JPH11197902A - 回折面形状の製造方法 - Google Patents
回折面形状の製造方法Info
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- JPH11197902A JPH11197902A JP36940097A JP36940097A JPH11197902A JP H11197902 A JPH11197902 A JP H11197902A JP 36940097 A JP36940097 A JP 36940097A JP 36940097 A JP36940097 A JP 36940097A JP H11197902 A JPH11197902 A JP H11197902A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 所望の正確な回折面形状を容易に切削する。
【解決手段】 ダイヤモンド工具１の先端のノーズ２の
前切刃３と横切刃４の角度であるノーズ角εは８５°で
あり、横切刃４の長さＬは５μｍとしている。金型１１
の被加工面と工具１の位置関係は、被加工面の回折機能
を有する立上り角が３０°以下である斜面Ｉと、この斜
面Ｉを加工する横切刃４により作られる角度α1 が、２
°〜３°になるように設定する。ここで、金型１１を取
り付けた加工機の回転軸を毎分７０００回転で回転させ
ると共に、ＸＹＺテーブルをプログラム制御により、ダ
イヤモンド工具１のノーズ２が金型１１の中心から外周
方向に向かい、かつ斜面Ｉの低所から高所に向かい、毎
分１．３ｍｍの移動速度で並進移動して所望の回折面形
状が得られるように移動させる。
前切刃３と横切刃４の角度であるノーズ角εは８５°で
あり、横切刃４の長さＬは５μｍとしている。金型１１
の被加工面と工具１の位置関係は、被加工面の回折機能
を有する立上り角が３０°以下である斜面Ｉと、この斜
面Ｉを加工する横切刃４により作られる角度α1 が、２
°〜３°になるように設定する。ここで、金型１１を取
り付けた加工機の回転軸を毎分７０００回転で回転させ
ると共に、ＸＹＺテーブルをプログラム制御により、ダ
イヤモンド工具１のノーズ２が金型１１の中心から外周
方向に向かい、かつ斜面Ｉの低所から高所に向かい、毎
分１．３ｍｍの移動速度で並進移動して所望の回折面形
状が得られるように移動させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学系に用いる光
学素子又は金型等に適用する回折面形状の製造方法、及
びそれに用いられる工具、金型により形成された回折光
学素子に関するものである。
学素子又は金型等に適用する回折面形状の製造方法、及
びそれに用いられる工具、金型により形成された回折光
学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、回折面形状に倣ってダイヤモ
ンド工具などを並進させながら回折面形状を加工する方
法には、先端に微小な面取りを設け先端角度が鋭角の形
状をした工具を用いることが、１９９２年度精密工学会
春季大会学術講演会講演論文集：オムロン株式会社「フ
レネルレンズ金型の超精密切削加工」に開示されてい
る。
ンド工具などを並進させながら回折面形状を加工する方
法には、先端に微小な面取りを設け先端角度が鋭角の形
状をした工具を用いることが、１９９２年度精密工学会
春季大会学術講演会講演論文集：オムロン株式会社「フ
レネルレンズ金型の超精密切削加工」に開示されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この従
来例では次のような不具合が発生する。 (1) ダイヤモンド工具の摩耗により回折面形状が正確に
加工できない。 (2) ダイヤモンド工具の先端の面取りにより、回折格子
の底部形状及び格子高さを正確に加工できない。 (3) 回折機能を有する斜面部分の粗さが大きくなる。
来例では次のような不具合が発生する。 (1) ダイヤモンド工具の摩耗により回折面形状が正確に
加工できない。 (2) ダイヤモンド工具の先端の面取りにより、回折格子
