[go: up one dir, main page]

RU2009142805A - Фторполимерная тонкая пленка и способ ее получения - Google Patents

Фторполимерная тонкая пленка и способ ее получения Download PDF

Info

Publication number
RU2009142805A
RU2009142805A RU2009142805/02A RU2009142805A RU2009142805A RU 2009142805 A RU2009142805 A RU 2009142805A RU 2009142805/02 A RU2009142805/02 A RU 2009142805/02A RU 2009142805 A RU2009142805 A RU 2009142805A RU 2009142805 A RU2009142805 A RU 2009142805A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
fluoropolymer
range
thin film
integer
producing
Prior art date
Application number
RU2009142805/02A
Other languages
English (en)
Inventor
Тикая ТАМИЦУДЗИ (JP)
Тикая ТАМИЦУДЗИ
Кунио ВАТАНАБЕ (JP)
Кунио ВАТАНАБЕ
Йосихико САКАНЕ (JP)
Йосихико САКАНЕ
Дзун МИНАМИДАТЕ (JP)
Дзун МИНАМИДАТЕ
Original Assignee
Асахи Гласс Компани, Лимитед (Jp)
Асахи Гласс Компани, Лимитед
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Асахи Гласс Компани, Лимитед (Jp), Асахи Гласс Компани, Лимитед filed Critical Асахи Гласс Компани, Лимитед (Jp)
Publication of RU2009142805A publication Critical patent/RU2009142805A/ru

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/12Organic material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D1/00Processes for applying liquids or other fluent materials
    • B05D1/60Deposition of organic layers from vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F216/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical
    • C08F216/12Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical by an ether radical
    • C08F216/14Monomers containing only one unsaturated aliphatic radical
    • C08F216/1408Monomers containing halogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G61/00Macromolecular compounds obtained by reactions forming a carbon-to-carbon link in the main chain of the macromolecule
    • C08G61/12Macromolecular compounds containing atoms other than carbon in the main chain of the macromolecule
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D2506/00Halogenated polymers
    • B05D2506/10Fluorinated polymers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05DPROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D5/00Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures
    • B05D5/08Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface
    • B05D5/083Processes for applying liquids or other fluent materials to surfaces to obtain special surface effects, finishes or structures to obtain an anti-friction or anti-adhesive surface involving the use of fluoropolymers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08FMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
    • C08F216/00Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical
    • C08F216/38Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by an alcohol, ether, aldehydo, ketonic, acetal or ketal radical by an acetal or ketal radical

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

1. Способ получения фторполимерной тонкой пленки, который включает получение фторполимерной тонкой пленки на подложке по способу физического осаждения из паровой фазы при использовании в качестве источника испарения фторполимера, имеющего в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца и имеющего среднемассовую молекулярную массу в диапазоне от 3000 до 80000. ! 2. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, представляет собой фторполимер, содержащий повторяющееся звено, выбранное из следующих формул от (1) до (5): ! ! ! в формулах от (1) до (5) h представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, i представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 4, j равен 0 или 1, сумма h+i+j находится в диапазоне от 1 до 6, s представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, t представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 4, u равен 0 или 1, сумма s+t+u находится в диапазоне от 1 до 6, каждый из р, q и r, которые не зависят один от другого, представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, сумма p+q+r находится в диапазоне от 1 до 6, каждый из R1, R2, R3, R4, X1 и Х2, которые не зависят один от другого, представляет собой Н, D (дейтерий), F, Cl, OCF3 или CF3, каждый из R5, R6, R7 и R8, которые не зависят один от другого, представляет собой Н, D (дейтерий), F, Cl, CnF2n+1, CnF2n+1-mClmOk или CnF2n+1-mHmOk, по меньшей мере, один из R5, R6, X1 и Х2 содержит F, n представляет собой целое число в диапазоне от 1 до 5, m представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, 2n+1-m≥0, k представляет собой целое число, равное 0 или 1, а R7 и R8 могут соединяться с образованием кольца. ! 3. Способ получения фто�

