KR100819073B1

KR100819073B1 - 에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템 및 방법

Info

Publication number: KR100819073B1
Application number: KR1020070004426A
Authority: KR
Inventors: 김상수; 정재희
Original assignee: 한국과학기술원
Priority date: 2007-01-15
Filing date: 2007-01-15
Publication date: 2008-04-03
Anticipated expiration: 2027-01-15

Abstract

본 발명은 에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 1 유량 조절기(11), 제 1 유량 조절기(11)로부터 흡입된 공기에 에어로졸상 입자를 방출하여 고농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 입자 발생기(12), 및 입자 발생기(12)에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 1 챔버(13)를 갖는 고농도군 입자 분배 장치; 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 2 유량 조절기(21), 입자 발생기(12)에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 2 유량 조절기(21)로부터 흡입된 공기로 희석하여 중농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 1 샘플러(22), 및 제 1 샘플러(22)에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 2 챔버(23)를 갖는 중농도군 입자 분배 장치; 및 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 3 유량 조절기(31), 제 1 샘플러(22)에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 3 유량 조절기(31)로부터 흡입된 공기로 희석하여 저농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 2 샘플러(32), 및 제 2 샘플러(32)에서 만들어진 저농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 3 챔버(33)를 갖는 저농도군 입자 분배 장치;를 포함하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템 및 이를 이용한 에어로졸상 입자의 동시 분배 방법을 제공한다.

나노입자, 에어로졸, 입자발생기, 유체조절기, 샘플러

Description

에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템 및 방법{Concurrent Concentration Distribution System and Method of Particles with Aerosol Phase}

도 1은 본 발명에 따른 동시 농도 분배 시스템의 구성도,

도 2는 본 발명에 따른 동시 농도 분배 시스템에 의해 분배된 고농도군, 중농도군 및 저농도군에서 입자 직경에 따른 분포를 나타내는 그래프,

도 3은 본 발명에 따른 동시 농도 분배 시스템에서 제 2 유량 조절기(21)의 유량에 따른 중농도군에서의 입자수 농도, 평균 직경, 직경 표준편차를 나타내는 그래프, 및

도 4는 본 발명에 따른 동시 농도 분배 시스템에서 제 3 유량 조절기(31)의 유량에 따른 중농도군에서의 입자수 농도, 평균 직경, 직경 표준편차를 나타내는 그래프.

<도면의 부호에 대한 설명>

1: 에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템

11: 제 1 유량 조절기

12: 입자 발생기

13: 제 1 챔버

21: 제 2 유량 조절기

22: 제 1 샘플러

23: 제 2 챔버

31: 제 3 유량 조절기

32: 제 2 샘플러

33: 제 3 챔버

40: 대조군 챔버

50: 진공 펌프

본 발명은 에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템 및 방법에 관한 것으로서, 동시에 다른 농도의 에어로졸상 입자를 가진 공기를 생성할 수 있는 시스템 및 그 방법에 관한 것이다.

나노미터 크기 및 서브마이크로미터 크기의 에어로졸상의 입자에 대한 환경 영향 평가 연구, 우수 실험실 기준(Good Laboratory Practice, GLP) 인증을 위한 흡입 독성 평가 연구, 각각의 구역에 다른 입자 농도 분포를 유지해야 하는 덕트 및 챔버 시스템에 대한 연구 등을 위하여 에어로졸상의 입자를 서로 다른 농도로 분배하는 동시 농도 분배 시스템에 대한 필요가 증대하고 있다.

종래 기술에 따른 동시 농도 분배 시스템은 각각의 농도군을 위하여 각각의 입자 발생기와 희석 장치를 사용하는 방법을 이용하여 왔다. 예를 들면, 1E6 개/cm³ 농도의 입자를 발생하는 입자 발생기로부터 10배 희석한 중농도군을 만들기 위하여, 입자 발생기가 입자를 발생한 후 유량의 10배 희석 장치를 사용하여 0.1E6 개/cm³을 취하고 0.9E6 개/cm³을 버리는 방식을 사용한다. 그리고, 1E6 개/cm³ 농도의 입자를 발생하는 입자 발생기로부터 100배 희석한 저농도군을 만들기 위하여, 입자 발생기가 입자를 발생한 후 유량의 100배 희석 장치를 사용하여 0.01E6 개/cm³을 취하고 0.99E6 개/cm³을 버리는 방식을 사용한다.

