JPH1114638A - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
走査型プローブ顕微鏡Info
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- JPH1114638A JPH1114638A JP9171735A JP17173597A JPH1114638A JP H1114638 A JPH1114638 A JP H1114638A JP 9171735 A JP9171735 A JP 9171735A JP 17173597 A JP17173597 A JP 17173597A JP H1114638 A JPH1114638 A JP H1114638A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q10/00—Scanning or positioning arrangements, i.e. arrangements for actively controlling the movement or position of the probe
- G01Q10/04—Fine scanning or positioning
- G01Q10/06—Circuits or algorithms therefor
- G01Q10/065—Feedback mechanisms, i.e. wherein the signal for driving the probe is modified by a signal coming from the probe itself
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/04—Display or data processing devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料表面の凹凸像を正確に表現できるように
する。 【解決手段】 探針２と試料３との距離を検出し該距離
が一定になるように圧電素子を用いた駆動手段１にフィ
ードバックして前記探針２又は試料３のＺ方向の制御を
行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料３の凹凸像
の観察を行う走査型プローブ顕微鏡において、前記Ｚ方
向の制御信号からなる凹凸信号に前記探針２と試料３と
の距離の検出信号を加算する演算手段１２、１３と、該
演算手段１２、１３により加算した信号により画像化す
る画像化手段１４とを備え、前記距離の検出信号を加え
た試料３の凹凸像の観察を行う。
する。 【解決手段】 探針２と試料３との距離を検出し該距離
が一定になるように圧電素子を用いた駆動手段１にフィ
ードバックして前記探針２又は試料３のＺ方向の制御を
行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料３の凹凸像
の観察を行う走査型プローブ顕微鏡において、前記Ｚ方
向の制御信号からなる凹凸信号に前記探針２と試料３と
の距離の検出信号を加算する演算手段１２、１３と、該
演算手段１２、１３により加算した信号により画像化す
る画像化手段１４とを備え、前記距離の検出信号を加え
た試料３の凹凸像の観察を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、探針と試料との距
離を検出し該距離が一定になるように圧電素子を用いた
駆動手段にフィードバックして前記探針又は試料のＺ方
向の制御を行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料
の凹凸像の観察を行う走査型プローブ顕微鏡に関する。
離を検出し該距離が一定になるように圧電素子を用いた
駆動手段にフィードバックして前記探針又は試料のＺ方
向の制御を行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料
の凹凸像の観察を行う走査型プローブ顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】走査型プローブ顕微鏡には、大きく分け
て走査型トンネル顕微鏡（ScanningTunneling Microsco
peＳＴＭ）と原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscop
