JPH11167873A

JPH11167873A - 微細隔壁の形成方法

Info

Publication number: JPH11167873A
Application number: JP33324097A
Authority: JP
Inventors: Motoyasu Nakanishi; 幹育中西
Original assignee: Suzuki Sogyo Co Ltd
Current assignee: Suzuki Sogyo Co Ltd
Priority date: 1997-12-03
Filing date: 1997-12-03
Publication date: 1999-06-22
Anticipated expiration: 2017-12-03
Also published as: JP3954179B2

Abstract

(57)【要約】【課題】簡便な方法で寸法精度の高い隔壁を形成し得
て、特にプラズマディスプレイパネル用基板用の隔壁と
して好適であり、ファインパターン化、大画面化に十分
対応できる微細隔壁の形成方法を提供すること。【解決手段】ガラス基板上に、絶縁処理されたまたは
絶縁処理されてない金属線を一定方向に所定間隔をおい
て複数本配置し、必要に応じて接着し、それに隔壁材料
を塗布し、次いで該隔壁材料を硬化さて微細隔壁を形成
する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルを初めとする各種のディスプレイパネルのガ
ラス基板に設けられる微細隔壁の形成方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】壁掛けテレビ等への応用もなされている
プラズマディスプレイパネルの基本的構造は、例えば、
図８に概略を示すとおりである。すなわち、前面パネル
Ａと背面パネルＢとを、両パネルにそれぞれ設けられた
ストライプ状電極Ａ１、Ｂ１が互いに直角に対向するよ
うに重ね合わせ、その交点におけるストライプ状または
格子状の隔壁Ｃ内で放電を起こすことにより、発光させ
るものである。

【０００３】この隔壁Ｃは、光のクロストークを防ぐと
ともに、画面のコントラストを作るために設けられてい
るものであり、非常に微細なものである。例えば、スト
ライプ状の隔壁Ｃにあっては、幅約３０μｍ程度、高さ
約２００μｍ程度で、約１００μｍ程度の間隔でパネル
全面にわたって形成されることが要求されている。そし
て、このような微細寸法の隔壁Ｃの内部には、蛍光体が
塗布され、Ｎｅ、Ｘｅ等の不活性ガスが封入されてい
る。よって、複雑でかつ鮮明な画像を得るという観点か
ら当然に要求されるファインパターン化とともに、蛍光
体の塗布量を一定にし、また、前面パネルＡと隔壁Ｃの
形成されている背面パネルＢとが密着して不活性ガスの
漏出を防止する観点から、隔壁Ｃの寸法精度が高いこと
が要求される。

【０００４】従来、このような隔壁を形成する方法とし
ては、スクリーン印刷法やサンドブラスト法が採用され
ている。スクリーン印刷法は、ガラス基板上に、ガラス
ペースト等の隔壁材料を印刷し、乾燥する操作を、毎回
スクリーンの位置合わせをして１０回程度繰り返すもの
で、いわゆる重ね刷りにより隔壁を形成する方法であ
る。また、サンドブラスト法は、ガラスペースト等の隔
壁材料をガラス基板の全面に塗布したのち、フォトレジ
ストで被覆し、該フォトレジスト被覆膜を露光、現像
し、その後、レジストパターンで被覆されてない部分を
サンドブラストして、隔壁を形成する方法である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスクリー
ン印刷法による隔壁の形成方法においては、毎回のスク
リーンの位置合わせと、スクリーンの歪みとが、ファイ
ンパターン化、大画面化を困難にしている。また、従来
のサンドブラスト法による隔壁の形成方法においては、
ブラスト深さが不均一になり易いことが、ファインパタ
ーン化、大画面化を困難にしている。さらに、上記のい
ずれの方法においても、隔壁の寸法精度を高めようとす
れば長時間を要するため、それが製造コストを上昇させ
る要因となっている。

