JPH118327A - Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing method - Google Patents
Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing methodInfo
- Publication number
- JPH118327A JPH118327A JP9159056A JP15905697A JPH118327A JP H118327 A JPH118327 A JP H118327A JP 9159056 A JP9159056 A JP 9159056A JP 15905697 A JP15905697 A JP 15905697A JP H118327 A JPH118327 A JP H118327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- identification code
- semiconductor
- semiconductor wafer
- semiconductor chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H10W46/103—
-
- H10W46/106—
-
- H10W46/601—
-
- H10W46/607—
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウェハからダイシング後の複数の半導
体チップを個別に識別可能にし、リードフレームを用い
たICチップ組み立て段階、及び、組み立てたICチッ
プを識別コードを用いて識別、及び、管理可能にする。
【解決手段】 半導体チップ識別コード付与方法は、半
導体ウェハ1に形成された複数の半導体チップ5につい
て、例えば、ウェハ番号やウェハ1内のチップの位置
を、それぞれ半導体チップ5の識別コードとして決定す
る。決定した半導体チップ5がダイシングにより半導体
ウェハ1から切り離されて、リードフレーム60に装着
されたとき、リードフレーム60の半導体チップ5が装
着された近傍の位置に、識別コードとしてバーコード7
0を付す。リードフレーム60のバーコード70を読み
取り、ICチップ10を組み立てたとき、ICチップ1
0の裏面10bに読み取ったバーコード70に対応する
バーコード10aを付す。
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To individually identify a plurality of semiconductor chips after dicing from a semiconductor wafer, assembling an IC chip using a lead frame, and identifying the assembled IC chip using an identification code. And make it manageable. A method of assigning a semiconductor chip identification code determines, for example, a wafer number and a position of a chip in the wafer as an identification code of the semiconductor chip for a plurality of semiconductor chips formed on a semiconductor wafer. . When the determined semiconductor chip 5 is cut off from the semiconductor wafer 1 by dicing and mounted on the lead frame 60, a bar code 7 as an identification code is provided at a position near the semiconductor chip 5 mounted on the lead frame 60.
0 is added. When the bar code 70 of the lead frame 60 is read and the IC chip 10 is assembled, the IC chip 1
The bar code 10a corresponding to the read bar code 70 is attached to the back surface 10b of the “0”.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハにお
ける複数の半導体チップがダイシングにより切り離され
た後でも、複数の半導体チップの個々を管理可能にした
半導体チップ識別付与方法、管理方法および識別コード
を有するICチップなどに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor chip identification assigning method, a management method, and an identification code which enable individual management of a plurality of semiconductor chips even after the plurality of semiconductor chips on a semiconductor wafer are cut off by dicing. IC chip etc.
【0002】[0002]
【従来の技術】半導体ウェハからICチップを製造する
工程は、前工程と後工程に大別される。前工程におい
て、半導体ウェハに種々のプロセスを施して複数の半導
体チップのパターンを形成させる。この前工程の最後の
工程で、複数の半導体チップの一部又は半導体ウェハの
テスト部を検査する。その後、後工程において、複数の
半導体チップをダイシングによって個別に切り離し、リ
ードフレームに装着してICチップに組み立てる。製造
されたICチップはたとえば、出荷前の最終工程として
製品検査や信頼性試験が行われる。2. Description of the Related Art A process for manufacturing an IC chip from a semiconductor wafer is roughly divided into a pre-process and a post-process. In a pre-process, a semiconductor wafer is subjected to various processes to form a pattern of a plurality of semiconductor chips. In the last step of the preceding step, a part of the plurality of semiconductor chips or a test portion of the semiconductor wafer is inspected. Thereafter, in a later step, the plurality of semiconductor chips are individually cut off by dicing, mounted on a lead frame, and assembled into an IC chip. The manufactured IC chip is subjected to, for example, product inspection and reliability test as a final step before shipment.
【0003】ICチップは、通常、複数の半導体ウェハ
について同じプロセス条件となる製造ロット単位で品質
管理されることが多い。したがって、たとえば、信頼
性、歩止まりの管理などはロット単位で管理されること
が多い。または、半導体ウェハには識別番号などが付さ
れているから、半導体ウェハごとに歩止まり、信頼性の
管理をすることもできる。しかしながら、半導体ウェハ
からダイシングによって切り離された非常に多量の半導
体チップについては、従来、識別する有効な手段が講じ
られていないため、個別の管理方法が取られてない。そ
のため、半導体チップ個別の信頼性の管理などは行われ
ていない。その詳細について、図9に基づいて説明す
る。[0003] In general, the quality of IC chips is often controlled on a production lot basis under the same process conditions for a plurality of semiconductor wafers. Therefore, for example, reliability and yield management are often managed in lot units. Alternatively, since an identification number or the like is assigned to the semiconductor wafer, the yield can be reduced for each semiconductor wafer, and reliability can be managed. However, for a very large number of semiconductor chips separated by dicing from a semiconductor wafer, no effective management means has been conventionally taken, and no individual management method has been adopted. For this reason, reliability management of individual semiconductor chips is not performed. The details will be described with reference to FIG.
【0004】図9は、従来のICチップ組立工程のプロ
セスを説明するため図である。この組立工程では、IC
チップ形成用部材としてリードフレームを使用する。前
工程の最後の工程で、半導体ウェハでの品質検査が行わ
れたあと、半導体ウェハは複数の半導体チップに切り分
けられる(S101)。切り分けられた半導体チップ
は、あらかじめ設定された順番でリードフレーム上に装
着される(S102)。装着された半導体チップはリー
ドフレームと互いに金等の細線で結線され、固定される
(S103)。FIG. 9 is a view for explaining a conventional IC chip assembling process. In this assembly process, IC
A lead frame is used as a chip forming member. After the quality inspection of the semiconductor wafer is performed in the last step of the previous step, the semiconductor wafer is cut into a plurality of semiconductor chips (S101). The cut semiconductor chips are mounted on a lead frame in a preset order (S102). The mounted semiconductor chip is connected to the lead frame with a thin wire such as gold, and fixed (S103).
【0005】次に、ICチップのリード部となる部分を
残して、半導体チップ及びボンディング部などすべて樹
脂にてモールドされる(S104)。余分なリードフレ
ームが切り落とされ、バリ取りやフォーミング処理が施
された後(S105)、ICチップ組立工程の最終工程
として、各ICチップの検査が行われる(S106)。
検査に合格すれば、ICチップのパッケージ表面に製品
名、製品番号などがマーキングされて(S107)、I
Cチップが完成する。このように、半導体ウェハが個々
に切り分けられたあと、半導体チップ1個1個について
ICチップを組み立てる処理を行うが、多量の半導体チ
ップを個々に識別することができないから個別の管理を
行うことができなかった。[0005] Next, the semiconductor chip, the bonding portion, and the like are all molded with resin except for the portion to be the lead portion of the IC chip (S104). After the excess lead frame is cut off and subjected to deburring and forming processing (S105), each IC chip is inspected as the final step of the IC chip assembling step (S106).
If the inspection is successful, the product name, product number, etc. are marked on the surface of the IC chip package (S107).
The C chip is completed. As described above, after the semiconductor wafer is individually cut, a process of assembling an IC chip for each semiconductor chip is performed. However, since a large number of semiconductor chips cannot be individually identified, individual management can be performed. could not.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、同じ半
導体ウェハ内でも半導体チップの位置によっては信頼性
のデータに差異が出てくることがあるので、半導体チッ
プごとに信頼性データを管理したいという要望がある。
また、リードフレームに半導体チップを搭載してICチ
ップを製造する段階で、半導体チップを個別的に識別し
たい場合が発生している。However, even in the same semiconductor wafer, reliability data may differ depending on the position of the semiconductor chip. Therefore, there is a demand for managing reliability data for each semiconductor chip. is there.
Further, in the stage of mounting a semiconductor chip on a lead frame and manufacturing an IC chip, there is a case where it is desired to individually identify the semiconductor chips.
【0007】さらに、ICチップを出荷後、たとえば、
ロット単位、あるいは、特定の半導体ウェハから製造し
た複数の半導体チップの特性についての経年変化とか経
年劣化などが大量に発生することがあるが、半導体チッ
プごとの管理がなされていないため、ICチップごとに
追跡調査などができず、迅速かつ適切な対応ができない
場合がある。Further, after shipping the IC chip, for example,
Lots or lots of aging or deterioration of the characteristics of multiple semiconductor chips manufactured from a specific semiconductor wafer may occur in large quantities, but since each semiconductor chip is not managed, each IC chip In some cases, follow-up surveys and the like cannot be performed, and prompt and appropriate responses cannot be made.
【0008】したがって、本発明の目的は、半導体ウェ
ハからダイシングなどにより複数の半導体チップを切り
離した後においても、半導体チップを個別に識別可能な
方法と装置を提供することにある。Accordingly, an object of the present invention is to provide a method and an apparatus capable of individually identifying semiconductor chips even after a plurality of semiconductor chips are separated from a semiconductor wafer by dicing or the like.
