JPH0783794A - 大型液晶パネルの位置決め機構 - Google Patents
大型液晶パネルの位置決め機構Info
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- JPH0783794A JPH0783794A JP25231993A JP25231993A JPH0783794A JP H0783794 A JPH0783794 A JP H0783794A JP 25231993 A JP25231993 A JP 25231993A JP 25231993 A JP25231993 A JP 25231993A JP H0783794 A JPH0783794 A JP H0783794A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 大型液晶パネル１の角度ズレを補正して載置
板２に正しく位置決めする。 【構成】 載置板２の表面に対して、液晶パネル１の長
辺１Ａを位置決めする２個の位置決めエアシリンダ５a,
５b と、長辺１Ｂを押圧する２個の押圧エアシリンダ５
c,５d とを、作用線Ｃ1,Ｃ2 に対してＸ方向に適当な間
隔ＬX で反対の位置にそれぞれ配置し、対向するエアシ
リンダ５a,５c と５b,５d とが、それぞれの中心点
Ｏ13，Ｏ23に対して互いに反対の偶力ＭL,ＭR を生ずる
２組のＹ方向位置決め機構と、短辺１Ｃを位置決めする
位置決めエアシリンダ５e と、短辺１Ｄを押圧する押圧
エアシリンダ５f よりなる１組のＸ方向位置決め機構と
を配設して構成される。 【効果】 載置板２との大きい摩擦抵抗にかかわらず、
大型液晶パネル１は角度ズレが補正されて載置板２に正
しく位置決めされる。
板２に正しく位置決めする。 【構成】 載置板２の表面に対して、液晶パネル１の長
辺１Ａを位置決めする２個の位置決めエアシリンダ５a,
５b と、長辺１Ｂを押圧する２個の押圧エアシリンダ５
c,５d とを、作用線Ｃ1,Ｃ2 に対してＸ方向に適当な間
隔ＬX で反対の位置にそれぞれ配置し、対向するエアシ
リンダ５a,５c と５b,５d とが、それぞれの中心点
Ｏ13，Ｏ23に対して互いに反対の偶力ＭL,ＭR を生ずる
２組のＹ方向位置決め機構と、短辺１Ｃを位置決めする
位置決めエアシリンダ５e と、短辺１Ｄを押圧する押圧
エアシリンダ５f よりなる１組のＸ方向位置決め機構と
を配設して構成される。 【効果】 載置板２との大きい摩擦抵抗にかかわらず、
大型液晶パネル１は角度ズレが補正されて載置板２に正
しく位置決めされる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、検査ステージにおけ
る大型液晶パネルの位置決め機構に関する。
る大型液晶パネルの位置決め機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルは技術の進歩により、大型の
ものが開発されて各方面に多用されている。液晶パネル
は、表面に微小な画素がマトリックス状に形成されたも
ので、これが形成された段階で検査装置により検査され
る。図３(a) は大型液晶パネル（以下単に液晶パネルと
いう）１の外観を示し、縦横の寸法ｗY ，ｗX は、例え
ば３００ｍｍ，４００ｍｍの方形をなし、その厚さｄは
約１ｍｍである。液晶パネル１はガラス基板11をベース
とし、その表面に対してフォトリソグラフ法により、微
小な薄膜トランジスタや、抵抗、コンデンサ、画素電極
などよりなる各画素12が形成される。図３(b) は液晶パ
ネル１に対する検査ステージの概略の構成を示す。検査
ステージは、液晶パネル１を載置する載置板２と、載置
板２をｘ，ｙ，ｚ移動するＸ，Ｙ，Ｚ移動機構３、およ
び載置板２の上方に設けた検査光学系４を具備する。
ものが開発されて各方面に多用されている。液晶パネル
は、表面に微小な画素がマトリックス状に形成されたも
ので、これが形成された段階で検査装置により検査され
る。図３(a) は大型液晶パネル（以下単に液晶パネルと
いう）１の外観を示し、縦横の寸法ｗY ，ｗX は、例え
ば３００ｍｍ，４００ｍｍの方形をなし、その厚さｄは
約１ｍｍである。液晶パネル１はガラス基板11をベース
とし、その表面に対してフォトリソグラフ法により、微
小な薄膜トランジスタや、抵抗、コンデンサ、画素電極
などよりなる各画素12が形成される。図３(b) は液晶パ
