KR102539812B1

KR102539812B1 - 드레싱 보드, 그 사용 방법 및 절삭 장치

Info

Publication number: KR102539812B1
Application number: KR1020180095341A
Authority: KR
Inventors: 가즈마 세키야
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2017-08-22
Filing date: 2018-08-16
Publication date: 2023-06-02
Anticipated expiration: 2038-08-16
Also published as: CN109420980B; JP2019038045A; US20190061093A1; CN109420980A; KR20190021165A; US11850696B2; JP6957096B2; US20230001536A1

Abstract

(과제) 드레싱 보드가 절삭 블레이드에 의해 절삭되어도 드레싱 보드에 관한 정보를 취득한다.
(해결 수단) 절삭 블레이드를 드레싱할 때에 사용되는 드레싱 보드로서, 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 포함하는 2 차원 코드와, 그 성질에 관한 정보에 관련지어지는 식별 정보를 포함하는 바코드를 표면에 갖는다. 그 성질에 관한 정보는, 그 드레싱 보드의 지립, 그 드레싱 보드의 본드재, 그 드레싱 보드의 크기 또는 대응하는 그 절삭 블레이드의 품종에 관한 정보를 포함한다. 식별 정보에 기초하여 정보 등록부로부터 판독 출력된 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드의 성질이, 지정부에 등록된 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 판정부를 구비하는 절삭 장치.

Description

드레싱 보드, 그 사용 방법 및 절삭 장치{DRESSING BOARD, METHOD OF USING THE SAME AND CUTTING APPARATUS}

본 발명은, 절삭 블레이드를 드레싱할 때에 사용되는 드레싱 보드와, 그 드레싱 보드의 사용 방법과, 절삭 유닛을 구비하는 절삭 장치에 관한 것이다.

디바이스 칩의 제조 프로세스에 있어서는, 웨이퍼의 표면에 스트리트로 불리는 격자상의 분할 예정 라인이 설정되고, 그 분할 예정 라인에 의해 구획되는 각 영역에 디바이스가 형성된다. 이것들의 웨이퍼는 분할 예정 라인을 따라 절삭되면 개개의 디바이스 칩이 형성된다.

그 웨이퍼에는, 실리콘, 갈륨비소 등으로 형성된 반도체 디바이스용 웨이퍼나 사파이어, SiC (실리콘 카바이드) 등으로 형성된 광 디바이스용 웨이퍼, 수지나 금속을 포함하는 패키지 기판, 세라믹스 기판, 유리 기판 등이 있다.

절삭은, 예를 들어, 원환상의 절삭 블레이드를 포함하는 절삭 유닛을 구비하는 절삭 장치에 의해 실시된다. 절삭 유닛은, 회전의 축이 되는 원기둥상의 스핀들을 갖고, 절삭 블레이드는 그 스핀들의 선단에 장착된다. 그 절삭 블레이드는, 피가공물의 종별이나 가공 내용에 따라 적절한 것이 선택된다. 그 스핀들을 회전시킴으로써 절삭 블레이드를 회전시키고, 회전하는 절삭 블레이드를 피가공물에 접촉시키면 피가공물이 절삭된다.

그 절삭 블레이드는, 지립과, 그 지립을 유지하는 본드재를 포함하는 절삭 지석을 갖는다. 그 본드재로부터 적당히 지립이 노출되어 있는 상태에서는, 피가공물에 지립이 접촉하므로, 적절히 피가공물을 절삭할 수 있다. 그러나, 미사용의 절삭 블레이드나, 소모되어 절삭 능력이 저하된 절삭 블레이드에서는, 본드재에 지립이 매립되어 있거나, 또는 지립이 본드재로부터 탈락되어 있거나 하여, 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 아닌 경우가 많다.

그래서, 드레싱으로 불리는 처리에 의해 그 절삭 블레이드를 조정한다. 드레싱은, 절삭 블레이드에 드레싱 보드를 절삭시킴으로써 실시된다. 드레싱 보드를 절삭하면, 절삭 블레이드는 적절히 소모되어, 지립이 본드재로부터 적당히 노출된다.

또, 미사용의 절삭 블레이드를 절삭 유닛에 장착하면, 회전축으로부터 절삭 블레이드의 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일해지지 않는 경우가 있다. 이와 같은 절삭 블레이드를 드레싱하면, 회전축으로부터의 거리가 작은 부분에 비해 회전축으로부터의 거리가 큰 부분이 격렬하게 소모되고, 회전축으로부터 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일해져, 절삭 블레이드가 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 된다.

이와 같이, 본드재로부터 적당히 지립을 노출시키고 (날 세움이라고도 불린다), 또, 회전축으로부터 외주까지의 거리를 균일하게 할 (진원 (眞圓) 형성이라고도 불린다) 목적을 위해서, 절삭 블레이드의 드레싱이 실시된다. 드레싱 보드에는 여러 가지 종류가 존재하고, 절삭 블레이드의 종류나 드레싱이 목적에 따라, 적절한 종류의 드레싱 보드가 사용된다. 드레싱을 적절히 또한 효율적으로 실시하기 위해서, 여러 가지 드레싱 보드 및 절삭 장치가 개발되고 있다 (특허문헌 1 내지 3 참조).

절삭 블레이드를 드레싱할 때에 적절하지 않는 종류의 드레싱 보드를 잘못하여 사용하면, 절삭 블레이드에 파손을 일으키거나 날 세움이 악화되거나 하는 경우가 있다. 그래서, 드레싱 보드의 오사용을 방지하기 위해서, 드레싱 보드의 표면에 그 드레싱 보드에 관한 정보가 격납된 바코드 (1 차원 코드) 를 인쇄하는 기술이 제안되어 있다 (특허문헌 4 참조). 드레싱 보드가 사용될 때에는, 절삭 장치에 의해 그 바코드가 판독되어 그 정보가 확인된다.

일본 공개특허공보 2006-218571호 일본 공개특허공보 2011-11280호 일본 공개특허공보 2011-16175호 일본 공개특허공보 2012-66328호

그러나, 바코드는 격납할 수 있는 정보량이 적어, 바코드에 격납할 수 있는 그 드레싱 보드에 관한 정보가 한정된다. 그래서, 격납할 수 있는 정보량이 비교적 많은 2 차원 코드를 바코드 대신에 드레싱 보드에 배치 형성하는 것이 생각된다.

