1307675 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關一種基板搬運裝置，特別是有關在使用 輸送機和移載手來積層基板而收納自如的匣與對基板施以 處理的製程裝置之間搬運基板。 【先前技術】 以往，於積層電漿顯示面板等所使用的玻璃基板而收 納的匣方面，據知有從被載置在載置台之特定位置的匣， 使用移載手（於前述匣內插入移載手）一片片取出存在於 前述匣之任意位置的玻璃基板，將該取出的玻璃基板換成 載置在滾子輸送機，投入到對前述玻璃基板施行印刷等之 處理的製程裝置之構成的基板搬運裝置（例如參照日本特 開 2002 — 1 6703 9 號公報）。 可是，前述以往的基板搬運裝置中，使用移載手從匣 取出玻璃基板之際，在玻璃基板之間插入移載手，該插入 後使前述移載手對前述玻璃基板（匣）相對性地上昇而僅 提起屬於搬送對象的玻璃基板，從支撐前述玻璃基板的前 述匣的支撐部反向離開前述玻璃基板而將前述基板載置在 前述移載手，該載置後，將前述移載手移動到前述匣之外 ，從前述匣取出玻璃基板。 因而，需要爲了將前述移載手插入到玻璃基板之間並 且稍微提起屬於搬送對象的玻璃基板的空間，積層在匣內 的各玻璃基板之間的上下方向的間隔須要某種程度，就會 -4- (2) 1307675 有積層在匣內的各玻璃基板之上下方向的間距很大的 ，還會有玻璃基板之收納片數減少，匣之玻璃基板的 效率降低的問題。 再者，玻璃基板大型化從移載手伸出的部分變大 ，應從匣搬出玻璃基板，稍微提起時，前述玻璃基板 曲（從前述移載手伸出並且與前述匣之支撐部接觸的 的撓曲）變大，會使前述玻璃基板朝前述匣之前述支 背離的緣故須更進一步提起，因此前述問題更爲明顯 另一方面，前述習知之基板搬運裝置中，使用滾 送機將玻璃基板搬入至製程裝置，但在製程裝置側中 求利用移載手之移載的情形具多。即，例如，對基板 處理的製程裝置的部位，利用蓋板與外部隔離，搬入 基板時，必須打開開閉自如的前述蓋板的一部份，來 前述基板，因此會有所謂難以藉由滾子輸送機朝製程 搬入玻璃基板之情形的缺點。 爲了彌補前述缺點，如果在前述滾子輸送機與前 程裝置之間，設置多關節機械手臂等，會有基板搬運 之構成變複雜，並且基板搬運裝置之設置面積變寬的 〇 再者，前述問題就算是使用玻璃以外的材質所構 基板也會發生同樣的問題。 本發明係爲有鑑於前述問題的發明，係針對在自 納基板的匣與對基板施行處理的製程裝置之間搬送基 基板搬運裝置，其目的在於提供一種能提高前述匣之 情形 收納 的話 的撓 部位 撐部 〇 子輸 ，要 施行 前述 搬入 裝置 述製 裝置 問題 成的 如收 板的 基板 (3) 1307675 的收納效率’構成簡單，並且可縮小設置面積的基板搬運 裝置。 【發明內容】 依據本發明之第1狀態的發明，係具有：能從形成水 平而多段收納基板的匣朝水平方向移動而搬出前述基板， 或是能朝水平方向移動而往前述匣搬入前述基板的匣側輸 _ 送機；和能將前述基板朝水平方向移動，而往對著前述基 板施行加工的製程裝置供給，或是能將前述基板朝水平方 向移動而從前述製程裝置搬出的製程側移載手；和能在前 述匣側輸送機與前述製程側移載手之間遞交前述基板的基 板遞交手段；前述匣側輸送機、前述製程側移載手以及前 述基板遞交手段，係藉由僅平行移動，來移動前述基板地 被構成的基扳搬運裝置。 若藉由依據第1狀態的發明，使用匣側輸送機從匣搬 Φ 出基板或是將基板搬入至匣，因此在該搬出搬入之際不必 將基板朝上下方向移動，且不必將移載手插入至基板之間 ，因此，可縮小被積層在導線匣內的各基板間的間隔（上 下方向的間隔），就能提高前述匣之基板的收納效率。 更因使用製程側移載手將基板搬入至製程裝置或是從 製程裝置搬出基板，能回應製程裝置側的要求，不必在前 述製程裝置另外設置多關節機械手臂等，因此能將基板搬 運裝置的構成簡化，並且可縮小設置面積。 又，藉由匣側輸送機、製程側移載手以及前述基板遞 -6 - 1307675 » « (4) 父手段之基板.的移動’只是隨著改變基板之姿勢的旋轉移 動的平行移動來進彳了’因此不需要有爲了使基板旋轉（回 旋）的空間，就能縮小基板搬運裝置的設置面積。 依據本發明之第2狀態的發明，係具有：能從形成水 平而多段收納基板的厘’保持前述基板的端面或是端面附 近且朝水平方向移動而搬出前述基板，或是能保持前述基 板的端面或是端面附近且朝水平方向移動而往前述匣搬入 g 前述基板的匣側移載手、和能將前述基板朝水平方向移動 ，而往對著前述基板施行加工的製程裝置供給，或是能將 前述基板朝水平方向移動而從前述製程裝置搬出的製程側 移載手、和能在前述匣側移載手與前述製程側移載手之間 遞交前述基板的基板遞交手段；前述匣側移載手、前述製 程側移載手以及前述基板遞交手段，係藉由僅平行移動， 來移動前述基板地被構成基板搬運裝置。 若藉由第2狀態的發明，使用匣側移載手從匣搬出基 φ 板或是將基板搬入至匣，在該搬出搬入之際不必將基板朝 上下方向移動，因此使用厘側移載手來保持基板的端部對 基板進行搬出搬入，在該搬出搬入之際不必將基板朝上下 方向移動，且不必將匣側移載手深插至基板之間。因此， 可縮小積層在導線匣內之各基板間的間隔（上下方向的間 隔），就能提高前述匣之基板的收納效率。 更因從匣搬出基板或是將基板搬入到匣之際，保持前 述基板之端部來進行搬出搬入，因此能進一步避免傷及前 述基板或是前述基板被污染之虞。又’因使用製程側移載 (5) 1307675 手將基板搬入至製程裝置或是從製程裝置搬出基板， 回應製程裝置側的要求，不必在前述製程裝置另外設 關節機械手臂等，因此能將基板搬運裝置的構成簡化 且可縮小設置面積。 