200814224 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本毛明係有關-種用以將例如半導體晶 顯示器用玻璃板等之μ十板面板 及基板搬送方法。 k衣置 曰所申請之曰本專利 ’在此援用其内容。 本申請案係主張2006年9月11 申請案特願2006-245829號之優先權 【先前技術】 於製造半導體裝置之工廢，及製造液晶裝置、咖、虹 裝置等之平板面板顯示器之工薇等所設置之基板搬送裝 置’係搬送半導體晶圓及玻璃板等之基板，並使用承载哭 及機器人臂等，在薄膜形成裝置、偏彳裝置、試驗裝^ 各種處理裝置與搬送路徑之間進行基板之交接。在如上述 之搬k衣置中’基板係—般以收容在可收容複數張基板之 匣具之狀悲被搬送（參照專利文獻丨）。 近年來，伴隨液晶電視等之平板面板顯示器之大晝面 化基板亦大型化。因此，用以收容基板之匿具等亦大型 化、重量化，而使搬送速度下降，藉此招致例如未完成品 庫存之增大等，使有效率的搬送變得困難。 口此將基板一張一張地高速搬送之單片式搬送受到矚目 (參照專利文獻1)。 (專利文獻1)日本特開平9—58844號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 318994 5 200814224 ^ 然而，比起藉由匣具搬送之情況，將基板單片式搬送 之情況下所搬送之個數會增加。因此，為了謀求與以往同 . 等或其以上之處理速度，係必須更加將基板高速搬送。 . 尤其，在主輸送帶及與該主輸送帶水平分歧之分歧輸 、 送帶之間之基板的交接速度，係在謀求基板之搬送速度上 ^ 非常地重要。因此，期望有提高在主輸送帶與分歧輸送帶 之間之基板的交接速度之技術。 又，在將玻璃板早片式搬送之基板搬送裝置中^在主 輸送帶與分歧輸送帶之間，會有須在未改變相對於行進方 向之朝向之狀態下交接基板之情況。 在將基板收容於匣具來進行搬送之習知基板搬送裝置 中，例如在未改變相對於行進方向之朝向之狀態下，將基 板自主輸送帶交接至分歧輸送帶時，係將搬送於主輸送帶 上之匣具之搬送暫時停止，而在使匣具轉動後交接至分歧 輸送帶。 厂 然而，於將基板單片式搬送之基板搬送裝置中，以同 樣的方法，進行基板之交接時，由於必須進行停止基板搬 送之步驟與將停止後之基板交接至分歧輸送帶之步驟，而 會花費時間在主輸送帶與分歧輸送帶間之基板交接上。 (用以解決課題之手段） 本發明係有鑑於上述問題點而研創者，其目的在於在 未改變基板之行進方向之狀態下，在主輸送帶與分歧輸送 帶之間交接基板時，提高在主輸送帶與分歧輸送帶間之基 板交接速度。 6 318994 200814224 為達成上述目的，本發明之基板搬送I置，係具備： ==帶嫌係對基板進行單片式搬送；分歧輸送帶，係自 變地分歧；以及基板交接部’係在維持（未改 板水平轉動“一反面=丁進方向之朝向之狀態下一面使該基 送嫌將該餘自魅輸送帶交接至該分歧輸 ‘π二或自該分歧輸送帶交接至該主輪送帶。 帶或基板搬㈣置’在自上述主輸送帶對分歧輸送 二述分歧輸送帶對主輪送帶騎基板之交接時，藉 =父接部，可在維持（不變化）相對於基板之行進方向 ^月向的狀態下將基板—面水平轉動—面進行基板之交 擇0 且、、本各月之基板搬送i置，該基板交接部係可採用 動下述構件之構成：頭部’係用以固持該基板外緣；驅 口’糸以預定之轉動轴為中心使該頭部水平轉動；以及 動=。’