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KR102221110B1 - Carrier unit and system for stocking the same - Google Patents

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KR102221110B1
KR102221110B1 KR1020150034744A KR20150034744A KR102221110B1 KR 102221110 B1 KR102221110 B1 KR 102221110B1 KR 1020150034744 A KR1020150034744 A KR 1020150034744A KR 20150034744 A KR20150034744 A KR 20150034744A KR 102221110 B1 KR102221110 B1 KR 102221110B1
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carrier
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Abstract

캐리어 유닛은 수납부 및 커버부를 포함한다. 상기 수납부는 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여, 상기 프로브 카드를 수납한다. 상기 커버부는 상기 수납부를 커버한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.The carrier unit includes a receiving portion and a cover portion. The storage unit includes a storage space corresponding to the shape and size of the probe card, and accommodates the probe card. The cover part covers the receiving part. Accordingly, the receiving part and the cover part have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card.

Description

캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템{CARRIER UNIT AND SYSTEM FOR STOCKING THE SAME}Carrier unit and system for storing it {CARRIER UNIT AND SYSTEM FOR STOCKING THE SAME}

본 발명은 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 관한 것으로써, 더욱 상세하게는 반도체 칩들이 형성된 웨이퍼의 전기적인 성능을 검사하기 위한 프로브 카드를 수납하는 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to a carrier unit and a system for storing the same, and more particularly, to a carrier unit accommodating a probe card for inspecting electrical performance of a wafer on which semiconductor chips are formed, and a system storing the same.

일반적으로, 집적회로 소자, 발광 소자 등과 같은 반도체 칩들은 기판으로서 사용되는 웨이퍼 상에 일련의 반복적인 미세 처리 공정들을 수행함으로써 형성될 수 있다. 예를 들면, 기판 상에 막을 형성하는 증착 공정, 상기 막을 특정 패턴들로 형성하기 위한 식각 공정, 상기 패턴들에 전기적인 특성들을 부여하기 위한 이온 주입 공정 또는 확산 공정, 상기 패턴들이 형성된 기판으로부터 불순물들을 제거하기 위한 세정 및 린스 공정 등을 반복적으로 수행함으로써 다양한 형태의 반도체 칩들이 웨이퍼 상에 형성될 수 있다.In general, semiconductor chips such as an integrated circuit device, a light emitting device, and the like can be formed by performing a series of repetitive microprocessing processes on a wafer used as a substrate. For example, a deposition process to form a film on a substrate, an etching process to form the film into specific patterns, an ion implantation process or diffusion process to impart electrical characteristics to the patterns, and impurities from the substrate on which the patterns are formed. Various types of semiconductor chips may be formed on the wafer by repeatedly performing a cleaning and rinsing process to remove the particles.

상기와 같이 반도체 칩들이 형성된 후 상기 웨이퍼로부터 상기 반도체 칩들의 전기적인 성능을 검사하기 위한 검사(EDS) 공정이 수행될 수 있다. 상기 검사(EDS) 공정은 다수의 팁들을 갖는 프로브 카드를 포함하는 프로브 스테이션과 전기적인 신호를 제공하는 테스터에 의해 수행될 수 있다. 이때, 상기 프로브 카드는 상기 반도체 칩들의 종류 및 상기 웨이퍼의 사이즈에 따라 다양한 종류가 사용되고 있다. After the semiconductor chips are formed as described above, an inspection (EDS) process for inspecting electrical performance of the semiconductor chips may be performed from the wafer. The test (EDS) process may be performed by a probe station including a probe card having a plurality of tips and a tester providing electrical signals. In this case, various types of the probe card are used according to the type of the semiconductor chips and the size of the wafer.

이에, 상기 프로브 카드를 그 모양 및 사이즈에 따라 스토커들에 구분하여 저장할 수밖에 없음에 따라, 매우 많은 종류의 스토커들이 필요할 뿐만 아니라 이의 설치를 위해 매우 넓은 설치 공간이 필요한 것이 현실이다.Accordingly, since the probe card has to be divided and stored in stockers according to its shape and size, a very large number of stockers are required as well as a very wide installation space for installation thereof.

