JP2001005165A - レチクル識別装置及びそれに用いるレチクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レチクルの材質に関係なく、正確にレチクル
の識別を行うことができるレチクル識別装置及びそれに
用いるレチクルを提供すること。 【解決手段】 レチクルテーブルまで搬送されたレチク
ル１０２は、レチクルテーブル上に設けられた複数の吸
着部１１０で吸着保持される。また、レチクルテーブル
の側部には、１対のレチクルアライメント光学系１１１
が対向して設けられている。さらに、レチクルテーブル
の上方には、ステッパーのレンズ１１２が配置されてい
る。レチクルテーブルの近傍には、レチクルテーブルに
載置されたレチクル１０２の端面に検出部を向けるよう
に、バーコードリーダー１０９が設置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置製造プ
ロセスのフォトリソグラフィー工程において使用される
レチクルの識別装置及びそれに用いるレチクルに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体装置製造プロセスにお
いては、レチクルやフォトマスクを用いたフォトリソグ
ラフィー工程が行われ、半導体ウエハなどの被処理体に
パターニングが行われる。このフォトリソグラフィー工
程においては、使用するレチクルを識別するために、例
えばレチクル表面にバーコードを設けて、このバーコー
ドをバーコードリーダーで読み取っている。

【０００３】このようにレチクルの識別が可能な装置
を、図３を用いて説明する。図３は、従来のレチクル識
別装置の概略構成を示す平面図である。図中１は、少な
くとも一つのレチクルを収容するレチクルケースを示
す。このレチクルケース１は、略偏平な矩形状のレチク
ルよりも大きく形成されている。なお、このレチクル２
の表面上には、レチクルの識別情報を含むバーコード７
が設けられている。また、図中２ａはレチクルケース１
内のレチクルを示し、２ｂは位置決め後のレチクルを示
し、２ｃはレチクルテーブル上に載置後のレチクルを示
す。

【０００４】また、装置内には、レチクルケース１に収
容されたレチクル２を使用位置であるレチクルテーブル
まで、若しくはレチクルテーブルからレチクルケース１
までレチクルを搬送する搬送系が設けられており、この
搬送系には、レチクルを把持することができるレチクル
搬送アーム６が備えられている。

【０００５】このレチクル搬送アーム６は、レチクルケ
ース１から搬送経路３を経てレチクル位置決め部４にレ
チクル２を搬送し、レチクル位置決め部４から搬送経路
８を経てレチクルテーブルに位置決めされたレチクル２
を搬送する。なお、レチクル位置決め部４においては、
レチクルケース１からレチクル位置決め部４までの搬送
経路３と略垂直な駆動経路５が設けられており、その駆
動経路５に沿ってレチクル２を移動できるようになって
いる。

【０００６】レチクル位置決め部４とレチクルテーブル
との間には、バーコードリーダー９が設置されている。
このバーコードリーダー９は、バーコードリーダー駆動
系１０でレチクル搬送方向（矢印方向）に対して略垂直
に移動可能に構成されている。

【０００７】上記構成を有するレチクル識別装置におい
ては、まず、レチクル搬送アーム６が搬送経路３を通り
レチクルケース１まで移動し、レチクルケース１に収容
されているレチクル２を把持して取り出す。レチクル搬
送アーム６は、このレチクル２を把持した状態で搬送経
路３を通ってレチクル位置決め部４に移動し、レチクル
２を離す。

【０００８】レチクル位置決め部４において、レチクル
２を駆動経路５に沿って移動して位置決めした後、再び
レチクル搬送アーム６で把持する。次いで、レチクル搬
送アーム６は、位置決めされたレチクル２を把持した状
態で搬送経路８を通ってレチクル使用位置であるレチク
ルテーブルまでレチクル２を搬送し、レチクルテーブル
上にレチクル２を載置する。

【０００９】レチクル位置決め部４からレチクルテーブ
ルまでの搬送中にレチクル表面上に形成されたバーコー
ド７を読み取る。具体的には、レチクル搬送アーム６で
把持されたレチクル２がバーコードリーダー駆動系１０
の駆動方向と交差する位置に到達すると、バーコードリ
ーダー駆動系１０の駆動によりバーコードリーダー９が
レチクル２の上方でまで移動し、さらにバーコード７の
読み取り可能位置まで下降して、バーコード７を読み取
る。そして、バーコードリーダー９でバーコード７を読
み取った後に、バーコードリーダー駆動系１０の駆動に
よりバーコードリーダー９が元の位置に戻る。

