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KR100676818B1 - 패널검사장치 - Google Patents

패널검사장치 Download PDF

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KR100676818B1
KR100676818B1 KR1020040097984A KR20040097984A KR100676818B1 KR 100676818 B1 KR100676818 B1 KR 100676818B1 KR 1020040097984 A KR1020040097984 A KR 1020040097984A KR 20040097984 A KR20040097984 A KR 20040097984A KR 100676818 B1 KR100676818 B1 KR 100676818B1
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류형선
전병환
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삼성전자주식회사
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Publication date
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Abstract

본 발명은, 패널을 검사하기 위한 패널검사장치에 관한 것으로서, 상기 패널을 지지하는 센터링유닛과; 상기 센터링유닛에 지지된 상기 패널의 배면으로 광을 공급하는 백라이트와; 상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널의 액티브영역이 노출되도록 상기 패널의 가장자리인 테두리영역을 커버하는 마스크와; 상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널에 전기적인 신호를 인가하도록 상기 패널의 전극과 접촉가능하게 마련된 핀보드와; 상기 패널의 전방에 마련되며, 상기 마스크에 의해 커버된 상기 패널의 액티브영역 및 상기 마스크의 이동에 의해 노출된 상기 패널의 전체면 중 어느 하나를 촬영하는 촬영부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 구조를 단순하며 패널의 액티브영역검사 및 외관검사의 검사시간을 줄일 수 있다.

Description

패널검사장치 { PANEL INSPECTION APPARATUS }
도 1은 종래 패널의 액티브영역검사용 패널검사장치의 개략도,
도 2는 종래 패널의 외관검사용 패널검사장치의 개략도,
도 3은 본 발명에 따른 패널검사장치의 개략도,
도 4는 본 발명의 일예에 따른 패널검사장치의 사시도,
도 5 내지 도 7은 도 4의 패널검사장치의 작동 사시도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 패널검사장치 5 : 패널
8 : 전극 9 : 베이스부재
10 : 백라이트 15 : 보호판
20 : 센터링유닛 21 : 센터링부재
23 : 센터링부재구동부 30 : 지지대
32 : 프론트라이트 33 : 마스크
35 : 핀보드 41 : 마스크구동부
42 : 제1구동부 45 : 제2구동부
51 : 지지대구동부 60 : 촬영부
61 : 카메라
본 발명은 패널검사장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 패널의 액티브영역 검사 및 외관검사를 용이하게 수행하도록 구조를 개선한 패널검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 패널은 LCD(LIQUID CRYSTAL DISPLAY)에 장착되어 화상을 형성하는 것으로서, 화상이 형성되는 액티브영역과, 액티브영역의 외측에 마련된 테두리영역을 포함한다. 이러한 패널은 여러 단계의 제조공정을 거쳐 제조되며, 이러한 제조공정에는 성능 등을 검사하기 위한 검사과정이 포함된다.
이러한 패널의 검사과정은 전기적인 신호를 통해 패널의 화상이 형성되는 액티브영역의 성능을 검사하는 액티브영역 검사와, 패널의 액티브영역 및 테두리영역의 외관 품질을 검사하는 외관검사로 나누어질 수 있다.
도 1은 종래 패널의 액티브영역의 성능을 검사하기 위한 패널검사장치의 개략도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 이러한 종래의 패널검사장치(101)는 패널(105)의 하부에 마련된 백라이트(110)와, 백라이트(110)와 패널(105) 사이에 마련되어 패널(105)을 지지하며 백라이트(110)에서 발생된 광이 패널(105)의 액티브영역에만 비추도록 패널(105)의 테두리영역을 커버하는 패널지그(120)와, 패널(105)의 상측에 마련되어 패널(105)의 액티브영역을 촬영하는 카메라(130)를 포함한다.
이러한 구성에 의해, 종래의 패널검사장치(101)는 백라이트(110)에 전원을 인가하며 패널(105)에 전기적인 신호를 인가하여 액티브영역에 기준 화상을 형성시킨 후, 액티브영역에서 화상의 품질 및 밝기의 균일도 등을 검사할 수 있다.