【0009】また本発明の目的は、半導体チップを識別
できるコードを付したICチップ形成部材およびICチ
ップを提供することにある。Another object of the present invention is to provide an IC chip forming member and an IC chip provided with a code capable of identifying a semiconductor chip.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために、本発明の半導体チップ識別コード付与方法は、
半導体ウェハに形成された複数の半導体チップについ
て、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の
半導体チップの位置を、半導体チップの識別コードとし
て決定する工程と、識別コードを決定した半導体チップ
がダイシングにより半導体ウェハから切り離されて、I
Cチップ形成用部材に装着されたとき、前記ICチップ
形成用部材の、前記半導体チップが装着された近傍の位
置に、前記識別コードに対応するコードを第1の識別コ
ードとして付す工程と、ICチップを組み立てるとき、
前記ICチップ形成用部材から前記第1の識別コードを
読み取る工程と、読み取った前記第1の識別コードに対
応する第2の識別コードを、組み立てられたICチップ
に付す工程とを有する。In order to achieve the above-mentioned object, a method for assigning a semiconductor chip identification code according to the present invention comprises:
A step of determining at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer as an identification code of the semiconductor chip for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer; Separated from the wafer, I
Attaching a code corresponding to the identification code as a first identification code to a position near the semiconductor chip mounted on the IC chip formation member when the IC chip formation member is mounted on the IC chip formation member; When assembling chips,
A step of reading the first identification code from the IC chip forming member; and a step of applying a second identification code corresponding to the read first identification code to the assembled IC chip.
【0011】本発明の半導体チップ識別コード付与装置
は、半導体ウェハに形成された複数の半導体チップにつ
いて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内
の半導体チップの位置を、半導体チップの識別コードと
して決定する手段と、識別コードを決定した半導体チッ
プがダイシングにより半導体ウェハから切り離されて、
ICチップ形成用部材に装着されたとき、前記ICチッ
プ形成用部材の、前記半導体チップが装着された近傍の
位置に、前記識別コードに対応するコードを第1の識別
コードとして付す第1の識別コード付与手段と、ICチ
ップを組み立てるとき、前記ICチップ形成用部材から
前記第1の識別コードを読み取る手段と、読み取った前
記第1の識別コードに対応する第2の識別コードを、組
み立てられたICチップに付す第2の識別コード付与手
段とを有する。A semiconductor chip identification code assigning device of the present invention determines at least a semiconductor wafer number and a position of a semiconductor chip in a semiconductor wafer as a semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on a semiconductor wafer. Means, the semiconductor chip having determined the identification code is separated from the semiconductor wafer by dicing,
A first identification unit that attaches a code corresponding to the identification code as a first identification code to a position near the semiconductor chip of the IC chip formation member when attached to the IC chip formation member; Code assembling means, when assembling an IC chip, means for reading the first identification code from the IC chip forming member, and assembling a second identification code corresponding to the read first identification code. A second identification code assigning means attached to the IC chip.
【0012】本発明のICチップ形成用部材上の半導体
チップを識別する方法は、半導体ウェハに形成された複
数の半導体チップについて、少なくとも、半導体ウェハ
番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体
チップの識別コードとして決定する工程と、識別コード
を決定した半導体チップがダイシングにより半導体ウェ
ハから切り離されて、ICチップ形成用部材に装着され
たとき、前記ICチップ形成用部材の、前記半導体チッ
プが装着された近傍の位置に、前記識別コードに対応す
るコードを第1の識別コードとして付して、ICチップ
形成用部材の上で半導体チップを識別可能にする工程と
を有する。According to the method of the present invention for identifying a semiconductor chip on an IC chip forming member, at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are determined for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. Determining the identification code of the chip; and, when the semiconductor chip having determined the identification code is separated from the semiconductor wafer by dicing and mounted on the IC chip forming member, the semiconductor chip of the IC chip forming member is Attaching a code corresponding to the identification code as a first identification code to a position in the vicinity of the mounting position so that the semiconductor chip can be identified on the IC chip forming member.
【0013】本発明のICチップに内蔵された半導体チ
ップを識別する方法は、半導体ウェハに形成された複数
の半導体チップについて、少なくとも、半導体ウェハ番
号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体チ
ップの識別コードとして決定する工程と、識別コードを
決定した半導体チップがICチップに組み立てられたと
き、前記識別コードに対応するコードをICチップに付
して、ICチップに内蔵された半導体チップを識別可能
にする工程とを有する。According to the method of the present invention for identifying a semiconductor chip built in an IC chip, at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are determined for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. Determining the identification code as the identification code, and, when the semiconductor chip having determined the identification code is assembled into an IC chip, attaching a code corresponding to the identification code to the IC chip to identify the semiconductor chip incorporated in the IC chip. Enabling the process.
【0014】本発明のICチップ形成部材上の半導体チ
ップ管理方法は、ICチップ形成部材に装着された半導
体チップを検査するとき、前記ICチップ形成用部材
の、前記半導体チップが装着された近傍の位置に、少な
くとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チ
ップの位置を、前記半導体チップの識別コードとして付
されたコードを読み取り、前記半導体チップの検査結果
を、対応する半導体チップの識別コードごとに管理す
る。According to the method for managing a semiconductor chip on an IC chip forming member of the present invention, when inspecting a semiconductor chip mounted on the IC chip forming member, the IC chip forming member has a vicinity of the semiconductor chip mounted. In the position, at least the semiconductor wafer number, the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer, read the code attached as the identification code of the semiconductor chip, the inspection result of the semiconductor chip, for each identification code of the corresponding semiconductor chip to manage.
【0015】本発明のICチップ管理方法は、ICチッ
プを検査し又は出荷するとき、ICチップの所定の位置
に付された、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウ
ェハ内の半導体チップの位置を示す識別コードを読み取
り、前記ICチップの検査結果又は出荷管理データを、
対応する識別コードごとに管理する。According to the IC chip management method of the present invention, when inspecting or shipping an IC chip, at least a semiconductor wafer number attached to a predetermined position of the IC chip and an identification indicating a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are identified. Read the code and check the IC chip inspection result or shipping management data,
Manage for each corresponding identification code.
【0016】本発明のICチップ形成用部材は、半導体
チップが装着された近傍の位置に、少なくとも、半導体
ウェハ番号、半導体ウェハ内の前記半導体チップの位置
を、前記半導体チップの識別コードとして付したもので
ある。In the IC chip forming member of the present invention, at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are attached as an identification code of the semiconductor chip to a position near the semiconductor chip mounted. Things.
【0017】本発明のICチップは、ICチップの所定
の位置に、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェ
ハ内の前記半導体チップの位置を、前記半導体チップの
識別コードとして付したものである。The IC chip according to the present invention is obtained by attaching at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer to a predetermined position of the IC chip as an identification code of the semiconductor chip.
【0018】[0018]
【作用】本発明の半導体チップ識別コード付与方法によ
れば、半導体ウェハに形成された複数の半導体チップに
ついて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ
内の半導体チップの位置が、半導体チップの識別コード
として決定される。識別コードが決定された半導体チッ
プをダイシングにより半導体ウェハから切り離して、I
Cチップ形成用部材に装着したとき、前記ICチップ形
成用部材の、前記半導体チップを装着した近傍の位置
に、前記識別コードに対応するコードが第1の識別コー
ドとして付される。ICチップを組み立てるとき、前記
ICチップ形成用部材から前記第1の識別コードが読み
取られ、読み取られた前記第1の識別コードに対応する
第2の識別コードが、組み立てられたICチップに付さ
れる。According to the method of assigning a semiconductor chip identification code of the present invention, at least the semiconductor wafer number and the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are used as the identification code of the semiconductor chip for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. It is determined. The semiconductor chip having the determined identification code is separated from the semiconductor wafer by dicing, and
When mounted on the C-chip forming member, a code corresponding to the identification code is attached as a first identification code to a position near the IC chip-forming member where the semiconductor chip is mounted. When assembling an IC chip, the first identification code is read from the IC chip forming member, and a second identification code corresponding to the read first identification code is attached to the assembled IC chip. You.
【0019】本発明の半導体チップ識別コード付与装置
によれば、半導体ウェハに形成された複数の半導体チッ
プについて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウ
ェハ内の半導体チップの位置が、半導体チップの識別コ
ードとして決定手段により決定される。識別コードが決
定された半導体チップをダイシングにより半導体ウェハ
から切り離して、ICチップ形成用部材に装着したと
き、前記ICチップ形成用部材の、前記半導体チップを
装着した近傍の位置に、第1の識別コード付与手段によ
り、前記識別コードに対応するコードが第1の識別コー
ドとして付される。ICチップを組み立てるとき、前記
第1の識別コードを読み取る手段により、前記ICチッ
プ形成用部材から前記第1の識別コードが読み取られ、
読み取られた前記第1の識別コードに対応する第2の識
別コードが、第2の識別コード付与手段により、組み立
てられたICチップに付される。According to the semiconductor chip identification code providing apparatus of the present invention, at least the semiconductor wafer number and the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are used as the semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. Determined by the determining means. When the semiconductor chip for which the identification code is determined is separated from the semiconductor wafer by dicing and mounted on the IC chip forming member, a first identification is provided at a position near the IC chip forming member on the IC chip forming member. A code corresponding to the identification code is assigned as a first identification code by the code assigning means. When assembling an IC chip, the means for reading the first identification code reads the first identification code from the IC chip forming member,
The second identification code corresponding to the read first identification code is attached to the assembled IC chip by the second identification code providing means.
【0020】本発明のICチップ形成用部材上の半導体
チップを識別する方法によれば、半導体ウェハに形成さ
れた複数の半導体チップについて、少なくとも、半導体
ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置が、
半導体チップの識別コードとして決定される。識別コー
ドが決定された半導体チップをダイシングにより半導体
ウェハから切り離して、ICチップ形成用部材に装着し
たとき、前記ICチップ形成用部材の、前記半導体チッ
プを装着した近傍の位置に、前記識別コードに対応する
コードが第1の識別コードとして付されて、ICチップ
形成用部材の上で半導体チップが識別可能になる。According to the method of the present invention for identifying a semiconductor chip on an IC chip forming member, at least the semiconductor wafer number and the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are determined for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. ,
It is determined as the identification code of the semiconductor chip. When the semiconductor chip for which the identification code is determined is separated from the semiconductor wafer by dicing and mounted on an IC chip forming member, the IC chip forming member is provided with the identification code at a position near the semiconductor chip mounting. The corresponding code is assigned as the first identification code, and the semiconductor chip can be identified on the IC chip forming member.