드레싱 보드의 전체면을 남김없이 드레싱용으로 절삭할 수 있는 영역으로 하면, 드레싱 보드를 효율적으로 사용할 수 있다. 그러나, 2 차원 코드가 배치 형성되어 있는 영역이 절삭 블레이드에 의해 일부라도 절삭되면, 그 2 차원 코드는 판독 불능이 된다. 그 때문에, 그 드레싱 보드의 사용을 한 동안 중지하고 절삭 장치로부터 떼어내고, 그 후 다시 사용하고자 하는 때에, 그 2 차원 코드로부터 그 드레싱 보드에 관한 정보를 확인할 수 없게 되는 경우가 있다.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 절삭 블레이드에 의해 절삭되어도 드레싱 보드에 관한 정보를 취득 가능한 드레싱 보드, 그 드레싱 보드의 사용 방법 및 절삭 장치를 제공하는 데에 있다.

본 발명의 일 양태에 의하면, 절삭 블레이드를 드레싱할 때에 사용되는 드레싱 보드로서, 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 포함하는 2 차원 코드와, 그 성질에 관한 정보에 관련지어지는 식별 정보를 포함하는 바코드를 표면에 갖는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드가 제공된다. 본 발명의 일 양태에 있어서, 성질에 관한 정보는, 그 드레싱 보드의 지립, 그 드레싱 보드의 본드재, 그 드레싱 보드의 크기 또는 대응하는 그 절삭 블레이드의 품종에 관한 정보를 포함해도 된다.

또, 그 드레싱 보드의 사용 방법으로서, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하는 절삭 유닛과, 정보 등록부를 포함하고 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하는 절삭 장치를 사용하고, 그 드레싱 보드를 그 절삭 장치 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝과, 그 배치 형성 스텝에서 배치 형성된 그 드레싱 보드의 그 바코드를 그 촬상 유닛으로 촬영하고, 그 바코드로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝과, 그 식별 정보가 그 정보 등록부에 이미 등록되어 있는지의 여부를 판정하고, 그 식별 정보가 그 정보 등록부에 등록되어 있지 않은 경우에 그 2 차원 코드로부터 그 성질에 관한 정보를 판독하고, 그 성질에 관한 정보를 그 식별 정보에 관련지어 그 정보 등록부에 등록하는 정보 등록 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드의 사용 방법도 또한 본 발명의 일 양태이다.

또한 그 드레싱 보드의 사용 방법으로서, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하는 절삭 유닛과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하고, 그 제어 유닛은, 그 드레싱 보드가 갖는 그 바코드에 포함되는 식별 정보와, 그 2 차원 코드에 포함되는 그 성질에 관한 정보가 관련지어져 미리 등록된 정보 등록부와, 그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류가 등록된 지정부를 구비하는 절삭 장치를 사용하고, 그 드레싱 보드를 그 절삭 장치 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝과, 그 배치 형성 스텝에서 배치 형성된 그 드레싱 보드의 그 바코드를 그 촬상 유닛으로 촬영하고, 그 바코드로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝과, 그 식별 정보 판독 스텝에서 판독된 그 식별 정보에 관련지어진 그 성질에 관한 정보를 그 정보 등록부로부터 판독 출력하고, 그 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드의 성질이 그 지정부에 등록된 그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 판정 스텝과, 그 드레싱 보드의 성질이 그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞지 않는 경우에 그 드레싱 보드가 부적합하다는 것을 알리는 알림 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드의 사용 방법도 또한 본 발명의 일 양태이다.

또, 본 발명의 다른 일 양태에 의하면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 제 1 절삭 블레이드로 절삭하는 제 1 절삭 유닛과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하는 절삭 장치로서, 그 제어 유닛은, 그 촬상 유닛에 접속되고, 그 절삭 장치에 배치 형성된 드레싱 보드가 갖는 바코드 및 2 차원 코드를 판독하는 판독부와, 그 판독부에 의해 그 바코드로부터 판독된 식별 정보와, 그 2 차원 코드로부터 판독된 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보가 관련지어져 등록되는 정보 등록부와, 그 제 1 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류가 등록되는 지정부와, 그 판독부로 판독된 그 식별 정보에 기초하여 그 정보 등록부로부터 판독 출력된 그 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드의 성질이, 그 지정부에 등록된 그 제 1 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.

본 발명의 다른 일 양태에 있어서, 그 절삭 장치는, 그 드레싱 보드를 유지하는 제 1 드레스 테이블을 구비해도 된다. 또, 그 절삭 장치는, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 제 2 절삭 블레이드로 절삭하는 제 2 절삭 유닛과, 그 제 2 절삭 블레이드를 드레싱할 때에 사용되는 제 2 드레싱 보드를 유지하는 제 2 드레스 테이블을 추가로 구비해도 된다.

본 발명의 일 양태에 관련된 드레싱 보드에는, 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 포함하는 2 차원 코드와, 그 성질에 관한 정보에 관련지어지는 식별 정보를 포함하는 바코드가 표면에 배치 형성되어 있다. 그 때문에, 촬상 유닛 등으로 그 드레싱 보드를 촬상함으로써, 그 바코드로부터 그 식별 정보를, 그 2 차원 코드로부터 그 성질에 관한 정보를, 취득할 수 있다. 그 절삭 장치의 제어 유닛에는, 그 성질에 관한 정보를 그 식별 정보에 관련지어 등록할 수 있다.

그 드레싱 보드를 사용한 드레싱이 실시되고, 그 2 차원 코드가 일부라도 절삭되면, 그 2 차원 코드로부터 그 성질에 관한 정보를 판독할 수 없게 된다. 그 때문에, 한 동안 그 드레싱 보드를 그 절삭 장치로부터 떼어내고, 그 드레싱 보드를 다시 사용할 때에 그 2 차원 코드를 판독하고자 해도, 그 2 차원 코드를 판독할 수 없는 경우가 있다.

그러나, 식별 정보는, 절삭에 의해 형성된 절삭 홈 중, 2 개의 인접하는 절삭 홈 사이의 표면에 남겨진 바코드로부터 판독할 수 있다. 그 때문에, 절삭 장치에, 2 차원 코드에 격납된 그 성질에 관한 정보가 식별 정보에 관련지어져 미리 등록되어 있으면, 그 식별 정보로부터 그 성질에 관한 정보를 인출할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명에 의해 절삭 블레이드에 의해 절삭되어도 드레싱 보드에 관한 정보를 취득 가능한 드레싱 보드, 그 드레싱 보드의 사용 방법 및 절삭 장치가 제공된다.