又’藉由匣側輸送機、製程側移載手以及前述基 交手段之基板的移動，只是隨著改變基板之姿勢的旋 動的平行移動來進行，因此不需要有爲了使基板旋轉 旋）的空間，就能縮小基板搬運裝置的設置面積。 依據本發明之第3狀態的發明，係針對第2狀態 載的基板搬運裝置中，前述匣側移載手，係具備：朝 基板之搬出搬入方向延長的滑動底座、和對前述滑動 而言，可朝前述基板之搬出搬入方向移動的移動構件 可保持前述基板，並且對前述移動構件而言，可在前 板之搬出搬入方向移動的保持構件；對前述滑動底座 >將前述保持構件移動定位自如地被構成基板搬運裝f 若藉由根據第3狀態的發明，因匣側移載手的保 件是相對於針對底座構件而移動自如的移動構件而移 如地被設置，故可極力避免因加大前述保持構件的移 程（基板的搬運行程）而增大基板搬運裝置的設置面彳 依據本發明之第4狀態的發明，係針對第1狀態 3狀態之任一狀態所記載的基板搬運裝置中，藉由前 側輸送機或是前述匣側移載手的基板之搬出搬入方向 藉由前述製程側移載手的基板之搬出搬入方向，會互 致，並且具有將以前述匣側輸送機或是前述匣側移載 故能 置多 ，並 板遞 轉移 (回 所記 -、'- X r> 即述 底座 、和 述基 而言 置。 持構 動自 動行 貝0 〜第 述匣 '和 相一 手從 -8- 1307675 » (6) 前述匣搬出的基板，或是將以前述製程側移載手從製 置搬出的基板，朝著對藉由前述匣側輸送機或是前述 移載手、前述製程側移載手的基板之搬出搬入方向所 的水平方向移動定位自如的基板移動定位手段基板搬 置。 若藉由第4狀態所記載的發明，因具備藉由前述 輸送機或是前述匣側移載手的基板的搬出搬入方向（ 0 方向）與藉由前述製程側移載手的基板的搬出搬入方 X軸方向）會互相一致，並且將基板朝Y軸方向移動 自如的基板移動定位手段’故基板搬運裝置全體的構 加簡單，並且即使匣與製程裝置在Y軸方向具有偏移 置，還是能夠在匣與製程裝置之間搬運基板。 又，以基板搬運裝置爲中間，就可在X軸方向的 部側朝Y軸方向並列的複數個匣、和在X軸方向的另 部側朝Y軸方向並列的複數個製程裝置之間，搬運基 φ 依據本發明之第5狀態的發明，係針對第丨狀態 4狀態之任一狀態所記載的基板搬運裝置中，前述基 交手段’係具備對前述匣側輸送機或是前述匣側移載 前述製程側移載手而相對性地朝上下方向移動自如的 用輸送機’並且將前述遞交用輸送機載置前述基板的 通過設置在前述製程側移載手的各缺口或是各貫通孔 此能在前述匣側輸送機或是前述匣側移載手與前述製 移載手之間遞交前述基板地被構成，或是，前述基板 手段’係具備對前述匣側輸送機或是前述匣側移載手 程裝 匣側 交叉 運裝 匣側 X軸 向（ 定位 成更 的位 ~端 一端 板。 〜第 板遞 手與 遞交 部位 ，藉 程側 遞交 與前 (7) 1307675 述製程側移載手而相對性地朝上下方向移動自如的遞交用 空氣浮動手段或是遞交用超音波浮動手段，並且將前述遞 交用空氣浮動手段或是前述遞交用超音波浮動手段載置前 述基板的部位通過設置在前述製程側移載手的各缺口或是 各貫通孔，藉此能在前述匣側輸送機或是前述匣側移載手 與前述製程側移載手之間遞交前述基板地被構成基板搬運 裝置。 $ 若藉由第5狀態所記載的發明，前述基板遞交手段具 備朝上下方向移動自如的遞交用輸送機，並且將前述遞交 用輸送機之載置基板的部位通過設置在前述製程側移載手 的各缺口或是各貫通孔，藉此可在前述匣側輸送機與前述 製程側移載手之間遞交前述基板地被構成，故能以簡單的 構成且僅朝上下方向移動來遞交基板，就能避免傷及基板 之虞。 又，若藉由第5狀態所記載的發明，因前述遞交手段 φ 是以遞交用空氣浮動手段和遞交用超音波浮動手段所構成 ，故能以簡單的構成且僅朝上下方向移動來遞交基板，並 且在移送基板之際，能進一步避免傷及前述基板或是前述 基板被污染之虞。 依據本發明之第6狀態的發明，係針對第1狀態〜第 5狀態之任一狀態所記載的基板搬運裝置中，在前述製程 側移載手的基端部側，係設有爲了支撐在前述匣側輸送機 或是前述匣側移載手與前述製程側移載手之間朝水平方向 移動的前述基板之重量的中間輸送機，或是爲了支撐在前 -10- (8) 1307675 述匣側輸送機或前述匣側移載手與前述製程側移載手之間 朝水平方向移動的基板之重量的中間空氣浮動手段或是中 間超音波浮動手段基板搬運裝置。 若藉由第6狀態所記載的發明，因設有中間輸送機， 故可一邊使用該中間輸送機來支撐基板，一邊在前述匣側 輸送機與前述遞交用輸送機之間遞交前述基板，確實地進 行基板的遞交。 | 又，若藉由第6狀態所記載的發明，因設有中間空氣 浮動手段或是中間超音波浮動手段，故同樣的可確實地進 行基板的遞交，進而在移動基板之際，可更進一步避免傷 及前述基板或是前述基板被污染之虞。 依據本發明之第7狀態的發明，係針對第1狀態〜第 6狀態之任一狀態所記載的基板搬運裝置中，前述製程側 移載手是朝上下方向並列的設有複數個基板搬運裝置。 若藉由第7狀態所記載的發明，因前述製程側移載手 φ 是朝上下方向並列的設有複數個，故能在短時間進行從製 程裝置搬出基板、將基板搬入至製程裝置的情形。 【實施方式】 [用以實施發明的最佳形態] 〔第1實施形態〕 第1圖係表示有關本發明之第1實施形態的基板搬運 裝置1的槪略構成的俯視圖，第2圖係表示基板搬運裝置 1的槪略構成的側視圖。 -11 - 1307675 • _ (9) 再者’爲了易於觀看，在第2圖中，省略其中一側（ 第1圖的下側）的側方構件3 5、移載手支撐構件3 9、中 間構件41的表示。