KR20120012395A

KR20120012395A - Ｘ-선 촬영 장치 및 측정 방법

Info

Publication number: KR20120012395A
Application number: KR1020110072870A
Authority: KR
Inventors: 게이지 쯔찌야
Original assignee: 캐논 가부시끼가이샤
Priority date: 2010-07-30
Filing date: 2011-07-22
Publication date: 2012-02-09
Anticipated expiration: 2031-07-22
Also published as: JP2012029920A; CN102342840A; KR101411795B1; US20140112446A1; EP2413670A1; JP5597055B2; US8948342B2; US8611500B2; US20120027180A1

Abstract

본원 발명의 X-선 화상을 취득하는 X-선 촬영 장치는, 동작 지시에 따라 X-선을 출력하거나 또는 정지시키는 X-선 발생 장치가 발생시킨 X-선을 화상 신호로 변환하도록 구성된 복수의 검출 소자를 포함하는 촬영 유닛과, 촬영 유닛으로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 X-선 발생 장치의 동작 개시 타이밍을 취득하고, X-선 발생 장치에의 동작 지시의 타이밍과 동작 개시 타이밍 간의 차이를 취득하도록 구성된 취득 유닛을 포함한다.

Description

Ｘ-선 촬영 장치 및 측정 방법{X-RAY IMAGING APPARATUS AND MEASUREMENT METHOD}

본 발명은 X-선 촬영 장치 및 측정 방법에 관한 것으로, 더 구체적으로는, X-선 출력 동작에 연관된 지연을 측정하는 기술에 관한 것이다.

유리 기판상에 성막하여 형성한 아몰퍼스 실리콘 및 폴리실리콘을 재료로 하여 형성된 검출 소자와 TFT의 2차원 어레이를 포함하는 플랫 패널 검출기를 이용하는 X-선 촬영 장치가 알려져 있다. 그러한 장치로서는 여러가지 타입이 있지만, 일반적으로, X-선이 플랫 패널 검출기에 입사하면, 형광체에 의해 X-선이 가시광으로 파장-변환되도록 구성된다. 검출 소자는 변환된 광을 전하로 변환하고, 전하를 축적한다. TFT가 각각의 행(row)마다 턴온될 때, 플랫 패널 검출기에 축적된 전하가 순차 판독되어 화소값으로 변환된다. 그러한 플랫 패널 검출기를 이용하여, X-선 촬영 장치는, X-선을 방출하는 X-선 발생 장치[X-선원(X-ray source)]와 플랫 패널 검출기 사이에 배치된 피사체를 투과한 X-선의 플랫 패널 검출기상에 있어서의 강도 분포에 따라 화상을 생성한다.

최근, 정지 화상뿐만 아니라, 동화상을 촬영할 수 있는 플랫 패널 검출기가 개발되었다.

정지 화상의 촬영을 고속으로 반복함으로써 동화상 촬영을 실행할 때, 다음과 같은 요인들, 즉

ㆍ X-선 발생 장치가 X-선 노광을 나타내는 신호를 수신하는 타이밍과, 그 신호에 따라 X-선 발생 장치가 X-선 노광을 개시하는 타이밍 간의 차이(X-선 노광 개시 지연 시간), 및

ㆍ X-선 발생 장치가 X-선 노광의 정지를 나타내는 신호를 수신하는 타이밍과, 그 신호에 따라 X-선 발생 장치가 X-선 노광을 정지시키는 타이밍 간의 차이(X-선 노광 정지 지연 시간)가 동화상 품질에 영향을 미칠 수 있다.

이 점에 대해서, 도 7 내지 도 9를 참조하여 설명한다. 도 7은 동화상 촬영 모드에서의 X-선 노광 신호, X-선 강도, 및 판독 간의 관계를 나타내는 타이밍 차트이다.

플랫 패널 검출기는 X-선 노광으로부터 기인하는 전하의 축적과 판독을 교대로 반복한다. 도 7을 참조하면, "판독"은, 플랫 패널 검출기로부터 전하를 판독하는 기간을 나타내고, "Hi"는 전하를 판독하는 기간을 나타내고, "Lo"는 전하를 판독하지 않는 기간(도 7에 도시된 경우에는 전하가 축적됨)을 나타낸다.

전하를 판독함으로써 화상을 촬영할 경우, 일반적으로 오프셋 보정이 행해진다. 플랫 패널 검출기를 포함한 동화상 촬영 장치의 오프셋 보정 및 장치 구동을 행하기 위한 기술이 알려져 있다(일본특허공개 제2002-301053호 공보). 도 7은 X-선 노광마다 2회의 전하 판독을 행하고, X-선 노광 후에 판독한 화상으로부터 X-선 노광 없이 판독한 화상을 감산함으로써, X-선 화상을 생성하는 경우의 타이밍 차트를 나타낸다.

도 7을 참조하면, "X-선 노광 신호"는 X-선 발생 장치에 공급되는 X-선 노광 신호의 추이를 나타내고, X-선 노광 신호가 Hi인 기간은 X-선 노광을 나타내고, 그 신호가 Lo인 기간은 X-선 노광의 정지를 나타낸다. X-선 발생 장치(도시 생략)는, X-선 노광 신호가 Hi로 되면, X-선 노광을 개시하고, X-선 노광 신호가 Lo로 되면 X-선 노광을 정지시킨다. X-선 노광 신호가 Hi로 되는 순간부터 실제로 X-선 노광이 개시하는 순간까지 특정 시간(X-선 노광 개시 지연 시간)이 걸린다. 또한, X-선 노광 신호가 Lo로 되는 순간부터 실제로 X-선 노광이 정지하는 순간까지 특정 시간(X-선 노광 정지 지연 시간)이 걸린다. 도 7을 참조하면, "X-선 강도"는 X-선 발생 장치로부터 실제로 출력되는 X-선의 강도의 추이를 나타낸다. 도 7을 참조하면, 참조 부호 Ta는 X-선 노광 개시 지연 시간을 나타내고, Tb는 X-선 노광 정지 지연 시간을 나타낸다. 또한, X-선 노광은 전하의 축적 중에 행해진다.

