JPH11121601A - ウエハ収納容器 - Google Patents
ウエハ収納容器Info
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- JPH11121601A JPH11121601A JP9286780A JP28678097A JPH11121601A JP H11121601 A JPH11121601 A JP H11121601A JP 9286780 A JP9286780 A JP 9286780A JP 28678097 A JP28678097 A JP 28678097A JP H11121601 A JPH11121601 A JP H11121601A
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- locking portion
- container
- locking
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Abstract
(57)【要約】
【解決手段】 容器蓋材に装着されたウエハ抑えを備え
たウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが方形の支持枠
と、支持枠の対向する二辺から形成され、櫛状に分岐し
たウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部個々の下部に形成さ
れた係止部とからなり、該係止部が大係止部と小係止部
とを連接してなり、且つ、隣接の係止部同士に於いて大
係止部と小係止部とが向き合う様に配列している。 【効果】 ウエハ抑え２が大係止部８と小係止部９が交
互に配列されたウエハ抑え部４を有することにより、隣
り合った係止部同士の間隔を十分に取ることが出来、成
形が容易で、ウエハの抑え幅を十分に取ることができ、
ウエハ抑えの剛性も高めることができる。
たウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが方形の支持枠
と、支持枠の対向する二辺から形成され、櫛状に分岐し
たウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部個々の下部に形成さ
れた係止部とからなり、該係止部が大係止部と小係止部
とを連接してなり、且つ、隣接の係止部同士に於いて大
係止部と小係止部とが向き合う様に配列している。 【効果】 ウエハ抑え２が大係止部８と小係止部９が交
互に配列されたウエハ抑え部４を有することにより、隣
り合った係止部同士の間隔を十分に取ることが出来、成
形が容易で、ウエハの抑え幅を十分に取ることができ、
ウエハ抑えの剛性も高めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハ等の
ウエハを複数枚等間隔で収納支持し、保管、運搬若しく
は洗浄、エッチング、乾燥等の処理を行う際に使用する
ウエハ収納容器に於いて用いられるウエハ抑えに関す
る。
ウエハを複数枚等間隔で収納支持し、保管、運搬若しく
は洗浄、エッチング、乾燥等の処理を行う際に使用する
ウエハ収納容器に於いて用いられるウエハ抑えに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のウエハ用キャリアの容器蓋材に装
着されたウエハ抑えは、長辺方向が櫛状に分岐していな
かったり、櫛状に分岐していても櫛状に分岐した間隔が
大きく、その隙間にウエハが落ち込んでしまう為、ウエ
ハの破損や汚染の原因となっていた。その欠点を補う
為、実公平６−２２７２には、短冊状の弾性片の先端下
面に係止片を設け、係止片の一方の側壁を隣接する弾性
片状の係止片の他方の側壁と互いに側面の一部が重なり
合う位置に隣接して設ける方法が記載されている。しか
し、この方法では、ウエハを定位置に誘導する係止片の
側面の一部が重なり合っている為、１つの係止片に隣、
或いは、両隣のウエハが誘導され、ウエハの損傷や、摩
擦等による汚染の発生が懸念された。これらを解決する
為には、短冊状の弾性片の先端下面に係止片を設け、係
止片の一方の側壁を隣接する弾性片状の係止片の他方の
側壁との間隔を０〜０.２mmとし、且つ、短冊状の弾性
片同士は、ウエハ毎に独立している係止片を設ければ良