又，本說明書中，爲了方便說明，以 水平方向之一方向爲X軸方向，以水平方向之另一方向之 垂直於前述X軸方向之方向爲Y軸方向，以鉛直方向爲Z 軸方向。 基板搬運裝置1，係爲在自如收納玻璃基板（例如電 _ 漿顯示面板和液晶顯示面板等所使用的矩形之板狀玻璃基 板）W的匣c S、和對前述玻璃基板（以下有簡稱「基板 」的情形。）W施以處理（加工）的製程裝置（於第1圖 、第2圖中並未圖示）之間搬送前述基板W的裝置，具 備匣側輸送機3與製程側移載手5。 前述匣CS，係將呈水平的基板W彼此互相梢微離開 而朝上下方向積層，就能多段收納前述基板W。 前述匣側輸送機3，係將收納在匣CS內的基板w從 Φ 存在最下方按順序朝水平方向（只朝X軸方向）直線地移 動，就能一片片搬出。又，前述匣側輸送機3’係將前述 基板W朝水平方向（只朝X軸方向）直線地移動’就能 將前述基板w —片片朝前述匣CS搬入。再者’在前述匣 CS內，從先搬入的按順序將前述基板W由上往下並排。 前述製程側移載手5，能將前述基板W —片片朝水平 方向（只朝X軸方向）直線地移動而往前述製程裝置供給 ，並且能將前述基板W —片片朝水平方向（只朝X軸方 向）直線地移動而從前述製程裝置搬出。再者’如已理解 -12- 1307675 . (10) 的，藉由前述匣側輸送機3的基板W之搬送方向與藉由 前述製程側移載手5的基板W之搬送方向會互相一致。 又，於前述基板搬運裝置1，係在前述匣側輸送機3 與前述製程側移載手5之間，設有可將前述基板W僅朝Z 軸方向移動，藉此遞交前述基板W的基板遞交手段7。 前述匣側輸送機3、前述製程側移載手5、前述基板 遞交手段7，係藉由僅平行移動前述基板W，換句話就是 不改變前述基板W的姿勢，藉由僅平行地移動前述基板 W，來移動前述基板w地構成。 前述匣側輸送機3，雖於後面詳述，但在搬出或是搬 入前述基板W之際，將前述基板W在不妨礙前述匣CS和 基板遞交手段7的位置，從上下方向夾入而移動地被構成 〇 前述基板遞交手段7，係具備對前述匣側輸送機3與 前述製程側移載手5相對性地朝上下方向移動自如的遞交 φ 用輸送機9，並且設置在前述製程側移載手5的各缺口 11 ，會通過用來載置前述遞交用輸送機9之基板的部位13, 藉此在前述匣側輸送機3與前述製程側移載手5之間，將 前述基板W僅朝Z軸方向直線性地移動進行遞交地被構 成。再者’取代前述缺口 11，亦可設置貫通孔。 在前述製程側移載手5的基端部側（匣C S側；與製 程裝置相反側），設有爲了將在前述匣側輸送機3與前述 製程側移載手5之間朝水平方向移動的前述基板W的重 量’由前述基板W之下側來支撐的中間輸送機1 9。 -13- 1307675 I · (11) 又，前述基板遞交手段7’係在前述匣側輸送機3與 前述遞交用輸送機9之間’使用設於前述製程側移載手5 (更詳細是後述的移載手支撐構件39)並且載置前述基板 W的部位15設得比前述製程側移載手5的基板載置部位 1 7 (通過路線；藉由前述製程側移載手5搬送前述基板W 時的前述基板W之下面）還高之處的中間輸送機19’而 就能在前述匣側輸送機3與前述遞交用輸送機9之間遞交 φ 前述基板W地被構成。 即，前述遞交用輸送機9的基板載置部位（藉由前述 遞交用輸送機9載置前述基板W時的前述基板W之下面 :前述遞交用輸送機9的通過路線）13，至少可在與前述 匣側輸送機3之通過路線（以前述匣側輸送機3載置前述 基板W時的前述基板W的下面）21同高度的位置、和比 前述製程側移載手5之通過路線1 7更下側的位置之間， 朝上下方向移動。 φ 例如，以滾子輸送機所構成的前述遞交用輸送機9的 各滾子23，會通過前述缺口 11而在前述範圍朝上下方向 移動。 然後，前述匣側輸送機3載置基板W，前述製程側移 載手5的通過路線1 7存在於比前述匣側輸送機3的通過 路線21還低的位置，且前述中間輸送機1 9的工件載置部 位（在前述中間輸送機19載置前述基板W時的前述基板 W之下面；前述中間輸送機1 9的通過路線）1 5成爲與前 述匣側輸送機3之通過路線21同高度時，前述遞交用輸 -14- (12) 1307675 送機9的基板職置部位i 3會成爲與前述匣側輸送機3的 通過路線21同高度’在前述中間輸送機19形成中繼而從 則述匣側輸送機3朝前述遞交用輸送機9移送基板W，該 移送後’前述遞交用輸送機9的通過路線13會降到比前 述製程側移載手5的通過路線i 7還低的位置，藉此就能 從前述匣側輸送機3朝前述製程側移載手5遞交前述基板 W。 另一方面’前述製程側移載手5載置基板W，前述製 程側移載手5的通過路線丨7保持在比前述匣側輸送機3 的通過路線21還低的位置，且前述中間輸送機1 9的通過 路線1 5成爲與前述匣側輸送機3之通過路線2丨同高度時 ’使保持在比前述製程側移載手5的通過路線1 7還低之 位置的前述遞交用輸送機9，上昇到與前述匣側輸送機3 的通過路線21同高度，將前述製程側移載手5所載置的 基板W’藉由前述遞交用輸送機9而載置，將該遞交用輸 送機9所載置的基板W，在前述中間輸送機19進行中繼 朝前述匣側輸送機3進行移送，藉此從前述製程側移載手 5朝前述匣側輸送機3遞交前述基板W。 在此針對前述基板搬運裝置1做更詳細說明。 前述匣CS的槪略外觀構成長矩形狀，於γ軸方向的 兩端部具備側構件C S 1。在前述各側構件C S 1之間，張設 有爲了在前述匣C S內載置且收納複數個基板w的線狀構 件（例如導線；圖未表示）。 