JPH1187482A - 半導体基板搬送保管治具および半導体基板の認識方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の半導体基板搬送保管治具では、収納し
た半導体基板を押さえる機構がなく、搬送途中で半導体
基板が位置ズレを起こし、半導体基板に付設された認識
票を認識するのが困難であった。 【解決手段】 半導体基板１を収納する箱状の半導体基
板搬送保管治具２であり、半導体基板１には認識票４が
付設されており、内部に位置決め部５を有している。こ
の位置決め部５により半導体基板１の移動を規正し、位
置ズレを防止でき、半導体基板搬送保管治具２の上面部
２ａは透明な材質により構成されているため、半導体基
板１を取り出さずに治具の上面部２ａから直接に認識票
４を認識することができるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体基板（ウェ
ハ）を搬送したり保管する際に、半導体基板の損傷等を
防止し、また個々の半導体基板の品種、処理工程などの
諸データを認識することができる半導体基板搬送保管治
具および半導体基板の認識方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体基板は、半導体基板を１枚
収納可能な半導体基板搬送保管治具に収納され、その半
導体基板搬送保管治具から半導体基板を取り出して半導
体基板に付加された認識票を認識していた。

【０００３】図８は従来の半導体基板搬送保管治具を示
す概略図であり、内部の構成は破線で示している。従来
の半導体基板搬送保管治具は、半導体基板１を載置し収
納する箱状の半導体基板搬送保管治具２であり、その前
面部には蓋体３が設けられ、半導体基板１の出し入れを
行う際は、この蓋体３を開けて行い、通常の搬送、保管
時は蓋体３は閉じた状態である。また半導体基板１には
認識票４が付設されており、半導体基板のデータ認識を
行い、個々の半導体基板を認識できるものである。

【０００４】なお従来の半導体基板搬送保管治具は、半
導体基板１が半導体基板搬送保管治具２内に載置されて
いるが、治具内では半導体基板１の位置が固定されてい
ないため、半導体基板が移動してしまい、半導体基板搬
送保管治具２の上面部を透明な材質にしても半導体基板
１に付設された半導体基板１の認識票４を認識するのが
困難であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来の半導体基板搬送
保管治具では、収納した半導体基板を位置決めし、押さ
える機構がなく、搬送途中で半導体基板が移動し、位置
ズレを起こした場合は、半導体基板搬送保管治具２の上
面部を透明な材質にしても半導体基板に付設された認識
票を認識するのが困難であった。したがって、半導体基
板が何であるか認識するためには半導体基板搬送保管治
具から半導体基板を取り出し、半導体基板に付設された
認識票を認識しなければならなかった。このような認識
方法では、認識時間を費やすばかりか、半導体基板を取
り出す操作により、半導体基板に損傷を与える可能性が
あり、好ましくはなかった。

【０００６】本発明は前記従来の課題を解決するもの
で、半導体基板を認識するに際し、半導体基板を半導体
基板搬送保管治具内に収納した状態で認識することに主
眼をおいて成されたものであり、半導体基板の損傷防止
はもとより、効果的に半導体基板を認識することができ
る半導体基板搬送保管治具および半導体基板の認識方法
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の半導体基板搬送保管治具および半導体基板の
認識方法は以下の手段を有する。

【０００８】すなわち本発明の半導体基板搬送保管治具
は、認識票を付した半導体基板を収納する箱体よりなる
半導体基板搬送保管治具であって、その箱体の少なくと
も上面部分は透明材よりなり、箱体は開閉可能な蓋体を
有し、また箱体内には収納した半導体基板の回動を防止
する位置決め部が設けられているものである。

【０００９】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であっ
て、その箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、
箱体は開閉可能な蓋体を有し、箱体内には収納した半導
体基板の回動を防止する位置決め部が設けられるととも
に、箱体の底面内側には第２の認識票が設けられている
ものである。

【００１０】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であっ
て、その箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、
箱体は開閉可能な蓋体を有し、箱体内には収納した半導
体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、箱体の
上面外側には第２の認識票が設けられているものであ
る。