の底部形状及び格子高さを正確に加工できない。 (3) 回折機能を有する斜面部分の粗さが大きくなる。
【０００４】本発明の目的は、上述の問題点を解消し、
所望の正確な回折面形状を容易に切削し得る回折面形状
の製造方法を提供することにある。
所望の正確な回折面形状を容易に切削し得る回折面形状
の製造方法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る回折面形状の製造方法は、切削すべき回
折面と切削工具とを相対的に回転させると共に並進移動
させながら回折面形状を製造する方法において、回折機
能を有する斜面は前記工具先端の横切刃により切削し、
該横切刃の長さは前記斜面の長さよりも短くし、前記横
切刃の長さ方向を前記切削すべき斜面に対し３０°以下
になるように取り付け、前記工具を前記斜面の低所から
高所に向けて前記３０°以下の方向に相対的に移動して
切削することを特徴とする。
の本発明に係る回折面形状の製造方法は、切削すべき回
折面と切削工具とを相対的に回転させると共に並進移動
させながら回折面形状を製造する方法において、回折機
能を有する斜面は前記工具先端の横切刃により切削し、
該横切刃の長さは前記斜面の長さよりも短くし、前記横
切刃の長さ方向を前記切削すべき斜面に対し３０°以下
になるように取り付け、前記工具を前記斜面の低所から
高所に向けて前記３０°以下の方向に相対的に移動して
切削することを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明を図示の実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は本実施例で用いるダイヤモンド
工具１の先端形状、図２、図３は比較用として用いた２
種類のダイヤモンドから成る比較用工具Ａ、Ｂの先端形
状を示している。ダイヤモンド工具１の先端のノーズ２
の前切刃３と横切刃４の角度、つまりノーズ角εは８５
°であり、横切刃４の長さＬは５μｍとしている。ま
た、工具Ａ、Ｂのノーズ角εは同様に８５°であるが、
工具Ａ、Ｂにおいては横切刃４の長さは大きく、特に工
具Ｂにおいてはノーズ２の先端はＲ＝０．５μｍの曲率
を有している。
詳細に説明する。図１は本実施例で用いるダイヤモンド
工具１の先端形状、図２、図３は比較用として用いた２
種類のダイヤモンドから成る比較用工具Ａ、Ｂの先端形
状を示している。ダイヤモンド工具１の先端のノーズ２
の前切刃３と横切刃４の角度、つまりノーズ角εは８５
°であり、横切刃４の長さＬは５μｍとしている。ま
た、工具Ａ、Ｂのノーズ角εは同様に８５°であるが、
工具Ａ、Ｂにおいては横切刃４の長さは大きく、特に工
具Ｂにおいてはノーズ２の先端はＲ＝０．５μｍの曲率
を有している。
【０００７】図４、図５は加工に用いるＸＹＺの３軸Ｎ
Ｃ制御加工機の斜視図を示し、図４の加工機は切削すべ
き金型１１を回転軸１２に取り付け、工具１をＸＹＺテ
ーブル１３に取り付けており、図５の加工機では逆に、
工具１を回転軸１２に取り付け、金型１１をＸＹＺテー
ブル１３に取り付けている。なお、実施例では図４の加
工機を用いている。
Ｃ制御加工機の斜視図を示し、図４の加工機は切削すべ
き金型１１を回転軸１２に取り付け、工具１をＸＹＺテ
ーブル１３に取り付けており、図５の加工機では逆に、
工具１を回転軸１２に取り付け、金型１１をＸＹＺテー
ブル１３に取り付けている。なお、実施例では図４の加
工機を用いている。
【０００８】多数の円形の溝を有する回折面形状を持つ
プラスチック回折光学素子を得るための金型１１の製造
する場合において、例えば所望の回折面形状は円板状の
平面上に回折格子が１００本であり、格子高さｈは全て
１μｍ、格子間隔は最内周でｄｉ＝５００μｍ、最外周
でｄｏ＝５０μｍであり、最内周から最外周に向かい格
子間隔が順次に減少する形状とする。例えば、金型１１
の表面には加工層として無電解ニッケルメッキが約１５
０μｍの厚さで施し、母材としてプラスチック金型用鋼
材を用いる。
プラスチック回折光学素子を得るための金型１１の製造