於z軸方向爲同位置（同高度）在X軸方向隔著特定 -15- (13) 130767.5 間隔朝Y軸方向延伸而設有複數個前述導線，藉此形成能 支撐（載置）一片基板W的一個導線群。 前述導線群是在Ζ軸方向隔著特定的小間隔而設有複 數個，藉此前述匣CS就能將基板W以水平而多段地收納 。並有將像這樣所構成的匣CS稱爲導線匣的情形。 又，在前述匣CS的X軸方向之一側面（設有前述製 程側移載手5這側的面），設有使前述基板w出入自如 瞻 的開口部。 再者，也可取代前述導線匣CS，採用普通的匣（藉 由設置在Υ軸方向之兩端部的支撐構件來支撐前述基板W 之構成的匣）。 前述導線匣CS，使用圖未表示的堆高式起重機和高 架起重機來載置圖未表示的匣載置裝置，而移動定位在ζ 軸方向。 前述匣側輸送機3，係例如以滾子輸送機所構成，具 φ 備旋轉自如地設置在立設於設置在地板上的底座構件24 的複數個滾子支撐構件25的上端部的複數個滾子27。 前述各滾子支撐構件25，係在X軸方向隔著特定的間 隔而立設。然後’將前述導線匣CS載置在前述匣載置裝 置’且將前述導線匣CS朝上下移動的話，在未收納基板 W的狀態’前述各滾子27與前述各滾子支撐構件25會進 入到述導線匣C S的各導線之間。即，前述各滾子2 7與 前述各滾子支撐構件25，會以不與前述導線匣CS和前述 匣移載裝置發生干涉的進入到前述導線匣CS內。 -16- (14) 1307675 前述匣側輸送機3的各滾子27，係以朝γ軸方向 伸的中心軸爲旋轉中心，並透過皮帶和鏈條等的動力傳 構件，藉由馬達等的引動器進行旋轉來搬送基板w。前 各滾子2 7的上端部則形成前述匣側輸送機3的通過路 2卜 再者’前述各滾子2 7之中，位於最一側部側（中間 送機19側）的滾子27A，係設於未進入到前述匣CS內 _ 位置。又’在前述滾子2 7A的上方，設有滾子26。該 子26,係可藉由圖未表示的馬達等的引動器旋轉，並且 由圖未表75的流體壓力缸（fluid pressure cylinder)等的 動器，對滾子27A進行靠近、背離之方向（Z軸方向） 如地移動。 然後’搬出或是搬入前述基板W之際，能將前述 板W藉由滾子27A與滾子26從上下方向夾入而移動。 者，也可取消爲了旋轉驅動滾子26的引動器，將滾子 φ 構成自由地旋轉。 在前述匣側輸送機3的X軸方向的一側部，設有製 側移載手5。該程側移載手5，係槪略外觀爲長矩形狀 形成薄板狀，並且厚度方向爲Z軸方向地被設置。又， 前述製程側移載手5之X軸方向的前端部（與設有匣側 送機3之側相反側的端部）直至X軸方向的基端部側， 在Y軸方向隔著特定間隔而形成複數個矩形狀的缺口 。像這樣藉由形成缺口 1 1，也就是說前述製程側移載手 被形成齒梳狀。 延 達 述 線 輸 的 滾 藉 引 白 基 再 26 程 而 從 輸 係 -17- 11 (15) 1307675 又，在基板搬運裝置1，係設有將藉由前述匣側 機3從前述匣CS被搬出的基板W，或是將藉由前述 側移載手5從製程裝置被搬出的基板W，移動自如定 對藉由前述匣側輸送機3、前述製程側移載手5之基 搬出入方向（X軸方向）形成交叉之水平方向（例如 的Y軸方向）的基板移動定位手段3 0。 若更詳的說明，在前述底座構件24之鄰（X軸 p 之一側部側）的地板面，設有底座構件2 9，透過設置 底座構件29的導軌31，將基台33朝Y軸方向自如 動。前述基台33，係透過圖未表示的滾珠螺桿等的動 達手段並藉由圖未表示的馬達等的引動器朝Y軸方向 地定位。 在前述基台33的Y軸方向的兩端部，一體地立 各側方構件3 5。在前述各側方構件3 5的內側，係透 體設置在前述各側方構件3 5的導軌3 7，朝Z軸方向 φ 自如地設有移載手支撐構件39。前述移載手支撐構f ，係透過圖未表示的滾珠螺桿等的動力傳達手段並藉 未表示的馬達等的引動器朝Z軸方向自如地定位。 在前述移載手支撐構件3 9的內側，朝X軸方向 自如地設有中間構件4 1。更在前述中間構件4 1的內 朝X軸方向移動自如地設有前述製程側移載手5。進 前述製程側移載手5，係透過圖未表示的滾珠螺桿等 力傳達手段並藉由圖未表示的馬達等的引動器朝X軸 (與前述匣側輸送機3相反側的方向），從前述移載 輸送 製程 位在 板的 正交 方向 在該 地移 力傳 自如 設有 過一 移動 _ 39 由圖 移動 側， 而， 的動 方向 手支 -18- 1307675 . (16) 撐構件3 9至第1圖和第2圖以假想線所示的位置形成突 出而移動自如地定位。 又，在前述匣側輸送機3的X軸方向的一側部側，設 有遞交用輸送機9。該遞交用輸送機9，係如前述地例如 以滾子輸送機所構成，該滾子輸送機的通過路線1 3，係移 動自如地定位在Z軸方向。 若更詳細的說明，在前述移載手支撐構件3 9、前述中 0 間構件4 1、前述製程側移載手5的下側，係透過一體設置 在前述各側方構件3 5的導軌3 7，而朝Z軸方向移動自如 地設有遞交用輸送機底座構件43。前述遞交用輸送機底座 構件43，係透過圖未表示的滾珠螺桿等的動力傳達手段並 藉由圖未表示的馬達等的引動器（與用來驅動前述移載手 支撐構件3 9的引動器相異的引動器）朝z軸方向自如地 定位。 在前述遞交用輸送機底座構件43之上，係在Y軸方 φ 向隔著特定間隔而設有複複個滾子支撐構件45，在該滾子 支撐構件4 5的上端部，旋轉自如地設有複數個滾子2 3。 然後’若對前述移載手支撐構件39，將前述遞交用輸 送機底座構件43相對性地朝上下方向移動，前述滾子支 撐構件45和前述遞交用輸送機9的滾子23，會通過前述 製程側移載手5的缺口 π而移動。 