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JPH1180397A - ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法 - Google Patents

ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法

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Publication number
JPH1180397A
JPH1180397A JP35375797A JP35375797A JPH1180397A JP H1180397 A JPH1180397 A JP H1180397A JP 35375797 A JP35375797 A JP 35375797A JP 35375797 A JP35375797 A JP 35375797A JP H1180397 A JPH1180397 A JP H1180397A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stretching
ptfe
porous membrane
sheet
polytetrafluoroethylene
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP35375797A
Other languages
English (en)
Inventor
Jun Hosoi
順 細井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP35375797A priority Critical patent/JPH1180397A/ja
Publication of JPH1180397A publication Critical patent/JPH1180397A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J5/00Manufacture of articles or shaped materials containing macromolecular substances
    • C08J5/18Manufacture of films or sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D71/00Semi-permeable membranes for separation processes or apparatus characterised by the material; Manufacturing processes specially adapted therefor
    • B01D71/06Organic material
    • B01D71/30Polyalkenyl halides
    • B01D71/32Polyalkenyl halides containing fluorine atoms
    • B01D71/36Polytetrafluoroethene
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01DSEPARATION
    • B01D2325/00Details relating to properties of membranes
    • B01D2325/20Specific permeability or cut-off range
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C08ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
    • C08JWORKING-UP; GENERAL PROCESSES OF COMPOUNDING; AFTER-TREATMENT NOT COVERED BY SUBCLASSES C08B, C08C, C08F, C08G or C08H
    • C08J2327/00Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers
    • C08J2327/02Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment
    • C08J2327/12Characterised by the use of homopolymers or copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and at least one being terminated by a halogen; Derivatives of such polymers not modified by chemical after-treatment containing fluorine atoms
    • C08J2327/18Homopolymers or copolymers of tetrafluoroethylene

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Polymers & Plastics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
  • Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポリテトラフルオロエチレン(以下、「PT
FE」とする。)シートの延伸方法を改善することによ
り、高い通気性と適度な耐水性とを兼備するPTFE多
孔質膜を提供する。 【解決方法】 未焼成PTFEの長尺シートを、PTF
Eの融点より低い温度で、シートの長手方向に2〜20
倍の延伸倍率で予備延伸する。次いで、予備延伸したP
TFEシートを、前記融点以上の温度で予備延伸と同一
方向に総延伸倍率が192〜216倍となるように延伸
すると同時に焼成する。更に、この焼成されたPTFE
シートをその幅方向に3〜6倍の延伸倍率で延伸するこ
とにより、通気度(フラジール数)が180〜380c
m/秒、耐水度が10cm以上のPTFE多孔質膜が得
られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、フィルター濾材と
して好適なポリテトラフルオロエチレン多孔質膜および
その製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ポリテトラフルオロエチレン(以下、
「PTFE」とする。)は耐熱性、撥水性、離型性、耐
溶剤性等に優れ、その多孔質膜はフィルター等として、
厳しい清浄環境が要求される半導体製造の分野をはじ
め、種々の分野で使用されている。フィルター濾材とし
てPTFE多孔質膜を用いる場合、膜の通気性が低い
と、フィルター部に負荷が掛り、濾過媒体流量の損失
(圧力損失)が大きくなる。この損失を補うには濾過時
の運転動力を高めて強制的にフィルター内部に濾過媒体
を送る手段をとらなくてはならず、その結果、エネルギ
ー消費が大きくなることや、フィルターの破損を招くお
それがある等の問題が生じる。
【00003】また、PTFE多孔質膜の別の用途とし
て、自動車ランプや移動体通信機等に使用される防水防
塵通気材があるが、この場合においても通気性が低いと
目的とする量の気体を一定時間に流入、流出するには大
きな通気面積を要するため、ハウジングの設計に支障を
きたすという問題がある。
【0004】以上のことからできるだけ高い通気性を有
するPTFE多孔質膜が求められている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のPTF
E多孔質膜の通気度は、フラジール数177.8cm/
秒(特公平8−32791号公報)程度が限界であった
ため、フィルターとして使用した場合の濾過時の圧力損
失を十分に低減することは困難であった。また、PTF
E多孔質膜を防水通気材として使用する場合には、高い
通気性と共に簡易的な防水性を有することが要求される
が、通気性と防水性とは相反する傾向を有する特性であ
り両立は困難であった。
【0006】本発明は、高い通気性と適度な防水性とを
兼備したPTFE多孔質膜と、そのようなPTFE多孔
質膜の製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明のPTFE多孔質膜は、フラジール数が18
0〜380cm/秒であり、且つ、耐水度が10cm以
上であることを特徴とする。このような構成のPTFE
多孔質膜は、通気性に優れるため、濾過フィルターとし
て使用したとき小さなエネルギーで迅速に濾過を行うこ
とができるという利点を有する。また、高い通気性に加
え適度な耐水性を有しているため、防水通気材としても
有用である。なお、前記フラジール数は、JIS L
1096(フラジールテスター法)により測定される値
であり、前記耐水度は、JIS L1092(低水圧
法)により測定される値である。
【0008】また、前記PTFE多孔質膜においては、
PF値が20以上であることが好ましい。前記PF値
は、フィルター濾材としての特性を評価する尺度であ
り、PTFE多孔質膜に流速5.3cm/秒で空気を透
過させた時の圧力損失L[mmH 2 O]と、粒子径0.