도 1 은 드레싱 보드를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 절삭 장치를 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 3 은 절삭 장치의 절삭 유닛, 척 테이블, 드레스 테이블, 촬상 카메라의 위치 관계를 설명하는 측면도이다.
도 4(A) 는 드레싱 보드의 식별 정보와, 성질에 관한 정보를 관련지어 정보 등록부에 등록하는 방법을 설명하는 플로 차트이고, 도 4(B) 는 드레싱 보드의 성질이 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한지의 여부를 판정하는 방법을 설명하는 플로 차트이다.
도 5(A) 는 드레싱 보드를 사용한 절삭 블레이드의 드레싱을 모식적으로 나타내는 상면도이고, 도 5(B) 는 드레싱에 사용된 드레싱 보드를 모식적으로 나타내는 상면도이다.
도 6 은 제어 유닛의 구성과 각종 정보를 모식적으로 설명하는 블록도이다.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 관련된 실시형태에 대해 설명한다. 본 발명의 그 실시형태는, 드레싱 보드, 그 사용 방법 및 절삭 장치이다. 도 1 은 본 실시형태에 관련된 드레싱 보드를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 1 에 나타내는 바와 같이 드레싱 보드 (1) 의 표면에는, 바코드 (3) 및 2 차원 코드 (5) 가 배치 형성되어 있다.

그 드레싱 보드 (1) 는, 절삭 장치에 장착된 절삭 블레이드의 드레싱에 사용된다. 그 절삭 블레이드는, 지립과, 그 지립을 유지하는 본드재 (결합재) 를 포함하는 절삭 지석을 갖는다. 그 본드재로부터 적당히 지립이 노출되어 있는 상태에서는, 피가공물에 지립을 접촉할 수 있으므로, 적절히 피가공물을 절삭할 수 있다. 그러나, 미사용의 절삭 블레이드나, 소모되어 절삭 능력이 저하된 절삭 블레이드에서는, 본드재에 지립이 매립되어 있거나, 또는 지립이 본드재로부터 탈락되어 있거나 하여, 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 아닌 경우가 많다.

그래서, 그 절삭 블레이드에 그 드레싱 보드를 절삭시키는 드레싱으로 불리는 처리에 의해 그 절삭 블레이드를 조정한다. 드레싱 보드를 절삭하면, 절삭 블레이드는 적절히 소모되고, 지립이 본드재로부터 적당히 노출되어, 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 된다.

또, 미사용의 절삭 블레이드를 절삭 유닛에 장착하면, 회전축으로부터 절삭 블레이드의 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일해지지 않는 경우가 있다. 이와 같은 절삭 블레이드를 드레싱하면, 회전축으로부터의 거리가 비교적 작은 부분보다 그 회전축으로부터의 거리가 비교적 큰 부분이 격렬하게 소모되고, 회전축으로부터 외주까지의 거리가 전체 둘레에서 균일해져, 절삭 블레이드가 적절한 절삭을 실시할 수 있는 상태가 된다.

이와 같이, 본드재로부터 적당히 지립을 노출시키고 (날 세움이라고도 불린다), 또, 회전축으로부터 외주까지의 거리를 균일하게 할 (진원 형성이라고도 불린다) 목적을 위해서, 절삭 블레이드의 드레싱이 실시된다. 드레싱 보드도 또한 본드재와 지립을 포함한다. 드레싱 보드에는 여러 가지 종류가 존재하고, 드레싱의 대상이 되는 절삭 블레이드의 종류나 드레싱이 목적에 따라 적절한 종류의 드레싱 보드가 사용된다.

예를 들어, 그 본드재는, 수지나 세라믹스 등이며, 그 지립은, 그린 카보런덤이나 화이트 알런덤 등이다. 그 지립의 사이즈는, 대표적으로는, ＃200 ∼ ＃2000 이다. 본드재가 단단한 절삭 블레이드나 지립이 큰 절삭 블레이드에는, 본드재가 단단한 드레싱 보드나 지립이 큰 드레싱 보드를 사용한다. 또, 본드재가 부드러운 절삭 블레이드나 지립이 작은 절삭 블레이드에는, 본드재가 부드러운 드레싱 보드나 지립이 작은 드레싱 보드를 사용한다.

본 실시형태에 관련된 드레싱 보드 (1) 에는, 바코드 (3) 및 2 차원 코드 (5) 가 배치 형성되어 있다. 그 바코드 (3) 에는, 그 드레싱 보드 (1) 의 식별 정보가 격납되어 있다. 그 식별 정보란, 예를 들어, 그 드레싱 보드 (1) 의 제조 번호 등의 고유의 번호이다. 일반적으로 바코드에 격납할 수 있는 정보량은 비교적 적고, 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 모두 격납할 수 없다. 그래서, 그 드레싱 보드 (1) 에는, 그 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보가 격납된 2 차원 코드 (5) 가 배치 형성되어 있다.

그 2 차원 코드 (5) 에 격납되는 정보는, 예를 들어, 그 드레싱 보드 (1) 의 제품 번호, 제조 번호, 제조 연월일, 사용 기한, 사이즈 (종횡의 길이, 두께), 그 드레싱 보드 (1) 에 포함되는 본드재 (결합재) 나 지립의 종류 등이다 (도 6 참조). 또, 그 드레싱 보드 (1) 로 드레싱하는 데에 적합한 절삭 블레이드의 종류에 관한 정보가 격납되어 있어도 된다.

다음으로, 그 드레싱 보드 (1) 가 사용되는 본 실시형태에 관련된 절삭 장치에 대해 설명한다. 도 2 는 그 절삭 장치 (2) 를 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 2 에 나타내는 바와 같이, 절삭 장치 (2) 는, 각 구조를 지지하는 기대 (4) 를 구비하고 있다.

기대 (4) 의 전방의 모서리부에는, 사각형의 개구 (4a) 가 형성되어 있고, 이 개구 (4a) 내에는, 승강하는 카세트 지지대 (6) 가 형성되어 있다. 카세트 지지대 (6) 의 상면에는, 복수의 피가공물 (11) 을 수용하는 카세트 (8) 가 실린다. 또한, 도 2 에서는, 설명의 편의상, 카세트 (8) 의 윤곽만을 나타내고 있다.

피가공물 (11) 은, 예를 들어, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원형의 웨이퍼이고, 그 표면측은, 중앙의 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역으로 나누어진다. 디바이스 영역 (15) 은, 격자상으로 배열된 분할 예정 라인 (스트리트) 에 의해 더욱 복수의 영역으로 구획되어 있고, 각 영역에는, IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다.

