[go: up one dir, main page]

RU2019117786A - Системы и способы для изделий из ионообменного стекла - Google Patents

Системы и способы для изделий из ионообменного стекла Download PDF

Info

Publication number
RU2019117786A
RU2019117786A RU2019117786A RU2019117786A RU2019117786A RU 2019117786 A RU2019117786 A RU 2019117786A RU 2019117786 A RU2019117786 A RU 2019117786A RU 2019117786 A RU2019117786 A RU 2019117786A RU 2019117786 A RU2019117786 A RU 2019117786A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cassette
cassettes
molten salt
salt bath
robotic
Prior art date
Application number
RU2019117786A
Other languages
English (en)
Inventor
Майкл Дэвид ХАРРИС
Тимоти Леонард ХАНТ
Кевин Роберт КЭЛИН
Уилльям Джеймс МИЛЛЕР
Патрик Аарон ПАРКС
Джинн Линн СВЕКЕР
Кристофер Ли ТИММОНС
Original Assignee
Корнинг Инкорпорейтед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Корнинг Инкорпорейтед filed Critical Корнинг Инкорпорейтед
Publication of RU2019117786A publication Critical patent/RU2019117786A/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C21/00Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface
    • C03C21/001Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions
    • C03C21/002Treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by diffusing ions or metals in the surface in liquid phase, e.g. molten salts, solutions to perform ion-exchange between alkali ions
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B11/00Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B11/04Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08CLEANING
    • B08BCLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B9/00Cleaning hollow articles by methods or apparatus specially adapted thereto
    • B08B9/08Cleaning containers, e.g. tanks
    • B08B9/20Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought
    • B08B9/42Cleaning containers, e.g. tanks by using apparatus into or on to which containers, e.g. bottles, jars, cans are brought the apparatus being characterised by means for conveying or carrying containers therethrough
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B35/00Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
    • C03B35/14Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands
    • C03B35/20Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames
    • C03B35/202Transporting hot glass sheets or ribbons, e.g. by heat-resistant conveyor belts or bands by gripping tongs or supporting frames by supporting frames
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C23/00Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
    • C03C23/0075Cleaning of glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)

Claims (81)