3〜0.5μmのエアロゾルの捕集効率E[%]とから
下記式(1)によって算出される値である。但し、前記
捕集効率は、JIS K3803に準ずる方法によって
測定される値である。
【0009】 PF値=−log(1−E/100)/L×100 (1)
【0010】このような構成のPTFE多孔質膜は、P
F値が大きい、すなわち、粒子の捕集効率が高く、且
つ、圧力損失が小さいため、フィルター濾材として特に
好適である。
【0011】本発明のPTFE多孔質膜の少なくとも片
面に通気性を有する補強材を積層してなるフィルター濾
材は、濾過時の圧力損失が小さいため、濾過効率に優れ
る。また、より確実に優れた濾過効率を実現するため、
前記フィルター濾材においては、空気を流速5.3cm
/秒で透過させたときの圧力損失が0.5〜1.5mm
2 Oであり、且つ、前記PF値が20以上であること
が好ましい。
【0012】また、前記目的を達成するため、本発明の
PTFE多孔質膜の製造方法は、PTFEの未焼成シー
トをPTFEの融点より低い温度で予備延伸した後、前
記融点以上の温度で予備延伸した方向と同一方向に総延
伸率が192〜216倍となるように延伸する工程と、
前記方向と直交する方向に延伸倍率が3〜6倍となるよ
うに延伸する工程とを含むことを特徴とする。
【0013】このような構成、すなわち、予め融点より
低い温度で予備延伸を行ってから融点以上の温度で延伸
することにより高い倍率で延伸が可能となり、PTFE
多孔質膜の通気性を著しく向上させることができる。ま
た、融点以上の温度で延伸を行うと同時にPTFEの焼
成が進行するため、機械的強度の高いPTFE多孔質膜
を効率良く製造することができる。また、延伸倍率を予
備延伸する方向に192〜216倍、予備延伸する方向
と直交する方向に3〜6倍としたのは、各々の下限未満
では通気度の向上が不十分であり、上限を超えると耐水
度が著しく低下するためであり、このような延伸倍率と
することにより、適度な防水性を確保しながら、高い通
気度を実現することができる。なお、総延伸倍率とは、
予備延伸の倍率と予備延伸後の延伸の倍率との積で表さ
れる延伸倍率である。
【0014】前記PTFE多孔質膜の製造方法において
は、予備延伸倍率が2〜20倍であることが好ましい。
このような構成にしたことにより、後の延伸において、
シートが破断するおそれなく、確実に所望の倍率までの
延伸を行うことができる。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明で使用するPTFE未焼成
シートは、未焼成PTFE粉末と押出助剤とを混合し、
この混合物を押出および圧延から選ばれる少なくとも1
つの手段によりシート状に成形することにより得られ
る。
【0016】使用できるPTFE粉末は特に限定される
ものではないが、PTFEファインパウダーが好適に用
いられる。PTFEファインパウダーとしては、ポリフ
ロンF−104(ダイキン工業社製)等の市販品を用い
ることができる。
【0017】押出助剤としては、PTFE表面を濡らす
ことができ、PTFEの成形後、蒸発、抽出等の方法に
より除去できるものであれば特に制限されない。具体的
には、流動パラフィン、ナフサ、ホワイトオイル等の炭
化水素油、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、
アルコール類、ケトン類、エステル類、およびこれらの
中から選ばれる2種以上の混合物等が使用できる。な
お、押出助剤の添加量はPTFE粉末100重量部に対
して20〜30重量部が適当であり、好ましくは22〜
27重量部とする。
【0018】上記PTFE粉末と上記押出助剤とを混合
し、この混合物を、ペースト押出機による押出しもしく
はカレンダーロール等による圧延、またはこの両者を組
み合わせた方法等によりシート状に成形してPTFE未
焼成シートを得る。この未焼成シートの膜厚は0.2〜
0.7mmとすることが適当であり、好ましくは0.2
〜0.5mmとする。
【0019】次に、上記PTFE未焼成シートを延伸多
孔化するが、延伸に先立って、押出助剤を加熱法、抽出
法、またはこれらを組み合わせた方法によって除去する
ことが好ましい。
【0020】延伸は以下に説明するように、2軸方向に
行われる。まず、予備延伸を実施する。この予備延伸に