대한민국 특허공개 제10-2013-0025316호 (공개일; 2013.03.11, 프로브 카드 컨테이너)Korean Patent Publication No. 10-2013-0025316 (published date; 2013.03.11, probe card container)

본 발명의 목적은 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 상기 프로브 카드를 일정하게 규격화하여 수납하는 캐리어 유닛을 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a carrier unit that uniformly standardizes and accommodates the probe card regardless of the shape and size of the probe card.

또한, 본 발명의 다른 목적은 상기한 캐리어 유닛을 저장하는 시스템을 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a system for storing the above-described carrier unit.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 캐리어 유닛은 수납부 및 커버부를 포함한다.In order to achieve the object of the present invention described above, a carrier unit according to a feature includes a receiving portion and a cover portion.

상기 수납부는 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여, 상기 프로브 카드를 수납한다. 상기 커버부는 상기 수납부를 커버한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.The storage unit includes a storage space corresponding to the shape and size of the probe card, and accommodates the probe card. The cover part covers the receiving part. Accordingly, the receiving part and the cover part have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card.

상술한 본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 일 특징에 따른 캐리어 유닛 저장 시스템은 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부를 포함하는 캐리어 유닛이 다수 적재 저장되는 적재부를 구비한 적어도 하나의 스토커를 포함한다. 이에, 상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖는다.In order to achieve another object of the present invention described above, a carrier unit storage system according to an aspect includes a storage unit for receiving the probe card including a storage space corresponding to the shape and size of the probe card, and a cover covering the storage unit. The carrier unit including the unit includes at least one stocker having a stacking unit for storing a plurality of stacks. Accordingly, the receiving part and the cover part have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card.

일 실시예에 따른 상기 저장 시스템은 상기 스토커와 인접하게 설치되며 외부로부터 상기 프로브 카드가 수납된 캐리어 유닛이 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부 및 상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며 상기 대차에 탑재된 캐리어 유닛을 상기 적재부에 적재시키는 이송부를 더 포함할 수 있다.The storage system according to an embodiment is installed adjacent to the stocker, and is installed between the docking part and the stocker, and mounted on the cart, and a docking part in which a cart on which a carrier unit in which the probe card is received is mounted is docked from the outside. It may further include a transfer unit for loading the carrier unit in the loading unit.

다른 실시예에 따른 상기 저장 시스템은 상기 스토커와 인접하게 설치되며, 외부로부터 상기 프로브 카드가 탑재된 대차가 도킹되는 도킹부 및 상기 도킹부와 상기 스토커 사이에 설치되며 상기 대차에 탑재된 프로브 카드를 상기 적재부에 적재된 캐리어 유닛에 수납시키는 이송부를 더 포함할 수 있다.The storage system according to another embodiment is installed adjacent to the stocker, and includes a docking portion to which a bogie on which the probe card is mounted is docked from the outside, and a probe card installed between the docking portion and the stocker and mounted on the bogie. It may further include a conveying unit accommodated in the carrier unit loaded on the loading unit.

일 실시예 따른 상기 프로브 카드 및 상기 수납부 각각은 각각의 정보가 입력된 제1 및 제2 RFID들을 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 이송부는 상기 프로브 카드와 상기 수납부의 서로 매칭되는지 여부를 확인하기 위하여 상기 제1 및 제2 RFID들 각각에 입력된 정보를 매칭하는 카드 적합부를 포함할 수 있다.Each of the probe card and the accommodating part according to an embodiment may include first and second RFIDs to which respective information is input. In this case, the transfer unit may include a card fitting unit for matching information input to each of the first and second RFIDs to check whether the probe card and the storage unit match each other.