【００１１】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であっ
て、その箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、
箱体は開閉可能な蓋体を有し、箱体内には収納した半導
体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、箱体の
上面内側には第２の認識票が設けられているものであ
る。

【００１２】また、認識票を付した半導体基板を収納す
るトレー体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、
そのトレー体の上面には収納した半導体基板を保持する
際の治具を挿入する溝部が設けられ、またトレー体は収
納した半導体基板の回動を防止する位置決め部が設けら
れているものである。

【００１３】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納するトレー体よりなる半導体基板搬送保管治具であ
って、そのトレー体の上面には収納した半導体基板を保
持する際の治具を挿入する溝部が設けられ、トレー体は
収納した半導体基板の回動を防止する位置決め部が設け
られ、トレー体の上面には第２の認識体が設けられてい
るものである。

【００１４】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納するトレー体よりなる半導体基板搬送保管治具であ
って、そのトレー体は透明材よりなり、トレー体の上面
には収納した半導体基板を保持する際の治具を挿入する
溝部が設けられ、トレー体は収納した半導体基板の回動
を防止する位置決め部が設けられ、トレー体の上面には
第２の認識体が埋設されているものである。

【００１５】また本発明の半導体基板の認識方法は、第
１の認識票を付した半導体基板を収納する箱体よりな
り、その箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、
箱体は開閉可能な蓋体を有し、箱体内には収納した半導
体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、箱体の
上面外側には第２の認識票が設けられている半導体基板
搬送保管治具に収納した半導体基板を認識する半導体基
板の認識方法であって、半導体基板の第１の認識票を認
識した後、箱体の第２の認識票を認識し、そのマッチン
グを行うことにより、半導体基板を認識するものであ
る。

【００１６】また、第１の認識票を付した半導体基板を
収納する箱体よりなり、その箱体の少なくとも上面部分
は透明材よりなり、箱体は開閉可能な蓋体を有し、箱体
内には収納した半導体基板の回動を防止する位置決め部
が設けられ、箱体の上面外側には第２の認識票が設けら
れている半導体基板搬送保管治具に収納した半導体基板
を認識する半導体基板の認識方法であって、半導体基板
の第１の認識票を認識した後、箱体の第２の認識票を認
識し、そのマッチングを行うことにより、半導体基板を
認識するとともに、目的とする箱体に目的とする半導体
基板が収納されているのかを確認するものである。

【００１７】前記構成の通り、半導体基板搬送保管治具
を構成している箱体は透明材よりなり、収納した半導体
基板をその箱体より取り出すことなく、外部から半導体
基板に付設した認識票を認識することができるため、半
導体基板の損傷を防止するとともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。また半導体基板搬送保管治具を搬送した
際には、位置決め部を有しているので、半導体基板を固
定し、その振動等によっても収納された半導体基板は位
置固定されているので、位置ズレを起こすことなく、外
部から認識することができるものである。

【００１８】また、半導体基板のみならず、半導体基板
搬送保管治具には認識票が設けられているので、半導体
基板搬送保管治具の認識票を認識するとともに、半導体
基板の認識票を認識し、認識票相互の内容のマッチング
を行うことにより、認識の精度向上にもつながるもので
ある。特に収納、載置した半導体基板と、半導体基板搬
送保管治具とのマッチング認識に効果があり、目的とす
る半導体基板搬送保管治具に目的とする半導体基板が収
納されているのかを確認することができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て、図面を参照しながら説明する。

【００２０】まず第１の実施形態について説明する。図
１は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
であり、内部の構成は破線で示している。

【００２１】図１に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、枚葉式の半導体基板搬送保管治具で
あり、半導体基板１を載置し収納する箱状の半導体基板
搬送保管治具２であり、その前面部には蓋体３が設けら
れ、半導体基板１の出し入れを行う際は、この蓋体３を
開けて行い、通常の搬送、保管時は蓋体３は閉じた状態
である。また半導体基板１には認識票４が付設されてお
り、半導体基板１のデータ認識を行い、個々の半導体基
板を認識できるものである。