【0021】本発明のICチップに内蔵された半導体チ
ップを識別する方法によれば、半導体ウェハに形成され
た複数の半導体チップについて、少なくとも、半導体ウ
ェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置が、半
導体チップの識別コードとして決定される。識別コード
が決定された半導体チップをICチップに組み立てたと
き、前記識別コードに対応するコードがICチップに付
され、ICチップに内蔵された半導体チップが識別可能
になる。According to the method of the present invention for identifying a semiconductor chip incorporated in an IC chip, at least the semiconductor wafer number and the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are determined for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer. It is determined as the identification code of the semiconductor chip. When the semiconductor chip for which the identification code is determined is assembled into an IC chip, a code corresponding to the identification code is attached to the IC chip, and the semiconductor chip built in the IC chip can be identified.
【0022】本発明のICチップ形成部材上の半導体チ
ップ管理方法によれば、ICチップ形成部材に装着した
半導体チップが検査されるとき、前記ICチップ形成用
部材の、前記半導体チップを装着した近傍の位置に、少
なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体
チップの位置が、前記半導体チップの識別コードとして
付されたコードが読み取られる。前記半導体チップの検
査結果は、対応する半導体チップの識別コードごとに管
理される。According to the method of managing a semiconductor chip on an IC chip forming member of the present invention, when the semiconductor chip mounted on the IC chip forming member is inspected, the vicinity of the IC chip forming member where the semiconductor chip is mounted is inspected. At least the semiconductor wafer number, the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer, and the code assigned as the identification code of the semiconductor chip are read. The inspection result of the semiconductor chip is managed for each identification code of the corresponding semiconductor chip.
【0023】本発明のICチップ管理方法によれば、I
Cチップが検査され又は出荷されるとき、ICチップの
所定の位置に付した、少なくとも、半導体ウェハ番号、
半導体ウェハ内の半導体チップの位置を示す識別コード
が読み取られる。前記ICチップの検査結果又は出荷管
理データは、対応する識別コードごとに管理される。According to the IC chip management method of the present invention, I
When the C chip is inspected or shipped, at least a semiconductor wafer number attached to a predetermined position of the IC chip,
An identification code indicating the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer is read. The inspection result or shipping management data of the IC chip is managed for each corresponding identification code.
【0024】[0024]
【発明の実施の形態】以下に、本発明の半導体チップ識
別コード付与方法及びその装置、半導体チップ及びIC
チップ管理方法、ICチップなどにおける一実施形態に
ついて、図1〜6に基づいて詳細に説明する。なお、こ
の実施形態では、ICチップ形成用部材としてリードフ
レームを使用している。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method and apparatus for assigning a semiconductor chip identification code according to the present invention, a semiconductor chip and an IC will be described below.
One embodiment of a chip management method, an IC chip, and the like will be described in detail with reference to FIGS. In this embodiment, a lead frame is used as an IC chip forming member.
【0025】図1は、半導体チップ及びICチップの製
造工程の概要を説明するための図である。半導体チップ
及びICチップの製造工程は、前工程と後工程に大別さ
れる。図1に示すように、前工程には、半導体ウェハ1
に種々のプロセスを施して複数の半導体チップのパター
ンを形成させる工程と、それを検査する工程から構成さ
れる。また、後工程には、半導体ウェハ1をダイシング
して、ダイシング後の半導体ウェハ3から半導体チップ
5を取り出し、ICチップに組み立てる工程と、それを
検査する工程から構成される。さらに、後工程以降、I
Cチップ、又は、ICチップを組み込んだ製品の出荷管
理を行う出荷管理工程がある。FIG. 1 is a diagram for explaining an outline of a manufacturing process of a semiconductor chip and an IC chip. The manufacturing process of a semiconductor chip and an IC chip is roughly divided into a pre-process and a post-process. As shown in FIG. 1, the semiconductor wafer 1
To form a pattern of a plurality of semiconductor chips by performing various processes, and a step of inspecting the same. The post-process includes a process of dicing the semiconductor wafer 1, taking out the semiconductor chip 5 from the diced semiconductor wafer 3, and assembling it into an IC chip, and a process of inspecting the IC chip. Further, after the post-process,
There is a shipping management process for managing shipping of a product incorporating a C chip or an IC chip.
【0026】図2は、本発明の一実施形態の半導体チッ
プ識別コード付与方法と、半導体チップ及びICチップ
管理方法のプロセスを説明するための図である。図3
は、本発明の一実施形態の識別コード管理装置の概要を
説明するためのブロック図である。図4は、半導体チッ
プを装着したリードフレームに識別コードを付したとき
の状態を例示する平面図である。図5は、モールディン
グ完了後、リードフレームに付した識別コードをパッケ
ージ裏面に転記したあとの状態を例示する平面図であ
る。図6は、パッケージ裏面に識別コードとしてバーコ
ードを付した本発明の一実施形態のICチップの斜視図
である。FIG. 2 is a diagram for explaining a process of a method of assigning a semiconductor chip identification code and a method of managing a semiconductor chip and an IC chip according to one embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 1 is a block diagram for explaining an outline of an identification code management device according to an embodiment of the present invention. FIG. 4 is a plan view illustrating a state where an identification code is attached to a lead frame on which a semiconductor chip is mounted. FIG. 5 is a plan view exemplifying a state after the identification code attached to the lead frame is transferred to the back surface of the package after the molding is completed. FIG. 6 is a perspective view of an IC chip according to an embodiment of the present invention in which a bar code is attached as an identification code on the back surface of the package.
【0027】本発明の一実施形態の半導体チップ識別コ
ード付与装置8を内部に有するデータ管理装置7の装置
構成について説明する。データ管理装置7は、識別コー
ド付与装置8と、半導体チップ及びICチップデータ管
理部73と、識別コードの一時記憶や検査結果データな
どを記憶する記憶部75から構成されている。最初に、
識別コード付与装置8の装置構成について説明する。識
別コード付与装置8は、半導体チップ5及びICチップ
10に識別コードを付与する装置であり、識別コード決
定手段82、識別コード読み取り手段83、第1の識別
コード付与手段84、及び、第2の識別コード付与手段
85の4つの手段と、中央制御部71とを有している。
各手段の処理内容について、以下に述べる。The device configuration of the data management device 7 having the semiconductor chip identification code providing device 8 according to one embodiment of the present invention will be described. The data management device 7 includes an identification code providing device 8, a semiconductor chip and IC chip data management unit 73, and a storage unit 75 for temporarily storing an identification code and storing test result data. At first,
The device configuration of the identification code providing device 8 will be described. The identification code providing device 8 is a device that provides an identification code to the semiconductor chip 5 and the IC chip 10, and includes an identification code determining unit 82, an identification code reading unit 83, a first identification code providing unit 84, and a second identification code providing unit 84. It has four means of identification code providing means 85 and a central control unit 71.
The processing contents of each means will be described below.
【0028】識別コード決定手段82は、前工程にて、
半導体ウェハ1についての製造ロット番号、半導体ウェ
ハ番号、及び、半導体ウェハ1内の個々の半導体チップ
5についての座標位置を、半導体チップ5の識別コード
として決定する手段である。In the preceding process, the identification code determining means 82
This is a means for determining a manufacturing lot number, a semiconductor wafer number, and a coordinate position of each semiconductor chip 5 in the semiconductor wafer 1 as an identification code of the semiconductor chip 5.
【0029】識別コード読み取り手段83は、半導体チ
ップ5がモールディングされICチップ10のパッケー
ジ面が確立されたあと、リードフレーム60上のバーコ
ード70を第1バーコードリーダ83aを用いて読み取
り、また、最終検査工程や出荷管理工程において、IC
チップ10のパッケージ裏面10bのバーコード10a
を、第2バーコードリーダ83bを用いて読み取る手段
である。なお、本実施形態では、バーコードリーダとし
て従来の光センサ式バーコードリーダを使用したが、こ
れに代えてCCDカメラを用いて読み取っても良い。バ
ーコード70は極めて微細であるため、それを確実に認
識して読み取ることができ、しかも、自動化や高機能化
に容易に対応できるバーコードリーダが必要である。After the semiconductor chip 5 is molded and the package surface of the IC chip 10 is established, the identification code reading means 83 reads the bar code 70 on the lead frame 60 using the first bar code reader 83a. In the final inspection process and shipping management process, IC
Bar code 10a on back surface 10b of package of chip 10
Is read using the second barcode reader 83b. In the present embodiment, a conventional optical sensor type bar code reader is used as the bar code reader. However, the bar code reader may be read using a CCD camera instead. Since the barcode 70 is extremely fine, a barcode reader that can reliably recognize and read the barcode 70 and that can easily cope with automation and high functionality is required.
【0030】第1の識別コード付与手段84は、識別コ
ードが決定した個々の半導体チップ5がリードフレーム
60上に装着されたのち、半導体チップ5が装着された
近傍の位置に、半導体チップ5の識別コードに対応する
コードを、第1バーコードライタ84aを用いてバーコ
ード70の形式で付与する手段である。なお、第1バー
コードライタ84aに代えて、バーコード70に相当す
る識別コードを書き込んだシールを作成し、リードフレ
ーム60上に貼付して、半導体チップ5の識別コードと
して用いても良い。また、バーコード70の付される向
きについても、第1バーコードリーダ83aにて読み取
り易い向きであれば、図4に図解の例示に限定されな
い。After the individual semiconductor chips 5 whose identification codes have been determined are mounted on the lead frame 60, the first identification code providing means 84 moves the semiconductor chips 5 to positions near the semiconductor chips 5 mounted. This is means for giving a code corresponding to the identification code in the form of a barcode 70 using the first barcode writer 84a. Instead of the first barcode writer 84a, a seal in which an identification code corresponding to the barcode 70 is written may be created and attached to the lead frame 60 to be used as the identification code of the semiconductor chip 5. The direction in which the barcode 70 is attached is not limited to the example illustrated in FIG. 4 as long as the direction is easy to read by the first barcode reader 83a.