する場合において、例えば所望の回折面形状は円板状の
平面上に回折格子が１００本であり、格子高さｈは全て
１μｍ、格子間隔は最内周でｄｉ＝５００μｍ、最外周
でｄｏ＝５０μｍであり、最内周から最外周に向かい格
子間隔が順次に減少する形状とする。例えば、金型１１
の表面には加工層として無電解ニッケルメッキが約１５
０μｍの厚さで施し、母材としてプラスチック金型用鋼
材を用いる。
【０００９】金型１１の被加工面Ｓと工具１の位置関係
は、図６に示すように被加工面Ｓの回折機能を有する斜
面Ｉと、この斜面Ｉを加工する横切刃４により作られる
角度α1 が、２°〜３°になるように設定する。
は、図６に示すように被加工面Ｓの回折機能を有する斜
面Ｉと、この斜面Ｉを加工する横切刃４により作られる
角度α1 が、２°〜３°になるように設定する。
【００１０】ここで、金型１１を取り付けた加工機の回
転軸１２を毎分７０００回転で回転させると共に、ＸＹ
Ｚテーブル１３をプログラム制御により、ダイヤモンド
工具１のノーズ２が図６の矢印で示すように金型１１の
中心Ｏから外周方向に向かうと共に斜面Ｉを低所から高
所に向かい、毎分１．３ｍｍの移動速度で並進移動して
所望の回折面形状が得られるように移動させる。また、
このときのダイヤモンド工具１による無電解ニッケルメ
ッキの加工深さは、例えば約５μｍである。
転軸１２を毎分７０００回転で回転させると共に、ＸＹ
Ｚテーブル１３をプログラム制御により、ダイヤモンド
工具１のノーズ２が図６の矢印で示すように金型１１の
中心Ｏから外周方向に向かうと共に斜面Ｉを低所から高
所に向かい、毎分１．３ｍｍの移動速度で並進移動して
所望の回折面形状が得られるように移動させる。また、
このときのダイヤモンド工具１による無電解ニッケルメ
ッキの加工深さは、例えば約５μｍである。
【００１１】また比較のために、比較用工具Ａ、Ｂを同
様の方法により、金型１１の被加工面Ｓの回折機能を有
する斜面Ｉと、この斜面Ｉを加工する工具Ａ、Ｂの横切
刃４より作られる角度α1 が２°〜３°になるように設
定し、同様に加工を行った。
様の方法により、金型１１の被加工面Ｓの回折機能を有
する斜面Ｉと、この斜面Ｉを加工する工具Ａ、Ｂの横切
刃４より作られる角度α1 が２°〜３°になるように設
定し、同様に加工を行った。
【００１２】このようにして、ダイヤモンド工具１及び
比較用の２種類の形状のダイヤモンド工具Ａ、Ｂにより
加工した回折面の状態は下記の通りである。
比較用の２種類の形状のダイヤモンド工具Ａ、Ｂにより
加工した回折面の状態は下記の通りである。
【００１３】 ピッチ 使用工具 工具１ 工具Ａ 工具Ｂ No 測定項目 １ 斜面粗さ（P-V:nm) １０ ４０ ４０ (最内周) 溝底部形状（第２ピッチ）８９．８° 多段溝 丸底 格子高さｈ（μｍ） １．０ １．１ ０．９ ３３ 斜面粗さ（P-V:nm) １０ ４０ ４０ 溝底部形状 ８９．７° 多段溝 丸底 格子高さｈ（μｍ） １．０ １．２ ０．９ ６６ 斜面粗さ（P-V:nm) １０ ６０ ６０ 溝底部形状 ８９．５° 多段溝 丸底 格子高さｈ（μｍ） １．０ １．２ ０．９ １００ 斜面粗さ（P-V:nm) １０ ８０ ８０ (最外周) 溝底部形状 ８８．８° 多段溝 丸底 格子高さｈ（μｍ） １．０ １．１ ０．９
【００１４】このように、ダイヤモンド工具１による加
工方法では、回折格子の全面に渡り所望の形状を形成す
ることができる。
工方法では、回折格子の全面に渡り所望の形状を形成す
ることができる。
【００１５】一方、比較用工具Ａ、Ｂによる加工では加
工面が粗くなり、これは斜面Ｉの創生時に、工具Ａ、Ｂ
の横切刃４と創生される斜面Ｉとの角度２°〜３°の隙
間に、加工により発生した切り屑を巻き込むためと考え
られる。本実施例では、切り屑の巻き込み原因となる工
具１の横切刃４の長さＬが５μｍと短く、切り屑を巻込
む確率が減少したため斜面Ｉの粗さが良好であったもの
と考えられる。
工面が粗くなり、これは斜面Ｉの創生時に、工具Ａ、Ｂ
の横切刃４と創生される斜面Ｉとの角度２°〜３°の隙
間に、加工により発生した切り屑を巻き込むためと考え