e ＡＦＭ）の２種類がある。
て走査型トンネル顕微鏡（ScanningTunneling Microsco
peＳＴＭ）と原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscop
e ＡＦＭ）の２種類がある。
【０００３】走査型トンネル顕微鏡ＳＴＭは、先端を数
ｎｍ程度に尖らせた金属の探針を試料に１ｎｍ以下程度
に近づけて、この探針と試料との間に数Ｖ程度のバイア
ス電圧を加えると、探針と試料との間にトンネル効果に
よるトンネル電流が流れるこことから、このトンネル電
流値や探針と試料との距離の制御に基づき試料表面の観
察を行うものである。ここで、トンネル電流は、探針と
試料との距離に敏感で、距離に対して指数関数的に変化
する。そこで、圧電素子を用いた駆動手段によりこのト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料をＺ方向に
制御して試料と探針の距離を保ちながらＸＹ方向に走査
し、このときのＺ方向の圧電素子の動きを測定すること
によって試料表面の凹凸像の観察を行うのが走査型トン
ネル顕微鏡ＳＴＭである。
ｎｍ程度に尖らせた金属の探針を試料に１ｎｍ以下程度
に近づけて、この探針と試料との間に数Ｖ程度のバイア
ス電圧を加えると、探針と試料との間にトンネル効果に
よるトンネル電流が流れるこことから、このトンネル電
流値や探針と試料との距離の制御に基づき試料表面の観
察を行うものである。ここで、トンネル電流は、探針と
試料との距離に敏感で、距離に対して指数関数的に変化
する。そこで、圧電素子を用いた駆動手段によりこのト
ンネル電流が一定になるように探針又は試料をＺ方向に
制御して試料と探針の距離を保ちながらＸＹ方向に走査
し、このときのＺ方向の圧電素子の動きを測定すること
によって試料表面の凹凸像の観察を行うのが走査型トン
ネル顕微鏡ＳＴＭである。
【０００４】一方、原子間力顕微鏡ＡＦＭは、かたもち
ばりの端に取り付けた探針を試料表面に近づけていく
と、試料と探針との間に原子間力が働くことから、この
原子間力や探針と試料との距離の制御に基づき試料表面
の観察を行うものである。ここで、原子間力は、試料と
探針が離れている間は引力が働き、近づいてくると斥力
が働くので、この原子間力によってかたもちばりがたわ
む。そこで、レーザーを用いた光てこ方式などでこのか
たもちばりのたわみを検出して、走査型トンネル顕微鏡
と同じように原子間力が一定となるように走査を行い、
試料の凹凸像の観察を行うのが原子間力顕微鏡ＡＦＭで
ある。
ばりの端に取り付けた探針を試料表面に近づけていく
と、試料と探針との間に原子間力が働くことから、この
原子間力や探針と試料との距離の制御に基づき試料表面
の観察を行うものである。ここで、原子間力は、試料と
探針が離れている間は引力が働き、近づいてくると斥力
が働くので、この原子間力によってかたもちばりがたわ
む。そこで、レーザーを用いた光てこ方式などでこのか
たもちばりのたわみを検出して、走査型トンネル顕微鏡
と同じように原子間力が一定となるように走査を行い、
試料の凹凸像の観察を行うのが原子間力顕微鏡ＡＦＭで
ある。
【０００５】これら走査型プローブ顕微鏡には、探針と
試料との距離が一定になるように探針又は試料のＺ方向
の制御にフィードバックを行いながら、そのフィードバ
ックの量により試料の凹凸を測定するモード（一般にTo
pography mode と呼ばれる)があるが、フィードバック
を行わずに探針と試料との距離の検出信号により試料の
凹凸を測定するモード、つまり、走査型トンネル顕微鏡
では、探針と試料間に流れる電流の強弱、原子間力顕微
鏡では、探針と試料間に働く力を画像化する方法も採用
されている。前者は電流像、後者はフォース像と呼ばれ
ている。実際には、完全にフィードバックを切った状態
で走査を行うと、試料と探針がぶつかってしまうことが
あるので、フィードバック回路の応答周波数を非常に遅
くして走査することが一般に行われている。
試料との距離が一定になるように探針又は試料のＺ方向
の制御にフィードバックを行いながら、そのフィードバ
ックの量により試料の凹凸を測定するモード（一般にTo
pography mode と呼ばれる)があるが、フィードバック
を行わずに探針と試料との距離の検出信号により試料の
凹凸を測定するモード、つまり、走査型トンネル顕微鏡