동화상 촬영의 프레임 레이트가 높은 경우, 프레임 간격에 비하여 X-선 노광 개시 지연 시간 및 X-선 노광 정지 지연 시간의 크기가 상대적으로 커진다. 도 8은, 동화상 촬영 모드에서의 프레임 레이트가 높은 경우의 X-선 노광 신호, X-선 강도, 및 판독을 나타내는 타이밍 차트이다.

동화상 촬영의 프레임 레이트가 높아지면, 전하의 판독 시간은 일정하기 때문에, 전하의 축적 기간이 감소된다. X-선 노광이 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 수반하기 때문에, 실제의 X-선 노광은 전하의 판독과 중첩될 수 있다. 도 8을 참조하면, 해칭된 부분은, 실제의 X-선 노광이 전하의 판독과 중첩되는 부분을 나타낸다. 참조 부호 Tc는 중첩 시간을 나타낸다.

일반적으로, X-선 화상을 촬영하기 위해서는, 소정의 X-선 선량을 방출할 필요가 있다. 따라서, X-선 노광이 전하의 판독과 중첩되면, 방출된 X-선의 강도가 축적된 전하에 반영되지 않기 때문에, X-선 화상의 품질이 열화된다.

소정의 X-선 선량을 방출하기 위해, X-선 노광 신호가 Hi로 설정되는 시간을 소정 기간 확보하는 것, 또는 X-선 노광 신호가 "Hi"인 기간을 짧게 하고, X-선 발생 장치의 X-선관(X-ray tube) 전류나 X-선관 전압을 증가시키는 것이 생각될 수 있다. 후자의 경우와 같이, X-선 발생 장치의 X-선관 전류를 증가시키면, 비용이 고가로 되고, 또한 X-선관 전압을 지나치게 증가시키면, 촬영한 X-선 화상의 콘트라스트가 저하한다는 문제가 생긴다. 그로 인해, 소정의 X-선 선량을 방출하기 위해, X-선 노광 신호가 Hi로 설정되는 시간을 소정 기간 확보하는 기술이 일반적으로 이용된다. 이 경우, 동화상 촬영시의 프레임 레이트를 증가시키기 위해, 전하 판독의 종료로부터 X-선 노광의 개시까지의 시간 간격, 및 X-선 노광의 종료로부터 전하 판독의 개시까지의 시간 간격을 최소화할 필요가 있다.

도 9는 전하 판독의 종료와 동시에 X-선 노광이 개시하고, 또한 X-선 노광의 종료와 동시에 전하 판독이 개시할 경우, X-선 노광 신호, X-선 강도, 및 판독 간의 관계를 나타내는 타이밍 차트이다.

도 9를 참조하면, 미리 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 측정해 둔다. 전하 판독 종료의 타이밍보다 측정 시간 Ta만큼 일찍 X-선 노광 신호를 Hi로 설정한다. 또한, 전하 판독 개시의 타이밍보다 측정 시간 Tb만큼 일찍 X-선 노광 신호를 Lo로 설정한다. 이러한 제어를 행함으로써, 실제의 X-선 노광 기간을 전하 판독 기간과 중첩시키지 않고, 프레임 레이트를 최대화할 수 있다.

일반적으로, 플랫 패널 검출기는 촬영 부위나 촬영 목적에 따라 다양한 종류의 X-선 발생기와 접속될 수 있다. 그러나, 상이한 X-선 발생기들은 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간이 상이하다. 그로 인해, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을, 이용할 각각의 장치마다 미리 측정해 둘 필요가 있다.

X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정하고, 측정한 지연 시간들을 보정함으로써, X-선 노광 개시 타이밍 및 X-선 노광 종료 타이밍을 보정하는 구성이 일본특허공개 소62-276798호 공보에 개시되어 있다. 또한, 판독 타이밍을 측정하기 위해, 플랫 패널 검출기와는 다른 X-선 검출기를 플랫 패널 검출기의 외측에 제공하는 구성이 일본특허공개 제2004-166728호 공보에 개시되어 있다.

일본특허공개 소62-276798호 공보에 개시된 구성과 관련하여, X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 측정하는 구체적 기술은 기재되어 있지 않다. 일반적으로, 실제의 X-선 강도를 측정하기 위한 X-선 검출기를 별도로 준비하고, 그 X-선 검출기로부터의 출력과 X-선 노광 신호와 판독 신호를 오실로스코프 등으로 측정할 필요가 있다. 이러한 측정은 많은 시간과 수고를 필요로 한다.

또한, 일본특허공개 제2004-166728호 공보에 개시된 구성은, X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 측정하기 위해, 플랫 패널 검출기의 외측에 추가의 X-선 검출기를 필요로 하기 때문에, 비용이 높아진다는 문제가 있다.

본 발명은 상기 문제를 감안하여 이루어진 것이며, 특별한 구성을 제공하지 않고서도, X-선 노광의 개시 및 정지 시에 발생하는 지연 시간들을 저렴한 비용으로 용이하게 측정하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 일 양태에 따르면, X-선 화상을 취득하는 X-선 촬영 장치는, 동작 지시에 따라 X-선을 출력하거나 또는 정지시키는 X-선 발생 장치가 발생시킨 X-선을 화상 신호로 변환하도록 구성된 복수의 검출 소자를 포함하는 촬영 유닛과, 상기 촬영 유닛으로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 상기 X-선 발생 장치의 동작 개시 타이밍을 취득하고, 상기 X-선 발생 장치에의 동작 지시의 타이밍과 상기 동작 개시 타이밍 간의 차이를 취득하도록 구성된 취득 유닛을 포함한다.

본 발명의 다른 양태에 따르면, X-선 화상을 취득하는 X-선 촬영 장치에 의한, X-선 노광의 지연 시간의 측정 방법은, X-선 발생 장치가 동작 신호에 따라 X-선 출력 상태를 변경하도록 하는 단계, X-선을 화상 신호로 변환하도록 구성된 촬영 유닛으로부터 화상 신호를 순차적으로 판독하는 단계, 및 상기 화상 신호를 해석함으로써, 상기 동작 신호에 대한 상기 발생 장치의 동작의 지연을 측정하는 단계를 포함한다.