【００２２】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その内部に位置決め部５を有している。この位置
決め部５により半導体基板１の移動角度を規正している
ため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具２の中で
回転しない機構を有している。また半導体基板搬送保管
治具２の本体部の上面部２ａは透明な材質により構成さ
れている。そのため半導体基板搬送保管治具２の少なく
とも半導体基板１に付設されている半導体基板１の認識
票４の上部が透明であるので、半導体基板１を取り出さ
ずに治具の上面部２ａから直接に認識票４を認識するこ
とができるものである。

【００２３】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００２４】次に第２の実施形態について説明する。図
２は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
である。

【００２５】図２に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、半導体基板１を載置し収納するトレ
ー状の半導体基板搬送保管治具６であり、箱状ではな
く、蓋体もない構造である。また半導体基板１には認識
票４が付設されており、半導体基板１のデータ認識を行
い、個々の半導体基板を認識できるものである。

【００２６】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その上面部６ａに位置決め部７を有している。こ
の位置決め部７により半導体基板１の移動角度を規正し
ているため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具６
の中で回転しない機構を有している。したがって、半導
体基板１上に何も障害となるものが無いため容易に半導
体基板１に付加されている認識票４を認識できるもので
ある。なお、半導体基板搬送保管治具６には、溝部８が
設けられており、半導体基板１を取り出す場合や、半導
体基板１を半導体基板搬送保管治具６に収納、載置する
場合には、取り出し用の治具がその溝部８に入り、半導
体基板１の底面側から保持できるようになっている。

【００２７】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００２８】次に第３の実施形態について説明する。図
３は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
であり、内部の構成は破線で示している。

【００２９】図３に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、半導体基板１を載置し収納する箱状
の半導体基板搬送保管治具２であり、その前面部には蓋
体３が設けられ、半導体基板１の出し入れを行う際は、
この蓋体３を開けて行い、通常の搬送、保管時は蓋体３
は閉じた状態である。また半導体基板１には認識票４が
付設されており、半導体基板１のデータ認識を行い、個
々の半導体基板を認識できるものである。さらに半導体
基板搬送保管治具２の内部として、上面または下面には
認識票９が付設されている。

【００３０】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その内部に位置決め部５を有している。この位置
決め部５により半導体基板１の移動角度を規正している
ため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具２の中で
回転しない機構を有している。また半導体基板搬送保管
治具２の本体部の上面部２ａは透明な材質により構成さ
れている。そのため半導体基板搬送保管治具２の少なく
とも半導体基板１に付設されている半導体基板１の認識
票４の上部が透明であるので、半導体基板１を取り出さ
ずに治具の上面部２ａから直接に認識票４を認識するこ
とができるものである。さらに半導体基板搬送保管治具
２の内側に付加された半導体基板搬送保管治具の認識票
９はその反対方向の面が透明な材質により構成されてお
れば、認識することができ、半導体基板搬送保管治具の
認識票９と半導体基板の認識票４とを関連付けることに
より、半導体基板搬送保管治具の認識票９を認識すると
半導体基板の認識票４が認識できるようになり、認識の
精度向上にもつながる。

【００３１】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００３２】次に第４の実施形態について説明する。図
４は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
であり、内部の構成は破線で示している。

【００３３】図４に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、半導体基板１を載置し収納する箱状
の半導体基板搬送保管治具２であり、その前面部には蓋
体３が設けられ、半導体基板１の出し入れを行う際は、
この蓋体３を開けて行い、通常の搬送、保管時は蓋体３
は閉じた状態である。また半導体基板１には認識票４が
付設されており、半導体基板１のデータ認識を行い、個
々の半導体基板を認識できるものである。さらに半導体
基板搬送保管治具２の上面の外側には、認識票９が付設
されている。