【０００６】したがって、本発明の目的は、簡便な方法
で寸法精度の高い隔壁を形成し得て、特にプラズマディ
スプレイパネル用基板用の隔壁として好適であり、ファ
インパターン化、大画面化に十分対応できる微細隔壁の
形成方法を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記目的
を達成すべく鋭意研究した結果、絶縁処理されたまたは
絶縁処理されてない金属線を微細隔壁の芯材として用
い、該金属線を隔壁材料で被覆することにより上記目的
を達成し得ることを見出だした。また、金属線の隔壁材
料による被覆の形態が、（イ）金属線をガラス基板上に
単に配置し、該金属線と、該金属線の配置されてない部
分のガラス基板表面とを隔壁材料で一括被覆する形態で
あっても、（ロ）金属線をガラス基板上に配置するとと
もに、金属線をガラス基板上に接着させ、それを上記の
ように隔壁材料で一括被覆する形態であっても、（ハ）
金属線をガラス基板上に配置、接着させ、金属線のみを
隔壁材料で被覆する形態であっても、（ニ）用いられる
金属線が絶縁処理されたものである場合は、ガラス基板
上に配置、接着させ、該金属線の上面のみを隔壁材料で
被覆する形態であっても、（ホ）用いられる金属線が絶
縁処理されていないものである場合は、ガラス基板上に
配置、接着させ、該金属線の上面のみに被覆した隔壁材
料が側面に垂れて被覆する形態であっても、上記目的を
達成し得ることを見出だした。本発明は、これらの知見
に基づき完成されたものである。

【０００８】すなわち、本発明は、請求項１としては、
ガラス基板上に、絶縁処理されたまたは絶縁処理されて
ない金属線を一定方向に所定間隔をおいて複数本配置
し、該金属線をガラス基板上に接着させまたは接着させ
ることなく、その上に隔壁材料を塗布し、次いで、該隔
壁材料を硬化させることを特徴とする微細隔壁の形成方
法を提供する。また、請求項２としては、ガラス基板上
に、絶縁処理されたまたは絶縁処理されていない金属線
を一定方向に所定間隔をおいて複数本配置し、該金属線
をガラス基板上に接着させ、該金属線の上面に隔壁材料
を塗布し、次いで該隔壁材料を硬化させることを特徴と
する微細隔壁の形成方法を提供する。

【０００９】本発明によれば、上記のとおり、ガラス基
板上に金属線を配置し、必要に応じて金属線をガラス基
板上に接着させ、その全面あるいは金属線部分に隔壁材
料を塗布し、該隔壁材料を硬化させるという簡便な方法
によって、ファインパターン化、大画面化に十分対応で
きるよう、高い寸法精度で微細隔壁を容易に形成するこ
とができる。また、本発明によれば、上記のとおり、ガ
ラス基板上に金属線を配置し、必要に応じて金属線をガ
ラス基板上に接着させ、その金属線の上面部分に隔壁材
料を塗布し、該隔壁材料を硬化させるという簡便な方法
によって、ファインパターン化、大画面化に十分対応で
きるよう、高い寸法精度で微細隔壁を容易に形成するこ
とができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の実施に当たっては、ま
ず、ガラス基板上に金属線を一定方向に所定間隔をおい
て複数本配置させる。ガラス基板上に配置させる金属線
は、微細隔壁形成のための芯材として用いられるもので
あって、絶縁処理された金属線であっても、絶縁処理さ
れてない金属表面が露出した金属線であっても良い。こ
れらの金属線を構成する金属としては、寸法精度が良
く、変形しにくいものであれば特に制限されるものでは
ないが、その例として、銅、鉄、アルミニュウム等が挙
げられる。絶縁処理された金属線の絶縁処理の例として
は、アルマイト処理、絶縁メッキ等が挙げられる。

【００１１】本発明においては、形成される微細隔壁の
幅方向の断面形状およびその大きさは、基本的に、芯材
として用いた金属線の幅方向の断面形状およびその大き
さに依存する。したがって、当該金属線の断面形状およ
びその大きさは、形成すべき微細隔壁の所望の断面形状
およびその大きさに応じて適宜選択される。一般に、金
属線の断面形状は、正方形または長方形が好ましい。ま
た、金属線の断面の大きさは、所望の微細隔壁の断面の
大きさと、塗布された隔壁材料の硬化後の被覆層の厚さ
とを考慮して、適宜選択される。さらにまた、この金属
線の長さは、その配置方向におけるガラス基板の長さに
応じて適宜選択される。