いが、しかし、係止片の側壁同士の間隔を０〜０.２mm
に合成樹脂で形成する為の金型の製作は、不可能であっ
た。
着されたウエハ抑えは、長辺方向が櫛状に分岐していな
かったり、櫛状に分岐していても櫛状に分岐した間隔が
大きく、その隙間にウエハが落ち込んでしまう為、ウエ
ハの破損や汚染の原因となっていた。その欠点を補う
為、実公平６−２２７２には、短冊状の弾性片の先端下
面に係止片を設け、係止片の一方の側壁を隣接する弾性
片状の係止片の他方の側壁と互いに側面の一部が重なり
合う位置に隣接して設ける方法が記載されている。しか
し、この方法では、ウエハを定位置に誘導する係止片の
側面の一部が重なり合っている為、１つの係止片に隣、
或いは、両隣のウエハが誘導され、ウエハの損傷や、摩
擦等による汚染の発生が懸念された。これらを解決する
為には、短冊状の弾性片の先端下面に係止片を設け、係
止片の一方の側壁を隣接する弾性片状の係止片の他方の
側壁との間隔を０〜０.２mmとし、且つ、短冊状の弾性
片同士は、ウエハ毎に独立している係止片を設ければ良
いが、しかし、係止片の側壁同士の間隔を０〜０.２mm
に合成樹脂で形成する為の金型の製作は、不可能であっ
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、ウエハを収
納した際に、収納されたウエハを所定の位置に、確実
に、誘導保持出来、しかも金型製作、或いは、成形加工
上不具合の無いウエハ抑えを有するウエハ収納容器を提
供する。
納した際に、収納されたウエハを所定の位置に、確実
に、誘導保持出来、しかも金型製作、或いは、成形加工
上不具合の無いウエハ抑えを有するウエハ収納容器を提
供する。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、容器蓋材に装
着されたウエハ抑えを備えたウエハ収納容器に於いて、
ウエハ抑えが方形の支持枠と、支持枠の対向する二辺か
ら形成され、長辺方向に櫛状に分岐したウエハ抑え部
と、該ウエハ抑え部個々の下部に形成された係止部とか
らなり、該係止部が大係止部と小係止部とを連接してな
り、且つ、隣接の係止部同士に於いて大係止部と小係止
部とが向き合う様に配列したことを特徴とするウエハ収
納容器に関する。
着されたウエハ抑えを備えたウエハ収納容器に於いて、
ウエハ抑えが方形の支持枠と、支持枠の対向する二辺か
ら形成され、長辺方向に櫛状に分岐したウエハ抑え部
と、該ウエハ抑え部個々の下部に形成された係止部とか
らなり、該係止部が大係止部と小係止部とを連接してな
り、且つ、隣接の係止部同士に於いて大係止部と小係止
部とが向き合う様に配列したことを特徴とするウエハ収
納容器に関する。
【０００５】本発明は、ウエハ抑えが支持枠と、係止部
を有するウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結
した樹脂製連結枠とからなり、且つ該連結枠が前記支持
枠と直結していないことを特徴とする前記ウエハ収納容
器に関する。
を有するウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結
した樹脂製連結枠とからなり、且つ該連結枠が前記支持
枠と直結していないことを特徴とする前記ウエハ収納容
器に関する。
【０００６】また、本発明は、ウエハ抑え部が合成樹脂
製であることを特徴とする前記合成樹脂製ウエハ収納容
器に関する。
製であることを特徴とする前記合成樹脂製ウエハ収納容
器に関する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、図面に従って本発明を説明
する。図１は本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜視
図であり、図２は本発明に係わるウエハ収納容器の断面
図であり、図３は支持枠３に連結枠１１が接続していな
い本発明に係わるウエハ抑えの平面図であり、図４は本
発明に係わるウエハ抑えの正面図であり、図５は本発明
に係わるウエハ抑えの側面図であり、図６は本発明に係
わるウエハ抑えの底面図であり、図７は図１に於ける線
Ａ−Ａに沿った断面図であり、図８は本発明に係わる係
止部を示す部分平面図であり、図９は本発明に係わる係
止部の縦断面の概略図であり、図１０は本発明に係わる
