 形成之開口，除了基板i出入用之空間與基板搬送自動機V 之支持部59插拔用之空間之外藉辅助蓋構件1〇2關閉，對廉 支持部59之插拔的部份可使基幻出入且可讓支持部％插 35 200817256
拔而背部較低，未對應支持部59之插拔之部分為僅 板1出入而背部較高，由前面看形成凹凸形狀。 A 又，亦可使多數蓋形成構件77分別以於橫側面看形 板狀之蓋構件本體1G1沿前後方向排列，於其上方及下^垂 直立設輔助蓋構件脱之形態，將蓋構件本體ΗΠ與輔㈣ 構件102-體形成，於橫侧面看形成為十字形。 ⑺上述之實施紐中’多數蓋形成構件”分別由於产 側面看形成板狀之板狀體所構成，亦可使多數蓋形成構^ =別由於橫_相成板狀之蓋構件本體UH與立設於 1〇該蓋構件本體之輔助蓋構件102所構成。 X、 即，亦可如第2i圖及第22圖所示，多數蓋形成構件77 分別由沿著位於蓋用框體78之上端部之橫轴心支持成可旋 轉之蓋本體構件1G3與於蓋隸體78由固定體所支持之蓋 輔助構件104所構成。此時，如第21圖所示，亦可使蓋形: U構件77之輔助蓋構件刚使鄰接之基板出人⑺呈關閉 態而位於鄰接之基板出入口 72之間，且，如第η⑻圖所 不，於開啟狀態時，該蓋輔助構件1〇4與鄰接於上方側之蓋 輔助構件104之間形成之開口係除了基板丨出入用之空間與 基板搬送自動機55之支持部分插拔用之空間之外為關閉， 20對應支持部59之插拔的部份可使基板1出入且可讓支持部 59插拔而背部較低，未對應支持部59之插拔之部分為僅可 使基板1出入而背部較高，由前面看形成凹凸形狀，亦可使 多數蓋形成構件77之蓋本體構件1G3之上端部與鄰接其上 方之蓋形成構件77之蓋輔助構件1Q4之下端部重疊，於關閉 36 200817256 部分且不 狀態時，形成下端部與蓋輔助構件1〇4之背之較高 與为之較低部分重疊之長度。 即，上述實施態樣中，亦可使多數蓋形成構件乃分別 構造成藉位於上端部或下端部之橫軸心可自由旋轉的支 蓋用框體78。 ' 又，亦可使多數蓋形成構件77分別由於上下方向支持 成可自由滑行移動之蓋本體構件與由固定體所支持之菩輔 助構件所構成。此時，例如，於蓋本體構件與蓋輔助ς件 於前後方向重疊之打開狀態時，蓋本體構件與蓋輔助構件 10形成如上述之蓋輔助構件1〇4，由正面看為凹凸形狀使蓋 本體構件與蓋輔助構件之重疊範圍變狹窄而使蓋本體構件 滑行移動而變成關閉狀態。 — 、’〔之灵施態樣中，基板出入用口 76與固持於收納 15 20 容器22之基板1之#數形成補個數，亦可使基板出入用口 76之個數少於固持於收納容器2之基板】之片數，例如，亦 可構造成料Μ之基板球幻錄形成構㈣，丨個基板 出=口可使2片基板2出人，又，亦可構造成將蓋^由打開 = 滑動容器本體66上方側的活動遮板而呈關 ==的 造或丨片之門板，於開啟狀態形成1個 基板出入用口 72，藉兮· 個基板出人口 72使所有之基板！出 入。又，將盖65構造成如上述裝設一片門板時’藉由將門 板於端部中心搖動操作戋 能。 4展卸，而切換開啟狀態與關閉狀 又，上述之實施態樣中 使通氣口 75形成跨越與前述 37 200817256 出入72UA_狀駭的細㈣ 形成上下方向之！來竑縫，i ^ 』』使通氣口 75 形等其他形狀。 亦可形成圓 ⑷上述之第!實施態樣中’操作部8〇 5 10 15 20 下方突出之狀亦可將操作部二 不由夺益本體66之底面部往下方突出之狀態。此、又 於上述之實施態樣中，藉使突起物之 才列如 操作部8GJi推操作。 〜^ ’而可將 又，基板出入部6設有將操作部⑽上推操作用 =基板出人部1 2亦可不裝設將操作糊上推操作用之突起 即，亦可構造成操作侧呈由㈣本體％ :方大大突起之狀態時，蓋形成構件7沿二 向排列，操作部80呈由容器本體66之底面部幾乎= 突出或完全沒有突起之狀態時，蓋形 ，又下方 前後方向排列，如此使操作部8〇與多數蓋形成沿 連動，藉將收納容器2載置夕 7 一起 面㈣錢而…。 