본 발명의 다른 특징들은 (첨부된 도면을 참조하여) 하기의 예시적인 실시예들의 설명으로부터 명백해질 것이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 X-선 촬영 장치의 구성을 도시하는 개략 블럭도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 플랫 패널 검출기의 구성을 도시하는 개략 평면도.
도 3, 도 4, 도 5, 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 X-선 노광 지연 시간들의 측정의 타이밍 차트.
도 7, 도 8, 및 도 9는 동화상 촬영에 있어서의 X-선 노광 및 전하 판독에 연관된 타이밍 차트.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세하게 설명한다.

<X-선 촬영 장치의 구성>

도 1은 본 실시예에 따른 X-선 촬영 장치의 개략 블럭도이다. 참조 번호 101은 X-선 노광을 제어하는 X-선 발생기를 나타내고, 102는 X-선을 방출하는 X-선관(102)을 나타내고, 100은 피검체(피사체)를 나타내고, 103은 피검체(100)를 투과한 X-선을 검지하기 위한 플랫 패널 검출기를 나타내고, 104는 플랫 패널 검출기(103)로부터 판독된 X-선 화상을 디스플레이하기 위한 디스플레이 유닛을 나타내고, 105는 X-선 촬영 장치 전체를 제어하는 제어 유닛을 나타낸다.

제어 유닛(105)은 X-선 노광 신호에 의해 X-선 발생기(101)와 접속된다. 제어 유닛(105)이 X-선 노광 신호를 (Hi 또는 Lo로) 제어할 때, X-선 발생기(101)는 X-선 노광을 개시 또는 정지시킨다. 제어 유닛(105)은 정지 화상 촬영 모드에서 1회의 X-선 노광을 실행하고, 동화상 촬영 모드에서 X-선을 펄스식으로 연속적으로 방출하도록 제어를 행한다. X-선 노광의 지연 시간들을 측정할 때, 피사체인 피검체는 존재하지 않는 상태에서 촬영이 행해진다는 것을 유의한다.

제어 유닛(105)은 판독 개시 신호에 의해 플랫 패널 검출기(103)에 접속되고, 판독 개시 신호를 (Hi 또는 Lo로) 제어함으로써 플랫 패널 검출기(103)가 판독을 개시하도록 한다. 또한, 제어 유닛(105)은 MODE 신호 라인을 통해 플랫 패널 검출기(103)에 접속되고, MODE 신호 라인을 (Hi 또는 Lo로) 제어함으로써 정지 화상 촬영 모드와 동화상 촬영 모드 간에 전환을 행한다. 본 실시예에서는, 플랫 패널 검출기(103)의 게이트 라인을 각각의 행마다 턴온함으로써 플랫 패널 검출기(103)로부터 전하를 순차적으로 판독한다. 이와 같이, 본 실시예에서는, 플랫 패널 검출기를 구성하는 검출 소자로부터의 전하를 각각의 행마다 판독함으로써 화상을 취득한다. 전하 판독에 연관된 주사 속도는 일정하고, 미리 알려져 있다.

또한, 제어 유닛(105)은 X-선 노광 타이밍과 플랫 패널 검출기(103)의 판독 타이밍을 제어하는 타이밍 제어 유닛(106)을 포함한다. 타이밍 제어 유닛(106)은, 일반적으로, 플랫 패널 검출기(103)의 축적 기간 중에 X-선 노광을 행하도록 제어를 행한다. 특히, X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 측정할 때, 타이밍 제어 유닛(106)은 플랫 패널 검출기(103)의 판독 동작 중에 X-선 노광을 개시하고 정지시키도록 X-선 발생기(101)를 제어한다.

또한, 제어 유닛(105)은, 플랫 패널 검출기(103)의 판독 동작 중에 X-선 노광에 의해 취득된 화상을 해석함으로써 X-선 노광에 연관된 지연 시간을 측정하는 지연 시간 측정 유닛(X-선 노광 지연 시간 측정 유닛)(107)을 포함한다. 지연 시간 측정 유닛(107)은, 개시 지연 측정 유닛(X-선 노광 개시 지연 시간 측정 유닛)(108)과, 정지 지연 측정 유닛(X-선 노광 정지 지연 시간 측정 유닛)(109)을 포함한다. 개시 지연 측정 유닛(108)은, X-선 노광을 나타내는 신호가 입력되는 순간부터 실제로 X-선이 방출되는 순간까지의 X-선 노광 개시 지연 시간을 측정한다. 정지 지연 측정 유닛(109)은, X-선 노광의 정지를 나타내는 신호가 입력되는 순간부터 실제로 X-선 노광이 정지하는 순간까지의 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정한다. 후술하는 바와 같이, 본 실시예에서는, 균일한 X-선을 방출하고, 일정 속도로 주사를 행함으로써 취득한 화상에 있어서 화소값의 변화가 있는 영역과, 화상에 있어서 화소값의 변화가 없는 영역 간의 경계의 위치와, 전하 판독에 연관된 주사 속도에 기초하여, X-선 노광의 지연 시간을 측정한다.

<플랫 패널 검출기의 구성>

도 2는 플랫 패널 검출기(103)의 개략 평면도이다. 도 2의 플랫 패널 검출기(103)는, 수광한 X-선 신호를 전하로 변환하는 검출 소자가 매트릭스 형태로 제공된 구성을 갖는다. 실제로, 검출 소자의 수는 2000×2000 정도이다. 검출 소자에 의해 X-선 신호로부터 변환된 전하는, 각각 대응하는 캐패시터에 축적된다.