Claims (11)

1. Способ получения фторполимерной тонкой пленки, который включает получение фторполимерной тонкой пленки на подложке по способу физического осаждения из паровой фазы при использовании в качестве источника испарения фторполимера, имеющего в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца и имеющего среднемассовую молекулярную массу в диапазоне от 3000 до 80000.
2. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, представляет собой фторполимер, содержащий повторяющееся звено, выбранное из следующих формул от (1) до (5):
Figure 00000001
Figure 00000002
в формулах от (1) до (5) h представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, i представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 4, j равен 0 или 1, сумма h+i+j находится в диапазоне от 1 до 6, s представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, t представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 4, u равен 0 или 1, сумма s+t+u находится в диапазоне от 1 до 6, каждый из р, q и r, которые не зависят один от другого, представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, сумма p+q+r находится в диапазоне от 1 до 6, каждый из R1, R2, R3, R4, X1 и Х2, которые не зависят один от другого, представляет собой Н, D (дейтерий), F, Cl, OCF3 или CF3, каждый из R5, R6, R7 и R8, которые не зависят один от другого, представляет собой Н, D (дейтерий), F, Cl, CnF2n+1, CnF2n+1-mClmOk или CnF2n+1-mHmOk, по меньшей мере, один из R5, R6, X1 и Х2 содержит F, n представляет собой целое число в диапазоне от 1 до 5, m представляет собой целое число в диапазоне от 0 до 5, 2n+1-m≥0, k представляет собой целое число, равное 0 или 1, а R7 и R8 могут соединяться с образованием кольца.
3. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, представляет собой перфторполимер.
4. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, в качестве функциональной группы, способной образовывать химическую связь с подложкой, имеет группу -COF, группу -СООН, группу -NH2, группу -COOR (где R представляет собой алкильную группу), группу SiR3-X(OR)Х (где R представляет собой алкильную группу, а Х представляет собой целое число в диапазоне от 1 до 3), группу -SiCl3, группу -N=C=O или группу -ОН.
5. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.3, где перфторполимер представляет собой перфторгомополимер.
6. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, представляет собой перфторгомополимер, образованный исключительно из повторяющегося звена, полученного в результате проведения циклополимеризации перфтор(бутенилвинилового эфира).
7. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где фторполимер, имеющий в своей основной цепи структуру фторированного алифатического кольца, представляет собой любой один из следующих фторполимеров от (I) до (V):
(I) фторполимер, содержащий повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения циклополимеризации фтормономера (а), содержащего, по меньшей мере, 2 полимеризуемые двойные связи,
(II) фторполимер, содержащий повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения полимеризации фтормономера (b), включающего структуру фторированного кольца,
(III) фторполимер, содержащий повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения циклополимеризации вышеупомянутого фтормономера (а), и повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения полимеризации вышеупомянутого фтормономера (b),
(IV) фторполимер, содержащий повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения циклополимеризации вышеупомянутого фтормономера (а), и повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения полимеризации фтормономера (с), отличного от вышеупомянутого фтормономера (а) или (b), и
(V) фторполимер, содержащий повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения полимеризации вышеупомянутого фтормономера (b), и повторяющиеся звенья, полученные в результате проведения полимеризации фтормономера (с), отличного от вышеупомянутого фтормономера (а) или (b).
8. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где подложка представляет собой подложку, изготовленную из металла, стекла или керамики и подвергнутую обработке поверхности силановым аппретом.
9. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.1, где способ физического осаждения из паровой фазы представляет собой способ испарения в вакууме.
10. Способ получения фторполимерной тонкой пленки по п.9, где в способе испарения в вакууме температура нагревания источника испарения находится в диапазоне от 100 до 400°С.
11. Фторполимерная тонкая пленка, имеющая толщину в диапазоне от 10 нм до 100 мкм, получаемая по способу получения фторполимерной тонкой пленки по п.1.
RU2009142805/02A 2007-04-20 2008-04-14 Фторполимерная тонкая пленка и способ ее получения RU2009142805A (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007112141 2007-04-20
JP2007-112141 2007-04-20
JP2007-241155 2007-09-18
JP2007241155 2007-09-18