【００１２】ガラス基板上に金属線を配置させる方法
は、特に制限されるものではないが、一般に、図６およ
び図７に示すような方法が好ましく適用される。すなわ
ち、図６において、１はガラス基板であり、３は断面が
長方形の金属線であり、１１および１２は平板状の固定
治具であり、１３および１４は固定治具１１および１２
のそれぞれの下方部に、形成すべき微細隔壁の間隔に応
じて等間隔に設けられた金属線固定手段である。図６に
示すような方法においては、複数本の金属線３を、固定
治具１１および１２間に掛け渡し、金属線固定手段１３
および１４にて固定する。かく固定された複数本の金属
線３をガラス基板１の上に密着させて置くことにより、
複数本の金属線３がガラス基板１の上に配置される。こ
の際、図７に示すように固定治具１１および１２を配置
することにより、複数本の金属線３をガラス基板１に圧
着されるようにすることもできる。

【００１３】また、ガラス基板上への金属線の接着は、
一般に、金属線をガラス基板上に配置させるに際し、接
着剤を用いて行われる。すなわち、例えば、上記図６に
示す方法により複数本の金属線３をガラス基板１の上に
配置するに際し、複数本の金属線３を、固定治具１１お
よび１２間に掛け渡し、金属線固定手段１３および１４
にて固定し、かく固定された複数本の金属線３の下面に
接着剤を塗布した後、それをガラス基板１の上に密着さ
せて置くことにより、複数本の金属線３をガラス基板１
の上に接着させることができる。この接着に用いる接着
剤の例として、ガラス質接着剤等の無機系接着剤等が挙
げられる。また、必要に応じて、後記する微細隔壁の形
成に用いられる隔壁材料も接着剤として用いることがで
きる。

【００１４】本発明の実施においては、次いで、上記の
ように金属線が配置され、必要に応じて接着されたガラ
ス基板に隔壁材料を塗布する。この隔壁材料の塗布は、
第一の発明にしたがって、金属線がガラス基板に接着さ
れているか否かにかかわらず、金属線と、該金属線の配
置されてない部分のガラス基板表面とに隔壁材料を一括
塗布しても良い。金属線がガラス基板上に接着され、か
つ用いられた金属線が絶縁処理されたものである場合
は、第二の発明にしたがって、金属線の上面のみに隔壁
材料を塗布しても良い。

【００１５】塗布する隔壁材料としては、ケイ素含有ポ
リマー形成組成物、無機系バインダーあるいはガラスペ
ースト等の隔壁材料を用いることができる。この隔壁材
料には、ディスプレイパネルのコントラストを得る上で
有利になるように、必要に応じて黒色等の暗色系の着色
剤を配合することができる。

【００１６】上記ケイ素含有ポリマー形成組成物の例と
しては、常温または加熱下において架橋反応が進行して
硬化し、セラミック様のケイ素含有ポリマーの膜を形成
するものが用いられ、その例として、オルガノポリシロ
キサンを主剤とし、それに架橋剤および硬化触媒の配合
された有機系のもの等が挙げられ、その具体例としてヒ
ートレスガラス（ＨＥＡＴＬＥＳＳＧＬＡＳＳ）−６
００シリーズ（商品名；ホーマーテクノロジー（株）販
売）等が挙げられる。また、他のケイ素含有ポリマー形
成組成物の例として、ペルヒドロポリシラザンのような
熱硬化性の無機シラザンを成分とする無機系のもの等が
挙げられ、その具体例として東燃ポリシラザン（商標
名；東燃（株）販売）等が挙げられる。さらにまた、無
機系バインダーの例としては、セラミックス粉末、アル
ミナセメントのようなセメント、水ガラス類等を含有す
るもの等が挙げられ、その具体例としてレッドプルーフ
のＭＲ−１００シリーズ（商品名；（株）熱研販売）等
が挙げられる。

【００１７】隔壁材料の塗布方法としては、キャスティ
ング法、刷毛塗り法、スプレーコート法、ディピング法
等を適用することができる。また、隔壁材料の塗布に際
し、隔壁材料の塗膜の厚さは、一般に、該隔壁材料を硬
化させた後の被覆層の厚さが十数〜数μｍ程度となるよ
うにすることが適当である。

【００１８】本発明の実施においては、上記のように隔
壁材料を塗布した後、該隔壁材料を硬化させる。かくし
て、目的とする微細隔壁が形成される。この隔壁材料の
硬化は、用いた隔壁材料の種類に応じて硬化条件を適宜
選択して、常温あるいは加熱下に行うことができる。