도 2는 종래 패널의 외관을 검사하기 위한 패널검사장치의 개략도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 이러한 종래의 패널검사장치(201)는 패널(205)의 하부에 마련된 백라이트(210)와, 패널(205)의 상측에 마련되어 패널(205)의 전체 외관을 촬영하는 카메라(230)를 포함한다.
이러한 구성에 의해, 종래의 패널검사장치(201)는 백라이트(210)에 전원을 인가하여 패널(205) 전체면의 외관에 찍힘이나 긁힘 등을 유무를 검사할 수 있다.
그러나, 이러한 종래의 패널검사장치들은 패널의 액티브영역검사 및 외관검사를 수행하도록 각각 별도로 마련되며, 각 패널검사장치 사이에는 패널을 이송하기 위한 별도의 이송수단이 마련되어야 하므로, 패널검사장치의 구조가 복잡하고 검사시간이 길어지는 문제점이 있다.
그리고, 이러한 종래의 패널검사장치는 각 패널에 맞게 별도의 패널지그가 마련되어야 하므로, 다양화 크기를 갖는 패널들을 용이하게 지지할 수 있는 방안이 요구된다.
따라서, 본 발명의 목적은, 구조를 단순하며 패널의 액티브영역검사 및 외관검사의 검사시간을 줄일 수 있는 패널검사장치를 제공하는 것이다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은, 다양한 크기의 패널을 지지할 수 있는 패널검사장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 패널을 검사하기 위한 패널검사장치에 있어서, 상기 패널을 지지하는 센터링유닛과; 상기 센터링유닛에 지지된 상기 패널의 배면으로 광을 공급하는 백라이트와; 상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널의 액티브영역이 노출되도록 상기 패널의 가장자리인 테두리영역을 커버하는 마스크와; 상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널에 전기적인 신호를 인가하도록 상기 패널의 전극과 접촉가능하게 마련된 핀보드와; 상기 패널의 전방에 마련되며, 상기 마스크에 의해 커버된 상기 패널의 액티브영역 및 상기 마스크의 이동에 의해 노출된 상기 패널의 전체면 중 어느 하나를 촬영하는 촬영부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 센터링유닛은 상기 패널을 상기 마스크와 상기 핀보드 및 상기 촬영부 중 적어도 하나의 중심에 위치하도록 지지할 수 있다.
상기 센터링유닛은, 상기 패널의 양측면과 접촉가능하게 마련된 적어도 한 쌍의 센터링부재와, 상기 한 쌍의 센터링부재가 상기 패널에 접촉하여 지지하도록 상기 한 쌍의 센터링부재를 이동하는 센터링부재구동부를 포함할 수 있다.
상기 패널의 전방에 마련되어 상기 패널의 전면으로 광을 공급하는 프론트라이트를 더 포함할 수 있다.
상기 백라이트에 대해 이동가능하게 상기 패널의 전방에 마련된 지지대를 더 포함하며, 상기 지지대는 상기 프론트라이트를 지지하며, 상기 마스크 및 상기 핀보드를 이동가능하게 지지할 수 있다.
상기 지지대에 대해 상기 마스크 및 상기 핀보드를 일체로 이동하도록 지지하는 마스크구동부를 더 포함하며, 상기 마스크구동부는 상기 마스크 및 상기 핀보드를 상기 지지대의 판면에 기립한 방향으로 이동시키는 제1구동부와, 상기 마스크 및 상기 핀보드를 상기 지지대의 판면과 나란한 방향으로 이동시키는 제2구동부를 포함할 수 있다.
상기 마스크는 상기 패널의 전면 테두리영역과 접촉가능하게 마련될 수 있다.
상기 백라이트 및 상기 패널 사이에 마련된 보호판을 더 포함할 수 있다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 패널검사장치(1)는 패널(5)의 화상을 형성하는 액티브영역(6)의 성능을 검사하는 액티브영역검사 및 패널(5)의 전체 외관을 검사는 하는 외관검사를 순차적으로 수행할 수 있도록 마련된 장치이다.