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009142805A true RU2009142805A (ru) 2011-05-27

Family

ID=39925546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009142805/02A RU2009142805A (ru) 2007-04-20 2008-04-14 Фторполимерная тонкая пленка и способ ее получения

Country Status (7)

Country Link
US (1) US20100080903A1 (ru)
EP (1) EP2143818A1 (ru)
JP (1) JP5273041B2 (ru)
KR (1) KR20100014816A (ru)
RU (1) RU2009142805A (ru)
TW (1) TW200909597A (ru)
WO (1) WO2008133088A1 (ru)

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2256761A4 (en) * 2008-02-22 2011-08-31 Asahi Glass Co Ltd ELECTRET AND DEVICE FOR ELECTROSTATIC INDUCTION CONVERSION
KR20110002458A (ko) 2008-03-27 2011-01-07 아사히 가라스 가부시키가이샤 일렉트릿 및 정전 유도형 변환 소자
JP5541155B2 (ja) 2008-03-31 2014-07-09 旭硝子株式会社 加速度センサ装置、無線センサネットワーク及び広域異常振動記録システム
EP2266795B1 (en) 2008-04-17 2015-07-01 Asahi Glass Company, Limited Electret and electrostatic induction conversion device
JP5527211B2 (ja) 2008-09-19 2014-06-18 旭硝子株式会社 エレクトレット、静電誘導型変換素子、及びエレクトレットの製造方法
JP5195372B2 (ja) * 2008-12-08 2013-05-08 旭硝子株式会社 含フッ素重合体薄膜を有する基材及びその製造方法
KR101577094B1 (ko) * 2009-02-20 2015-12-11 아사히 가라스 가부시키가이샤 일렉트릿의 제조 방법 및 정전 유도형 변환 소자
JP5494643B2 (ja) 2009-02-20 2014-05-21 旭硝子株式会社 エレクトレットの製造方法及び静電誘導型変換素子
WO2011119922A1 (en) * 2010-03-26 2011-09-29 Waters Technologies Corporation Chromatography apparatus having diffusion-bonded and surface-modified components
JP2012181513A (ja) * 2011-02-10 2012-09-20 Daikin Ind Ltd エレクトロウエッティング用疎水性誘電体フィルム
CN103031528B (zh) * 2011-09-29 2015-08-26 比亚迪股份有限公司 一种防指纹薄膜的制备方法及由该方法制备的防指纹薄膜
WO2013102011A2 (en) * 2011-12-30 2013-07-04 Gvd Corporation Coatings for electrowetting and electrofluidic devices
IN2014DN09848A (ru) * 2012-05-28 2015-08-07 Namicos Corp
JP2014043600A (ja) * 2012-08-24 2014-03-13 Ulvac Japan Ltd 成膜方法
WO2014127304A1 (en) 2013-02-15 2014-08-21 Massachusetts Institute Of Technology Grafted polymer surfaces for dropwise condensation, and associated methods of use and manufacture
WO2014179283A2 (en) 2013-04-29 2014-11-06 Gvd Corporation Liquid-impregnated coatings and devices containing the same
NL2012848B1 (en) * 2014-05-20 2016-03-07 Cabin Air Group Bv Cable with a first thimble and a second thimble, and at least one yarn.
JP2016001702A (ja) * 2014-06-12 2016-01-07 大日本印刷株式会社 樹脂付リードフレームおよびその製造方法、ならびにledパッケージおよびその製造方法
US10550010B2 (en) 2015-12-11 2020-02-04 Uchicago Argonne, Llc Oleophilic foams for oil spill mitigation
WO2018009882A1 (en) 2016-07-08 2018-01-11 Uchicago Argonne, Llc Functionalized foams
US11338364B2 (en) * 2016-10-14 2022-05-24 Korea Institute Of Materials Science Aluminum powder coated with fluorine-based hydrocarbon polymer layer and preparation method therefor
KR102413735B1 (ko) * 2016-12-14 2022-06-27 국립대학법인 야마가타대학 조성물 및 유기 광전자 소자 그리고 그 제조 방법