피가공물 (11) 의 이면측에는, 피가공물 (11) 보다 직경이 큰 다이싱 테이프 (17) 가 첩부되어 있다. 다이싱 테이프 (17) 의 외주 부분은, 환상의 프레임 (19) 에 고정되어 있다. 즉, 피가공물 (11) 은, 다이싱 테이프 (17) 를 개재하여 프레임 (19) 에 지지되어 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어지는 원형의 웨이퍼를 피가공물 (11) 로 하고 있지만, 피가공물 (11) 의 재질, 형상, 구조 등에 제한은 없다. 예를 들어, 세라믹스, 수지, 금속 등의 재료로 이루어지는 사각형의 기판을 피가공물 (11) 로서 사용할 수도 있다. 디바이스의 종류, 수량, 배치 등에도 제한은 없다.

카세트 지지대 (6) 의 측방에는, X 축 방향 (전후 방향, 가공 이송 방향) 으로 긴 사각형의 개구 (4b) 가 형성되어 있다. 이 개구 (4b) 내에는, X 축 이동 테이블 (10), X 축 이동 테이블 (10) 을 X 축 방향으로 이동시키는 X 축 이동 기구 (도시 생략) 및 X 축 이동 기구를 덮는 방진 방적 커버 (12) 가 형성되어 있다.

X 축 이동 기구는, X 축 방향에 평행한 1 쌍의 X 축 가이드 레일 (도시 생략) 을 구비하고 있고, X 축 가이드 레일에는, X 축 이동 테이블 (10) 이 슬라이드 가능하게 장착되어 있다. X 축 이동 테이블 (10) 의 하면측에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, X 축 가이드 레일에 평행한 X 축 볼 나사 (도시 생략) 가 나사 결합되어 있다.

X 축 볼 나사의 일단부에는, X 축 펄스 모터 (도시 생략) 가 연결되어 있다. X 축 펄스 모터로 X 축 볼 나사를 회전시킴으로써, X 축 이동 테이블 (10) 은, X 축 가이드 레일을 따라 X 축 방향으로 이동한다.

X 축 이동 테이블 (10) 의 상방에는, 피가공물 (11) 을 유지하기 위한 척 테이블 (14) 이 형성되어 있다. 척 테이블 (14) 의 주위에는, 피가공물 (11) 을 지지하는 환상의 프레임 (19) 을 사방으로부터 고정시키기 위한 4 개의 클램프 (16) 가 배치되어 있다.

척 테이블 (14) 은, 모터 등의 회전 구동원 (도시 생략) 에 연결되어 있고, Z 축 방향 (연직 방향) 에 대체로 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 또, 척 테이블 (14) 은, 상기 서술한 X 축 이동 기구로 X 축 방향으로 가공 이송된다.

척 테이블 (14) 의 상면은, 피가공물 (11) 을 유지하는 유지면 (14a) 으로 되어 있다. 이 유지면 (14a) 은, 척 테이블 (14) 의 내부에 형성된 흡인로 등을 통해서 흡인원 (도시 생략) 에 접속되어 있다.

개구 (4b) 에 근접하는 위치에는, 상기 서술한 피가공물 (11) 을 척 테이블 (14) 에 반송하는 반송 유닛 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 반송 유닛으로 반송된 피가공물 (11) 은, 예를 들어, 표면측이 상방으로 노출되도록 척 테이블 (14) 의 유지면 (14a) 에 실린다.

기대 (4) 의 상면에는, 2 세트의 절삭 유닛 (22) 을 지지하기 위한 문형의 지지 구조 (24) 가, 개구 (4b) 에 걸치도록 배치되어 있다. 지지 구조 (24) 의 전면 (前面) 상부에는, 각 절삭 유닛 (22) 을 Y 축 방향 (좌우 방향, 산출 이송 방향) 및 Z 축 방향으로 이동시키는 2 세트의 절삭 유닛 이동 기구 (26) 가 형성되어 있다.

각 절삭 유닛 이동 기구 (26) 는, 지지 구조 (24) 의 전면에 배치되고, Y 축 방향에 평행한 1 쌍의 Y 축 가이드 레일 (28) 을 공통으로 구비하고 있다. Y 축 가이드 레일 (28) 에는, 각 절삭 유닛 이동 기구 (26) 를 구성하는 Y 축 이동 플레이트 (30) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.

각 Y 축 이동 플레이트 (30) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Y 축 가이드 레일 (28) 에 평행한 Y 축 볼 나사 (32) 가 각각 나사 결합되어 있다. 각 Y 축 볼 나사 (32) 의 일단부에는, Y 축 펄스 모터 (34) 가 연결되어 있다. Y 축 펄스 모터 (34) 로 Y 축 볼 나사 (32) 를 회전시키면, Y 축 이동 플레이트 (30) 는, Y 축 가이드 레일 (28) 을 따라 Y 축 방향으로 이동한다.

각 Y 축 이동 플레이트 (30) 의 표면 (전면) 에는, Z 축 방향에 평행한 1 쌍의 Z 축 가이드 레일 (36) 이 형성되어 있다. Z 축 가이드 레일 (36) 에는, Z 축 이동 플레이트 (38) 가 슬라이드 가능하게 장착되어 있다.

각 Z 축 이동 플레이트 (38) 의 이면측 (후면측) 에는, 너트부 (도시 생략) 가 형성되어 있고, 이 너트부에는, Z 축 가이드 레일 (36) 에 평행한 Z 축 볼 나사 (40) 가 각각 나사 결합되어 있다. 각 Z 축 볼 나사 (40) 의 일단부에는, Z 축 펄스 모터 (42) 가 연결되어 있다. Z 축 펄스 모터 (42) 로 Z 축 볼 나사 (40) 를 회전시키면, Z 축 이동 플레이트 (38) 는, Z 축 가이드 레일 (36) 을 따라 Z 축 방향으로 이동한다.

각 Z 축 이동 플레이트 (38) 의 하부에는, 절삭 유닛 (22) 이 형성되어 있다. 이 절삭 유닛 (22) 은, 회전축이 되는 스핀들 (44) (도 5(A) 참조) 의 일단측에 장착된 원환상의 절삭 블레이드 (46) (도 3, 도 5(A) 참조) 를 구비하고 있다. 또, 절삭 유닛 (22) 에 인접하는 위치에는, 피가공물 (11) 등을 촬상하는 촬상 카메라 (촬상 유닛) (48) 가 형성되어 있다.