【００３４】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その内部に位置決め部５を有している。この位置
決め部５により半導体基板１の移動角度を規正している
ため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具２の中で
回転しない機構を有している。また半導体基板搬送保管
治具２の本体部の上面部２ａは透明な材質により構成さ
れている。そのため半導体基板搬送保管治具２の少なく
とも半導体基板１に付設されている半導体基板１の認識
票４の上部が透明であるので、半導体基板１を取り出さ
ずに治具の上面部２ａから直接に認識票４を認識するこ
とができるものである。さらに半導体基板搬送保管治具
２の上面外側に付加された半導体基板搬送保管治具の認
識票９は外側に付設されているので、そのまま認識する
ことができ、半導体基板搬送保管治具の認識票９と半導
体基板の認識票４とを関連付けることにより、半導体基
板搬送保管治具２の材質が透明なものでなくとも、半導
体基板搬送保管治具の認識票９を認識すると半導体基板
の認識票４が認識できるようになり、認識の精度向上に
もつながる。

【００３５】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００３６】次に第５の実施形態について説明する。図
５は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
である。

【００３７】図５に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、図２に示した治具と同様な構成であ
り、半導体基板１を載置し収納するトレー状の半導体基
板搬送保管治具６であり、箱状ではなく、蓋体もない構
造である。また半導体基板１には認識票４が付設されて
おり、半導体基板１のデータ認識を行い、個々の半導体
基板を認識できるものである。

【００３８】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その上面部６ａに位置決め部７を有している。こ
の位置決め部７により半導体基板１の移動角度を規正し
ているため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具６
の中で回転しない機構を有している。したがって、半導
体基板１上に何も障害となるものが無いため容易に半導
体基板１に付加されている認識票４を認識できるもので
ある。さらに半導体基板搬送保管治具２の上面にも認識
票９が付設されており、そのまま認識することができ、
半導体基板搬送保管治具の認識票９と半導体基板の認識
票４とを関連付けることにより、半導体基板搬送保管治
具の認識票９を認識すると半導体基板の認識票４が認識
できるようになり、認識の精度向上にもつながる。な
お、半導体基板搬送保管治具６には、半導体基板１を保
持する際の通路となる溝部８が設けられている。

【００３９】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００４０】次に第６の実施形態について説明する。図
６は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
であり、内部の構成は破線で示している。

【００４１】図６に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、半導体基板１を載置し収納する箱状
の半導体基板搬送保管治具２であり、その前面部には蓋
体３が設けられ、半導体基板１の出し入れを行う際は、
この蓋体３を開けて行い、通常の搬送、保管時は蓋体３
は閉じた状態である。また半導体基板１には認識票４が
付設されており、半導体基板１のデータ認識を行い、個
々の半導体基板を認識できるものである。さらに半導体
基板搬送保管治具２の上面２ａの内側には、認識票９が
付設されている。

【００４２】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その内部に位置決め部５を有している。この位置
決め部５により半導体基板１の移動角度を規正している
ため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具２の中で
回転しない機構を有している。また半導体基板搬送保管
治具２の本体部の上面部２ａは透明な材質により構成さ
れている。そのため半導体基板搬送保管治具２の少なく
とも半導体基板１に付設されている半導体基板１の認識
票４の上部が透明であるので、半導体基板１を取り出さ
ずに治具の上面部２ａから直接に認識票４を認識するこ
とができるものである。さらに半導体基板搬送保管治具
の認識票９は上面２ａの内側に付設されているが、上面
２ａの材質が透明なものからなっているので、そのまま
認識することができる。また、半導体基板搬送保管治具
の認識票９と半導体基板の認識票４とを関連付けること
により、半導体基板搬送保管治具の認識票９を認識する
と半導体基板の認識票４が認識できるようになり、認識
の精度向上にもつながる。

【００４３】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００４４】次に第７の実施形態について説明する。図
７は本実施形態の半導体基板搬送保管治具を示す概略図
である。

【００４５】図７に示すように、本実施形態の半導体基
板搬送保管治具は、図２，図５に示した治具と同様な構
成であり、半導体基板１を載置し収納するトレー状の半
導体基板搬送保管治具６であり、箱状ではなく、蓋体も
ない構造である。また半導体基板１には認識票４が付設
されており、半導体基板１のデータ認識を行い、個々の
半導体基板を認識できるものである。