より、後の本延伸においてシートが破断するおそれな
く、高い延伸倍率を実現できるようになる。予備延伸は
PTFEの融点(約327℃)よりも低い温度、好まし
くは120〜320℃で行う。延伸はロール延伸、テン
ター延伸等慣用の方法により行うことができる。予備延
伸は通常、シートの成形(押出し)方向、つまり長尺シ
ートにおいてはその長手方向に行い、延伸倍率は2〜2
0倍とする。2倍未満では後の延伸において所望の延伸
倍率に達するまでにシートが破断するおそれがあり、2
0倍を超えると予備延伸時にシートの破断や裂けが生じ
るおそれがある。予備延伸後のシートは、通常、膜厚を
0.1〜0.5mm、好ましくは0.1〜0.2mmと
し、気孔率を40〜85%、好ましくは50〜65%と
する。
【0021】次に、予備延伸で形成された細孔の拡大の
ため、PTFEの融点以上の温度で予備延伸と同一方向
に延伸する。延伸温度は融点以上の温度、つまり、32
7℃以上であれば特に限定するものではないが、350
〜380℃が好ましい。この延伸もロール延伸、テンタ
ー延伸等により行うことができるが、シートの延伸方向
の両端を加熱領域外に配置して延伸することが好まし
い。延伸倍率は、シートの長手方向の総延伸倍率が19
2〜216倍になるように調整する。総延伸倍率が19
2倍未満では細孔の拡大が不十分であり所望の通気度が
得られず、また、216倍を超えるとシートの破断やピ
ンホールが発生して耐水性が著しく低下する。
【0022】この高い倍率での延伸により、気孔率が増
大し、膜の通気度が著しく向上する。その上、延伸をP
TFEの融点以上の温度で行うため、同時にPTFEの
焼結が進行しシートの機械的強度が向上する。この操作
により得られるPTFE焼成シートは、通常、膜厚を
0.005〜0.02mm、好ましくは0.005〜
0.015mmとし、気孔率を90〜98%、好ましく
は95〜98%とする。
【0023】更に細孔を拡大させるため、予備延伸の方
向と直交する方向、通常は長尺シートにおける幅方向に
上記PTFE焼成シートを延伸する。この幅方向の延伸
においても慣用の延伸方法を採用できる。幅方向の延伸
は、通常、融点よりも低い温度、好ましくは20〜15
0℃、更に好ましくは110〜140℃で行う。延伸倍
率は3倍以上、好ましくは3〜6倍、更に好ましくは4
〜6倍とする。3倍未満では十分な通気度が得られず、
また6倍を超えるとシートの破断やピンホールが発生す
るおそれがある。また、細孔を確実に拡大させるため
に、長手方向の寸法を規制して幅方向の延伸を行うこと
が好ましい。
【0024】以上説明したような製造方法によって、通
気度(フラジール数)180〜380cm/秒、耐水度
が10〜35cmであるPTFE多孔質膜を作製するこ
とができる。特に注目すべきはフラジール数180cm
/秒以上という極めて高い通気度であり、このようなP
TFE多孔質膜をフィルター濾材として使用したとき、
消費エネルギーが小さく濾過効率が向上する。また、耐
水度についても10cm以上という値を確保しており、
防水通気材としても有用である。
【0025】また、この多孔質膜は、好ましくは、圧力
損失が0.3〜1.0mmH2 O、粒子径0.3μmの
エアロゾルの捕集効率が30〜60%であり、PF値が
20以上である。また、膜厚は0.002〜0.01m
m、気孔率95〜99%であることが好ましい。
【0026】このPTFE多孔質膜をフィルター濾材と
して使用する場合、取り扱い性および機械的強度を向上
させるため、通気性を有する補強材と積層する。このと
き、補強材がPTFE多孔質膜の少なくとも片面に積層
されていればよく、補強材およびPTFE多孔質膜の積
層枚数等は特に限定されるものではない。
【0027】補強材としては、通気性を有するものであ
れば特に限定するものではなく、ネット、不織布、織
布、その他の多孔質膜を使用することができる。また、
補強材は、厚さ0.1〜0.3mm、圧力損失0.2〜
0.5mmH2 O、目付10〜100g/m2 であるこ
とが好ましい。
【0028】補強材の材質としては、例えば、ポリエチ
レン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、
ポリアミド、ポリイミド、フッ素樹脂、ガラス等が挙げ
られ、これらを単独または複合させて使用することがで