では、探針と試料間に流れる電流の強弱、原子間力顕微
鏡では、探針と試料間に働く力を画像化する方法も採用
されている。前者は電流像、後者はフォース像と呼ばれ
ている。実際には、完全にフィードバックを切った状態
で走査を行うと、試料と探針がぶつかってしまうことが
あるので、フィードバック回路の応答周波数を非常に遅
くして走査することが一般に行われている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】図４は走査型プローブ
顕微鏡の従来の課題を説明するための図である。上記の
ようにフィードバックを行う測定モード（Topography m
ode)では、その凹凸像で正確に表面の凹凸が測定できる
かというと、実際にはフィードバックの応答速度を速く
するように設定を行った場合、発振し易くなるため、あ
る程度応答速度を落とさなければならない。しかし、応
答速度を落とすことにより、例えば図４（Ａ）に示すよ
うな試料の微小な凹凸に対して、走査型トンネル顕微鏡
では、凹凸のエッジでトンネル電流が一定にならずに図
４（Ｃ）に示すように変化し、探針の動きが図４（Ｂ）
の点線に示すように表面の凹凸に正確に追従させること
ができない。したがって、このような凹凸像では、高精
度での試料表面の凹凸の測定ができないのが実状であ
る。
顕微鏡の従来の課題を説明するための図である。上記の
ようにフィードバックを行う測定モード（Topography m
ode)では、その凹凸像で正確に表面の凹凸が測定できる
かというと、実際にはフィードバックの応答速度を速く
するように設定を行った場合、発振し易くなるため、あ
る程度応答速度を落とさなければならない。しかし、応
答速度を落とすことにより、例えば図４（Ａ）に示すよ
うな試料の微小な凹凸に対して、走査型トンネル顕微鏡
では、凹凸のエッジでトンネル電流が一定にならずに図
４（Ｃ）に示すように変化し、探針の動きが図４（Ｂ）
の点線に示すように表面の凹凸に正確に追従させること
ができない。したがって、このような凹凸像では、高精
度での試料表面の凹凸の測定ができないのが実状であ
る。
【０００７】また、電流像、フォース像と呼ばれるもの
は、表面の凹凸像を正確に表現できるが、上記のように
実際にはゆっくりとしたフィードバックをかけながら走
査を行うために、試料表面の大きなうねりや段差に対し
フィードバックが働いてしまい測定ができなくなる。
は、表面の凹凸像を正確に表現できるが、上記のように
実際にはゆっくりとしたフィードバックをかけながら走
査を行うために、試料表面の大きなうねりや段差に対し
フィードバックが働いてしまい測定ができなくなる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するものであって、試料表面の凹凸像を正確に表現で
きるようにするものである。
決するものであって、試料表面の凹凸像を正確に表現で
きるようにするものである。
【０００９】そのために本発明は、探針と試料との距離
を検出し該距離が一定になるように圧電素子を用いた駆
動手段にフィードバックして前記探針又は試料のＺ方向
の制御を行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料の
凹凸像の観察を行う走査型プローブ顕微鏡において、前
記Ｚ方向の制御信号からなる凹凸信号に前記探針と試料
との距離の検出信号を加算する演算手段と、該演算手段
により加算した信号により画像化する画像化手段とを備
え、前記距離の検出信号を加えた試料の凹凸像の観察を
行うようにしたことを特徴とし、前記演算手段は、加算
比率を変更可能にしたことを特徴とするものである。
を検出し該距離が一定になるように圧電素子を用いた駆
動手段にフィードバックして前記探針又は試料のＺ方向
の制御を行うと共にＸＹ方向に走査を行い、前記試料の
凹凸像の観察を行う走査型プローブ顕微鏡において、前
記Ｚ方向の制御信号からなる凹凸信号に前記探針と試料
との距離の検出信号を加算する演算手段と、該演算手段
により加算した信号により画像化する画像化手段とを備
え、前記距離の検出信号を加えた試料の凹凸像の観察を
行うようにしたことを特徴とし、前記演算手段は、加算
比率を変更可能にしたことを特徴とするものである。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る走査型プロ
ーブ顕微鏡の実施の形態を示す図、図２は本発明に係る
走査型プローブ顕微鏡の動作を説明するための図であ