1. Способ получения изделий из ионообменного стекла, содержащий:
получение инструкций по обработке от одного или более устройств ввода данных пользователем;
автоматическую загрузку кассеты, содержащей множество стеклянных изделий, в ванну расплава солей одной или более ионообменных станций с помощью роботизированного подъемника на основе этих инструкций по обработке;
автоматическое удаление кассеты из ванны расплава солей с помощью роботизированного подъемника через заданное время на основе этих инструкций по обработке; и
автоматическое вращение кассеты с помощью инструмента вращения, соединенного с одним из роботизированного подъемника и крышки упомянутой одной или более ионообменных станций для удаления с кассеты текучей среды из ванны расплава солей.
2. Способ по п.1, в котором автоматическое вращение кассеты для удаления с нее текучей среды из ванны расплава солей включает в себя вращение кассеты вокруг оси и остановку вращения в заданном положении.
3. Способ по п.1, в котором автоматическое вращение кассеты для удаления с нее текучей среды из ванны расплава солей включает в себя:
присоединение инструмента вращения к рычагу роботизированного подъемника;
загрузку кассеты на инструмент вращения; и
инициирование последовательности вращения с помощью инструмента вращения для вращения кассеты.
4. Способ по п.3, в котором последовательность вращения включает в себя:
вращение кассеты на 125° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени; и
вращение кассеты на 225° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени.
5. Способ по п.1, в котором автоматическое вращение кассеты для удаления расплава солей из кассеты включает в себя:
загрузку кассеты на инструмент вращения, соединенный с крышкой одной или более ионообменных станций; и
инициирование последовательности вращения с помощью инструмента вращения для вращения кассеты, причем эта последовательность вращения включает в себя:
вращение кассеты приблизительно на 125° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени; и
вращение кассеты на 225° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени.
6. Способ по п.1, в котором текучую среду из ванны расплава солей удаляют с кассеты обратно в ванну расплава солей.
7. Способ по п.1, дополнительно содержащий:
автоматическую загрузку кассеты в станцию предварительного нагрева с помощью роботизированного подъемника; и
предварительный нагрев кассеты в печи предварительного нагрева станции предварительного нагрева до заданной температуры.
8. Способ по п.1, дополнительно содержащий:
автоматическую загрузку кассеты в станцию охлаждения с помощью роботизированного подъемника; и
охлаждение кассеты.
9. Способ по п.1, дополнительно содержащий:
автоматическую загрузку кассеты в промывочную станцию с помощью роботизированного подъемника; и
промывку кассеты для того, чтобы по существу удалить остаток из ванны расплава солей.
10. Система для получения изделий из ионообменного стекла, содержащая:
один или более процессоров;
роботизированный подъемник, коммуникативно соединенный с одним или более процессорами и выполненный с возможностью манипулировать кассетой, выполненной с возможностью удерживать множество стеклянных изделий; и
один или более модулей памяти, коммуникативно соединенных с одним или более процессорами и хранящих логику, которая при ее выполнении одним или более процессорами заставляет их:
автоматически загружать кассету в ванну расплава солей ионообменной станции с помощью роботизированного подъемника;
автоматически удалять кассету из ванны расплава солей с помощью роботизированного подъемника через заданное время; и
автоматически вращать кассету с помощью инструмента вращения, соединенного с одним из роботизированного подъемника и крышки ионообменной станции для удаления с кассеты текучей среды из ванны расплава солей на основе инструкций по обработке.
11. Система по п.10, в которой для того, чтобы автоматически вращать кассету с помощью роботизированного подъемника для удаления с кассеты текучей среды из ванны расплава солей, один или более процессоров выполняют логику для того, чтобы:
автоматически присоединять инструмент вращения к рычагу роботизированного подъемника;
загружать кассету на инструмент вращения; и
инициировать последовательность вращения с помощью инструмента вращения для вращения кассеты.
12. Система по п.11, в которой последовательность вращения включает в себя:
вращение кассеты на 125° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени; и
вращение кассеты на 225° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени.
13. Система по п.10, в которой текучую среду из ванны расплава солей удаляют с кассеты обратно в ванну расплава солей.
14. Система по п.10, дополнительно содержащая станцию предварительного нагрева, коммуникативно соединенную с упомянутыми одним или более процессорами, которые выполняют логику для того, чтобы:
автоматически загружать кассету в станцию предварительного нагрева с помощью роботизированного подъемника; и