係將-端連接於該頭部，並且將另一端連接於該驅 又’本發明之基板搬送裝置，係可採用具備在由該美 =父接部進行該基板之交接之期間，將該基板^ 支持之支持部之構成。 丁 =本發明之基板搬送裝置中，上述支持部係可採用 塗縮空氣使該基板浮起並予以支持之構成。 接著，本發明之基板搬送方法，係藉由主輸送帶對基 =仃单片式搬送’且在維持相對於該基板之行進方向^ 。之狀態下，一面使該主輸送帶上之該基板水平轉動， 318994 7 200814224 - 一面將該基板自該主輸送帶交接至水平分歧的分歧輸送 帶。 ^ 藉由該基板搬送方法，可在未改變相對於基板之行進 方向之朝向之狀態下，一面將基板水平轉動一面將基板自 - 主輸送帶交接至分歧輸送帶。 ， 接著，本發明之基板搬送方法，係藉由從主輸送帶水 平分歧的分歧輸送帶搬送基板，且在維持相對於該基板之 行進方向之朝向之狀態下，一面使該分歧輸送帶上之該基 板水平轉動，一面將該基板交接至該主輸送帶。 藉由該基板搬送方法，在未改變相對基板之行進方向 之朝向之狀態下，可一面將基板水平轉動一面將基板自分 歧輸送帶交接至主輸送帶。 (發明之效果） 藉由本發明，在維持相對於基板之行進方向之朝向（未 改變）之狀態下，一面將基板水平轉動，一面將基板自主輸 、送帶交接至分歧輸送帶、或自分歧輸送帶交接至主輸送 帶。因此，在主輸送帶或分歧輸送帶上，不須使基板停止 而能高速進行基板之交接。 因而，藉由本發明，無須改變基板之行進方向而在主 輸送帶與分歧輸送帶之間交接基板時，能提高在主輸送帶 與分歧輸送帶間之基板之交接速度。 【實施方式】 以下，參照圖式說明本發明基板搬送裝置及基板搬送 方法之一實施形態。此外，於以下之圖式，為了使各構件 8 318994 200814224 -作為可辨識之大小，而適當變更各構件之比例尺寸。 (第1實施形態） • 第1圖係顯示本第1實施形態之基板搬送裝置丨之一 .意圖。 $ 、，基板搬运裝置1係於製造液晶裝置、PDP及el裝置等 ’之平板面板顯示器之工廠，將玻璃板P 一張一張進行單片 式搬送之裝置，係具備：主輸送帶1〇;複數個分歧輪送帶 f 20’係相對於主輪送帶10於水平面内分歧；板交接部40， 係在主輸送帶1〇與分歧輸送帶20之間進行玻璃板p的交 接；以及未圖示之控制部等，係統括地控制該等。 主輸送帶10係為將玻璃板P水平載置，並且於沿其表 面之方向以固定速度進行搬送之裝置，係由：浮起單元12 (支持σρ )，藉由空軋使玻璃板p浮起而以非接觸的方式予 以支持；以及輸送帶部15等所構成（參照第2圖及第3 圖）。如上所示，於本實施形態中，本發明之支持部的功能 ν係被組入於主輸送帶1 〇之一部分。 主輪送帶10係以大致直線狀配置在工廠之洗淨室内 ♦也板面又，在主輸送帶10之複數部位，相對於主輸送 ▼ 以大致正交且水平地連接有分歧輸送帶2〇之一端。 分歧輸送帶20係與主輸送帶1〇同樣地，為將玻璃板 ρ水士平載置，並且於沿其纟面之方向以固定速度進行搬送 之裝置，係由空氣浮起單元12(支持部）、及輪送帶部15 等構成（參照第2圖及第3圖）。如上所示，於本實施形態 中，本發明之支持部的功能係亦組入於分歧輸送帶2〇之一 318994 9 200814224 部分。 在分歧輸送帶2G之另—端側，係配置/連接有薄膜形 置5、㈣裝置6及試驗裝置7等各種處理裝置。在 ::形成農置5、钱刻裝置6及試驗裝置7等各種處理裝 置中’分別平行配置有兩個分歧輸送帶2〇。 