이러한 방식은 각각의 농도군을 위하여 입자 발생기와 희석 장치를 요구하기 때문에 비경제적이고 각각의 농도군 조절을 위해 희석 장치를 이용하여 대부분의 입자를 버리는 방법을 취하기 때문에 비효율적이다. 그리고, 각각의 다른 농도군에 대하여 각각의 다른 입자 발생기를 사용하기 때문에 각 농도군 사이의 상관 관계가 부족하다. 또한, 상술한 방법은 저농도군을 위해 큰 희석비로 희석을 하는 경우 정확성과 정밀도가 떨어지는 단점을 가지고 있다.

본 발명은 상술한 문제점들로부터 안출된 것으로서, 서로 다른 농도군을 하나의 입자 발생기를 이용하여 발생시키는 경제적이고 효율적인 동시 농도 분배 시스템 및 이를 이용한 동시 농도 분배 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 그리하여, 본 발명은 각 농도군 사이의 상관 관계가 뛰어나게 된다. 또한, 본 발명은 큰 희석비의 농도군을 발생시키는 경우에도 정확성과 정밀도가 뛰어난 동시 농도 분배 시스템 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 1 유량 조절기, 제 1 유량 조절기로부터 흡입된 공기에 에어로졸상 입자를 방출하여 고농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 입자 발생기, 및 입자 발생기에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 1 챔버를 갖는 고농도군 입자 분배 장치; 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 2 유량 조절기, 입자 발생기에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 2 유량 조절기로부터 흡입된 공기로 희석하여 중농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 1 샘플러, 및 제 1 샘플러에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 2 챔버를 갖는 중농도군 입자 분배 장치; 및 유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 3 유량 조절기, 제 1 샘플러에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 3 유량 조절기로부터 흡입된 공기로 희석하여 저농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 2 샘플러, 및 제 2 샘플러에서 만들어진 저농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 3 챔버를 갖는 저농도군 입자 분배 장치;를 포함하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템을 제공한다.

에어로졸상 입자의 직경은 1 내지 1,000 나노미터일 수 있다.

제 1, 제 2 및 제 3 유량 조절기는 각각 흡입되는 공기의 유량을 조절하여 고농도군, 중농도군, 저농도군 입자를 포함하는 공기의 입자수 농도를 제어할 수 있다.

제 1, 제 2 및 제 3 챔버는 각각 진공 펌프에 연결되어, 각각의 챔버의 초기 상태를 진공으로 만들 수 있다.

본 발명은 또한 (a) 입자 발생기가 제 1 유량 조절기를 통해 흡입된 공기에 에어로졸상 입자를 방출하여 고농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계; (b) 제 1 샘플러가 고농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 2 유량 조절기를 통해 흡입된 공기로 희석하여 중농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계; 및 (c) 제 2 샘플러가 중농도군 입자를 포한하는 공기 중 일부를 제 3 유량 조절기를 통해 흡입된 공기로 희석하여 저농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계;를 포함하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 방법을 제공한다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 보다 자세하게 기술하도록 한다.

도 1은 본 발명에 따른 에어로졸상 입자의 동시 농도 분배 시스템(1)의 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 동시 농도 분배 시스템(1)은, 제 1 유량 조절기(11), 입자 발생기(12) 및 제 1 챔버(13)로 구성되는 고농도군 입자 분배 장치, 제 2 유량 조절기(21), 제 1 샘플러(22) 및 제 2 챔버(23)로 구성되는 중농도군 입자 분배 장치, 제 3 유량 조절기(31), 제 2 샘플러(32) 및 제 3 챔버로 구성되는 저농도군 입자 분배기, 대조군 챔버(40) 및 진공 펌프(50)를 포함한다.

고농도군 입자 분배 장치는 초기 농도로서의 고농도의 입자를 포함하는 공기 를 만들기 위한 장치로서, 제 1 유량 조절기(11), 입자 발생기(12) 및 제 1 챔버(13)를 포함한다.