각 절삭 유닛 이동 기구 (26) 로 Y 축 이동 플레이트 (30) 를 Y 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (22) 및 촬상 카메라 (48) 는, Y 축 방향으로 산출 이송된다. 또, 각 절삭 유닛 이동 기구 (26) 로 Z 축 이동 플레이트 (38) 를 Z 축 방향으로 이동시키면, 절삭 유닛 (22) 및 촬상 카메라 (48) 는 승강한다.

개구 (4b) 에 대해 개구 (4a) 와 반대측의 위치에는, 원형의 개구 (4c) 가 형성되어 있다. 개구 (4c) 내에는, 절삭 후의 피가공물 (11) 등을 세정하기 위한 세정 유닛 (50) 이 형성되어 있다. X 축 이동 기구, 척 테이블 (14), 절삭 유닛 (22), 절삭 유닛 이동 기구 (26), 촬상 카메라 (48), 세정 유닛 (50) 등의 구성 요소에는, 제어 유닛 (제어 수단) (52) 이 접속되어 있다. 각 구성 요소는, 이 제어 유닛 (제어 수단) (52) 에 의해 제어된다.

또, 본 실시형태에 관련된 절삭 장치 (2) 의 X 축 이동 테이블 (10) 에는, 2 개의 드레스 테이블 (54) 이 형성되어 있다. 도 3 은 절삭 장치 (2) 의 절삭 유닛 (22), 척 테이블 (14), 드레스 테이블 (54), 촬상 카메라 (48) 의 위치 관계를 설명하는 측면도이다.

도 3 에는 드레싱 보드 (1) 를 촬상하는 위치에 위치된 상태의 촬상 카메라 (48) 와, 피가공물 (11) 을 절삭 가공하는 위치에 위치된 상태의 절삭 블레이드 (46) 를 동시에 나타낸다. 단, 도 1 에 나타내는 절삭 장치 (2) 의 구성상, 촬상 카메라 (48) 와 절삭 블레이드 (46) 를 동시에 각각 이와 같이 위치시킬 수 없다. 도 3 에는 설명의 편의상 각각 이와 같이 위치된 상태로 표시한다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 드레스 테이블 (54) 은, X 축 이동 테이블 (10) 의 척 테이블 (14) 의 후단측에 배치되어 있다. 그 드레스 테이블 (54) 은, X 축 이동 테이블 (10) 의 후단측 상면에 고정되어 있다.

드레스 테이블 (54) 의 상면은, 드레싱 보드 (1) 를 유지하는 유지면 (54a) 이다. 유지면 (54a) 에는, 예를 들어, 평면에서 봤을 때 십자형 (크로스형) 의 흡인 홈이 형성되어 있고, 십자 (크로스) 의 중심에는 흡인공이 형성되어 있다. 그 흡인공은, 드레스 테이블 (54) 의 내부의 흡인로 (도시 생략) 를 거쳐, 도시되지 않은 흡인원에 통과하고 있다. 드레스 테이블 (54) 의 유지면 (54a) 에 드레싱 보드 (1) 가 재치 (載置) 되어 있는 상태로 그 흡인원을 작동시키면, 드레싱 보드 (1) 가 유지면 (54a) 상에 흡인 유지된다.

또한, 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱은, 척 테이블 (14) 의 유지면 (14a) 상에 드레싱 보드 (1) 를 유지하고, 그 척 테이블 (14) 상에서 실시해도 된다. 이 경우, 피가공물 (11) 을 절삭 가공할 때에는 척 테이블 (14) 에 유지된 드레싱 보드 (1) 를 떼어내고, 대신에 피가공물 (11) 을 유지시킬 필요가 있다.

또, 드레스 테이블 (54) 은, X 축 이동 테이블 (10) 의 척 테이블 (14) 의 후단측에 배치된다. 드레스 테이블 (54) 이, 척 테이블 (14) 의 전단측에 배치되어 있으면, 드레싱 보드 (1) 로부터 발생하는 절삭 부스러기가 척 테이블 (14) 상에 비산되어, 척 테이블 (14) 이 오염된다.

촬상 카메라 (48) 는, 척 테이블 (14) 에 유지된 피가공물 (11) 이 절삭 가공될 때에, 피가공물 (11) 을 촬상하여 절삭하는 위치를 산출할 때에 사용하는 키 패턴이나 절삭 예정 라인을 확인하는 데에 사용된다. 또, 촬상 카메라 (48) 는, 드레스 테이블 (54) 의 상방으로 이동할 수 있어, 유지면 (54a) 에 유지된 드레싱 보드 (1) 를 촬상할 수 있다. 촬상하여 얻어진 화상 데이터는 절삭 장치 (2) 의 제어 유닛 (52) 의 판독부 (52b) 에 보내진다.

다음으로, 절삭 장치 (2) 의 제어 유닛 (52) 의 구성 요소에 대해 도 2 를 사용하여 설명하고, 또한 각각의 기능에 대해 설명한다. 또한, 제어 유닛 (52) 은, 예를 들어, 절삭 장치 (2) 의 관리 장치이고, 제어 유닛 (52) 의 이하에 설명하는 각 구성 요소와 그 기능은, 그 관리 장치에 프로그램으로서 실현되어도 된다.

제어 유닛 (52) 은, 판독부 (52b) 를 갖고, 그 판독부 (52b) 는, 그 촬상 카메라 (48) 로부터 수신한 촬상 화상에 찍히는 바코드 (3) 및 2 차원 코드 (5) 를 판독한다. 그리고, 그 바코드 (3) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 식별 정보를 취득하고, 그 2 차원 코드 (5) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 취득한다. 그 판독부 (52b) 는, 취득한 정보를 정보 등록부 (52a) 및 판정부 (52c) 에 보내는 기능을 갖는다.

또, 드레싱 보드 (1) 의 2 차원 코드 (5) 가 손상 등에 의해 판독할 수 없는 경우, 정보 등록부 (52a) 에 2 차원 코드 (5) 를 판독할 수 없는 것을 나타내는 신호와, 바코드 (3) 으로부터 취득된 식별 정보를 정보 등록부 (52a) 에 보내는 기능을 갖는다.

정보 등록부 (52a) 에는, 드레싱 보드 (1) 의 그 식별 정보와, 그 성질에 관한 정보가 관련지어져 등록된다. 그 정보 등록부 (52a) 는, 그 2 차원 코드 (5) 를 판독할 수 없는 것을 나타내는 신호와, 그 식별 정보를 받았을 때에, 그 식별 정보에 관련지어져 있는 성질에 관한 정보를 판정부 (52c) 에 보내는 기능을 갖는다.

