JP2014078656A

JP2014078656A - 収容カセット

Info

Publication number: JP2014078656A
Application number: JP2012226796A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Sato; 佐藤　　淳
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-10-12
Filing date: 2012-10-12
Publication date: 2014-05-01

Abstract

【課題】板状物が複数収容される収容カセットにおいて、収容されて重くなった場合においてもハンドリングを容易とする。
【解決手段】対向する側板１０と、側板１０を連結する天井板１１及び底板１２と、側板１０に複数形成され板状物を収容する収容棚１００と、板状物を出し入れする際の搬出入口となる開口部１４と、を少なくとも備えた、板状物を複数収容するための収容カセット１に関し、側板１０の下部又は底板１２の外側に車輪１５を配設し、車輪１５の回転により収容カセット１を移動可能とする。側板１０の下部又は底板１２の外側に車輪を配設したことにより収容カセット１が自走可能であるため、被加工物を収容して重量が重くなった場合でも台車等と加工装置との間での収容カセット１の移動がスムーズとなり、ハンドリングが容易となる。
【選択図】図１

Description

本発明は、板状物を収容する収容カセットに関する。

半導体デバイスの製造プロセスにおいては、多数の集積回路が作りこまれた板状物を切断分離するダイシングによって、集積回路ごとのデバイスが形成される。加工対象の板状物は、粘着テープを介して環状のフレームに固定され、搬送用の収容カセットに収容されて切削装置に搬入される。

この収容カセットは、一般に、複数の水平な溝を有する一対の側板を対向させた構成を有しており、溝の一端側の挿入口から各溝に沿ってフレームが挿入されることで、複数枚の板状物を収容できるように構成されている（例えば、特許文献１参照）。

収容カセットに対しては、作業者が、板状物を収容するとともに、板状物が収容された収容カセットを加工装置のカセット台に載置することにより、加工装置の機能によって板状物が収容カセットから取り出され、その板状物の加工が行われる。

特開平８−８０９８９号公報

しかし、被加工物には、サイズが大きい、厚みが厚い、材質の重さ等の原因によって重いものがあり、これらの被加工物を収容カセットに複数収容すると、収容カセットの重量が非常に重くなり、作業者によるハンドリングが非常に難しくなる上に、作業者の健康を害するおそれもある。

本発明は、このような点にかんがみてなされたもので、その目的とするところは、被加工物が収容されて重くなった収容カセットのハンドリングを容易に行うことを可能とすることにある。

本発明は、対向する側板と、側板を連結する天井板及び底板と、側板に複数形成され板状物を収容する収容棚と、板状物を出し入れする際の搬出入口となる開口部と、を少なくとも備えた、板状物を複数収容するための収容カセットに関するもので、側板の下部又は底板の外側に車輪が配設され、車輪の回転により移動可能であることを特徴とする。

本発明に係る収容カセットは、側板の下部又は底板の外側に車輪を配設したことにより自走可能であるため、被加工物を収容して重量が重くなった場合でも、台車等と加工装置のカセット載置台との間における収容カセットの移動がスムーズとなり、ハンドリングが容易となる。

収容カセット及び被加工物の例を示す斜視図である。台車に載置された収容カセット及び加工装置の例を示す斜視図である。収容カセットが載置された台車が加工装置の前方に位置する状態を示す側面図である。収容カセットを台車から加工装置のカセット載置手段に移動させる状態を示す側面図である。収容カセットを加工装置のカセット載置手段に載置した状態を示す側面図である。

図１に示す収容カセット１は、本発明の実施形態の一例を示したものであり、側部に対向する２枚の側板１０を備え、２枚の側板１０の上端部には１枚の天井板１１が連結され、２枚の側板１０の下端部には１枚の底板１２が連結されている。

収容カセット１の後部側（図１における手前側）には、２枚の側板１０と天井板１１と底板１２との後部に連結された板部材からなる背止部１３が形成されている。一方、収容カセット１の前部側（図１における奥側）は、開口部１４において開口した構成となっており、収容カセット１は、開口部１４において開口した箱状に形成されている。

２枚の側板１０のそれぞれには、対向する内側の面に、板状物を収容する収容棚１００が複数形成されている。複数の収容棚１００は、すべてが平行に形成されているとともに、２枚の側板１０の向かい合う収容棚１００どうしが同じ高さ位置に形成されている。

それぞれの側板１０の下部には２つの車輪１５が配設されており、収容カセット１は、全体として下部に４つの車輪１５を有している。なお、車輪１５は、底板１２の外側に配設するようにしてもよい。収容カセット１は、車輪１５の回転によって水平方向に移動可能となっている。また、天井板１１には、収容カセット１を移動させる際に作業者が持つための把持部１１０が形成されている。