即，前述遞交用輸送機9的通過路線13，至少會在從 前述製程側移載手5背離下方的特定位置與前述匣側輸送 機3的通過路線2 1之間進行移動。 -19- (17) 1307675 Y 的 板 刖 中 上 5 載 延 達 者 4 7 下 述 5 位 匣 所 再者，前述遞交用輸送機9的各滾子23，係以朝 軸方向延伸的中心軸爲旋轉中心，並透過皮帶和鏈條等 動力傳達構件，藉由馬達等的引動器進行旋轉來搬送基 W。 在前述製程側移載手5的另一端部側（基端部側； 述匣側輸送機3與前述各缺口 U之間），設有前述的 間輸送機（例如滾子輸送機）1 9。 前述中間輸送機19的各滾子47，乃對厚度方向朝 下方向地被設置的矩形之板狀的滾子支撐構件48而言 旋轉自如，前述滾子支撐構件48，係一體設置在前述移 手支撐構件39。因此，前述中間輸送機19的各滾子47 對前述移載手支撐構件39而言，旋轉自如。 前述中間輸送機19的各滾子47，係以朝Y軸方向 伸的中心軸爲旋轉中心，並透過皮帶和鏈條等的動力傳 構件，藉由馬達等的引動器進行旋轉來搬送基板W。再 ，也可取消爲了旋轉驅動前述中間輸送機19之各滾子 的裝置（前述皮帶和引動器等）。 前述製程側移載手5，係在前述滾子支撐構件48的 側而離開前述滾子支撐構件4 8被設置。又，未形成前 製程側移載手5之缺口 1 1的部位，在前述製程側移載手 未朝製程裝置側延伸的狀態（第2圖所示的狀態），是 在前述滾子支撐構件4 8的下側。 如上所述，藉由設置有中間輸送機1 9，就能支撐在 側輸送機3與製程側移載手5 (遞交用輸送機9)之間 -20- (18) 1307675 移動的基板W之重量。 其次，針對基板搬運裝置1的動作做說明。 第3圖〜第7圖係表示基板搬運裝置1之動作的側視 圖。再者，第6圖係爲第7圖所示之狀態下的俯視圖。 說明有關將基板W從匣CS搬運到製程裝置（處理裝 置）的情形。 首先，如第2圖所示，收納基板W的匣CS是位在匣 φ 側輸送機3的上方，匣側輸送機3的通過路線21與中間 輸送機19的通過路線15是位在同高度，遞交用輸送機9 的通過路線1 3是位在比製程側移載手5的通過路線1 7更 下方。 在該狀態，前述匣CS所載置的基板W之中保存在最 下側的基板W，直到接觸到前述匣側輸送機3的滾子27 前，前述匣CS會向下方移動，並且前述中間輸送機19的 通過路線15與前述遞交用輸送機9的通過路線13互相一 φ 致之前，前述遞交用輸送機底座構件43會上昇（參照第3 圖）。 接著，保存在前述最下方的基板W，載置在前述遞交 用輸送機9之前，驅動前述各輸送機3、19、9來移動基 板W(參照第4圖）。像這樣來移動基板W時，藉由前 述滾子27A與前述滾子26來夾入基板W。 接著，將遞交用輸送機底座構件43降下來，將前述 遞交用輸送機9所載置的基板W藉由製程側移載手5來 載置（參照第5圖）。 -21 - (19) 1307675 接著’將前述製程側移載手5和前述中間構件4丨延 伸出，而將基板W搬入到製程裝置（參照第6圖、第7 圖）。 再者’即使前述製程側移載手5和前述中間構件4 1 延伸出，旋轉自如的前述中間輸送機1 9不會移動，但將 前述中間輸送機19設置在前述製程側移載手5，當前述製 程側移載手5和前述中間構件4 1延伸出時，前述中間輸 送機19也可以同時移動。 前述搬入後，會將前述製程側移載手5和前述中間構 件41引進，並且前述匣側輸送機3的滾子27接觸到被載 置在前述匣CS的下一個基板（前述匣CS所載置的基板 W之中保存在最下側的基板）W之前，降下前述匣CS， 進行前述下一個基板W的搬出。 在從前述製程裝置對前述匣C S搬運基板W的情形， 是藉由大致與前述動作相反的動作來進行基板W的搬運 〇 若藉由基板搬運裝置1，使用匣側輸送機3從匣CS 來搬出基板W或是對匣CS搬入基板W，因此在該搬出、 搬入之際，基板W不必朝上下方向移動，且移載手不必 插入到基板之間，因此可縮小積層在導線匣CS內的各基 板w間的間隔（上下方向的間隔），就能提高前述匣CS 之基板的收納效率。 又，使用製程側移載手5對製程裝置搬入基板W，或 是從製程裝置搬出基板W，能回應製程裝置側的要求，就 -22- (20) 1307675 不必在前述製程裝置另外設置多關節機械手臂等，因此可 簡化基板搬運裝置1的構成，並且可縮小設置面積。 更藉由匣側輸送機3、製程側移載手5以及基板遞交 手段7的基板W之移動（搬送），只是隨著改變基板W 之姿勢的旋轉移動的平行移動，因此不需要有爲了使基板 W旋轉（回旋）的空間，就能縮小基板搬運裝置1的設置 面積。 若更詳細的說明，使矩形狀的基板W以該中心（通 過中心朝Z軸方向延伸的軸）爲回旋中心而回旋的話，該 回旋所需要的空間，至少須要以基板W之對角線爲直徑 之圓的程度。進而，若回旋中心偏離基板W的中心，回 旋所需要的空間會更大，並且藉由因回旋所產生的角加速 度（接線加速度）和向心加速度（法線加速度），基板W 的位置有產生偏離之虞。 對此，僅平行移動來移動基板W的話，爲了使基板 W回旋之際所要的空間就不需要，因此能縮小基板搬運裝 置1的設置面積。進而因回旋使基板W偏位之虞就能避 免。 如前所述，如果能縮小基板搬運裝置1的設置面積’ 在無塵室內使用基板搬運裝置1之際，就能縮小如高價設 備之無塵室那類設備的大小。又，不必將基板w回旋’ 因此就不需要有如前所述爲了使基板W回旋的機構。 可是，使大的基板w回旋的機構，一般是構成透過 藉由齒輪等所構成的減速機並藉由馬達等的引動器使載置 -23- (21) 1307675 基板的載置台回旋。