入部6之平坦的載置 面藉该載置面上推麵作部。 又“上述第樣中’構造成藉操作部肋上下移動 而切—65成開啟狀態或關閉狀態，亦可構 8於寬Γ㈣滅錢方向移“切換放啟狀態I 關閉狀怨。 38 1 上述之第1實施態樣中，藉由收納容器搬送裝置8 2 上下移動位於基板^部2之收納容仏而操作操作部80 200817256 使盍65切換成開啟狀悲或關閉狀態，亦可構 入•或收納容㈣設操作操作—=於= 容器2載置於載置處後，藉操作機構操作操作部⑽，而將蓋 65切換成開啟狀態或關閉狀態。 又，上述第1實施態樣中，係構造成蓋65可藉自身重量 賦予關閉狀態側恢復勢能，亦可構造成由彈菩等付勢機構 賦予蓋65之關閉狀態側恢復勢能，又，亦可構造成不賦予 蓋65之關閉狀Μ恢復魏’㈣上狀操作機構之 將蓋65切換成關閉狀態。 μ 10 15 20 (6)上述第1實施態樣巾，操作侧與多數蓋形成構件 77藉連結構件79而可連動，亦可使操作部轉乡數蓋形成 構件77藉齒條與齒輪連動。 即，構造成操作部80上形成齒條，蓋形成構件77分別 設有與齒條咬合之齒輪，隨著操作部⑽之升降移動，_ 轉操作咬合於齒條之錄，可切換絲成構件77分別 後方向排列或沿上下方向排列。 ⑺上述之實施態樣巾，風扇财單元64及蓋65裳設成 可相對容&本㈣自由裝卸，亦可將風扇過料㈣及蓋 65之-者或兩者裳設成不可相對容器本體％自由裝卸。風 ⑻上述之實施態樣中，於基板出人獅藉基板搬送裳 置7搬送基板1時’雖使收納細之風扇職單⑽之通風 量增大，於基板出。人部6藉基板搬送_搬送基如時亦 可不使風扇過濾單元64之通風量增大。 即，於收納架5保管時，藉收納容器搬送裝置S搬送時， 39 200817256 及，於基板出入部6藉基板搬送裝置7搬送基板崎，亦可使 收納谷器2之風扇過濾、單元64之通風量維持一定。 口。又’收納容ϋ2之風扇過濾單元64的通風量於藉收納容 器搬送裝置8搬送時較於收納架5保管時增大，亦可使風扇 5過濾單元64的通風量於基板出入部6藉基板搬送装置？搬送 基板時較藉收納容器搬送裝置8搬送時增大，於收納架祕 管時、藉收納容器搬送裝置8搬送時、及於基板出入部6藉 基板搬达裝置7搬送基如時，可改變收納容器2之風扇過渡 單儿64之通風量。即，藉收納容器搬送裝置8搬送時，亦可 10使收納容器2之風扇過渡單元64之通風量增大。又，藉收納 容器搬送裝置8搬送時之通風量亦可與於基板出人部6藉基 板搬送裝置7搬送基板時相同，或較大亦可。 (9) 上述之實施態樣中，收納架5係設置於清潔區域13 之底部（分層底14)上，亦可設置於較底部低之吸氣室16之底 15 部上。 (10) 上述之實施態樣中，清潔區域13之頂部係由空氣 過濾恭形成，清潔區域13之頂部亦可由頂部用風扇過濾單 元形成。 (11) 上述之實施態樣中，容器本體66之兩橫側部為具 20有外面構件98及内面構件99之2層構造，亦可只裝設内面構 件，與上側部或下側部同樣為丨層構造。 (12) 上述之實施態樣中，連結棒80係將連結構件79之 基端部分別以延伸設於沿上下方向排列之蓋形成構件77之 後下方之形態且以可一起旋轉之狀態連結，且以可自由旋 40 200817256 轉之狀態連結連結構件79分別之遊端部，使連結棒8〇位於 蓋形成構件77之旋轉軸心之後方側（容器本體側），亦可使連 結棒80將連結構件79之基端部分別以延伸設於沿上下方向 排列之蓋形成構件77之前下方之形態且以可一起旋轉之狀 5悲連結，且以可自由旋轉之狀態連結連結構件79分別之遊 端部，使連結棒80位於蓋形成構件77之旋轉軸心之前方側 (與谷裔本體存在侧相反之侧）。 (13)上述之實施態樣中，於基板出入部6藉收納容器搬 送裝置8上下移動收納容器2，而操作操作部8〇，使蓋“可 10切換成開啟狀態或關閉狀態，亦可使蓋Μ設有操作操作部 8〇之電動馬達等驅動機構，藉驅動機構操作操作部如，可 將盍65切換成開啟狀態或關閉狀態。 15 (14)上述之實施態樣中，多數蓋形成構件π係構造成 王j體疑轉操作’亦可於蓋65呈開啟狀態時，使一部份 之蓋形成構件77沿讀排列，義之蓋 將 方向排列，使其即使於開啟狀態時，沿上下方向排 軸構件77亦存在，為使排出之淨化空氣的風速更快’羞 夕數盍形成構件77以個別或多數片—組的單位旋轉操作 。即，例如，多數蓋形成構件77構造成以多數片一 早位旋轉操作時，多數蓋形成構件77之上半部之蓋來成 ㈣於m端㈣藉連結構件 連 8〇,多數蓋形柄件77之下半部之# f之連結棒 另-端侧部藉連結構件79連結另—側之物於= 一側之連結棒一上半㈣形輪77沿前後= 20 200817256 列，於收納容器2之上半部進行基板丨之出入，藉操作另一 側之連結棒80使下半部之蓋形成構件77沿前後方向排列， 而於收納容器2之下半部進行基板1之出入。 (15) 上述之實施態樣中，依FFU用突起部刚之檢驗片 5 107的升降移動而變更風扇過濾單元64之通風量，亦可佑宴 用突起部81之連結棒80的升降移動而變更風扇魏單二 之通風量。 即，亦可於盍用框體78裝設檢驗連結棒8〇之升降移動 且將該檢驗信號發送至控制部109之檢驗機構，控制部ι〇9 在蓋65呈開啟狀態而連結棒80呈已上升移動之狀態時，增 大風扇過濾單元64之通風量，在蓋65呈關閉狀態而連結棒 80呈已下降移動之狀態時，減少風扇過濾單元64之通^ 量，依檢驗構件之檢驗資訊控制風扇過濾單元64之作動。 又，由檢驗機構至控制部109之檢驗資訊的發送可採用將蓋 15用框體78側與FFU用框體90側連接成可分離之電線設於容 器本體66透過有線方式進行，亦可於蓋用框體乃裝設發送 機，於FFU用框體9〇裝設接收機透過無線方式進行。 (16) 上述第2實施態樣中，操作部121構造成藉著沿容 器本體之橫側面部之面方向移動而操作蓋65開啟，亦可使 0操作部121構造鋪著與容器本體之橫㈣部之面方向交 又之方向移動而操作蓋65開啟。 上述第2實施態樣中，將操作部設成由容器本體之橫側 面突出於橫側方之狀態，亦可將操作部設成由容器本體之 横側壁66C之前面部突出於前方之狀態，X，上述第2實施 42 200817256 態樣中，將操作部裝設成其前端之被操作部分123a位於較 容器本體66之橫側壁66c之前面部後方之狀態，亦可將操作 部裝設成其前端之被操作部分123a位於較容器本體66之橫 側壁66c之前面部前方之狀態。此時，亦可將操作部121構 5 造成沿上下方向移動而將蓋操作成開啟。 即’亦可將麵作部裝设成由容器本體之橫側面部突出 於棱側方之狀恶且插作部之前端之被操作部分123a位於較 容器本體66之橫側壁66c之前面部前方之狀態，具體來說， 例如，第32圖所示，於操作用旋轉軸77a之由容器本體之橫 10側面部朝橫側方突出之端部上，蓋形成構件以沿上下方向 延設於前面部之狀態連結操作桿123，將操作桿123之被操 作部分裝設成位於較容器本體之橫側壁之前面部前方。 且，如第31圖所示，亦可使蓋操作機構係由具有沿上下方 向滑行移動之移動體之電動滾筒126與設於移動 15之操作用構件127所構成，如第31⑻圖所示，藉由電動滾 筒126將操作用構件往上方移動，操作桿之被操作部分因操 仙構件而被上推，操作桿變成往上方側搖動之開啟狀 態’如第31(A)圖所示，藉由電動滾筒126將操作用構件往 2。被操作部分因自身重量往下方側移動，操作桿 2〇虻成彺下方側搖動之關閉狀態。 