JP2020518107A (ja) 2017-04-26 2020-06-18 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッドOti Lumionics Inc. 表面上のコーティングをパターン化する方法およびパターン化されたコーティングを含むデバイス
US11896935B2 (en) 2017-08-17 2024-02-13 Uchicago Argonne, Llc Filtration membranes
US11709156B2 (en) 2017-09-18 2023-07-25 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved analytical analysis
US12180581B2 (en) 2017-09-18 2024-12-31 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved chromatography of metal interacting analytes
US12181452B2 (en) 2017-09-18 2024-12-31 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved chromatography of metal interacting analytes
US11709155B2 (en) 2017-09-18 2023-07-25 Waters Technologies Corporation Use of vapor deposition coated flow paths for improved chromatography of metal interacting analytes
US12012559B2 (en) 2018-05-11 2024-06-18 Uchicago Argonne, Llc Janus membranes via atomic layer deposition
US11590456B2 (en) 2018-05-31 2023-02-28 Uchicago Argonne, Llc Systems and methods for oleophobic composite membranes
US11351478B2 (en) * 2018-09-06 2022-06-07 Uchicago Argonne, Llc Oil skimmer with oleophilic coating
WO2020114970A1 (en) * 2018-12-04 2020-06-11 Solvay Specialty Polymers Italy S.P.A. Fluoropolymer having alicyclic repeating units
EP3930867B1 (en) 2019-02-27 2025-11-12 Waters Technologies Corporation Chromatographic seal and coated flow paths for minimizing analyte adsorption
US11548798B2 (en) 2019-04-23 2023-01-10 Uchicago Argonne, Llc Compressible foam electrode
JP7576337B2 (ja) 2019-05-08 2024-11-01 オーティーアイ ルミオニクス インコーポレーテッド 核生成抑制コーティングを形成するための材料およびそれを組み込んだデバイス
CN112310302A (zh) * 2019-07-30 2021-02-02 陕西坤同半导体科技有限公司 一种有机发光器件
EP4056369A4 (en) * 2019-11-05 2023-12-20 Daikin Industries, Ltd. FILM AND SUBSTRATE WITH A SURFACE COVERED THEREWITH
CN114830032A (zh) * 2019-12-12 2022-07-29 索尔维特殊聚合物意大利有限公司 用于去除氟聚合物剥离层的方法
JP7460771B2 (ja) 2019-12-30 2024-04-02 インテグリス・インコーポレーテッド フッ化マグネシウム領域が形成させる金属体
EP4089447A4 (en) * 2020-01-08 2024-01-24 Daikin Industries, Ltd. PROTECTIVE FILM FOR DISPLAY
JP6933312B2 (ja) * 2020-01-08 2021-09-08 ダイキン工業株式会社 エレクトレット材料及び静電誘電型変換素子
US11918936B2 (en) 2020-01-17 2024-03-05 Waters Technologies Corporation Performance and dynamic range for oligonucleotide bioanalysis through reduction of non specific binding
EP4112655A1 (en) * 2020-02-26 2023-01-04 Agc Inc. Fluorine-containing polymer, film, film manufacturing method, and organic opto-electronic element
CN115191151A (zh) * 2020-02-26 2022-10-14 Agc株式会社 含氟聚合物、树脂膜和光电子元件
EP4628889A3 (en) 2020-09-24 2025-12-10 Waters Technologies Corporation Chromatographic hardware improvements for the separation of reactive molecules
WO2022123431A1 (en) 2020-12-07 2022-06-16 Oti Lumionics Inc. Patterning a conductive deposited layer using a nucleation inhibiting coating and an underlying metallic coating