도 2를 참조하면, 도면 표면상의 세로 방향에 X축이 설정된다. 본 실시예에 있어서, 검출 소자의 판독 순서는 X 좌표가 증가하는 방향(본 실시예에 있어서, 하향 방향)과 일치한다고 가정한다. 또한, X1은 플랫 패널 검출기(103)의 가장 위 측의 행의 좌표를 나타내고, X6은 가장 아래측의 행의 좌표를 나타낸다. 좌표 X2 내지 X5는, 좌표 X1과 좌표 X6 사이의 좌표이다. 본 실시예에서는, 플랫 패널 검출기를 구성하는 검출 소자로부터의 전하를 일 행씩 일정 속도로 판독한다. 좌표 X2와 좌표 X4는 X-선 노광 신호의 상승 에지의 위치와 하강 에지의 위치에 각각 대응하고, 좌표 X3과 좌표 X5는 실제의 X-선 노광의 개시 시점의 위치와 종료 시점의 위치에 각각 대응한다. 본 실시예에서는, T1, T2, T4, 및 T6의 시간이 미리 결정되기 때문에, X1, X2, X4, 및 X6의 값을 산출할 수 있고, 이들을 장치에 미리 설정할 수 있다. 그러나, X1, X2, X4, 및 X6의 값은 X-선 노광 지연의 측정 때마다, X-선 노광 신호의 전환 타이밍에 따라 산출할 수도 있다는 것에 유의한다.

세로선(110)은, 플랫 패널 검출기(103)에 있어서 화소값을 검출하는 위치를 나타낸다. 도 2의 세로선(110)의 위치는, 설명을 이해하기 쉽게 하기 위한 일 예이며, 이 예로 한정되는 것은 아니다.

<동화상 촬영 모드에서의 X-선 노광>

도 3은 동화상 촬영 모드에서 1회의 X-선 노광을 행할 때, X-선 노광 신호, X-선 강도, 판독 개시 신호, 전하 판독, 및 판독되는 화소값의 시간적 추이를 나타내는 타이밍 차트이다. 시간 T1 내지 T6은, 도 2에 도시된 플랫 패널 검출기(103)의 X 좌표 X1 내지 X6을 판독하는 시간에 대응한다.

도 3을 참조하면, 타이밍 제어 유닛(106)은, 시간 T1에 판독 개시 신호를 Hi로 설정하고, 전하의 판독 중에 X-선 노광 신호를 Hi로 설정한다. 입력되는 판독 개시 신호가 Hi로 설정되면, 플랫 패널 검출기(103)는 전하의 판독을 개시한다. 입력되는 X-선 노광 신호가 Hi로 설정되면, X-선 발생기(101)는 X-선관(102)을 제어하여 X-선을 방출하도록 한다. 또한, 타이밍 제어 유닛(106)은 소정 시간 경과 후에(도 3에 도시된 경우에 있어서는, 시간 T1과 시간 T2 사이) 판독 개시 신호를 Lo로 설정하고, 전하의 판독 중(도 3에 도시된 경우에 있어서는, 시간 T4)에 X-선 노광 신호를 Lo로 설정한다. 플랫 패널 검출기(103)는 판독 개시 신호가 Lo로 되어도 그에 영향을 받지 않고, 모든 행을 판독할 때까지 판독 동작을 계속한다. 한편, 입력되는 X-선 노광 신호가 Lo로 되면, X-선 발생기(101)는 X-선 노광을 정지시킨다. 이와 같이, 타이밍 제어 유닛(106)은 전하의 판독 중에 X-선 노광이 행해지도록 제어를 행한다. 타이밍 제어 유닛(106)이 X-선 노광 신호를 Hi로 설정하는 기간은 이용할 X-선 촬영 장치에 따라 변경된다. 30 FPS의 프레임 레이트에서 동화상 촬영을 행하도록 구성된 X-선 촬영 장치를 이용하는 경우, 일반적으로, 이 기간은 수 ms 정도이다.

도 3을 참조하면, 도 7과 마찬가지로, "X-선 노광 신호"는 X-선 노광을 행하기 위한 신호를 나타내고, "X-선 강도"는 실제로 방출되는 X-선의 강도를 나타내고, "판독"은 플랫 패널 검출기로부터의 전하의 판독을 나타내고, "화소값"은 도 2의 플랫 패널 검출기의 세로선(110)에서의 화소값을 나타낸다.

전술한 바와 같이, 시간 T1 내지 T6은, 도 2에 도시된 플랫 패널 검출기(103)의 X 좌표 X1 내지 X6을 판독하는 시간에 대응한다. 즉, 시간 T1은 전하의 판독을 개시하는 시간이며, 또한 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X1로부터 전하를 판독하는 시간이다. 시간 T6은 전하의 판독을 정지하는 시간이며, 또한 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X6로부터 전하를 판독하는 시간이다. 시간 T2는 X-선 노광 신호가 Hi로 설정되는 시간이며, 또한 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X2로부터 전하를 판독하는 시간이다. X-선 노광 신호가 Hi로 되면, X-선 발생기(101)는 X-선관(102)으로부터 X-선을 방출한다. 그러나, 전술한 바와 같이, X-선 노광 개시 지연 시간 때문에, 실제로 X-선 노광은 시간 T3부터 개시된다. 또한, 시간 T3은 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X3으로부터 전하를 판독하는 시간이기도 하다. 시간 T4는 X-선 노광 신호가 Lo로 설정되는 시간이며, 또한 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X4로부터 전하를 판독하는 시간이다. X-선 노광 신호가 Lo로 되면, X-선 발생기(101)는 X-선관(102)으로부터의 X-선 노광을 정지시킨다. 그러나, X-선 노광 정지 지연 시간 때문에, 실제로 X-선 노광은 시간 T5에서 종료한다. 시간 T5는 플랫 패널 검출기(103)의 좌표 X5로부터 전하를 판독하는 시간이다. 전술한 바와 같이, X1, X2, X4, 및 X6의 값은 미리 알려져 있고, 장치에 설정되어 있다는 것에 유의한다.

<X-선 노광에 연관된 지연 시간의 측정>

이어서, 개시 지연 측정 유닛(108)과 정지 지연 측정 유닛(109)에 의해 X-선 노광에 연관된 지연 시간을 측정하는 절차에 대해 설명한다. 개시 지연 측정 유닛(108)과 정지 지연 측정 유닛(109)은, 전하의 판독 중에 X-선 노광에 의해 취득된 화상을 해석함으로써, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정한다.