предварительно нагревать кассету в печи предварительного нагрева станции предварительного нагрева до заданной температуры.
15. Система по п.10, дополнительно содержащая станцию охлаждения, коммуникативно соединенную с упомянутыми одним или более процессорами, которые выполняют логику для того, чтобы:
автоматически загружать кассету в станцию охлаждения с помощью роботизированного подъемника; и
охлаждать кассету.
16. Система по п.10, в которой упомянутые один или более процессоров выполняют логику для того, чтобы заставить роботизированный подъемник автоматически загрузить кассету в промывочную станцию для смыва остатка расплава солей с кассеты.
17. Система по п.10, в которой упомянутые один или более процессоров выполняют логику для того, чтобы:
загружать дополнительные кассеты в ванну расплава солей с помощью роботизированного подъемника; и
независимо манипулировать каждой кассетой относительно других кассет внутри ванны расплава солей.
18. Способ получения изделий из ионообменного стекла, содержащий:
загрузку множества стеклянных изделий внутрь множества кассет;
индивидуальную загрузку каждой из этих кассет в ванну расплава солей, причем кассеты выполнены с возможностью независимого манипулирования ими друг относительно друга;
индивидуальное удаление каждой из этих кассет из ванны расплава солей через заданное время для каждой из этих кассет; и
индивидуальное вращение каждой из этих кассет для удаления с них текучей среды из ванны расплава солей.
19. Способ по п.18, в котором автоматическое вращение каждой из кассет для удаления с них остаточной текучей среды из ванны расплава солей содержит:
присоединение инструмента вращения к рычагу роботизированного подъемника;
индивидуальную загрузку кассет на инструмент вращения; и
инициирование последовательности вращения с помощью инструмента вращения для вращения каждой из кассет.
20. Способ по п.18, в котором последовательность вращения содержит:
вращение каждой из кассет на 125° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени; и
вращение каждой из кассет на 225° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени.
21. Способ по п.18, в котором автоматическое вращение каждой из кассет для удаления с них остаточной текучей среды из ванны расплава солей содержит:
индивидуальную загрузку каждой из кассет на инструмент вращения, соединенный с крышкой одной или более ионообменных станций; и
инициирование последовательности вращения с помощью инструмента вращения для вращения каждой из кассет, причем эта последовательность вращения содержит:
вращение каждой из кассет на 125° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени; и
вращение каждой из кассет на 225° относительно горизонтальной оси и удержание ее в этом положении в течение заданного промежутка времени.
22. Способ получения изделий из ионообменного стекла, содержащий:
загрузку множества стеклянных изделий внутрь магазина;
загрузку магазина в кассету, которая содержит рамку, содержащую боковую сторону и продольную сторону, причем длина боковой стороны в боковом направлении меньше, чем длина продольной стороны в продольном направлении;
загрузку кассеты и магазина в ванну расплава солей, причем кассета выполнена с возможностью манипулировать ей независимо относительно других кассет, установленных внутри ванны расплава солей.
23. Способ по п.22, дополнительно содержащий удаление кассеты из ванны расплава солей через заданный промежуток времени, причем кассета выполнена с возможностью ее удаления из ванны расплава солей отдельно от других кассет внутри ванны расплава солей.
24. Способ по п.22, в котором множество магазинов укладываются друг на друга внутри кассеты.
25. Способ по п.22, в котором кассета выполнена с возможностью удержания одиночной стопки магазинов в боковом направлении.
26. Способ по п.25, в котором кассета выполнена с возможностью удержания двух стопок магазинов в продольном направлении.
27. Способ по п.22, в котором кассета дополнительно содержит разделитель, разделяющий первую часть кассеты и вторую часть кассеты, причем разделитель определяет охлаждающий канал, проходящий между первой частью кассеты и второй частью кассеты.
28. Способ по п.22, в котором кассета выполнена с возможностью охлаждения до заданной температуры, при которой структурная релаксация внутри множества стеклянных изделий уменьшается через менее чем приблизительно 30 мин.
29. Способ по п.22, в котором кассета дополнительно содержит горизонтальную поперечину, выполненную с возможностью вертикально отделять по меньшей мере два магазина друг от друга для того, чтобы определить горизонтальный канал, проходящий между ними.
RU2019117786A 2016-11-30 2017-11-29 Системы и способы для изделий из ионообменного стекла RU2019117786A (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201662428016P 2016-11-30 2016-11-30
US62/428,016 2016-11-30
US15/824,582 2017-11-28
US15/824,582 US11014849B2 (en) 2016-11-30 2017-11-28 Systems and methods for ion exchanging glass articles
PCT/US2017/063803 WO2018102466A1 (en) 2016-11-30 2017-11-29 Systems and methods for ion exchanging glass articles

