[go: up one dir, main page]

RU2009148775A - Захват, в частности захват бернулли - Google Patents

Захват, в частности захват бернулли Download PDF

Info

Publication number
RU2009148775A
RU2009148775A RU2009148775/02A RU2009148775A RU2009148775A RU 2009148775 A RU2009148775 A RU 2009148775A RU 2009148775/02 A RU2009148775/02 A RU 2009148775/02A RU 2009148775 A RU2009148775 A RU 2009148775A RU 2009148775 A RU2009148775 A RU 2009148775A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
grip
semiconductor wafer
impact
mounting surface
brush
Prior art date
Application number
RU2009148775/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2466857C2 (ru
Inventor
Штефан ЙОНАС (DE)
Штефан ЙОНАС
Лутц РЕДМАНН (DE)
Лутц РЕДМАНН
Original Assignee
Йонас Унд Редманн Аутомационстехник Гмбх (De)
Йонас Унд Редманн Аутомационстехник Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Йонас Унд Редманн Аутомационстехник Гмбх (De), Йонас Унд Редманн Аутомационстехник Гмбх filed Critical Йонас Унд Редманн Аутомационстехник Гмбх (De)
Publication of RU2009148775A publication Critical patent/RU2009148775A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2466857C2 publication Critical patent/RU2466857C2/ru

Links

Classifications

    • H10P72/76—
    • H10P72/78—
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/06—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means
    • B25J15/0616—Gripping heads and other end effectors with vacuum or magnetic holding means with vacuum
    • H10P72/0606—
    • H10P72/70—
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S294/00—Handling: hand and hoist-line implements
    • Y10S294/907—Sensor controlled device

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)

Abstract

1. Захват, в частности захват (1) Бернулли, для приема плоскостных элементов, таких как, например, кремниевые полупроводниковые пластины (2), содержащий зажимное кольцо (4), соединенное с управляемой рукой (3) робота, соединенную с зажимным кольцом (4) посредством воронкообразного конструктивного элемента (5) ударную шайбу (6) с захватной поверхностью (7), сообщающейся с проходящей через воронкообразный конструктивный элемент (5) и ударную шайбу (6) поточной системой (8), посредством которой после подачи на захват (1) Бернулли избыточного давления у захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины (2), интегрированную в захватную поверхность (7) установочную поверхность (9) опорного кольца (10), посредством которой осуществляется бесскользящее перемещение полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7), и адаптированное к захвату (1) по периметру амортизирующее устройство (12), контур которого, если смотреть на захват (1) сверху, выходит по периметру за пределы контуров всех прочих элементов (4, 5, 6) захвата (1) и которое создает для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при ее обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе такое амортизирующее сопротивление, что полупроводниковая пластина (2) входит в контакт с установочной поверхностью (9) опорного кольца (10) щадящим в отношении удара образом, отличающийся тем, что ! установочная поверхность (9) опорного кольца (10) прорезинена, ! амортизирующее устройство (12), адаптированное к захвату (1) по периметру, образовано щеткой (12) с упругими щетинками, которые, если смотреть на захват (1) с�

Claims (7)