제 1 유량 조절기(Mass Flow Controller, MFC)(11)는 입자 발생기(12)로 유입되는 공기의 유량을 조절한다. 제 1 유량 조절기(11)가 흡입되는 공기는 사전에 이물질이 정화된 청정 공기이다.

입자 발생기(12)는 제 1 유량 조절기(11)를 통해 공급된 공기에 에어로졸상의 입자를 방출한다. 입자의 크기는 사용 목적에 따라 나노 크기 또는 서브마이크론 크기를 가진다. 이 때, 입자 발생기(12)를 통과한 공기의 입자 농도는 제 1 유량 조절기(11)가 입자 발생기(12)로 유입되는 공기의 유량을 조절함으로서 제어된다.

입자 발생기(12)를 통과하여 고농도의 입자를 포함하는 공기는 제 1 챔버(13)로 유입되어 저장된다.

중농도군 입자 분배 장치는 초기 농도로서의 고농도보다 낮은 농도인 중농도의 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 장치로서, 제 2 유량 조절기(21), 제 1 샘플러(22) 및 제 2 챔버(23)를 포함한다.

제 2 유량 조절기(21)는 제 1 샘플러(22)로 유입되는 공기의 유량을 제어한다. 제 2 유량 조절기(21)가 흡입하는 공기는 사전에 이물질이 정화된 청정 공기이다.

공기가 제 2 유량 조절기(21)를 통해 제 1 샘플러(22)로 공급되면, 입자 발생기(12)를 통과하여 고농도군의 입자를 포함하는 공기 중 일부가 제 1 샘플러(22) 로 흡입된다. 그리하여, 고농도군의 입자를 포함하는 공기가 제 2 유량 조절기(21)를 통해 제 1 샘플러(22)로 공급된 공기에 의해 희석되고, 고농도보다 낮은 농도인 중농도의 입자를 포함하는 공기가 생성된다. 이 때, 제 1 샘플러(22)를 통과한 공기의 입자 농도는 제 2 유량 조절기(21)가 제 1 샘플러(22)로 유입되는 공기의 유량을 조절함으로서 제어된다.

제 1 샘플러(22)를 통과하여 중농도의 입자를 포함하는 공기는 제 2 챔버(23)로 유입되어 저장된다.

저농도군 입자 분배 장치는 중농도보다 낮은 농도인 저농도의 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 장치로서, 제 3 유량 조절기(31), 제 2 샘플러(32) 및 제 3 챔버(33)를 포함한다.

제 3 유량 조절기(31)는 제 2 샘플러(32)로 유입되는 공기의 유량을 제어한다. 제 3 유량 조절기(31)가 흡입하는 공기는 사전에 이물질이 정화된 청정 공기이다.

공기가 제 3 유량 조절기(31)를 통해 제 2 샘플러(32)로 공급되면, 제 1 샘플러(22)를 통과하여 중농도군의 입자를 포함하는 공기 중 일부가 제 2 샘플러(32)로 흡입된다. 그리하여, 중농도군의 입자를 포함하는 공기가 제 3 유량 조절기(31)를 통해 제 2 샘플러(32)로 공급된 공기에 의해 희석되고, 중농도보다 낮은 농도인 저농도의 입자를 포함하는 공기가 생성된다. 이 때, 제 2 샘플러(32)를 통과한 공기의 입자 농도는 제 3 유량 조절기(31)가 제 2 샘플러(32)로 유입되는 공기의 유량을 조절함으로서 제어된다.

제 2 샘플러(32)를 통과하여 저농도의 입자를 포함하는 공기는 제 3 챔버(33)로 유입되어 저장된다.

대조군 챔버(40)는 제 1 내지 제 3 챔버(13, 23, 33)에 각각 저장된 고동도, 중농도 및 저농도의 입자를 포함하는 공기와 비교하기 위해 순수한 공기를 저장하기 위한 챔버이다. 대조군 챔버(40)로 유입되는 공기는 사전에 이물질이 제거된 청정 공기이다.