ネル１に対する検査ステージの概略の構成を示す。検査
ステージは、液晶パネル１を載置する載置板２と、載置
板２をｘ，ｙ，ｚ移動するＸ，Ｙ，Ｚ移動機構３、およ
び載置板２の上方に設けた検査光学系４を具備する。
【０００３】検査においては、被検査の液晶パネル１は
載置板２に載置されて位置決めされ、移動機構３により
ｘまたはｙ移動して、その所定の区分範囲を検査光学系
４に位置合わせし、さらにｚ移動（昇降）して焦点合わ
せ（合焦）した後、この区分範囲が検査される。これが
終了するとさらにｘまたはｙ移動し、次の区分範囲に対
する検査が逐次になされて全面が検査される。
載置板２に載置されて位置決めされ、移動機構３により
ｘまたはｙ移動して、その所定の区分範囲を検査光学系
４に位置合わせし、さらにｚ移動（昇降）して焦点合わ
せ（合焦）した後、この区分範囲が検査される。これが
終了するとさらにｘまたはｙ移動し、次の区分範囲に対
する検査が逐次になされて全面が検査される。
【０００４】図４は載置板２に載置された液晶パネル１
と、これに対する位置決め機構５の平面図を示す。液晶
パネル１の２長辺を１Ａ，１Ｂ、２短辺を１Ｃ，１Ｄと
し、長辺をＸ方向、短辺をＹ方向として載置されたとす
る。長辺１Ａに対して、それぞれストッパＳta，Ｓtbを
有する位置決めエアシリンダ５a ，５b が、また長辺１
Ｂに対して押圧エアシリンダ５c ，５d がそれぞれ配設
される。エアシリンダ５a ，５c 、および５b と５d と
は、それぞれＹ方向の作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にあり、これ
らの押圧力または反力に対する液晶パネル１の作用点
は、ｐa ，ｐc 、およびｐb ，ｐd である。一方、短辺
１Ｃ，１Ｄに対して、ストッパＳteを有する位置決めエ
アシリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とが、Ｘ方向の
作用線Ｃ3上にそれぞれ配設され、力の作用点はｐe ，
ｐf である。位置決めにおいては、まず各エアシリンダ
５a 〜５f を反対方向に動作してそれぞれの押圧棒51を
待避し、ついで液晶パネル１を図示しないハンドリング
機構により搬送して、載置台２の凡その位置に載置す
る。ここで、各位置決めエアシリンダ５a ，５b および
５e を動作すると各押圧棒51が移動し、それぞれの先端
がストッパＳta，Ｓtb，Ｓteにより一定の位置決め位置
に停止する。ついで各押圧エアシリンダ５c ，５d およ
び５f の動作により、それぞれの押圧棒51が長辺１Ｂと
短辺１Ｄの作用点ｐc ，ｐd ，ｐf を押圧し、液晶パネ
ル１は移動して図示の状態に位置決めされるものであ
る。
と、これに対する位置決め機構５の平面図を示す。液晶
パネル１の２長辺を１Ａ，１Ｂ、２短辺を１Ｃ，１Ｄと
し、長辺をＸ方向、短辺をＹ方向として載置されたとす
る。長辺１Ａに対して、それぞれストッパＳta，Ｓtbを
有する位置決めエアシリンダ５a ，５b が、また長辺１
Ｂに対して押圧エアシリンダ５c ，５d がそれぞれ配設
される。エアシリンダ５a ，５c 、および５b と５d と
は、それぞれＹ方向の作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にあり、これ
らの押圧力または反力に対する液晶パネル１の作用点
は、ｐa ，ｐc 、およびｐb ，ｐd である。一方、短辺
１Ｃ，１Ｄに対して、ストッパＳteを有する位置決めエ
アシリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とが、Ｘ方向の
作用線Ｃ3上にそれぞれ配設され、力の作用点はｐe ，
ｐf である。位置決めにおいては、まず各エアシリンダ
５a 〜５f を反対方向に動作してそれぞれの押圧棒51を
待避し、ついで液晶パネル１を図示しないハンドリング
機構により搬送して、載置台２の凡その位置に載置す
る。ここで、各位置決めエアシリンダ５a ，５b および
５e を動作すると各押圧棒51が移動し、それぞれの先端
がストッパＳta，Ｓtb，Ｓteにより一定の位置決め位置
に停止する。ついで各押圧エアシリンダ５c ，５d およ
び５f の動作により、それぞれの押圧棒51が長辺１Ｂと
短辺１Ｄの作用点ｐc ，ｐd ，ｐf を押圧し、液晶パネ