1. Захват, в частности захват (1) Бернулли, для приема плоскостных элементов, таких как, например, кремниевые полупроводниковые пластины (2), содержащий зажимное кольцо (4), соединенное с управляемой рукой (3) робота, соединенную с зажимным кольцом (4) посредством воронкообразного конструктивного элемента (5) ударную шайбу (6) с захватной поверхностью (7), сообщающейся с проходящей через воронкообразный конструктивный элемент (5) и ударную шайбу (6) поточной системой (8), посредством которой после подачи на захват (1) Бернулли избыточного давления у захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины (2), интегрированную в захватную поверхность (7) установочную поверхность (9) опорного кольца (10), посредством которой осуществляется бесскользящее перемещение полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7), и адаптированное к захвату (1) по периметру амортизирующее устройство (12), контур которого, если смотреть на захват (1) сверху, выходит по периметру за пределы контуров всех прочих элементов (4, 5, 6) захвата (1) и которое создает для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при ее обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе такое амортизирующее сопротивление, что полупроводниковая пластина (2) входит в контакт с установочной поверхностью (9) опорного кольца (10) щадящим в отношении удара образом, отличающийся тем, что
установочная поверхность (9) опорного кольца (10) прорезинена,
амортизирующее устройство (12), адаптированное к захвату (1) по периметру, образовано щеткой (12) с упругими щетинками, которые, если смотреть на захват (1) сбоку, выступают над всеми прочими элементами (4, 5, 6) захвата (1) на величину (d), находящуюся в диапазоне 1,5-3,5 мм, и создают для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе в качестве первого контакта амортизирующее сопротивление, при этом
на захвате (1) предусмотрен емкостной датчик (11) для распознавания полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7).
2. Захват по п.1, отличающийся тем, что концы (15) щетинок, противоположные свободно выходящим концам (14) щетинок, закреплены по окружной кромке (16) щетки, удерживаемой в окружном зажимном пазу (17) захвата (1) с возможностью замены, образуемом зажимным кольцом (4) и воронкообразным конструктивным элементом (5).
3. Захват по п.1 или 2, отличающийся тем, что, если смотреть на захват (1) сверху, контур захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) и контур щетки (12) выполнен круговыми, причем ударная шайба (6) и щетка (12) расположены коаксиально продольной оси (18) захвата (1).
4. Захват по п.1, отличающийся тем, что упругие щетинки (13) щетки (12), если смотреть на захват (1) сверху, образуют открытое круглое кольцо примерно 340°, причем кольцевой участок (19) щетки (12) без щетинок пространственно относится к емкостному датчику (11) для распознавания присосанной полупроводниковой пластины (2).
5. Захват по п.1, отличающийся тем, что щетинки (13) щетки (12) проходят наклонно вниз относительно плоскости захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) под углом 16,5 ±1°.
6. Захват по п.1, отличающийся тем, что упругие щетинки (13) щетки (12) выполнены из полиамида.
7. Захват, в частности захват (1) Бернулли, для приема плоскостных элементов, таких как, например, кремниевые полупроводниковые пластины (2), содержащий зажимное кольцо (4), соединенное с управляемой рукой (3) робота, соединенную с зажимным кольцом (4) посредством воронкообразного конструктивного элемента (5) ударную шайбу (6) с захватной поверхностью (7), сообщающейся с проходящей через воронкообразный конструктивный элемент (5) и ударную шайбу (6) поточной системой (8), посредством которой после подачи на захват (1) Бернулли избыточного давления у захватной поверхности (7) ударной шайбы (6) создается разрежение для присоса захватываемой полупроводниковой пластины (2), интегрированную в захватную поверхность (7) установочную поверхность (9) опорного кольца (10), посредством которой осуществляется бесскользящее перемещение полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7), и адаптированное к захвату (1) по периметру амортизирующее устройство (12), контур которого, если смотреть на захват (1) сверху, выходит по периметру за пределы контуров всех прочих элементов (4, 5, 6) захвата (1) и которое создает для захватываемой полупроводниковой пластины (2) при ее обусловленном присосом к захватной поверхности (7) подходе такое амортизирующее сопротивление, что полупроводниковая пластина (2) входит в контакт с установочной поверхностью (9) опорного кольца (10) щадящим в отношении удара образом, отличающийся тем, что
установочная поверхность (9) опорного кольца (10) прорезинена,
амортизирующее устройство (12), адаптированное к захвату (1) по периметру, образовано замкнутым резиновым кольцом в виде уплотнительной кромки из мягкого материала, посредством которого полупроводниковая пластина (2) при своем обусловленном присосом прилегании к прорезиненной установочной поверхности (9) опорного кольца (10), интегрированной в захватную поверхность (7), герметично уплотнена по периметру относительно ударной шайбы (6), через которую проходит проточная система (8), при этом
на захвате (1) предусмотрен емкостной датчик (11) для распознавания полупроводниковой пластины (2), присосанной к захватной поверхности (7).
RU2009148775/02A 2007-05-31 2008-05-05 Захват, в частности захват бернулли RU2466857C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202007007721U DE202007007721U1 (de) 2007-05-31 2007-05-31 Greifer, insbesondere Bernoulli-Greifer
DE202007007721.1 2007-05-31

