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KR930007818Y1 - 반도체 장치 제조용 용액온도 제어장치 - Google Patents

반도체 장치 제조용 용액온도 제어장치 Download PDF

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KR930007818Y1
KR930007818Y1 KR2019910002300U KR910002300U KR930007818Y1 KR 930007818 Y1 KR930007818 Y1 KR 930007818Y1 KR 2019910002300 U KR2019910002300 U KR 2019910002300U KR 910002300 U KR910002300 U KR 910002300U KR 930007818 Y1 KR930007818 Y1 KR 930007818Y1
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백승호
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금성일렉트론 주식회사
문정환
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    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means

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  • Automation & Control Theory (AREA)
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Abstract

내용 없음.

Description

반도체 장치 제조용 용액온도 제어장치
제 1 도는 종래의 회로도.
제 2 도는 짧은 시간에 설정 온도에 도달할 경우를 나타낸 그래프.
제 3 도는 여러스텝의 경우를 나타낸 시간과 설정온도에 따른 그래프.
제 4 도는 본 고안의 1실시예에 따른 회로도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 온도설정부 2, 8 : 비교부
3 : 온도제어부 4 : 용기
5 : 히터부 6 : 온도센서부
7 : 증폭부 9 : V/F 변환부
10 : 분주부 11 : 솔레노이드 밸브부
본 고안은 반도체 장치 제조용 용액온도 제어에 관한 것으로, 특히 용액의 온도를 급상승 및 급강하시킬때 소요시간을 짧게 하고 여러 스텝별로 용액의 온도차가 필요한 공정에 적합하도록 한 반도체 장치 제조용 용액 온도제어 장치에 관한 것이다.
종래에는 제 1 도에 도시한 바와같이 소정의 온도로 설정하기 위한 온도설정부(1)와, 설정된 온도와 용액의 온도를 비교하기 위한 비교부(2)와, 비교부(2)에서 비교된 값에 따라 용액의 온도를 제어하기 위한 온도제어부(3)와, 온도제어부(3)의 출력에 따라 용기(4)내의 용액을 가열시키기 위한 히터부(5)와, 용기(4)내의 용액의 온도를 감지하기 위한 온도센서부(6)와, 온도센서부(6)의 감지신호를 비교부(2)의 하나의 입력으로 하는 증폭부(7)로 구성하여 반도체 장치 제조시 소정의 온도에서 화학용액이 반응하도록 제어하였다.
즉, 소정의 온도로 설정하게 되면 온도 제어회로(3)에서 히터(5)를 가열시켜 온도를 상승시키고, 온도센서부(6)에서는 이 온도를 감지하고 감지된 신호가 비교부(2)로 피드백되어 설정된 소정의 온도와 비교되어 펄스폭제어를 하게 된다.
그러나, 이러한 종래기술은 설정온도까지 도달하기 위해서는 많은 시간이 요구되며, 소요시간을 짧게 하면 제 2 도의 A부분과 같이 불안정현상, 예를 들어 오버슈트 현상이 발생되는 문제점이 있었다.
또한, 제 3 도와 같이 여러 스텝으로 온도차를 줄 경우에는 스텝과 스텝의 이동시 설정된 온도까지 안정되게 도달하기 위해서는 많은 시간이 소요되는 단점이 있었다.
본 고안은 이와같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 고안의 목적은 설정된 온도와 용액의 온도차에 비례한 주파수를 분주하여 용기내의 솔레노이드 밸브를 제어하도록 한 반도체장치 제조용 용액온도 제어장치를 제공하는 것이다.
이하, 본 고안을 첨부도면에 의하여 상세히 설명한다.
제 4 도는 본 고안의 1실시예에 따른 회로도로서, 제 1 도와 동일 부호는 동일부분을 나타낸다.
제 4 도에 도시한 바와 같이, 본 고안은 제 1 도에 도시된 종래의 용액온도 제어장치에 제 1 도의 구성에 있어서 비교부(2)(본 고안에 있어서는 제 1 비교부)의 입력신호와 동일한 신호가 인가되어 비교하기 위한 제 2 비교부(8)와, 제 2 비교부(8)의 비교된 전압신호를 주파수 신호로 변환시키기 위한 V/F(Voltage/Frequency) 변환부(9)와, 변환된 주파수 신호를 분주하기 위한 분주부(10)와, 분주된 신호에 의해 제어되는 용기(4)내의 솔레노이드 밸브부(11)를 더 포함하여 구성한다.
동작을 살펴보면, 우선 온도 설정부(1), 제 1 비교부(2), 온도제어부(3), 히터부(5), 온도센서부(6), 증폭부(7)의 동작은 제 1 도에서 설명한 바와 같으므로 그 설명은 생략한다.
제 2 비교부(8)에서는 제 1 비교부(2)와 동일한 인가신호, 즉 온도설정부(1)와 증폭부(7)의 출력신호가 인가되어 비교되며, 이 비교된 전압신호는 V/F 변환부(9)를 거치면서 입력된 전압신호에 비례하는 주파수 신호로 변환되고, 변환된 주파수는 분주부(10)를 거치면서 설정된 분주비로 분주되고, 이 분주된 신호에 따라 솔레노이드 밸브부(11)를 제어하여 용기(4)내의 용액이 설정된 온도값이 될 때까지 비례 제어되어 용액량을 제어하게 된다.
이상 설명한 바와같이, 본 고안에 따르면 짧은 시간내에 설정된 온도값에 도달할 수 있으므로 공정시간이 단축될 수 있으며 정밀도가 높은 이점이 있다.
특히 스텝수가 많은 공정에서의 온도제어를 빠르게 할 수 있으므로 여러 스텝으로 온도차를 줄 경우 현저한 효과를 얻을 수 있다.
더욱이, 본 고안은 상기 실시예에 한정되는 것이 아니고 각종 산업용 용액온도제어 장치로 사용될 수 있음은 물론이다.

Claims (1)

  1. 용액을 소정의 온도로 설정하기 위한 온도설정부(1), 상기 설정된 온도와 용액의 온도를 비교하기 위한 제 1 비교부(2), 상기 제 1 비교부(2)의 비교신호에 따라 용기(4)내의 상기 용액을 가열시키기 위한 히터부(5)를 제어하는 온도제어회로부(3)로 구성된 반도체 장치 제조용 용액온도 제어장치에 있어서, 상기 제 1 비교부(2)의 입력신호와 동일한 신호가 인가되는 제 2 비교부(8)와, 상기 제 2 비교부(8)에서 비교된 전압차에 비례하여 주파수로 변환사키는 V/F 변환부(9)와, 상기 변환된 주파수를 소정의 분주비로 분주시키기 위한 분주부(10)와, 상기 분주된 분주신호를 따라 상기 용기(4)내의 상기 용액이 상기 설정온도가 될 때까지 제어되는 솔레노이드 밸브부(11)가 더 포함됨을 특징으로 하는 반도체 장치 제조용 용액 온도 제어장치.
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