이러한 캐리어 유닛 및 이를 저장하는 시스템에 따르면, 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부로 구성된 캐리어 유닛을 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖도록 제작하여 스토커에 적재 저장함으로써, 배경기술에서와 같이 상기 스토커를 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 따라 구분하여 설치할 필요가 없게 된다. According to such a carrier unit and a system for storing the same, a carrier unit including a storage space corresponding to the shape and size of the probe card, a storage unit for receiving the probe card, and a cover unit for covering the storage unit, is formed in the shape of the probe card. And, it is not necessary to divide and install the stocker according to the shape and size of the probe card, as in the background art, by manufacturing the stocker to have a certain standard regardless of the size and storing it in the stocker.

이에 따라, 결과적으로 상기 프로브 카드를 적재하는 스토커들의 개수를 줄일 수 있으므로, 비교적 좁은 설치 공간에 적은 비용으로 상기 스토커들을 설치할 수 있다. Accordingly, as a result, the number of stockers in which the probe card is mounted can be reduced, and thus the stockers can be installed in a relatively narrow installation space at low cost.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 유닛을 저장하는 저장 시스템을 개념적으로 나타낸 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 캐리어 유닛을 구체적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 캐리어 유닛을 결합한 도면이다.1 is a block diagram conceptually showing a storage system for storing a carrier unit according to an embodiment of the present invention.
2 is a perspective view showing in detail the carrier unit shown in FIG. 1.
3 is a view in which the carrier units shown in FIG. 2 are combined.

이하, 본 발명은 본 발명의 실시예들을 보여주는 첨부 도면들을 참조하여 더욱 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings showing embodiments of the present invention. However, the present invention does not have to be configured as limited to the embodiments described below, and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to sufficiently convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than provided to enable the present invention to be completely completed.

하나의 요소가 다른 하나의 요소 또는 층 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로서 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들 또는 층들이 이들 사이에 게재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접적으로 배치되거나 연결되는 것으로서 설명되는 경우, 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.Where one element is described as being disposed or connected on another element or layer, the element may be disposed or connected directly on the other element, and other elements or layers may be placed between them. May be. Alternatively, if one element is described as being placed or connected directly on another element, there cannot be another element between them. Terms such as first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers, and/or parts, but the above items are not limited by these terms. Won't.

하기에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used below is used only for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning that can be understood by those of ordinary skill in the art of the present invention. The terms, such as those defined in conventional dictionaries, will be interpreted as having a meaning consistent with their meaning in the context of the description of the related art and the present invention, and ideally or excessively external intuition unless explicitly limited. It will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 영역은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 영역의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.
Embodiments of the invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, for example changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be sufficiently anticipated. Accordingly, embodiments of the present invention are not described as limited to specific shapes of regions described as diagrams, but include deviations from shapes, and regions described in the drawings are entirely schematic and their shapes Is not intended to describe the exact shape of the region, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 캐리어 유닛을 저장하는 저장 시스템을 개념적으로 나타낸 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 캐리어 유닛을 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 3은 도 2에 도시된 캐리어 유닛을 결합한 도면이다.1 is a configuration diagram conceptually showing a storage system for storing a carrier unit according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing in detail the carrier unit shown in FIG. 1, and FIG. 3 is shown in FIG. It is a diagram of combined carrier units.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 저장 시스템(1000)은 캐리어 유닛(10)이 적재 저장되는 적재부(110)를 구비한 적어도 하나의 스토커(100)를 포함한다.1 to 3, a storage system 1000 according to an embodiment of the present invention includes at least one stocker 100 having a loading unit 110 in which a carrier unit 10 is loaded and stored. .

여기서, 상기 캐리어 유닛(10)은 웨이퍼로부터 제조된 반도체 칩들의 전기적인 성능을 검사하기 위하여 상기 반도체 칩들에 검사 신호를 인가하는 프로브 카드(20)를 수납한다.Here, the carrier unit 10 accommodates a probe card 20 that applies an inspection signal to the semiconductor chips in order to inspect the electrical performance of the semiconductor chips manufactured from the wafer.