容器蓋材１の内面を示す斜視図であり、図１１は支持枠
３に連結枠１１が接続している本発明に係わる他のウエ
ハ抑えの平面図であり、図１２は本発明に係わるウエハ
抑えの他の一例を示すウエハ抑えの底面図であり、また
図１３は本発明に係わる他のウエハ抑えの側面図であ
る。
する。図１は本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜視
図であり、図２は本発明に係わるウエハ収納容器の断面
図であり、図３は支持枠３に連結枠１１が接続していな
い本発明に係わるウエハ抑えの平面図であり、図４は本
発明に係わるウエハ抑えの正面図であり、図５は本発明
に係わるウエハ抑えの側面図であり、図６は本発明に係
わるウエハ抑えの底面図であり、図７は図１に於ける線
Ａ−Ａに沿った断面図であり、図８は本発明に係わる係
止部を示す部分平面図であり、図９は本発明に係わる係
止部の縦断面の概略図であり、図１０は本発明に係わる
容器蓋材１の内面を示す斜視図であり、図１１は支持枠
３に連結枠１１が接続している本発明に係わる他のウエ
ハ抑えの平面図であり、図１２は本発明に係わるウエハ
抑えの他の一例を示すウエハ抑えの底面図であり、また
図１３は本発明に係わる他のウエハ抑えの側面図であ
る。
【０００８】本発明は、容器蓋材１に装着されたウエハ
抑え２を備えたウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが
方形の支持枠３と、その対向する二辺から形成され、長
辺方向に櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑
え部個々の下部に形成された係止部とからなり、該係止
部が大係止部と小係止部とを連接してなり、且つ、隣接
の係止部同士に於いて大係止部と小係止部とが向き合う
様に配列したことを特徴とするウエハ収納容器に関す
る。即ち、本発明のウエハ収納容器は、特にウエハ抑え
部４の下部に、大係止部８と小係止部９を幅方向に交互
に配列した合成樹脂製ウエハ抑え２を装着していること
に特徴を有している。
抑え２を備えたウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが
方形の支持枠３と、その対向する二辺から形成され、長
辺方向に櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑
え部個々の下部に形成された係止部とからなり、該係止
部が大係止部と小係止部とを連接してなり、且つ、隣接
の係止部同士に於いて大係止部と小係止部とが向き合う
様に配列したことを特徴とするウエハ収納容器に関す
る。即ち、本発明のウエハ収納容器は、特にウエハ抑え
部４の下部に、大係止部８と小係止部９を幅方向に交互
に配列した合成樹脂製ウエハ抑え２を装着していること
に特徴を有している。
【０００９】図示したウエハ収納容器の容器蓋材１に
は、ウエハ抑え２が装着される。このウエハ抑え２は、
方形の支持枠３の対向する二辺から形成され、長辺方向
が櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑え部個
々の下部に、大係止部８と小係止部９を連接して備えて
一つの係止部を形成し、櫛状の長さ方向に沿って大係止
部８と小係止部９が交互に配列されている。隣り合った
ウエハ抑え２の一方の大係止部側壁１８と他方の小係止
部側壁１９の間隔、つまり、隣り合った係止部同士の間
隔は、本ウエハ抑えを成形する為の金型製作が可能で、
しかも、成形上の不具合が発生しない程度に隙間を設け
る必要がある。該隙間は、通常１〜２.５mmが好まし
い。
は、ウエハ抑え２が装着される。このウエハ抑え２は、
方形の支持枠３の対向する二辺から形成され、長辺方向
が櫛状に分岐したウエハ抑え部４と、該ウエハ抑え部個
々の下部に、大係止部８と小係止部９を連接して備えて
一つの係止部を形成し、櫛状の長さ方向に沿って大係止
部８と小係止部９が交互に配列されている。隣り合った
ウエハ抑え２の一方の大係止部側壁１８と他方の小係止
部側壁１９の間隔、つまり、隣り合った係止部同士の間
隔は、本ウエハ抑えを成形する為の金型製作が可能で、
しかも、成形上の不具合が発生しない程度に隙間を設け
る必要がある。該隙間は、通常１〜２.５mmが好まし
い。
【００１０】又、一方のウエハ抑え２の大係止部側壁１