ル１は移動して図示の状態に位置決めされるものであ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記の載置板２
の表面は、検査光学系４に対する合焦上必要なために、
極めて平坦かつ平滑とされている。これに対して、大型
液晶パネル１は前記したように面積が大きい割に厚さｄ
が薄いため、載置板２に載置されたときこれに密着し、
両者間にはかなり大きい摩擦抵抗が生ずる。いま、液晶
パネル１がＸＹ方向に対して角度ズレして載置されたと
すると、この摩擦抵抗のために液晶パネル１は移動せ
ず、従って角度ズレが補正されない。この点を図５によ
り説明する。図５において、液晶パネル１が右側に傾斜
して載置されたとする。まず、各位置決めエアシリンダ
５a ，５b ，５e を動作すると、それぞれの押圧棒51の
先端が位置決め位置に停止する。ついで各押圧エアシリ
ンダ５c ，５d ，５f の動作により、液晶パネル１は作
用点ｐc ，ｐd ，ｐf が押圧されて移動し、作用点ｐ
a ，ｐe が押圧棒51に接触して停止する。しかし摩擦抵
抗が大きいために液晶パネル１は回転せず、従って作用
点ｐb が離間した図示の状態となる。すなわち角度ズレ
δθは補正されない。上記は液晶パネル１が右側に傾斜
した場合であるが、左側に傾斜した場合も上記と同様に
角度ズレは補正されない。一般に摩擦抵抗のある物体
を、直進力のみで移動することが困難な場合、直進力に
回転力を併用すると、物体は容易に移動できることが知
られている。これに対して、上記の位置決めエアシリン
ダ５a ，５b と、これらに対向する押圧エアシリンダ５
c ，５d とは、それぞれ同一作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にある
ので、ともに液晶パネル１に対する回転力がない。そこ
で、これらに回転力を持たせて液晶パネル１を回転すれ
ば、角度ズレが補正できるものと考えられる。この発明
は以上の考えのもとになされたもので、回転力が発生す
るように位置決めエアシリンダと押圧エアシリンダとを
配置し、発生した回転力により角度ズレを補正して液晶
パネル１を正しく位置決めできる、位置決め機構を提供
することを目的とする。
の表面は、検査光学系４に対する合焦上必要なために、
極めて平坦かつ平滑とされている。これに対して、大型
液晶パネル１は前記したように面積が大きい割に厚さｄ
が薄いため、載置板２に載置されたときこれに密着し、
両者間にはかなり大きい摩擦抵抗が生ずる。いま、液晶
パネル１がＸＹ方向に対して角度ズレして載置されたと
すると、この摩擦抵抗のために液晶パネル１は移動せ
ず、従って角度ズレが補正されない。この点を図５によ
り説明する。図５において、液晶パネル１が右側に傾斜
して載置されたとする。まず、各位置決めエアシリンダ
５a ，５b ，５e を動作すると、それぞれの押圧棒51の
先端が位置決め位置に停止する。ついで各押圧エアシリ
ンダ５c ，５d ，５f の動作により、液晶パネル１は作
用点ｐc ，ｐd ，ｐf が押圧されて移動し、作用点ｐ
a ，ｐe が押圧棒51に接触して停止する。しかし摩擦抵
抗が大きいために液晶パネル１は回転せず、従って作用
点ｐb が離間した図示の状態となる。すなわち角度ズレ
δθは補正されない。上記は液晶パネル１が右側に傾斜
した場合であるが、左側に傾斜した場合も上記と同様に
角度ズレは補正されない。一般に摩擦抵抗のある物体
を、直進力のみで移動することが困難な場合、直進力に
回転力を併用すると、物体は容易に移動できることが知
られている。これに対して、上記の位置決めエアシリン
ダ５a ，５b と、これらに対向する押圧エアシリンダ５
c ，５d とは、それぞれ同一作用線Ｃ1 ，Ｃ2 上にある
ので、ともに液晶パネル１に対する回転力がない。そこ
で、これらに回転力を持たせて液晶パネル１を回転すれ
ば、角度ズレが補正できるものと考えられる。この発明
は以上の考えのもとになされたもので、回転力が発生す
るように位置決めエアシリンダと押圧エアシリンダとを
配置し、発生した回転力により角度ズレを補正して液晶
パネル１を正しく位置決めできる、位置決め機構を提供
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は大型液晶パネ
ルの位置決め機構であって、前記の検査ステージにおい
て、載置板の表面に対して、液晶パネルの２長辺の一方
を位置決めする２個の位置決めエアシリンダと、その他
