TARIFNAME BUGU ÖNLEYICI VENEYA DÜSÜK YAYINIMLI KAPLAMALAR IÇEREN MATERYALLER VENEYA BUNLARI IMAL ETME YÖNTEMLERI Bulusun alani Bu bulusun bazi örnek düzenlemeleri, bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar içeren materyallerle ve/veya bunlari imal etmek için yöntemlerle ilgilidir. Daha spesifik olarak, bu bulusun bazi örnek düzenlemeleri, bir dis ortama maruz kalan bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar içeren materyallerle ve/veya bunlari imal etme yöntemleriyle ilgilidir. Bazi örnek düzenlemelerde, bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar bir dis ortamda özelligini koruyabilir ve ayrica, cam yüzeyin iç alandan gelen isiyi muhafaza ederek yüzey üzerinde bugu varligini azaltmasini (ve bazen tamamen ortadan kaldirmasini) büyük ölçüde mümkün kilacak sekilde düsük bir yariküresel yayinima sahip olabilir. Bazi örnek düzenlemelere konu olan materyaller, örnegin, tavan pencereleri, tasit pencereleri veya ön camlari, YC üniteleri, VYC üniteleri, buzdolabi/dondurucu kapilari ve/veya benzeri olabilir. Bulusun arka plani ve örnek düzenlemelerinin özeti Rutubetin tavan pencereleri, buzdolabi/dondurucu kapilari, tasit pencereleri ve diger cam ürünler üzerinde yogustugu bilinmektedir. Tavan pencerelerinin bugulanmasi, camin estetik cazibesine gölge düsürür. Benzer sekilde, süpermarketler veya benzeri yerlerde buzdolabi/dondurucu kapilarinin bugulanmasi, bazen, alisveris yapan insanlarin aradiklari ürünleri hizlica ve kolayca bulmalarini zorlastirir. Otomobillerin bugulanmasi ise çogunlukla gündüzleri rahatsizlik vericidir, zira sürücü çogu kez daha güvenli sürüs için donu veya buzu kazimak ve/veya tasitin buz çözücü ünitesini ve/veya sileceklerini çalistirmak zorunda kalir. Her ne kadar bir sürücü daglik alanlardan geçtiginde, sicaklikta ani bir düsüs meydana geldiginde vb. durumlarda potansiyel olarak daha kayda deger güvenlik tehlikeleri teskil etseler de ön camdaki rutubet ve bugu çogunlukla benzer bir rahatsizlik yaratir. Çesitli uygulamalarda bu ve/veya baska kaygilara karsi çözüm gelistirmek amaciyla yillar içerisinde çesitli bugu Önleyici ürünler gelistirilmistir. Bkz. örnegin, U.S. yayinimli kaplamalar içeren materyalleri ortaya koymaktadir. Bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar bir dis ortamda özelligini muhafaza edebilir. Yukarida belirtildigi gibi, bazi yaklasimlarda, örnegin tasit buz çözücüleri, aktif isitmali buzdolabi/dondurucu kapilari vb. de oldugu gibi bugulanmayi azaltici aktif isitma elemanlari kullanilmaktadir. Bu aktif çözümlerin tasit ortaminda çalismasi ve dolayisiyla meydana gelen problemi çözmesi maalesef zaman almaktadir. Buzdolabi/dondurucu kapilari için, söz konusu aktif çözümler pahali ve/veya enerji verimliligi düsük olabilir. Bir pencereye ince filmli bir bugu önleyici kaplama dahil etmek için çesitli girisimlerde bulunulmustur. Bu girisimlerde genellikle, örnegin, bir tavan penceresi gibi, bir pencerenin (FTO) kaplamanin pirolitik olarak biriktirilmesine yer verilmistir. Her ne kadar pirolitik biriktirme tekniklerinin "sert kaplamalar" sagladigi biliniyor olsa da, FTO maalesef oldukça kolay çizilmekte, zamanla renk degistirmekte ve baska dezavantajlar tasimaktadir. Dolayisiyla, teknikte, daha gelistirilmis ince filmli bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar içeren materyaller ve/veya bu materyalleri imal etmek için yöntemlere ihtiyaç oldugu anlasilacaktir. Bu problemler, istem 1'e uygun bir kaplamali materyal, istem 2'ye uygun bir yalitim cami (YC) ünitesi ve/veya istem 8'e uygun bir YC ünitesi imal etme yöntemi ile çözülmektedir. Bazi örnek düzenlemelerin bir özelligi, bir dis ortama maruz kalmaya uygun bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar ve/veya bunlari imal etme yöntemleriyle ilgilidir. Bazi örnek durumlarda dis ortam, bir tasitin veya evin disi ve/veya içi olabilir (örnegin, bitisik altliklar arasinda daha korunakli bir alanin tersine). Bazi örnek düzenlemelerin baska bir özelligi, cam yüzeyin iç alandan gelen isiyi yüksek ihtimalle muhafaza ederek yüzey üzen'nde bugu varligini azaltacak (ve bazen tamamen ortadan kaldiracak) sekilde düsük bir tabaka direncine ve düsük bir yariküresel yayinima sahip olan bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamalar ile ilgilidir. Bazi örnek düzenlemelerin yine baska bir özelligi, materyalin bir dis yüzeyinde olusturulmus bir bugu önleyici ve/veya düsük yayinimli kaplamaya ve bir veya daha fazla ilgili iç yüzeyinde olusturulmus bir veya daha fazla düsük yayinimli kaplamaya sahip kaplamali materyaller ile ilgilidir. Bazi örnek düzenlemelerde, bugu önleyici kaplama termal olarak temperlenmis (ör. en az yaklasik 2 dakika, daha tercih edilebilir olarak en az yaklasik 5 dakika boyunca en az 580 derece santigratlik bir sicaklikta) ya da tavlanmis (temperleme için gerekli olandan daha düsük bir sicaklikta) olabilir. Bazi örnek düzenlemelerin materyalleri, örnegin, tavan pencereleri, tasit pencereleri veya ön camlari, YC üniteleri, VYC üniteleri, buzdolabi/dondurucu kapilari ve/veya benzeri olabilir. Bazi karsilastirmali örnek düzenlemeler, sunlari içeren bir tavan penceresi ile ilgilidir: büyük ölçüde paralel, ayrik birinci ve ikinci cam altliklar; birinci ve ikinci altligin büyük ölçüde paralel, birbirlerine göre ayrik konumda tutulmasina yardimci olacak sekilde düzenlenmis çok sayida aralayici; ve birinci ve ikinci altligi birbirine mühürleyen bir kenar sizdirmazlik elemani; ve bir birinci altligin, tavan penceresinin dis tarafindaki bir ortama maruz kalan bir dis yüzeyi üzerine uygulanmis bir bugu önleyici kaplama; burada bugu önleyici kaplama, birinci altliktan disa dogru hareket edildiginde su tabakalari içerir: silisyum nitrür ve/veya silisyum oksinitrür içeren bir tabaka, saydam bir iletken oksit (TCO) içeren bir tabaka, silisyum nitrür içeren bir tabaka ve zirkonyum oksit, zirkonyum nitrür, alüminyum oksit ve alüminyum nitrürden en az birini içeren bir tabaka, özelligi, bugu önleyici kaplamanin 0,23'ten daha küçük bir yariküresel yayinima ve 30 ohm/kareden daha düsük bir tabaka direncine sahip olmasidir. TCO, Bazi karsilastirmali örnek düzenlemeler bir tavan penceresi ile ilgilidir. Büyük ölçüde paralel, ayrik birinci ve ikinci cam altlik temin edilir. Çok sayida aralayici, birinci ve ikinci altligin büyük ölçüde paralel, birbirlerine göre ayrik konumda tutulmasina yardimci olacak sekilde düzenlenir. Bir kenar sizdirmazlik elemani, birinci ve ikinci altligin birbirine mühürlenmesine yardim eder. Birinci altligin tavan penceresinin dis tarafindaki bir ortama maruz kalan bir dis yüzeyinde bir bugu önleyici kaplama temin edilir. Bugu önleyici kaplama, birinci altliktan disa dogru hareket edildiginde su sirada yerlestirilmis su ince film tabakalari içerir: bir silisyum muhtevali bariyer tabakasi, bir birinci silisyum muhtevali temas tabakasi, saydam bir iletken oksit (TCO) içeren bir tabaka, silisyum muhtevali ikinci bir temas tabakasi ve bir zirkonyum oksit tabakasi. Bugu önleyici tabaka, 0,23'ten daha küçük bir yariküresel yayinima ve 30 ohm/kareden daha küçük bir tabaka direncine sahiptir. Bazi karsilastirmali örnek düzenlemeler sunlari içeren bir kaplamali materyal ile ilgilidir: bir altlik ile desteklenen bir kaplama; burada kaplama, birinci altliktan disa dogru hareket edildiginde su tabakalari içeren bir bugu önleyici tabakadir: silisyum nitrür ve/veya silisyum oksinitrür içeren bir tabaka, saydam bir iletken oksit (TCO) içeren bir tabaka, silisyum nitrür içeren bir tabaka ve zirkonyum oksitten, zirkonyum nitrürden, alüminyum oksitten ve alüminyum nitrürden birini veya daha fazlasini içeren bir tabaka; burada bugu önleyici kaplama, bugu önleyici tabaka bir dis ortama maruz kalacak sekilde altligin bir dis yüzeyine yerlestirilir ve bugu önleyici kaplama, 0,23'ten daha küçük bir yariküresel yayinima ve 30 ohm/kareden daha düsük bir tabaka direncine sahiptir. Bazi karsilastirmali örnek düzenlemeler, bir altlik ile desteklenen bir kaplama içeren bir kaplamali materyal ile ilgilidir. Kaplama, birinci altliktan disa dogru hareket edildiginde su sirada yerlestirilmis su ince film tabakalari içeren bir bugu önleyici kaplamadir: bir silisyum muhtevali bariyer tabakasi, bir birinci silisyum muhtevali temas tabakasi, bir saydam iletken oksit (TCO) içeren bir tabaka, silisyum muhtevali ikinci bir temas tabakasi ve bir zirkonyum oksit tabakasi. Bugu önleyici kaplama, bir dis ortama maruz kalacak sekilde, altligin dis yüzeyine yerlestirilir. Bugu önleyici tabaka, 0,23'ten daha küçük bir yariküresel yayinima ve 30 ohm/kareden daha küçük birtabaka