８と隣り合った他方のウエハ抑え２の大係止部側壁１８
は、前後方向に互い違いに形成される。該側壁同士の間
隔は、ウエハがその隙間にウエハが落ち込まない様に０
〜０.５mmに設けるのが好ましい。より好ましくは、成
形時製品の離型性を良くする必要から金型の抜き勾配を
有するため、図１０に示すように下方で０mm、上方で
０.２５mmの間隔を設ける。通常、該隙間の上下方向の
差は、０.１〜０.３mm設けることが好ましい。
８と隣り合った他方のウエハ抑え２の大係止部側壁１８
は、前後方向に互い違いに形成される。該側壁同士の間
隔は、ウエハがその隙間にウエハが落ち込まない様に０
〜０.５mmに設けるのが好ましい。より好ましくは、成
形時製品の離型性を良くする必要から金型の抜き勾配を
有するため、図１０に示すように下方で０mm、上方で
０.２５mmの間隔を設ける。通常、該隙間の上下方向の
差は、０.１〜０.３mm設けることが好ましい。
【００１１】ウエハキャリア７には、側壁部の内面に支
持する為に等間隔で多数の支持用リブ１０が形成されて
いる。その支持用リブ１０によりウエハを間隔を開けて
個別に収納が出来る様になっている。又、支持用リブ１
０同士の中心と、容器蓋材１に装着されたウエハ抑え２
の大係止部８及び小係止部９の中心が、容器本体５に容
器蓋材１を嵌合させた時ほぼ一致する様になっている。
持する為に等間隔で多数の支持用リブ１０が形成されて
いる。その支持用リブ１０によりウエハを間隔を開けて
個別に収納が出来る様になっている。又、支持用リブ１
０同士の中心と、容器蓋材１に装着されたウエハ抑え２
の大係止部８及び小係止部９の中心が、容器本体５に容
器蓋材１を嵌合させた時ほぼ一致する様になっている。
【００１２】ウエハを入れたウエハキャリアを収納した
容器本体５に、本発明のウエハ抑え２が装着された容器
蓋材１を嵌合させて行くと、まず、高さ方向でも高い大
係止部８にウエハの上縁部が当たりその中心へと誘導さ
れて行き、次に、小係止部９にも当たり、容器本体に容
器蓋材１を嵌合し終わる時点では、大係止部８及び小係
止部９の中心にウエハが固定される。勿論、該嵌合時
に、初めから、ウエハが、大係止部８及び小係止部９の
中心の位置にあれば、上記順序で誘導されること無く大
係止部８及び小係止部９の中心にウエハが固定される。
容器本体５に、本発明のウエハ抑え２が装着された容器
蓋材１を嵌合させて行くと、まず、高さ方向でも高い大
係止部８にウエハの上縁部が当たりその中心へと誘導さ
れて行き、次に、小係止部９にも当たり、容器本体に容
器蓋材１を嵌合し終わる時点では、大係止部８及び小係
止部９の中心にウエハが固定される。勿論、該嵌合時
に、初めから、ウエハが、大係止部８及び小係止部９の
中心の位置にあれば、上記順序で誘導されること無く大
係止部８及び小係止部９の中心にウエハが固定される。
【００１３】又、係止部側壁１８と幅方向に隣り合った
大係止部側壁１８は、前後方向に互い違いに形成するこ
とにより、該側壁同士の間隔は、ウエハが落ち込まない
様小さく出来るので、ウエハがその隙間にウエハが落ち
込むのを防止することが出来る。
大係止部側壁１８は、前後方向に互い違いに形成するこ
とにより、該側壁同士の間隔は、ウエハが落ち込まない
様小さく出来るので、ウエハがその隙間にウエハが落ち
込むのを防止することが出来る。
【００１４】図９に示すように本発明のウエハ抑え部４
に形成される係止部８が大係止部８と小係止部９を連接
して備えていることによって、一定の長さのウエハ抑え
幅が確保でき、しかもある程度の弾性を有するウエハ抑
え部４に対して剛性を付与することができる。
に形成される係止部８が大係止部８と小係止部９を連接
して備えていることによって、一定の長さのウエハ抑え
幅が確保でき、しかもある程度の弾性を有するウエハ抑
え部４に対して剛性を付与することができる。
【００１５】上記ウエハ抑え２は、櫛状に分岐したウエ
ハ抑え部４がＵ字状に屈曲した形状のものが好ましい
が、場合によってはＬ字状であってもよい。また、該ウ
エハ抑え部の片端部が支持枠３に連結しており、その一
方の端部が樹脂製の連結枠１１に連結しているものが好
ましく、その際該連結枠は支持枠３に連結されていない
ものが好ましい。場合によっては、かかる連結枠１１が
支持枠３に連結されていてもよい。尚、ウエハ抑え部４
の形状がＬ字状である場合には、一方の端部が何等連結