方を押圧する２個の押圧エアシリンダとを、Ｘ方向に適
当な間隔で配置し、対向する各位置決めエアシリンダと
押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点に対して
互いに反対の偶力を生ずる２組のＹ方向位置決め機構
と、２短辺の一方を位置決めする１個の位置決めエアシ
リンダと、その他方を押圧する１個の押圧エアシリンダ
よりなる１組のＸ方向位置決め機構とを配設して構成さ
れる。
ルの位置決め機構であって、前記の検査ステージにおい
て、載置板の表面に対して、液晶パネルの２長辺の一方
を位置決めする２個の位置決めエアシリンダと、その他
方を押圧する２個の押圧エアシリンダとを、Ｘ方向に適
当な間隔で配置し、対向する各位置決めエアシリンダと
押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点に対して
互いに反対の偶力を生ずる２組のＹ方向位置決め機構
と、２短辺の一方を位置決めする１個の位置決めエアシ
リンダと、その他方を押圧する１個の押圧エアシリンダ
よりなる１組のＸ方向位置決め機構とを配設して構成さ
れる。
【０００７】
【作用】上記の位置決め機構においては、各位置決めエ
アシリンダと押圧エアシリンダの位置決めおよび押圧作
用は従来と同様である。ただし、載置板に対して液晶パ
ネルが傾斜して載置された場合は、載置板に配設された
２組のＹ方向位置決め機構は、その２個の位置決めエア
シリンダと２個の押圧エアシリンダとが、それぞれＸ方
向に適当な間隔で配置され、対向する各位置決めエアシ
リンダと押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点
に対して互いに反対方向の偶力を生ずる。この反対偶力
は液晶パネルに対して反対方向の回転力となるが、液晶
パネルは傾斜しているために一方の偶力のみが作用する
ので、液晶パネルは摩擦抵抗にかかわらず回転し、角度
ズレが補正されて載置板に正しく位置決めされる。
アシリンダと押圧エアシリンダの位置決めおよび押圧作
用は従来と同様である。ただし、載置板に対して液晶パ
ネルが傾斜して載置された場合は、載置板に配設された
２組のＹ方向位置決め機構は、その２個の位置決めエア
シリンダと２個の押圧エアシリンダとが、それぞれＸ方
向に適当な間隔で配置され、対向する各位置決めエアシ
リンダと押圧エアシリンダとが、それぞれの力の作用点
に対して互いに反対方向の偶力を生ずる。この反対偶力
は液晶パネルに対して反対方向の回転力となるが、液晶
パネルは傾斜しているために一方の偶力のみが作用する
ので、液晶パネルは摩擦抵抗にかかわらず回転し、角度
ズレが補正されて載置板に正しく位置決めされる。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における位置決め
機構５’の平面図を示し、図２は図１に対する角度ズレ
の補正方法の説明図である。図１において、位置決め機
構５’の構成部品は、前記した図４の位置決め機構５と
同一で、同一符号とする。ただし、液晶パネル１の２長
辺１Ａ，１Ｂに対する位置決めエアシリンダ５a ，５b
と、押圧エアシリンダ５c ，５d の配置位置が異なる。
すなわち、エアシリンダ５a と５c とは、図４の作用線
Ｃ1 に対してＸ方向に適当な間隔ＬX をなして、外側と
内側にそれぞれ配置される。同様にエアシリンダ５b と
５d とは、作用線Ｃ2 に対して間隔ＬX をなして内側と
外側にそれぞれ配置され、従って、これらのエアシリン
ダの作用点はｐa ’，ｐc ’，ｐb ’，ｐd ’ に移動
する。以上により、２組のＹ方向の位置決め機構が構成
される。次に、２短辺１Ｃ，１Ｄに対する位置決めエア
シリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とは、従来と同様
に作用線Ｃ3 上に配置されて１組のＸ方向位置決め機構
が構成される。
機構５’の平面図を示し、図２は図１に対する角度ズレ
の補正方法の説明図である。図１において、位置決め機
構５’の構成部品は、前記した図４の位置決め機構５と
同一で、同一符号とする。ただし、液晶パネル１の２長
辺１Ａ，１Ｂに対する位置決めエアシリンダ５a ，５b
と、押圧エアシリンダ５c ，５d の配置位置が異なる。
すなわち、エアシリンダ５a と５c とは、図４の作用線
Ｃ1 に対してＸ方向に適当な間隔ＬX をなして、外側と