在該構成中因存在有齒輪的背隙，爲 了將前述載置台正確地指標定位，需要有利用定位插銷等 的定位機構，基板搬運裝置的構成變得很煩雜。進而，爲 了防止因基板W之回旋產生的基板W之位移和因利用前 述定位插銷之載置台定位時所發生的驟變的基板W之位 移，產生前述載置台和前述定位插鎖需要慢慢的作動，使 基板W的搬送效率下降。 p 有關本發明的基板搬運裝置1，因不需要基板W的回 旋機構，故構成變簡單，又，因不使基板W回旋，故沒 有基板回旋時之基板W的偏移，能加快基板W的搬運速 度，還能提高基板W的搬運效率。 又，若藉由基板搬運裝置1，將基板W搬出或是搬入 之際，藉由滾子26與滾子27A將基板W從上下方向夾入 而移動地構成，因此即使對基板W施加較大的力來搬運 (即使施加於基板W的加速度（包含負的加速度）很大 φ )，還是能抑制在基板W與匣側輸送機3之間發生滑動 之虞，就能快速的搬運基板W。 又，若藉由基板搬運裝置1，前述基板遞交手段7, 係具備朝上下方向移動自如的遞交用輸送機9，並且設置 在前述製程側移載手5的各缺口 11，會通過用來載置前述 遞交用輸送機9之基板W的部位，藉此就能在前述匣側 輸送機3與前述製程側移載手5之間遞交基板W地被構 成，因此以簡單的構成且僅朝上下方向移動就能遞交基板 W，傷及基板W之虞就能避免。 -24- (22) 1307675 又，若藉由基板搬運裝置1，因設有中間輸送機19, 就能使用該中間輸送機19 一邊支撐基板W，一邊在前述 匣側輸送機3與前述遞交用輸送機9之間遞交基板W，確 實地進行基板W的遞交。 再者，如已理解的，製程側移載手5之未設缺口 11 的缺口非形成部位’不可或缺的一定要將爲了互相隔著間 隔而設置的各載置部位（設有缺口 11的部位）連繫成一 _ 體。 另一方面，在製程側移載手5的前述缺口非形成部位 ，構成遞交手段7的各滾子47無法通過，因此在前述缺 口非形成部位就不設遞交手段7。 因此假設不設中間輸送機19的話，對存在於匣CS與 製程側移載手5之載置部位之間的前述缺口非形成部位， 就不會設置從下方支撐用來在匣CS與前述製程側移載手 5之間移動基板W的手段，被搬運的基板W會因重力而 φ 撓曲等，基板有不能順利搬運之虞。 但是，在基板搬運裝置1，因設有中間輸送機19，即 使在前述缺口非形成部位，還是可由下方支撐基板W，就 能避免基板搬運時因重力使基板W撓曲的情形，可順利 地搬運基板W。 又，若藉由基板搬運裝置1，因具備藉由匣側輸送機 3的基板W之搬出入方向（X軸方向）與藉由前述製程側 移載手5的基板W之搬出入方向（X軸方向）互相一致 ，並且將基板w朝Y軸方向移動定位自如的基板移動定 -25- (23) (23)
1307675 位手段30，故基板搬運裝置1全體的構成更簡驾 使匣CS與製程裝置存在偏離γ軸方向的位置， 在匣CS與製程裝置之間搬運基板。 又，以基板搬運裝置1爲中間，就能在Χί 端部側朝Υ軸方向並列的複數個匣CS與在χ_ 一端部側朝Υ軸方向並列的複數個製程裝置之H 板W。 可是，如第8圖（表示設有複數個製程側移 狀態的圖）所示，亦可將前述製程側移載手5， 向並列的設置複數個（例如兩個）。 若藉由像這樣所構成的基板搬運裝置，就肯g 行從製程裝置搬出基板W、對製程裝置搬入基板 例如，於保持在下方的製程側移載手5 B， 理的基板W之狀態，將前述各製程側移載手5A 到製程裝置，在前述製程裝置將已處理的基板 保持在上方的製程側移載手5A之後，將前述製 手5B所載置的基板搬入到前述製程裝置，該掷 前述各製程側移載手5A、5B離開前述製程裝濯 就能在短時間進行從製程裝置搬出基板W、對· 入基板W。 再者，於前述第1實施形態中，如第9圖 搬運裝置之變形例的俯視圖）所示’亦可針對 輸送機3、9、19的前述基板W之搬運方向（ ，來改變藉由前述製程側移載手5的前述基板 ，並且即 還是能夠 :方向之一 丨方向之另 丨，搬運基 載手5之 朝上下方 :短時間進 W。 載置未處 、5B移動 W載置於 [程側移載 丨入後’將 :地偏離， !程裝置搬 表不基板 :由前述各 :軸方向） W之搬運 -26- (24) 1307675 方向（γ軸方向）。 〔第2實施形態〕 第10圖 '第11圖〜第16圖係表示有關本發明之第2 實施形態的基板搬運裝置101之槪略構成的立體圖，第11 圖係表示第13圖之XI端視的圖，第12圖係表示第1〇 圖之X I I端視的圖。 P 有關第2實施形態的基板搬運裝置101，係取代輸送 機，採用移載手，從匣搬出基板或是朝匣搬入基板，而且 遞交用輸送機、中間輸送機除了以空氣浮動所構成的這點 外，大致上是與有關前述第1實施形態的基板搬運裝置1 相同的構成，且具有大致相同的效果，並且因基板不會接 觸到輸送機，故能更進一步提升基板的乾淨度等。 若做詳細說明，基板搬運裝置1 0 1，係具備匣側移載 手1 02。該匣側移載手1 02，係以將基板W從形成水平而 φ 能多段收納的匣，保持前述基板W的端面或是端面附近 ，而將前述基板W搬出到（第14圖所示的位置；第1特 定的位置P S 1 )地被構成。 又，前述匣側移載手1 0 2，係保持前述基板W的端面 或是端面附近而能將保存在第14圖所示之位置PS1的前 述基板W朝目ij述厘搬入地被構成。 前述匣側移載手102，係具備L字狀的移動構件106 。該移動構件106’係朝基板W之搬出入方向（X軸方向 )延長，並且對滑動底座（底座構件）107而言，移動自 -27- (25) 1307675 如的定位在基板W之搬出入方向。該滑動底座107，係朝 基板w之搬出入方向（X軸方向）延長’並且一體設置 在底座構件1 0 4。 