【0031】第2の識別コード付与手段85は、ICチ
ップ10のパッケージ裏面10bに、識別コード読み取
り手段82によって読み取ったバーコード70に対応す
るコードを、第2バーコードライタ85aを用いてバー
コード10aの形式で付与する手段である。なお、バー
コード10aについてもバーコード70と同様に、第2
バーコードライタ85aに代えて、バーコード10aに
相当する識別コードを書き込んだシールを作成し、パッ
ケージ裏面10bに貼付して、半導体チップ5の識別コ
ードとして用いても良い。また、バーコード10aにつ
いては、そのサイズや形式がバーコード70と異なるも
のでも良い。さらに、バーコード10aの付される向き
についても、検査工程や出荷管理工程などのバーコード
リーダにて読み取り易い向きであれば、図5に図解の例
示に限定されない。The second identification code providing means 85 writes a code corresponding to the bar code 70 read by the identification code reading means 82 on the back surface 10b of the package of the IC chip 10 using a second bar code writer 85a. This is a means for giving in the form of 10a. Note that the bar code 10a also has a second
Instead of the bar code writer 85a, a seal in which an identification code corresponding to the bar code 10a is written may be created and attached to the back surface 10b of the package to be used as the identification code of the semiconductor chip 5. Further, the size and format of the barcode 10 a may be different from those of the barcode 70. Further, the direction in which the barcode 10a is attached is not limited to the example illustrated in FIG. 5 as long as the direction is easy to read by a barcode reader such as an inspection process and a shipping management process.
【0032】半導体チップ及びICチップデータ管理部
73の構成について説明する。半導体チップ及びICチ
ップデータ管理部73は、識別コード付与装置8によっ
て付された個々の半導体チップ5及びICチップ10の
識別コードと、図示しない検査部によって検査された検
査結果データとを対応付けてデータ管理装置7の記憶部
75に記憶させ、半導体チップ5及びICチップ10の
各種データの管理を行う。なお、検査部は、半導体チッ
プ5の電気的特性を検査する第1の検査手段と、ICチ
ップ10の電気的特性を検査する第2の検査手段とを有
している。The configuration of the semiconductor chip and IC chip data management unit 73 will be described. The semiconductor chip and IC chip data management unit 73 associates the identification codes of the individual semiconductor chips 5 and IC chips 10 assigned by the identification code providing device 8 with the inspection result data inspected by an inspection unit (not shown). The data is stored in the storage unit 75 of the data management device 7 and various data of the semiconductor chip 5 and the IC chip 10 are managed. The inspection unit has a first inspection unit for inspecting the electrical characteristics of the semiconductor chip 5 and a second inspection unit for inspecting the electric characteristics of the IC chip 10.
【0033】次に、本発明の識別コード付与方法、半導
体チップ及びICチップの識別方法、半導体チップ及び
ICチップ管理方法、並びに、識別コード付きリードフ
レーム及び識別コード付きICチップについて、図2の
半導体チップ及びICチップの製造工程を示すフローチ
ャートに基づいて、詳細に説明する。Next, the identification code providing method, the semiconductor chip and the IC chip identification method, the semiconductor chip and the IC chip management method of the present invention, and the lead frame with the identification code and the IC chip with the identification code will be described with reference to FIG. A detailed description will be given based on a flowchart showing the steps of manufacturing a chip and an IC chip.
【0034】前工程において、識別コード付与装置8内
の識別コード決定手段82は、半導体ウェハ1について
の、例えば、製造ロット番号(LLL)、半導体ウェハ
番号(WWW)、及び、半導体ウェハ1内の個々の半導
体チップ5についての、例えば、その座標位置(XX−
YY)を、半導体チップ5の識別コードとして決定す
る。決定した識別コードは、例えば、識別コード(LL
L−WWW−XX−YY)などの形式でデータ管理装置
7内の記憶部75に記憶される。これにより、個々の半
導体チップ5が、どのロットで製造され、そのロットの
なかのどの半導体ウェハで、その半導体ウェハのどの位
置で形成されされたかが、容易に識別できるようにな
る。また逆に、その識別コードによって、個々の半導体
チップ5を容易に特定できるようになる。In the preceding step, the identification code determining means 82 in the identification code providing device 8 determines, for example, the manufacturing lot number (LLL), the semiconductor wafer number (WWW), and the semiconductor wafer 1 in the semiconductor wafer 1. For example, the coordinate position (XX-
YY) is determined as the identification code of the semiconductor chip 5. The determined identification code is, for example, an identification code (LL
L-WWW-XX-YY) and the like are stored in the storage unit 75 in the data management device 7. As a result, it is possible to easily identify in which lot the individual semiconductor chips 5 are manufactured and in which semiconductor wafers in the lots and in which positions on the semiconductor wafers are formed. Conversely, the individual semiconductor chips 5 can be easily specified by the identification codes.
【0035】識別コード決定後、半導体ウェハ1は、ダ
イシング工程にて個々の半導体チップ5に切り分けられ
る(S1)。切り分けられた半導体チップ5は、あらか
じめ設定された順序に従って、リードフレーム60上に
マウントされる(S21)。半導体チップ5のマウント
完了後、第1の識別コード付与手段84は、図4に示す
ように、リードフレーム60上の半導体チップ5の近傍
の位置に、第1バーコードライタ84aを用いて、半導
体チップ5の識別コードに対応するバーコード70を付
与する(S22)。After the identification code is determined, the semiconductor wafer 1 is cut into individual semiconductor chips 5 in a dicing process (S1). The cut semiconductor chips 5 are mounted on the lead frame 60 in a preset order (S21). After the mounting of the semiconductor chip 5 is completed, the first identification code providing means 84 uses a first bar code writer 84a to position the semiconductor chip 5 at a position near the semiconductor chip 5 on the lead frame 60 as shown in FIG. A barcode 70 corresponding to the identification code of the chip 5 is provided (S22).
【0036】このように、本発明の半導体チップ識別コ
ード付与方法においては、リードフレーム60上にバー
コード70を付与する。これにより、リードフレーム6
0上に半導体チップ5の製造ロット番号、半導体ウェハ
番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置を示す識別
コードが、バーコード70の形式で付与されたことにな
る。As described above, in the semiconductor chip identification code providing method of the present invention, the bar code 70 is provided on the lead frame 60. Thereby, the lead frame 6
This means that a production lot number of the semiconductor chip 5, a semiconductor wafer number, and an identification code indicating the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are provided in the form of a barcode 70 on the reference numeral 0.
【0037】また、バーコード70を識別コード読み取
り手段83の第1バーコードリーダ83aを用いて読み
取ることにより、個々の半導体チップ5がどのロットで
製造され、そのロットのなかのどの半導体ウェハで、そ
の半導体ウェハのどの位置で形成されされたかが、容易
に識別できるようになる。このように、本発明の半導体
チップ識別方法においては、リードフレーム60上に付
されたバーコード70を読み取ることで、個々の半導体
チップ5を識別できる。Further, by reading the bar code 70 by using the first bar code reader 83a of the identification code reading means 83, the individual semiconductor chips 5 are manufactured in which lots, At which position on the semiconductor wafer the semiconductor wafer is formed can be easily identified. As described above, in the semiconductor chip identification method of the present invention, the individual semiconductor chips 5 can be identified by reading the barcode 70 attached to the lead frame 60.
【0038】この実施形態において、識別コードとして
バーコード70を使用したのは、モールド工程内におけ
るバーコード70の読み取りを自動化するためである。
なお、マウント工程内での半導体チップ5のマウント作
業(S21)、及び、識別コード付与作業(S22)に
ついては、作業の順序はこれに限定されない。すなわ
ち、識別コードを付与(S22)したあと、半導体チッ
プ5のマウンティング(S21)を行っても良い。In this embodiment, the bar code 70 is used as the identification code in order to automate the reading of the bar code 70 in the molding process.
The order of the operations of mounting the semiconductor chip 5 in the mounting step (S21) and the operation of providing the identification code (S22) is not limited to this. That is, after attaching the identification code (S22), the mounting of the semiconductor chip 5 (S21) may be performed.
【0039】バーコード70がリードフレーム60上に
付与されたあと、第1の検査手段が半導体チップ5を検
査するとき、識別コード読み取り手段83は、第1バー
コードリーダ83aを用いてバーコード70を読み取
り、個々の半導体チップ5の検査結果データとバーコー
ド70とを対応付けてデータ管理装置7へ転送し、記憶
部75に記憶させる。これにより、個々の半導体チップ
5の検査結果データは、バーコード70ごとに管理され
る。したがって、リードフレーム60上のバーコード7
0を読み取ることで、いつでも個々の半導体チップ5の
検査結果データを容易に取り出すことができる。このよ
うに、本発明の半導体チップ管理方法においては、半導
体チップ5の検査結果データとバーコード70とを対応
付けて管理する。After the bar code 70 is provided on the lead frame 60, when the first inspection means inspects the semiconductor chip 5, the identification code reading means 83 uses the first bar code reader 83a to read the bar code 70. Is read, and the inspection result data of each semiconductor chip 5 and the barcode 70 are associated with each other, transferred to the data management device 7, and stored in the storage unit 75. Thereby, the inspection result data of each semiconductor chip 5 is managed for each barcode 70. Therefore, the bar code 7 on the lead frame 60
By reading 0, the inspection result data of each semiconductor chip 5 can be easily taken out at any time. As described above, in the semiconductor chip management method of the present invention, the inspection result data of the semiconductor chip 5 and the barcode 70 are managed in association with each other.