例如，連接於薄膜形成裝置5之分歧輸送冑21、22(分 ，輸送帶⑻之中’分歧輸送帶21係用以將玻璃板p搬入 溥膜形，裝置5之輪送帶，而分歧輸送帶22係用以將玻璃 板P自薄膜形成裝置5搬出之輸送帶。 同樣地，分歧輸送帶23、25(分歧輸送帶2〇)係用以將 玻璃板P搬入㈣裝置6、試驗裝置7之輸送帶，而分歧 輸运帶24、26(分歧輸送帶）係用以將玻璃板p自#刻裝置 6、試驗裝置7搬出之輸送帶。 此外，將玻璃板P搬入各種處理裝置之分歧輪送帶
21、 23、25，係相對於自各種處理裝置將玻璃板p搬出之 分歧輸，帶22、24、26而配置在主輸送帶1{)之上游側。 板交接部40係相對於將玻璃板p搬入各處理裴置之八 歧輸送帶21、23、25而分別設在主輸送帶1〇之^游側: 以及相對於自各處理裝置將玻璃板P搬出之分歧輪送帶 22、 24、26而分別設在主輸送帶1 〇之下游側。 、 該等板交接部40係在未改變相對於玻璃板p之行進方 向之朝向之狀態下，一面使玻璃板P水平轉動一面Z坡= 板P自主輸送帶1〇交接至分歧輸送帶2〇或自分〜嫌 20交接至主輸送帶1〇。 ^ ^ ^ 318994 10 200814224 第2圖係顯示主輸送帶ι〇之詳細構造的圖。 主輸送帶10係如上述所示，藉由空氣使玻璃板？浮 二：ΐ搬？於水平方向之一方向之裝置’其係具備複數 二氣序起單元12與輸送帶部15等。 空氣浮起單幻2係具備平面狀的上表面之構件，在該 縮二載置*面），係以大致均等的配置密度形成有喷出壓 ^ 魏個流體噴出孔13。空氣浮起單元12係形成 输矩形狀，且其長邊方向設成與玻璃板P之搬送方向 致。又’空氣浮起單元12之短邊方向(寬度方 為比破璃板P之寬度方向（與搬送方向正交之方向）稍=成 廉至：二由自未圖示之壓縮空氣供應裝置將壓縮空氣供 出：：：1:’形成為I縮空氣自各流體喷出孔13 氣，使η嘯由自各流體喷出孔13喷出之墨縮空 空氣洋起單元12上之玻璃板Ρ浮起，而形成 為可用非接觸的方式進行支持。 個帶部15係具備複數個滾輪16、及安裝在該複數 隔設有 輸，帶部15係沿玻璃板P之搬送方向而配置在空氣浮 俜鱼2 Φ兩側。又’一對輸送帶部15之配置間隔（距離） 係與玻璃板P之寬度方向大致相同。 則 面輸送帶部15之各滾輪16上端係配置成位在同一水平 ’猎此設在帶Π表面之突起18配置成位在比空氣浮起 318994 11 ,200814224 置於工乳汙起早兀〗2上之玻璃柘士 •方向之兩端側）。 之下表面的外緣（寬度 輸送帶部15之各滾輪16係形成為藉由 子早7G 12將玻璃板Ρ以非接觸的方式予以支持，並且 耩由輸送帶部^沿空氣浮起單元12來進行搬送。 又’輪送帶部15係葬由4闰- > 於上下方向移動。未圖不之升降裝置，構成為可 藉由升降裝置使輸送帶部15上㈣，係 1:Γ!氣浮起單元12上表面猶微上方。此時，‘ π 4 15之犬起18係抵接在玻璃板 玻璃板Ρ。 Μ之下表面’而能搬送 另一方面，使輸送帶部15下降時，係形成各突 洋起單元12上表面下方。此時，輪送帶部15(各 -起18)係與玻璃板？分開，而玻璃板ρ係成為在」各 12上完全以非接觸的方式被支持之狀態。因 要杨外力於玻璃板p’玻璃板P係會在空氣浮起單：、 12上以停止之狀態被保持。 f起早το 又，主輸送帶10係複數連接空氣浮起單元Μ盥 帶部15而構成。亦即’各空氣浮起單幻輸送;『 為互相接近，而朝水平方向並列配置。