더 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이, 전하 판독을 개시하는 시간 T1부터 실제로 X-선이 방출되는 시간 T3까지 화소값은 일정한 채로 있다. 시간 T3 후에, 화소값은, 실제로 X-선 노광이 정지하는 시간 T5까지 증가한다. 이때, 화소값은, 실제로 X-선이 방출되는 시간 T3부터 전하 판독을 개시하는 시간 T5까지, X-선 강도를 적분함으로써 취득된 값이 된다. 그 후, 실제로 X-선 노광이 정지하면, 화소값은, 화소값의 판독이 종료하는 시간 T6까지 일정한 채로 있다.

전술한 바와 같이, 전하는 플랫 패널 검출기(103)로부터 소정 시간(본 실시예에서는 Tf)에 행 단위로 판독된다. Tf의 값은 미리 알려져 있고, 장치에 설정되어 있다. X-선 노광 신호가 Hi로 설정되는 시간을 T2라고 하고, X-선 노광 신호가 Lo로 설정되는 시간을 T4라고 하면, 시간 T2와 시간 T4에서 판독한 좌표 X2와 좌표 X4는 하기의 식에 의해 산출될 수 있다.

그러므로, 개시 지연 측정 유닛(108)은, 수학식 1에 의해 산출된 좌표 X2와, 화소값이 증가할 때의 시간에 대응하는 좌표 X3을 이용하여, 다음의 수학식에 따라 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta를 산출한다.

마찬가지로, 정지 지연 측정 유닛(109)은, 수학식 2에 의해 산출된 좌표 X4와, 화소값이 증가한 후 일정하게 되는 좌표 X5를 이용하여, 다음의 수학식에 따라 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 산출한다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서는, 검출 소자에 축적된 전하가 일정한 속도로 판독된다는 사실을 고려하여, 일정한 강도를 갖는 균일한 X-선에 의해 촬영된 화상을 해석함으로써, X-선 노광에 연관된 지연을 측정한다. 즉, 화소값의 변화가 존재하는 영역과 화소값의 변화가 존재하지 않는 영역 간의 경계의 위치와, 전하의 판독에 연관된 주사 속도에 기초하여, 지연을 측정한다. 특히, 본 실시예에서는, 제어 유닛으로부터 X-선 발생기에 공급되는 X-선 노광 신호(제어 신호)가 전환되는 타이밍에 주사하는 플랫 패널 검출기의 검출 소자와 상기 경계 간의 거리를 주사 속도로 주사하는 데 필요한 시간을 상기 지연으로서 측정한다. 그러므로, 본 실시예의 구성에 따르면, 기존의 X-선 촬영 장치의 구성 요소 이외에 어떠한 특별한 디바이스를 주사하지 않고, 용이하게 저렴한 비용으로 X-선 노광에 연관된 지연 시간을 측정할 수 있다.

본 실시예에서는, 다음의 2개의 지연 시간을 측정하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 다음 중 어느 하나가 특정되는 대상으로 될 수 있다.

ㆍ X-선 출력 정지를 나타내는 신호로부터 X-선 출력을 나타내는 신호로 X-선 노광 신호가 전환되는 순간부터, X-선 발생기가 실제로 X-선 출력을 개시하는 순간까지의 지연(X-선 노광 개시 지연 시간), 및

ㆍ X-선 출력을 나타내는 신호로부터 X-선 출력 정지를 나타내는 신호로 X-선 노광 신호가 전환되는 순간부터, X-선 발생기가 실제로 X-선 출력을 정지시키는 순간까지의 지연(X-선 노광 정지 지연 시간).

도 3을 참조하면, 각각의 행마다 판독한 화소값은, 실제로 X-선이 방출되는 시간 T3부터 전하가 판독되는 시간까지 X-선 강도를 적분함으로써 취득된 값이므로, 각각의 행마다 차이를 계산함으로써 X-선 강도를 산출할 수 있다. 산출된 X-선 강도, X-선 노광 신호, 판독 신호, 및 화소값 등을 디스플레이 유닛(104)에 디스플레이하면, 오실로스코프에 의해 측정되는 경우와 같이, 이 신호들의 타이밍을 시각적으로 체크할 수 있다.

제어 유닛(105)은 측정된 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 저장 디바이스(도시 생략)에 저장한다. 통상의 촬영 동작 시에 이들 측정된 값들을 이용하여, 일본특허공개 소62-276798호 공보에 개시된 기술에 의해 촬영을 행함으로써, 양호한 X-선 화상을 촬영할 수 있다.

이상의 기술을 이용함으로써, 개시 지연 측정 유닛(108)은 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta를 측정할 수 있고, 정지 지연 측정 유닛(109)은 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 측정할 수 있다.

본 실시예에 있어서, 지연 시간 측정 유닛(107)은 개시 지연 측정 유닛(108)과 정지 지연 측정 유닛(109) 둘 다를 포함하는 구성을 예로 들었다. 본 실시예는 개시 지연 측정 유닛(108)과 정지 지연 측정 유닛(109) 중 어느 하나를 포함하도록 구성될 수 있다.

본 실시예에 있어서, 검출 소자의 판독 순서는 플랫 패널 검출기(103)의 하향 방향과 일치하는 경우를 예로 들었다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 플랫 패널 검출기(103)의 양측으로부터, 즉 하향 방향 및 상향 방향으로 전하를 판독할 수 있거나, 또는 수평 방향으로 전하를 판독할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 플랫 패널 검출기를 구동하는 구성을 예로 들었다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, MIS형 포토다이오드를 이용하는 것도 가능하다.

본 실시예에 있어서, 도 3에 도시된 화소값은 도 2에 도시된 세로선(110)에서의 화소값으로서 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 각각의 행마다 화소값을 평균함으로써 취득된 평균 화소값을 이용할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 제어 유닛(105)이 측정된 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta와 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 저장하는 경우를 예로 들어 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, X-선 발생기(101) 또는 플랫 패널 검출기(103)가 이들을 저장할 수 있다.

또한, 전술한 설명에 따르면, 타이밍 제어 유닛(106)은 수 ms 정도 동안 X-선 노광 신호를 Hi로 설정한다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 타이밍 제어 유닛(106)은 입력 디바이스(도시 생략)에 의해 입력된 시간 동안, X-선 노광 신호를 Hi로 설정할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는, 제어 유닛(105) 내에 타이밍 제어 유닛(106)이 합체되어 있는 경우를 예로 들어 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, X-선 발생기(101) 또는 플랫 패널 검출기(103) 내에 타이밍 제어 유닛(106)이 합체되어 있을 수 있다.