【００４６】ここで本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、その上面部６ａに位置決め部７を有している。こ
の位置決め部７により半導体基板１の移動角度を規正し
ているため、半導体基板１が半導体基板搬送保管治具６
の中で回転しない機構を有している。したがって、半導
体基板１上に何も障害となるものが無いため容易に半導
体基板１に付加されている認識票４を認識できるもので
ある。さらに半導体基板搬送保管治具２の上面の内部に
も認識票９が埋設されており、治具の材質が透明なもの
を用いることにより、そのまま直接認識することがで
き、半導体基板搬送保管治具の認識票９と半導体基板の
認識票４とを関連付けることにより、半導体基板搬送保
管治具の認識票９を認識すると半導体基板の認識票４が
認識できるようになり、認識の精度向上にもつながる。
なお、半導体基板搬送保管治具６には、半導体基板１を
保持する際の通路となる溝部８が設けられている。

【００４７】本実施形態の半導体基板搬送保管治具によ
り、半導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具
から取り出すことなく、効率よく半導体基板を認識する
ことができる。

【００４８】以上、本実施形態の半導体基板搬送保管治
具は、収納した半導体基板が位置ズレをおこさないよう
に、位置決め部を有し、また治具の一部の面の材質を透
明な材質とすることにより、半導体基板を治具から取り
出すことなく、直接に基板の認識を行うことができ、半
導体基板の損傷防止とともに、半導体基板を治具から取
り出すことなく、効率よく半導体基板を認識することが
できる。さらに半導体基板に加えて、半導体基板搬送保
管治具にも認識票を付設または埋設し、治具の材質を透
明な材質を用いることにより、半導体基板搬送保管治具
の認識票を認識すると半導体基板の認識票が認識できる
ようになり、間違いを防止して認識の精度向上にもつな
がるものである。特に収納、載置した半導体基板と、半
導体基板搬送保管治具とのマッチング認識に効果があ
る。

【００４９】なお、本実施形態において、半導体基板１
または半導体基板搬送保管治具に付設または埋設する認
識票４，９は、文字やバーコードを貼り付けたり、直接
印字したりしても良いし、光や磁気で書き換えや読み書
きが可能な非接触のＩＣカードのようなものでも良い。

【００５０】次に本発明の半導体基板の認識方法の実施
形態について説明する。本実施形態の半導体基板の認識
方法は、認識票が付設された半導体基板を半導体基板搬
送保管治具に収納、載置し、その収納、載置された半導
体基板が何であるかを認識するに際し、半導体基板の認
識票を認識した後、半導体基板搬送保管治具の認識票を
認識し、そのマッチングを行うことにより、半導体基板
の認識とともに、目的とする半導体基板搬送保管治具に
目的とする半導体基板が収納されているのかを確認する
ことができ、保管管理に有効である。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように本発明の半導体基板
搬送保管治具は、半導体基板搬送保管治具内に半導体基
板の位置決め部を設けて、半導体基板の角度を規正する
ことにより、基板の位置固定ができ、基板がズレを起こ
さないため、半導体基板を半導体基板搬送保管治具から
取り出すことなく容易に半導体基板認識票を認識し、基
板の認識が可能となる。また、半導体基板に加えて、半
導体基板搬送保管治具にも認識票を付設または埋設し、
治具の材質を透明な材質を用いることにより、半導体基
板搬送保管治具の認識票を認識するとともに、半導体基
板の認識票を認識し、認識票相互の内容のマッチングを
行うことにより、認識の精度向上にもつながるものであ
る。特に収納、載置した半導体基板と、半導体基板搬送
保管治具とのマッチング認識に効果があり、目的とする
半導体基板搬送保管治具に目的とする半導体基板が収納
されているのかを確認することができ、保管管理に有効
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図２】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図３】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図４】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図５】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図６】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図７】本発明の一実施形態の半導体基板搬送保管治具
を示す概略図