direncine sahiptir. Bazi örnek düzenlemelere göre, dis ortam, bir evin ya da tasitin iç tarafidir. Bazi örnek düzenlemelere göre, dis ortam, açik mekan ortamidir. Bazi ömek düzenlemelere göre, bir düsük yayinimli kaplama, altlik üzerinde bugu önleyici kaplamanin karsisinda temin edilir. Bazi örnek düzenlemelerde, kaplamali materyal, bir tavan penceresi, pencere, yalitim camli (YC) pencere, vakumlu yalitim camli (VYC) pencere, buzdolabi/dondurucu kapisi ve/veya tasit penceresi ya da ön cami içerisine entegre edilebilir. Bugu önleyici kaplama, bir YC veya VYC ünitesinin, örnegin, birinci yüzeyi ve/veya dördüncü yüzeyi üzerinde yer alabilir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi (YCÜ) imal etme yöntemi temin edilmistir. Bir birinci cam altlik temin edilir. Birinci cam altligin bir birinci ana yüzeyine dogrudan veya dolayli olarak çok sayida tabaka yerlestirilir, burada çok sayida tabaka, birinci cam altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: kirilma indisi 1,5-2,1 olan silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, kirilma indisi 1,7-2,1 olan ITO içeren bir tabaka ve kirilma indisi 1,5-2,1 olan silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Birinci cam altlik, üzerine çok sayida tabaka yerlestirilmis halde isil islemden geçirilir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi ikinci cam altliktan disari dogru bakacak sekilde, birinci cam altliga göre ayrik, büyük ölçüde paralel sekilde ikinci bir cam altlik temin edilir. Birinci ve ikinci cam altliklar birbirine mühürlenir. Bazi örnek düzenlemelere göre, silisyum oksinitrür içeren birinci ve ikinci tabaka 1,7- 1,8 degerinde bir kirilma indisine sahiptir ve/veya ITO içeren tabaka 1,8-1,93 degerinde bir kirilma indisine sahiptir. Bazi örnek düzenlemelere göre, söz konusu isil islem; Iazerli tavlama, YKÖ-KDKÖ isimasina tabi tutma ve/veya firinda isitma islemlerini kapsar. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi (YCÜ) imal etme yöntemi temin edilmistir. Bir birinci cam altlik temin edilir. Birinci cam altligin bir birinci ana yüzeyine dogrudan veya dolayli olarak çok sayida tabaka yerlestirilir, burada çok sayida tabaka, birinci cam altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, ITO içeren bir tabaka ve silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Birinci cam altlik, üzerine çok sayida tabaka yerlestirilmis halde isil islemden geçirilir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi ikinci cam altliktan disari dogru bakacak sekilde, birinci cam altliga göre ayrik, büyük ölçüde paralel sekilde ikinci bir cam altlik temin edilir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi üzerinde çok sayida tabaka bulunur halde birinci altlik, söz konusu isil islemden sonra yaklasik 0,20 degerinde veya daha küçük bir yariküresel yayinima ve yaklasik 20 ohm/kare degerinde veya daha küçük bir tabaka direncine sahiptir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi (YCÜ) temin edilmistir. YCÜ bir birinci cam altlik içerir. Birinci cam altligin bir birinci ana yüzeyine dogrudan veya dolayli olarak çok sayida tabaka püskürtme teknigiyle yerlestirilir, burada çok sayida tabaka, birinci cam altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: kirilma indisi 1,5-2,1 olan silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, kirilma indisi 1,7-2,1 olan ITO içeren bir tabaka ve kirilma indisi 1,5-2,1 olan silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Montajli halde birinci cam altligin birinci ana yüzeyi ikinci cam altliktan disari dogru bakacak sekilde, birinci cam altliga göre ayrik, büyük ölçüde paralel sekilde ikinci bir cam altlik temin edilir. Bir kenar sizdirmazlik elemani, birinci ve ikinci cam altligi birbirine mühürler. Birinci cam altlik, üzerine çok sayida tabaka yerlestirilmis halde isil islemden geçirilir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi üzerinde çok sayida tabaka bulunur halde birinci altlik, söz konusu isil islemden sonra yaklasik 0,20 degerinde veya daha küçük bir yariküresel yayinima ve yaklasik ohm/kare degerinde veya daha küçük bir tabaka direncine sahiptir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi temin edilmistir. Büyük ölçüde paralel, ayrik birinci ve ikinci cam altlik temin edilir, burada birinci ve ikinci altlik, sirasiyla, YC ünitesinin büyük ölçüde paralel olan birinci ila dördüncü ana yüzeyini saglar. Birinci ve ikinci altliklar arasinda bir bosluk meydana getirilir. YC ünitesinin dördüncü bir yüzeyi, ikinci altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren, çok sayida Ince film tabakasi içeren bir birinci düsük yayinimli kaplamayi destekler: kirilma indisi 1,5- 2,1 olan silisyum oksinitrür içeren ve 50-90 nm kalinliginda bir birinci tabaka, kirilma indisi ve 50-90 nm kalinliginda silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Bazi örnek düzenlemelerde, karsi ana yüzeyleri üzerinde sirasiyla birinci ve ikinci düsük yayinimli kaplamalari destekleyen bir altlik içeren bir kaplamali materyal temin edilmistir. Birinci düsük yayinimli kaplama, altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: kirilma indisi 1,5-2,1 olan ve 50-90 nm kalinliginda silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, kirilma indisi 1,7-2,1 olan ve 85-125 nm kalinliginda oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Ikinci düsük yayinimli kaplama, altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: bir birinci silisyum esasli tabaka, bir birinci dielektrik tabaka, ikinci dielektrik tabakanin birinci ve ikinci kisimlarini olusturacak sekilde üçüncü bir dielektrik tabaka tarafindan ayrilmis ikinci bir dielektrik tabaka, ya titanyum oksit ya da kalay oksit içeren üçüncü dielektrik tabaka, ikinci dielektrik tabakanin ikinci kisminin üzerinde yer alan ve buna dogrudan temas eden bir metalik ya da büyük ölçüde metalik bir kizilötesi yansitici tabaka, kizilötesi yansitici tabakanin dogrudan üzerinde olan ve bu tabakaya temas eden bir Ni ve/veya Cr oksit içeren bir üst temas tabakasi, dördüncü bir dielektrik tabaka ve ikinci bir silisyum esasli tabaka. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi (YCÜ) imal edilmesi için bir yöntem temin edilmistir. Bir birinci cam altlik temin edilir. Bir birinci düsük yayinimli kaplama, birinci cam altligin birinci ana yüzeyine dogrudan veya dolayli olarak yerlestirilir. Birinci düsük yayinimli kaplama, birinci cam aItIiktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren çok sayida ince film tabakasi içerir: silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, ITO içeren bir tabaka ve silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi ikinci cam aItIiktan disari dogru bakacak sekilde, birinci cam altliga göre ayrik, büyük ölçüde paralel sekilde ikinci bir cam altlik temin edilir. Üzerinde yalnizca düsük yayinimli kaplamanin yer aldigi birinci altlik, isil islemden sonra yaklasik 0,20 degerinde veya daha küçük bir yariküresel yayinima ve yaklasik 20 ohm/kare degerinde veya daha küçük bir tabaka direncine sahiptir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi, YCÜ'nün bir iç yüzeyine karsilik gelir. Burada tarif edilen özellikler, görünümler, avantajlar ve örnek düzenlemeler, çok daha farkli düzenlemeleri meydana getirmek üzere bir araya getirilebilir. Cizimlerin kisa açiklamasi Bu ve diger özellikler ve avantajlar, çizimlerle birlikte açiklayici örnek düzenlemelerin asagidaki detayli tarifine basvurularak daha iyi ve daha bütünsel bir sekilde anlasilabilir; burada: SEKIL 1, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, bir bugu önleyici kaplama içeren, kaplanmis bir materyaldir; SEKIL 2, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, dis atmosfere maruz kalan en distaki yüzey üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama içeren bir yalitim cami ünitesidir; SEKIL 3, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, dahili ortama maruz kalan en içteki yüzey üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama içeren bir yalitim cami ünitesidir; SEKIL 4, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, yalitim cami ünitesinin en distaki ve en içteki yüzeyleri üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama içeren bir yalitim cami ünitesidir; SEKIL 5, 18 saatlik bir zaman dilimi boyunca sicaklik, rutubet ve çiy noktasi degisimine göre bir karsilastirma örneginin, mevcut bir bugu önleyici ürünün ve bir çiplak cam altligin performansini gösteren bir grafiktir; SEKIL 6, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, bir bugu önleyici kaplama içeren, kaplanmis bir