RU2005130529A - Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и золь-гель, способ их приготовления - Google Patents
Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и золь-гель, способ их приготовления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005130529A RU2005130529A RU2005130529/15A RU2005130529A RU2005130529A RU 2005130529 A RU2005130529 A RU 2005130529A RU 2005130529/15 A RU2005130529/15 A RU 2005130529/15A RU 2005130529 A RU2005130529 A RU 2005130529A RU 2005130529 A RU2005130529 A RU 2005130529A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- alpha alumina
- particles
- approximately
- alumina
- suspension
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 17
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 40
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 37
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims 17
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims 9
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 6
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims 5
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910002651 NO3 Inorganic materials 0.000 claims 2
- NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N Nitrate Chemical compound [O-][N+]([O-])=O NHNBFGGVMKEFGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 235000011054 acetic acid Nutrition 0.000 claims 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims 2
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims 2
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 claims 2
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 claims 2
- 235000015165 citric acid Nutrition 0.000 claims 2
- XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N dimethylselenoniopropionate Natural products CCC(O)=O XBDQKXXYIPTUBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims 2
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 claims 2
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims 2
- JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N lactic acid Chemical compound CC(O)C(O)=O JVTAAEKCZFNVCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims 2
- BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 3-azaniumyl-2-hydroxypropanoate Chemical compound NCC(O)C(O)=O BMYNFMYTOJXKLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 claims 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 claims 1
- -1 aryloxides Chemical class 0.000 claims 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229940071870 hydroiodic acid Drugs 0.000 claims 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004310 lactic acid Substances 0.000 claims 1
- 235000014655 lactic acid Nutrition 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 claims 1
- 150000007524 organic acids Chemical group 0.000 claims 1
- 235000005985 organic acids Nutrition 0.000 claims 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 claims 1
- 235000019260 propionic acid Nutrition 0.000 claims 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical compound O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 claims 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F7/00—Compounds of aluminium
- C01F7/02—Aluminium oxide; Aluminium hydroxide; Aluminates
- C01F7/44—Dehydration of aluminium oxide or hydroxide, i.e. all conversions of one form into another involving a loss of water
- C01F7/441—Dehydration of aluminium oxide or hydroxide, i.e. all conversions of one form into another involving a loss of water by calcination
- C01F7/442—Dehydration of aluminium oxide or hydroxide, i.e. all conversions of one form into another involving a loss of water by calcination in presence of a calcination additive
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01F—COMPOUNDS OF THE METALS BERYLLIUM, MAGNESIUM, ALUMINIUM, CALCIUM, STRONTIUM, BARIUM, RADIUM, THORIUM, OR OF THE RARE-EARTH METALS
- C01F7/00—Compounds of aluminium
- C01F7/02—Aluminium oxide; Aluminium hydroxide; Aluminates
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1409—Abrasive particles per se
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K3/00—Materials not provided for elsewhere
- C09K3/14—Anti-slip materials; Abrasives
- C09K3/1454—Abrasive powders, suspensions and pastes for polishing
- C09K3/1463—Aqueous liquid suspensions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/01—Particle morphology depicted by an image
- C01P2004/03—Particle morphology depicted by an image obtained by SEM
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/51—Particles with a specific particle size distribution
- C01P2004/52—Particles with a specific particle size distribution highly monodisperse size distribution
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/60—Particles characterised by their size
- C01P2004/61—Micrometer sized, i.e. from 1-100 micrometer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/12—Surface area
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/773—Nanoparticle, i.e. structure having three dimensions of 100 nm or less
- Y10S977/775—Nanosized powder or flake, e.g. nanosized catalyst
- Y10S977/777—Metallic powder or flake
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/70—Nanostructure
- Y10S977/811—Of specified metal oxide composition, e.g. conducting or semiconducting compositions such as ITO, ZnOx
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2982—Particulate matter [e.g., sphere, flake, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Claims (32)
1. Порошок из альфа оксида алюминия, содержащий частицы из альфа оксида алюминия, причем около 99% этих частиц имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм, при этом около 99% частиц имеют распределение со средним размером около 10 нм.
2. Порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
3. Порошок из альфа оксида алюминия по п.1, в котором около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
4. Суспензия, содержащая частицы из альфа оксида алюминия, причем около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 10 до 100 нм, при этом около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют распределение со средним размером около 10 нм.
5. Суспензия по п.4, в которой около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 25 до 80 нм.
6. Суспензия по п.4, в которой около 99% частиц из альфа оксида алюминия имеют размер ориентировочно от 30 до 70 нм.
7. Суспензия по п.4, которая дополнительно содержит воду.
8. Суспензия по п.4, которая дополнительно содержит деионизированную воду.
9. Суспензия по п.4, которая дополнительно содержит одну или несколько добавок.
10. Суспензия по п.9, в которой добавки являются химически инертными к альфа оксиду алюминия в условиях хранения или в условиях полирования.
11. Суспензия по п.9, в которой добавки тормозят агрегацию частиц из альфа оксида алюминия в условиях хранения или в условиях полирования.
12. Суспензия по п.9, в которой добавка выбрана из органических кислот.
13. Суспензия по п.12, в которой добавка выбрана из группы, в которую входят уксусная кислота, муравьиная кислота, молочная кислота и лимонная кислота.
14. Суспензия по п.12, которая имеет рН ориентировочно от 2 до 11.
15. Суспензия по п.12, причем суспензия имеет рН ориентировочно от 1 до 6.
16. Суспензия по п.12, причем суспензия имеет рН ориентировочно от 8 до 10.5.
17. Способ производства частиц из альфа оксида алюминия, имеющих размер ориентировочно от 10 до 100 нм, который включает в себя следующие операции:
использование геля, который содержит по меньшей мере один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия, причем затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер ориентировочно меньше чем 100 нм; сушка геля; и обжиг высушенного геля при температуре ориентировочно от 750 до 950°С, позволяющей инициировать формирование альфа оксида алюминия без роста размера частиц, чтобы получить частицы из альфа оксида алюминия, имеющие средний размер ориентировочно меньше, чем 100 нм и распределение со средним размером около 10 нм.
18. Способ по п.17, в котором гель, который содержит по меньшей мере один предшественник оксида алюминия и множество затравочных частиц из альфа оксида алюминия, приготавливают по способу, который включает в себя следующие операции: использование водного раствора по меньшей мере одного молекулярного предшественника оксида алюминия, который имеет диспергированные в нем затравочные частицы из альфа оксида алюминия; и выпаривание водного раствора для образования геля, имеющего диспергированные в нем затравочные частицы из альфа оксида алюминия.
19. Способ по п.18, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия гомогенно диспергированы в геле.
20. Способ по п.17, в котором обжиг проводят при температуре ориентировочно от 800 до 900°С.
21. Способ по п.18, в котором молекулярный предшественник оксида алюминия выбирают из солей алюминия, которые содержат один или несколько анионов, выбранных из группы, в которую входят алкоксиды, арилоксиды, карбоксилаты, галогениды, сульфат, нитрат, оксолаты и ацетоацетонаты.
22. Способ по п.18, в котором молекулярный предшественник оксида алюминия содержит один или несколько анионов, выбранных из группы, в которую входят алкоксиды, карбоксилаты, галогениды и нитрат.
23. Способ по п.17, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 125 нм.
24. Способ по п.17, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм.
25. Способ по п.17, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно от 30 до 100 нм.
26. Способ по п.17, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно от 40 до 80 нм.
27. Способ по п.17, в котором затравочные частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно от 50 до 70 нм.
28. Способ по п.17, в котором отношение затравочных частиц из альфа оксида алюминия к молекулярному предшественнику оксида алюминия лежит в диапазоне ориентировочно от 1:2 до 1:1000, в пересчете на отношение атомов алюминия в затравочных частицах и предшественнике.