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2009148775A true RU2009148775A (ru) 2011-07-10
RU2466857C2 RU2466857C2 (ru) 2012-11-20

Family

ID=38336560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009148775/02A RU2466857C2 (ru) 2007-05-31 2008-05-05 Захват, в частности захват бернулли

Country Status (11)

Country Link
US (1) US8172288B2 (ru)
EP (1) EP2167285B1 (ru)
JP (1) JP5100829B2 (ru)
KR (1) KR101423362B1 (ru)
CN (1) CN101687322B (ru)
CA (1) CA2688226C (ru)
DE (1) DE202007007721U1 (ru)
MY (1) MY174425A (ru)
RU (1) RU2466857C2 (ru)
TW (1) TWI433259B (ru)
WO (1) WO2008145085A1 (ru)

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008045257A1 (de) 2008-09-01 2010-03-04 Rena Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Handhaben von Substraten
ITUD20090042A1 (it) * 2009-02-23 2010-08-24 Applied Materials Inc Pinza di bernoulli
EP2411191B1 (de) 2009-03-26 2013-08-28 Jonas & Redmann Automationstechnik GmbH Bernoulli-greifervorrichtung mit mindestens einem bernoulli-greifer
JP5606517B2 (ja) * 2009-03-31 2014-10-15 エーティーエス オートメーション ツーリング システムズ インコーポレイテッド バネによって安定化された真空グリッパー組立体
JP5287491B2 (ja) * 2009-05-18 2013-09-11 株式会社島津製作所 基板吸着装置
DE102009051567A1 (de) 2009-10-22 2011-04-28 Alexander Borowski Bernoulli-Düse, Greifervorrichtung mit Bernoulli-Düse und Verfahren zur Herstellung
DE102009047091A1 (de) * 2009-11-24 2011-05-26 J. Schmalz Gmbh Flächensauggreifer
DE102009047083C5 (de) * 2009-11-24 2013-09-12 J. Schmalz Gmbh Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger oder Unterdruckgreifer
DE102010029746B4 (de) 2010-06-07 2013-09-12 Schunk Gmbh & Co. Kg Spann- Und Greiftechnik Greifvorrichtung
WO2011162995A1 (en) * 2010-06-22 2011-12-29 J.L. Souser & Associates, Inc. Method and system for repositioning of a flexible substrate
US8555979B1 (en) 2010-12-04 2013-10-15 Philip John Milanovich Blowout preventer with a bernoulli effect suck-down valve
US8205678B1 (en) * 2010-12-04 2012-06-26 Philip John Milanovich Blowout preventer with a Bernoulli effect suck-down valve
US8418767B1 (en) 2010-12-04 2013-04-16 Milanovich Investments, L.L.C. Blowout preventer with a Bernoulli effect suck-down valve
CN102152302B (zh) * 2011-03-03 2013-04-17 深圳市精实机电科技有限公司 圆柱电池生产线上的移动机械手
CN102738293B (zh) * 2011-04-01 2014-12-17 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 执行装置和机械手
CN102794773A (zh) * 2011-05-26 2012-11-28 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 用于抓取晶片的抓取组件和具有它的抓取装置
CN102530548B (zh) * 2012-01-31 2014-01-01 宁波大学 复合型气动非接触式气爪
JP2013175544A (ja) * 2012-02-24 2013-09-05 Disco Abrasive Syst Ltd 保持テーブル
DE202012102503U1 (de) 2012-07-06 2012-08-03 Rena Gmbh Vorrichtung zum mehrspurigen Transport von flachen Gegenständen
