RU2013149554A

RU2013149554A - Способ и устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения

Info

Publication number: RU2013149554A
Application number: RU2013149554/02A
Authority: RU
Inventors: Сергей Каренович Вартапетов; Алексей Захарович Обидин; Даниил Валентинович ГАНИН
Original assignee: Общество С Ограниченной Ответственностью "Оптосистемы"
Priority date: 2013-11-07
Filing date: 2013-11-07
Publication date: 2015-05-20
Also published as: RU2551043C1; WO2015069143A9; CN205927544U; WO2015069143A1

Abstract

1. Способ формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения, толщина пленки до 100 мкм, при котором сверхкороткий импульс лазерного излучения фокусируют установленным в воздухе объективом с числовой апертурой не менее 0,33, отличающийся тем, что сверхкороткий импульс лазерного излучения фокусируют через прозрачную для лазерного излучения среду с коэффициентом преломления не менее 1,5 в фокальную перетяжку, длина которой пропорциональна толщине слоя среды до фокуса при параксиальной аппроксимации, длина фокальной перетяжки больше толщины пленки; оптически прозрачную пленку помещают в фокальную перетяжку так, чтобы фокальная перетяжка перекрывала часть пленки, в которой формируют отверстие; устанавливают энергию сверхкороткого импульса лазерного излучения такой, чтобы плотность энергии лазерного излучения в области фокальной перетяжки превышала порог разрушения материала пленки.2. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения, содержащее источник сверхкоротких импульсов лазерного излучения, оптическую систему формирования и ведения луча, объектив с числовой апертурой не менее 0,33, установленный в воздухе, толщина пленки до 100 мкм, отличающийся тем, что устройство содержит прозрачную для лазерного излучения среду с коэффициентом преломления не менее 1,5, пленка установлена за слоем среды так, что фокус объектива при параксиальной аппроксимации расположен перед пленкой, фокус граничных периферийных лучей объектива расположен за пленкой.3. Устройство формирования п�

Claims

1. Способ формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения, толщина пленки до 100 мкм, при котором сверхкороткий импульс лазерного излучения фокусируют установленным в воздухе объективом с числовой апертурой не менее 0,33, отличающийся тем, что сверхкороткий импульс лазерного излучения фокусируют через прозрачную для лазерного излучения среду с коэффициентом преломления не менее 1,5 в фокальную перетяжку, длина которой пропорциональна толщине слоя среды до фокуса при параксиальной аппроксимации, длина фокальной перетяжки больше толщины пленки; оптически прозрачную пленку помещают в фокальную перетяжку так, чтобы фокальная перетяжка перекрывала часть пленки, в которой формируют отверстие; устанавливают энергию сверхкороткого импульса лазерного излучения такой, чтобы плотность энергии лазерного излучения в области фокальной перетяжки превышала порог разрушения материала пленки.

2. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения, содержащее источник сверхкоротких импульсов лазерного излучения, оптическую систему формирования и ведения луча, объектив с числовой апертурой не менее 0,33, установленный в воздухе, толщина пленки до 100 мкм, отличающийся тем, что устройство содержит прозрачную для лазерного излучения среду с коэффициентом преломления не менее 1,5, пленка установлена за слоем среды так, что фокус объектива при параксиальной аппроксимации расположен перед пленкой, фокус граничных периферийных лучей объектива расположен за пленкой.

3. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.2, отличающееся тем, что среда является жидкостью, закрытой от объектива прозрачным материалом с коэффициентом преломления равным коэффициенту преломления жидкости, пленка расположена в жидкости.

4. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.3, отличающееся тем, что содержит систему перемещения пленки хотя бы по одной координате.

5. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.3 или 4, отличающееся тем, что оптическая система формирования и ведения луча содержит систему сканирования хотя бы по одной координате.

6. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.3, отличающееся тем, что жидкость это раствор NaCl в воде.

7. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.2, отличающееся тем, что среда является плоскопараллельной пластиной материала, фокус объектива при параксиальной аппроксимации расположен за пластиной, числовая апертура объектива не менее 0,5.

8. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.7, отличающееся тем, что содержит систему перемещения пленки хотя бы по одной координате.

9. Устройство формирования прецизионных отверстий в оптически прозрачной пленке сверхкоротким импульсом лазерного излучения по п.7 или 8, отличающееся тем, что оптическая система формирования и ведения луча содержит систему сканирования хотя бы по одной координате.