materyaldir; SEKIL 7, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, bir bugu önleyici kaplama içeren, kaplanmis bir materyaldir ve SEKIL 8, karsilastirmali bir örnek düzenlemeye uygun olarak, KÖ isitici içeren bir sistemin sematik bir görünümüdür. Bulusun örnek düzenlemelerinin avrintili açiklamasi Simdi, çesitli görünümler içerisinde benzer referans numaralarinin benzer parçalari temsil ettigi ekli sekiller daha ayrintili olarak incelenecektir. Bazi karsilastirmali örnek düzenlemeler, ortama maruz kalan ince filmli bugu önleyici kaplamalarla ilgilidir. Bazi örnek düzenlemelerde söz konusu kaplamalar, cam altligin iç taraftari temin edilen isiyi muhafaza etmesine yardimci olacak sekilde düsük bir yariküresel yayinima sahiptir. Örnegin, tavan penceresi ve/veya baska bina penceresi örnek uygulamalarinda, cam altlik, binanin iç tarafindan gelen daha fazla isiyi muhafaza eder. Tasit örnek uygulamalarinda, ön cam, aracin iç tarafindan gelen daha fazla isiyi muhafaza eder. Bu durum, ilk anda bugu olusmasinin azaltilmasina (hatta bazen önlenmesine) yardim eder. Yukarida belirtildigi gibi, bazi örnek durumlarda, söz konusu bugu önleyici kaplamalar, ortama maruz kalan bir yüzey (veya birden çok yüzey) üzerinde temin edilebilir. Buna bagli olarak, bazi örnek düzenlemelerin bugu önleyici kaplamalari, bu kosullarda özelliklerini kaybetmeyecek derecede dayanikli olabilir. Sekil 1, bir karsilastirmali örnek düzenlemenin bir bugu önleyici kaplamasini içeren bir kaplamali materyaldir. Sekil 1'de yer alan örnek düzenleme, çok tabakali ince filmli bir bugu önleyici kaplamayi (3) destekleyen bir cam altlik (1) içerir. Bugu önleyici kaplama (3) düsük bir yariküresel yayinima sahiptir. Bazi örnek düzenlemelerde, yariküresel yayinim 0,25'ten küçüktür, daha tercih edilebilir olarak 0,23'ten küçüktür, daha da tercih edilebilir olarak 0,2'den küçüktür ve bazen hatta 1,0-1,5'ten küçüktür. Bu özellik, uygun derecede düsük bir tabaka direnci elde edilecek sekilde ince bir saydam iletken oksit tabakasi (TCO) (5) temin edilerek saglanir. Sekil 1'de yer alan örnekte, TCO (5) indiyum kalay oksittir (ITO). Istenen yariküresel yayinim degerlerini elde etmek için genellikle 10-30 ohm/kare degerinde bir tabaka direnci yeterli olacaktir. Burada tarif edilen bazi örnek düzenlemeler, 13-27 ohm/kare degerinde bir tabaka direnci saglamakta olup altta verilmis örnek 17 ohm/kare degerinde bir tabaka direnci saglamaktadir. Bazi örnek durumlarda, tabaka direnci, her ne kadar bu düsük deger gerekli olmasa da yaklasik Sohm/kare degerine kadar düsecek sekilde bir TCO (5) seçilmesi mümkündür. Sekil 6'da yer alan düzenlemede tabakalarin (11 ve 13) mevcut olmamasi disinda, Sekil 6, benzer tabakalari içeren bir kaplamali materyali resmeder. Sekil G'da yer alan düzenlemede, silisyum oksinitrür muhtevali tabaka (9b) hem bir silisyum muhtevali bariyer tabakasi hem de bir düsük temas tabakasi olabilir ve Sekil 1'de yer alan düzenlemenin tabakalarinin (9b ve 11) bir kombinasyonundan olusturulabilir. Sekil 1 ve Sekil 6'da yer alan düzenlemelerde, üst kaplama tabakasi (7) zirkonyum oksit, alüminyum oksit, alüminyum nitrür ve/veya alüminyum oksinitrür mamulü olabilir veya içerebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, silisyum nitrür mamulü ve/veya içeren tabakalara (9a, 9b ve 11), hedef materyal, tabakanin püskürtülmesi esnasinda iletken olabilecek sekilde, teknikte bilinen yöntemle alüminyum (ör. yaklasik %0,5 ile %5 arasinda Al) katkilanabilir. Sekiller 1 ve 6'ya dayali olarak, TCO (5), ortamdan bir tabaka ya da zirkonyum oksit (7) ile korunur. TCO'nun (5) ör. sodyum göçünden korunmasina yardim etmek için de TCO (5) ile altlik (1) arasinda bir silisyum muhtevali bariyer tabakasi (11) temin edilebilir. Sekil 1'de yer alan örnekte, silisyum muhtevali bariyer tabakasi (11) silisyum nitrürdür ve silisyum nitrür bariyer tabakasi (11), bir titanyum oksit tabakaya (13) bitisik halde saglanir. silisyum nitrür bariyer tabakasi (11) ve titanyum oksit tabaka (13), tüm materyalin optik özelliklerine katki saglar. Bazi örnek durumlarda, nihai ürünün optik özelliklerini daha da gelistirmek için bir alçak/yüksek/alçak tabaka yigini sisteminin de kullanilabilecegi anlasilacaktir. Bazi örnek düzenlemelerde, silisyum nitrür bariyer tabakasi (11), ör. bir silisyum oksinitrür tabaka olacak sekilde oksitlenebilir. Bir baska deyisle, örnegin bazi örnek düzenlemelerde, tabaka (11), silisyum oksinitrür mamulü olabilir veya içerebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, silisyum nitrür içeren bir bariyer tabakasi (ör. SI3N4 veya baska bir uygun stokiyometri), Sekil 1'de yer alan örnekte silisyum muhtevali bariyer tabakasinin (11) ve titanyum oksit tabakasinin (13) yerini alabilir. Ek silisyum muhtevali tabakalar (9a ve 9b) TCO'yu (5) araya sikistirabilir. Sekil 1'deki örnekte görüldügü gibi, üst silisyum muhtevali tabaka (9a) bir silisyum nitrür tabaka olurken alt silisyum muhtevali tabaka (9b) bir silisyum oksinitrür tabakadir. Farkli karsilastirma örneklerinde, silisyumun oksijen ve/veya azot ile herhangi bir uygun kombinasyonunun kullanilabilecegi anlasilacaktir. Asagidaki tabloda, Sekil 1'de yer alan karsilastirmali örnek düzenleme için örnek fiziksel kalinlik degerleri ve kalinlik araliklari verilmistir. Örnek Kalinlik Araligi (nm) Örnek Kalinlik (nm) SiOxNy (9b) 10-50 35 Sekil 6'da yer alan düzenleme için tabakalar (9b, 5, 9a ve 7) için kalinlik degerleri benzerdir ve yukaridaki tablo ayrica bu tabakalar için de geçerlidir. Ancak, Sekil 6'de yer alan düzenlemede, silisyum nitrür ve/veya silisyum oksinitrür esasli tabaka (9b) daha kalin, ör. yaklasik 10-200 nm kalinliginda, daha tercih edilebilir olarak yaklasik 10- 100 nm kalinliginda olabilir. Yukarida belirtildigi gibi, ITO yerine veya lTO'ya ilave olarak baska TCO'lar kullanilabilir. Örnegin, bazi örnek düzenlemelerin yapisinda bir alüminyum katkili çinko oksit (AZO), p-tipi alüminyum oksit, katkili veya katkisiz Ag, FTO ve/veya benzeri bulunabilir. Tabaka yigin sisteminin yapisina bir TCO olarak Ag dahil edildiginde, Ni ve/veya Cr içeren tabakalar, dogrudan Ag'ye bitisik (temas eder halde) olacak sekilde temin edilebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, tabaka yigin sistemindeki her tabaka püskürtme yoluyla biriktirilebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, bir veya daha fazla tabaka farkli bir teknik kullanilarak biriktirilebilir. Örnegin, TCO (5) olarak FTO dahil edildiginde, prolitik olarak biriktirilebilir (ör. yanma buharli biriktirme veya CVD). Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, elmas benzeri karbon (DLC) tabaka zirkonyum oksit üzerine ve buna temas edecek sekilde dogrudan temin edilebilir. Bu, bazi örnek durumlarda daha dayanikli, hidrofilik benzeri bir kaplama olusturulmasina yardimci olur. Hidrofilik kaplamalar genel olarak 10 dereceden az veya buna esit bir temas açisi içerir. Püskürtme yoluyla biriktirilen zirkonyum oksit, yaklasik 20 dereceden az olan bir temas açisina sahip olmaya meyillidir. Ancak, DLC'nin zirkonyum oksit üzerindeki DLC üzerinde olusturulmasi islanabilirlik özelligine katki saglar ve daha sert bir tabaka olusturur. Örnegin, bir zirkonyum oksit/DLC tabaka yigini temperlendiginde, yaklasik dereceden az veya buna esit olan bir temas açisina ulasir. Böylelikle, özelligini kaybetmeyen, hidrofilik benzeri bir kaplama elde edilebilir. Bu tabakanin, temperleme islemi ardindan bir DLC tabakanin izledigi bir zirkonyum oksit tabaka üretecek olan, bir DLC tabakanin izledigi bir zirkonyum oksit tabaka temin ederek olusturulabilecegi dikkate alinmalidir. Ör. kaplamasinda DLC ve/veya zirkonyum içeren isil islem görebilir bir kaplamali materyali tarif eden US 7.676.306 sayili patente bakiniz. Buna ilave veya alternatif olarak, karsilastirmali örnek düzenlemelerde, zirkonyum oksit üzerinde bir ince hidrofilik ve/veya fotokatalitik kaplama temin edilebilir. Böyle bir tabaka anataz Ti02, BiO, Bin, BiSn, SnO ve/veya herhangi baska bir uygun malzeme içerebilir. Böyle bir tabaka ayrica islanabilirlik özelligine katki saglayabilir ve/veya materyale kendi kendine temizlenme özellikleri kazandirabilir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, zirkonyum oksit koruyucu tabaka (7) alüminyum oksit ve/veya alüminyum oksinitrür ile degistirilebilir. Buna ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, tabaka (7), baslangiçta, dogrudan silisyum nitrür muhtevali tabaka (9a) üzerinde zirkonyum nitrür mamulü olan veya içeren bir birinci tabaka ve elmas benzeri karbon (DLC) mamulü olan veya içeren ikinci bir tabaka içerecek sekilde çok