又 力村賴作部歧錢”切之橫_部突出 容=狀態且操作部之前端之被操作部分咖位於較 弟圖所不，使操作用旋轉軸77a不由容器本體之橫 43 200817256 側面部突出於橫側方上，於該操作用旋轉軸77aJi，蓋形成 構件以沿上下方向延設於前方侧之狀態連結操作桿Η)，將 操作桿I23之前端之被操作部们Ma裝設成位於較容器本 體66之橫側壁66c之前侧面部之前方的狀態。且，如第3i(b) 5圖所示，亦可藉電動滾筒126使操作用構件向上方側移動， 使操作桿變成往上方侧搖動之開啟狀態，如第3i(a)圖所 不，藉由電動滾筒126將操作用構件127往下方移動，使操 作桿變成往下方側搖動之關閉狀態 又此等之其他貫施態樣中，如第31圖所示，操作桿 0於關閉姿勢時，形成向前下方彎曲之〈字形，如第^圖及 第33圖所不，㈣部121設成鶴作部份12域於蓋65之通 氣口 75之橫側方位置。 又 15 20 ，上述第2實施態樣中，設有操作操作部ΐ2ι之其他 用途的蓋操作機構’亦可構造成利用原本設有之中以匕裝 二 =操作桿’不裝設其他用途蓋操作機㈣操 币川圃尸广不，亦可構造成藉沿著盥容哭太 之交又方向移動而將蓋開啟操作之操作:; “谷益本體之橫側壁之前面部突出於前方之狀態裝設， 稭由推壓操作位於已裝設之中心化裝置之—、又 牛推㈣作料子116)，推壓操作將蓋開啟操作之操作 ，朝舁則側面部之面方向交叉之方 啟操作。 内移動而可將蓋開 又 亦可構造成僅藉作業員 之手動％作而操作操作部 44 200817256 121。又，各實施態樣中，蓋裝設於容器本體之狀態時，蓋 之蓋用框體78亦為容器之一部分，容器本體之橫側壁之前 面部為蓋之蓋用框體之縱框的前面部。 (17)上述第1實施態樣中，亦可將中心化裝置裝設於物品 5 支持部，又，上述第2實施態樣中，亦可將中心化裝置裝設於 物品支持部。 【圖式簡單說明3 第1圖係第1實施態樣之物品處理設備之立體圖。 第2圖係第1實施態樣之基板收納設備之前視圖。 10 第3圖係第1實施態樣之基板收納設備之側視圖。 第4圖係第1實施態樣之顯示淨化空氣通風機構之圖。 第5圖係第1實施態樣之顯示位於物品收納架之第一層 之收納部之圖。 第6圖係第1實施態樣之顯示基板搬送區域之側視圖。 15 第7圖係第1實施態樣之顯示位於物品收納架之第三層 之收納部之圖。 第8圖係第1實施態樣之堆高式起重機之側視圖。 第9圖係第1實施態樣之物品移載裝置之平面圖。 第10圖係第1實施態樣之容器本體之分解立體圖。 20 第11圖係第1實施態樣之收納容器之分解立體圖。 第12圖係第1實施態樣之收納容器之立體圖。 第13圖係第1實施態樣之收納容器之剖面前視圖。 第14(A)、（B)圖係第1實施態樣之顯示蓋之裝卸之側視 圖。 45 200817256 第15(A)、（B)圖係第1實施態樣之顯示風扇過濾單元之 裝卸之側視圖。 第16(A)、（B)圖係第1實施態樣之顯示蓋之關閉狀態與 開啟狀態之側視圖。 5 第17(A)、（B)圖係第1實施態樣之顯示蓋之關閉狀態與 開啟狀態之側視圖。 第18圖係第1實施態樣之顯示風扇過濾單元之控制部 之側視圖。 第19(A)、（B)圖係其他實施態樣（1)之顯示蓋之關閉狀 10 態與開啟狀態之側視圖。 第20(A)、（B)圖係其他實施態樣（1)之顯示蓋之關閉狀 態與開啟狀態之前視圖。 第21(A)、（B)圖係其他實施態樣(2)之顯示蓋之關閉狀 態與開啟狀態之側視圖。 15 第22(A)、（B)圖係其他實施態樣(2)之顯示蓋之關閉狀 態與開啟狀態之前視圖。 第23圖係第2實施態樣之顯示中心化裝置及蓋操作機 構之前視圖。 第24(A)、（B)圖係第2實施態樣之顯示支持操作機構之 20 側視圖。 第25(A)、（B)圖係第2實施態樣之蓋之剖面側視圖。 第26圖係第2實施態樣之顯示蓋操作機構之平面圖。 第27(A)、（B)圖係第2實施態樣之收納容器之搬出搬入 時之作用圖。 