JP6127728B2 (ja) * 2013-05-30 2017-05-17 三星ダイヤモンド工業株式会社 脆性材料基板の搬送ヘッド
US8651189B1 (en) 2013-07-02 2014-02-18 Milanovich Investments, L.L.C. Blowout recovery valve
US8794333B1 (en) 2013-07-02 2014-08-05 Milanovich Investments, L.L.C. Combination blowout preventer and recovery device
EP2874183A1 (de) 2013-11-15 2015-05-20 mechatronic Systemtechnik GmbH Vorrichtung zum wenigstens Entleeren eines Transportbehälters
JP5996566B2 (ja) * 2014-02-12 2016-09-21 信越エンジニアリング株式会社 ワーク用チャック装置及びワーク貼り合わせ機並びにワーク貼り合わせ方法
ITCO20150008A1 (it) * 2015-04-20 2016-10-20 L P E S P A Utensile per manipolare substrati e reattore epitassiale
US9777547B1 (en) 2015-06-29 2017-10-03 Milanovich Investments, L.L.C. Blowout preventers made from plastic enhanced with graphene, phosphorescent or other material, with sleeves that fit inside well pipes, and making use of well pressure
NL2018555A (en) * 2016-04-20 2017-10-31 Asml Netherlands Bv Substrate support, lithographic apparatus and loading method
CN107731722B (zh) * 2016-08-11 2020-03-31 北京北方华创微电子装备有限公司 一种机械手取片方法和放片方法及装置
CN106347513B (zh) * 2016-09-19 2020-08-25 哈尔滨工业大学 仿生粘附式尺蠖机器人
DE102016011616A1 (de) * 2016-09-28 2018-03-29 Broetje-Automation Gmbh Greifvorrichtung
DE102016011618A1 (de) 2016-09-28 2018-03-29 Broetje-Automation Gmbh Endeffektoranordnung
US11097524B2 (en) * 2017-05-26 2021-08-24 The Boeing Company Flexible vacuum securement of objects to complex surfaces
US10369706B2 (en) * 2017-08-09 2019-08-06 The Boeing Company End effectors carrying plies of limp material for shaping by a mandrel
TWI661510B (zh) * 2017-09-06 2019-06-01 京鼎精密科技股份有限公司 晶圓支撐裝置
DE102018205708A1 (de) * 2018-04-16 2019-10-17 Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft Entformungswerkzeug und Verfahren zum Entformen eines Bauteils
JP7075814B2 (ja) * 2018-05-21 2022-05-26 株式会社荏原製作所 基板保持装置、基板研磨装置、弾性部材および基板保持装置の製造方法
TWI656082B (zh) * 2018-06-11 2019-04-11 旭騰股份有限公司 電動吸盤
CN109192691B (zh) * 2018-07-30 2020-11-10 北京北方华创微电子装备有限公司 晶片传送装置以及半导体加工设备
CN109192692B (zh) * 2018-07-30 2023-05-16 北京北方华创微电子装备有限公司 晶片传送装置以及半导体加工设备
EP3657537A1 (en) * 2018-11-23 2020-05-27 ATOTECH Deutschland GmbH End effector for slab formed substrates
TWI714936B (zh) * 2019-01-04 2021-01-01 黃金群 安全真空固定器
JP7344656B2 (ja) * 2019-03-13 2023-09-14 株式会社ディスコ 搬送装置
CN111037580B (zh) * 2019-12-30 2021-05-04 武汉大学 一种多用碳化硅晶片传输机械手
CN114093803B (zh) * 2020-08-24 2025-07-29 弘塑科技股份有限公司 基板固定装置
CN112938557A (zh) * 2021-04-23 2021-06-11 青岛前丰国际帽艺股份有限公司 一种用于制帽自动化产线设备上的取料机构
CN114552022B (zh) * 2021-09-02 2023-09-05 万向一二三股份公司 一种固体电池的制造装置和制造方法
JP7694321B2 (ja) * 2021-10-08 2025-06-18 Smc株式会社 リフト装置
EP4446071A1 (en) * 2023-04-14 2024-10-16 Piab Aktiebolag Suction gripper for gripping an object having a corrugated surface