지정부 (52d) 에는, 절삭 장치 (2) 에 장착되어 있는 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드 (1) 의 종류에 관한 정보가 등록된다. 그 정보는, 예를 들어, 그 절삭 장치 (2) 에 그 절삭 블레이드 (46) 를 장착한 작업자가 입력한다. 그 지정부 (52d) 는, 판정부 (52c) 의 요구에 따라 그 정보를 그 판정부 (52c) 에 보내는 기능을 갖는다.

또한, 그 지정부 (52d) 에는, 미리 여러 가지 종류의 절삭 블레이드 (46) 에 대해 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드 (1) 의 종류에 관한 정보가 등록되어 있어도 된다. 그 경우, 예를 들어, 그 작업자가 그 절삭 블레이드 (46) 의 종류를 그 지정부 (52d) 에 미리 등록하고, 그 지정부 (52d) 에서는, 등록된 종류의 그 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 관한 정보를 그 판정부 (52c) 에 송신해도 된다.

그 판정부 (52c) 는, 절삭 장치 (2) 내에 배치 형성된 드레싱 보드 (1) 가 그 절삭 장치 (2) 에 장착된 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 기능을 갖는다. 그 판정부 (52c) 는, 그 드레싱 보드 (1) 의 종류에 관한 정보를 받았을 때, 그 지정부 (52d) 로부터 그 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱에 적합한 드레싱 보드의 종류에 관한 정보를 얻어, 그 판정을 실시한다.

또한, 절삭 장치 (2) 에서는, 2 개의 절삭 유닛 (22) 에 장착된 각각의 제 1 및 제 2 절삭 블레이드 (46) 에 대해 독립적으로 드레싱을 실시할 수 있는 구성으로 해도 된다. 예를 들어, 절삭 장치 (2) 는, 제 1 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 제 1 드레싱 보드 (1) 를 유지하는 제 1 드레스 테이블과, 제 2 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 제 2 드레싱 보드 (1) 를 유지하는 제 2 드레스 테이블을 구비해도 된다.

다음으로, 그 절삭 장치 (2) 를 사용한 그 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법에 대해 설명한다. 그 드레싱 보드 (1) 를 사용하면, 식별 정보와, 성질에 관한 정보를 관련지어 절삭 장치 (2) 에 등록할 수 있다. 또, 그 드레싱 보드 (1) 를 사용하면, 그 식별 정보로부터 그 성질에 관한 정보를 취득하여, 절삭 블레이드의 드레싱의 가부를 판정할 수 있다.

먼저, 그 식별 정보와, 그 성질에 관한 정보를 관련지어 절삭 장치 (2) 의 제어 유닛 (52) 에 등록하는 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법에 대해 설명한다. 도 4(A) 는, 그 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법을 설명하는 플로 차트이다. 그 사용 방법에서는, 먼저, 그 드레싱 보드 (1) 를 절삭 장치 (2) 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝을 실시한다. 드레싱 보드 (1) 는, 절삭 장치 (2) 의 드레스 테이블 (54) (도 2 참조), 또는 척 테이블 (14) (도 2 참조) 상에 배치 형성된다.

다음으로, 그 드레싱 보드 (1) 의 그 바코드 (3) 를 그 촬상 카메라 (촬상 유닛) (48) 로 촬영하고, 그 바코드 (3) 로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝을 실시한다. 그 스텝에서는, 그 촬상 카메라 (48) 의 하방에 그 드레싱 보드 (1) 를 위치시키고, 그 촬상 카메라 (48) 에 그 드레싱 보드 (1) 를 촬상시킨다. 얻어진 촬상 화상은, 제어 유닛 (52) 의 판독부 (52b) 에 보내진다. 그 판독부 (52b) 에서는, 그 촬상 화상에 찍히는 바코드 (3) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 식별 정보를 취득한다.

다음으로, 그 성질에 관한 정보를 식별 정보에 관련지어 그 정보 등록부 (52a) 에 등록하는 정보 등록 스텝을 실시한다. 그 정보 등록 스텝에서는, 그 정보 등록부 (52a) 에 대한 중복된 등록을 방지하기 위해서, 먼저, 바코드 (3) 로부터 취득된 그 식별 정보가 그 정보 등록부 (52a) 에 이미 등록되어 있는지의 여부를 판정한다.

그 식별 정보가 그 정보 등록부 (52a) 에 등록되어 있지 않은 경우에, 그 촬상 화상에 찍히는 2 차원 코드로부터 그 성질에 관한 정보를 판독하고, 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 그 식별 정보에 관련지어 정보 등록부 (52a) 에 등록한다. 한편으로, 그 식별 정보가 그 정보 등록부 (52a) 에 등록되어 있는 경우, 중복된 등록은 불필요하기 때문에, 정보 등록부 (52a) 에 그 드레싱 보드 (1) 의 정보를 등록하지 않는다.

이상에 의해, 절삭 장치 (2) 에 배치 형성된 드레싱 보드 (1) 에 대하여, 그 성질에 관한 정보를 그 식별 정보에 관련지어 절삭 장치 (2) 에 등록할 수 있다. 그 등록은 절삭 장치 (2) 에 의해 자동적으로 실시되기 때문에, 그 절삭 장치 (2) 의 오퍼레이터 등은 정보를 입력할 필요도 없어, 오입력의 우려도 없다.

다음으로, 드레싱 보드 (1) 를 사용한 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱에 대해 설명한다. 도 5(A) 는 드레싱 보드를 사용한 절삭 블레이드의 드레싱을 모식적으로 나타내는 상면도이고, 도 5(B) 는 드레싱에 사용된 드레싱 보드를 모식적으로 나타내는 상면도이다.

도 5(A) 에 나타내는 바와 같이, 절삭 유닛 (22) 의 스핀들 (44) 을 회전시켜 절삭 블레이드 (46) 를 회전시키고, X 축 이동 테이블 (10) 을 X 축 방향을 따라 이동시켜, 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱 보드 (1) 에 절입시킨다. 그러면, 드레싱 보드 (1) 에는, X 축 방향을 따른 절삭 홈 (21) 이 형성된다. 드레싱 보드 (1) 의 일단에서 타단까지 절삭 홈 (21) 이 형성되어도 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱이 완료되지 않는 경우, 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱이 완료될 때까지, 절삭 블레이드 (46) 를 Y 축 방향으로 어긋나게 하여 드레싱 보드 (1) 를 반복하여 절삭시킨다.

