Claims (6)
1. Твердотельный газовый сенсор, содержащий выполненную из вентильных металлов подложку в виде тонкой проволоки, служащей электродом сравнения, покрытой металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки - тонкой проволоки для подсоединения к регистрирующему прибору, отличающийся тем, что подложка одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - тонкой проволоки, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.1. A solid-state gas sensor containing a valve wire made of a thin wire that serves as a reference electrode coated with a metal oxide gas-sensitive layer coated with an electrically conductive gas-permeable contact as a measuring electrode, a micro heater with power leads, leads from a measuring electrode and a thin substrate wires for connecting to a recording device, characterized in that the substrate is simultaneously a microheater, the power leads of which attached to the opposite end ends of the substrate - a thin wire, and serves as a stabilizing resistance thermometer connected to an external power source.
2. Твердотельный газовый сенсор по п.1, отличающийся тем, что металлоксидные газочувствительные слои на подложке выполнены методом анодного оксидирования.2. The solid state gas sensor according to claim 1, characterized in that the metal oxide gas-sensitive layers on the substrate are made by the method of anodic oxidation.
3. Твердотельный газовый сенсор по п.1, отличающийся тем, что подложка выполнена из циркония.3. The solid state gas sensor according to claim 1, characterized in that the substrate is made of zirconium.
4. Твердотельный газовый сенсор, содержащий выполненную из вентильных металлов подложку, служащую электродом сравнения, покрытую металлоксидным газочувствительным слоем с нанесенным на него электропроводящим газопроницаемым контактом в качестве измерительного электрода, микронагреватель с выводами питания, выводы от измерительного электрода и подложки для подсоединения к регистрирующему прибору, отличающийся тем, что подложка представляет собой нанесенную на изолятор металлическую полоску, одновременно является микронагревателем, выводы питания которого прикреплены к противоположным торцевым концам подложки - металлической полоски, и служит стабилизирующим термометром электросопротивления, подсоединенным к внешнему источнику питания.4. A solid-state gas sensor containing a valve metal substrate serving as a reference electrode, coated with a metal oxide gas sensitive layer with an electrically conductive gas-permeable contact deposited on it as a measuring electrode, a micro-heater with power leads, leads from the measuring electrode and substrate for connection to a recording device, characterized in that the substrate is a metal strip deposited on the insulator, at the same time is a microheater m, the power leads of which are attached to the opposite end ends of the substrate - a metal strip, and serves as a stabilizing resistance thermometer connected to an external power source.
5. Твердотельный газовый сенсор по п.4, отличающийся тем, что металлоксидные газочувствительные слои на подложке выполнены методом анодного оксидирования.5. The solid state gas sensor according to claim 4, characterized in that the metal oxide gas-sensitive layers on the substrate are made by the method of anodic oxidation.
6. Твердотельный газовый сенсор по п.4, отличающийся тем, что подложка выполнена из циркония.6. The solid state gas sensor according to claim 4, characterized in that the substrate is made of zirconium.