きる。特に、融点の異なる2以上の成分よりなる複合材
料を使用することが好ましく、例えば、融点の異なる2
以上の成分の積層体や、芯成分が鞘成分より高い融点を
有する成分からなる芯鞘構造の複合繊維により構成され
たものが好ましい。このような複合材料を使用すれば、
PTFE多孔質膜と積層時の熱による収縮が生じにく
い。
【0029】PTFE多孔質膜と補強材との積層方法
は、特に限定するものではないが、エポキシ樹脂、フッ
素樹脂等の接着剤による接着、補強材が熱可塑性材料で
ある場合はその融点以上の温度で熱溶着させる方法等を
採用することができる。
【0030】このようなフィルター濾材は、通気性の高
いPTFE多孔質膜を構成要素としているため、圧力損
失が小さく濾過効率に優れる。また、このフィルター濾
材は、好ましくは、圧力損失0.5〜1.5mmH
2 O、PF値20以上という特性を有するものである。
【0031】
【実施例】以下に、実施例および比較例を挙げて本発明
について詳述するが、本発明はこれらの実施例のみに限
定されるものではない。
【0032】なお、以下の実施例および比較例で作製し
たPTFE多孔質膜およびフィルター濾材のフラジール
数、耐水度および捕集効率は各々前記JISにより測定
し、圧力損失はJIS B 9927に記載の方法で、
風速を5.3cm/秒として測定した。また、PF値
は、測定された捕集効率と圧力損失より、前記(1)式
によって算出した。
【0033】(実施例1)PTFEファインパウダー
(商品名「ポリフロンF−104U」、ダイキン工業
製)100重量部に対し、炭化水素油(商品名「アイソ
パーM」、エッソ石油製)20重量部を均一に混合した
混和物をペースト押出しによりテープ状に成形し、この
成形体を一対の金属製圧延ロール間に通し、膜厚0.2
mm、幅370mmの未焼成テープを得た。この未焼成
テープを、320℃でテープの長手方向に2倍に予備延
伸した。次いで、予備延伸した未焼成テープを380℃
に加熱した領域で、前記予備延伸の延伸倍率との積が2
16倍になるような延伸倍率でテープの長手方向に延伸
し、焼成された1軸延伸テープを得た。次いで、テンタ
ーを用いて前記1軸延伸テープを130℃の温度でテー
プの幅方向に4倍に延伸し、PTFE多孔質膜を得た。
【0034】(実施例2)テープの幅方向に行う延伸
を、25℃で、延伸倍率が3倍となるように行った以外
は、実施例1と同様にしてPTFE多孔質膜を得た。
【0035】(比較例1)実施例1と同様の材料および
操作により得たPTFE未焼成テープを、100℃でテ
ープの幅方向に2.4倍に予備延伸した。予備延伸した
未焼成テープを、250℃に加熱した領域でテープの長
手方向に19.6倍に延伸した。次いで、テープの幅方
向に7.4倍に延伸した後、得られた2軸延伸テープを
拘束しながら360℃に加熱、焼成して、PTFE多孔
質膜を得た。
【0036】実施例1、2および比較例1で得られたP
TFE多孔質膜について、膜厚、フラジール数、耐水
度、0.3μmのエアロゾルの捕集効率および圧力損失
を測定した。また、捕集効率と圧力損失とからPF値を
求めた。結果を表1に示す。
【0037】
【表1】
【0038】(実施例3)延伸倍率を変えた以外は実施
例1と同様の方法で、下記の表2に示す19種類のPT
FE多孔質膜(No.1〜19)を作製し、フラジール
数、耐水度、0.3μmのエアロゾルの捕集効率および
圧力損失を測定した。また、捕集効率と圧力損失とから
PF値を求めた。結果を表2に示す。
【0039】
【表2】
【0040】表2の結果から明らかな通り、長手方向の
総延伸率が192〜216倍、且つ幅方向の延伸倍率が
3〜6倍の範囲であると、フラジール数および耐水度が
本発明の範囲となり好ましいことが確認できた。
【0041】(実施例4)ポリエチレンテレフタレート
からなる芯部にポリエチレンからなる鞘部が被覆した芯
鞘構造を有する繊維からなる目付15g/m2 の不織布
Aと、ポリエチレンテレフタレート繊維からなる目付2
5g/m2 の不織布Bとを、温度150℃、積層速度5
m/分、圧力4kg/cm2 の条件で積層し、厚さ25
0μm、圧力損失0.3mmH2 Oの補強材を得た。次
にこの補強材の不織布A面側に、実施例1で得られたP
TFE多孔質膜を重ね合わせ、温度130℃、積層速度