도 3은 본 발명에 따른 패널검사장치(1)의 개략도이며, 도 4 내지 도 7은 본 발명의 일예에 따른 패널검사장치(1)의 사시도 및 작동 사시도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 패널검사장치(1)는 패널(5)을 검사하도록 패널(5)을 지지하는 센터링유닛(20)과, 센터링유닛(20)에 지지된 패널(5)의 배면으로 광을 공급하는 백라이트(10)와, 패널(5)에 대해 이동가능하게 마련되며 패널(5)의 액티브영역(6)이 노출되도록 패널(5)의 가장자리인 테두리영역(7)을 커버하는 마스크(33)와, 패널(5)에 대해 이동가능하게 마련되며 패널(5)에 전기적인 신호를 인가하도록 패널(5)의 전극(8)과 접촉가능하게 마련된 핀보드(35)와, 패널(5)의 전방에 마련되어 패널(5)을 검사하기 위해 패널(5)을 촬영하는 촬영부(60)를 포함한다. 본 발명에 따른 패널검사장치(1)는 패널(5)의 전방에 마련되어 패널(5)의 전면(front side)으로 광을 공급하는 프론트라이트(32)를 더 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 패널검사장치(1)는 백라이트(10)에 대해 이동가능하게 패널(5)의 전방에 마련된 지지대(30)를 더 포함할 수 있으며, 지지대(30)에 대해 마스크(33) 및 핀보드(35)를 일체로 이동가능하게 지지하는 마스크구동부(41)를 더 포함할 수 있다. 본 발명에 따른 패널검사장치(1)는 백라이트(10) 및 패널(5) 사이에 마련된 보호판(15)을 더 포함할 수 있다.
패널(5)은 TFT-LCD(THIN FILM TRANSISTOR - LIQUID CRYSTAL DISPLAY)에 장착되어 화상을 형성하는 디스플레이패널을 나타낸다. 그러나, 패널(5)은 PDP(PLASMA DISPLAY PANEL) 및 유기ELD(ELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY)와 같은 평면디스플레이에 장착되어 화상을 형성하는 디스플레이패널을 나타낼 수도 있다. 패널(5)은 판 형상의 유리기판 등으로 마련되며, 화상을 형성하도록 전기적 회로를 구성하는 패턴 등이 형성된 상태에서 검사를 받도록 패널검사장치(1)로 이송된다. 패널(5)은 그 중앙에 화상이 형성되는 액티브영역(active area)(6)과, 액티브영역(6)의 외측인 패널(5)의 테두리영역(7)과, 패널(5)의 테두리영역(7)에 패턴 등과 연결되며 핀보드(35)와 접촉가능하게 마련된 다수의 전극(8)을 포함한다. 패널(5)은 패널이송수단(미도시)에 의해 패널검사장치(1)로 공급 및 배출될 수 있다. 그리고, 이러한 패널이송수단은 패널(5)을 안착하여 이송하는 컨베이어방식 및 패널(5)을 진공 흡착하여 후술할 보호판(15)에 안착하는 진공흡착방식 등 다양한 방식으로 구성될 수 있다. 패널(5)은 본 발명의 일예로 도 5에 도시된 바와 같이, 보호판(15)에 안착되어 있으므로, 패널(5)의 전방은 패널(5)의 상측을 나타낸다.
백라이트(10)는 패널(5)의 하측에 배치되도록 베이스부재(9)에 의해 지지되어 패널(5)의 배면으로 광을 공급한다. 백라이트(10)와 패널(5) 사이에는 편광판(polarizer plate)(13)과 같은 다양한 광학시트들이 마련될 수 될 수 있다. 백라이트(10)는 다양한 크기의 패널(5)에 광을 공급할 수 있도록 충분히 크게 마련된다.
보호판(15)은 편광판(13)과 패널(5) 사이에 투명한 재질로 마련되어 공급된 패널(5)과 편광판(13) 등을 보호하게 된다. 보호판(15)은 백라이트(10)의 전체를 커버하도록 충분히 크게 마련된다.
지지대(30)는 보호판(15)의 상측에 배치되며, 지지대구동부(51)에 의해 베이스부재(9)에 대해 승강가능하게 마련된다. 지지대(30)는 판 형상으로 마련되며, 그 중앙영역에는 마스크(33) 및 핀보드(35)가 통과하도록 지지대관통부(31)가 형성된다. 즉, 지지대(30)는 사각 도넛형상으로 마련된다. 그러나, 지지대(30)는 도넛 형상에 한정되지 않고 다양한 형상으로 마련될 수 있다.