【0040】上述した工程を経過して作製された本発明
の識別コード付きリードフレームを、図4に基づいて説
明する。本発明の識別コード付きリードフレーム60に
は、半導体チップ5の装着された近傍の位置に、第1の
識別コード付与手段84によって、識別コード(LLL
−WWW−XX−YY)がバーコード70の形式で付与
されている。なお、バーコード70が付与される場所に
ついては、リードフレーム上の半導体チップ5の装着位
置近傍であれば、どの位置でも良い。The lead frame with the identification code of the present invention manufactured through the above steps will be described with reference to FIG. In the lead frame 60 with the identification code of the present invention, the identification code (LLL) is placed by the first identification code providing means 84 at a position near the semiconductor chip 5 is mounted.
-WWW-XX-YY) in the form of a barcode 70. The bar code 70 may be provided at any position as long as it is near the mounting position of the semiconductor chip 5 on the lead frame.
【0041】本発明の識別コード付きリードフレーム6
0は、リードフレーム60上のバーコード70を識別コ
ード読み取り手段83の第1バーコードリーダ83aを
用いて読み取ることにより、半導体チップ5について
の、半導体ウェハ1の製造ロット番号(LLL)、半導
体ウェハ番号(WWW)、及び、半導体ウェハ1内での
座標位置(XX−YY)を、他の半導体チップに対して
識別することができ、しかも、第1の検査手段による検
査結果データも容易に取り出すことができる。Lead frame 6 with identification code of the present invention
0 indicates the production lot number (LLL) of the semiconductor wafer 1 for the semiconductor chip 5 by reading the bar code 70 on the lead frame 60 using the first bar code reader 83 a of the identification code reading means 83. The number (WWW) and the coordinate position (XX-YY) in the semiconductor wafer 1 can be identified with respect to other semiconductor chips, and the inspection result data by the first inspection unit can be easily taken out. be able to.
【0042】識別コード付きリードフレーム60形成後
のICチップ10の製造工程を、以下に述べる。マウン
ティング後、半導体チップ5はリードフレーム60上に
ワイヤボンディングされる(S3)。ワイヤボンディン
グ完了後、図5に示すように、ICチップ10のリード
部10cとなる部分60aを残して、全体が樹脂にてモ
ールディングされ、ICチップ10として半導体チップ
5が封止される(S41)。モールディングが完了し、
ICチップ10としてのパッケージ面が確立された段階
で、識別コード読み取り手段83は、リードフレーム6
0上に付したバーコード70を,第1バーコードリーダ
83aによって読み取り(S42)、一旦記憶する。そ
のあと、第2の識別コード付与手段85は、図5及び図
6に示すように、ICチップ10のパッケージ裏面10
bに第2バーコードライタ85aを用いて、記憶したバ
ーコード70に対応するバーコード10aを付与する
(S43)。The manufacturing process of the IC chip 10 after the formation of the lead frame 60 with the identification code will be described below. After mounting, the semiconductor chip 5 is wire-bonded on the lead frame 60 (S3). After the completion of the wire bonding, as shown in FIG. 5, the whole is molded with resin except for the portion 60a to be the lead portion 10c of the IC chip 10, and the semiconductor chip 5 is sealed as the IC chip 10 (S41). . The molding is completed,
When the package surface as the IC chip 10 is established, the identification code reading means 83
The first barcode reader 83a reads the barcode 70 attached to 0 (S42) and temporarily stores it. Thereafter, as shown in FIGS. 5 and 6, the second identification code providing means 85 moves the package back surface 10 of the IC chip 10.
The bar code 10a corresponding to the stored bar code 70 is assigned to the bar code b using the second bar code writer 85a (S43).
【0043】このように、本発明のICチップ識別コー
ド付与方法においては、ICチップ10のパッケージ裏
面10bにバーコー10aを付与する。これにより、I
Cチップ10のパッケージ裏面10bに、ICチップ1
0に内蔵された半導体チップ5の製造ロット番号、半導
体ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置を
示す識別コードが、バーコード10aの形式で付された
ことになる。As described above, in the IC chip identification code providing method of the present invention, the bar code 10a is provided on the back surface 10b of the package of the IC chip 10. This allows I
The IC chip 1 is placed on the back surface 10b of the package
The identification code indicating the manufacturing lot number, the semiconductor wafer number, and the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer of the semiconductor chip 5 contained in the semiconductor chip 5 is attached in the form of a barcode 10a.
【0044】また、バーコード10aを、識別コード読
み取り手段83の第2バーコードリーダ83bを用いて
読み取ることにより、ICチップ10に内蔵された半導
体チップ5について、どのロットで製造され、そのロッ
トのなかのどの半導体ウェハで、その半導体ウェハのど
の位置で形成されされたかが、容易に識別できるように
なる。このように、本発明のICチップ識別方法におい
ては、ICチップ10のパッケージ裏面10bに付され
たバーコード10aを読み取ることで、個々のICチッ
プを識別できる。By reading the bar code 10a using the second bar code reader 83b of the identification code reading means 83, the semiconductor chip 5 built in the IC chip 10 is manufactured in any lot, and Which of the semiconductor wafers is formed and at which position on the semiconductor wafer it is formed can be easily identified. As described above, in the IC chip identification method of the present invention, by reading the bar code 10a attached to the package back surface 10b of the IC chip 10, each IC chip can be identified.
【0045】この実施形態においては、バーコード10
aをICチップ10のパッケージ裏面10bに付した
が、バーコードを付すスペースが他のパッケージ面にも
あり、しかも、その後の検査工程や出荷管理工程で読み
取り易い位置であれば、パッケージ裏面10b以外の面
に付しても良い。また、この実施形態においては、識別
コードとしてバーコード10aを使用した。その理由と
しては、検査工程や出荷管理工程において、バーコード
10aの自動読み取り化を実施し、各種のデータを迅速
で、かつ、的確にコンピュータ管理できるようにするた
めである。In this embodiment, the bar code 10
a is attached to the back surface 10b of the package of the IC chip 10. However, if there is a space for attaching a bar code on the other package surface and the position is easy to read in the subsequent inspection process or shipping management process, the other than the package back surface 10b May be attached to the surface. In this embodiment, the barcode 10a is used as the identification code. The reason is that the barcode 10a is automatically read in the inspection process and the shipping management process so that various data can be quickly and accurately managed by the computer.
【0046】なお、モールド工程内でのモールド作業
(S41)、及び、識別コード読み取り作業(S42)
については、作業の順序がこれに限定されない。つま
り、最初に識別コードを読み取って(S42)、それを
一旦記憶して、モールド作業(S41)を行っても良
い。The molding operation (S41) in the molding step and the identification code reading operation (S42)
Is not limited to this. That is, the identification code may be read first (S42), stored once, and the molding operation (S41) may be performed.
【0047】バーコード10aがICチップ10のパッ
ケージ裏面10bに付されたあと、不要なリードフレー
ム60がトリミングされ、バリ取りやフォーミング処理
が施される(S5)。リードカットフォーミング完了
後、第2の検査手段は、ICチップ10の出荷前の最終
検査を行う(S61)。検査が完了すると、識別コード
読み取り手段83は、第2バーコードリーダ83bを用
いてバーコード10aを読み取り(S62)、個々のI
Cチップの検査結果データと読み取ったバーコード10
aとを対応付けてデータ管理装置7へ転送し(S6
3)、記憶部75に記憶させる。After the bar code 10a is attached to the back surface 10b of the package of the IC chip 10, the unnecessary lead frame 60 is trimmed and subjected to deburring and forming (S5). After the lead cut forming is completed, the second inspection means performs a final inspection before shipping the IC chip 10 (S61). When the inspection is completed, the identification code reading means 83 reads the bar code 10a using the second bar code reader 83b (S62), and the individual I codes are read.
Inspection result data of C chip and read bar code 10
a to the data management device 7 (S6).
3) Store in the storage unit 75.
【0048】なお、検査工程内のICチップ検査(S6
1)、及び、識別コード読み取り作業(S62)につい
ては、作業の順序がこれに限定されない。つまり、最初
に、識別コードを読み取って(S62)から、ICチッ
プを検査(S61)しても良い。最終検査工程にてIC
チップ10が検査に合格すれば、ICチップ10のパッ
ケージ表面に製品名、製品番号などがマーキングされて
(S7)、ICチップが完成し、出荷管理工程を経て市
場に出荷される。The IC chip inspection in the inspection process (S6
Regarding 1) and the identification code reading operation (S62), the order of the operations is not limited to this. That is, first, the identification code may be read (S62), and then the IC chip may be inspected (S61). IC in final inspection process
If the chip 10 passes the inspection, a product name, a product number, and the like are marked on the package surface of the IC chip 10 (S7), and the IC chip is completed and is shipped to the market through a shipping management process.
【0049】出荷管理工程においてICチップ10を出
荷管理するとき、図示しない出荷確認手段は、個々のI
Cチップ10について、出荷確認検査を行う。上述した
ICチップ10の最終検査工程と同様に、識別コード読
み取り手段83は、第2バーコードリーダ83bを用い
てバーコード10aを読み取り、個々のICチップ10
の出荷確認データと読み取ったバーコード10aとを対
応付けてデータ管理装置7へ転送し、記憶部75に記憶
させる。When managing shipment of the IC chip 10 in the shipment management process, the shipment confirmation means (not shown)
The shipment confirmation inspection is performed on the C chip 10. As in the final inspection step of the IC chip 10 described above, the identification code reading means 83 reads the bar code 10a using the second bar code reader 83b, and
Is transferred to the data management device 7 in association with the read barcode 10a and the read barcode 10a, and stored in the storage unit 75.