제 1 내지 제 3 챔버(13, 23, 33) 및 대조군 챔버(40)는 진공 펌프(50)에 연결된다. 진공 펌프(50)는 본 발명에 따른 동시 분배 시스템(1)이 각각의 입자 농도를 가진 공기를 분배하기 이전에 제 1 내지 제 3 챔버(13, 23, 33) 및 대조군 챔버(40)에 잔류한 기체를 제거하기 위하여 설치된다. 그리하여, 본 발명에 따른 동시 분배 시스템(1)에 의해 분류되어 저장된 공기가 각 챔버(13, 23, 33, 40)에 잔류한 기체에 의해 오염되지 않도록 한다.

이하에서는 상술한 바와 같이 구성된 동시 분배 시스템(1)을 이용하여 서로 다른 농도의 입자를 가진 공기를 동시에 분배하는 방법에 대하여 기술하도록 한다.

우선, 진공 펌프(50)를 작동시켜 각 챔버(13, 23, 33, 40)에 잔류한 기체를 제거하여 각 챔버(13, 23, 33, 40)를 진공 상태로 만든다.

다음으로, 제 1 유량 조절기(11)를 작동시켜 청정 공기를 입자 발생기(12)로 공급하고, 입자 발생기(12)는 나노미터 크기 또는 서브마이크론 크기의 에어로졸상 입자를 제 1 유량 조절기(11)에 의해 공급된 공기로 방출하여 고농도의 입자를 포함하는 공기를 생성한다. 이 때, 입자 발생기(12)를 통과한 고농도의 입자를 포함 하는 공기에서 입자 농도는 제 1 유량 조절기(11)의 유량을 조절하여 제어한다. 입자 발생기(12)를 통과한 공기는 제 1 챔버(13)로 유입되어 저장된다.

고농도의 입자를 포함하는 공기가 생성된 후, 제 2 유량 조절기(21)를 작동시켜 청정 공기를 제 1 샘플러(22)로 공급한다. 제 2 유량 조절기(21)에 의해 공기가 제 1 샘플러(22)로 공급되면 입자 발생기(12)를 통과한 고농도의 입자를 포함하는 공기 중 일부가 제 1 샘플러(22)로 흡입된다. 그리하여, 고농도의 입자를 포함하는 공기가 제 2 유량 조절기(21)에 의해 공급된 공기에 의해 희석되어, 고농도보다 낮은 농도인 중농도의 입자를 포함하는 공기가 제 1 샘플러(22)에서 생성된다. 이 때, 제 1 샘플러(22)를 통과한 중농도의 입자를 포함하는 공기에서 입자 농도는 제 2 유량 조절기(21)의 유량을 조절하여 제어한다. 제 1 샘플러(22)를 통과한 공기는 제 2 챔버(23)로 유입되어 저장된다.

중농도의 입자를 포함하는 공기가 생성된 후, 제 3 유량 조절기(31)를 작동시켜 청정 공기를 제 2 샘플러(32)로 공급한다. 제 3 유량 조절기(31)에 의해 공기가 제 2 샘플러(32)로 공급되면 제 1 샘플러(22)를 통과한 중농도의 입자를 포함하는 공기 중 일부가 제 2 샘플러(32)로 흡입된다. 그리하여, 중농도의 입자를 포함하는 공기가 제 3 유량 조절기(31)에 의해 공급된 공기에 의해 희석되어, 중농도보다 낮은 농도인 저농도의 입자를 포함하는 공기가 제 2 샘플러(32)에서 생성된다. 이 때, 제 2 샘플러(32)를 통과한 저농도의 입자를 포함하는 공기에서 입자 농도는 제 3 유량 조절기(31)의 유량을 조절하여 제어한다. 제 2 샘플러(32)를 통과한 공기는 제 3 챔버(23)로 유입되어 저장된다.

대조군 챔버(40)에는 입자를 포함하지 않는 공기가 유입되어 저장된다. 제 1 내지 제 3 챔버(13, 23, 33)에 각각 저장된 고농도, 중농도 및 저농도의 입자를 포함하는 공기는 대조군 챔버(40)에 저장된 입자를 포함하지 않는 공기와 비교, 동정될 수 있다.