【００１９】以下、図１〜図５により、本発明によって
微細隔壁の形成されたガラス基板の例（ａ）〜（ｅ）を
説明する。図１は、第一の発明にしたがって絶縁処理さ
れてない長方形の金属線を配置し、隔壁材料で一括被覆
して微細隔壁を形成した場合の例（ａ）の幅方向の断面
図であり、図２は、第一の発明にしたがって絶縁処理さ
れた長方形の金属線を配置し、隔壁材料で一括被覆して
微細隔壁を形成した場合の例（ｂ）の幅方向の断面図で
あり、図３は、第一の発明にしたがって絶縁処理されて
ない長方形の金属線を、ガラス基板上に配置、接着さ
せ、隔壁材料で一括被覆して微細隔壁を形成した場合の
例（ｃ）の幅方向の断面図である。図４は、第二の発明
にしたがって絶縁処理された長方形の金属線を、ガラス
基板上に配置、接着させ、隔壁材料で金属線の上面のみ
被覆して微細隔壁を形成した場合の例（ｄ）の幅方向の
断面図であり、図５は、第二の発明にしたがって絶縁処
理されてない長方形の金属線を、ガラス基板上に配置、
接着させ、隔壁材料で金属線の上面を被覆して上面から
金属線の両側面に垂れるようにして微細隔壁を形成した
場合の例（ｅ）の幅方向の断面図である。図１〜図５に
おいて、１はガラス基板、２はガラス基板１の上に形成
された微細隔壁、３は断面が長方形の金属線、４は隔壁
材料の硬化後の被覆層、５は絶縁層、６は接着剤層、７
は金属線の上面から両側へ垂れて形成された硬化後の被
覆層である。

【００２０】

【実施例】実施例１幅方向の断面が縦約２００μｍ、横約６０μｍの縦長な
長方形である絶縁処理されてない銅線を用い、該銅線を
図６に示す平板状の固定治具に、銅線間隔約１６０μｍ
にて掛け渡して固定し、このように固定した銅線をガラ
ス基板上に密着させて置くことにより、ガラス基板上に
配置した。次いで、その上に、すなわち銅線と、銅線の
配置されてない部分のガラス基板表面とに、隔壁材料と
してホーマーテクノロジー（株）販売の商品名；ヒート
レスガラス（ＧＳー６００ー１）を刷毛塗り法により塗
布し、上記隔壁材料を約１３０°Ｃ、２０〜３０分で加
熱硬化させ、ガラス基板上に微細隔壁を形成した。形成
された微細隔壁は、図１に示すような構造の幅方向の断
面を有しており、硬化後の上記隔壁材料の被覆層の厚さ
は約８μｍであった。

【００２１】実施例２実施例１において、絶縁処理されてない銅線に代えてア
ルマイト絶縁処理されたアルミニュウム線を用いたこと
以外は、実施例１と同様に操作してガラス基板上に微細
隔壁を形成した。形成された微細隔壁は、図２に示すよ
うな構造の幅方向の断面を有しており、硬化後の隔壁材
料としての商品名；ヒートレスガラス（ＧＳー６００ー
１）の被覆層の厚さは約８μｍであった。

【００２２】実施例３実施例１において、図６に示す平板状の固定治具を用い
て銅線をガラス基板上に配置する際に、銅線の下面にガ
ラス質接着剤を塗布した後、ガラス基板上に配置したこ
と以外は、実施例１と同様に操作してガラス基板上に微
細隔壁を形成した。形成された微細隔壁は、図３に示す
ような構造の幅方向の断面を有しており、硬化後の隔壁
材料としての商品名；ヒートレスガラス（ＧＳー６００
ー１）の被覆層の厚さは約８μｍであった。

【００２３】実施例４実施例２のアルミニュウム線を用いて同様な線間隔に固
定し、このように固定したアルミニュウム線の下面にガ
ラス質接着剤を塗布して接着した。次いで、ガラス基板
上に接着されたアルミニュウム線の上面のみに隔壁材料
として商品名；ヒートレスガラス（ＧＳー６００ー１）
をスクリーン印刷手法により塗布し、上記隔壁材料を約
１３０度Ｃ，２０〜３０分で加熱硬化させ、ガラス基板
上に微細隔壁を形成した。形成された微細隔壁は、図４
に示すような構造の幅方向の断面を有しており、硬化後
の隔壁材料としての商品名；ヒートレスガラス（ＧＳー
６００ー１）の被覆層の厚さは約８μｍであった。