이에, 상기 캐리어 유닛(10)은 수납부(12) 및 커버부(16)를 포함한다. 상기 수납부(12)는 상기 검사하고자 하는 반도체 칩들의 종류에 따라 모양 및 사이즈가 달라지는 프로브 카드(20)에 대응되는 수납 공간(13)을 포함하여 상기 프로브 카드(20)를 수납한다. Accordingly, the carrier unit 10 includes a receiving portion 12 and a cover portion 16. The accommodating part 12 accommodates the probe card 20 including an accommodating space 13 corresponding to the probe card 20 whose shape and size vary according to the type of semiconductor chips to be inspected.

상기 커버부(16)는 상기 수납부(12)의 상부를 커버한다. 이때, 상기 커버부(16)는 상기 캐리어 유닛(10)을 핸들링하는 도중 상기 수납부(12)와 분리되지 않도록 볼트 결합과 같이 강한 결합력으로 상기 수납부(12)를 커버할 수 있다. 또한, 상기 커버부(16)는 상기 수납부(12)에 상기 프로브 카드(20)가 수납되어 있는지 여부를 육안으로 확인할 수 있도록 상기 수납 공간(13)의 일부를 노출시키는 개구부(미도시)가 형성될 수 있다. The cover part 16 covers the upper part of the receiving part 12. In this case, the cover unit 16 may cover the receiving unit 12 with a strong coupling force such as a bolt coupling so that it is not separated from the receiving unit 12 while handling the carrier unit 10. In addition, the cover unit 16 has an opening (not shown) that exposes a part of the storage space 13 so that it is possible to visually check whether the probe card 20 is stored in the storage unit 12. Can be formed.

이와 같은 수납부(12) 및 커버부(16)는 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 가질 수 있다. 구체적으로, 상기 수납부(12)의 수납 공간(13)만 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 따라 변경하고 그 외관은 항상 일정한 규격을 가질 수 있다. 이에, 상기 수납부(12)에는 상기 수납 공간(13)에 수납될 수 있는 프로브 카드(20)에 대한 정보가 입력된 제1 RFID(14)가 장착될 수 있다. 또한, 상기 프로브 카드(20)에는 상기 제1 RFID(14)와의 매칭 여부를 통하여 적합한 수납 공간(13)을 갖는 수납부(12)에 수납될 수 있도록 제2 RFID(22)가 장착될 수 있다.The receiving part 12 and the cover part 16 may have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card 20. Specifically, only the storage space 13 of the storage unit 12 is changed according to the shape and size of the probe card 20, and its appearance may always have a certain standard. Accordingly, the first RFID 14 into which information on the probe card 20 that can be accommodated in the storage space 13 is input may be mounted on the storage unit 12. In addition, a second RFID 22 may be mounted on the probe card 20 so that the probe card 20 may be accommodated in the storage unit 12 having an appropriate storage space 13 through matching with the first RFID 14. .

상기와 같은 캐리어 유닛(10)의 일정한 규격에 따라 상기 스토커(100)의 적재부(110)도 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 모두 동일한 구조를 가질 수 있다. According to a certain standard of the carrier unit 10 as described above, the loading part 110 of the stocker 100 may also have the same structure regardless of the shape and size of the probe card 20.

이와 같이, 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간(13)을 포함하여 상기 프로브 카드(20)를 수납하는 수납부(12) 및 상기 수납부(12)를 커버하는 커버부(16)로 구성된 캐리어 유닛(10)을 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖도록 제작하여 상기 스토커(100)의 적재부(110)에 적재 저장함으로써, 배경기술에서와 같이 상기 스토커(100)를 상기 프로브 카드(20)의 모양 및 사이즈에 따라 구분하여 설치할 필요가 없게 된다. In this way, a storage unit 12 for receiving the probe card 20 including a storage space 13 corresponding to the shape and size of the probe card 20 and a cover unit covering the storage unit 12 By manufacturing the carrier unit 10 composed of (16) to have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card 20 and storing it in the loading part 110 of the stocker 100, as in the background art. Likewise, there is no need to separate and install the stocker 100 according to the shape and size of the probe card 20.

