[go: up one dir, main page]

RU2002122008A - A source with a cathode cone of high-frequency pulses of hydrogen ions - Google Patents

A source with a cathode cone of high-frequency pulses of hydrogen ions

Info

Publication number
RU2002122008A
RU2002122008A RU2002122008/09A RU2002122008A RU2002122008A RU 2002122008 A RU2002122008 A RU 2002122008A RU 2002122008/09 A RU2002122008/09 A RU 2002122008/09A RU 2002122008 A RU2002122008 A RU 2002122008A RU 2002122008 A RU2002122008 A RU 2002122008A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
cathode
source
hydrogen ions
frequency pulses
cone
Prior art date
Application number
RU2002122008/09A
Other languages
Russian (ru)
Other versions
RU2231162C2 (en
Inventor
Юрий Яковлевич Лапицкий
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предпри тие Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики
Федеральное государственное унитарное предприятие Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики
Министерство Российской Федерации по атомной энергии
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предпри тие Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики, Федеральное государственное унитарное предприятие Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики, Министерство Российской Федерации по атомной энергии filed Critical Федеральное государственное унитарное предпри тие Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики
Priority to RU2002122008/09A priority Critical patent/RU2231162C2/en
Publication of RU2002122008A publication Critical patent/RU2002122008A/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2231162C2 publication Critical patent/RU2231162C2/en

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Claims (1)

Источник с катодным конусом высокочастотных импульсов ионов водорода, состоящий из соленоидной катушки, надетой на немагнитную вакуумную камеру, внутри которой помещен первый магнитный полюс с центральным углублением, первого катода из нержавеющей стали в виде плоского диска с центральным углублением в виде стакана, на дне которого закреплен конус из тугоплавкого металла с углом раствора 60°, анода в виде цилиндра с отверстием, второго катода в виде плоского листка с центральным углублением, на дне которого расположено отверстие эмиссии, отличающийся тем, что во втором магнитном полюсе между стенкой, содержащей эмиссионное отверстие второго катода, и расширительной чашей магнитного полюса выполнена перемычка из магнитного материала с отверстием диаметром, равным диаметру эмиссионного отверстия во втором катоде.A source with a cathode cone of high-frequency pulses of hydrogen ions, consisting of a solenoid coil worn on a non-magnetic vacuum chamber, inside which is placed the first magnetic pole with a central recess, the first stainless steel cathode in the form of a flat disk with a central recess in the form of a cup, on the bottom of which is fixed a cone of refractory metal with a solution angle of 60 °, an anode in the form of a cylinder with an opening, a second cathode in the form of a flat sheet with a central recess, at the bottom of which there is an emission hole Characterized in that the second magnetic pole between the wall comprising the emission port of the second cathode and the expansion bowl magnetic pole bridge is formed of magnetic material with an aperture diameter equal to the diameter of the holes in the second emission cathode.
RU2002122008/09A 2002-08-12 2002-08-12 Source with cathode cone of high-frequency pulses of ions of hydrogen RU2231162C2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002122008/09A RU2231162C2 (en) 2002-08-12 2002-08-12 Source with cathode cone of high-frequency pulses of ions of hydrogen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2002122008/09A RU2231162C2 (en) 2002-08-12 2002-08-12 Source with cathode cone of high-frequency pulses of ions of hydrogen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002122008A true RU2002122008A (en) 2004-02-27
RU2231162C2 RU2231162C2 (en) 2004-06-20

Family

ID=32845969

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002122008/09A RU2231162C2 (en) 2002-08-12 2002-08-12 Source with cathode cone of high-frequency pulses of ions of hydrogen

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2231162C2 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108717927A (en) * 2018-05-23 2018-10-30 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge Penning ion source device

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2642921C1 (en) * 2017-03-28 2018-01-30 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" (НИЦ "Курчатовский институт" - ИТЭФ) Impulsive source of helium ions
RU2671960C1 (en) * 2018-02-01 2018-11-08 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" Pulse source of hydrogen ions with electron oscillation in a inhomogeneous longitudinal magnetic field

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2098883C1 (en) * 1993-05-28 1997-12-10 Институт теоретической и экспериментальной физики Proton pulse source with cathode cone
AU7092396A (en) * 1996-09-27 1998-04-17 Arpad Barna Ion source for generating ions of a gas or vapour
DE10010706C2 (en) * 2000-03-04 2002-07-25 Schwerionenforsch Gmbh Hollow cathode sputter ion source for generating high intensity ion beams

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108717927A (en) * 2018-05-23 2018-10-30 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge Penning ion source device
CN108717927B (en) * 2018-05-23 2024-03-19 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge penning ion source device

Also Published As

Publication number Publication date
RU2231162C2 (en) 2004-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW486718B (en) High-density plasma source for ionized metal deposition
US6497803B2 (en) Unbalanced plasma generating apparatus having cylindrical symmetry
TW442851B (en) Improved magnet design for a sputtering chamber
CN102725435B (en) Magnetic field generator, magnetron cathode, and sputtering device
JP5461264B2 (en) Magnetron sputtering apparatus and sputtering method
JPS61271810A (en) Target assembly for sputtering magnetic material
ATE293283T1 (en) MAGNETRON SPUTTING SOURCE
WO2003015257A3 (en) Auxiliary vertical magnet outside a nested unbalanced magnetron
CN107794496A (en) Magnetic-controlled sputtering coating equipment and magnetron sputtering coating method
CN101824600B (en) Magnetron sputtering cathode, magnetron sputtering apparatus, and method of manufacturing magnetic device
RU2002122008A (en) A source with a cathode cone of high-frequency pulses of hydrogen ions
JP5717444B2 (en) Cathode unit and sputtering apparatus provided with the cathode unit
WO2003015474A3 (en) Auxiliary in-plane magnet inside a nested unbalanced magnetron
US20080110882A1 (en) Structure of Cup for Magnetized Active Water
TW539757B (en) High target utilization magnetic arrangement for a truncated conical sputtering target
JP4992038B2 (en) Sputtering apparatus and sputtering method
CN218932274U (en) Circular ring target material for arc ion plating
JPH0525625A (en) Magnetron sputtering cathode
RU2003116203A (en) ION SOURCE WITH COLD CATHODE
CN104532202B (en) A kind of magnetron sputtering target cathode for middle low vacuum
RU2209483C2 (en) Electron-and-ion source
JPS57194255A (en) Sputtering device
WO2001092595A1 (en) Unbalanced plasma generating apparatus having cylindrical symmetry
RU2002101703A (en) Magnetron
JP4270669B2 (en) Method and apparatus for magnetron sputtering of ferromagnetic material

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20080813