収容カセット１に収容される被加工物としては、例えば図１に示す半導体ウェーハＷがある。この半導体ウェーハＷの表面Ｗ１には、切削ラインＳによって区画されてデバイスＤが形成されている。半導体ウェーハＷは、その裏面Ｗ２が粘着テープＴに貼着されており、粘着テープＴの外周部に環状のフレームＦが貼着されることにより、半導体ウェーハＷが粘着テープＴを介してフレームＦに支持された状態となっている。このようにしてフレームＦに支持された半導体ウェーハＷは、収容カセット１に対して開口部１４を介して搬入又は搬出され、開口部１４は、半導体ウェーハＷの搬出入口となる。

図２に示すように、収容カセット１は、台車２に載せられて加工装置３に搬送される。台車２は、収容カセット１が載置される載置台２０と、載置台２０の下部に配設された車輪２１と、作業者が台車２を移動させる際に把持するための把持部２２とを備えている。

図２に示す加工装置３は、被加工物を切削する切削装置であり、収容カセット１を載置させるカセット載置手段３０を備えている。カセット載置手段３０のＹ軸方向奥側には、収容カセット１に対する被加工物の搬出入を行う図示しない搬出入手段の通り道となる搬出入口３１が形成されている。搬出入口３１のＹ軸方向奥側は、被加工物を保持する保持テーブルに対する被加工物の着脱が行われる着脱領域３２となっている。

着脱領域３２のＸ軸方向奥側は、実際の切削加工が行われる加工領域３３となっている。また、着脱領域３２のＹ軸方向奥側は、切削加工後の被加工物を洗浄する洗浄領域３４となっている。

加工前の被加工物が収容された収容カセット１は、図２及び図３に示すように、台車２の載置台２０に載置される。図３に示す台車２には、載置台２０に対して上下方向に出没自在なストッパ２３が配設されている。このストッパ２３を上方に突出させることにより、収容カセット１の位置がずれて落下するのを防止することができる。なお、図３〜５に示す収容カセット１には、底板１２の外側に車輪１５が配設されている。

加工装置３を用いて収容カセット１に収容された被加工物を切削加工するにあたっては、まず、図４に示すように、収容カセット１が載置された台車２を加工装置３のカセット載置手段３０の前方に移動させる。そして、ストッパ２３を降下させた後、収容カセット１を加工装置３側に押すことにより、収容カセット１をカセット載置手段３０の上に移動させる。

このとき、収容カセット１の下部には車輪１５を備えているため、収容カセット１の自走により移動をスムーズかつ容易に行うことができる。特に、図１に示した被加工物Ｗのサイズが大きい場合、被加工物Ｗの厚みが厚い場合、被加工物Ｗの材質が重い場合などは、そのような被加工物が複数収容された収容カセット１は非常に重くなり、作業者による収容カセット１のハンドリングが困難になるため、車輪１５を回転させて収容カセット１を移動させることにより、作業者の負担が大幅に軽減され、健康を害するおそれもなくなる。

図５に示すように、加工装置３のカセット載置手段３０の前後に、上下方向に出没自在なストッパ３５、３６を備えている場合は、カセット載置手段３０の上に収容カセット１が載せられた後に、ストッパ３５、３６を上方に突出させ、収容カセット１に位置ずれが生じないように固定する。

このようにしてカセット載置手段３０に収容カセット１が載置されると、開口部１４から被加工物Ｗが搬出されて加工領域３３に搬送され、加工が行われた後、洗浄領域３４に搬送されて被加工物が洗浄される。

洗浄された被加工物は、収容カセット１に再び収容される。そして、すべての被加工物が加工されて収容カセット１に収容されると、収容カセット１が台車２の載置台２０に移され、台車２によって次の工程に搬送される。収容カセット１が台車２の載置台２０に移される際も、収容カセット１の下部に備えた車輪１５の回転により、収容カセット１の自走により移動をスムーズかつ容易に行うことができる。

１：収容カセット
１０：側板１００：収容棚
１１：天井板１１０：把持部
１２：底板１３：背止部１４：開口部１５：車輪
２：台車２０：載置台２１：車輪２２：把持部
３：加工装置
３０：カセット載置手段３１：搬出入口３２：着脱領域３３：加工領域
３４：洗浄領域３５、３６：ストッパ
Ｗ：半導体ウェーハ（板状物）Ｗ１：表面Ｗ２：裏面
Ｄ：デバイスＳ：切削ライン
Ｔ：粘着テープＦ：フレーム

Claims

対向する側板と、該側板を連結する天井板及び底板と、該側板に複数形成され板状物を収容する収容棚と、板状物を出し入れする際の搬出入口となる開口部と、を少なくとも備えた、板状物を複数収容するための収容カセットであって、
該側板の下部又は該底板の外側には車輪が配設され、該車輪の回転により移動可能であることを特徴とする収容カセット。