内側にそれぞれ配置される。同様にエアシリンダ５b と
５d とは、作用線Ｃ2 に対して間隔ＬX をなして内側と
外側にそれぞれ配置され、従って、これらのエアシリン
ダの作用点はｐa ’，ｐc ’，ｐb ’，ｐd ’ に移動
する。以上により、２組のＹ方向の位置決め機構が構成
される。次に、２短辺１Ｃ，１Ｄに対する位置決めエア
シリンダ５e と押圧エアシリンダ５f とは、従来と同様
に作用線Ｃ3 上に配置されて１組のＸ方向位置決め機構
が構成される。
【０００９】以下、上記の位置決め機構５’による液晶
パネル１の位置決め動作を説明する。まず、載置板２に
対して液晶パネル１が傾斜せずに載置されたときは、図
４で説明したと同様に問題なく位置決めされる。しか
し、傾斜して載置されたときは、その角度ズレが補正さ
れて正しく位置決めされる。この補正方法を図２により
やや詳細に説明する。図２(a) は、液晶パネル１が載置
板２に対して右側に傾斜して載置された場合を示し、各
エアシリンダが動作してもまだ角度ズレδθが残って、
作用点ｐb ’のみが離間している状態（図５と同一）と
する。いまエアシリンダ５c の押圧力をＦc とすると、
作用点ｐa ’に接触しているエアシリンダ５a には、押
圧力Ｆc に対する反力Ｆa が生ずる。両エアシリンダは
作用線Ｃ1 に対して間隔ＬX をなして反対の位置に配置
されているので、押圧力Ｆc と反力Ｆa により間隔ＬX
に比例する偶力ＭL が発生し、これが作用線Ｃ1 とＣ3
の交点Ｏ13に対する回転力となる。この回転力により液
晶パネル１は、交点Ｏ13を中心として左回りに回転して
角度ズレδθが補正される。この場合、左側の位置決め
エアシリンダ５bは作用点ｐb ’に接触していないの
で、押圧エアシリンダ５d の押圧力Ｆd に対する反力Ｆ
c が生せず、従って偶力も発生せず回転作用がなされな
い。上記に対して、図(b) は液晶パネル１が載置板２に
対して左側に傾斜して載置された場合を示し、この場合
は、位置決めエアシリンダ５a は作用点ｐa ’に接触し
ていないので偶力は生じないが、エアシリンダ５d の押
圧力Ｆd と、エアシリンダ５b の反力Ｆb とにより偶力
ＭR が発生し、液晶パネル１は中心点Ｏ23を中心として
右回りに回転して角度ズレが補正される。以上の各補正
により、液晶パネル１は右側または左側のいずれに傾斜
して載置されても、大きい摩擦抵抗にかかわらず載置板
２に対して正しく位置決めされる。なお上記の間隔ＬX
は試行実験により求められるが、前記の大きさの大型液
晶パネルの場合は、ＬX として例えば約１０ｍｍが適当
であることが確認されている。また、上記の位置決め機
構５’は大型液晶パネル１に限らず、これと同様な他の
板状物に対しても適用できることは明らかである。
パネル１の位置決め動作を説明する。まず、載置板２に
対して液晶パネル１が傾斜せずに載置されたときは、図
４で説明したと同様に問題なく位置決めされる。しか
し、傾斜して載置されたときは、その角度ズレが補正さ
れて正しく位置決めされる。この補正方法を図２により
やや詳細に説明する。図２(a) は、液晶パネル１が載置
板２に対して右側に傾斜して載置された場合を示し、各
エアシリンダが動作してもまだ角度ズレδθが残って、
作用点ｐb ’のみが離間している状態（図５と同一）と
する。いまエアシリンダ５c の押圧力をＦc とすると、
作用点ｐa ’に接触しているエアシリンダ５a には、押
圧力Ｆc に対する反力Ｆa が生ずる。両エアシリンダは
作用線Ｃ1 に対して間隔ＬX をなして反対の位置に配置
されているので、押圧力Ｆc と反力Ｆa により間隔ＬX
に比例する偶力ＭL が発生し、これが作用線Ｃ1 とＣ3
の交点Ｏ13に対する回転力となる。この回転力により液
晶パネル１は、交点Ｏ13を中心として左回りに回転して
角度ズレδθが補正される。この場合、左側の位置決め
エアシリンダ５bは作用点ｐb ’に接触していないの
で、押圧エアシリンダ５d の押圧力Ｆd に対する反力Ｆ
c が生せず、従って偶力も発生せず回転作用がなされな
い。上記に対して、図(b) は液晶パネル１が載置板２に
対して左側に傾斜して載置された場合を示し、この場合
は、位置決めエアシリンダ５a は作用点ｐa ’に接触し
ていないので偶力は生じないが、エアシリンダ５d の押
圧力Ｆd と、エアシリンダ５b の反力Ｆb とにより偶力