tabakali bir yapida biriktirilebilir. Bunun ardindan, isil islem (ör. en az yaklasik 580 derece santigratlik bir sicaklik (sicakliklar) içeren isil temperleme) istendiginde, kaplamali materyal isil islemden geçirilir ve üzerini örten DLC muhtevali tabaka isil islem esnasinda yanarak kaybolur ve zirkonyum nitrür muhtevali tabaka zirkonyum oksite dönüserek, tabakanin (7) zirkonyum oksit mamulü oldugu veya içerdigi bir isil islemden geçirilmis tabaka yiginina sahip bir isil islemden geçirilmis kaplamali materyal verir (ör. bkz. Sekiller 1 ve 6). Sekil 1 veya Sekil 6'da yer alan örneklerde gösterilmese de. cam altik üzerinde bugu önleyici kaplamanin (3) karsisinda gümüs esasli bir düsük yayinimli kaplama temin yayinlarda tarif edilmis düsük yayinimli kaplamalarin herhangi biri olabilir. Elbette, bu bulusun farkli düzenlemeleri ile baglantili olarak mevcut bulusun devredildigi kisiden ticari olarak temin edilebilen diger düsük yayinimli kaplamalar ve/veya baska düsük yayinimli kaplamalar da kullanilabilir. Örnegin, uygun diger düsük yayinimli Bazi örnek düzenlemelerle baglantili olarak gümüs esasli ve gümüs esasli olmayan düsük yayinimli kaplamalarin kullanilabilecegi anlasilacaktir. Dayaniklilik amaciyla gümüs esasli olmayan düsük yayinimli kaplamalarin kullanilmasi ve/veya isil islem görebilir kaplamalarin temin edilmesi bazen avantajli olabilir. Bazi durumlarda, yukarida Ag esasli bir tabaka içermeden saglanmis olanlarla esdeger bir tabaka direncine ve yayinim degerlerine sahip olan bir kaplama temin edilmesi arzu edilebilir. Kaplamali materyal temperlenirken, bir temperleme firinindan "asagiya dönük" olarak geçebilir. Bir baska deyisle, kaplamali materyal temperlenirken, bugu önleyici kaplama, silindirlere dönük olabilir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, bir bugu önleyici kaplama uygulandiginda, görünür iletim yüksek olabilir. Örnegin, bazi örnek düzenlemelerde, görünür iletim tercihen en az yaklasik %50, daha tercih edilebilir olarak en az yaklasik %60, çok daha tercih edilebilir olarak en az yaklasik %65 olacaktir. Bazi örnek düzenlemelerde, görünür iletim %70, %80 veya hatta daha yüksek olabilir. Sekil 1 veya Sekil 6'da görülen kaplanmis materyal bir yalitim cami (YC) ünitesine dahil edilebilir. Örnegin, Sekil 2, bir örnek düzenlemeye uygun olarak harici atmosfere maruz kalan bir en dis yüzey üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama içeren bir yalitim cami ünitesidir. Sekil 2'deki karsilastirma örneginde yer alan YC ünitesi, büyük ölçüde paralel birinci ve ikinci ayrik cam altliklar (1 ve 21) içerir. Bu altliklar, aralarinda bir alan veya bosluk (22) meydana getirir. Birinci ve ikinci altliklar (1 ve 21), bir kenar sizdirmazlik elemani (23) kullanilarak mühürlenir ve çok sayida dikme (25), birinci ve ikinci altliklar (1 ve 21) arasindaki mesafenin muhafaza edilmesine yardim eder. Birinci altlik (1) bugu önleyici kaplamayi (3) destekler. Sekil 2'de yer alan karsilastirma örneginden anlasilacagi üzere, bugu önleyici kaplama (3) harici ortama maruzdur. Düsük yayinimli kaplamalarin genel olarak harici ortamdan korundugu yaygin uygulamalardan bir sapma söz konusudur. Sekil 2'de yer alan düzenleme, bugu önleyici kaplamanin (3) dayanikliligi sayesinde mümkün hale gelmektedir. Sekil 2'de gösterilmese de, yukarida tarif edilene benzer olarak, birinci ve ikinci altliklarin (1 ve 21) birinin bir iç yüzeyinde bir düsük yayinimli kaplama (ör. gümüs esasli düsük yayinimli bir kaplama) temin edilebilir. Bir baska deyisle, Sekil 2'de gösterilmese de, Sekil 2'de görülen YC ünitesinin yüzeyinde (2) veya yüzeyinde (3) düsük yayinimli bir kaplama temin edilebilir. Sekil 2'de yer alan karsilastirma örnegi, bir tavan penceresi uygulamasi ile baglantili olarak saglandiginda, örnegin, dis altlik (1) temperli olabilir ve iç altlik (21 ), ör. güvenlik amaciyla, katmanli olabilir. Bu durum, istenen uygulamaya bagli olarak diger YC ünitesi ürünleri için de geçerli olabilir. Buna ilave olarak, Sekil 2'deki örnekte yer alan YC ünitesinin genel olarak düsey ve genel olarak yatay uygulamalarla baglantili olarak kullanilabilecegi anlasilacaktir. Bir baska deyisle, Sekil 2'deki örnekte görülen YC ünitesi genel olarak dik ya da genel olarak yatay olan buzdolabi/dondurucu kapilarinda kullanilabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, birinci ve ikinci altliklar (1 ve 21) arasindaki alan veya bosluk (22) bosaltilmis ve/veya bir atil gazla (örnegin, argon gibi) doldurulmus olabilir ve kenar sizdirmazlik elemani (23), ör. bir vakumlu yalitim cami (VYC) ünitesi olusturulmasinda hermetik bir sizdirmazlik saglayabilir. Sekil 2'de iki cam altliga sahip bir YC ünitesi gösterilmektedir. Ancak, burada tarif edilen örnek bugu önleyici kaplamalar, büyük ölçüde paralel ve ayrik birinci, ikinci ve üçüncü cam altliklar ihtiva eden ürünlerle (yer yer "üç camli" ürünler olarak da ifade edilmektedir) baglantili olarak kullanilabilir. Bugu önleyici kaplama, yüzey (1) (ortama maruz kalan en dis yüzey) üzerine yerlestirilebilir ve düsük yayinimli kaplama bir veya daha fazla iç yüzey (yüzey (1) ve yüzey (6) disindaki yüzeyler) üzerine yerlestirilebilir. Örnegin, bugu önleyici kaplama, yüzey (1) üzerine yerlestirilebilir ve düsük yayinimli kaplama, 2. ve 5. yüzeyler, 3. ve 5. yüzeyler vb. üzerine yerlestirilebilir. Söz konusu üç camli ürünler, bu bulusun farkli düzenlemelerinde, üç cam veya altlik ihtiva eden YC üniteleri, üç cam veya altlik ihtiva eden üçlü VYC üniteleri vb. olabilir. Üç camli YC Yukarida belirtildigi gibi, bazi örnek düzenlemeler tasit ön camlari, pencereleri, aynalari ve/veya benzeri ile baglantili olarak kullanilabilir. Bir tasitin dis cam yüzeylerinin yariküresel yayinimi tipik olarak yaklasik 84'ten büyüktür. Ancak, yariküresel yayinimi yukarida tanimlanan (ve/veya diger) araliklara indirgeyerek, cam yüzey, tasitin içinin sagladigi daha fazla isiyi muhafaza edebilir. Buna bagli olarak bu durum, hareket halindeki bir tasit daha soguk iklimden daha sicak iklime (ör. daglik alanlar) giderken camin yüzeyinde daha az veya sifir bugulanma, tasit park edildiginde ve gece boyu birakildiginda vb. daha az veya sifir bugulanma saglayabilir. Tasit uygulamalarinda bugu önleyici kaplama, tasit kabininin disinda kalan camin kenarinda temin edilebilir. Zirkonyum oksit son kat, nispeten düsük sürtünme katsayisina sahip oldugundan tasit pencere uygulamalari için avantajlidir. Daha spesifik olarak, bu düsük sürtünme katsayisi, pencerelerin yukari ve asagi hareketini kolaylastirir. Bazi örnek düzenlemeler, örnegin sunlar dahil olmak üzere herhangi uygun bir tasit ile baglantili olarak kullanilabilir: otomobiller; kamyonlar; trenler; tekneler, gemiler ve diger deniz tasitlari; uçaklar; traktörler ve diger is makinalari vb. Tasit ayna uygulamalarinda, kaplamanin optik özellikleri, böyle bir "çift yansima" meydana gelmeyecek sekilde ayarlanabilir. Mevcut basvurunun mucitleri ayrica, bazi örnek düzenlemelerde yer alan bugu önleyici kaplamanin ",30/,30 standardi" olarak adlandirilan standardin karsilanmasina yardimci olmak üzere kullanilabilecegini de kesfetmistir. Kisaca, ,30/,30 standardi, 0,30'dan küçük veya buna esit olan bir U degerini ve 0,30'dan küçük veya buna esit olan bir günes isisi kazanim katsayisini (SHGC) ifade eder. ABD'deki bazi yönetmelikler, bu kriterleri karsilayan pencerelere, tavan pencerelerine, kapilara vb. yapilan yatirimlarda bir vergi indirimi öngörmektedir. Sekil 3, bir örnek düzenlemeye uygun olarak dahili ortama maruz kalan bir en iç yüzey üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama (ör. bkz. Sekil 1'de ve/veya Sekil 6'da yer alan kaplama) içeren bir yalitim cami ünitesidir. Sekil 3'te yer alan örnek düzenlemede bugu önleyici kaplamanin (3), dis ortamdan ziyade binanin iç ortamina maruz kalan iç cam altligin (1) dis yüzeyi olan yüzey (4) üzerinde bulunmasi haricinde, Sekil 3'te yer alan karsilastirma örnegi Sekil 2'de yer alan örnek düzenlemeye benzerdir. Karsilastirmali örnek düzenlemelerde, iç altlik (1) tavlanmis (temperlenmis olmaktan ziyade) olabilir. Her ne kadar Sekiller 1, 2 ve/veya 6 ile baglantili olarak yukarida tarif edilmis modifikasyonlar Sekil 3 gibi bir düzenleme ile baglantili olarak yapilabilse de, bugu önleyici kaplama, Sekil 2 ve Sekil 3 arasindaki örnek düzenlemeler ile ayni veya büyük ölçüde ayni kalabilir. Yapilabilecek bir degisiklik, istenen U degeri performansini elde edecek sekilde ITO kalinligini arttirmaktir. lTO'nun kalinlastirildigi böyle durumlarda, diger tabakalarin kalinligi, istenen optik özellikler elde edilecek sekilde de ayarlanabilir. Istenen