られる。本実施例では、切り屑の巻き込み原因となる工
具１の横切刃４の長さＬが５μｍと短く、切り屑を巻込
む確率が減少したため斜面Ｉの粗さが良好であったもの
と考えられる。
【００１６】また、溝底部形状は比較用工具Ａでは先端
に切り屑を巻き込み図７に示すように斜面Ｉの座部は多
段形状になり、比較用工具Ｂでは先端の曲率をそのまま
転写して図８に示すように斜面Ｉの座面は丸底形状にな
る。格子高さｈも比較用工具Ａ、Ｂでの溝底部形状の乱
れにより、所望の値から０．１〜０．２μｍの誤差が生
じている。
に切り屑を巻き込み図７に示すように斜面Ｉの座部は多
段形状になり、比較用工具Ｂでは先端の曲率をそのまま
転写して図８に示すように斜面Ｉの座面は丸底形状にな
る。格子高さｈも比較用工具Ａ、Ｂでの溝底部形状の乱
れにより、所望の値から０．１〜０．２μｍの誤差が生
じている。
【００１７】次に、アクリル板による回折光学素子を製
造する場合について説明する。所望の回折面形状は円形
状の平面上に回折格子が１００本であり、格子高さｈは
全て５μｍ、格子間隔は最内周でｄｉ＝５００μｍ、最
外周でｄｏ＝５０μｍであり、その間隔は最内周から最
外周に向かい順次に減少する形状である。
造する場合について説明する。所望の回折面形状は円形
状の平面上に回折格子が１００本であり、格子高さｈは
全て５μｍ、格子間隔は最内周でｄｉ＝５００μｍ、最
外周でｄｏ＝５０μｍであり、その間隔は最内周から最
外周に向かい順次に減少する形状である。
【００１８】図９はダイヤモンド工具１’の先端形状を
示し、横切刃４の長さＬは５μｍとし、図１０は比較用
として用いたノーズ２の先端に微小な面取りのある比較
用工具Ｃの先端形状を示し、共にノーズ角εは８２°で
ある。第１の実施例と同様に、この加工には図４に示す
ＸＹＺ３軸ＮＣ制御加工機を用いた。
示し、横切刃４の長さＬは５μｍとし、図１０は比較用
として用いたノーズ２の先端に微小な面取りのある比較
用工具Ｃの先端形状を示し、共にノーズ角εは８２°で
ある。第１の実施例と同様に、この加工には図４に示す
ＸＹＺ３軸ＮＣ制御加工機を用いた。
【００１９】加工すべきアクリル板１４を加工機の回転
軸１２に取り付け、ダイヤモンド工具１’をＸＹＺテー
ブル１３上に取り付ける。このとき、アクリル板１４の
被加工面Ｓと工具１’の位置関係は、図１１に示すよう
に被加工面Ｓの回折機能を有する斜面Ｉと、この斜面Ｉ
を加工するダイヤモンド工具１’の横切刃４により作ら
れる角度α2 が０．５°〜５．６°になるように設定す
る。
軸１２に取り付け、ダイヤモンド工具１’をＸＹＺテー
ブル１３上に取り付ける。このとき、アクリル板１４の
被加工面Ｓと工具１’の位置関係は、図１１に示すよう
に被加工面Ｓの回折機能を有する斜面Ｉと、この斜面Ｉ
を加工するダイヤモンド工具１’の横切刃４により作ら
れる角度α2 が０．５°〜５．６°になるように設定す
る。
【００２０】回転軸１２を毎分８０００回転で回転させ
ると共に、ＸＹＺテーブル１３をプログラム制御によ
り、ダイヤモンド工具１’が図１１の直線による矢印に
示すようにアクリル板１４の中心Ｏから外周方面に向か
って、かつ斜面Ｉの低所から高所に向かい、毎分１．２
ｍｍの移動速度で所望の回折面形状が得られるように並
進移動させる。また、加工方法の比較例として、ダイヤ
モンド工具１’、比較用工具Ｃの並進方向を外周方面か
ら中心Ｏとする加工も行った。
ると共に、ＸＹＺテーブル１３をプログラム制御によ
り、ダイヤモンド工具１’が図１１の直線による矢印に
示すようにアクリル板１４の中心Ｏから外周方面に向か
って、かつ斜面Ｉの低所から高所に向かい、毎分１．２
ｍｍの移動速度で所望の回折面形状が得られるように並
進移動させる。また、加工方法の比較例として、ダイヤ
モンド工具１’、比較用工具Ｃの並進方向を外周方面か
ら中心Ｏとする加工も行った。
【００２１】一方、比較用工具Ｃを同様の方法で、図１
２に示すように被加工面Ｓの回折機能を有する斜面Ｉ
と、この斜面Ｉを加工する比較用工具Ｃの横切刃４によ
り作られる角度α2 を、０．５°〜５．６°になるよう