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2019117786A true RU2019117786A (ru) 2021-01-11

Family

ID=62193206

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2019117786A RU2019117786A (ru) 2016-11-30 2017-11-29 Системы и способы для изделий из ионообменного стекла

Country Status (12)

Country Link
US (1) US11014849B2 (ru)
EP (1) EP3535223B1 (ru)
JP (2) JP7014793B2 (ru)
KR (2) KR102517955B1 (ru)
CN (1) CN110035982B (ru)
AU (1) AU2017367117A1 (ru)
BR (1) BR112019011082A2 (ru)
CA (1) CA3045067A1 (ru)
MX (1) MX2019006293A (ru)
RU (1) RU2019117786A (ru)
TW (1) TWI745499B (ru)
WO (1) WO2018102466A1 (ru)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3294681B1 (en) * 2015-05-11 2021-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for holding, retaining, and/or processing glassware articles
US11648549B2 (en) * 2018-11-29 2023-05-16 Corning Incorporated Ion exchange systems and methods for ion exchanging glass articles
WO2020112395A2 (en) * 2018-11-30 2020-06-04 Corning Incorporated Apparatus and method of delivering solid chemicals and retaining sludge in molten salt bath
CN114269701A (zh) * 2019-06-25 2022-04-01 康宁股份有限公司 离子交换后的玻璃冷却方法
CN114206798A (zh) 2019-07-31 2022-03-18 康宁股份有限公司 用于强化玻璃制品的盐浴组合物,使用所述盐浴组合物强化玻璃制品的方法及由此强化的玻璃制品
CN111045149B (zh) * 2019-12-30 2020-09-15 浙江大学 一种连续式制作玻璃基离子交换掩埋光波导的方法
CN111175891B (zh) * 2019-12-30 2020-10-23 浙江大学 一种连续式电场辅助离子迁移制作光波导的方法
CN111025472B (zh) * 2019-12-30 2020-10-09 浙江大学 一种玻璃基离子交换表面光波导芯片连续生产的方法
CN111239894B (zh) * 2020-02-07 2022-11-25 芜湖佳豪电子有限公司 一种电压分段式的电场辅助离子迁移连续制作掩埋式光波导的方法
WO2021188264A1 (en) 2020-03-17 2021-09-23 Corning Incorporated Salt bath compositions, salt bath systems, and processes for strengthening glass articles
KR102596825B1 (ko) * 2020-05-25 2023-11-01 (주)피엔피 초박형 유리블록의 불림 방법
EP4196268A1 (en) 2020-08-17 2023-06-21 Corning Incorporated Systems and methods for recycling waste ion exchange materials
MX2023003057A (es) 2020-09-15 2023-05-29 Corning Inc Sistemas de baño de sal para reforzar artículos de vidrio y métodos para regenerar sal fundida.
KR20220106900A (ko) * 2021-01-22 2022-08-01 삼성디스플레이 주식회사 기판 적재용 카세트 및 이를 이용한 기판 처리 방법
KR102897916B1 (ko) * 2021-05-11 2025-12-09 삼성디스플레이 주식회사 강화 글라스 제조장치 및 제조방법
KR20220155513A (ko) * 2021-05-14 2022-11-23 삼성디스플레이 주식회사 유리판 적재 카세트 및 이를 포함하는 화학 강화 시스템
US12187641B1 (en) * 2024-01-26 2025-01-07 Carbon Rivers G2G, Inc. Fiberglass recovery method

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3590982A (en) 1969-05-19 1971-07-06 Owens Illinois Inc Article transfer apparatus
DE2230506C3 (de) 1972-06-22 1975-08-21 Jenaer Glaswerk Schott & Gen., 6500 Mainz Verfahren zur Erzeugung der Phototropie in entsprechend zusammengesetzten Rohgläsern durch eine Temperaturbehandlung in einer Flüssigkeit
JPS5847311B2 (ja) * 1979-05-24 1983-10-21 石塚硝子株式会社 物品の回転移送装置
US6534120B1 (en) * 1999-06-30 2003-03-18 Hoya Corporation Chemically reinforced glass manufacture method, information recording medium glass substrate manufacture method, information recording medium manufacture method, and chemical reinforcement device
ATE496012T1 (de) * 2003-04-22 2011-02-15 Coca Cola Co Verfahren und vorrichtung zur verfestigung von glas
JP2009507736A (ja) 2005-09-09 2009-02-26 A20 アーゲー 物体の搬送装置
EP2139795A2 (de) 2006-11-30 2010-01-06 Nov Hau AG Engineering Verfahren zum transport von gegenständen
CN102123960A (zh) 2008-08-21 2011-07-13 康宁股份有限公司 用于电子设备的耐久性玻璃机壳/封罩
US20110293942A1 (en) 2010-05-26 2011-12-01 Ivan A Cornejo Variable temperature/continuous ion exchange process
EP2532290A1 (en) 2011-06-10 2012-12-12 Nestec S.A. Suspension device and seasoning
CA2851293C (en) 2011-10-25 2020-06-23 Corning Incorporated Glass compositions with improved chemical and mechanical durability
US11497681B2 (en) * 2012-02-28 2022-11-15 Corning Incorporated Glass articles with low-friction coatings
US10737973B2 (en) * 2012-02-28 2020-08-11 Corning Incorporated Pharmaceutical glass coating for achieving particle reduction
US9763852B2 (en) * 2012-02-28 2017-09-19 Corning Incorporated Glass articles with low-friction coatings
US20130219965A1 (en) 2012-02-29 2013-08-29 Corning Incorporated Counter-current continuous ion-exchange method for strengthening glass articles
US20140345325A1 (en) 2013-05-24 2014-11-27 Corning Incorporated Double ion exchange process
US20150060401A1 (en) * 2013-08-29 2015-03-05 Corning Incorporated Method of edge coating a batch of glass articles
CN106795043B (zh) * 2014-08-08 2019-07-23 康宁股份有限公司 用于在处理期间保持玻璃制品的储盒设备
EP3164369B1 (en) 2014-08-11 2020-01-01 Corning Incorporated Magazine apparatuses for holding glassware during processing
CN107000894B (zh) 2014-12-08 2018-11-09 康宁股份有限公司 保持和夹持玻璃制品的设备
CN107207123B (zh) 2015-01-23 2019-08-30 康宁股份有限公司 用于保持和保留玻璃制品的设备
EP3294681B1 (en) * 2015-05-11 2021-08-25 Corning Incorporated Apparatuses and methods for holding, retaining, and/or processing glassware articles
CN105293940A (zh) * 2015-10-27 2016-02-03 业成光电(深圳)有限公司 在基板上形成孔洞之制造方法
US20190161399A1 (en) * 2017-11-30 2019-05-30 Corning Incorporated Glass articles with low-friction coatings and methods for coating glass articles
US11648549B2 (en) * 2018-11-29 2023-05-16 Corning Incorporated Ion exchange systems and methods for ion exchanging glass articles