る。図中、１はスキャナー、２は探針、３は試料、４は
バイアス電源、５は高圧アンプ、６は走査波形発生器、
７はプリアンプ、８は対数アンプ、９はエラーアンプ、
１０はフィードバック回路、１１はトンネル電流設定回
路、１２は１／２演算回路、１３は加算回路、１４はＡ
／Ｄ変換器を示す。
を参照しつつ説明する。図１は本発明に係る走査型プロ
ーブ顕微鏡の実施の形態を示す図、図２は本発明に係る
走査型プローブ顕微鏡の動作を説明するための図であ
る。図中、１はスキャナー、２は探針、３は試料、４は
バイアス電源、５は高圧アンプ、６は走査波形発生器、
７はプリアンプ、８は対数アンプ、９はエラーアンプ、
１０はフィードバック回路、１１はトンネル電流設定回
路、１２は１／２演算回路、１３は加算回路、１４はＡ
／Ｄ変換器を示す。
【００１１】走査型プローブ顕微鏡として、走査型トン
ネル顕微鏡に本発明を適用した場合について図１により
説明する。図１において、スキャナー１は、探針２を試
料３の表面に沿ってＸＹ方向に走査する圧電素子と、探
針２と試料３との距離、つまりＺ方向を制御する圧電素
子からなる。高圧アンプ５は、ＸＹＺの３方向の圧電素
子を有するスキャナー１を駆動するものであり、走査波
形発生器６は、ＸＹ方向に走査するため高圧アンプ５に
供給する信号波形を発生するものである。バイアス電源
４は、探針２と試料３との間に所定のバイアス電圧を印
加するものである。プリアンプ７は、探針２と試料３と
の間に流れるトンネル電流を検出して電流−電圧変換を
行い、対数アンプ８は、そのプリアンプ７の出力電圧よ
りトンネル電流の対数値をとるものであり、プリアンプ
７と対数アンプ８により、トンネル電流の対数値の出力
回路を構成している。この対数アンプ８の出力として得
られるトンネル電流の対数値を画像化したものが、一般
に電流像と呼ばれるものである。
ネル顕微鏡に本発明を適用した場合について図１により
説明する。図１において、スキャナー１は、探針２を試
料３の表面に沿ってＸＹ方向に走査する圧電素子と、探
針２と試料３との距離、つまりＺ方向を制御する圧電素
子からなる。高圧アンプ５は、ＸＹＺの３方向の圧電素
子を有するスキャナー１を駆動するものであり、走査波
形発生器６は、ＸＹ方向に走査するため高圧アンプ５に
供給する信号波形を発生するものである。バイアス電源
４は、探針２と試料３との間に所定のバイアス電圧を印
加するものである。プリアンプ７は、探針２と試料３と
の間に流れるトンネル電流を検出して電流−電圧変換を
行い、対数アンプ８は、そのプリアンプ７の出力電圧よ
りトンネル電流の対数値をとるものであり、プリアンプ
７と対数アンプ８により、トンネル電流の対数値の出力
回路を構成している。この対数アンプ８の出力として得
られるトンネル電流の対数値を画像化したものが、一般
に電流像と呼ばれるものである。
【００１２】トンネル電流設定回路１１は、トンネル電
流が一定になるように誤差信号をフィードバックするた
め、プリアンプ７で検出されるトンネル電流と比較する
基準のトンネル電流を予め設定するものである。エラー
アンプ９は、対数アンプ８により対数値を取ったトンネ
ル電流値と、トンネル電流設定回路１１により予め設定
した基準のトンネル電流値との差を出力するものであ
り、このエラーアンプ９の出力によりフィードバック回
路１０がＺ方向の駆動電圧を高圧アンプ５に供給してス
キャナ１のＺ方向を制御し、探針２と試料３との間の距
離を一定になるように制御する。このフィードバック回
路１０から出力されるＺ方向の駆動電圧を画像化したも
のが、一般に凹凸像と呼ばれている。
流が一定になるように誤差信号をフィードバックするた
め、プリアンプ７で検出されるトンネル電流と比較する
基準のトンネル電流を予め設定するものである。エラー
アンプ９は、対数アンプ８により対数値を取ったトンネ
ル電流値と、トンネル電流設定回路１１により予め設定
した基準のトンネル電流値との差を出力するものであ
り、このエラーアンプ９の出力によりフィードバック回
路１０がＺ方向の駆動電圧を高圧アンプ５に供給してス
キャナ１のＺ方向を制御し、探針２と試料３との間の距
離を一定になるように制御する。このフィードバック回
路１０から出力されるＺ方向の駆動電圧を画像化したも
のが、一般に凹凸像と呼ばれている。
【００１３】本発明に係る走査型トンネル顕微鏡ＳＴＭ
では、２つの１／２演算回路１１と加算回路１２とを有
し、２つの１／２演算回路１１により、対数アンプ８を