に設定して加工を行った。
２に示すように被加工面Ｓの回折機能を有する斜面Ｉ
と、この斜面Ｉを加工する比較用工具Ｃの横切刃４によ
り作られる角度α2 を、０．５°〜５．６°になるよう
に設定して加工を行った。
【００２２】この実験での工具によるアクリル板１４の
加工深さは、最小で約５μｍ、最大で約２５μｍであっ
た。
加工深さは、最小で約５μｍ、最大で約２５μｍであっ
た。
【００２３】このようにして、ダイヤモンド工具１’及
び比較用工具Ｃにより、それぞれ並進方向を換えた加工
方法により創生した回折面の状態は次の通りである。
び比較用工具Ｃにより、それぞれ並進方向を換えた加工
方法により創生した回折面の状態は次の通りである。
【００２４】 最内周から最外周方向 最内周から最外周方向 ピッチ 使用工具 工具１’ 工具Ｃ 工具１’ 工具Ｃ No 測定項目 １ 斜面粗さ（P-V:nm) １５ ６０ １００ １００ (最内周) 溝底部形状 ８９．４° 多段形状 ８９．４°面取形状 格子高さｈ（μｍ） ５．０ ５．１ １．０ ４．９ ３３ 斜面粗さ（P-V:nm) １５ ７０ ９０ ８０ 溝底部形状 ８８．９° 多段形状 ８８．９°面取形状 格子高さｈ（μｍ） ５．０ ５．２ １．０ ４．９ ６６ 斜面粗さ（P-V:nm) １５ ８０ ８０ ７０ 溝底部形状 ８７．６° 多段形状 ８７．６°面取形状 格子高さｈ（μｍ） ５．０ ５．１ １．０ ４．９ １００ 斜面粗さ（P-V:nm) １５ １００ ８０ ６０ (最外周) 溝底部形状 ８４．３° 多段形状 ８４．３°面取形状 格子高さｈ（μｍ） ５．０ ５．１ １．０ ４．９
【００２５】工具１’による加工では、アクリル板１４
の全面に渡り所望形状を形成することができる。一方、
比較用工具Ｃによる加工では、斜面Ｉが粗くなったが、
これは第１の実施例と同様に横切刃４と創生される斜面
Ｉの隙間に発生した切り屑を巻込むためと考えられる。
工具１’では、横切刃４の長さＬが５μｍと短く、切り
屑を巻込む確率が減少したために斜面粗さが良好であっ
たと考えられる。
の全面に渡り所望形状を形成することができる。一方、
比較用工具Ｃによる加工では、斜面Ｉが粗くなったが、
これは第１の実施例と同様に横切刃４と創生される斜面
Ｉの隙間に発生した切り屑を巻込むためと考えられる。
工具１’では、横切刃４の長さＬが５μｍと短く、切り
屑を巻込む確率が減少したために斜面粗さが良好であっ
たと考えられる。
【００２６】また、溝底部形状は比較用工具Ｃでは切り
屑を巻込み多段形状となる。格子高さｈも比較用工具Ｃ
での溝底部形状の乱れにより、所望の値から０．１〜
０．２μｍの誤差が生じた。
屑を巻込み多段形状となる。格子高さｈも比較用工具Ｃ
での溝底部形状の乱れにより、所望の値から０．１〜
０．２μｍの誤差が生じた。
【００２７】また、工具の並進方向を反対にした加工で
は、工具１’、比較用工具Ｃの何れも斜面Ｉの粗さが大
きい。これは、取り代の関係等から工具先端が劣化し易
く、正規の加工が行われず斜面Ｉがささくれた状態にな
ったためと考えられる。更に、比較用工具Ｃでの溝底部
形状は、工具Ｃの先端面取り形状を転写したため格子高
さｈが約０．１μｍ不足した。
は、工具１’、比較用工具Ｃの何れも斜面Ｉの粗さが大
きい。これは、取り代の関係等から工具先端が劣化し易
く、正規の加工が行われず斜面Ｉがささくれた状態にな
ったためと考えられる。更に、比較用工具Ｃでの溝底部
形状は、工具Ｃの先端面取り形状を転写したため格子高
さｈが約０．１μｍ不足した。
【００２８】更に、先の実施例で得られた無電解ニッケ
ルメッキの金型１１を用いて、光学アクリル樹脂の射出
成形を行った結果、金型１１の回折光学素子の形状が転
写誤差±２％以内で転写でき、良好な形状の回折光学素
子が得られた。
ルメッキの金型１１を用いて、光学アクリル樹脂の射出
成形を行った結果、金型１１の回折光学素子の形状が転
写誤差±２％以内で転写でき、良好な形状の回折光学素
子が得られた。
【００２９】また、先の実施例と同様な加工方法で、超
硬合金上のニッケル及びリンを主成分とする蒸着膜を加
工して、更に窒化チタンとダイヤモンド状炭素膜を形成