29. Способ по п.28, в котором отношение затравочных частиц из альфа оксида алюминия к молекулярному предшественнику оксида алюминия лежит в диапазоне ориентировочно от 1:6 до 1:20.
30. Способ по п.18, в котором водный раствор содержит воду, по меньшей мере один молекулярный предшественник оксида алюминия, по меньшей мере одну кислоту и затравочные частицы из альфа оксида алюминия.
31. Способ по п.30, в котором кислоту выбирают из группы, в которую входят азотная кислота, серная кислота, соляная кислота, бромисто-водородная кислота, йодистоводородная кислота, уксусная кислота, муравьиная кислота, пропионовая кислота и лимонная кислота.
32. Способ полирования основы, включающий в себя следующие операции: использование суспензии, которая содержит частицы из альфа оксида алюминия, причем частицы из альфа оксида алюминия имеют средний размер частиц ориентировочно меньше, чем 100 нм; и нанесение суспензии на поверхность раздела между основой и полировальником.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/406,085 | 2003-04-02 | ||
| US10/406,085 US7422730B2 (en) | 2003-04-02 | 2003-04-02 | Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005130529A true RU2005130529A (ru) | 2006-02-27 |
| RU2302374C2 RU2302374C2 (ru) | 2007-07-10 |
Family
ID=33097244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005130529/15A RU2302374C2 (ru) | 2003-04-02 | 2004-03-31 | Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и золь-гель, способ их приготовления |
Country Status (13)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US7422730B2 (ru) |
| EP (2) | EP2366665B1 (ru) |
| JP (1) | JP4579907B2 (ru) |
| KR (1) | KR100662227B1 (ru) |
| CN (1) | CN1771198B (ru) |
| AU (1) | AU2004228651B2 (ru) |
| BR (1) | BRPI0409077A (ru) |
| CA (1) | CA2519501C (ru) |
| MX (1) | MXPA05010632A (ru) |
| NZ (1) | NZ542625A (ru) |
| RU (1) | RU2302374C2 (ru) |
| WO (1) | WO2004089827A2 (ru) |
| ZA (1) | ZA200507859B (ru) |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI348457B (en) * | 2003-03-04 | 2011-09-11 | Sumitomo Chemical Co | Method for producing 帢-alumina particulate |
| US20040198584A1 (en) * | 2003-04-02 | 2004-10-07 | Saint-Gobain Ceramics & Plastic, Inc. | Nanoporous ultrafine alpha-alumina powders and freeze drying process of preparing same |
| US7422730B2 (en) * | 2003-04-02 | 2008-09-09 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same |
| TW200531924A (en) * | 2004-03-12 | 2005-10-01 | Sumitomo Chemical Co | Method for producing α-alumina particle |
| TW200604100A (en) * | 2004-06-15 | 2006-02-01 | Sumitomo Chemical Co | A method for producing an α-alumina powder |
| DE102005033393B4 (de) | 2005-07-16 | 2014-04-03 | Clariant International Limited | Verfahren zur Herstellung von nanokristallinem α-Al2O3 |
| JP2007055888A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-03-08 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 微粒αアルミナ |
| KR20070013213A (ko) * | 2005-07-25 | 2007-01-30 | 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤 | 미립 α 알루미나 |
