RU2010149265A - Плазменный генератор и способ управления им - Google Patents
Плазменный генератор и способ управления им Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010149265A RU2010149265A RU2010149265/07A RU2010149265A RU2010149265A RU 2010149265 A RU2010149265 A RU 2010149265A RU 2010149265/07 A RU2010149265/07 A RU 2010149265/07A RU 2010149265 A RU2010149265 A RU 2010149265A RU 2010149265 A RU2010149265 A RU 2010149265A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plasma generator
- generator according
- ionization chamber
- coil
- frequency
- Prior art date
Links
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract 12
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F03—MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H—PRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F03H1/00—Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
- F03H1/0037—Electrostatic ion thrusters
- F03H1/0056—Electrostatic ion thrusters with an acceleration grid and an applied magnetic field
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J27/00—Ion beam tubes
- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
- H01J27/16—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation
- H01J27/18—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation with an applied axial magnetic field
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/54—Plasma accelerators
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
1. Плазменный генератор, имеющий корпус (20), который охватывает ионизационную камеру (5) с по меньшей мере одним имеющимся у нее выходным отверстием (21), по меньшей мере один входящий в ионизационную камеру (5) подвод (30) для подачи рабочего газа и по меньшей мере одну электрическую катушечную систему (4), охватывающую по меньшей мере часть ионизационной камеры (5) и электрически соединенную с источником (АС) переменного тока высокой частоты, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы (4) подводится переменный электрический ток высокой частоты, отличающийся тем, что предусмотрен еще один источник (DC) тока, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы (4) подводится постоянный ток или переменный ток меньшей частоты, чем у переменного тока высокой частоты от его источника (АС). ! 2. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде плазменного источника. ! 3. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде источника электронов. ! 4. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде ионного источника. ! 5. Плазменный генератор по п.3, отличающийся тем, что в зоне выходного отверстия (21) ионизационной камеры (5) предусмотрен ускоритель образовавшихся в ней электронов. ! 6. Плазменный генератор по п.4, отличающийся тем, что в зоне выходного отверстия (21) ионизационной камеры предусмотрен ускоритель (6) образовавшихся в ней ионов. ! 7. Плазменный генератор по п.6, отличающийся тем, что ускоритель (6) имеет электрически положительно заряженную решетку (60) и расположенную за ней в направлении выхода ионов из ионизационной камеры (5) отрицательно заряже
Claims (18)
1. Плазменный генератор, имеющий корпус (20), который охватывает ионизационную камеру (5) с по меньшей мере одним имеющимся у нее выходным отверстием (21), по меньшей мере один входящий в ионизационную камеру (5) подвод (30) для подачи рабочего газа и по меньшей мере одну электрическую катушечную систему (4), охватывающую по меньшей мере часть ионизационной камеры (5) и электрически соединенную с источником (АС) переменного тока высокой частоты, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы (4) подводится переменный электрический ток высокой частоты, отличающийся тем, что предусмотрен еще один источник (DC) тока, от которого к по меньшей мере одной катушке катушечной системы (4) подводится постоянный ток или переменный ток меньшей частоты, чем у переменного тока высокой частоты от его источника (АС).
2. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде плазменного источника.
3. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде источника электронов.
4. Плазменный генератор по п.1, отличающийся тем, что он выполнен в виде ионного источника.
5. Плазменный генератор по п.3, отличающийся тем, что в зоне выходного отверстия (21) ионизационной камеры (5) предусмотрен ускоритель образовавшихся в ней электронов.
6. Плазменный генератор по п.4, отличающийся тем, что в зоне выходного отверстия (21) ионизационной камеры предусмотрен ускоритель (6) образовавшихся в ней ионов.
7. Плазменный генератор по п.6, отличающийся тем, что ускоритель (6) имеет электрически положительно заряженную решетку (60) и расположенную за ней в направлении выхода ионов из ионизационной камеры (5) отрицательно заряженную решетку (62).
8. Плазменный генератор по п.7, отличающийся тем, что ионный источник образует ионный двигатель.
9. Плазменный генератор по п.6, 7 или 8, отличающийся тем, что в направлении выхода потока ионов из ионизационной камеры (5) за ней предусмотрен инжектор (7) электронов, который направлен на поток ионов и предназначен для его нейтрализации и который предпочтительно имеет полый катод.
10. Плазменный генератор по одному из пп.1-8, отличающийся тем, что в нем предусмотрена магнитная система, охватывающая ионизационную камеру (5).