이어서, 본 발명의 제2 실시예에 대해서 설명한다. 본 실시예에 따른 X-선 촬영 장치는, 제1 실시예의 X-선 촬영 장치와 마찬가지의 구성을 갖고, 타이밍 제어 유닛(106)은 제1 실시예와 마찬가지로 전하의 판독 중에 X-선을 방출하도록 제어를 행한다. 본 실시예는, X-선을 복수회 방출하고, 오프셋 보정을 위한 판독, X-선 노광 중의 판독, 및 검출 소자를 리셋하기 위한 판독을 행한다는 점에서, 제1 실시예와 상이하다.

도 4는 동화상 촬영 모드에서의 X-선 노광 신호, X-선 강도, 판독 개시 신호, 판독, 및 판독된 화소값을 도시하는 타이밍 차트이다. 도 4를 참조하면, 참조 부호 RD는 X-선 노광이 없는 경우의 판독을 나타내고, RX는 X-선 노광이 있는 경우의 판독을 나타내고, RR은 검출 소자에 축적된 전하를 리셋하기 위한 판독을 나타낸다. 참조 부호 RD1, RX1, 및 RR1은 각각 1회째의 판독을 나타내고, RD2와 RX2는 각각 2회째의 판독을 나타낸다. n매째의 오프셋 보정된 화상의 화소값 In은(n은 1 이상의 자연수)은 수학식 5에 의해 취득된다. RXn과 RDn은 각각 n회째의 판독에 의해 판독된 화소값을 나타낸다는 것에 유의한다.

개시 지연 측정 유닛(108)과 정지 지연 측정 유닛(109)을 포함하는 지연 시간 측정 유닛(107)은, 오프셋 보정된 화상 In을 해석함으로써, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정한다. 측정 절차는, 제1 실시예와 마찬가지이기 때문에, 그 설명을 생략한다.

또한, 지연 시간 측정 유닛(107)은 X-선 노광을 복수회 행하여, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 복수회 측정한다. 복수회 측정된 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간 중에서, 최대 측정값들을 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간으로서 설정한다.

또한, 시간 T41 내지 T43은 각각 도 2의 좌표 X4로부터 전하를 판독하는 시간이며, 시간 T41은 판독 RX1 중의 시간이고, T42는 판독 RR1 중의 시간이고, 시간 T43은 판독 RD2 중의 시간이다. 시간 T41에서 전하가 판독되는 검출 소자(좌표 X4의 검출 소자)는, 전하가 판독된 후 리셋된다. 그러나, 시간 T41 이후에도 X-선 노광이 계속되기 때문에, 좌표 X4의 검출 소자는 다시 X-선을 검출해서 전하를 축적한다. 그로 인해, 시간 T42에서 좌표 X4의 검출 소자로부터 전하를 판독하면, 취득되는 화소값은 X-선 노광에 의해 취득되는 것이다. 검출 소자로부터 전하를 판독하면, 검출 소자에 축적된 전하는 그 후 리셋된다. 그러므로, 시간 T43에서 좌표 X4의 검출 소자로부터 전하를 판독하면, 취득되는 화소값은 X-선이 노광되지 않은 경우 취득되는 것이다. 그로 인해, 판독 RD2에 의해 취득되는 화상은 오프셋 보정된 화상으로서 이용될 수 있다.

이와 같이 오프셋 보정을 복수회 행하는 경우, X-선 노광이 없는 경우의 판독 RD와, X-선 노광이 있는 경우의 판독 RX와, 검출기에 축적된 전하를 리셋하기 위한 판독 RR를 행할 필요가 있다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서는, X-선이 출력될 때 생성되는 화상과, X-선이 출력되지 않을 때 촬영된 화상에 기초한 차이 화상을 해석함으로써, X-선 노광 동작에 연관된 지연들을 측정한다. 이와 같이, 본 실시예에서는 오프셋 보정에 의해 지연 측정을 행하기 때문에, 측정 오차를 줄일 수 있다.

본 실시예에서는, 수학식 5를 이용해서 오프셋 보정을 행한다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, X-선 노광이 없는 경우의 판독 RD1을 단 한번만 행할 수 있고, 2회째 이후의 X-선 노광이 없는 경우의 판독 RD2를 생략할 수 있다. 이 경우, 오프셋 보정된 화상 In은 하기의 수학식에 의해 산출된다.

본 실시예에 있어서, 측정값들 중 최대값들은 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간으로서 예를 들어 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 최대 X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간에, 입력 디바이스(도시 생략)를 통해 입력된 시간들을 가산함으로써 취득된 값들을 이용할 수 있다.

이어서, 본 발명의 제3 실시예를 설명한다. 본 실시예에 따른 X 촬영 장치는, 제1 실시예에 따른 X-선 촬영 장치와 마찬가지의 구성을 갖고, 타이밍 제어 유닛(106)은 제1 실시예와 마찬가지로 전하의 판독 중에 X-선을 방출하도록 제어를 행한다. 본 실시예에서는, X-선 노광 시간이 길고, 따라서, 1회의 X-선 노광의 개시부터 X-선 노광의 종료까지의 시간 간격이 동화상의 판독 기간 내에 있지 않는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 5는 동화상 촬영 모드에서의 X-선 노광 신호, X-선 강도, 동화상 판독, 정지 화상 판독, 및 판독된 화소값을 도시하는 타이밍 차트이다. "판독 개시 신호"는 이미 설명했기 때문에, 그 설명을 생략한다.