optik özellikleri elde etmek için ek tabakalar da ilave edilebilir. Diger yapisal elemanlar Sekiller 2 ve 3 ile ayni kalir ve bunlar üzerinde benzer modifikasyonlar yapilabilir. Bugu önleyici kaplama (3) Sekil 3'te görüldügü gibi yüzey (4) üzerine yerlestirildiginde, U degeri 0,29 olarak tayin edilmistir. YC ünitesinin yüzeyinde (2) ek bir düsük yayinimli kaplama temin edildiginde, U degerinin 0,23'e düstügü görülmüstür. Bazi örnek düzenlemeler ayrica 0,30 degerinden küçük veya buna esit bir SHGC saglayarak,30/,30 standardinin karsilanmasina yardimci olabilir. Düsük U degerlerine sahip ürünlerde (ör. yüzey 4'te bugu önleyici kaplamaya sahip olan YC veya VYC üniteleri, iki ve üç camli VYC üniteleri vb.), ör. cam düsük yayinimli kaplamalardan dolayi isinmadigindan, bugu bir problem haline gelebilir. Bu problemin bir çözümü; bir örnek düzenlemeye uygun olarak yalitim cami ünitesinin en dis ve en iç yüzeyleri üzerine yerlestirilmis bir bugu önleyici kaplama içeren bir yalitim cami ünitesi olan Sekil 4'te verilmistir. Sekil 4'te yer alan örnekte, birinci ve ikinci altliklar (1a ve 1b) temin edilmektedir. Birinci ve ikinci bugu önleyici kaplamalar (3a ve 3b) sirasiyla 1. ve 4. yüzeyler üzerinde temin edilmistir. Bazi örnek düzenlemelerde, iç yüzeylerin biri veya her ikisi üzerinde (yüzey 2 ve/veya 3) düsük yayinimli ek kaplamalar temin edilebilir. Bu sayede, U degerini azaltma ve bugu önleme davranislari sergileyen bir ürünün temin edilmesi mümkündür. Sekil 5, 18 saatlik bir zaman dilimi genelinde sicaklik, rutubet ve çiy noktasi degisimine göre bir karsilastirmali örnek düzenlemenin, bir mevcut bugu önleyici ürünün ve bir çiplak cam altligin performansini resmeden bir grafiktir. Sekil 5'te yer alan görüntülerin her birinde, üzerlerine basilmis halde, bugu varliginin veya yoklugunun ortaya konmasina yardimci olmak için bir "çapraz çizgi" deseni mevcuttur. Sekil 5'ten görülebildigi üzere, bir örnek düzenlemeye uygun olarak üretilmis olan numuneler üzerinde hemen hemen hiç bugu olusmamistir. Bunun aksine, pirolitik olarak biriktirilmis FTO içeren karsilastirma örnegi, gözlemlenen ilk zaman diliminde bir miktar bugunun olustugunu, bugu düzeyinin gözlemlenen ikinci ve üçüncü zaman dilimlerinde büyük ölçüde artis gösterdigini ve gözlemlenen dördüncü zaman dilimine kadar hafifçe azaldigini göstermektedir. Uygulamada, "çapraz çizgi" deseni, gözlemlenen ikinci zaman diliminde kayda deger ölçüde bulanik, üçüncü dilimde ise zorlukla görünebilir sekildedir. Kaplamasiz cam numune, gözlemlenen tüm zaman dilimlerinde kayda deger bugulanma göstermektedir. Gözlemlenen ikinci ve üçüncü zaman dilimlerinde "çapraz çizgi" deseni görülememektedir. Sekil 7, bir karsilastirma örnegine uygun olarak bir bugu önleyici kaplama içeren bir kaplamali materyaldir. Sekil 7'de yer alan örnek tabaka yigini, birinci ve ikinci silisyum muhtevali tabakalar (9a ve 9b) arasina sikistirilmis bir TCO tabakasi (5) içermesi itibariyle daha önce tarif edilmis olan tabaka yiginlarina benzerdir. Sekil 7'de yer alan örnek düzenlemede, birinci ve ikinci silisyum muhtevali tabaka (9a ve 9b) silisyum oksinitrür içerir. silisyum oksinitrür içeren birinci ve ikinci tabaka (9a ve 9b), ITO içeren bir TCO tabakasini (5) aralarinda sikistirir. Tabakalarin her biri için örnek kalinliklar ve kirilma indisleri asagidaki tabloda verilmistir: Örnek Sirinci .Ikinci Örnek Tercih Sirinci .Ikinci Kalinlik Ornek Ornek Kirilma Edilen Ornek Ornek Araligi Kalinlik Kalinlik Indisi Kirilma Kirilma Kirilma (nm) (nm) (nm) Araligi Indisi Indisi Indisi Araligi Farkli düzenlemelerde bu tabaka yigininin diger varyantlari mümkündür. Söz konusu varyantlar, örnegin, birinci ve/veya ikinci silisyum muhtevali tabaka için kismen veya bütünüyle oksitlenmis ve/veya nitrürlenmis tabakalarin kullanilmasini, ZrOX içeren bir koruyucu üst katin eklenmesini, cam altlik ile ikinci silisyum muhtevali tabaka arasina bir veya daha fazla indis eslestirici tabaka (ör. TiOx içeren) eklenmesini vb. içerebilir. Örnegin, bazi örnek düzenlemeler, Sekil 7'de yer alan örnek tabaka yigininin, SiOXNy içeren üst tabakayi SiN ile degistirecek sekilde, ZrOx içeren bir tabaka eklenecek sekilde (ör. dayanikliligi potansiyel olarak arttirmak için), hem SiOXNy içeren üst tabakayi SIN ile degistirecek sekilde hem de ZrOx içeren bir tabaka ekleyecek sekilde vb. modifiye edilmesini içerebilir. Dolayisiyla, burada listelenmis olan olasi modifikasyonlarin herhangi bir kombinasyon ya da alt kombinasyon halinde kullanilabilecegi anlasilacaktir. Ayrica, "R5 pencere" kalite degeri olarak adlandirilan, düsük yayinimli (ör. < 0,20) kalite degerini (tam pencere U degeri < 0,225) karsilayacak sekilde de modifikasyonlar yapilabilir. Bu standartlari karsilamak için TCO tabakasinin kalinligi arttirilabilir. Öngörülen tabakalarin ayni zamanda kabul edilebilir optik degerler muhafaza edilecek sekilde ayarlanabilecegi ve/veya titanyum oksit içeren tabakalar gibi dielektrik tabakalarin ilave edilebilecegi anlasilacaktir. Cam altliklarin 3 mm'lik seffaf cam altliklar oldugu, yüzeyde (2) düsük yayinimli bir kaplamanin temin edildigi ve YCÜ düzenlemelerinde yaklasik %90 Ar ve %10 hava ile doldurulmus 1/2"'Iik bir boslugun temin edildigi dikkate alinmalidir. Monolitik YCÜ COG Kalinligi kalite artisi Sekil 7'de yer alan karsilastirma örnegi, avantaj saglayacak sekilde, ZrOx veya benzeri içeren bir üst kaplama tabakasi içermese dahi, ör. isil islemden sonra oldukça dayaniklidir. Dolayisiyla, Yüzey (4) kaplamasi olarak adlandirilan bir kaplama olarak kullanima uygun oldugu görülmüstür. Bilindigi gibi, ömegin bir YCÜ'nün dördüncü yüzeyi, günesten en uzaktaki (ve dolayisiyla tipik olarak bir binanin içine bakan) yüzeydir. Dolayisiyla, Sekil 7'de yer alan örnek tabaka yigini, Sekil 3'te görülene benzer bir tertibat içerisinde kullanima çok uygundur. Ayrica, Sekil 7'de yer alan örnek düzenlemenin, binanin iç tarafina bakan bir en iç yüzey üzerinde (ör. üç camli bir YCÜ'nün yüzeyinde [6] vb.) temin edildigi hallerde diger camlarla baglantili olarak kullanima uygun oldugu anlasilacaktir. Yukarida belirtildigi gibi, Sekil 7'de yer alan örnek tabaka yigini, bazi örnek düzenlemelerde isil islem görebilir. Böyle bir isil islem, bir kizilötesi (KÖ) isitici, bir kasa veya farkli firin, bir Iazerli tavlama prosesi vb. kullanilarak gerçeklestirilebilir. Isil islemin diger örnek detaylari asagida verilmistir. Asagidaki iki tablo, Sekil 7'de yer alan sirasiyla KÖ isil islemden geçmis ve bantli firinda isil islem görmüs (ör. 650 derece C'de) monolitik tabaka yigini ile ilgili performans verilerini içermektedir. Monolitik Tavlanmis (Kizilötesi Islem Sonrasi) Performans Verileri Cam Kalinligi (mm) 2,8 mm T 88,49 a*, Iletim -0,56 b*, Iletim 0,22 L*, Iletim 95,36 Rg 9,11 a*, Cam Tarafi -0,4 b*, Cam Tarafi -1,13 L*, Cam Tarafi 36,20 Rf 9,10 a*, Film Tarafi -0,72 b*, Film Tarafi -1,13 L*, Film Tarafi 36,17 iletilen Renksel Geriverim Indeksi (CRI) 97,91 Yüzey Pürüzlülügü 1,8 Tabaka Direnci 17-19 Yariküresel Yayinim 0,20 veya 0,21 Monolitik Temperli (bant firin 650) Performans Verileri T 88,10 AE (Tavli ila Temperli) 0,37 a*, Iletim -0,60 b*, Iletim 0,54 L*, Iletim 95,20 Rg 9,08 AE (Tavli ila Temperli) 1,04 a*, Cam Tarafi -0,26 b*, Cam Tarafi -2,16 L*, Cam Tarafi 36,14 Rf 9,06 AE (Tavli ila Temperli) 1,16 a*, Film Tarafi -0,69 b*, Film Tarafi -2,28 L*, Film Tarafi 36,10 Iletilen Renksel Geriverim Indeksi (CRI) 97,91 Yüzey Pürüzlülügü 1,8 Tabaka Direnci (NAGY) 17-19 Yariküresel Yayinim 0,19 veya 0,20 Yukarida belirtildigi gibi, Sekil 7'de yer alan karsilastirma örnegi, örnegin, bir kizilötesi (KÖ) isitici, kasa veya baska bir firin, bir Iazerli tavlama prosesi vb. kullanilarak isil islemden geçirilebilir. Biriktirme sonrasi uygulanacak bir isil islem adimi, ITO tabakasinin yeniden kristallestirilmesine yardimci olma ve istenen yayinimin ve optik özelliklerin (ör. yukarida tarif edilenler dahil olmak üzere) elde edilmesine yardimci olma noktasinda avantajli olabilir. Bir örnek proseste, bu amaçlarin karsilanmasi için cam, yaklasik 400 derece C'Iik bir sicakliga isitilabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, cama daimi (veya en azindan geçici olmayan) stres degisimlerinin yansima ihtimalinin azaltilmasina yardimci olmak için cam sicakligi 470 derece C'yi asmayacaktir. Bazi örnek düzenlemeler, bir lazerli tavlama prosesi ile baglantili olarak bir lazer diyot grubu kullanabilir. Asagidaki parametrelere sahip bir lazer diyot grubunun, avantajli bir sekilde, tabaka direncinin yaklasik 20 ohm/kareye (örnegin, biriktirilmis haldeki yaklasik 65 ohm/kare degerinden) düsürülmesine