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH069918B2 (ja) 1988-06-02 1994-02-09 セントラル硝子株式会社 含フッ素樹脂被覆体およびその製造法
JPH03104857A (ja) * 1989-09-18 1991-05-01 Central Glass Co Ltd 含フッ素樹脂被覆KBr板状体およびその製造法
JPH046266A (ja) 1990-04-25 1992-01-10 Idemitsu Kosan Co Ltd フッ素系高分子薄膜およびその製造方法
JP3029323B2 (ja) 1990-06-01 2000-04-04 旭硝子株式会社 コーティング用含フッ素重合体組成物およびその用途
JP3005040B2 (ja) 1990-11-22 2000-01-31 旭硝子株式会社 コーティング用樹脂組成物
JPH0925559A (ja) * 1995-07-06 1997-01-28 Central Glass Co Ltd 撥水性皮膜の製造方法
JP3818344B2 (ja) 1997-11-20 2006-09-06 旭硝子株式会社 含フッ素脂肪族環構造含有重合体の製造方法
US6991826B2 (en) * 2004-04-20 2006-01-31 3M Innovative Properties Company Antisoiling coatings for antireflective substrates
JP4585798B2 (ja) 2004-06-15 2010-11-24 株式会社ティー アンド ケー 含フッ素薄膜および該含フッ素薄膜を有する基材の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5273041B2 (ja) 2013-08-28
KR20100014816A (ko) 2010-02-11
WO2008133088A1 (ja) 2008-11-06
JPWO2008133088A1 (ja) 2010-07-22
TW200909597A (en) 2009-03-01
EP2143818A1 (en) 2010-01-13
US20100080903A1 (en) 2010-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009142805A (ru) Фторполимерная тонкая пленка и способ ее получения
ATE368241T1 (de) Resistzusammensetzung
JP2016037541A (ja) フッ素系表面処理剤及び該表面処理剤で表面処理された物品
JP2009513784A5 (ru)
JP2014502210A (ja) 光学装置の表面処理プロセス及びそれによって製造される防汚性物品
TW200940572A (en) Curable composition, fluorine-containing cured product, optical material using the cured product, and light-emitting device
JP2002241446A5 (ru)
CN110088928B (zh) 组合物和有机光电子元件及其制造方法
KR102743634B1 (ko) 막 및 이것으로 표면이 피복된 기재
TW500972B (en) Pellicle
TWI455963B (zh) 液晶配向劑、液晶配向膜之形成方法及液晶顯示元件
CN109641992B (zh) 含氟聚合物、其制造方法、以及具备含氟聚合物的固化物的物品
WO2016143869A1 (ja) ニトリルオキシド化合物
JP2019500454A5 (ru)
TW200619852A (en) Photoacid generating polymer, its preparation method and top anti-reflective coating composition comprising the same
WO2020166487A1 (ja) 含フッ素エーテル組成物、コーティング液、物品およびその製造方法
RU2005140387A (ru) Применение водных дисперсий полимеров на основе винилиденфторида для получения красок для покрытий архитектурных объектов
JP2008524425A5 (ru)
JP2017502167A (ja) 撥水性および撥油性を有する高分子薄膜およびその製造方法
TW200410045A (en) Pellicle
JP7272359B2 (ja) 防汚性物品およびその製造方法
TW200619243A (en) Top anti-reflective coating polymer, its preparation method and top anti-reflective coating composition comprising the same
TW200728926A (en) Photoresist upper layer film forming material
US10745524B2 (en) Fluorine-containing and silicon containing compound
JPWO2022244784A5 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20110415