此時，久5 單元12之上表面（载置面）係調整為位在同—水VJ"。洋起 又’分歧輸送帶20亦藉由主輸送帶1〇所具備之空氣 318994 12 200814224 • 浮起單元12盥铪送册士 /、翰运f部15構成。此外，A # 本實施形態中，分歧浐 σ弟1圖所示， 19 a、 歧輸迗帶20係藉由單一的*气一” 12、與包挾該空氣浮 工虱净起單元 ^ y 起早凡12而配置之兩個輪徉册士 -所構成，但亦可進一 汩翰迗帶部π …册士 步地猎由複數個空氣浮起罡一 1 运τ部15而構成。 早70 12及輸 第3圖係顯示主輪送帶1〇與分歧輪送 分的構造的圖。 V 20之分歧部 如弟3圖所示，在φ於册 2i之上游側，係設有板交接部40。 支輪运τ 板交接部40係具備臂部41 部）。 ^及馬達43(驅動 臂部41係—端連接於頭部42而 接，且設成水平。 鳊兵馬達43相連 頭部42係構成為可固持玻璃^之 言係可固持玻璃板P之寬度方向的一邊附近。=體， 板P側面予以吸附保持來固持玻璃板？亦可^夺玻掏 玻璃板P上面與下面來固持玻璃板p亦可。3猎由挾持 馬達43係以垂直的轉動軸u中心將頭部水 轉動者，且透過臂部41將頭部42轉動 人十地 方向(以及反箭頭方向)。 、乐3圖所示箭頭 又，藉由具有如上述構成之板交接 a u ’將主;矣：¾ 1 0上之玻璃板P，在相對於玻璃板p之行進方向 、 向之狀態下一面轉動一面交接至分歧輸送帶2〇°。改文朝 此外，設在主輸送帶10之相對分歧輪送帶23、託上 318994 13 200814224 。游侧之板交接部40亦具有同樣之構造，係將主輪送* 上之玻璃板P，在相對於玻璃板P之行進方向而未^ 向之狀態下一面轉動一面交接至分歧輪送帶2〇。 . X，設在主輸送帶10之相對於分歧輪送帶22、24、 -26之下游側的板交接部40,亦具有與第3圖所示板 40同樣之構造，但係在將分歧輪送帶2〇上之玻璃板"目。 對於玻璃板P之行進方向未改變朝向之狀態下一面轉動— …面父接至主輸送帶10之點，與第3圖所示板交接部 同。 接著，說明基板搬送裝置1之動作（基板搬送方法）。 簽照第4A圖至第4D圖，說明將搬送於主輸送帶10 反3ΡΓ至/歧輸送帶2°之情況(相對於分歧輸 之動作）。 ❿叹在主輪送帶1◦上游側之板交接部40 單元送帶1〇及分歧輪送帶20之各空氣浮起 氣。又，驅而自各流體喷出孔13喷出壓縮空 ^ 又驅動輪运帶部】R々、士 度旋轉。此時，藉由未圖-各浪輪16以固定的旋轉速 上升。 ㈢ ㈤不之升降裝置先使各輸送帶部15 然後，於主輪送帶10 張地載置，㈣麵板ρ 貞彳’#由將玻魏p一張 又，如第从圖所示片式搬送。 動至板交接部40之頭邻^主輪送帶10上之玻璃板P移 之頭部42即移動到八、+可到達的位置時，板交接部40 刀4輪送帶20之一端為止，而固持主 318994 14 200814224 •:=之:璃板？的外緣。之後，主輸送帶及分 =輸运⑽之輸送帶部15係藉由未圖示降 ，降。此時，玻璃板P係藉由自：衣置而下 .愉13所喷出之屢縮空氣而浮 =…之各流雜 42二圖及第扣圖所示，固持玻璃板P之頭部 =猎由馬達43而透過臂部心水平面内轉動，從而將 玻二fpP從主輸送帶1G上搬送至分歧輸送帶20上。此時， :二板P之行進方向係從主輪送帶1〇之行進方向變化為八 =送”、23、25之行進方向，但由於破璃 動刀， 故取雨端相對於玻璃板P之行進方向係未改變。