| US7955519B2 (en) * | 2005-09-30 | 2011-06-07 | Cabot Microelectronics Corporation | Composition and method for planarizing surfaces |
| US7998866B2 (en) * | 2006-09-05 | 2011-08-16 | Cabot Microelectronics Corporation | Silicon carbide polishing method utilizing water-soluble oxidizers |
| US8252076B2 (en) * | 2007-12-05 | 2012-08-28 | 3M Innovative Properties Company | Buffing composition and method of finishing a surface of a material |
| JP5530672B2 (ja) * | 2008-08-18 | 2014-06-25 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | ベーマイト粒子の製造方法及びアルミナ粒子の製造方法 |
| RU2409519C1 (ru) * | 2009-07-08 | 2011-01-20 | Закрытое акционерное общество "Центр инновационных керамических нанотехнологий Нанокомпозит" | Способ получения нанопорошка альфа-оксида алюминия с узким распределением частиц по размерам |
| RU2424186C1 (ru) * | 2010-01-26 | 2011-07-20 | Учреждение Российской Академии Наук Институт Общей И Неорганической Химии Им. Н.С. Курнакова Ран (Ионх Ран) | Способ получения нанокристаллов оксида алюминия |
| EP2532010B1 (en) | 2010-02-03 | 2020-10-28 | ABB Schweiz AG | Electrical insulation system |
| US20110196182A1 (en) * | 2010-02-05 | 2011-08-11 | Fina Technology, Inc. | Styrene production processes and catalysts for use therein |
| CN101831244A (zh) * | 2010-05-10 | 2010-09-15 | 上海高纳粉体技术有限公司 | 高精度氧化铝抛光液及其制备方法 |
| CN101824279B (zh) * | 2010-05-10 | 2013-01-23 | 上海高纳粉体技术有限公司 | 高精度氧化铝抛光粉及其生产方法 |
| US8586769B2 (en) * | 2010-06-04 | 2013-11-19 | Scientific Design Company, Inc. | Carrier for ethylene oxide catalysts |
| WO2013003623A2 (en) * | 2011-06-29 | 2013-01-03 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Silica doped aluminous particulate materials |
| CN102390852B (zh) * | 2011-08-16 | 2013-05-29 | 桂林理工大学 | 一种微乳液制备高纯超细α-Al2O3粉体的方法 |
| AT512230B1 (de) * | 2011-11-22 | 2016-02-15 | Berndorf Band Gmbh | Poliermittel |
| KR101208896B1 (ko) * | 2012-05-24 | 2012-12-06 | 주식회사 대한세라믹스 | 알루미나계 연마재 지립의 제조방법 및 이에 의해 제조된 알루미나계 연마재 지립 |
| JP6010843B2 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-10-19 | 山口精研工業株式会社 | 微粒子α−アルミナの製造法 |
| JP2014105146A (ja) * | 2012-11-29 | 2014-06-09 | Hitachi Ltd | アルミナ結晶粒子分散アルミナゾルの作製方法及びこれにより得られたアルミナ結晶粒子分散アルミナゾル並びにこれを用いて作製したアルミナ被覆部材 |
| CN103496724B (zh) * | 2013-08-30 | 2016-03-30 | 航天特种材料及工艺技术研究所 | 一种纳米氧化铝溶胶和凝胶的制备方法 |
| JP6177682B2 (ja) * | 2013-12-24 | 2017-08-09 | 花王株式会社 | 研磨液組成物 |
| CN106458623A (zh) * | 2014-05-25 | 2017-02-22 | 王胜国 | 生产一水氢氧化铝和溶胶‑凝胶法磨料的方法和设备 |
| FR3022235B1 (fr) * | 2014-06-13 | 2021-05-07 | Ifp Energies Now | Gel haute dispersibilite et son procede de preparation |
| US9551075B2 (en) * | 2014-08-04 | 2017-01-24 | Sinmat, Inc. | Chemical mechanical polishing of alumina |
| EP3541752A4 (en) | 2016-10-21 | 2020-06-03 | The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy | NANOCRISTALLINE ALPHA ALUMINUM OXIDE (? -AI203) AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME |
| WO2018110384A1 (ja) * | 2016-12-12 | 2018-06-21 | 多木化学株式会社 | アルミナ粉体 |
| CN110461545B (zh) * | 2017-02-15 | 2022-01-28 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 用于汽车涂装组合物的氧化铝磨料颗粒 |
| US11117239B2 (en) * | 2017-09-29 | 2021-09-14 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Chemical mechanical polishing composition and method |
| CN109908882A (zh) * | 2017-12-12 | 2019-06-21 | 高化学技术株式会社 | 制备α-Al2O3载体的方法以及由此获得的载体及其用途 |
| CN112566992A (zh) * | 2018-08-10 | 2021-03-26 | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 | 包含多个磨料颗粒的组合物及其使用方法 |
| CN111960809B (zh) * | 2020-08-26 | 2022-07-19 | 武汉理工大学 | 一种光固化3D打印用球形Al2O3粉体的制备方法 |
| CN113814801B (zh) * | 2021-11-25 | 2022-02-22 | 佛山市东鹏陶瓷有限公司 | 一种带抛光面的防滑防污瓷砖及其生产工艺和用途 |
| JPWO2023095868A1 (ru) * | 2021-11-26 | 2023-06-01 | ||
| CN116161961A (zh) * | 2023-01-09 | 2023-05-26 | 中硼科技(威海)有限公司 | 一种双峰分布的超细碳化硼粉体的制备方法 |
| CN117923880A (zh) * | 2024-01-10 | 2024-04-26 | 安徽丙威新材料科技有限公司 | 一种α-Al2O3制备方法 |
Family Cites Families (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU72505A1 (ru) * | 1941-12-15 | 1947-11-30 | И.В. Гребенщиков | Способ получени шлифовального материала |
| US4623364A (en) * | 1984-03-23 | 1986-11-18 | Norton Company | Abrasive material and method for preparing the same |
| US4579728A (en) * | 1985-04-24 | 1986-04-01 | Shell Oil Company | Wide pore alumina supports |
| US4615875A (en) * | 1986-02-03 | 1986-10-07 | Allied Corporation | Process for preparing high purity alpha-alumina |
| JPH0284485A (ja) * | 1988-09-20 | 1990-03-26 | Showa Denko Kk | アルミニウム磁気ディスク研磨用組成物 |
| US4952389A (en) * | 1989-09-15 | 1990-08-28 | Norton Company | Alumina particles |
| US5085671A (en) * | 1990-05-02 | 1992-02-04 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method of coating alumina particles with refractory material, abrasive particles made by the method and abrasive products containing the same |
| AU650382B2 (en) * | 1992-02-05 | 1994-06-16 | Norton Company | Nano-sized alpha alumina particles |
| US6258137B1 (en) * | 1992-02-05 | 2001-07-10 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | CMP products |
| US6521203B1 (en) * | 1992-06-02 | 2003-02-18 | Sumitomo Chemical Co., Ltd. | Process for producing α-alumina |
| US5312791A (en) | 1992-08-21 | 1994-05-17 | Saint Gobain/Norton Industrial Ceramics Corp. | Process for the preparation of ceramic flakes, fibers, and grains from ceramic sols |
| CN1031396C (zh) * | 1993-07-20 | 1996-03-27 | 浙江大学 | 纳米级α-三氧化二铝颗粒的制备方法 |
| US5389352A (en) * | 1993-07-21 | 1995-02-14 | Rodel, Inc. | Oxide particles and method for producing them |
| JP3402821B2 (ja) * | 1995-02-09 | 2003-05-06 | 科学技術振興事業団 | 超微粒子の製造方法と超微粒子配向成長体の製造方法 |
| US6083622A (en) * | 1996-03-27 | 2000-07-04 | Saint-Gobain Industrial Ceramics, Inc. | Firing sol-gel alumina particles |
| US6569397B1 (en) * | 2000-02-15 | 2003-05-27 | Tapesh Yadav | Very high purity fine powders and methods to produce such powders |
| RU2178599C2 (ru) * | 1996-09-30 | 2002-01-20 | Хитачи Кемикал Кампани, Лтд. | Абразив из оксида церия и способ полирования подложек |