드레싱 보드 (1) 를 효율적이고 경제적으로 사용하려면, 드레싱 보드 (1) 의 전체면을 남김없이 절삭 블레이드 (46) 에 절삭시키면 된다. 그러나, 2 차원 코드 (5) 가 배치 형성되어 있는 영역이 절삭 블레이드 (46) 에 의해 일부라도 절삭되면, 그 2 차원 코드 (5) 는 판독 불능이 된다. 예를 들어, 도 5(B) 에 나타내는 드레싱 보드 (1) 에서는, 2 차원 코드 (5) 와 중첩되는 절삭 홈 (21) 이 형성되어 있어, 2 차원 코드 (5) 는 판독 불능이다.

이 경우, 그 드레싱 보드 (1) 의 사용을 한 동안 중지하고 절삭 장치 (2) 로부터 떼어내고, 그 후 다시 사용하고자 하는 때에, 그 2 차원 코드 (5) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 취득할 수 없게 된다. 그러나, 그러한 경우라도 절삭 장치 (2) 에는, 그 성질에 관한 정보가 바코드 (3) 에 격납된 식별 정보에 관련지어져 등록되어 있기 때문에, 다음에 설명하는 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법에 의해, 그 성질에 관한 정보를 취득할 수 있다. 또한, 그 사용 방법은, 그 2 차원 코드 (5) 가 판독 가능한 경우에도 실시할 수 있다.

드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 바코드 (3) 로부터 판독되는 식별 정보를 사용하여 취득하는 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법에 대해 설명한다. 도 4(B) 는, 그 드레싱 보드 (1) 의 사용 방법을 설명하는 플로 차트이다. 먼저, 도 4(A) 에서 설명한 상기 서술한 사용 방법과 마찬가지로, 그 드레싱 보드 (1) 를 그 절삭 장치 (2) 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝과, 그 바코드 (3) 로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝을 실시한다.

다음으로, 드레싱 보드 (1) 의 2 차원 코드 (5) 가 판독 가능한지의 여부를 판정한다. 촬상 카메라 (48) 로 취득된 촬상 화상으로부터 그 2 차원 코드 (5) 를 판독할 수 있는 경우, 그 2 차원 코드 (5) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 취득한다.

그 한편으로, 그 촬상 화상으로부터 그 2 차원 코드 (5) 를 판독할 수 없는 경우, 도 5(B) 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, 2 개의 인접하는 절삭 홈 (21) 의 간극에 남는 바코드 (3) 를 판독하여 식별 정보를 취득한다. 그리고, 그 식별 정보에 기초하여 정보 등록부 (52a) 에 조회하고, 그 정보 등록부 (52a) 로부터 그 식별 정보에 관련지어진 그 성질에 관한 정보를 취득한다.

또한, 바코드 (3) 를 판독하여 식별 정보를 취득한 후, 2 차원 코드 (5) 의 판독 가부를 판정하지 않고, 그 정보 등록부 (52a) 로부터 그 식별 정보에 관련지어진 그 성질에 관한 정보를 취득해도 된다. 이 경우에 있어서, 미리, 그 식별 정보에 관련지어진 그 성질에 관한 정보가 그 정보 등록부 (52a) 에 등록되어 있는지의 여부를 확인하고, 등록을 확인할 수 있으면, 등록되어 있는 정보를 취득한다. 등록을 확인할 수 없으면, 2 차원 코드 (5) 로부터 성질에 관한 정보를 판독하고, 그 식별 정보에 관련지어 그 정보 등록부 (52a) 에 등록한다.

또한, 바코드 (3) 를 구성하는 각 바의 길이 방향을 따라 그 바코드 (3) 가 절삭되어, 그 바가 하나라도 없어지면, 바코드 (3) 를 판독할 수 없게 된다. 그 때문에, 바코드 (3) 는, 드레싱 보드 (1) 가 절삭되어 형성되는 절삭 홈 (21) 의 신장 방향으로 각 바가 따르지 않도록 배치 형성된다.

다음으로, 그 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드 (1) 의 성질이 제어 유닛 (52) 의 지정부 (52d) 에 등록된 그 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정한다. 도 6 에는, 제어 유닛 (52) 의 각 구성과, 그 드레싱 보드 (1) 의 식별 정보 및 성질에 관한 정보와, 지정부 (52d) 에 등록된 드레싱 보드 (1) 의 지정에 관한 정보의 일례가 나타나 있다.

도 6 에 나타내는 예에서는, 2 차원 코드 (5) 가 판독 불능이고, 판독부 (52b) 가 그 바코드 (3) 로부터 식별 정보를 취득하고, 그 식별 정보로 그 정보 등록부 (52a) 에 조회하고, 그 성질에 관한 정보를 판정부 (52c) 가 취득하는 경우에 대해 나타내고 있다. 지정부 (52d) 에는, 예를 들어, 절삭 장치 (2) 에 장착된 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱에 적합한 드레싱 보드 (1) 의 종별에 관한 정보가 미리 등록되어 있다. 또, 그 지정부 (52d) 에는, 그 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱에 적합한 드레싱 보드의 제조 번호가 등록되어 있어도 된다.

절삭 장치 (2) 에 배치 형성된 드레싱 보드 (1) 가, 그 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지 아닌지의 판정은, 판정부 (52c) 에서 행해진다. 판정부 (52c) 는, 예를 들어, 정보 등록부 (52a) 로부터 그 드레싱 보드 (1) 의 성질에 관한 정보를 취득하고, 그 지정부 (52d) 로부터 드레싱에 적합한 드레싱 보드의 종류에 관한 정보를 취득한다.

그 판정부 (52c) 가, 그 드레싱 보드 (1) 의 성질이 그 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞다고 판정하는 경우, 그 제어 유닛 (52) 은, 그 드레싱 보드 (1) 를 사용하여 그 절삭 블레이드 (46) 의 드레싱을 실시한다.

그 한편으로, 그 드레싱 보드 (1) 의 성질이 그 절삭 블레이드 (46) 를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞지 않다고 판정하는 경우, 절삭 장치 (2) 의 오퍼레이터 등에게 그 취지를 알린다. 그 절삭 장치 (2) 의 표시부 (도시 생략) 등에 그 취지를 표시시키고, 그 절삭 장치 (2) 의 오퍼레이터 (사용자) 에게 알린다. 또는, 그 절삭 장치 (2) 는 경보 버저를 가져도 되고, 그 부적합하다고 판정되는 경우에 경고음을 발해도 된다.