【0050】これら最終検査工程及び出荷管理工程での
処理により、個々のICチップ10の検査結果データ及
び出荷確認データは、バーコード10aごとに管理され
る。したがって、ICチップ10のパッケージ裏面10
bのバーコード10aを読み取ることで、いつでも個々
のICチップ10の検査結果データ及び出荷確認データ
を容易に取り出すことができる。このように、本発明の
ICチップ管理方法においては、ICチップ10に内蔵
された半導体チップ5の検査結果データ及び出荷確認デ
ータとバーコード10aとを対応付けて管理する。By the processing in the final inspection step and the shipment management step, the inspection result data and the shipment confirmation data of each IC chip 10 are managed for each bar code 10a. Therefore, the package back surface 10 of the IC chip 10
By reading the bar code 10a of b, the inspection result data and the shipment confirmation data of each IC chip 10 can be easily taken out at any time. As described above, in the IC chip management method of the present invention, the inspection result data and the shipment confirmation data of the semiconductor chip 5 built in the IC chip 10 are managed in association with the barcode 10a.
【0051】上述したすべての製造工程、及び、出荷管
理工程を経て作製された本発明の識別コード付きICチ
ップについて、図6に基づいて説明する。本発明の識別
コード付きICチップ10には、半導体チップ5が内蔵
されている。ICチップ10のパッケージ裏面10bに
は、第2の識別コード付与手段85によって、識別コー
ド(LLL−WWW−XX−YY)がバーコード10a
の形式で付与されている。なお、バーコード10aが付
与される場所については、バーコード10aを付与でき
る広さをもったパッケージ面であれば、どの面でも良
い。An IC chip with an identification code according to the present invention manufactured through all the manufacturing steps and the shipping control step described above will be described with reference to FIG. The semiconductor chip 5 is built in the IC chip 10 with the identification code of the present invention. The identification code (LLL-WWW-XX-YY) is applied to the bar code 10a on the back surface 10b of the package of the IC chip 10 by the second identification code providing means 85.
Is given in the form of Note that the place where the barcode 10a is provided may be any surface as long as it is a package surface having a size capable of providing the barcode 10a.
【0052】本発明の識別コード付きICチップ10
は、パッケージ裏面10bのバーコード10aを識別コ
ード読み取り手段83の第2バーコードリーダ83bを
用いて読み取ることにより、ICチップ10に内蔵され
た半導体チップ5についての、半導体ウェハ1の製造ロ
ット番号(LLL)、半導体ウェハ番号(WWW)、及
び、半導体ウェハ1内での座標位置(XX−YY)を、
他のICチップに対して識別することができ、しかも、
第2の検査手段による検査結果データも容易に取り出す
ことができる。IC chip 10 with identification code of the present invention
Reads the bar code 10a on the back surface 10b of the package using the second bar code reader 83b of the identification code reading means 83, thereby obtaining the manufacturing lot number of the semiconductor wafer 1 for the semiconductor chip 5 built in the IC chip 10 ( LLL), the semiconductor wafer number (WWW), and the coordinate position (XX-YY) in the semiconductor wafer 1
Can be distinguished from other IC chips, and
Inspection result data by the second inspection means can also be easily taken out.
【0053】本発明の一実施形態のリードフレームに付
される識別コード、及び、ICチップに付される識別コ
ードには、比較的小さなスペースに書き込むことができ
ること、従来の既存の技術で容易に識別コードの読み取
りができること、及び、読み取りの自動化も容易に達成
できることなどの理由により、バーコードを用いた。し
かしながら、ICチップに付される識別コードについて
は、バーコードのみに限定されない。例えば、図7に示
すように、カルラコードを識別コードとして用いても良
いし、図8に示すように、英数字を識別コードとして用
いても良い。なお、図7は、パッケージ裏面に識別コー
ドとしてカルラコードを付した本発明の他の実施形態の
ICチップの斜視図であり、図8は、パッケージ裏面に
識別コードとして英数字を付した本発明の他の実施形態
のICチップの斜視図である。The identification code assigned to the lead frame and the identification code assigned to the IC chip according to one embodiment of the present invention can be written in a relatively small space, and can be easily performed by conventional existing technology. The barcode was used because the identification code can be read and the reading can be easily automated. However, the identification code attached to the IC chip is not limited to only the barcode. For example, as shown in FIG. 7, a Karla code may be used as the identification code, or as shown in FIG. 8, alphanumeric characters may be used as the identification code. FIG. 7 is a perspective view of an IC chip according to another embodiment of the present invention in which a color code is provided as an identification code on the back surface of the package. FIG. FIG. 10 is a perspective view of an IC chip according to another embodiment.
【0054】カルラコードを用いる場合、バーコードと
同様に、従来の既存の技術で容易に読み取りが可能で、
読み取りの自動化の達成も容易であるが、コードが2次
元的なため、バーコードに比べて若干広い付与スペース
が必要となる。識別コードとして英数字を用いる場合、
読み取りの自動化は多少困難であるが、視認性が良く、
特殊な装置が無くても判読できるので、出荷され市場に
出回った際にも、その不具合の情報が比較的集まり易
い。したがって、識別コードには、狭所であっても付与
や読み取りが容易にでき、かつ、既存の技術で比較的容
易に自動読み取り化が達成できるコードを使用すると良
い。When the color code is used, it can be easily read by a conventional technique similar to a bar code.
It is easy to achieve automatic reading, but since the code is two-dimensional, a slightly larger space is required as compared to a barcode. When using alphanumeric characters as the identification code,
Automation of reading is somewhat difficult, but visibility is good,
Since the information can be read without a special device, even when the device is shipped and sold on the market, information on the problem is relatively easily collected. Therefore, as the identification code, it is preferable to use a code that can be easily assigned and read even in a narrow place, and that can be automatically read by an existing technology relatively easily.
【0055】図7及び8についても、識別コードをIC
チップパッケージの裏面に付与しているが、いずれの場
合においても、識別コードを付与するスペースが確保で
きれば、パッケージの表面でもよいし、側面でも良い。
また、ICチップに付与するそれぞれの識別コードの向
きについても、図7及び8に例示するICチップの長手
方向のみに限定されない。7 and 8, the identification code is set to IC.
Although it is provided on the back surface of the chip package, in either case, the space may be provided on the front surface or side surface of the package as long as a space for providing the identification code can be secured.
Further, the direction of each identification code given to the IC chip is not limited to only the longitudinal direction of the IC chip illustrated in FIGS.
【0056】さらに、本発明の一実施形態では、ICチ
ップ形成部材にリードフレームを使用しているが、リー
ドフレームに変えて、TAB(TAPE AUTOMATED BONDINN
G )テープを用いても良い。このとき、TABの生テー
プにパターニングするとき、マスクパターンにあらかじ
めバーコードやカルラコードなどの識別コードを形成さ
せておき、これを半導体チップの識別コードとして使用
しても良い。これにより、リードフレームに識別コード
を付与する必要がなくなるので、データ管理装置の構成
がシンプルになる。さらに、上流工程の要所要所に識別
コード読み取り手段を設けることができるので、より製
造プロセスに沿った製造工程管理が実現できるようにな
る。Further, in one embodiment of the present invention, a lead frame is used as an IC chip forming member, but instead of a lead frame, a TAB (TAPE AUTOMATED BONDINN
G) Tape may be used. At this time, when patterning the raw TAB tape, an identification code such as a barcode or a color code may be formed in advance on the mask pattern, and this may be used as the identification code of the semiconductor chip. This eliminates the need to assign an identification code to the lead frame, thereby simplifying the configuration of the data management device. Further, since the identification code reading means can be provided at a necessary position in the upstream process, the management of the manufacturing process in accordance with the manufacturing process can be realized.
【0057】[0057]
【発明の効果】本発明の半導体チップ識別コード付与方
法および装置によれば、半導体ウェハにおける複数の半
導体チップについて、製造ロット、半導体ウェハの番
号、個々の半導体チップを識別できる。したがって、そ
の後のICチップ製造段階はもとよりICチップ出荷
後、あるいはある製品に組み立て後も、そのICチップ
に内蔵されている半導体チップが識別可能であり、管理
できる。According to the method and apparatus for assigning a semiconductor chip identification code of the present invention, it is possible to identify a manufacturing lot, a semiconductor wafer number, and individual semiconductor chips for a plurality of semiconductor chips on a semiconductor wafer. Therefore, the semiconductor chip contained in the IC chip can be identified and managed not only at the subsequent IC chip manufacturing stage but also after the shipment of the IC chip or after assembling into a certain product.
【0058】本発明の半導体チップごとの管理方法およ
び装置によれば、半導体チップごとに種々の段階で管理
できる。したがって、たとえば、半導体チップごとに検
査結果を管理できる。特に、半導体チップの識別コード
は製造ロット番号、半導体ウェハの番号などの識別でき
るから、製造段階の条件などの追跡調査が可能となる。According to the management method and apparatus for each semiconductor chip of the present invention, management can be performed at various stages for each semiconductor chip. Therefore, for example, inspection results can be managed for each semiconductor chip. In particular, since the identification code of a semiconductor chip can be identified as a manufacturing lot number, a semiconductor wafer number, or the like, it is possible to track the conditions at the manufacturing stage.
【0059】本発明の半導体チップの識別コードを有す
るICチップ用形成部材によれば、ICチップ製造段階
において、ICチップ用形成部材に装着されている半導
体チップを個別に識別できる。According to the IC chip forming member having the identification code of the semiconductor chip of the present invention, the semiconductor chips mounted on the IC chip forming member can be individually identified in the IC chip manufacturing stage.