【００２４】実施例５実施例１の銅線を用い、実施例３のように銅線の下面に
ガラス質接着剤を塗布して接着固定した。次いで、ガラ
ス基板上に接着された銅線の上面のみに隔壁材料として
商品名；ヒートレスガラス（ＧＳー６００ー１）をスク
リーン印刷手法により塗布し、上面から両側面へ上記隔
壁材料を垂れさせて両側面を被覆し、その後に上記隔壁
材料を約１３０度Ｃ，２０〜３０分で加熱硬化させ、ガ
ラス基板上に微細隔壁を形成した。形成された微細隔壁
は、図５に示すような構造の幅方向の断面を有してお
り、硬化後の隔壁材料としての商品名；ヒートレスガラ
ス（ＧＳー６００ー１）の被覆層の厚さ約８μｍであっ
た。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、ガラス基板上に金属線
を配置し、必要に応じて金属線をガラス基板上に接着さ
せ、その全面あるいは金属線部分に隔壁材料を塗布し、
該隔壁材料を硬化させるという簡便な方法により、ファ
インパターン化、大画面化に十分対応できるよう、高い
寸法精度で微細隔壁を容易に形成することができる。ま
た、本発明に従って形成される微細隔壁においては、隔
壁材料は芯材の金属線を被覆する極薄い膜として用いら
れるのであるから、隔壁材料の硬化に際して起こる、退
けの問題、気泡やクラックの発生問題も抑制される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って形成された微細隔壁を有するガ
ラス基板の例（ａ）を示す幅方向断面概略図である。

【図２】本発明に従って形成された微細隔壁を有するガ
ラス基板の例（ｂ）を示す幅方向断面概略図である。

【図３】本発明に従って形成された微細隔壁を有するガ
ラス基板の例（ｃ）を示す幅方向断面概略図である。

【図４】本発明に従って形成された微細隔壁を有するガ
ラス基板の例（ｄ）を示す幅方向断面概略図である。

【図５】本発明に従って形成された微細隔壁を有するガ
ラス基板の例（ｅ）を示す幅方向断面概略図である。

【図６】本発明に従って微細隔壁を形成する際の、ガラ
ス基板上に金属線を配置させる方法の一例の概略を示す
斜視図である。

【図７】本発明に従って微細隔壁を形成する際の、ガラ
ス基板上に金属線を配置させる方法の他の一例の概略を
示す正面図である。

【図８】プラズマディスプレイパネルの構造例の概略を
示す斜視図である。

【符号の説明】

１ガラス基板２ガラス基板１の上に形成された微細隔壁３断面が長方形の金属線４、７隔壁材料の硬化後の被覆層５絶縁層６接着剤層１１平板状の固定治具１２平板状の固定治具１３金属線固定手段１４金属線固定手段Ａ前面パネルＡ１ストライプ状電極Ｂ背面パネルＢ１ストライプ状電極Ｃ隔壁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ガラス基板上に、絶縁処理されたまたは
絶縁処理されてない金属線を一定方向に所定間隔をおい
て複数本配置し、該金属線をガラス基板上に接着させま
たは接着させることなく、その上に隔壁材料を塗布し、
次いで該隔壁材料を硬化させることを特徴とする微細隔
壁の形成方法。
【請求項２】ガラス基板上に、絶縁処理されたまたは
絶縁処理されていない金属線を一定方向に所定間隔をお
いて複数本配置し、該金属線をガラス基板上に接着さ
せ、該金属線の上面に隔壁材料を塗布し、次いで該隔壁
材料を硬化させることを特徴とする微細隔壁の形成方
法。
【請求項３】金属線の幅方向の断面形状が正方形また
は長方形である請求項１または２記載の微細隔壁の形成
方法。
【請求項４】隔壁材料が、ケイ素含有ポリマー形成組
成物、無機系バインダーおよびガラスペーストから選択
された請求項１、２または３記載の微細隔壁の形成方
法。
【請求項５】微細隔壁がプラズマディスプレイパネル
用基板用のものである請求項１、２、３または４記載の
微細隔壁の形成方法。