11. Плазменный генератор по п.9, отличающийся тем, что в нем предусмотрена магнитная система, охватывающая ионизационную камеру (5).
12. Плазменный генератор по пп.1-8, отличающийся тем, что катушечная система (4) имеет высокочастотную катушку, которая для подвода к ней переменного тока высокой частоты подключена к электрическому переменному напряжению высокой частоты и непосредственно к которой при этом также подводится создаваемый постоянным напряжением постоянный ток.
13. Плазменный генератор по п.9, отличающийся тем, что катушечная система (4) имеет высокочастотную катушку, которая для подвода к ней переменного тока высокой частоты подключена к электрическому переменному напряжению высокой частоты и непосредственно к которой при этом также подводится создаваемый постоянным напряжением постоянный ток.
14. Плазменный генератор по п.11, отличающийся тем, что катушечная система (4) имеет высокочастотную катушку, которая для подвода к ней переменного тока высокой частоты подключена к электрическому переменному напряжению высокой частоты и непосредственно к которой при этом также подводится создаваемый постоянным напряжением постоянный ток.
15. Плазменный генератор по п.12, отличающийся тем, что постоянный ток подводится к высокочастотной катушке в месте, отличном от места подвода к ней переменного тока высокой частоты.
16. Плазменный генератор по п.12, отличающийся тем, что постоянный ток подводится к запитываемой постоянным током катушке, расположенной параллельно высокочастотной катушке.
17. Плазменный генератор по п.15, отличающийся тем, что предусмотрена возможность регулирования постоянного тока, для чего предусмотрен регулятор, регулирующий постоянный ток пропорционально выходящему из ионизационной камеры (5) потоку ионов.
18. Способ управления плазменным генератором, прежде всего ионным источником, путем приведения в движение образовавшейся в плазменном генераторе плазмы высокочастотным переменным электрическим или электромагнитным полем, отличающийся тем, что на плазму дополнительно к воздействию высокочастотным переменным электромагнитным полем воздействуют постоянным электромагнитным полем.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102008022181.3A DE102008022181B4 (de) | 2008-05-05 | 2008-05-05 | Ionentriebwerk |
| DE102008022181.3 | 2008-05-05 | ||
| PCT/DE2009/000615 WO2009135471A1 (de) | 2008-05-05 | 2009-04-29 | Plasmaerzeuger und verfahren zum steuern eines plasmaerzeugers |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010149265A true RU2010149265A (ru) | 2012-06-27 |
| RU2525442C2 RU2525442C2 (ru) | 2014-08-10 |
Family
ID=41129275
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010149265/07A RU2525442C2 (ru) | 2008-05-05 | 2009-04-29 | Плазменный генератор и способ управления им |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8786192B2 (ru) |
| EP (1) | EP2277188B1 (ru) |
| JP (2) | JP2011522357A (ru) |
| KR (1) | KR101360684B1 (ru) |
| DE (1) | DE102008022181B4 (ru) |
| RU (1) | RU2525442C2 (ru) |
| WO (1) | WO2009135471A1 (ru) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102008058212B4 (de) * | 2008-11-19 | 2011-07-07 | Astrium GmbH, 81667 | Ionenantrieb für ein Raumfahrzeug |
| JP5950715B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2016-07-13 | 三菱電機株式会社 | 電源装置 |
| US20140360670A1 (en) * | 2013-06-05 | 2014-12-11 | Tokyo Electron Limited | Processing system for non-ambipolar electron plasma (nep) treatment of a substrate with sheath potential |
| RU2578192C2 (ru) * | 2014-10-06 | 2016-03-27 | Геннадий Леонидович Багич | Способ излучения энергии и устройство для его осуществления (плазменный излучатель) |