| US20090255189A1 (en) * | 1998-08-19 | 2009-10-15 | Nanogram Corporation | Aluminum oxide particles |
| JP3701126B2 (ja) * | 1998-09-01 | 2005-09-28 | 株式会社荏原製作所 | 基板の洗浄方法及び研磨装置 |
| DE19922492A1 (de) * | 1999-05-14 | 2000-11-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren zur Herstellugn von Aluminiumoxiden und daraus hergestellten Produkten |
| TW530030B (en) * | 1999-08-16 | 2003-05-01 | Nat Science Council | The manufacturing process of untrafine alpha-Al2O3 powders |
| US6527817B1 (en) | 1999-11-15 | 2003-03-04 | Cabot Microelectronics Corporation | Composition and method for planarizing surfaces |
| DE10035679A1 (de) * | 2000-07-21 | 2002-01-31 | Inst Neue Mat Gemein Gmbh | Nanoskalige Korundpulver, daraus gefertigte Sinterkörper und Verfahren zu deren Herstellung |
| US6399528B1 (en) * | 2000-09-01 | 2002-06-04 | Fraunhofer-Gesellschaft Zur Forderung Der Angewandten Forschung E.V. | Porous aluminum oxide structures and processes for their production |
| LU90751B1 (en) | 2001-04-03 | 2002-10-04 | Profilarbed Sa | Method and device for cooling and guiding a beam blank in a curved secondary cooling zone of a beam blank caster |
| US6596042B1 (en) | 2001-11-16 | 2003-07-22 | Ferro Corporation | Method of forming particles for use in chemical-mechanical polishing slurries and the particles formed by the process |
| KR100467811B1 (ko) * | 2002-01-04 | 2005-01-24 | 주식회사 엘지화학 | α-알루미나 나노입자의 제조방법 |
| TWI254699B (en) * | 2002-01-16 | 2006-05-11 | Sumitomo Chemical Co | Calcined alumina, its production method and fine alpha\-alumina powder obtained by using the calcined alumina |
| US20040198584A1 (en) * | 2003-04-02 | 2004-10-07 | Saint-Gobain Ceramics & Plastic, Inc. | Nanoporous ultrafine alpha-alumina powders and freeze drying process of preparing same |
| US7422730B2 (en) * | 2003-04-02 | 2008-09-09 | Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. | Nanoporous ultrafine α-alumina powders and sol-gel process of preparing same |
| TW200427631A (en) * | 2003-05-19 | 2004-12-16 | Sumitomo Chemical Co | Method for producing α-alumina powder |
| TW200540116A (en) * | 2004-03-16 | 2005-12-16 | Sumitomo Chemical Co | Method for producing an α-alumina powder |
-
2003
- 2003-04-02 US US10/406,085 patent/US7422730B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-03-31 MX MXPA05010632A patent/MXPA05010632A/es active IP Right Grant
- 2004-03-31 EP EP11170206.4A patent/EP2366665B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 AU AU2004228651A patent/AU2004228651B2/en not_active Ceased
- 2004-03-31 EP EP04749707.8A patent/EP1618069B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 CN CN2004800094624A patent/CN1771198B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 JP JP2006509655A patent/JP4579907B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 CA CA002519501A patent/CA2519501C/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-03-31 NZ NZ542625A patent/NZ542625A/xx not_active IP Right Cessation