제 1 내지 제 3 챔버(13, 23, 33)에 각각 저장된 고농도, 중농도 및 저농도의 입자를 포함하는 공기는 환경 영향 평가 연구, 흡입 독성 평가 연구, 덕트 및 챔버 시스템에 대한 연구 등의 필요로 하는 곳에 분배될 수 있다.

[제 1 실시예]

제 1 유량 조절기(11)와 입자 발생기(12)를 이용하여 고농도 입자를 포함하는 공기를 생성한다. 제 2 유량 조절기(21)를 이용하여 제 1 샘플러(22)에 5.75 Lpm(리터/분)의 공기를 공급하여 고농도 입자를 포함하는 공기를 10배 희석한 중농도 입자를 포함하는 공기를 생성하고, 제 3 유량 조절기(31)를 이용하여 제 2 샘플러(32)에 7.50 Lpm의 공기를 공급하여 고농도 입자를 포함하는 공기를 100배 희석한 저농도 입자를 포함하는 공기를 생성한다.

도 2는 고농도군, 중농도군 및 저농도군의 경우에 입자 직경 분포에 따른 개수 밀도의 분포를 나타내는 그래프이다. 도 2에서 X축은 입자의 직경(nm)을 나타내고, Y축은 개수 밀도(입자수/cm³)를 나타낸다. 도 2에서 도시되는 바와 같이, 입자 발생기(12)에서 생성된 에어로졸상 입자의 직경은 1 내지 100 nm이다. 도 2를 참조하면 고농도군, 중농도군 및 저농도군에서 입자의 분포 특성은 거의 동일하고 개수 밀도만이 차이나는 것을 볼 수 있다.

[제 2 실시예]

제 1 유량 조절기(11)와 입자 발생기(12)를 이용하여 고농도 입자를 포함하는 공기를 생성한다. 제 2 유량 조절기(21) 및 제 3 유량 조절기(31)를 조정하여 제 1 샘플러(22) 및 제 2 샘플러(32)로 유입되는 공기의 양을 제어한다. 각각의 경우에 대하여 고농도군, 중농도군 및 저농도군에서 입자의 평균 직경, 입자 직경 분포의 표준편차 및 입자의 전체 개수 밀도를 측정한다. 그 결과는 다음의 [표 1]에 정리하였다.

도 3은 표 1에 기초하여 제 2 유량 조절기(21)에 의해 제 1 샘플러(22)로 유입되는 공기의 유량에 따른 중농도군에서 입자 직경의 평균, 입자 직경의 표준편차 및 입자의 전체 개수 밀도를 도시하는 그래프이고, 도 4는 표 1에 기초하여 제 3 유량 조절기(31)에 의해 제 2 샘플러(32)로 유입되는 공기의 유량에 따른 중농도군에서 입자 직경의 평균, 입자 직경의 표준편차 및 입자의 전체 개수 밀도를 도시하는 그래프이다.

표 1, 도 3 및 4를 참조하면, 제 2 유량 조절기(21) 및 제 3 유량 조절기(31)를 제어하여 유량을 조절하였을 때, 입자 직경의 평균 및 표준편차는 거의 변화가 없는 것을 볼 수 있다. 그리고, 입자의 전체 개수 밀도는 제 2 유량 조절기(21) 및 제 3 유량 조절기(31)를 이용하여 능동적으로 제어할 수 있음을 볼 수 있다.

본 발명에 따른 시스템 및 방법은 하나의 입자 발생기와 복수의 샘플러를 이용하여 서로 다른 농도군의 입자를 가진 공기를 분배할 수 있어 경제적이고 효율적이다. 또한, 하나의 입자 발생기로부터 서로 다른 농도군의 입자를 가진 공기를 분배하기 때문에 각각의 공기의 특성이 안정적이다. 또한, 본 발명은 큰 희석비의 농도군을 발생시키는 경우에도 정확성과 정밀도가 뛰어나다.

본 발명은 서로 다른 3개의 입자 농도를 가진 공기를 분배하는 것을 기술하였지만, 2개 또는 4개 이상으로 농도군을 분배하는 것도 가능하다.