轉動 亦即，藉由本實施形態之基板搬送裝置】， 上之破璃板P係在相對於破璃板之 ^ f 變之::下本:面水平轉動-面被交接二= 送帶部15之：方7:Π=:為無法移動於與輸 P與輪送帶部15相摩擦，最好在 离板 際，趑於、、/嫌* # u行敬喁扳P之外緣之 與輪送^_止。然而，在可使 殖4 不會摩擦之情況（例如，能在頭部42固拉由 15=同:將輸送帶部15下降之情況;能先將‘ 卜之後，再以頭部42固持玻璃板Ρ之情 能移動於盥鈐3册Μ , r 丨月/凡’及頭部 :勤於兵輪⑭部15之旋轉方向相同的方 、，亚不一定須在固持玻璃板P外緣之際，將 b之驅動停止。 將輪迗帶部 又，如第4D圖所*，當玻璃板p被搬送至分歧輪送帶 318994 15 200814224 • 20^L時，主輪送帶1〇及分歧輸送帶2〇之輸送帶部u係 再次藉由未圖示之升降裝置而上升。之後，板交接部4〇、 之1邛42將破璃板p之固持解除，藉此破璃板p係藉由分 ；歧輸送帶2〇而被搬送於離開主輸送帶1〇之方向。 刀 此外，於本實施形態，解除玻璃板P由頭部42所進行 之固持時，亦與固持上述之玻璃板p外緣時同樣地，為 止玻璃板P與輪送帶部15之摩擦，最好將輸送帶部i 驅動停止。 f外，玻璃板P係藉由分歧輸送帶2〇加以搬送， 接至溥膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗 理裝置。 ^ J匕：：^至各處理裝置(薄膜形成裝置5、蝕刻裝置 6及试驗裝置7等）之玻璃拓p 在 之卢μ椒山 坡离板ρ’係於各處理裝置施以預定 之處理後，搬出至各處理裝置之外部。 ±认接ΐ ’ t照第5Α圖至第5D圖，說明將玻璃板ρ自八 歧輸送帶20交接至主輪送帶刀 ?? 9C 士珣、可10之情況（相對於分歧輸送帶 22、24、26而設在主輪送；^1n ^ 作）。 勒迗，10下游側之板交接部40之動 將玻璃板P自分歧輪逆黑9 n 作，係使將玻璃板P自=二:接至主輸送帶之動 之動作大致反轉者。10交接至分歧輸送帶加 首先，對主輸送帶10及八 單元12供應壓縮空氣，自夂产雕20之各空氣洋起 又，驅動輸送帶部15，使贺出孔13喷出壓縮空氣。 〇滾輪16以固定的旋轉速度旋 318994 16 200814224 轉㈣之升降裝置先使各料帶部15上升。 接者，將玻璃板P自薄膜形成裝置5、_ ㈣ 試驗裝置7等各種處理U交接至分歧輸、 =分歧輸送帶為以搬送，而移動到 板 可到達之位置為止。又，如第5A圖所示，板交 =40之頭部42固持分歧輸送帶2〇上之玻璃板p外緣。 /主輸达帶10及分歧輸送帶2〇之輸送帶部15係藉由 未圖不之升降裝置下降。此時，玻璃板P係藉由自各空氣 12之各流體喷出孔13所喷出之壓縮空氣 支持。 二後’如第5B圖、第5C圖及第5D圖所示，固持玻璃 板P =頭部42藉由馬達43而透過臂部41於水平面内轉 動，藉此將玻璃板P自分歧輸送帶2〇上搬送至主輸送^ 1〇上。此時，玻璃板P之行進方向係自分歧輸送帶22、24、 26之行進方向變化為主輪送帶1〇之行進方向，但由於玻 ^璃板會轉動，故最前端相對於玻璃板P之行進方向係未改 變0 亦即，藉由本實施形態之基板搬送裝置1，可將分歧 輸送帶20上之玻璃板p在相對於玻璃板p之行進方向的朝 向未改變之狀態下一面水平轉動一面交接至主輸送帶1〇。 