도 5를 참조하면, 시간 T3은 실제로 X-선 노광을 개시한 시간이고, 시간 T5는 실제로 X-선 노광이 정지한 시간이다. 도 5에 도시된 경우에 있어서, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간이 길기 때문에, 시간 T3과 시간 T5는 동화상 판독 기간 내에 있지 않다. 이러한 경우, 판독 기간이 긴 정지 화상 판독을 행하여, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정한다. 도 5를 참조하면, 정지 화상 판독 기간이 길기 때문에, 시간 T3과 시간 T5는 정지 화상 판독 기간 내에 있게 된다. 그러므로, 전술한 기술을 이용하여, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정할 수 있다. 그러나, 정지 화상 판독은, 동화상 판독 시간 Tf와 다른 시간 Tr에서 각각의 행마다 행해지기 때문에, 수학식 1 내지 수학식 4의 Tf를 Tr로 치환하여 계산을 행할 필요가 있다는 것에 유의한다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에 따르면, 소정 시간 간격으로 소정의 판독 기간에 검출 소자로부터 전하를 판독하도록 구성된 구성에 있어서, 1회의 X-선 노광의 개시부터 X-선 노광의 종료까지의 시간 간격이 판독 기간 내에 있지 않을 경우, 이 판독 기간은 (정지 화상 판독 기간으로) 연장된다. 그러므로, 본 실시예는, X-선 촬영 장치가 동화상 촬영을 행하는 환경에 관계없이, X-선 노광에 연관된 동작 지연을 측정할 수 있다.

본 실시예에서는, 판독 시간이 긴 판독을 정지 화상 판독으로서 예를 들어 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 전하의 판독 시간이 길 필요가 있기 때문에, 플랫 패널 검출기의 일 행으로부터 전하를 판독하는 시간이 시간 Tr이 아닌 다른 시간으로 설정될 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 먼저 동화상 판독을 행한 후에 정지 화상 판독을 행하는 경우를 예로 들어 설명했다. 그러나, 본 발명은 이것으로 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 먼저 정지 화상 판독을 긴 판독 시간에 행할 수 있다.

이어서, 본 발명의 제4 실시예에 대해서 설명한다. 본 실시예에 따른 X-선 촬영 장치는, 제1 실시예에 따른 X-선 촬영 장치와 마찬가지의 구성을 갖고, 타이밍 제어 유닛(106)은 제1 실시예와 마찬가지로 전하의 판독 중에 X-선을 방출하도록 제어를 행한다. 본 실시예에서는, X-선 노광 시간이 길고, 1회의 X-선 노광의 개시부터 X-선 노광의 종료까지의 시간 간격이 복수의 동화상의 판독 기간들에 걸쳐 연장되는 경우를 예로 들어 설명한다.

도 6은 동화상 촬영시의 X-선 노광 신호, X-선 강도, 동화상 판독, 및 판독된 화소값을 도시하는 타이밍 차트이다. "판독 개시 신호"는 이미 설명했기 때문에, 그 설명을 생략한다. 오프셋 보정을 행하기 위한 X-선 노광이 없는 경우의 "판독"은 이미 제2 실시예에서 설명했기 때문에, 그 설명을 생략한다.

도 6을 참조하면, 참조 부호 RX는 X-선을 노광하는 경우의 판독을 나타내고, RR은 검출기에 축적된 전하를 리셋하기 위한 판독을 나타낸다. 참조 부호 RX1과 RR1은 각각 1회째의 판독을 나타내고, RX2와 RR2는 각각 2회째의 판독을 나타낸다. 도 4에 도시된 "판독 RD"는 이미 설명했기 때문에, 그 설명을 생략한다. 시간 T11은 1회째의 판독 RX1을 개시하는 시간이고, 시간 T12는 1회째의 판독 RR1을 개시하는 시간이고, 시간 T13은 2회째의 판독 RX2를 개시하는 시간이고, 시간 T2는 X-선 노광 신호가 Hi로 설정되는 시간이고, 시간 T3은 실제로 X-선 노광을 개시하는 시간이고, 시간 T4는 X-선 노광 신호가 Lo로 설정되는 시간이고, 시간 T5는 실제로 X-선 노광이 정지하는 시간이다.

도 6을 참조하면, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간이 길기 때문에, 시간 T3과 시간 T5는 1회의 동화상 판독 기간 내에 있지 않다. 이 경우, 동화상 판독은 복수 회 실행되어, X-선 노광 개시 지연 시간들과 X-선 노광 정지 지연 시간들을 측정한다. 또한, X-선 노광 신호를 Hi로 설정하는 시간 T2, 1회째의 판독 RX1을 개시하는 시간 T11, X-선 노광 신호를 Lo로 설정하는 시간 T4를 조정함으로써, 1회째의 판독 RX1 내에 시간 T3이 있게 되고, 2회째의 판독 RX2 내에 시간 T5가 있게 된다.

개시 지연 측정 유닛(108)은 화소값이 증가한 좌표 X3을 이용하여, 수학식 7에 따라 X-선 노광 개시 지연 시간 Ta를 산출한다.

마찬가지로, 정지 지연 측정 유닛(109)은 제1 실시예에서 설명한 수학식 2에 의해 산출되는 좌표 X4를 산출한 후 화소값이 일정하게 되는 좌표 X5를 이용하여, 수학식 8에 따라 X-선 노광 정지 지연 시간 Tb를 산출한다.

전술한 바와 같이, 본 실시예에서는, X-선 노광 신호가 전환되는 타이밍과, 촬영된 화상에 있어서의 화소값의 변동의 유무에 연관된 경계에 존재하는 검출 소자를 주사하도록 동작시키는 타이밍이, 각각 상이한 판독 기간 내에 존재하는 경우를 예로 들어 설명했다. 이러한 경우, 제1 실시예와 마찬가지로, X-선 노광에 연관된 동작의 지연을 측정할 수 있다.

전술한 각각의 구성은 X-선 촬영 장치, 특히, 의료용의 X-선 촬영 장치 및 공업용의 비파괴 검사 장치로서의 X-선 촬영 장치에 적용될 수 있다. 전술한 바와 같이, 각각의 실시예의 구성은, 판독 중에 X-선 노광을 행하고, X-선 노광 중에 촬영한 X-선 화상을 해석함으로써, X-선 노광 개시 지연 시간과 X-선 노광 정지 지연 시간을 측정하도록 구성된다. 이것은, 비용을 증가시키지 않고도, X-선 노광 개시 지연 시간 및 X-선 노광 정지 지연 시간 중 적어도 하나를 용이하게 측정할 수 있게 한다.