通して出力されるトンネル電流値と、フィードバック回
路１０を通して出力される凹凸信号のそれぞれの１／２
の値を計算し、この１／２演算回路１１による２つの演
算出力信号を加算回路１２により加算する。そして、こ
の加算出力をＡ／Ｄ変換器１４を通して画像化すること
により、試料３の凹凸像の観察を行うようにしている。
つまり、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡は、従来の
凹凸像とトンネル電流像とを合わせた加算像を観察する
ものである。
では、２つの１／２演算回路１１と加算回路１２とを有
し、２つの１／２演算回路１１により、対数アンプ８を
通して出力されるトンネル電流値と、フィードバック回
路１０を通して出力される凹凸信号のそれぞれの１／２
の値を計算し、この１／２演算回路１１による２つの演
算出力信号を加算回路１２により加算する。そして、こ
の加算出力をＡ／Ｄ変換器１４を通して画像化すること
により、試料３の凹凸像の観察を行うようにしている。
つまり、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡は、従来の
凹凸像とトンネル電流像とを合わせた加算像を観察する
ものである。
【００１４】次に、動作を説明する。いま、走査型トン
ネル顕微鏡において、図２（Ａ）に示すような試料の微
小な凹凸面に沿って走査を行った場合、探針のＺ方向の
動きは、図２（Ａ）の点線に示すようになり、トンネル
電流値の変化は、図２（Ｂ）に示すようになる。ここ
で、トンネル電流の検出信号（距離の検出信号）が対数
アンプ８を通して出力され、探針のＺ方向の動きに対応
する凹凸信号が対数アンプ８の後段のエラーアンプ９、
フィードバック回路１０を通して出力される。したがっ
て、これらの出力をそれぞれ１／２演算回路１１により
１／２の値に演算してから加算回路１２により加算する
ことにより、図２（Ｃ）に示すような凹凸信号による従
来の凹凸像とトンネル電流像の加算像が得られる。
ネル顕微鏡において、図２（Ａ）に示すような試料の微
小な凹凸面に沿って走査を行った場合、探針のＺ方向の
動きは、図２（Ａ）の点線に示すようになり、トンネル
電流値の変化は、図２（Ｂ）に示すようになる。ここ
で、トンネル電流の検出信号（距離の検出信号）が対数
アンプ８を通して出力され、探針のＺ方向の動きに対応
する凹凸信号が対数アンプ８の後段のエラーアンプ９、
フィードバック回路１０を通して出力される。したがっ
て、これらの出力をそれぞれ１／２演算回路１１により
１／２の値に演算してから加算回路１２により加算する
ことにより、図２（Ｃ）に示すような凹凸信号による従
来の凹凸像とトンネル電流像の加算像が得られる。
【００１５】図３は本発明に係る走査型プローブ顕微鏡
の他の実施の形態を示す図であり、図３（Ａ）に示すよ
うに１／２演算回路１１と加算回路１２を用い、それぞ
れ１／２の値に演算して加算した合成像を得るものに対
して、図３（Ｂ）に示すように凹凸像とトンネル電流像
とを加算して取り出すポイントを可変にすることによ
り、これらの加算比率を任意に変更できるようにしても
よい。
の他の実施の形態を示す図であり、図３（Ａ）に示すよ
うに１／２演算回路１１と加算回路１２を用い、それぞ
れ１／２の値に演算して加算した合成像を得るものに対
して、図３（Ｂ）に示すように凹凸像とトンネル電流像
とを加算して取り出すポイントを可変にすることによ
り、これらの加算比率を任意に変更できるようにしても
よい。
【００１６】なお、本発明は、上記実施の形態に限定さ
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、走査型プローブ顕微鏡として、走査
型トンネル顕微鏡に本発明を適用した場合について説明
したが、原子間力顕微鏡ＡＦＭなど他の走査型プローブ
顕微鏡にも同様に適用できる。原子間力顕微鏡ＡＦＭに
適用する場合には、Ｚ方向の凹凸信号に加算する探針と
試料との距離の検出信号として、トンネル電流値の代わ
りにカンチレバの変動から得られたフォース値を使用す
る。
れるものではなく、種々の変形が可能である。例えば上
記実施の形態では、走査型プローブ顕微鏡として、走査
型トンネル顕微鏡に本発明を適用した場合について説明
したが、原子間力顕微鏡ＡＦＭなど他の走査型プローブ
顕微鏡にも同様に適用できる。原子間力顕微鏡ＡＦＭに
適用する場合には、Ｚ方向の凹凸信号に加算する探針と