如以上說明所示，本實施形態之基板搬送裝置丨係具 備：主輪送帶1〇，係將玻璃板P進行單片式搬送；分歧輸 送帶20 ’係相對於主輸送帶ι〇而水平分歧；以及板交接 部40’係使玻璃板p在相對於玻璃板p之行進方向之朝向 318994 17 200814224 未改變之狀態下，一面轉動一面從主輸送帶1〇被交接至分 歧輸送τ 20或從分歧輸送帶2〇被交接至主輸送帶1〇。 …根據如上述之本實施形態之基板搬送裝置丨及基板搬 运方法，可使玻璃板p在相對於玻璃板p之行進方向之朝 向未改變之狀態下，一面轉動一面從主輪送帶ι〇被交接至 刀歧輸运v 20或從分歧輸送帶2〇被交接至主輸送帶。 因此，無須為了配合相對於玻璃板p之行進方向之朝向， 主輪送Y 10或分歧輸送帶2Q上使玻璃板p停止，而 能高速進行玻璃板p之交接。 因而，根據本實施形態之基板搬送裝置丨及基板 ? 土 弘 一ι_ . — 七 -------—且1久签败搬i 方法，於未改變麵板p之行進方向而在主輸送帶ι〇~ f輸送帶2G之間交接玻璃板P時，能提高在主輸送帶Π 與分歧輸送帶2〇間之玻璃板P之交接速度。 又，於本實施形態之基板搬送裝置丨中，係 电 喷出壓縮空氣之各空氣淳起輩开1? 、用用 浐详* 1ηώ v 虱子起早兀12,以自下方支持住在主 罕則达⑼與分歧輪送帶2G之間進行交接之玻璃板p。 如上述，藉由於交接之際將玻璃板p自下 抑制玻璃板p彎曲。 、 又，藉由使用壓縮空氣將玻璃板P浮起 P係在相等於盔摩柝 、玻离才1 …、tr、阻抗之狀怨下，於主輸送帶1 〇盥八, 輸送帶20之間進行交接。因此μ吏交接速产：二广:刀^ 不會因施加衝擊而損傷玻璃板?。接一化時“ (弟2實施形態） 从兒月本發明第2實施形態。其中，於本第2實 318994 18 200814224 施形態之t兒明’與上述f i實施形態同#之部分係省略其 說明或簡略化。 第6圖係顯示在本實施形態基板搬送 1〇與分歧輸送㈣之分歧部分之構造的圖。如第 不，於本實施形態，主輸送帶10及分歧輸送帶21係取代 上域第1實施形態之空氣浮起單$ 12，而具備複數排列有 球狀自+由滚輪300(支持部）之自由滾輪單元2⑽而構成。 藉由/、有如上述構成之本實施形態基板搬送裝置，在 主輸送帶10與分歧輸送帶2G之間進行玻璃板p之交接 時’玻璃板P係藉由球狀自由滾輪3〇〇自下方予以支持。 因而，藉由本實施形態基板搬送裝置，亦與上述
實施形態基板搬送梦罟彳ρη H 、、， 衣置1㈣地，在主輸送帶10與分歧輸 n之間進行玻璃板？之交接時，能抑制玻璃板P之彎 ΐΛ η 勺 4入此外，於上述實施形態所示之各構成構件之諸形狀及 或動作順序等係為一例，且於未脫離本發明主旨之 耗圍而根據設計要求等能作各種變更。 送-2列二’於上述實施形態’說明了主輸送帶1〇與分歧輸 配置成直角之構造。'然而，本發明並未限定於此， ==用於主輸送帶10與分歧輸送帶2〇以不同角度配 图-夕4於上述實施形態，係構成為使輸送帶部15藉由未 271間交I裳置下降，從而在主輸送帶1〇與分歧輪送帶 乂破璃板Ρ時，能防止破璃板ρ與輸送帶部Μ 318994 19 200814224 然！’本發明並非限定於此，取代輪送帶部15 岭、空綺起早7012之上升來防止玻璃板P 帶？5之接觸亦可。此時，交接側之輸送帶的空氣 2=之上面，係位在與上升後之空氣浮起單元上面 成為相同面的位置。 主於上述實施形態，雖說明將破璃板？單片式予以搬送 之炀況，但並未限於此。例如，為半 構件亦可。 . ¥體曰曰04之缚板狀 於上述實施形態，雖說明在分歧輸送帶20之另一端 :則配置/連接薄膜形成裝置5、則裝置6及試驗裝置7 等各種處理褒置之情況，但並未限於此。