yardimci oldugu, büyük ölçüde homojen bir kaplama görünümünün elde edilmesine yardimci oldugu ve yukarida siralanmis olan performans metriklerinin karsilanmasina yardimci oldugu görülmüstür. . Lazer gücü - 1 kW . Yayinim dalga boyu - 975 nm . Tarama hizi- 75 mm/sn. 0 Nokta büyüklügü - nominal olarak 12,5 mm x 2 mm Bazi örnek düzenlemelerin isitilmasi için birden çok bölgeye sahip bir firin da kullanilabilir. Bölge sicakligi, hat hizi, sicaklik sapmasi (ör. üst/alt), aspirasyon, eleman kirpma islemi (ör. firin boyunca), sogutma havasi ayarlari (ör. basinç ve akis sapmasi) ve/veya diger faktörler, istenen performans özelliklerinin elde edilmesine yardimci olacak sekilde ayarlanabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, isil islemin gerçeklestirilmesi için on bölgeli bir firin kullanilabilir. Bölgelerin kismi bir alt kümesi ITO yeniden kristallestirme prosesine yardimci olurken, diger bölgeler altligin firindan çikmadan önce yavasça sogutulmasina yardimci olabilir. On bölgeli bir firinin kullanildigi bir örnekte, bölgeler 1-3'ün, kaplamayi yaklasik 400 derece C'ye isitarak ITO yeniden kristallestirme prosesinde aktif oldugu, öte yandan firinin geride kalan bölgelerinin, cam altligin, sogutma havasi bölümlerine girmeden önce yavasça sogutulmasina yardimci oldugu görülmüstür. Bazi örnek durumlarda, kirilma ihtimalinin azaltilmasina yardimci olmak için düsük bir çikis sicakliginin muhafaza edilmesinin istenebilecegi anlasilacaktir. Uygulamada, cam, yeniden tavlama prosesinde, bilhassa 200 derece C'nin üzerindeki sicakliklarda termal kirilmaya karsi çok duyarlidir. Termal kirilmayi etkileyen diger parametreler, cam kalinligi içerisindeki sicaklik farkini ve bunun yani sira cam yüzeyi boyunca sicaklik farkini içerir. Cam kalinligi içerisindeki sicaklik farkinin, kaplamali altliklara iliskin olarak termal kirilma üzerinde büyük bir etkisi oldugu görülmüstür. Baslangiç profili olusturulduktan sonra (hat hizi, bölge sicakligi, sogutucu hava, sapmasiz) firindan çikan kaplamasiz camin üst ve alt yüzey sicakliklari neredeyse özdes olmus ve seffaf camin büyük çogunlugu tavlama prosesinden sonra özelligini korumustur. Ancak kaplamali ürünün üst yüzeyinin ölçülen sicakligi, firin çikisinda 250 derece F kadar yüksek olmustur. Bunun nedeni, kaplamali üst yüzeyden radyan transferden ziyade merdanelere dogru iletken özellikli transferde isinin daha hizli kaybolmasidir. Ancak, bu fark yaratan ve sapma gösteren isitma ve sogutma mekanizmasinin tanimlanmasi ve anlasilmasiyla, bu farkin azaltilmasi ve buna bagli olarak kirilma ihtimalinin azaltilmasina yardimci olunmasi mümkündür. 3,2 mm'lik ve 2,3 mm'lik cam için örnek firin profilleri sirasiyla alttaki tablolarda verilmistir. 3,2 mm Firin Profili Bu örnek isitma profili ile baglantili olarak asagidaki parametreler kullanilmistir: 0 Hat Hizi: 60 ft/dak . Aspirasyon: 0 . Sogutucudan Sonra: 1" H20, ayar noktasi = 0 ve sönümleme elemani açik 2 3 mm Firin Profili Bu örnek isitma profili ile baglantili olarak asagidaki parametreler kullanilmistir: - Hat Hizi: 70 ft/dak . Aspirasyon: 0 . Birincil Sönümleme: 1" H20, sadece üst, ayar noktasi = 0 ve sönümleme elemani açik . Sogutucudan Sonra: 1" H20, ayar noktasi = 0 ve sönümleme elemani açik Yine baska bir seçenek olarak, bazi örnek düzenlemelerde, isil islem için dalga boyu ayarli KÖ isima kullanilabilir. Örnek teknikler, U.S. 8,815,059 sayili patentte ifade edilmistir. TCO tabakasi, örnegin, spesifik olarak ayarlanmis yakin kizilötesi-kisa dalga kizilötesi (YKÖ- KDKÖ) isima kullanilarak, tercihli ve seçici olarak isil islemden geçirilebilir. Kaplamanin seçici olarak isitilmasi, bazi örnek düzenlemelerde, ITO'nun kayda deger düzeyde emici oldugu ancak altligin (ör. cam) düsük veya minimal absorpsiyona sahip oldugu spektral dalga boylari genelinde pik çikislara sahip KÖ yayicilar kullanilarak elde edilebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, bir yandan tabandaki altligin sicakliklari ayni anda düsük tutularak kaplama tercihli olarak isitilacak ve böylelikle özellikleri iyilestirilecektir. Kaplamanin tercihli olarak burada tarif edilen yüksek siddetli dalga boyu ayarlamali KÖ isima teknikleri kullanilarak isitilmasiyla, ITO tabakasinin, geleneksel yöntemlerin gerektirdiginden daha düsük altlik sicakliklarinda ve/veya daha kisa isitma sürelerinde isil islemden geçirilmesi mümkündür. Tercihli isitma, kaplama tarafindan altliga göre çok daha güçlü bir sekilde absorbe edilen KÖ dalga boylari kullanilarak elde edilir. Yüksek siddetli KÖ isimasi, örnegin, kuvars lambalari ya da lazer emitörlerle temin edilebilir. Lazer emitörler kullanildiginda, lazer diyot gruplari, diger yaygin lazer tiplerine kiyasla düsük edinme maliyeti hesaba katildiginda avantajli olabilir (ve yaklasik 800- 1050 nm'lik (örnegin 940 nm'lik) dalga boyu çikisinin elverisli olmasi kaplamanin spektral karakteristikleriyle iyi derecede uyumludur). Öte yandan farkli düzenlemelerde eksimer, C02, YAG, kuvars ve/veya diger tip lazerler ve/veya lambalar da kullanilabilir. Örnegin, bazi diyot lazerler için 810 nm'lik bir dalga boyunun yaygin oldugu (ve genelde, örnegin, düsük yayinimli kaplamalar ile baglantili olarak kullanilabilecegi) ve 1032 nm'lik bir dalga boyunun bazi YAG lazerler için yaygin oldugu dikkate alinmalidir. Yine ayrica, bazi örnek düzenlemeler, cami çok hizli isitmak ve dolayisiyla kaplamayi dolayli olarak isitmak için baska lazerler (ör. 002 veya baska lazerler) kullanabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, elektromanyetik isima, camin genisligini kapsayan oldukça yüksek en-boy oranina sahip dikdörtgen sekilli bir isin demetine odaklanabilir. Cam, dikdörtgenin uzun eksenine dik olan bir dogrultuda bir konveyör üzerinde hareket ediyor olabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, ör. sonuç itibariyle tüm altliga isik tutulacak sekilde kontrollü olarak daha küçük kisimlara isik tutmak üzere, bir "adim ve tekrar" prosesi uygulanabilir. Buna ilave olarak, örnegin, büyük ölçüde kare sekiller, dairesel sekiller vb. dahil olmak üzere baska boyutlar ve/veya sekiller kullanilabilir. Genel olarak, daha yüksek güç yogunluklarinin daha tercih edilebilir oldugu çünkü bunlarin, daha kisa isitma süreleri ve yigin altlik içerisinde kaplamadan daha yüksek sicaklik gradyanlari sagladigi görülmüstür. Daha kisa isitma süreleriyle birlikte kondüksiyon araciligiyla kaplamadan daha az isi cam içerisinden transfer edilir ve daha düsük bir sicaklik muhafaza edilebilir. Sekil 8, bazi karsilastirma örneklerine uygun olarak bünyesinde bir kizilötesi isitici yer alan bir sistemin bir sematik görünümüdür. Sekil 8'de yer alan örnek sistem, ör. püskürtme araciligiyla, bir altliga bir veya daha fazla ince film tabakasinin fiziksel buharla biriktirilmesi için bir kaplayici (102) içerir. Kaplayicinin (102) çikisinda bir KÖ isitici (104) yer alir. Bazi örnek düzenlemelerde, bir cam altlik üzerinde ITO biriktirmek için bir oda sicakligi püskürtme düzenegi kullanilabilir. Bir konveyör sistemi (106), bir altligi, tabakanin veya tabaka yigininin biriktirildigi kaplayici (102) içerisinden, KÖ isiticiya (104) aktarir. Bunun ardindan KÖ isitici (104), üzerinde kaplama yer alir halde altliga YKÖ- KDKÖ isimasini odaklayacak sekilde ayarlanir. KÖ isimanin dalga boyu, ör. altliga ve/veya çok tabakali bir kaplama içerisindeki diger tabakalara kiyasla, kaplamayi ya da kaplama içerisindeki belirli bir tabakayi tercihli olarak isitacak sekilde seçilir. Her ne kadar bazi karsilastirma örnekleri kaplayici çikisinda bir KÖ isitici içerir olarak tarif edilmis olsa da, farkli örnek düzenlemelerde bir kaplayici, kaplayicinin bir vakum haznesi içerisine yerlestirilebilecegi anlasilacaktir. Buna ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, KÖ isil islem, isil islemden geçirilecek veya aktive edilecek olan tabaka biriktirildikten sonra herhangi bir an gerçeklestirilebilir. Örnegin, bazi örnek düzenlemelerde ITO tabakasinin biriktirilmesinden hemen sonra bir KÖ isil islem gerçeklestirilebilirken, bazi örnek düzenlemelerde, bir tabaka yigini içerisindeki tüm tabakalar biriktirildikten sonra bir KÖ isil islem gerçeklestirilebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, biriktirme prosesi esnasinda farkli zamanlarda birden çok KÖ isil islem gerçeklestirilebilir. Bazi örnek düzenlemelerde, bünyesinde kuvars lambalarinin yer aldigi bir kisa dalga kizilötesi (KDKÖ) firin kullanilabilir. Kaplamayi isitmak için 1,15 um'lik bir pik KÖ emisyon dalga boyu kullanilabilir. Bu dalga boyu, kaplamanin ve altligin spektral karakteristikleri analiz edilerek