본 발명은 나노미터 크기 및 서브마이크로미터 크기의 에어로졸상의 입자에 대한 환경 영향 평가 연구, 우수 실험실 기준(Good Laboratory Practice, GLP) 인 증을 위한 흡입 독성 평가 연구, 각각의 구역에 다른 입자 농도 분포를 유지해야 하는 덕트 및 챔버 시스템에 대한 연구 등을 위하여 사용될 수 있다.

비록 본 발명이 상기에서 언급한 바람직한 실시예와 관련하여 설명되었지만, 본 발명의 요지와 범위로부터 벗어남이 없이 다양한 수정 및 변형이 가능한 것은 당업자라면 용이하게 인식할 수 있을 것이며, 이러한 변경 및 수정은 모두 첨부된 특허청구의 범위에 속함은 자명하다.

Claims

유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 1 유량 조절기(11), 상기 제 1 유량 조절기(11)로부터 흡입된 공기에 에어로졸상 입자를 방출하여 고농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 입자 발생기(12), 및 상기 입자 발생기(12)에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 1 챔버(13)를 갖는 고농도군 입자 분배 장치;

유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 2 유량 조절기(21), 상기 입자 발생기(12)에서 만들어진 고농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 상기 제 2 유량 조절기(21)로부터 흡입된 공기로 희석하여 중농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 1 샘플러(22), 및 상기 제 1 샘플러(22)에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 2 챔버(23)를 갖는 중농도군 입자 분배 장치; 및

유량을 조절하여 공기를 흡입하는 제 3 유량 조절기(31), 상기 제 1 샘플러(22)에서 만들어진 중농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 상기 제 3 유량 조절기(31)로부터 흡입된 공기로 희석하여 저농도군 입자를 포함하는 공기를 만들기 위한 제 2 샘플러(32), 및 상기 제 2 샘플러(32)에서 만들어진 저농도군 입자를 포함하는 공기를 저장하는 제 3 챔버(33)를 갖는 저농도군 입자 분배 장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 에어로졸상 입자의 직경은 1 내지 1,000 나노미터인 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 유량 조절기(11)는 흡입되는 공기의 유량을 조절하여 상기 고농도군 입자를 포함하는 공기의 입자수 농도를 제어하고,

상기 제 2 유량 조절기(21)는 흡입되는 공기의 유량을 조절하여 상기 중농도군 입자를 포함하는 공기의 입자수 농도를 제어하며, 그리고

상기 제 3 유량 조절기(31)는 흡입되는 공기의 유량을 조절하여 상기 저농도군 입자를 포함하는 공기의 입자수 농도를 제어하는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템.
제 1 항에 있어서,

상기 제 1 챔버(13), 제 2 챔버(23) 및 제 3 챔버(33)는 진공 펌프(50)에 연결되는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 시스템.
(b) 입자 발생기(12)가 제 1 유량 조절기(11)를 통해 흡입된 공기에 에어로졸상 입자를 방출하여 고농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계;

(c) 제 1 샘플러(22)가 상기 고농도군 입자를 포함하는 공기 중 일부를 제 2 유량 조절기(21)를 통해 흡입된 공기로 희석하여 중농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계; 및

(d) 제 2 샘플러(32)가 상기 중농도군 입자를 포한하는 공기 중 일부를 제 3 유량 조절기(31)를 통해 흡입된 공기로 희석하여 저농도군 입자를 포함하는 공기를 분배하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 방법.
제 5 항에 있어서,

상기 (b) 단계는 상기 고농도군 입자를 포함하는 공기를 제 1 챔버(13)에 저장하는 단계를 더 포함하고,

상기 (c) 단계는 상기 중농도군 입자를 포함하는 공기를 제 2 챔버(23)에 저장하는 단계를 더 포함하고, 그리고

상기 (d) 단계는 상기 저농도군 입자를 포함하는 공기를 제 3 챔버(33)에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 방법.
제 6 항에 있어서,

(a) 상기 (b) 단계 이전에, 상기 제 1 챔버(13), 제 2 챔버(23) 및 제 3 챔버(33)를 진공 펌프(50)를 이용하여 진공으로 만드는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 에어로졸상 입자의 동시 분배 방법.