4m/分、圧力4kg/cm2 の条件で積層し、フィル
ター濾材を得た。
【0042】(実施例5)実施例2で得たPTFE多孔
質膜を使用した以外は、実施例4と同様にしてフィルタ
ー濾材を得た。
【0043】(比較例2)比較例1で得たPTFE多孔
質膜を使用した以外は、実施例4と同様にしてフィルタ
ー濾材を得た。
【0044】実施例4、5および比較例2で得られたフ
ィルター濾材について、厚さ、圧力損失、0.3〜0.
5μmのエアロゾルの捕集効率および耐水度を測定し
た。また、圧力損失と捕集効率からPF値を求めた。結
果を表3に示す。
【0045】
【表3】
【0046】
【発明の効果】本発明のPTFE多孔質膜は、フラジー
ル数180〜380cm/秒という高い通気性と、10
cm以上の耐水度とを兼備しているため、圧力損失が小
さく、小さな運転エネルギーで迅速に濾過を行うことが
できる濾過フィルターとして有用であるばかりでなく、
防水通気材としても有用である。
【0047】また、本発明によれば、PTFEの未焼成
シートを、PTFEの融点より低い温度で予備延伸した
後、前記融点以上の温度で予備延伸と同一方向に総延伸
倍率が192〜216倍となるように延伸する工程と、
前記方向と直交する方向に3〜6倍に延伸する工程とを
含むことにより、上記のような高い通気性と適度な耐水
性とを兼備するPTFE多孔質膜を得ることができる。
また、焼成と延伸を同時に行うため、機械的強度の高い
PTFE膜を効率良く得ることができる。

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フラジール数が180〜380cm/秒
    であり、且つ、耐水度が10cm以上であるポリテトラ
    フルオロエチレン多孔質膜。
  2. 【請求項2】 PF値が20以上である請求項1に記載
    のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜。但し、前記P
    F値とは、ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜に空気
    を流速5.3cm/秒で透過させた時の圧力損失L[m
    mH2 O]と、粒子径0.3〜0.5μmのエアロゾル
    の捕集効率E[%]とから下記式によって算出される値
    である。 PF値=−log(1−E/100)/L×100
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載のポリテトラフ
    ルオロエチレン多孔質膜の少なくとも片面に通気性を有
    する補強材を積層してなることを特徴とするフィルター
    濾材。
  4. 【請求項4】 空気を流速5.3cm/秒で透過させた
    ときの圧力損失が0.5〜1.5mmH2 Oであり、且
    つ、前記PF値が20以上である請求項3に記載のフィ
    ルター濾材。
  5. 【請求項5】 ポリテトラフルオロエチレンの未焼成シ
    ートを、ポリテトラフルオロエチレンの融点より低い温
    度で予備延伸した後、前記融点以上の温度で予備延伸し
    た方向と同一方向に総延伸倍率が192〜216倍とな
    るように延伸する工程と、前記方向と直交する方向に延
    伸倍率が3〜6倍となるように延伸する工程とを含むポ
    リテトラフルオロエチレン多孔質膜の製造方法。
  6. 【請求項6】 予備延伸倍率が2〜20倍である請求項
    5に記載のポリテトラフルオロエチレン多孔質膜の製造
    方法。
JP35375797A 1997-07-16 1997-12-22 ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法 Pending JPH1180397A (ja)

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JP35375797A JPH1180397A (ja) 1997-07-16 1997-12-22 ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜およびその製造方法

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