ＭR が発生し、液晶パネル１は中心点Ｏ23を中心として
右回りに回転して角度ズレが補正される。以上の各補正
により、液晶パネル１は右側または左側のいずれに傾斜
して載置されても、大きい摩擦抵抗にかかわらず載置板
２に対して正しく位置決めされる。なお上記の間隔ＬX
は試行実験により求められるが、前記の大きさの大型液
晶パネルの場合は、ＬX として例えば約１０ｍｍが適当
であることが確認されている。また、上記の位置決め機
構５’は大型液晶パネル１に限らず、これと同様な他の
板状物に対しても適用できることは明らかである。
【００１０】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による位
置決め機構においては、載置板に載置された大型液晶パ
ネルの２長辺に対して、互いに反対方向の偶力を発生す
る２組のＹ方向位置決め機構が配設され、右側または左
側に傾斜した液晶パネルは、大きい摩擦抵抗にかかわら
ず、この反対方向の偶力により左回りまたは右回りに回
転して角度ズレが補正され、この２組のＹ方向位置決め
機構と、２短辺に対して配設された１組のＸ方向位置決
め機構とにより、載置板に対して正しく位置決めされる
もので、大型液晶パネルの検査装置に寄与するところに
は大きいものがある。
置決め機構においては、載置板に載置された大型液晶パ
ネルの２長辺に対して、互いに反対方向の偶力を発生す
る２組のＹ方向位置決め機構が配設され、右側または左
側に傾斜した液晶パネルは、大きい摩擦抵抗にかかわら
ず、この反対方向の偶力により左回りまたは右回りに回
転して角度ズレが補正され、この２組のＹ方向位置決め
機構と、２短辺に対して配設された１組のＸ方向位置決
め機構とにより、載置板に対して正しく位置決めされる
もので、大型液晶パネルの検査装置に寄与するところに
は大きいものがある。
【図１】 この発明の位置決め機構５’の一実施例にお
ける平面図を示す。
ける平面図を示す。
【図２】 図１に対する角度ズレの補正方法の説明図
で、(a) は液晶パネル１が右側に傾斜した場合、(b) は
同じく左側に傾斜した場合をそれぞれ示す。
で、(a) は液晶パネル１が右側に傾斜した場合、(b) は
同じく左側に傾斜した場合をそれぞれ示す。
【図３】 (a) は大型液晶パネル１の外観図、(b) は検
査ステージの概略の構成図である。
査ステージの概略の構成図である。
【図４】 載置板２に載置された液晶パネル１と、これ
に対する従来の位置決め機構５の平面図である。
に対する従来の位置決め機構５の平面図である。
【図５】 位置決め機構５が液晶パネル１の角度ズレを
補正できない理由の説明図である。
補正できない理由の説明図である。
【符号の説明】 １…大型液晶パネル、単に液晶パネル、11…ガラス基
板、12…画素、１Ａ，１Ｂ…液晶パネルの長辺、１Ｃ，
１Ｄ…短辺、２…載置板、３…Ｘ，Ｙ，Ｚ移動機構、４
…検査光学系、５…従来の位置決め機構、５’…この発
明の位置決め機構、５a ，５b ，５e …位置決めエアシ
リンダ、５c ，５d ，５f …押圧エアシリンダ、51…押
圧棒、Ｓta，Ｓtb，Ｓte…ストッパ、ｐa 〜ｐf ，ｐ
a ’〜ｐd ’…力の作用点、Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 …作用
線、Ｏ…中心点、Ｏ13，Ｏ23…交点、Ｆa ，Ｆb ，Ｆe
…反力、Ｆc ，Ｆd ，Ｆ… 押圧力。
板、12…画素、１Ａ，１Ｂ…液晶パネルの長辺、１Ｃ，
１Ｄ…短辺、２…載置板、３…Ｘ，Ｙ，Ｚ移動機構、４
…検査光学系、５…従来の位置決め機構、５’…この発
明の位置決め機構、５a ，５b ，５e …位置決めエアシ
リンダ、５c ，５d ，５f …押圧エアシリンダ、51…押
圧棒、Ｓta，Ｓtb，Ｓte…ストッパ、ｐa 〜ｐf ，ｐ
a ’〜ｐd ’…力の作用点、Ｃ1 ，Ｃ2 ，Ｃ3 …作用
線、Ｏ…中心点、Ｏ13，Ｏ23…交点、Ｆa ，Ｆb ，Ｆe
…反力、Ｆc ，Ｆd ，Ｆ… 押圧力。
Claims (1)
- 【請求項１】 検査ステージの載置板に載置された、Ｘ
方向の２長辺とＹ方向の２短辺を有する方形の大型液晶
パネルを、位置決め機構により位置決めして、検査を行
う検査装置において、前記載置板の表面に、前記２長辺
の一方を位置決めする２個の位置決めエアシリンダと、
該２長辺の他方を押圧する２個の押圧エアシリンダと
を、Ｘ方向に適当な間隔で配置し、対向する該各位置決