| WO2018026786A1 (en) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | Georgia Tech Research Corporation | Deployable gridded ion thruster |
| RU177495U1 (ru) * | 2017-06-27 | 2018-02-28 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный архитектурно-строительный университет" (ТГАСУ) | Устройство для объемно-термической плазменной обработки деревянных изделий |
| US11205562B2 (en) | 2018-10-25 | 2021-12-21 | Tokyo Electron Limited | Hybrid electron beam and RF plasma system for controlled content of radicals and ions |
| US12014901B2 (en) | 2018-10-25 | 2024-06-18 | Tokyo Electron Limited | Tailored electron energy distribution function by new plasma source: hybrid electron beam and RF plasma |
| CN114776547B (zh) * | 2022-03-28 | 2024-08-02 | 广州大学 | 一种无燃料卫星推进装置及推进方法 |
| EP4271144A1 (en) * | 2022-04-29 | 2023-11-01 | Vassilios Horozoglou | Synchronous polyphase alternating current electrostatic ion thruster (space-it) for propulsion of spacecraft, such as for example satellites, mini-rockets, etc |
| CN115579272A (zh) * | 2022-11-02 | 2023-01-06 | 苏州岚创科技有限公司 | 离子源及镀膜设备 |
Family Cites Families (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3345820A (en) * | 1965-10-19 | 1967-10-10 | Hugh L Dryden | Electron bombardment ion engine |
| DE2633778C3 (de) | 1976-07-28 | 1981-12-24 | Messerschmitt-Bölkow-Blohm GmbH, 8000 München | Ionentriebwerk |
| DE3130908A1 (de) * | 1981-08-05 | 1983-03-10 | Horst Dipl.-Ing. 5100 Aachen Müller | "plasma-reaktor" |
| FR2550681B1 (fr) * | 1983-08-12 | 1985-12-06 | Centre Nat Rech Scient | Source d'ions a au moins deux chambres d'ionisation, en particulier pour la formation de faisceaux d'ions chimiquement reactifs |
| GB8419039D0 (en) * | 1984-07-26 | 1984-08-30 | Atomic Energy Authority Uk | Ion source |
| EP0169744A3 (en) * | 1984-07-26 | 1987-06-10 | United Kingdom Atomic Energy Authority | Ion source |
| JPH0746585B2 (ja) * | 1985-05-24 | 1995-05-17 | 株式会社日立製作所 | イオンビーム装置およびイオンビーム形成方法 |
| JPS6263180A (ja) * | 1985-09-13 | 1987-03-19 | Toshiba Corp | Ｒｆ型イオン源 |
| JPS62140399A (ja) * | 1985-12-13 | 1987-06-23 | 三菱重工業株式会社 | プラズマ加速型核融合装置 |
| JPS62174578A (ja) * | 1986-01-28 | 1987-07-31 | Toshiba Corp | 高周波型イオン・スラスタ |
| JPH07101029B2 (ja) * | 1986-01-30 | 1995-11-01 | 株式会社東芝 | Ｒｆ型イオン・スラスタ |
| DE3826432A1 (de) | 1987-02-04 | 1989-01-05 | Lsg Loet Und Schweissgeraete G | Hochfrequenzplasma- und ionenquelle fuer einen kontinuierlichen betrieb |
| DE3708716C2 (de) * | 1987-03-18 | 1993-11-04 | Hans Prof Dr Rer Nat Oechsner | Hochfrequenz-ionenquelle |
| DE4235064A1 (de) | 1992-10-17 | 1994-04-21 | Leybold Ag | Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas mittels Kathodenzerstäubung |
| US5858477A (en) * | 1996-12-10 | 1999-01-12 | Akashic Memories Corporation | Method for producing recording media having protective overcoats of highly tetrahedral amorphous carbon |
| US6001426A (en) * | 1996-07-25 | 1999-12-14 | Utron Inc. | High velocity pulsed wire-arc spray |
| US5947421A (en) | 1997-07-09 | 1999-09-07 | Beattie; John R. | Electrostatic propulsion systems and methods |
| DE19835512C1 (de) * | 1998-08-06 | 1999-12-16 | Daimlerchrysler Aerospace Ag | Ionentriebwerk |
| RU2151438C1 (ru) * | 1999-09-23 | 2000-06-20 | Бугров Глеб Эльмирович | Плазменный источник ионов с ленточным пучком (варианты) |
| DE19948229C1 (de) * | 1999-10-07 | 2001-05-03 | Daimler Chrysler Ag | Hochfrequenz-Ionenquelle |
| RU2196395C1 (ru) * | 2001-05-30 | 2003-01-10 | Александров Андрей Федорович | Плазменный реактор и устройство для генерации плазмы (варианты) |
| US6768120B2 (en) * | 2001-08-31 | 2004-07-27 | The Regents Of The University Of California | Focused electron and ion beam systems |