46 200817256 第28(A)、（B)圖係第2實施態樣之收納容器之搬出搬入 時之作用圖。 第29圖係第2實施態樣之控制方塊圖。 第30(A)、（B)圖係其他實施態樣（16)之顯示支持操作機 5 構之側視圖。 第31(A)、（B)圖係其他實施態樣（16)之蓋之剖面側視 圖。 第32圖係其他實施態樣（16)之顯示蓋操作機構之橫斷 平面圖。 10 第33圖係其他實施態樣（16)之顯示蓋操作機構之橫斷 平面圖。 【主要元件符號說明】 1…勤反 12...環繞移動搬送車 2...收納容器 13…清潔區域 3...基板處理裝置 14···分層底 4...收納部 15…空氣過濾器 5...收納架 16...吸氣室 6···基板出入部 17...腔室 7…基板搬送裝置 18."iUiL機 8...收納容器搬送裝置 19…循環路 9...出入庫部 20…取入外氣通路 10. .·堆南式起重機 21...前過濾器 11…來回移動搬送車 22…排氣通路 47 200817256 23…淨化空氣通風機構 50···旋轉台 24…基板搬送區域 51…載置部 25...搬送區域用淨化空氣通風機 52··.連結機構 54…基板搬送輸送帶 55…基板搬送自動機 56.. .移動台車 57···升降部 58…連結機構 59…叉子狀支持部 64…風扇過濾單元 65···蓋 66…容器本體 66a...上壁 66b...底壁 66c...兩橫側壁 67···支持體 68…栓構件 69.. .本體架 70.. .非接觸供電裝置 70a...受電部 70b...供電部 構 26.. .區隔壁 27…區域用風扇過濾單元 31···支柱 32…載置支持部 34.. .移動執道 35.. .移動台車 36···升降桅杆 37.. .升降台 38.. .叉子式物品移載裝置 39.. .移動車輪 40.. .移動用馬達 41…上部框架 45…升降用鏈 46.. .指引扣鏈齒輪 47…平衡錘 48.. .驅動扣鏈齒輪 49.. .升降用馬達 48 200817256 71.. .電池 72·.·出入口 75.. .通氣口 76…基^反出入用口 77…蓋形成構件 77a...操作用旋轉軸 78.. .蓋用框體 78a...被卡合溝 79…連結構件 80.. .連結棒 81…蓋用突起部 82.. .收納用支持部 83.. .搬送用支持部 84…活動遮板 85…手推台車 86.. .容器洗淨裝置 88.. .FFU用卡合構件 89.. .FFXJ用卡合支持板 90.. .FFU 框體 90a…被卡合溝 93.. .—端側矩形框 94…另一端側矩形框 95···角框材 96…連結框材 97…外面構件 98.. .内面構件 99.. .蓋用卡合構件 100…蓋用卡合支持板 101…蓋構件本體 102…輔助蓋構件 103…蓋本體構件 104…蓋輔助構件 106.. .FFU用突起部 107…檢驗片 108.. .彳倉驗開關 109.. .控制部 111.. .中心化裝置 112…支持操作機構 113.. .基台 114.. .搖動體 115.. .支持用滾子 116.. .推壓操作用滾子 49 200817256 117.. .搖動規範用滾子 121.. .操作部 122…棒狀體 123···操作桿 123a...被操作部分 124…規範構件 125…蓋操作機構 126.. .電動滾筒 126a...移動體 127…操作用構件 129···容器存在與否感應器 129a.··前部側容器存在與否感應 器 129b···後部側容器存在與否感應 器 130…裝置存在感應器 132...物品支持部 A··.基板收納設備 B··.處理程序設備 H·.·控制機構 P1···軸心 50