지지대구동부(51)는 일측이 베이스부재(9)에 결합되고 타측이 지지대(30)에 결합되어 지지대(30)를 베이스부재(9)에 대해 승강시킨다. 지지대구동부(51)는 본 발명의 일예로 실린더방식으로 마련되나, 지지대(30) 및 베이스부재(9)에 결합된 스크루 및 스크루를 회전시켜 지지대(30)를 승강시키는 구동모터와 같은 다양한 방식으로 마련될 수 있다. 지지대구동부(51)는 복수개로 마련되는 것이 바람직하다.
프론트라이트(32)는 지지대(30)의 하부면에 장착되어 패널(5)의 전면(front side)인 상부면에 광을 공급하게 된다. 프론트라이트(32)는 패널(5)의 상부 측면에 배치되도록 지지대(30)에 결합되어 패널(5)에 경사지게 광을 공급한다. 프론트라이트(32)는 본 발명의 일예로 사각 형상의 패널(5)에 대응하여 사각 도넛형상으로 마련된다. 그러나, 프론트라이트(32)는 도넛형상에 한정되지 않고 다양한 형상으로 마련될 수 있다.
마스크(33)는 패널(5)의 테두리영역(7)을 커버하도록 판 형상으로 마련된다. 마스크(33)는 패널(5)의 액티브영역(6)이 노출되도록 중앙영역에 마스크관통부(34)가 형성된 도넛형상으로 마련된다. 마스크(33)는 마스크구동부(41)에 의해 이동가능하게 마련된다. 마스크(33)는 패널(5)의 전면 테두리영역(7)과 접촉가능하게 마련된다. 이에, 마스크(33)는 후술할 핀보드(35)의 핀(36)이 패널(5)의 일측에 마련된 전극(8)과 접촉하기 위해 전극(8)을 가압할 경우 패널(5)의 타측이 들릴 수 있는 것을 방지할 수 있다.
핀보드(35)는 패널(5)의 전극(8)과 접촉가능하게 마련된 복수의 핀(36)을 포함한다. 핀보드(35)는 본 발명의 일예로 마스크(33)와 같이 도넛형상으로 마련되어 마스크(33)의 상측에 마련된다. 핀보드(35)는 마스크(33)의 상측에 마스크(33)와 결합되어 마스크구동부(41)와 함께 이동가능하게 마련된다. 그러나, 핀보드(35)는 마스크(33)와 별도의 구동수단에 의해 이동될 수도 있다.
마스크구동부(41)는 일측이 지지대(30)에 대해 결합되며, 타측이 마스크(33)에 대해 결합되어 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)에 대해 이동하게 된다. 마스크구동부(41)는 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)의 판면에 기립한 방향으로 이동시키는 제1구동부(42)와, 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)의 판면과 나란한 방향으로 이동시키는 제2구동부(45)를 포함한다.
마스크구동부(41)는 제1구동부(42)와, 일측이 지지대에 결합되며 타측이 마스크(33)에 대해 결합되어 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)에 대해 전후방향으로 이동하는 제2구동부(45)를 포함한다.
제1구동부(42)는 일측이 지지대에 결합되며 타측이 마스크(33)에 대해 결합되어 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)에 대해 상하방향으로 이동시킨다. 제1구동부(42)는 지지대(30)에서 상하로 기립된 제1가이드(43)와, 마스크(33) 및 핀보드(35)에 결합되어 제1가이드(43)를 따라 슬라이딩하는 제1슬라이더(44)를 포함한다. 제1구동부(42)는 제1슬라이더(44)가 제1가이드(43)를 따라 슬라이딩할 수 있도록 구동하는 실린더유닛(미도시) 등을 더 포함한다. 제1구동부(42)는 마스크(33) 및 핀보드(35)가 지지대관통부(31)를 통과하여 패널(5)에 접촉가능하게 이동시킨다.