試料との距離の検出信号として、トンネル電流値の代わ
りにカンチレバの変動から得られたフォース値を使用す
る。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、Ｚ方向の凹凸信号にトンネル電流やフォース
等などの探針と試料との距離の検出信号を加算して試料
表面の凹凸像を表示するので、高精度の凹凸像を表現す
ることができ、凹凸像で細かな部分の形状を観察するこ
とができる。また、加算比率を選ぶことにより観察試料
のエッジの部分を特に強調して表示することができ、試
料の形状を直感的に知ることもできる。
によれば、Ｚ方向の凹凸信号にトンネル電流やフォース
等などの探針と試料との距離の検出信号を加算して試料
表面の凹凸像を表示するので、高精度の凹凸像を表現す
ることができ、凹凸像で細かな部分の形状を観察するこ
とができる。また、加算比率を選ぶことにより観察試料
のエッジの部分を特に強調して表示することができ、試
料の形状を直感的に知ることもできる。
【図１】 本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の実施の
形態を示す図である。
形態を示す図である。
【図２】 本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の動作を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図３】 本発明に係る走査型プローブ顕微鏡の他の実
施の形態を示す図である。
施の形態を示す図である。
【図４】 走査型プローブ顕微鏡の従来の問題点を説明
するための図である。
するための図である。
【符号の説明】 １…スキャナー、２…探針、３…試料、４…バイアス電
源、５…高圧アンプ、６…走査波形発生器、７…プリア
ンプ、８…対数アンプ、９…エラーアンプ、１０…フィ
ードバック回路、１１…トンネル電流設定回路、１２…
１／２演算回路、１３…加算回路、１４…Ａ／Ｄ変換器
源、５…高圧アンプ、６…走査波形発生器、７…プリア
ンプ、８…対数アンプ、９…エラーアンプ、１０…フィ
ードバック回路、１１…トンネル電流設定回路、１２…
１／２演算回路、１３…加算回路、１４…Ａ／Ｄ変換器
Claims (2)
- 【請求項１】 探針と試料との距離を検出し該距離が一
定になるように圧電素子を用いた駆動手段にフィードバ
ックして前記探針又は試料のＺ方向の制御を行うと共に
ＸＹ方向に走査を行い、前記試料の凹凸像の観察を行う
走査型プローブ顕微鏡において、前記Ｚ方向の制御信号
からなる凹凸信号に前記探針と試料との距離の検出信号
を加算する演算手段と、該演算手段により加算した信号
により画像化する画像化手段とを備え、前記距離の検出
信号を加えた試料の凹凸像の観察を行うようにしたこと
を特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 【請求項２】 前記演算手段は、加算比率を変更可能に
したことを特徴とする請求項１記載の走査型プローブ顕
微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171735A JPH1114638A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9171735A JPH1114638A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114638A true JPH1114638A (ja) | 1999-01-22 |
Family
ID=15928720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9171735A Pending JPH1114638A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | 走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1114638A (ja) |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP9171735A patent/JPH1114638A/ja active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20031029 |