【0060】本発明のICチップによれば、ICチップ
に内蔵されている半導体チップを外部から識別できる。
特に、半導体チップの識別コードは製造ロット番号、半
導体ウェハの番号などの識別できるから、ICチップに
不具合などが生じた場合、製造段階の条件なども追跡調
査が可能となる。According to the IC chip of the present invention, the semiconductor chip built in the IC chip can be identified from the outside.
In particular, since the identification code of the semiconductor chip can identify the manufacturing lot number, the number of the semiconductor wafer, and the like, when a failure occurs in the IC chip, the conditions at the manufacturing stage can be tracked.
【図1】半導体チップ及びICチップの製造工程の概要
を説明するための図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an outline of a manufacturing process of a semiconductor chip and an IC chip.
【図2】本発明の一実施形態の半導体チップ識別コード
付与方法と、半導体チップ及びICチップ管理方法のプ
ロセスを説明するための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining a process of a method of assigning a semiconductor chip identification code and a method of managing a semiconductor chip and an IC chip according to an embodiment of the present invention.
【図3】本発明の一実施形態の識別コード管理装置の概
要を説明するためのブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating an outline of an identification code management device according to an embodiment of the present invention.
【図4】半導体チップを装着したリードフレームに識別
コードを付したときの状態を例示する平面図である。FIG. 4 is a plan view illustrating a state where an identification code is attached to a lead frame on which a semiconductor chip is mounted.
【図5】モールディング完了後、リードフレームに付し
た識別コードをパッケージ裏面に転記したあとの状態を
例示する平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating a state after an identification code attached to a lead frame is transferred to the back surface of a package after molding is completed.
【図6】パッケージ裏面に識別コードとしてバーコード
を付した本発明の一実施形態のICチップの斜視図であ
る。FIG. 6 is a perspective view of an IC chip according to an embodiment of the present invention in which a bar code is provided as an identification code on the back surface of the package.
【図7】パッケージ裏面に識別コードとしてカルラコー
ドを付した本発明の他の実施形態のICチップの斜視図
である。FIG. 7 is a perspective view of an IC chip according to another embodiment of the present invention in which a color code is attached as an identification code to the back surface of a package.
【図8】パッケージ裏面に識別コードとして英数字を付
した本発明の他の実施形態のICチップの斜視図であ
る。FIG. 8 is a perspective view of an IC chip according to another embodiment of the present invention, in which alphanumeric characters are added as identification codes to the back surface of the package.
【図9】従来のICチップ組立工程のプロセスを説明す
るための図である。FIG. 9 is a view for explaining a process of a conventional IC chip assembling step.
1…半導体ウェハ,3…ダイシング後の半導体ウェハ,
5…半導体チップ,7…データ管理装置,8…識別コー
ド付与装置,9…データ管理部,10,20,30…I
Cチップ,10a…バーコード,20a…カルラコー
ド,30a…英数字識別コード,10b,20b,30
b…ICパッケージ裏面,10c,20c,30c…I
Cチップリード部,60…リードフレーム,60a…ト
リミング前のICチップリード部,70…リードフレー
ム上のバーコード,71…中央制御部,73…データ管
理部,75…記憶部,82…識別コード決定手段,83
…識別コード読み取り手段,83a…第1バーコードリ
ーダ,83b…第2バーコードリーダ,84…第1識別
コード付与手段,84a…第1バーコードライタ,85
…第2識別コード付与手段,85a…第2バーコードラ
イタ1 ... semiconductor wafer, 3 ... semiconductor wafer after dicing,
5 semiconductor chip, 7 data management device, 8 identification code assigning device, 9 data management unit, 10, 20, 30 ... I
C chip, 10a: bar code, 20a: carla code, 30a: alphanumeric identification code, 10b, 20b, 30
b: IC package back surface, 10c, 20c, 30c ... I
C chip lead section, 60: lead frame, 60a: IC chip lead section before trimming, 70: barcode on the lead frame, 71: central control section, 73: data management section, 75: storage section, 82: identification code Determining means, 83
.. Identification code reading means, 83a first bar code reader, 83b second bar code reader, 84 first identification code providing means, 84a first bar code writer, 85
... Second identification code providing means, 85a ... Second bar code writer
Claims (21)
ップについて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体
ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体チップの識別
コードとして決定する工程と、 識別コードを決定した半導体チップがダイシングにより
半導体ウェハから切り離されて、ICチップ形成用部材
に装着されたとき、前記ICチップ形成用部材の、前記
半導体チップが装着された近傍の位置に、前記識別コー
ドに対応するコードを第1の識別コードとして付す工程
と、 ICチップを組み立てるとき、前記ICチップ形成用部
材から前記第1の識別コードを読み取る工程と、 読み取った前記第1の識別コードに対応する第2の識別
コードを、組み立てられたICチップに付す工程とを有
する 半導体チップ識別コード付与方法。1. A step of determining at least a semiconductor wafer number and a position of a semiconductor chip in a semiconductor wafer as a semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on a semiconductor wafer; When the chip is cut off from the semiconductor wafer by dicing and mounted on the IC chip forming member, a code corresponding to the identification code is placed at a position near the semiconductor chip mounted on the IC chip forming member. Attaching the first identification code as a first identification code; reading the first identification code from the IC chip forming member when assembling an IC chip; and a second identification code corresponding to the read first identification code. Applying the method to an assembled IC chip.
別コードに半導体ウェハの製造ロット番号を加える 請求項1に記載の半導体チップ識別コード付与方法。2. The semiconductor chip identification code assigning method according to claim 1, wherein in the identification code determination step, a production lot number of a semiconductor wafer is added to the identification code.
る 請求項2に記載の半導体チップ識別コード付与方法。5. The method according to claim 2, wherein the second identification code is a color code.
ップについて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体
ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体チップの識別
コードとして決定する手段と、 識別コードを決定した半導体チップがダイシングにより
半導体ウェハから切り離されて、ICチップ形成用部材
に装着されたとき、前記ICチップ形成用部材の、前記
半導体チップが装着された近傍の位置に、前記識別コー
ドに対応するコードを第1の識別コードとして付す第1
の識別コード付与手段と、 ICチップを組み立てるとき、前記ICチップ形成用部
材から前記第1の識別コードを読み取る手段と、 読み取った前記第1の識別コードに対応する第2の識別
コードを、組み立てられたICチップに付す第2の識別
コード付与手段とを有する 半導体チップ識別コード付与装置。7. A means for determining at least a semiconductor wafer number and a position of a semiconductor chip in a semiconductor wafer as a semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on a semiconductor wafer, and a semiconductor for which the identification code is determined. When the chip is cut off from the semiconductor wafer by dicing and mounted on the IC chip forming member, a code corresponding to the identification code is placed at a position near the semiconductor chip mounted on the IC chip forming member. The first attached to the first identification code
Means for reading the first identification code from the IC chip forming member when assembling an IC chip; and assembling a second identification code corresponding to the read first identification code. And a second identification code assigning means attached to the attached IC chip.
て識別コードを決定する 請求項7に記載の半導体チップ識別コード付与装置。8. The apparatus according to claim 7, wherein said determining means determines an identification code by adding a production lot number of the semiconductor wafer to said identification code.
ップについて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体
ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体チップの識別
コードとして決定する工程と、 識別コードを決定した半導体チップがダイシングにより
半導体ウェハから切り離されて、ICチップ形成用部材
に装着されたとき、前記ICチップ形成用部材の、前記
半導体チップが装着された近傍の位置に、前記識別コー
ドに対応するコードを第1の識別コードとして付して、
ICチップ形成用部材の上で半導体チップを識別可能に
する工程とを有する ICチップ形成用部材上の半導体チップを識別する方
法。9. A step of determining at least a semiconductor wafer number and a position of a semiconductor chip in the semiconductor wafer as a semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer; When the chip is cut off from the semiconductor wafer by dicing and mounted on the IC chip forming member, a code corresponding to the identification code is placed at a position near the semiconductor chip mounted on the IC chip forming member. Attached as the first identification code,
Making the semiconductor chip identifiable on the IC chip forming member. A method for identifying a semiconductor chip on an IC chip forming member.
チップについて、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導
体ウェハ内の半導体チップの位置を、半導体チップの識
別コードとして決定する工程と、 識別コードを決定した半導体チップがICチップに組み
立てられたとき、前記識別コードに対応するコードをI
Cチップに付して、ICチップに内蔵された半導体チッ
プを識別可能にする工程とを有する ICチップに内蔵された半導体チップを識別する方法。10. A step of determining at least a semiconductor wafer number and a position of a semiconductor chip in the semiconductor wafer as a semiconductor chip identification code for a plurality of semiconductor chips formed on the semiconductor wafer; When the chip is assembled into an IC chip, the code corresponding to the identification code is
Making the semiconductor chip embedded in the IC chip identifiable by attaching to the C chip. A method for identifying a semiconductor chip embedded in an IC chip.
チップを検査するとき、前記ICチップ形成用部材の、
前記半導体チップが装着された近傍の位置に、少なくと
も、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チップ
の位置を、前記半導体チップの識別コードとして付され
たコードを読み取り、前記半導体チップの検査結果デー
タを、対応する半導体チップの識別コードごとに管理す
る ICチップ形成部材上の半導体チップ管理方法。11. When inspecting a semiconductor chip mounted on an IC chip forming member, the IC chip forming member includes:
At least in the vicinity of the position where the semiconductor chip is mounted, at least the semiconductor wafer number, the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer, the code attached as the identification code of the semiconductor chip is read, and the inspection result data of the semiconductor chip is read. A method of managing a semiconductor chip on an IC chip forming member for managing each identification code of a corresponding semiconductor chip.