제2구동부(45)는 일측이 지지대에 결합되며 타측이 마스크(33)에 대해 결합되어 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대(30)에 대해 전후방향으로 이동시킨다. 제2구동부(45)는 지지대(30)의 상측에 전후방향으로 마련된 제2가이드(46)와, 마스크(33) 및 핀보드(35)에 결합되어 제2가이드(46)를 따라 슬라이딩하는 제2슬라이더(47)와, 제2슬라이더(47)가 제2가이드(46)를 따라 슬라이딩할 수 있도록 구동하는 실린더유닛(48)을 포함한다. 제2구동부(45)는 지지대(30)의 상측으로 상승한 마스 크(33) 및 핀보드(35)를 전후방향으로 이동시킨다.
촬영부(60)는 패널(5)의 전방에 마련되며 마스크(33)에 의해 커버된 패널(5)의 액티브영역(6) 및 마스크(33)의 이동에 의해 노출된 패널(5)의 전체면 중 어느 하나를 촬영하게 된다. 촬영부(60)는 패널(5)의 전면을 촬영하기 위한 카메라(61)와, 카메라(61)를 지지하는 베이스부재(9)에 대해 지지하는 카메라지지대(63)를 포함한다. 촬영부(60)는 카메라(61)에 의해 촬영된 영상을 분석하여 불량여부를 판단하는 제어부(미도시)와 연결된다.
카메라(61)는 패널(5)의 상측에 마련되어 패널(5)의 전면을 촬영하게 된다. 카메라(61)는 패널(5)의 액티브영역(6)을 검사하기 위해 마스크(33) 및 핀보드(35)가 패널(5)에 접촉한 경우에는 마스크관통부(34)를 통해 패널(5)의 액티브영역(6)을 촬영하게 되며, 패널(5)의 외관을 검사하기 위해 마스크(33) 및 핀보드(35)가 패널(5)로부터 이동한 경우에는 패널(5)의 액티브영역(6) 및 테두리영역(7)을 포함한 패널(5)의 전체면을 촬영하게 된다.
센터링유닛(20)은 패널(5)을 마스크(33)와 핀보드(35) 및 촬영부(60) 중 적어도 하나의 중심에 위치하도록 지지한다. 센터링유닛(20)은 패널(5)의 양측면과 접촉가능하게 마련된 적어도 한 쌍의 센터링부재(21)와, 한 쌍의 센터링부재(21)가 패널(5)에 접촉하여 지지하도록 한 쌍의 센터링부재(21)를 이동하는 센터링부재구동부(23)를 포함한다.
센터링부재(21)는 보호판(15)으로 이송된 패널(5)을 지지하도록 보호판(15) 상에 이동가능하게 마련된다. 센터링부재(21)는 패널(5)의 양측면을 지지하도록 한 쌍으로 마련될 수도 있으며, 패널(5)의 좌우 측면 및 전후 측면을 지지하도록 두 쌍으로 마련될 수도 있다. 센터링부재(21)는 패널(5)의 측면과 접촉가능하게 긴 막대형상으로 마련된다.
센터링부재구동부(23)는 한 쌍의 센터링부재(21)와 결합된 구동스크루(24)와, 구동스크루(24)를 회전시켜 센터링부재(21)를 이동시키는 구동모터(25)를 포함한다. 센터링부재구동부(23)는 두 쌍의 센터링부재(21)를 이동시키도록 한 쌍으로 마련될 수 있다.
이러한 구성에 의해, 본 발명에 따른 패널검사장치(1)의 작동 과정을 살펴보면 다음과 같다.