めエアシリンダと押圧エアシリンダとが、それぞれの力
の作用点に対して互いに反対の偶力を生ずる２組のＹ方
向位置決め機構と、前記２短辺の一方を位置決めする１
個の位置決めエアシリンダと、該２短辺の他方を押圧す
る１個の押圧エアシリンダよりなる１組のＸ方向位置決
め機構とを配設して構成されたことを特徴とする、大型
液晶パネルの位置決め機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25231993A JPH0783794A (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | 大型液晶パネルの位置決め機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25231993A JPH0783794A (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | 大型液晶パネルの位置決め機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0783794A true JPH0783794A (ja) | 1995-03-31 |
Family
ID=17235606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25231993A Pending JPH0783794A (ja) | 1993-09-14 | 1993-09-14 | 大型液晶パネルの位置決め機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0783794A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2811238A1 (fr) | 2000-07-04 | 2002-01-11 | Tomy Co Ltd | Jouet interactif, dispositif et procede de production de modele de reaction de celui-ci |
| US6587751B2 (en) | 1999-05-10 | 2003-07-01 | Sony Corporation | Robot device and method for controlling the robot's emotions |
| JP2006153844A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Samsung Electronics Co Ltd | パネル検査装置 |
| KR101035982B1 (ko) * | 2008-12-05 | 2011-05-23 | (주)리드 | 프레임 정렬 유닛 및 그것을 갖는 태양 전지 모듈 제조를 위한 프레이머 시스템 |
-
1993
- 1993-09-14 JP JP25231993A patent/JPH0783794A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6587751B2 (en) | 1999-05-10 | 2003-07-01 | Sony Corporation | Robot device and method for controlling the robot's emotions |
| FR2811238A1 (fr) | 2000-07-04 | 2002-01-11 | Tomy Co Ltd | Jouet interactif, dispositif et procede de production de modele de reaction de celui-ci |
| JP2006153844A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Samsung Electronics Co Ltd | パネル検査装置 |
| KR101035982B1 (ko) * | 2008-12-05 | 2011-05-23 | (주)리드 | 프레임 정렬 유닛 및 그것을 갖는 태양 전지 모듈 제조를 위한 프레이머 시스템 |
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