【００１０】このようにして、フォトリソグラフィー工
程において、使用するレチクルを識別している。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成を有する装置においては、レチクル２の表面にバーコ
ードを設けておき、レチクル２が搬送経路８で搬送され
る途中にバーコードリーダー９がレチクルの搬送経路８
まで進出して、バーコード７をレチクル２の上方から読
み取る方式を採る。

【００１２】このようにバーコードリーダー９が移動し
てバーコード７を読み取る方式では、バーコードリーダ
ー９の位置決め精度が悪いと、バーコード７を正確に読
み取ることができず、レチクルの識別を行うことができ
なくなる。

【００１３】また、従来のレチクルでは、バーコードを
レチクル表面に設けている。レチクルの材料としては、
種々のものが使用されており、材料毎に反射率が異な
る。したがって、同じバーコードを異なる材料で構成さ
れたレチクル上に設けると、バーコードリーダーが異な
るように読み取ってしまうことがある。その結果、バー
コードを正確に読み取ることができず、レチクルの識別
を行うことができなくなる。

【００１４】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、レチクルの材質に関係なく、正確にレチクルの識
別を行うことができるレチクル識別装置及びそれに用い
るレチクルを提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は以下の手段を講じた。

【００１６】本発明は、フォトリソグラフィー工程にお
いて使用されるレチクルを識別する装置であって、主面
及び端面を有し、前記端面に識別情報を含む表示部を有
する少なくとも一つのレチクルを収容するレチクル収容
手段と、前記レチクル収容手段から前記レチクルを取り
出してレチクル使用位置まで前記レチクルを搬送するレ
チクル搬送手段と、前記レチクルの端面の前記表示部か
ら前記識別情報を取得する識別情報取得手段と、を具備
することを特徴とするレチクル識別装置を提供する。

【００１７】この構成によれば、レチクル端面に設けら
れた表示部を用いてレチクルを識別している。レチクル
端面に表示部を設けた場合、レチクル表面に表示部を設
けた場合に比べてレチクルを構成する材料の特性（反射
率など）の影響が少ない。したがって、レチクルを構成
する材料に関係なく、正確にレチクルの識別を行うこと
ができる。

【００１８】本発明のレチクル識別装置においては、前
記表示部はバーコードで構成され、前記識別情報取得手
段はバーコードリーダーであることが好ましい。

【００１９】本発明のレチクル識別装置においては、前
記バーコードリーダーの位置が固定されていることが好
ましい。この構成によれば、バーコードリーダーの移動
による位置ずれなどの問題がなく、正確にバーコードを
読み取ることができる。その結果、正確にレチクルの識
別を行うことができる。

【００２０】また、本発明は、フォトリソグラフィー工
程において使用されるレチクルを識別する方法であっ
て、主面及び端面を有し、前記端面に識別情報を含む表
示部を有するレチクルをレチクル使用位置まで搬送する
工程と、前記レチクルの搬送中に、前記レチクルの端面
の前記表示部から前記識別情報を取得する工程と、を具
備することを特徴とするレチクル識別方法を提供する。

【００２１】この方法によれば、レチクル端面に設けら
れた表示部を用いてレチクルを識別している。レチクル
端面に表示部を設けた場合、レチクル表面に表示部を設
けた場合に比べてレチクルを構成する材料の特性（反射
率など）の影響が少ない。したがって、レチクルを構成
する材料に関係なく、正確にレチクルの識別を行うこと
ができる。

【００２２】また、本発明は、フォトリソグラフィー工
程において使用されるレチクルであって、主面及び端面
を有し、略偏平形状を有するレチクル本体と、前記レチ
クル本体の前記端面に形成され、前記レチクルの識別情
報を含む表示部と、を具備することを特徴とするレチク
ルを提供する。

【００２３】この構成によれば、レチクル本体の端面に
表示部を設けている。レチクル端面に表示部を設けた場
合、レチクル表面に表示部を設けた場合に比べてレチク
ルを構成する材料の特性（反射率など）の影響が少な
い。したがって、レチクルを構成する材料に関係なく、
正確にレチクルの識別を行うことができる。