우선, 지지대구동부(51)에 의해 지지대(30)를 베이스부재(9)에 대해 상승시켜 보호판(15) 상에 패널(5)을 안착시키며, 센터링유닛(20)을 구동하여 패널(5)을 지지하게 된다(도 5참조). 그리고, 지지대구동부(51)에 의해 지지대(30)를 베이스부재(9)에 대해 하강시킨 후, 마스크구동부(41)의 제2구동부(45)에 의해 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대관통부(31)에 대응하여 전후방향으로 이동시킨다(도 6참조). 그런 후, 마스크구동부(41)의 제1구동부(42)에 의해 마스크(33) 및 핀보드(35)를 지지대관통부(31)를 통과해 패널(5)에 접촉시킨다(도 7참조). 그리고, 백라이트(10) 및 프론트라이트(32)에 전원을 인가하며, 핀보드(35)의 핀(36)을 통해 패널(5)의 전극(8)을 전기적신호를 인가하여 패널(5)의 액티브영역(6)에 화상을 형성시킨다. 그런 후, 카메라(61)에 의해 패널(5)의 액티브영역(6)을 촬영하여 액티브영역(6)의 불량여부를 판단하도록 액티브영역검사를 수행할 수 있다. 그리고, 마스크구동부(41)의 제1구동부(42) 및 제2구동부(45)를 순차적으로 작동시켜 도 4에 도시된 상태로 마스크(33) 및 핀보드(35)를 이동시킨다. 그리고, 센터링유닛(20)을 구동하여 패널(5)로부터 센터링부재(21)를 이탈 시킨다. 그런 후, 카메라(61)에 의해 패널(5)의 액티브영역(6) 및 테두리영역(7)을 포함한 전체면을 촬영하여 패널(5)의 외관의 불량여부를 판단하도록 외관검사를 수행할 수 있다.
이에, 본 발명에 따른 패널검사장치는 패널(5)의 액티브영역검사 및 외관검사를 하나의 장치에서 수행할 수 있도록 함으로써 구조를 단순화 시킬 수 있으며, 검사시간을 줄일 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 패널검사장치는 센터링유닛에 의해 다양한 크기의 패널을 지지할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 구조를 단순하며 패널의 액티브영역검사 및 외관검사의 검사시간을 줄일 수 있는 패널검사장치를 제공할 있다.
그리고, 센터링유닛을 마련하여 다양한 크기의 패널을 지지할 수 있는 패널검사장치를 제공할 수 있다.

Claims (8)

  1. 패널을 검사하기 위한 패널검사장치에 있어서,
    상기 패널을 지지하는 센터링유닛과;
    상기 센터링유닛에 지지된 상기 패널의 배면으로 광을 공급하는 백라이트와;
    상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널의 액티브영역이 노출되도록 상기 패널의 가장자리인 테두리영역을 커버하는 마스크와;
    상기 패널에 대해 이동가능하게 마련되며, 상기 패널에 전기적인 신호를 인가하도록 상기 패널의 전극과 접촉가능하게 마련된 핀보드와;
    상기 패널의 전방에 마련되며, 상기 마스크에 의해 커버된 상기 패널의 액티브영역 및 상기 마스크의 이동에 의해 노출된 상기 패널의 전체면 중 어느 하나를 촬영하는 촬영부를 포함하고,
    상기 마스크는 상기 패널의 전면 테두리영역과 접촉가능하게 마련된 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 센터링유닛은 상기 패널을 상기 마스크와 상기 핀보드 및 상기 촬영부 중 적어도 하나의 중심에 위치하도록 지지하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 센터링유닛은,
    상기 패널의 양측면과 접촉가능하게 마련된 적어도 한 쌍의 센터링부재와,
    상기 한 쌍의 센터링부재가 상기 패널에 접촉하여 지지하도록 상기 한 쌍의 센터링부재를 이동하는 센터링부재구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 패널의 전방에 마련되어 상기 패널의 전면으로 광을 공급하는 프론트라이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 백라이트에 대해 이동가능하게 상기 패널의 전방에 마련된 지지대를 더 포함하며,
    상기 지지대는 상기 프론트라이트를 지지하며, 상기 마스크 및 상기 핀보드를 이동가능하게 지지하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 지지대에 대해 상기 마스크 및 상기 핀보드를 일체로 이동하도록 지지하는 마스크구동부를 더 포함하며,
    상기 마스크구동부는 상기 마스크 및 상기 핀보드를 상기 지지대의 판면에 기립한 방향으로 이동시키는 제1구동부와, 상기 마스크 및 상기 핀보드를 상기 지지대의 판면과 나란한 방향으로 이동시키는 제2구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 백라이트 및 상기 패널 사이에 마련된 보호판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널검사장치.
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