tayin edilmistir, öte yandan elbette baska dalga boylarinin kullanilmasi da mümkündür. Uygulamada, isitma için O,8-2,5 um'lik bir örnek dalga boyu araligi tayin edilmistir. Daha tercih edilebilir olarak, KÖ emisyon araligi 1-2 um'dir. Örnegin, U.S. 12/923.082 sayili patent basvurusunda tarif edilen teknikler kullanilarak cam üzerindeki baska kaplamalarin (ör. diger TCO, metal vb. kaplamalar) isil islemden geçirilmesi için optimum veya tercih edilen KÖ emisyon araliklari da tespit edilebilir. KDKÖ firinin güç yogunlugu 10,56 kW/ft2'dir (1"Iik göbeklere monte edildiginde lamba çikisi 80 W/inçtir). Isitma süreleri, örnegin 12 saniyelik araliklarla 12-130 saniye arasinda degisebilir. Isitma elemanlari, cam yüzeyden yaklasik 4" mesafede olabilir, öte yandan bu bulusun farkli örnek düzenlemelerinde isitma elemanlari yükseltilmis veya alçaltilmis olabilir. Kaplama tarafindan absorbe edilmis olan KÖ dalga boylarinin hedeflenmesi yoluyla, kaplama ile yigin altlik arasinda büyük bir termal gradyanin üretilmesi mümkündür. Kaplamanin isi kütlesi cama kiyasla çok küçük oldugundan, cam esasen bir sönümleme mekanizmasi olarak çalisir. Yigin cam sicakligindaki artis agirlikli olarak, kaplamadan kondüksiyon yoluyla transfer yerine, KÖ absorpsiyonu yoluyla dogrudan Filmin nihai kristalliginin sadece 48-60 saniyelik isitma sonrasi elde edildigi görülmüstür, öte yandan kisa veya uzun süreler de elbette mümkündür. Burada kullanilan numuneler üzerindeki lTO'nun baslangiç oksidasyon düzeyi, temperleme sonrasi düsük tabaka direnci saglanacak sekilde optimize edilmistir (bu durum ek ITO oksidasyonuna mahal vermektedir). YKÖ isimasi kullanilarak lTO'nun isil islemden geçirilmesinde farkli bir optimumun mevcut olmasi kuvvetle muhtemeldir. lTO'nun baslangiç oksidasyon düzeyi YKÖ yoluyla isitmaya yönelik optimize edildiginde, gerekli isitma miktarinin kayda deger düzeyde azaltilmasi mümkün olmalidir. Teorik olarak, bu süre, ayni isitma prosesi kullanilarak yeniden kristallestirme için gerekli olan 48-60 saniyeye indirgenmelidir. Güç yogunlugunu isitma süresi teknik kriterlerine karsin optimize etme yoluyla isitma süresi daha da azaltilabilir. Burada tarif edilen KÖ isitma teknikleri tercihen, cam altlik, yüzer cam için yaklasik 480 derece C olan camlasma sicakliginin altinda kalacak sekilde kaplama içerisindeki ITO'yu tercihli olarak isitir. Tercihen, cam altlik 450 derece C ve daha tercih edilebilir olarak 425 derece C altinda kalir. 1,15 um'lik bir pik emisyonun 108 saniye uygulandigi bazi örnek düzenlemelerde, örnek kaplamanin tabaka direnci, biriktirilmis hale iliskin esdegerinin yaklasik üçte biridir ve yayinim ve absorpsiyon, buna mukabil olarak biriktirilmis hale iliskin esdeger degerlerinin yaklasik yarisina iner. Bu esnada, altlik sicakligi sadece, camlasma sicakliginin çok altinda bir deger olan yaklasik 400 derece C'Iik bir maksimum degere ulasir. YKÖ genellikle 0,75-1,4 um'lik bir dalga boyuna sahip KÖ içerir ve KDKÖ genellikle 1,4-3 um'lik bir dalga boyuna sahip KÖ içerir. Bazi örnek düzenlemeler genel olarak bu dalga boylari dahilinde çalisir. Altlik sicakligi, bu YKÖ-KDKÖ isitmasinin sonucu olarak tercihen 480 derece C'yi, daha tercih edilebilir olarak 450 C'yi, daha da tercih edilebilir olarak 425 derece C'yi ve bazen 400 derece C'yi asmaz. Her ne kadar bazi karsilastirma örnekleri burada bugu önleyici kaplamalara iliskin olarak tarif edilmis olsa da, burada tarif edilen kaplamalar baska uygulamalarla baglantili olarak kullanilabilir. Örnegin, burada tarif edilen örnek kaplamalar buzdolabi/dondurucu ve/veya baska ticari uygulamalar, tavan pencereleri vb. ile baglantili olarak kullanilabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, burada tarif edilen teknikler araciligiyla isil islem veya aktivasyon sonrasi, kaplamali materyal, ör. mesela kesme, ölçülendirme, diger bir materyal (ör. bir yalitim cami ünitesi, tavan penceresi, tasit, cam vb.) bünyesine dahil etme gibi ek prosesler için bir üretim hattina veya farkli bir noktaya aktarilabilir. Tercihen, isil islem prosesinin camda neden oldugu degisikliklerin sonucu olarak isil islemden geçmis kaplamali materyalde kirilma veya yikici bozulmalar meydana gelmeyecektir. Burada bahsedilen "periferik" ve "kenar" sizdirmazlik elemanlari, ünitenin mutlak periferisinde veya kenarinda bulunan sizdirmazlik elemanlarini degil, ünitenin en az bir altliginin en azindan kismen kenarinda veya bu kenarin yakininda (ör. yaklasik iki inçlik bir mesafe içinde) bulunan sizdirmazlik elemanini ifade eder. Ayni sekilde, buradaki anlamiyla "kenar", bir cam altligin mutlak kenari ile sinirli olmayip altligin (veya altliklarin) mutlak kenarinda veya bu kenarin yakininda (ör. yaklasik iki inçlik bir mesafe içinde) bulunan bir alani da kapsayabilir. Burada kullanildigi anlamiyla "üzerinde", "tarafindan desteklenen" ve benzeri terimleri, aksi açikça belirtilmedikçe, iki elemanin birbirlerine dogrudan bitisik oldugu seklinde yorumlanmamalidir. Bir baska deyisle, bir birinci tabakanin, aralarinda bir veya daha fazla tabaka olsa da ikinci bir tabaka "üzerinde" oldugu veya "tarafindan desteklendigi söylenebilir. Bazi örnek düzenlemelerin bünyesinde, bir veya daha fazla cam altligin bir yüzeyinde, aralarindaki hava bosluguna bakan bir veya daha fazla düsük yayinimli ek kaplama bulunabilecegi anlasilacaktir (ör. bir YCÜ içerisinde yüzeyler 2 ve/veya 3; bir üç camli YCÜ içerisinde yüzeyler 2, 3, 4 ve/veya 5 vb.). Örnegin, seffaf cam üzerine yerlestirilmis bir düsük yayinimli kaplama yüzeyi (4), ör. bina içerisinde kizilötesi isiyi geri yansitarak tüm pencere u-degerinin arttirilmasina yardimci olabilir. Bazi örnek düzenlemelerdeki cam, bazi örnek düzenlemelerde 2,3 mm ila 6 mm seffaf yüzer cam olabilir. Bu gibi düzenlemelerde, yariküresel yayinim 0,3 ohm/kareye ve tabaka direnci 30 ohm/kareye düsürülebilir. Tercihen, yayinim 0,23-0,30 ohm/kareye ve tabaka direnci 30 ohm/kareye düsürülebilir ve bazen yayinim, yaklasik 0,2 ohm/kareye veya bunun altindaki bir degere ve tabaka direnci yaklasik 20 ohm/kareye veya bunun altindaki bir degere düsürülebilir. Örnegin, yukarida belirtildigi gibi, bazi örnek durumlarda, korunabildigi hallerde bir YC ünitesinin bir dis yüzeyinde daha dayanikli bir düsük yayinimli kaplamanin ve YC ünitesinin bir iç yüzeyinde potansiyel olarak daha az dayanikli bir düsük yayinimli kaplamanin saglanmasi arzu edilebilir. Buna bagli olarak bir örnek konfigürasyon, tek bir altligin her iki yanina, ör. 1. ve 2. yüzeylere veya 3. ve 4. yüzeylere, temin edilmis bir düsük yayinimli kaplama içerecektir. Elbette diger düzenlemeler de tasarlanir (ör. 1. ve 3. yüzeylerin veya 2. ve 4. yüzeylerin düsük yayinimli kaplamalara sahip oldugu düzenlemeler). Yüzey (4) üzerinde temin edilmis olan düsük yayinimli kaplama, YC ünitesinin bosluguna yerlestirilmis olmasi sayesinde dis ortamdan dogal olarak korunan, yüzey (3) üzerinde temin edilmis düsük yayinimli kaplamadan daha dayanikli bir kaplama olabilir. Yüzey (4) üzerinde temin edilmis düsük yayinimli kaplama, ör. Sekiller 1, 6 ve 7 ile baglantili olarak yukarida tarif edilmis kaplamalarin herhangi biri olabilir. Yüzey (3) üzerinde temin edilmis düsük yayinimli kaplama, YC ünitesinin tüm U degerini istenen bir degere (ör. yukarida belirtilen,30/,30 standardina uygun olan) düsürmeye yeterli olan bir SHGC'ye sahip olabilir. Bazi örnek düzenlemelerde, içe bakan düsük yayinimli kaplama gümüs esasli düsük yayinimli bir kaplama olabilirken, dis yüzeye maruz kalan düsük yayinimli kaplama bir ITO esasli kaplama olabilir. Yukarida siralanmis olan gümüs esasli düsük yayinimli kaplamalar, bu amaçla Sekil 3'te kullanilabilir. Iç yüzeyde kullanilabilecek diger uygun düsük yayinimli kaplamalar, asagida ifade edilen örnek kaplamalari içerir. Birinci Örnek Aq Esasli Düsük Yayinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Edilen Örnek Kalinlik 1 Örnek Kalinlik 2 Ikinci Örnek Aq Esasli Düsük Yayinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Örnek Kalinlik 1 Örnek Kalinlik 2 Kalinlik (Ä) Edilen Kalinlik (A) (A) (Â) Yukarida ele alinan birinci ve ikinci örnek Ag esasli düsük yayinimli kaplamayla ilgili Üçüncü Örnek Aq Esasli Düsük Yavinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Örnek Kalinlik 1 Örnek Kalinlik 2 Kalinlik (Â) Edilen Kalinlik (A) (A) (A) ZnAIOx Dördüncü Örnek Aq Esasli Düsük Yavinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Örnek Kalinlik 1 Örnek Kalinlik 2 Kalinlik (Â) Edilen Kalinlik (A) (A) (A) (opsiyonel) ZnAIOx Besinci Örnek Aq Esasli Düsük Yavinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Örnek Kalinlik 1 Örnek