再者，前述底座構件104，係與前述遞交用輸送機底 座構件43同樣地，移動自如的定位在X軸方向、Y軸方 向。 在前述移動構件1 06，係設有爲了保持前述基板W的 保持構件108。該保持構件108，係對前述移動構件106 而言，移動自如地定位在X軸方向。 藉由像這樣地構成，即使對保持構件1 08之底座構件 104的移動行程增大，還是能縮短基板搬運裝置101之X 軸方向的長度，就能極力避免設置面積增大。 前述保持構件1 〇 8，例如具備吸盤1 1 0，如第1 1圖所 示，藉由吸附基板W之端面附近的下面，來保持前述基 板W。取代前述吸盤110，也可藉由夾入前述基板W之端 面附近來保持前述基板W。 再者’爲了穩定搬運（移送）基板W，前述移動構件 106、前述保持構件108等，係離開Y軸方向，設有複數 個（例如兩個）。 又，設有爲了將藉由前述匣側移載手102所搬出或是 搬入的前述基板W的重量，利用前述匣之下部側來支撐 的匣側空氣浮動手段（圖未表示）。 前述匣側空氣浮動手段，例如具備藉由具有通氣性的 陶瓷所形成的支撐構件’就能藉由圧縮空気供給手段所供 -28- (26) 1307675 W 金 材 個 第 置 程 述 樣 同 支 如 程 X 定 板 手 白 側 給的圧縮空気，從前述支撐構件噴出，在與前述基板 非接觸的狀態’來支撐前述基板W的重量。 再者’取代通氣性的陶瓷，亦可藉由通氣性的燒結 屬等來構成前述支撐構件。又，亦可使用不具通氣性的 質所塡充的金屬等之構件，在該金屬等之構件設置複數 孔’使壓縮空氣從該些孔噴出而來支撐前述基板W。 又’基板搬運裝置101，係具備可保存在位於前述 1特定之位置下的第2特定之位置（第15圖所示的位 PS3)的前述基板W，朝著對前述基板w施行加工的製 裝置供給，或是可從前述製程裝置將前述基板W往前 第2特定之位置搬出的112(與前述製程側移載手5同 地所構成的移載手）。 前述製程側移載手1 1 2，係與前述製程側移載手5 樣地，透過中間構件1 1 5 (第1 6圖参照）設置在移載手 撐構件114(與前述移載手支撐構件39同樣地，移動自 的定位在Y軸、Z軸方向的移載手支撐構件），前述製 側移載手1 1 2，係對前述移載手支撐構件1 1 4而言可朝 軸方向突出而移動。 進而，基板搬運裝置101，係具備可在前述第1特 之位置與前述第2特定之位置間遞交前述基板W的基 遞交手段1 1 6。 前述基板遞交手段116，係具備對前述匣側移載 1 02與前述製程側移載手1 1 2相對性地朝上下方向移動 如的遞交用空氣浮動手段H8，並且將設置在前述製程 -29- (27) 1307675 移載手112的各缺口 11，通過用來載置前述遞交用空氣浮 動手段1 1 8之前述基板W的部位，藉此就能在前述第1 特定之位置與前述第2特定之位置之間，遞交前述基板w 〇 若更詳細的說明，前述遞交用空氣浮動手段118，係 具備支撐構件120，該支撐構件120是在前述底座構件 1 04的上方朝X軸方向延伸，在Y軸方向隔著間隔而一體 g 地複數個設置在前述底座構件1 〇4。 前述支撐構件1 20，係爲與前述匣側空氣浮動手段之 支撐構件同樣地被構成，可噴出空氣來支撐基板W。 又，在前述第1特定之位置與前述匣之間，設有爲了 來用支撐藉由前述匣側移載手102被搬運的基板W之中 間空氣浮動手段122。 前述中間空氣浮動手段122,係具備支撐構件124, 該支撐構件124,係在屬於前述匣側的前述移載手支撐構 φ 件Π4之內側，在Y軸方向隔著間隔而一體地設有複數個 前述底座構件104。 再者，爲了避免與前述製程側移載手112和前述支撐 構件124的干涉，前述移動構件106，乃於Y軸方向，被 設置在前述製程側移載手1 12和前述支撐構件124之間。 在此，針對基板搬運裝置1 〇 1的動作做說明。 第1 0圖係表示初期狀態。在該初期狀態，位於前述 匣之最下方的基板W之下面、和前述吸盤110之上端、 和前述支撐構件124之上面、和前述支撐構件120之上面 -30- (28) 1307675 爲略同等高度，又，前述製程側移載手112之上面，係位 在比前述各支撐構件120、124之上面的更下方。進而， 前述移動構件106，並未突出於匣側，於平面視之，整合 在前述底座構件104的內側。 於前述初期狀態中，前述移動構件1 0 6是朝匣側延伸 ，並且前述保持構件108也朝匣側移動，藉由前述吸盤 110，吸附前述最下方的基板W的端面附近的下部，來保 持前述基板w (參照第1 1圖、第13圖）。 接著，打開在前述各支撐構件120、124的空氣浮動 ，並且將前述移動構件1 〇 6和前述保持構件1 0 8朝離開前 述匣的方向移動，藉此一邊在前述各支撐構件120、124 形成空氣浮起，來支撐前述基板W的重量，一邊將前述 基板W搬運到第1特定的位置PS1(參照第14圖）。 其次，若將前述底座構件1 04朝向下方移動，隨著該 移動，以前述支撐構件120所支撐的基板W也會朝下方 移動，在該移動的途中’前述基板W被載置在前述製程 側移載手1 1 2，該載置的位置會在前述第2特定的位置 PS3 (參照第15圖）。 以前述基板w保持在PS3之位置的狀態’切斷各支 撐構件120、124的空氣浮動。 接著，前述製程側移載手1 1 2朝製程裝置側延伸’將 基板W搬入到前述製程裝置（參照第16圖）’該搬入後 ’引進前述製程側移載手112，適當調整前述底座構件 104、前述移載手支撐構件114的高度等’回到前述初期 -31 - (29) 1307675 狀態。 重複前述各動作，將基板w —片片從前述匣搬入到 前述製程裝置。 