ICチップの所定の位置に付された、少なくとも、半導
体ウェハ番号、半導体ウェハ内の半導体チップの位置を
示す識別コードを読み取り、前記ICチップの検査結果
又は出荷管理データを、対応する識別コードごとに管理
する ICチップ管理方法。12. When inspecting or shipping an IC chip,
At least a semiconductor wafer number and an identification code indicating the position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer attached to a predetermined position of the IC chip are read, and the inspection result or shipping management data of the IC chip is read for each corresponding identification code. Manage IC chip management method.
に、少なくとも、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の
前記半導体チップの位置を、前記半導体チップの識別コ
ードとして付した ICチップ形成用部材。13. An IC chip forming member, wherein at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are attached as a semiconductor chip identification code at a position near the semiconductor chip.
ロット番号が加えられている 請求項13に記載のICチップ形成用部材。14. The IC chip forming member according to claim 13, wherein a manufacturing lot number of the semiconductor wafer is added to the identification code.
フレームを用いる 請求項13に記載のICチップ形成用部材。16. The IC chip forming member according to claim 13, wherein a lead frame is used as the IC chip forming member.
も、半導体ウェハ番号、半導体ウェハ内の前記半導体チ
ップの位置を、前記半導体チップの識別コードとして付
した 半導体チップの識別コードを有するICチップ。17. An IC chip having an identification code of a semiconductor chip in which at least a semiconductor wafer number and a position of the semiconductor chip in the semiconductor wafer are assigned as predetermined identification codes of the semiconductor chip at predetermined positions of the IC chip.
ロット番号が加えられている 請求項17に記載のICチップ。18. The IC chip according to claim 17, wherein a manufacturing lot number of the semiconductor wafer is added to the identification code.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9159056A JPH118327A (en) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9159056A JPH118327A (en) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing method |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH118327A true JPH118327A (en) | 1999-01-12 |
Family
ID=15685265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9159056A Pending JPH118327A (en) | 1997-06-16 | 1997-06-16 | Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing method |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH118327A (en) |
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7065460B2 (en) | 2003-09-30 | 2006-06-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Inc. | Apparatus and method for inspecting semiconductor device |
| US7107117B2 (en) | 1997-02-17 | 2006-09-12 | Micron Technology, Inc. | Sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing |
| US7120287B2 (en) | 1998-02-20 | 2006-10-10 | Micron Technology, Inc. | Non-lot based method for assembling integrated circuit devices |
| US7124050B2 (en) | 1997-02-26 | 2006-10-17 | Micron Technology, Inc. | Method in an integrated circuit (IC) manufacturing process for identifying and redirecting IC's mis-processed during their manufacture |
| US7155300B2 (en) | 1997-06-06 | 2006-12-26 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (IC's) have undergone, such as repairs, to select procedures the IC's will undergo, such as additional repairs |
| US7276672B2 (en) | 1997-01-17 | 2007-10-02 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US7442959B2 (en) | 2000-12-15 | 2008-10-28 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having identification number, manufacturing method thereof and electronic device |
| US7446277B2 (en) | 1997-01-17 | 2008-11-04 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US7555358B2 (en) | 1997-03-24 | 2009-06-30 | Micron Technology, Inc. | Process and method for continuous, non lot-based integrated circuit manufacturing |
| US7561938B2 (en) | 1997-06-06 | 2009-07-14 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (ICS) have undergone, such as repairs, to select procedures the ICs will undergo, such as additional repairs |
| JP2009260201A (en) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Powertech Technology Inc | Chip mounting device and chip package array |
| US7839069B2 (en) | 2006-02-22 | 2010-11-23 | Panasonic Corporation | Method for manufacturing direct backlight unit, fluorescent lamp and backlight unit |
| US8649896B2 (en) | 2009-09-18 | 2014-02-11 | Renesas Electronics Corporation | Manufacturing method of semiconductor device |
| JP2015228531A (en) * | 2015-09-18 | 2015-12-17 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Manufacturing method of semiconductor device |
| JP2016139645A (en) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社ディスコ | Cutting device |
| US10062650B2 (en) | 2014-09-01 | 2018-08-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device, and semiconductor chip having chip identification information |
| CN110349887A (en) * | 2019-07-16 | 2019-10-18 | 沛顿科技(深圳)有限公司 | The system of the single IC condition of production of retrospect based on two dimensional code |
-
1997
- 1997-06-16 JP JP9159056A patent/JPH118327A/en active Pending
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7446277B2 (en) | 1997-01-17 | 2008-11-04 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US7276672B2 (en) | 1997-01-17 | 2007-10-02 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US7368678B2 (en) | 1997-01-17 | 2008-05-06 | Micron Technology, Inc. | Method for sorting integrated circuit devices |
| US7107117B2 (en) | 1997-02-17 | 2006-09-12 | Micron Technology, Inc. | Sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing |
| US7117063B2 (en) | 1997-02-17 | 2006-10-03 | Micro Technology, Inc. | Sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing |
| US7502659B2 (en) | 1997-02-17 | 2009-03-10 | Micron Technology, Inc. | Sorting a group of integrated circuit devices for those devices requiring special testing |
| US7124050B2 (en) | 1997-02-26 | 2006-10-17 | Micron Technology, Inc. | Method in an integrated circuit (IC) manufacturing process for identifying and redirecting IC's mis-processed during their manufacture |
| US7738988B2 (en) | 1997-03-24 | 2010-06-15 | Micron Technology, Inc. | Process and method for continuous, non lot-based integrated circuit manufacturing |
| US7555358B2 (en) | 1997-03-24 | 2009-06-30 | Micron Technology, Inc. | Process and method for continuous, non lot-based integrated circuit manufacturing |
| US7155300B2 (en) | 1997-06-06 | 2006-12-26 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (IC's) have undergone, such as repairs, to select procedures the IC's will undergo, such as additional repairs |
| US7561938B2 (en) | 1997-06-06 | 2009-07-14 | Micron Technology, Inc. | Method for using data regarding manufacturing procedures integrated circuits (ICS) have undergone, such as repairs, to select procedures the ICs will undergo, such as additional repairs |
| US7120287B2 (en) | 1998-02-20 | 2006-10-10 | Micron Technology, Inc. | Non-lot based method for assembling integrated circuit devices |
| US7442959B2 (en) | 2000-12-15 | 2008-10-28 | Hitachi, Ltd. | Semiconductor device having identification number, manufacturing method thereof and electronic device |
| US7065460B2 (en) | 2003-09-30 | 2006-06-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Inc. | Apparatus and method for inspecting semiconductor device |
| US7839069B2 (en) | 2006-02-22 | 2010-11-23 | Panasonic Corporation | Method for manufacturing direct backlight unit, fluorescent lamp and backlight unit |
| JP2009260201A (en) * | 2008-04-16 | 2009-11-05 | Powertech Technology Inc | Chip mounting device and chip package array |
| US8649896B2 (en) | 2009-09-18 | 2014-02-11 | Renesas Electronics Corporation | Manufacturing method of semiconductor device |
| US9287142B2 (en) | 2009-09-18 | 2016-03-15 | Renesas Electronics Corporation | Method of manufacturing a semiconductor device using markings on both lead frame and sealing body |
| US10062650B2 (en) | 2014-09-01 | 2018-08-28 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device, and semiconductor chip having chip identification information |
| DE112014006917B4 (en) | 2014-09-01 | 2020-06-10 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device and semiconductor chip |
| JP2016139645A (en) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社ディスコ | Cutting device |
| JP2015228531A (en) * | 2015-09-18 | 2015-12-17 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | Manufacturing method of semiconductor device |
| CN110349887A (en) * | 2019-07-16 | 2019-10-18 | 沛顿科技(深圳)有限公司 | The system of the single IC condition of production of retrospect based on two dimensional code |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH118327A (en) | Semiconductor chip identification code assigning method and semiconductor chip managing method | |
| US7299973B2 (en) | Semiconductor device and an information management system therefor | |
| JP4951811B2 (en) | Manufacturing method of semiconductor device | |
| US20120024089A1 (en) | Methods of teaching bonding locations and inspecting wire loops on a wire bonding machine, and apparatuses for performing the same | |
| US6830941B1 (en) | Method and apparatus for identifying individual die during failure analysis | |
| CN109964277B (en) | Method and apparatus for inspecting and removing defective integrated circuit packages | |
| CN108735627B (en) | Data structure for semiconductor die packaging | |
| JP2004193189A (en) | Semiconductor device production management system | |
| JPH0722565A (en) | Lead frame and its information identification device | |
| JP2005057203A (en) | Wafer, integrated circuit chip, and manufacturing method of semiconductor device | |
| JPH0513529A (en) | Semiconductor integrated circuit | |
| JP2003124365A (en) | Semiconductor integrated circuit chip management information providing method, semiconductor integrated circuit chip management information managing method, semiconductor integrated circuit chip management information providing apparatus, and semiconductor integrated circuit chip having management information | |
| JP2736153B2 (en) | Semiconductor component manufacturing method and semiconductor component marking device | |
| JPH07135226A (en) | Method for manufacturing semiconductor device | |
| JPH0145979B2 (en) | ||
| KR100228958B1 (en) | Die-bonding device | |
| JP4127930B2 (en) | Semiconductor device, manufacturing method thereof, and manufacturing apparatus thereof | |
| JPH10233350A (en) | Semiconductor chip and semiconductor device manufacturing system using the same | |
| JPH09148387A (en) | Semiconductor product processing equipment | |
| JP2508260B2 (en) | Semiconductor device manufacturing lot control method | |
| JPH01194331A (en) | Die-bonding with marking | |
| JPH11274219A (en) | Method and apparatus for correcting bonding coordinates | |
| JP4506046B2 (en) | Magnetic head data management system, magnetic head data management method, and computer program | |
| JPH01286320A (en) | Semiconductor chip arranging method | |
| JP2002083784A (en) | Manufacturing method for semiconductor device |