이에 따라, 결과적으로 상기 프로브 카드(20)를 적재하는 스토커(100)들의 개수를 줄일 수 있으므로, 비교적 좁은 설치 공간에 적은 비용으로 상기 스토커(100)들을 설치할 수 있다.Accordingly, as a result, the number of stockers 100 on which the probe card 20 is loaded can be reduced, and thus the stockers 100 can be installed in a relatively narrow installation space at low cost.

한편, 상기 저장 시스템(1000)은 실질적으로 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)을 이용하여 상기 스토커(100)의 적재부(110)에 적재 저장하기 위하여 도킹부(200) 및 이송부(300)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the storage system 1000 substantially includes a docking unit 200 and a transfer unit in order to load and store the probe card 20 in the loading unit 110 of the stocker 100 using the carrier unit 10. It may further include (300).

상기 도킹부(200)는 상기 스토커(100)와 인접하게 설치된다. 상기 도킹부(200)는 외부로부터 상기 프로브 카드(20)가 탑재된 대차(30)가 도킹된다. 여기서, 상기 대차(30)는 작업자에 의해 수동적으로 이동하거나 작업 공간의 특정 라인을 따라 자동적으로 이동할 수 있도록 구성될 수 있다. 이와 달리, 상기 대차(30)는 작업 공간의 천장에 설치된 OHT(Overhead Hoist Transport)로 대신하여 설명될 수 있다. The docking part 200 is installed adjacent to the stocker 100. The docking part 200 is docked with the bogie 30 on which the probe card 20 is mounted from the outside. Here, the bogie 30 may be configured to be manually moved by an operator or automatically moved along a specific line of a work space. Alternatively, the bogie 30 may be described in place of OHT (Overhead Hoist Transport) installed on the ceiling of the work space.

상기 이송부(300)는 상기 도킹부(200)와 상기 스토커(100) 사이에 설치된다. 상기 이송부(300)는 상기 대차(30)에 탑재된 프로브 카드(20)를 상기 적재부(110)에 적재된 캐리어 유닛(10)에 수납시킨다. 이때, 상기 이송부(300)는 상기 프로브 카드(20)가 이에 대응되는 상기 캐리어 유닛(10)에 정확하고 안정적으로 수납되도록 하기 위하여 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들을 서로 매칭시키는 카드 적합부(310)를 포함할 수 있다. The transfer part 300 is installed between the docking part 200 and the stocker 100. The transfer unit 300 accommodates the probe card 20 mounted on the bogie 30 in the carrier unit 10 loaded on the loading unit 110. At this time, the transfer unit 300 is a card for matching the first and second RFIDs 14 and 22 to each other so that the probe card 20 is accurately and stably accommodated in the carrier unit 10 corresponding thereto. It may include a suitable portion 310.

구체적으로, 상기 카드 적합부(310)는 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 수납시키기 전에, 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들로부터 정보들을 수신하여 이의 매칭 여부를 검사한 후, 상기 프로브 카드(20)가 상기 캐리어 유닛(10)에 적합한지 여부를 확인하여 상기 이송부(300)에 전달한다. 이러면, 상기 이송부(300)는 상기 카드 적합부(310)로부터 전달된 결과를 통해 상기 프로브 카드(20)와 상기 캐리어 유닛(10)이 적합하다고 판단될 경우에는 상기의 수납 동작을 정상적으로 수행하고, 부적합하다고 판단될 경우에는 상기의 수납 동작을 정지한 후, 새로운 캐리어 유닛(10)을 검색하던지 외부로 반출시킬 수 있다.Specifically, the card conforming unit 310 receives information from the first and second RFIDs 14 and 22 before storing the probe card 20 in the carrier unit 10 to determine whether the probe card 20 is matched. After inspecting, it is checked whether the probe card 20 is suitable for the carrier unit 10 and transferred to the transfer unit 300. In this case, when it is determined that the probe card 20 and the carrier unit 10 are suitable through the result transmitted from the card suitable unit 310, the transfer unit 300 normally performs the storage operation, If it is determined that it is inappropriate, after stopping the storage operation, a new carrier unit 10 may be searched or taken out.