【図８】従来の半導体基板搬送保管治具を示す概略図

【符号の説明】

１ 半導体基板 ２ 半導体基板搬送保管治具 ３ 蓋体 ４ 認識票 ５ 位置決め部 ６ 半導体基板搬送保管治具 ７ 位置決め部 ８ 溝部 ９ 認識票

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 認識票を付した半導体基板を収納する箱
   体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、前記箱体
   の少なくとも上面部分は透明材よりなり、前記箱体は開
   閉可能な蓋体を有し、前記箱体内には収納した半導体基
   板の回動を防止する位置決め部が設けられていることを
   特徴とする半導体基板搬送保管治具。
2. 【請求項２】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、前
   記箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、前記箱
   体は開閉可能な蓋体を有し、前記箱体内には収納した半
   導体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、前記
   箱体の底面内側には第２の認識票が設けられていること
   を特徴とする半導体基板搬送保管治具。
3. 【請求項３】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、前
   記箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、前記箱
   体は開閉可能な蓋体を有し、前記箱体内には収納した半
   導体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、前記
   箱体の上面外側には第２の認識票が設けられていること
   を特徴とする半導体基板搬送保管治具。
4. 【請求項４】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   する箱体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、前
   記箱体の少なくとも上面部分は透明材よりなり、前記箱
   体は開閉可能な蓋体を有し、前記箱体内には収納した半
   導体基板の回動を防止する位置決め部が設けられ、前記
   箱体の上面内側には第２の認識票が設けられていること
   を特徴とする半導体基板搬送保管治具。
5. 【請求項５】 認識票を付した半導体基板を収納するト
   レー体よりなる半導体基板搬送保管治具であって、前記
   トレー体の上面には収納した半導体基板を保持する際の
   治具を挿入する溝部が設けられ、前記トレー体は収納し
   た半導体基板の回動を防止する位置決め部が設けられて
   いることを特徴とする半導体基板搬送保管治具。
6. 【請求項６】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   するトレー体よりなる半導体基板搬送保管治具であっ
   て、前記トレー体の上面には収納した半導体基板を保持
   する際の治具を挿入する溝部が設けられ、前記トレー体
   は収納した半導体基板の回動を防止する位置決め部が設
   けられ、前記トレー体の上面には第２の認識体が設けら
   れていることを特徴とする半導体基板搬送保管治具。
7. 【請求項７】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   するトレー体よりなる半導体基板搬送保管治具であっ
   て、前記トレー体は透明材よりなり、前記トレー体の上
   面には収納した半導体基板を保持する際の治具を挿入す
   る溝部が設けられ、前記トレー体は収納した半導体基板
   の回動を防止する位置決め部が設けられ、前記トレー体
   の上面には第２の認識体が埋設されていることを特徴と
   する半導体基板搬送保管治具。
8. 【請求項８】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   する箱体よりなり、前記箱体の少なくとも上面部分は透
   明材よりなり、前記箱体は開閉可能な蓋体を有し、前記
   箱体内には収納した半導体基板の回動を防止する位置決
   め部が設けられ、前記箱体の上面外側には第２の認識票
   が設けられている半導体基板搬送保管治具に収納した半
   導体基板を認識する半導体基板の認識方法であって、前
   記半導体基板の第１の認識票を認識した後、前記箱体の
   第２の認識票を認識し、そのマッチングを行うことによ
   り、半導体基板を認識することを特徴とする半導体基板
   の認識方法。
9. 【請求項９】 第１の認識票を付した半導体基板を収納
   する箱体よりなり、前記箱体の少なくとも上面部分は透
   明材よりなり、前記箱体は開閉可能な蓋体を有し、前記
   箱体内には収納した半導体基板の回動を防止する位置決
   め部が設けられ、前記箱体の上面外側には第２の認識票
   が設けられている半導体基板搬送保管治具に収納した半
   導体基板を認識する半導体基板の認識方法であって、前
   記半導体基板の第１の認識票を認識した後、前記箱体の
   第２の認識票を認識し、そのマッチングを行うことによ
   り、半導体基板を認識するとともに、目的とする箱体に
   目的とする半導体基板が収納されているのかを確認する
   ことを特徴とする半導体基板の認識方法。