본 발명은, 특별한 구성을 제공하지 않고도, X-선 노광의 개시 및 정지 시에 발생하는 지연 시간들을 저렴한 비용으로 용이하게 측정하는 기술을 제공할 수 있다.

<다른 실시예들>

본 발명의 양태들은, 또한, 전술한 실시예(들)의 기능들을 실행하기 위해 메모리 디바이스에 기록된 프로그램을 판독하여 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터(또는 CPU 또는 MPU 등과 같은 디바이스들), 및 전술한 실시예(들)의 기능들을 실행하기 위해, 예를 들어, 메모리 디바이스에 기록된 프로그램을 판독하여 실행하는 시스템 또는 장치의 컴퓨터에 의해 실행되는 단계들을 포함하는 방법에 의해 구현될 수도 있다. 이를 위해, 프로그램은, 예를 들면, 메모리 디바이스(예를 들면, 컴퓨터 판독가능 매체)로서 기능하는 다양한 종류의 기록 매체로부터 또는 네트워크를 통해 컴퓨터에 제공된다.

본 발명이 예시적인 실시예들을 참조하여 설명되었지만, 본 발명은 개시된 예시적인 실시예들로 한정되는 것이 아니라는 것을 이해해야 한다. 하기의 청구항들의 범위는 그러한 변형들, 등가의 구조들 및 기능들을 모두 포괄하도록 최광의의 해석에 따라야 한다.

Claims

X-선 화상을 취득하는 X-선 촬영 장치이며,
동작 지시에 따라 X-선을 출력하거나 또는 정지시키는 X-선 발생 장치가 발생시킨 X-선을 화상 신호로 변환하도록 구성된 복수의 검출 소자를 포함하는 촬영 유닛, 및
상기 촬영 유닛으로부터 출력되는 화상 신호에 기초하여 상기 X-선 발생 장치의 동작 개시 타이밍을 취득하고, 상기 X-선 발생 장치에의 동작 지시의 타이밍과 상기 동작 개시 타이밍 간의 차이를 취득하도록 구성된 취득 유닛을 포함하는, X-선 촬영 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 검출 소자를 일정한 속도로 주사하도록 순차적으로 동작시키고, 각각의 상기 검출 소자로부터 판독된 화상 신호를 화소값으로 변환함으로써, 화상을 생성하도록 구성된 생성 유닛을 더 포함하고,
상기 취득 유닛은, 생성된 상기 화상을 해석함으로써, 상기 X-선 발생 장치에의 동작 신호의 입력의 타이밍에 대한 상기 X-선 발생 장치로부터의 X-선 출력에 연관된 동작의 지연 시간을 상기 차이로서 취득하는, X-선 촬영 장치.
제2항에 있어서,
상기 취득 유닛은, 상기 화상에 있어서 화소값의 변화가 존재하는 영역과 화소값의 변화가 존재하지 않는 영역 간의 경계의 위치와, 상기 주사 속도에 기초하여 상기 지연 시간을 취득하는, X-선 촬영 장치.
제3항에 있어서,
상기 취득 유닛은, 상기 동작 신호의 입력의 타이밍에 주사되도록 동작하는 상기 검출 소자와 상기 경계 사이의 거리를, 상기 주사 속도로 주사하는 데 필요한 시간을 상기 지연 시간으로서 취득하는, X-선 촬영 장치.
제1항에 있어서,
상기 취득 유닛은, 상기 동작 지시가 발행되는 순간과 상기 X-선 발생 장치가 실제로 X-선 출력을 개시하는 순간 사이의 차이와, 상기 동작 지시가 발행되는 순간과 상기 X-선 발생 장치가 실제로 X-선 출력을 정지시키는 순간 사이의 차이를 취득하는, X-선 촬영 장치.
제2항에 있어서,
상기 취득 유닛은, 상기 생성 유닛이 생성한 화상과, X-선이 출력되지 않을 때 촬영된 화상에 기초한 차이 화상을 해석함으로써, 상기 지연 시간을 취득하는, X-선 촬영 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 검출 소자를 일정한 속도로 주사하도록 순차적으로 동작시키고, 각각의 상기 검출 소자로부터 화상 신호를 판독하도록 구성된 판독 유닛을 더 포함하고,
상기 판독 유닛은,
미리 정해진 시간 간격으로 미리 정해진 판독 기간에 상기 화상 신호를 판독하고,
1회의 X-선 노광의 개시부터 상기 X-선 노광의 종료까지의 시간 간격이 상기 판독 기간 내에 있지 않을 경우, 상기 판독 기간을 연장하여 상기 화상 신호를 판독하는, X-선 촬영 장치.
제1항에 있어서,
상기 복수의 검출 소자를 일정한 속도로 주사하도록 순차적으로 동작시키고, 각각의 상기 검출 소자로부터 전하를 판독하도록 구성된 판독 유닛을 더 포함하고,
상기 판독 유닛은,
미리 정해진 시간 간격으로 미리 정해진 판독 기간에 상기 전하를 판독하고,
1회의 X-선 노광의 개시부터 상기 X-선 노광의 종료까지의 시간 간격이 상기 판독 기간 내에 있지 않을 경우, 상기 판독 기간을 연장하여 상기 전하를 판독하는, X-선 촬영 장치.
제1항에 있어서,
상기 취득된 차이에 기초하여 상기 촬영 유닛의 축적 개시 타이밍을 제어하도록 구성된 제어 유닛을 더 포함하는, X-선 촬영 장치.
X-선 화상을 취득하는 X-선 촬영 장치에 의한, X-선 노광의 지연 시간의 측정 방법이며,
X-선 발생 장치가 동작 신호에 따라 X-선 출력 상태를 변경하도록 하는 단계,
X-선을 화상 신호로 변환하도록 구성된 촬영 유닛으로부터 화상 신호를 순차적으로 판독하는 단계, 및
상기 화상 신호를 해석함으로써, 상기 동작 신호에 대한 상기 X-선 발생 장치의 동작의 지연을 측정하는 단계를 포함하는, 측정 방법.