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3523706A (en) * 1967-10-27 1970-08-11 Ibm Apparatus for supporting articles without structural contact and for positioning the supported articles
JPS61254436A (ja) * 1985-05-02 1986-11-12 Mitsubishi Electric Corp ウエハ吸着検出器
US5067762A (en) * 1985-06-18 1991-11-26 Hiroshi Akashi Non-contact conveying device
JPS63134544U (ru) * 1987-02-24 1988-09-02
JPS63188946U (ru) * 1987-05-27 1988-12-05
US4852926A (en) 1988-01-11 1989-08-01 Littell Edmund R Vacuum cup construction
US4969676A (en) * 1989-06-23 1990-11-13 At&T Bell Laboratories Air pressure pick-up tool
DE59406900D1 (de) * 1993-02-08 1998-10-22 Sez Semiconduct Equip Zubehoer Träger für scheibenförmige Gegenstände
US6601888B2 (en) * 2001-03-19 2003-08-05 Creo Inc. Contactless handling of objects
AT410540B (de) * 2001-06-21 2003-05-26 Ctr Carinthian Tech Res Ag Greifer für das handhaben dünner plättchen
US6808216B2 (en) * 2002-08-30 2004-10-26 Cardinal Ig Company Methods and apparatus for handling workpieces
JP4256132B2 (ja) * 2002-09-27 2009-04-22 株式会社ディスコ 板状物の搬送装置
DE10304169B4 (de) * 2003-01-29 2006-02-23 J. Schmalz Gmbh Sauggreifer
JP4724562B2 (ja) * 2003-11-21 2011-07-13 三星ダイヤモンド工業株式会社 真空吸着ヘッド、その真空吸着ヘッドを用いた真空吸着装置及びテーブル

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010527805A (ja) 2010-08-19
MY174425A (en) 2020-04-17
WO2008145085A8 (de) 2009-12-23
CA2688226C (en) 2016-03-15
WO2008145085A4 (de) 2009-02-05
US20100171331A1 (en) 2010-07-08
JP5100829B2 (ja) 2012-12-19
TW200849460A (en) 2008-12-16
KR20100018514A (ko) 2010-02-17
WO2008145085A1 (de) 2008-12-04
CN101687322B (zh) 2012-09-19
US8172288B2 (en) 2012-05-08
EP2167285B1 (de) 2018-04-18
EP2167285A1 (de) 2010-03-31
CN101687322A (zh) 2010-03-31
TWI433259B (zh) 2014-04-01
RU2466857C2 (ru) 2012-11-20
CA2688226A1 (en) 2008-12-04
KR101423362B1 (ko) 2014-07-24
DE202007007721U1 (de) 2007-08-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009148775A (ru) Захват, в частности захват бернулли
JP2012199282A5 (ru)
RU2005138720A (ru) Пылесос с устройством для установки пылесборного устройства (варианты)
JP2019193969A (ja) 真空動力工具
CN100344420C (zh) 吸引器
JP2018157194A5 (ru)
JPH0629370A (ja) 半導体ウェーハ転送装置
JP3880045B2 (ja) レンズ墨塗り装置用レンズホルダー、及びレンズ墨塗り装置のレンズ保持方法
KR20140120822A (ko) 척 테이블
CN109822475A (zh) 夹具、尤其以吸持夹具或夹钳形式的气动操作的夹具
KR102284218B1 (ko) 탈착 장치
JP2002184835A (ja) 吸着パッド
CN210210416U (zh) 一种双臂夹持洁净机械手
KR20190094371A (ko) 포토 마스크 또는 펠리클을 갖는 포토 마스크의 일 측면을 수용하여 세정 매체로부터 보호하기 위한 홀더, 포토 마스크 또는 펠리클을 갖는 포토 마스크를 세정하기 위한 방법, 및 홀더를 개방 및 폐쇄하기 위한 장치
EP4117495C0 (en) CLEANING DEVICE, PARTICULARLY FOR VACUUM CLEANER ROBOTS
KR101507316B1 (ko) 자력 흡착장치
KR100880652B1 (ko) 반도체 패키지 처리 장치
KR102470297B1 (ko) 필름을 표면으로부터 제거하기 위한 장치 및 방법
SU1454369A1 (ru) Ручной вакуум-захват дл удержани штучных предметов
KR102312853B1 (ko) 반도체 패키지 이송 장치
JPH088068Y2 (ja) 真空ピンセット装置
WO2014048383A1 (zh) 吸盘装置及其擦玻璃装置
CN221070619U (zh) 一种新型负压吸盘
CN223899640U (zh) 检验专用工具及检验专用系统
SU632564A1 (ru) Схват манипул тора

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200506