Kalinlik 2 Kalinlik (A) Edilen Kalinlik (A) (A) (A) ZnAlOx Altinci Örnek Aq Esasli Düsük Yavinimli Kaplama Malzeme Tercih Edilen Daha Tercih Örnek Kalinlik (A) Kalinlik (Â) Edilen Kalinlik (Â) ZnAIOX Bazi örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami (YC) ünitesi temin edilmistir. Büyük ölçüde paralel, ayrik birinci ve ikinci cam altlik temin edilir, burada birinci ve ikinci altlik, sirasiyla, YC ünitesinin büyük ölçüde paralel olan birinci ila dördüncü ana yüzeyini saglar. Birinci ve ikinci altliklar arasinda bir bosluk meydana getirilir. YC ünitesinin dördüncü bir yüzeyi, ikinci altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren çok sayida ince film tabakasi içeren bir birinci düsük yayinimli kaplamayi destekler: kirilma indisi 1,5-2,1 olan silisyum oksinitrür içeren ve 50-90 nm kalinliginda bir birinci tabaka, kirilma indisi 1,7-2,1 90 nm kalinliginda silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, silisyum oksinitrür içeren birinci ve ikinci tabaka, 1,7-1,8 degerinde kirilma indislerine sahip olabilir. Önceki iki paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ITO içeren tabaka, 1,8-1,93 degerinde bir kirilma indisine sahip olabilir. Önceki üç paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, silisyum oksinitrür içeren birinci ve ikinci tabaka, birbirlerinden sirasiyla en fazla 0,1 ve 10 nm kadar farkli olan kirilma Indislerine ve kalinliklara sahiptir. Önceki dört paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, YC ünitesinin üçüncü yüzeyi, ikinci altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren çok sayida ince film tabakasi içeren ikinci bir düsük yayinimli kaplamayi destekler: bir birinci silisyum esasli tabaka; bir birinci dielektrik tabaka; ikinci dielektrik tabakanin birinci ve ikinci kisimlarini olusturacak sekilde üçüncü bir dielektrik tabakayla ayrilmis ikinci bir dielektrik tabaka; ikinci dielektrik tabakanin ikinci kismi üzerinde olan ve bu kisma dogrudan temas eden metalik veya büyük ölçüde metalik bir kizilötesi (KÖ) yansitici tabaka; KÖ yansitici tabakanin üzerinde yer alan ve bu tabakaya temas eden, Ni ve/veya Cr'nin bir oksitini içeren bir üst temas tabakasi; dördüncü bir dielektrik tabaka; ve ikinci bir silisyum esasli tabaka. Üçüncü dielektrik tabaka ya titanyum oksit ya da kalay oksit içerebilir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci dielektrik tabaka, titanyumun bir oksitini veya alt oksitini içeren yüksek kirilma indisli bir tabaka olabilir. Önceki iki paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde üçüncü ve dördüncü dielektrik tabaka kalay oksit içerebilir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci dielektrik tabaka çinko oksit içerebilir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci tabaka, parçalari birbirlerinden %5'ten daha fazla farkli olmayan kalinliklara sahip olacak sekilde bölünebilir. Önceki bes paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci ve ikinci silisyum esasli tabakanin her biri silisyum nitrür içerebilir, birinci dielektrik tabaka titanyum oksit içerebilir, ikinci dielektrik tabaka çinko oksit içerebilir, üçüncü ve dördüncü dielektrik tabakanin her biri kalay oksit içerebilir ve kizilötesi yansitici tabaka Ag içerebilir. Önceki alti paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci altlik, üzerine yerlestirilmis birinci ve/veya ikinci düsük yayinimli kaplama ile isil islemden geçirilebilir. Önceki yedi paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci düsük yayinimli kaplama, YC ünitesinin U degerini 0,30 degerine veya altina getirmeye yeterli bir SHGC'ye sahip olabilir. Bulusa göre, sirasiyla karsi ana yüzeyleri üzerinde birinci ve ikinci düsük yayinimli kaplamayi destekleyen bir aItIik içeren bir kaplamali materyal temin edilmistir. Birinci düsük yayinimli kaplama, altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: kirilma indisi 1,5-2,1 olan ve 50-90 nm kalinliginda silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, kirilma indisi 1,7-2,1 olan ve 85-125 nm kalinliginda lTO içeren bir tabaka ve kirilma indisi 1,5-2,1 olan ve 50-90 nm kalinliginda silisyum oksinitrür içeren ikinci bir tabaka. Ikinci düsük yayinimli kaplama, altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içerir: bir birinci silisyum esasli tabaka, bir birinci dielektrik tabaka, ikinci dielektrik tabakanin birinci ve ikinci kisimlarini olusturacak sekilde üçüncü bir dielektrik tabaka tarafindan ayrilmis ikinci bir dielektrik tabaka, ya titanyum oksit ya da kalay oksit içeren üçüncü dielektrik tabaka, ikinci dielektrik tabakanin üzerinde yer alan ve buna dogrudan temas eden bir metalik ya da büyük ölçüde metalik bir kizilötesi yansitici tabaka, kizilötesi yansitici tabakanin dogrudan üzerinde olan ve bu tabakaya temas eden bir Ni ve/veya Cr oksit içeren bir üst temas tabakasi, dördüncü bir dielektrik tabaka ve ikinci bir silisyum esasli tabaka. Bazi örnek düzenlemelerde, bir yalitim cami ünitesi (YCÜ) imal etme yöntemi temin edilir. Bir birinci cam altlik temin edilir. Bir birinci düsük yayinimli kaplama, birinci cam altligin birinci ana yüzeyine dogrudan veya dolayli olarak yerlestirilir. Birinci düsük yayinimli kaplama, birinci cam altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren çok sayida ince film tabakasi içerir: silisyum oksinitrür içeren bir birinci tabaka, birinci ana yüzeyi ikinci cam altliktan disari dogru bakacak sekilde, birinci cam altliga göre ayrik, büyük ölçüde paralel sekilde ikinci bir cam altlik temin edilir. Üzerinde yalnizca düsük yayinimli kaplamanin yer aldigi birinci altlik, isil islemden sonra yaklasik 0,20 degerinde veya daha küçük bir yariküresel yayinima ve yaklasik ohm/kare degerinde veya daha küçük bir tabaka direncine sahiptir. Birinci cam altligin birinci ana yüzeyi, YCÜ'nün bir iç yüzeyine karsilik gelir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci cam altligin birinci ana yüzeyine karsi olan, birinci cam altligin ikinci bir ana yüzeyi üzerine dogrudan veya dolayli olarak ikinci bir düsük yayinimli kaplama yerlestirilebilir. Ikinci düsük yayinimli kaplama, birinci cam altliktan disa dogru hareket edildiginde sirasiyla sunlari içeren çok sayida ince film tabakasi içerebilir: bir birinci silisyum esasli tabaka; bir birinci dielektrik tabaka; üçüncü dielektrik tabaka ya titanyum oksit ya da kalay oksit içerir halde, ikinci dielektrik tabakanin birinci ve ikinci kisimlarini olusturacak sekilde üçüncü bir dielektrik tabakayla ayrilmis bir ikinci dielektrik tabaka; ikinci dielektrik tabakanin ikinci kismi üzerinde olan ve bu kisma dogrudan temas eden metalik veya büyük ölçüde metalik bir kizilötesi (KÖ) yansitici tabaka; KÖ yansitici tabakanin üzerinde yer alan ve bu tabakaya temas eden, Ni ve/veya Cr'nin bir oksitini içeren bir üst temas tabakasi; dördüncü bir dielektrik tabaka; ve Ikinci bir silisyum esasli tabaka. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci dielektrik tabaka, titanyumun bir oksitini veya alt oksitini içeren yüksek kirilma indisli bir tabaka olabilir. Önceki iki paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde üçüncü ve dördüncü dielektrik tabaka kalay oksit içerebilir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci dielektrik tabaka çinko oksit içerebilir. Bir önceki paragrafta yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci tabaka, parçalari birbirlerinden %5'ten daha fazla farkli olmayan kalinliklara sahip olacak sekilde bölünebilir. Önceki bes paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci ve ikinci silisyum esasli tabakanin her biri silisyum nitrür içerebilir, birinci dielektrik tabaka titanyum oksit içerebilir, ikinci dielektrik tabaka çinko oksit içerebilir, üçüncü ve dördüncü dielektrik tabakanin her biri kalay oksit içerebilir ve kizilötesi yansitici tabaka Ag içerebilir. Önceki alti paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, birinci altlik, üzerine yerlestirilmis birinci ve/veya ikinci düsük yayinimli kaplama ile isil islemden geçirilebilir. Önceki yedi paragrafin herhangi birinde yer alan özelliklere ilave olarak, bazi örnek düzenlemelerde, ikinci düsük yayinimli kaplama, YC ünitesinin U degerini 0,30 degerine veya altina getirmeye yeterli bir SHGC'ye sahip olabilir. Bulus, halihazirda en pratik ve tercih edilen düzenleme oldugu kabul edilen düzenleme ile baglantili olarak tarif edilmis olsa da bulusun açiklanan bu düzenleme ile sinirli olmadigi, aksine, ekli istemlerin kapsami içerisinde yer alan çesitli modifikasyonlari ve esdeger tertipleri de kapsama amaci tasidigi anlasilacaktir. TR TR TR TR TR TR TR