본 실시예에서는 상기 적재부(110)에 상기 캐리어 유닛(10)이 이미 배치되어 있는 것으로 설명하였지만, 상기 대차(30)로부터 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 이미 수납된 상태로 이송하여 상기 적재부(110)에 직접 적재될 수 있음을 이해할 수 있다. 이 경우, 상기 스토커(100)가 아닌 상기 대차(30) 또는 그 외 다른 장소에서 상기 프로브 카드(20)를 상기 캐리어 유닛(10)에 수납할 때 적합하게 수납될 수 있도록 상기 제1 및 제2 RFID(14, 22)들의 매칭 공정이 진행될 수 있다.In this embodiment, it has been described that the carrier unit 10 is already disposed on the loading unit 110, but the probe card 20 is already accommodated in the carrier unit 10 from the bogie 30 It can be understood that it can be transferred to and loaded directly onto the loading unit 110. In this case, when the probe card 20 is stored in the carrier unit 10 at the bogie 30 or other place other than the stocker 100, the first and second The matching process of the RFIDs 14 and 22 may be performed.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art will variously modify and change the present invention within the scope not departing from the spirit and scope of the present invention described in the following claims. You will understand that you can do it.

10 : 캐리어 유닛 12 : 수납부
13 : 수납 공간 14 : 제1 RFID
16 : 커버부 20 : 프로브 카드
22 : 제2 RFID 30 : 대차
100 : 스토커 110 : 적재부
200 : 도킹부 300 : 이송부
310 : 카드 적합부 1000 : 저장 시스템10: carrier unit 12: storage unit
13: storage space 14: first RFID
16: cover part 20: probe card
22: second RFID 30: balance
100: stocker 110: loading portion
200: docking unit 300: transfer unit
310: card suitable part 1000: storage system

Claims (5)

삭제delete 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 대응되는 수납 공간을 포함하여 상기 프로브 카드를 수납하는 수납부 및 상기 수납부를 커버하는 커버부를 포함하는 캐리어 유닛이 다수 적재 저장되는 적재부를 구비한 적어도 하나의 스토커; 및
상기 프로브 카드가 탑재된 대차로부터 상기 프로브 카드를 상기 적재부에 적재된 상기 캐리어 유닛에 수납시키는 이송부를 포함하며,
상기 수납부 및 상기 커버부는 상기 프로브 카드의 모양 및 사이즈에 무관하게 일정한 규격을 갖고,
상기 수납부에는 수납 가능한 프로브 카드의 정보가 입력된 제1 RFID가 장착되고 상기 프로브 카드에는 상기 프로브 카드의 정보가 입력된 제2 RFID가 장착되며,
상기 이송부는 상기 프로브 카드와 상기 수납부가 서로 매칭되는지 여부를 확인하기 위하여 상기 제1 RFID 및 제2 RFID 각각에 입력된 정보를 매칭하는 카드 적합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.At least one stocker including a storage space corresponding to the shape and size of the probe card, including a storage unit for receiving the probe card and a storage unit for storing a plurality of carrier units including a cover unit for covering the storage unit; And
And a transfer unit for accommodating the probe card in the carrier unit loaded on the loading unit from the vehicle on which the probe card is mounted,
The receiving part and the cover part have a certain standard regardless of the shape and size of the probe card,
A first RFID into which information on a retractable probe card is input is mounted on the storage unit, and a second RFID into which information on the probe card is input is mounted on the probe card
The carrier unit storage system, wherein the transfer unit includes a card fitting unit for matching information input to each of the first and second RFIDs to check whether the probe card and the storage unit match each other. 삭제delete 제2항에 있어서, 상기 스토커와 인접하게 설치되며 상기 대차가 도킹되는 도킹부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 유닛 저장 시스템.The carrier unit storage system of claim 2, further comprising a docking unit installed adjacent to the stocker and docked with the bogie. 삭제delete
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