Also Published As

Publication number Publication date
BR112019011082A2 (pt) 2019-10-01
CN110035982B (zh) 2022-07-08
CA3045067A1 (en) 2018-06-07
JP2022062084A (ja) 2022-04-19
US11014849B2 (en) 2021-05-25
KR20190086529A (ko) 2019-07-22
KR20230049134A (ko) 2023-04-12
JP7362799B2 (ja) 2023-10-17
AU2017367117A1 (en) 2019-06-13
US20180148373A1 (en) 2018-05-31
CN110035982A (zh) 2019-07-19
WO2018102466A1 (en) 2018-06-07
JP2020503227A (ja) 2020-01-30
KR102517955B1 (ko) 2023-04-04
EP3535223B1 (en) 2023-08-23
TWI745499B (zh) 2021-11-11
TW201829345A (zh) 2018-08-16
JP7014793B2 (ja) 2022-02-01
MX2019006293A (es) 2019-08-01
EP3535223A1 (en) 2019-09-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2019117786A (ru) Системы и способы для изделий из ионообменного стекла
US12512350B2 (en) Apparatus and method to process wafers
KR101951671B1 (ko) 처리 시스템용 스케쥴러
KR101277397B1 (ko) 기판처리장치, 스토커장치 및 기판수납용기의 반송방법
TWI598472B (zh) 鍍敷裝置
TWI667724B (zh) 用於在處理期間固定玻璃物件的倉匣設備
CN106795043B (zh) 用于在处理期间保持玻璃制品的储盒设备
TW200926339A (en) Substrate treatment device, substrate transporting method and computer readable medium recording program
JP2019517963A5 (ru)
CN105552447B (zh) 电池自动上下料装置
EP2832492B1 (en) Automatic tool storing mechanism
TW200403106A (en) Method and device for pretreating via the centrifuging of samples
JP2019068058A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
CN102099152B (zh) 自动工具收容机构
US10483151B2 (en) Substrate transfer apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method
TW202008496A (zh) 倉儲系統及倉儲方法
CN107993966B (zh) 一种管式pecvd在线式控制系统及控制方法
JP6580130B2 (ja) 検体容器傾き矯正機構、およびこれらの制御方法
CN204271056U (zh) 用于处理半导体锭料的处理设备和用于半导体锭料的载体
JP2014078656A (ja) 収容カセット
WO2013042726A1 (ja) 基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
CN203760439U (zh) 用于在晶圆的端子面上生产接触金属的设备
JP6134173B2 (ja) 磁気アニール装置
CN117219548A (zh) 晶圆搬运调度方法、装置、电子设备及存储介质
KR20090062364A (ko) 차량용 기어 가공설비의 아웃 스토커

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20201130