- 2004-03-31 BR BRPI0409077-2A patent/BRPI0409077A/pt not_active Application Discontinuation
- 2004-03-31 WO PCT/US2004/010266 patent/WO2004089827A2/en not_active Ceased
- 2004-03-31 KR KR1020057018712A patent/KR100662227B1/ko not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-31 RU RU2005130529/15A patent/RU2302374C2/ru not_active IP Right Cessation
-
2005
- 2005-09-28 ZA ZA200507859A patent/ZA200507859B/en unknown
-
2008
- 2008-08-13 US US12/228,454 patent/US7638105B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2006523178A (ja) | 2006-10-12 |
| JP4579907B2 (ja) | 2010-11-10 |
| MXPA05010632A (es) | 2005-12-12 |
| ZA200507859B (en) | 2007-06-27 |
| US20040197263A1 (en) | 2004-10-07 |
| NZ542625A (en) | 2009-04-30 |
| KR100662227B1 (ko) | 2007-01-02 |
| EP1618069B1 (en) | 2017-08-23 |
| US20080308528A1 (en) | 2008-12-18 |
| AU2004228651A1 (en) | 2004-10-21 |
| EP1618069A2 (en) | 2006-01-25 |
| WO2004089827A2 (en) | 2004-10-21 |
| WO2004089827A3 (en) | 2005-06-30 |
| CA2519501A1 (en) | 2004-10-21 |
| EP2366665B1 (en) | 2018-11-21 |
| BRPI0409077A (pt) | 2006-04-18 |
| US7422730B2 (en) | 2008-09-09 |
| CN1771198A (zh) | 2006-05-10 |
| AU2004228651B2 (en) | 2007-09-06 |
| RU2302374C2 (ru) | 2007-07-10 |
| US7638105B2 (en) | 2009-12-29 |
| EP2366665A2 (en) | 2011-09-21 |
| KR20050120772A (ko) | 2005-12-23 |
| CN1771198B (zh) | 2010-05-05 |
| EP2366665A3 (en) | 2012-09-19 |
| CA2519501C (en) | 2009-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005130529A (ru) | Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и золь-гель, способ их приготовления | |
| RU2005130530A (ru) | Нанопористые сверхмелкие порошки из альфа оксида алюминия и способ их приготовленияия при помощи сублимационной сушки | |
| CN110404591B (zh) | 一种球形氧化铝载体及其制备方法和应用 | |
| CN105645933B (zh) | 一种片状结构陶瓷刚玉磨料及其制备方法 | |
| KR20090037949A (ko) | 지지된 팔라듐/탄소 촉매 및 그의 제조방법 | |
| JP2007167842A5 (ru) | ||
| CN110934153B (zh) | 磷酸锆载体、磷酸锆载铜抗菌剂、磷酸锆抗菌剂及其制备方法和应用 | |
| CN101381092B (zh) | 一种大粒度、大比表面积球形氧化钇的制备方法 | |
| CN100443409C (zh) | 一种分散性好的、高纯超细α-Al2O3的制备方法 | |
| CN110759734B (zh) | 一种单晶硅片背面减薄用砂轮及其制备方法 | |
| CN108658107B (zh) | 一种纳米级单分散球形α-氧化铝低成本制备方法及其产品 | |
| CN108560052B (zh) | 一种单晶六方氧化铝的制备方法及其应用 | |
| CN111453769A (zh) | 一种控制纳米氧化锆粉体粒径的有机添加剂 | |
| CN114181702B (zh) | 一种掺铈钇铝石榴石荧光粉体的制备方法 | |
| TW201435072A (zh) | 金屬用研磨液及研磨方法 | |
| CN112047743B (zh) | 一种陶瓷研磨球滚动成型用凝胶型浆水及其方法 | |
| CN100368296C (zh) | 低温催化煅烧制备纳米α-Al2O3的方法 | |
| CN111109291A (zh) | 一种陶瓷砖抗菌剂及其制备方法 | |
| KR102687866B1 (ko) | 금속 산화물 입자-결합된 고분자 나노입자, 그의 제조방법 및 그를 포함하는 연마 슬러리 조성물 | |
| KR102678715B1 (ko) | 금속-치환 연마입자를 포함하는 금속막 연마용 슬러리조성물 | |
| CN106601373B (zh) | 一种Ag包裹介孔SiO2导电粉体的制备方法 | |
| CN114360810A (zh) | 一种片状银钯粉及其制备方法与应用 | |
| CN1583567A (zh) | 一种无硬团聚的纳米氧化铝的制备方法 | |
| JP2003501341A (ja) | 水分散性アルファ−アルミナ一水化物の製造方法 | |
| WO2015037312A1 (ja) | 水素添加用触媒粒子の製造方法及び水素添加用触媒粒子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20120401 |