した金型を用いて、光学ガラスの加圧成形を行った結
果、金型１１の回折光学素子形状が転写誤差±４％以内
で転写でき、良好な形状の回折光学素子が得られた。
硬合金上のニッケル及びリンを主成分とする蒸着膜を加
工して、更に窒化チタンとダイヤモンド状炭素膜を形成
した金型を用いて、光学ガラスの加圧成形を行った結
果、金型１１の回折光学素子形状が転写誤差±４％以内
で転写でき、良好な形状の回折光学素子が得られた。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る回折面
形状の製造方法によれば、加工工具の形状を選定し、加
工面と加工工具の位置関係及び加工工具の移動方向を適
正な状態にすることで、表面状態の良好な所望形状の回
折格子面を得られる。
形状の製造方法によれば、加工工具の形状を選定し、加
工面と加工工具の位置関係及び加工工具の移動方向を適
正な状態にすることで、表面状態の良好な所望形状の回
折格子面を得られる。
【図１】実施例のダイヤモンド工具の先端形状の断面図
である。
である。
【図２】比較用のダイヤモンド工具の先端形状の断面図
である。
である。
【図３】比較用のダイヤモンド工具の先端形状の断面図
である。
である。
【図４】３軸ＮＣ制御加工機の斜視図である。
【図５】３軸ＮＣ制御加工機の斜視図である。
【図６】回折格子の加工状態の説明図である。
【図７】比較用のダイヤモンド工具による切削状態の説
明図である。
明図である。
【図８】比較用のダイヤモンド工具による切削状態の説
明図である。
明図である。
【図９】他の実施例のダイヤモンド工具の先端形状の断
面図である。
面図である。
【図１０】比較用のダイヤモンド工具の先端形状の断面
図である。
図である。
【図１１】回折格子の加工状態の説明図である。
【図１２】比較用のダイヤモンド工具の設定状態であ
る。
る。
１、１’ ダイヤモンド工具 ２ ノーズ ３ 前切刃 ４ 横切刃 １１ 金型 １２ 回転軸 １３ ＸＹＺテーブル １４ アクリル板 Ａ、Ｂ 比較用工具
Claims (8)
- 【請求項１】 切削すべき回折面と切削工具とを相対的
に回転させると共に並進移動させながら回折面形状を製
造する方法において、回折機能を有する斜面は前記工具
先端の横切刃により切削し、該横切刃の長さは前記斜面
の長さよりも短くし、前記横切刃の長さ方向を前記切削
すべき斜面に対し３０°以下になるように取り付け、前
記工具を前記斜面の低所から高所に向けて前記３０°以
下の方向に相対的に移動して切削することを特徴とする
回折面形状の製造方法。 - 【請求項２】 前記切削工具の横切刃の長さは２μｍよ
り大きくした請求項１に記載の回折面形状の製造方法。 - 【請求項３】 前記切削工具はダイヤモンド工具とした
請求項２に記載の回折面形状の製造方法。 - 【請求項４】 前記回折面形状はレンズ部材のプラスチ
ック表面とした請求項１〜３に記載の回折面形状の製造
方法。 - 【請求項５】 請求項１又は２に記載の製造方法に用い
る工具。 - 【請求項６】 請求項１〜３に記載の製造方法により製
造した回折面形状を持つプラスチックレンズ部材。 - 【請求項７】 請求項１〜３に記載の製造方法により製
造した回折面形状を持つ型部材。 - 【請求項８】 請求項７の型により成形した回折面形状
を持つレンズ部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36940097A JP3249081B2 (ja) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 回折面形状及び光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP36940097A JP3249081B2 (ja) | 1997-12-29 | 1997-12-29 | 回折面形状及び光学素子の製造方法 |
Publications (2)
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