再者，將基板從前述製程裝置移送到前述匣時’進行 與前述動作相反的動作。 又，如已理解的，與前述第1實施形態同樣地，藉由 前述各移載手102、112的前述基板W的搬送方向會互相 —致。若藉由基板搬運裝置101，使用匣側移載手102將 基板w從匣搬出，或是將基板W搬入匣，因此在該搬出 搬入之際，不必將基板W朝上下方向移動，以匣側移載 手1 02來保持基板W的端部而將基板搬出搬入，因此在 該搬出搬入之際，不必將基板W朝上下方向移動，又， 匣側移載手1 02不必深插到基板W之間。因而，能縮小 積層在匣內的各基板W間之間隔（上下方向的間隔）， 就能提高前述匣之基板的收納效率。 進而，從匣搬出基板W，或是將基板W搬入匣之際 ，因保持前述基板W的端部來進行搬出搬入，就能進一 步避免傷及前述基板W之中央部或污染前述基板W之虞 。又，因使用製程側移載手112對製程裝置搬入基板W， 或是從製程裝置搬出基板W，就能回應製程裝置側的要求 ，不必在前述製程裝置另外設置多關節機械手臂等，因此 可簡化基板搬運裝置1 0 1的構成，並且可縮小設置面積。 又’藉由匣側輸送機、製程側移載手以及基板遞交手 段的基板W之移動’只是隨著改變基板W之姿勢的旋轉 -32- (30) 1307675 移動的平行移動，因此不需要有爲了使基板W旋轉（回 旋）的空間，就能縮小基板搬運裝置1 0 1的設置面積。 可是，與前述第1實施形態同樣地，亦可將前述製程 側移載手1 1 2朝上下方向並列設置複數個。 進而，亦可取代前述各空氣浮動手段，而採用利用超 音波使基板W浮起的超音波浮動手段。 前述超音波浮動手段，係藉由將基板支撐構件利用超 p 音波振動子使其振動，藉由形成在基板W與前述基板支 撐構件之間的薄空氣膜，來支撐基板W的重量。 若以所揭示的例子做詳細說明，前述超音波浮動手段 ，係具備超音波產生元件（例如壓電元件）。 在前述超音波產生元件的上側，設有爲了放大該超音 波產生元件所產生之振動的喇叭（horn)。前述基板支撐構 件’是透過連結構件，而設置在前述喇叭的上部。 然後’前述超音波產生元件所產生的振動會傳達到前 φ 述基板支撐構件’該基板支撐構件主要是在前述基板W 的厚度方向產生振動，藉此在基板W與前述基板支撐構 件之間，產生以空氣作爲媒介的放射壓（藉由空氣之粗密 波的放射壓），藉由該放射壓，在前述基板w與前述基 板支撐構件之間產生薄空氣膜，就能以前述基板支撐構件 來支撐前述基板W的重量。 再者’藉由參照日本特許申請第2005 — 1 62225號（ 2〇〇5年6月2日申請）的全部內容’寫入到本案說明書中 -33- (31) 1307675 又，本發明並不限於前述之發明的實施形態，藉由進 行適當的變更，得以其他的形態來實施。 【圖式之簡單說明】 [第1圖]表示有關本發明之第1實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的俯視圖。 [第2圖]表示基板搬運裝置之槪略構成的側視圖。 [第3圖]表示基板搬運裝置之動作的側視圖。 [第4圖]表示基板搬運裝置之動作的側視圖。 [第5圖]表示基板搬運裝置之動作的側視圖。 [第6圖]表示基板搬運裝置之動作的側視圖。 [第7圖]表示基板搬運裝置之動作的側視圖。 [第8圖]表示設有複數個基板搬運手之狀態的圖。 [第9圖]表示基板搬運裝置之變形例的俯視圖。。 [第1 〇圖]表示有關本發明之第2實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的立體圖。 [第11圖]表示第13圖之X I端視的圖。 [第12圖]表示第10圖之X I I端視的圖。 [第13圖]表示有關本發明之第2實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的立體圖。 [第1 4圖]表示有關本發明之第2實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的立體圖。 [第15圖]表示有關本發明之第2實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的立體圖。 -34- (32) 1307675 [第1 6圖]表示有關本發明之第2實施形態的基板搬運 裝置之槪略構成的立體圖。 【主要元件符號說明】 1、101:基板搬運裝置 CS ： I® W :基板 3 =匣側輸送機 5、5 A、5 B :製程側移載手 7 :基板遞交手段 9 :遞交用輸送機 1 1 :缺口 1 3 :基板載置部位（通過路線） 1 5 :工件載置部位（通過路線） 1 7 :基板載置部位（通過路線） 1 9 :中間輸送機 2 1 :通過路線 25、45、48 :滾子支撐構件 23、 26、 27、 27A、 47:滾子 24、 29、104:底座構件 3 0 :基板移動定位手段 3 1、3 7 :導軌 33 :基台 3 5 :側方構件 -35- (33)1307675
39、 41 : 43 : 102 ： 106 ： 107 ： 108 ： 110: 112： 116: 118： 120、 122: 1 1 4 :移載手支撐構件 中間構件 遞交用輸送機底座構件 匣側移載手 移動構件 滑動底座（底座構件） 保持構件 吸盤 製程側移載手 基板遞交手段 遞交用空氣浮動手段 124 :支撐構件 中間空氣浮動手段
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