【００２４】本発明のレチクルにおいては、前記表示部
はバーコードで構成されていることが好ましい。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００２６】図１は、本発明の一実施の形態に係るレチ
クル識別装置の概略構成を示す平面図である。また、図
２は、図１に示すレチクル識別装置のレチクル識別部の
構成を示す拡大図である。

【００２７】図中１０１は、少なくとも一つのレチクル
１０２を収容するレチクルケースを示す。このレチクル
１０２は、主面及び端面を有し、略偏平な矩形状を有し
ている。また、このレチクルケース１０１は、上記レチ
クルよりも大きく形成されている。

【００２８】なお、このレチクル１０２の端面上には、
レチクルの識別情報を含む表示部であるバーコード１０
７が設けられている。また、図中１０２ａはレチクルケ
ース１０１内のレチクルを示し、１０２ｂは位置決め後
のレチクルを示し、１０２ｃはレチクルテーブル上に載
置後のレチクルを示す。

【００２９】また、装置内には、レチクルケース１０１
に収容されたレチクル１０２を使用位置であるレチクル
テーブルまで、若しくはレチクルテーブルからレチクル
ケース１０１までレチクルを搬送する搬送系が設けられ
ており、この搬送系には、レチクルを把持することがで
きるレチクル搬送アーム１０６が備えられている。

【００３０】このレチクル搬送アーム１０６は、レチク
ルケース１０１から搬送経路１０３を経てレチクル位置
決め部１０４にレチクル１０２を搬送し、レチクル位置
決め部１０４から搬送経路１０８を経てレチクルテーブ
ルに位置決めされたレチクル１０２を搬送する。なお、
レチクル位置決め部１０４においては、レチクルケース
１０１からレチクル位置決め部１０４までの搬送経路１
０３と略垂直な駆動経路１０５が設けられており、その
駆動経路１０５に沿ってレチクル１０２を移動できるよ
うになっている。

【００３１】レチクルテーブルの近傍には、バーコード
リーダー１０９が設置されている。このバーコードリー
ダー１０９は、その検出部がレチクルテーブルに載置さ
れたレチクルの端面に向くようにして、その位置が固定
されている。

【００３２】すなわち、レチクルテーブルは、図２に示
すような構成を有する。レチクルテーブルまで搬送され
たレチクル１０２は、レチクルテーブル上に設けられた
複数の吸着部１１０で吸着保持される。また、レチクル
テーブルの側部には、１対のレチクルアライメント光学
系１１１が対向して設けられている。さらに、レチクル
テーブルの上方には、ステッパーのレンズ１１２が配置
されている。

【００３３】そして、レチクルテーブルの近傍には、レ
チクルテーブルに載置されたレチクル１０２の端面に検
出部を向けるように、バーコードリーダー１０９が設置
されている。

【００３４】上記構成を有するレチクル識別装置におい
ては、まず、レチクル搬送アーム１０６が搬送経路１０
３を通りレチクルケース１０１まで移動し、レチクルケ
ース１０１に収容されているレチクル１０２を把持して
取り出す。レチクル搬送アーム１０６は、このレチクル
１０２を把持した状態で搬送経路１０３を通ってレチク
ル位置決め部１０４に移動し、レチクル１０２を離す。

【００３５】レチクル位置決め部１０４において、レチ
クル１０２を駆動経路１０５に沿って移動して位置決め
した後、再びレチクル搬送アーム１０６で把持する。次
いで、レチクル搬送アーム１０６は、位置決めされたレ
チクル１０２を把持した状態で搬送経路１０８を通って
レチクル使用位置であるレチクルテーブルまでレチクル
１０２を搬送し、レチクルテーブル上にレチクル１０２
を載置する。

【００３６】このとき、レチクル１０２は、レチクルテ
ーブル上の吸着部１１０により吸着保持される。このよ
うにレチクルテーブル上にレチクル１０２が載置される
と、必然的に、レチクル１０２の端面に設けられたバー
コード１０７にバーコードリーダー１０９の検出部が向
けられた状態となる。そして、バーコードリーダー１０
９がレチクル端面上に設けられたバーコード１０７を読
み取る。