본 실시형태에 관련된 드레싱 보드 (1) 를 사용하면, 그 드레싱 보드 (1) 가 절삭 블레이드에 의해 절삭되어도 드레싱 보드 (1) 에 관한 정보를 취득하여 적절히 드레싱을 실시할 수 있다.

또한, 본 발명은, 상기의 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예를 들어, 상기의 실시형태에 있어서는, 절삭 유닛 (22) 과, 드레스 테이블 (54) 을 각각 2 개 구비하는 절삭 장치 (2) 에 대해 설명하였다. 그러나, 절삭 장치 (2) 가 구비하는 절삭 유닛과 드레스 테이블의 수는 이것에 한정되지 않고, 예를 들어, 절삭 장치 (2) 는 각각 1 개를 구비해도 된다.

그 외, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.

2 : 절삭 장치
4 : 기대
4a, 4b, 4c : 개구
6 : 카세트 지지대
8 : 카세트
10 : X 축 이동 테이블
12 : 방진 방적 커버
14 : 척 테이블
14a : 유지면
16 : 클램프
22 : 절삭 유닛
24 : 지지 구조
26 : 절삭 유닛 이동 기구
28 : Y 축 가이드 레일
30 : Y 축 이동 플레이트
32 : Y 축 볼 나사
34 : Y 축 펄스 모터
36 : Z 축 가이드 레일
38 : Z 축 이동 플레이트
40 : Z 축 볼 나사
42 : Z 축 펄스 모터
44 : 스핀들
46 : 절삭 블레이드
48 : 촬상 카메라 (촬상 유닛)
50 : 세정 유닛
52 : 제어 유닛 (제어 수단)
52a : 정보 등록부
52b : 판독부
52c : 판정부
52d : 지정부
54 : 드레스 테이블
54a : 유지면
1 : 드레싱 보드
3 : 바코드
5 : 2 차원 코드
11 : 피가공물
15 : 디바이스
17 : 테이프
19 : 프레임
21 : 절삭 홈

Claims

드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 포함하는 2 차원 코드와, 그 성질에 관한 정보에 관련지어지는 식별 정보를 포함하는 바코드를 표면에 갖는 그 드레싱 보드의 사용 방법으로서,
피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하는 절삭 유닛과, 정보 등록부를 포함하고 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하는 절삭 장치를 사용하고,
그 드레싱 보드를 그 절삭 장치 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝과,
그 드레싱 보드 배치 형성 스텝에서 배치 형성된 그 드레싱 보드의 그 바코드를 그 촬상 유닛으로 촬영하고, 그 바코드로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝과,
그 식별 정보가 그 정보 등록부에 이미 등록되어 있는지의 여부를 판정하고, 그 식별 정보가 그 정보 등록부에 등록되어 있지 않은 경우에 그 2 차원 코드로부터 그 성질에 관한 정보를 판독하고, 그 성질에 관한 정보를 그 식별 정보에 관련지어 그 정보 등록부에 등록하는 정보 등록 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드의 사용 방법.
드레싱 보드의 성질에 관한 정보를 포함하는 2 차원 코드와, 그 성질에 관한 정보에 관련지어지는 식별 정보를 포함하는 바코드를 표면에 갖는 그 드레싱 보드의 사용 방법으로서,
피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 절삭 블레이드로 절삭하는 절삭 유닛과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하고,
그 제어 유닛은,
그 드레싱 보드가 갖는 그 바코드에 포함되는 식별 정보와, 그 2 차원 코드에 포함되는 그 성질에 관한 정보가 관련지어져 미리 등록된 정보 등록부와,
그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류가 등록된 지정부를 구비하는 절삭 장치를 사용하고,
그 드레싱 보드를 그 절삭 장치 내에 배치 형성하는 드레싱 보드 배치 형성 스텝과,
그 드레싱 보드 배치 형성 스텝에서 배치 형성된 그 드레싱 보드의 그 바코드를 그 촬상 유닛으로 촬영하고, 그 바코드로부터 그 식별 정보를 판독하는 식별 정보 판독 스텝과,
그 식별 정보 판독 스텝에서 판독된 그 식별 정보에 관련지어진 그 성질에 관한 정보를 그 정보 등록부로부터 판독 출력하고, 그 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드의 성질이 그 지정부에 등록된 그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 판정 스텝과,
그 드레싱 보드의 성질이 그 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞지 않는 경우에 그 드레싱 보드가 부적합하다는 것을 알리는 알림 스텝을 구비하는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드의 사용 방법.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
그 성질에 관한 정보는, 그 드레싱 보드의 지립, 그 드레싱 보드의 본드재, 그 드레싱 보드의 크기 또는 대응하는 그 절삭 블레이드의 품종에 관한 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 드레싱 보드의 사용 방법.
피가공물을 유지하는 척 테이블과, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 제 1 절삭 블레이드로 절삭하는 제 1 절삭 유닛과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 유닛과, 그 제어 유닛에 접속된 촬상 유닛을 구비하는 절삭 장치로서,
그 제어 유닛은,
그 촬상 유닛에 접속되고, 그 절삭 장치에 배치 형성된 드레싱 보드가 갖는 바코드 및 2 차원 코드를 판독하는 판독부와,
그 판독부에 의해 그 바코드로부터 판독된 식별 정보와, 그 2 차원 코드로부터 판독된 그 드레싱 보드의 성질에 관한 정보가 관련지어져 등록되는 정보 등록부와,
그 제 1 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류가 등록되는 지정부와,
그 판독부로 판독된 그 식별 정보에 기초하여 그 정보 등록부로부터 판독 출력된 그 성질에 관한 정보에 포함되는 그 드레싱 보드의 성질이, 그 지정부에 등록된 그 제 1 절삭 블레이드를 드레싱하는 데에 적합한 드레싱 보드의 종류에 맞는지의 여부를 판정하는 판정부를 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
제 4 항에 있어서,
그 절삭 장치는, 그 드레싱 보드를 유지하는 제 1 드레스 테이블을 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
제 5 항에 있어서,
그 절삭 장치는, 그 척 테이블에 유지된 그 피가공물을 제 2 절삭 블레이드로 절삭하는 제 2 절삭 유닛과,
그 제 2 절삭 블레이드를 드레싱할 때에 사용되는 제 2 드레싱 보드를 유지하는 제 2 드레스 테이블을 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
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