在分歧輸送帶20 之下游側(另一端侧)’進-步連接有分歧輸送帶20之情況 亦可。 ^又，除了薄膜形成裝置5、蝕刻裝置6及試驗裝置7 f各種處理裝置之外’配置有將玻璃板？等之基板複數暫 \ ¥保存之儲存庫（st〇cker)亦可。 於上述實施形態，雖說明在薄膜形成裝置5、蝕刻裝 置6及試驗裝置7等各種處理裝置，配置將玻璃板p搬入 之分歧輪送帶21、23、25與將玻璃板p搬出之分歧輸送帶 22 24、26之情況，但並未限於此。為一個分歧輸送帶 進行將玻璃板p搬入/搬出之情況亦可。 又，於上述第1實施形態，雖說明使用壓縮空氣將玻 璃板P予以浮起支持之情況，但並未限於此。例如，藉由 將傳播於空間之振動波賦予於玻璃板P而將玻璃板p浮起 318994 20 200814224 支持亦可。 [產業上的可利用性] A二發=板搬送裝置及基板搬送方法，係在未改變 態下’在主輸送帶與分歧輪送帶之間 帶間之基板交接速度 “在主輪送帶與分歧輸送 【圖式簡單說明】 示意：1圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之 f2圖係顯示主輸送帶之詳細構造的圖式。 ^ 係顯示與分歧輪送帶之板交接 構造的圖式。 又I刀心 第4A圖係顯示本發明第i實施形態 動作(將玻璃板自主輸逆㈣“八+认 〜衣置之 ^ 王％迗▼引入至分歧輸送帶時）的圖式。 弟4B圖係顯示本發明第j實施形態之基板搬送裝置之 動作:將玻璃板：主輸送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。 第圖係’員示本發明第1實施形態之基板搬送裝置之 動作(將玻璃板自主輪送帶引入至分歧輸送帶時)的圖式。 第4D圖係顯示本發明第1實施形態之基板搬送袭置之 動作（將玻璃板自讀送帶引人至分歧輸送帶時）的圖式。 第5A圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置 之動作（將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時）的圖 式。 第5B圖係顯示基本發明第1實施形態之基板搬送裝置 318994 21 200814224 1之動作（將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時）的圖 式。 第5C圖係顯示基本發明第丨實施形態之基板搬送裝置 1之動作（將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輪送帶時）的圖 式0 第5D圖係顯示基本發明第丨實施形態之基板搬送裝置 1之動作（將玻璃板自分歧輸送帶交接至主輸送帶時）的圖 式。 昂6圖係顯示在本發明第2實施形態之基板搬送裝置 分歧輪送帶之板交接部的分歧部分之構造的圖式。 L主要元件符號說明】 1
5 基板搬送裝置 蝕刻裝置 7 主輸送帶 12 流體噴出孔 15 滾輪 17 突起 、22 、 23 、 24 、 25、26 板交接部 41 頭部 43 自由滚輪單元 300 轉動車由 P
10 13 16 18 20、 40 42 200 L 薄膜形成裝置 試驗裝置 空氣浮起單元 輸送帶部 皮帶 分歧輸送帶 臂部 馬達 球狀自由滾輪 玻璃板 318994 22