| DE10147998A1 (de) * | 2001-09-28 | 2003-04-10 | Unaxis Balzers Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas |
| US8158016B2 (en) * | 2004-02-04 | 2012-04-17 | Veeco Instruments, Inc. | Methods of operating an electromagnet of an ion source |
| KR100706809B1 (ko) * | 2006-02-07 | 2007-04-12 | 삼성전자주식회사 | 이온 빔 조절 장치 및 그 방법 |
| JP2007242368A (ja) * | 2006-03-07 | 2007-09-20 | Shincron:Kk | ニュートラライザおよびこれを備えた成膜装置 |
| JP5675099B2 (ja) | 2006-07-20 | 2015-02-25 | エスピーティーエス テクノロジーズ イーティー リミティド | イオンソース |
| WO2008009892A1 (en) * | 2006-07-20 | 2008-01-24 | Aviza Technology Limited | Plasma sources |
-
2008
- 2008-05-05 DE DE102008022181.3A patent/DE102008022181B4/de active Active
-
2009
- 2009-04-29 WO PCT/DE2009/000615 patent/WO2009135471A1/de not_active Ceased
- 2009-04-29 RU RU2010149265/07A patent/RU2525442C2/ru active
- 2009-04-29 US US12/991,006 patent/US8786192B2/en active Active
- 2009-04-29 JP JP2011507789A patent/JP2011522357A/ja active Pending
- 2009-04-29 EP EP09741744.8A patent/EP2277188B1/de active Active
- 2009-04-29 KR KR1020107027366A patent/KR101360684B1/ko active Active
-
2014
- 2014-12-11 JP JP2014250915A patent/JP6000325B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE102008022181A1 (de) | 2009-11-19 |
| RU2525442C2 (ru) | 2014-08-10 |
| US8786192B2 (en) | 2014-07-22 |
| JP2015097209A (ja) | 2015-05-21 |
| JP6000325B2 (ja) | 2016-09-28 |
| DE102008022181B4 (de) | 2019-05-02 |
| EP2277188A1 (de) | 2011-01-26 |
| WO2009135471A1 (de) | 2009-11-12 |
| US20120019143A1 (en) | 2012-01-26 |
| EP2277188B1 (de) | 2017-04-19 |
| JP2011522357A (ja) | 2011-07-28 |
| KR20110013449A (ko) | 2011-02-09 |
| KR101360684B1 (ko) | 2014-02-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010149265A (ru) | Плазменный генератор и способ управления им | |
| KR101575145B1 (ko) | 진공 아크 플라즈마 이송 방법 및 장치 | |
| RU2508582C2 (ru) | Установка, генерирующая ионы, и электрическое оборудование, ее использующее | |
| US10134557B2 (en) | Linear anode layer slit ion source | |
| RU2014143206A (ru) | Плазменно-иммерсионная ионная обработка и осаждение покрытий из паровой фазы при содействии дугового разряда низкого давления | |
| US9084336B2 (en) | High current single-ended DC accelerator | |
| RU2004130588A (ru) | Источник фильтрованной плазмы катодной дуги | |
| EP2809468B1 (en) | Spark ablation device and method for generating nanoparticles | |
| US9224580B2 (en) | Plasma generator | |
| JPWO2014141604A1 (ja) | 有効成分発生装置 | |
| WO2018205721A1 (zh) | 空调器及其负离子发生装置 | |
| US20130305988A1 (en) | Inline Capacitive Ignition of Inductively Coupled Plasma Ion Source | |
| US20070166207A1 (en) | Plasma-generating device and method of treating a gaseous medium | |
| RU2731964C1 (ru) | Способ инактивации микроорганизмов в воздухе и электрический стерилизатор | |
| RU2708218C2 (ru) | Способ оптимизации горения в устройствах для сжигания топлива и устройство для выполнения способа | |
| JP2008511431A (ja) | 気体媒体をプラズマによって処理するための装置と、その様な装置を引火及び／又は爆発から守る方法 | |
| RU2731462C1 (ru) | Способ подготовки газообразного топлива и воздуха перед подачей в топливосжигающее устройство | |
| US20250279631A1 (en) | A method for ionization of a fluid | |
| US20250149864A1 (en) | A device for ionization of a fluid | |
| US20250279632A1 (en) | A method and a device for ionization of a fluid | |
| UA152975U (uk) | Електричний стерилізатор повітря | |
| JP5695805B2 (ja) | イオンビーム処理のための磁場低減装置及び磁気プラズマ供給システム | |
| CA3250177A1 (en) | FLUID IONIZATION DEVICE | |
| EA201900234A1 (ru) | Устройство для получения плазмы тлеющего разряда | |
| CZ20021012A3 (cs) | Výbojka s nežhavenou katodou |