【００３７】このようにして、フォトリソグラフィー工
程において、使用するレチクルを識別する。

【００３８】上記装置によれば、レチクル端面に設けら
れたバーコードを用いてレチクルを識別している。レチ
クル端面にバーコードを設けた場合、レチクル表面にバ
ーコードを設けた場合に比べてレチクルを構成する材料
の特性（反射率など）の影響が少ない。したがって、レ
チクルを構成する材料に関係なく、正確にレチクルの識
別を行うことができる。

【００３９】また、上記装置においては、バーコードリ
ーダーの位置が固定されているので、バーコードリーダ
ーの位置ずれによる読み込みエラーが生じることがな
い。したがって、正確にレチクルの識別を行うことがで
きる。

【００４０】さらに、バーコードリーダー１０９は、レ
チクルテーブルの側方に位置するので、レチクル１０２
とステッパーのレンズ１１２との間を遮ることがない。
このため、レチクル１０２をレチクルテーブルに搬送し
た後に、円滑に後処理を開始することができる。

【００４１】さらに、上記実施の形態の装置では、従来
の装置と異なり、レチクル位置決め部からレチクルテー
ブルまでの搬送中に、搬送を停止してバーコードを読み
取る必要がない。このため、レチクル位置決め部４から
レチクルテーブルまで停止することなく、レチクルを搬
送することができる。その結果、効率良くフォトリソグ
ラフィー工程を実行することができる。

【００４２】本発明は上記実施の形態に限定されず、種
々変更して実施することが可能である。例えば、本発明
の技術的思想は、識別情報を含む表示部を読み取る工程
に使用される装置全般に適用することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
レチクル端面に設けられた表示部を用いてレチクルを識
別している。レチクル端面に表示部を設けた場合、レチ
クル表面に表示部を設けた場合に比べてレチクルを構成
する材料の特性（反射率など）の影響が少ない。したが
って、レチクルを構成する材料に関係なく、正確にレチ
クルの識別を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係るレチクル識別装置
の概略構成を示す平面図である。

【図２】図１に示すレチクル識別装置のレチクル識別部
の構成を示す拡大図である。

【図３】従来のレチクル識別装置の概略構成を示す平面
図である。

【符号の説明】 １０１…レチクルケース、１０２ａ〜１０２ｃ…レチク
ル、１０３，１０５，１０８…搬送経路、１０４…レチ
クル位置決め部、１０６…レチクル搬送アーム、１０７
…レチクルバーコード、１０９…レチクルバーコードリ
ーダー、１１０…吸着部、１１１…レチクルアライメン
ト光学系、１１２…レンズ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フォトリソグラフィー工程において使用
   されるレチクルを識別する装置であって、 主面及び端面を有し、前記端面に識別情報を含む表示部
   を有する少なくとも一つのレチクルを収容するレチクル
   収容手段と、 前記レチクル収容手段から前記レチクルを取り出してレ
   チクル使用位置まで前記レチクルを搬送するレチクル搬
   送手段と、 前記レチクルの端面の前記表示部から前記識別情報を取
   得する識別情報取得手段と、を具備することを特徴とす
   るレチクル識別装置。
2. 【請求項２】 前記表示部はバーコードで構成され、前
   記識別情報取得手段はバーコードリーダーであることを
   特徴とする請求項１記載のレチクル識別装置。
3. 【請求項３】 前記バーコードリーダーの位置が固定さ
   れていることを特徴とする請求項１記載のレチクル識別
   装置。
4. 【請求項４】 フォトリソグラフィー工程において使用
   されるレチクルを識別する方法であって、 主面及び端面を有し、前記端面に識別情報を含む表示部
   を有するレチクルをレチクル使用位置まで搬送する工程
   と、 前記レチクルの搬送中に、前記レチクルの端面の前記表
   示部から前記識別情報を取得する工程と、を具備するこ
   とを特徴とするレチクル識別方法。
5. 【請求項５】 フォトリソグラフィー工程において使用
   されるレチクルであって、 主面及び端面を有し、略偏平形状を有するレチクル本体
   と、 前記レチクル本体の前記端面に形成され、前記レチクル
   の識別情報を含む表示部と、を具備することを特徴とす
   るレチクル。
6. 【請求項６】 前記表示部はバーコードで構成されてい
   ることを特徴とする請求項５記載のレチクル。