せずに開放されていることもできる。
ハ抑え部４がＵ字状に屈曲した形状のものが好ましい
が、場合によってはＬ字状であってもよい。また、該ウ
エハ抑え部の片端部が支持枠３に連結しており、その一
方の端部が樹脂製の連結枠１１に連結しているものが好
ましく、その際該連結枠は支持枠３に連結されていない
ものが好ましい。場合によっては、かかる連結枠１１が
支持枠３に連結されていてもよい。尚、ウエハ抑え部４
の形状がＬ字状である場合には、一方の端部が何等連結
せずに開放されていることもできる。
【００１６】図３に示すように、ウエハ抑えの連結枠１
１は、支持枠３よりも上部に突出しているのが好まし
い。このような状態であれば、ウエハ抑え２を容器蓋材
１に取り付けられた時に該連結枠が容器蓋材１によって
下方に押しつけられることによってウエハ抑え部４がウ
エハをより強く固定することが可能となる。
１は、支持枠３よりも上部に突出しているのが好まし
い。このような状態であれば、ウエハ抑え２を容器蓋材
１に取り付けられた時に該連結枠が容器蓋材１によって
下方に押しつけられることによってウエハ抑え部４がウ
エハをより強く固定することが可能となる。
【００１７】また、連結枠１１の上面端部長辺は、円弧
状に湾曲させて上面中心部１２が、上面端部１３より高
く形成されているのが好ましい。該長辺においては、そ
の上面端部１３に比べて長辺の上面中心部１２が上部に
出た円弧状であり、例えば１０cmの長辺の上面端部１３
に対して上面中心部１２が約０．５〜５mm高くなるよう
な円弧状であるのが好ましい。この場合、該連結枠１１
を容器蓋材１に装着した際、容器蓋材１の内面に連結枠
１１の上面中心部１２が当るような形状となる。
状に湾曲させて上面中心部１２が、上面端部１３より高
く形成されているのが好ましい。該長辺においては、そ
の上面端部１３に比べて長辺の上面中心部１２が上部に
出た円弧状であり、例えば１０cmの長辺の上面端部１３
に対して上面中心部１２が約０．５〜５mm高くなるよう
な円弧状であるのが好ましい。この場合、該連結枠１１
を容器蓋材１に装着した際、容器蓋材１の内面に連結枠
１１の上面中心部１２が当るような形状となる。
【００１８】前記連結枠１１は、容器蓋材１に取り付け
られた時にその上面中心部１２が該蓋材に接触するのが
好ましいが、場合によっては接触しないように成形され
てもよい。該中心部が容器蓋材１と接触しない場合、か
かる中心部１２と容器蓋材１との距離は好ましくは５mm
以下であり、ウエハが内蔵された時はウエハによりウエ
ハ抑え部４が押されて連結枠１１が容器蓋材１の内面に
押しつけられる。
られた時にその上面中心部１２が該蓋材に接触するのが
好ましいが、場合によっては接触しないように成形され
てもよい。該中心部が容器蓋材１と接触しない場合、か
かる中心部１２と容器蓋材１との距離は好ましくは５mm
以下であり、ウエハが内蔵された時はウエハによりウエ
ハ抑え部４が押されて連結枠１１が容器蓋材１の内面に
押しつけられる。
【００１９】また、容器蓋材１に設置される前のウエハ
抑え２の連結枠１１が支持枠３よりも上方に出ており、
容器蓋材１に設置されて該蓋材１の内面に当接する場
合、連結枠１１が下方に押し下げられるが、その下方へ
の移動距離は好ましくは１０mm以下、より好ましくは０
〜３mmである。
抑え２の連結枠１１が支持枠３よりも上方に出ており、
容器蓋材１に設置されて該蓋材１の内面に当接する場
合、連結枠１１が下方に押し下げられるが、その下方へ
の移動距離は好ましくは１０mm以下、より好ましくは０
〜３mmである。
【００２０】ウエハ抑え２が装着された容器蓋材１をウ
エハが内蔵された容器本体に嵌合すると、容器蓋材１の
中心付近が強度的に弱く変形し易いため連結枠１１の上
面中心部１２を連結枠１１の上面端部１２よりも高くす
ることによって、連結枠１１の上面端部１３方向に応力
を分散させることができる。つまり、連結枠の上面中心
部１２と連結枠の上面端部１３の高低差により、中心付
近と周辺付近のウエハの抑え圧を調整することが可能と
なる。連結枠の上面中心部１２と連結枠の上面端部１３
の高低差は、容器蓋材１の材質、肉厚等により変更する
必要があるが、好ましく０．５〜５mm、より好ましくは
１〜２mmにすることで中心付近と周辺付近のウエハの抑
え圧をほぼ同一、つまりウエハ全体をほぼ均一な力で抑
えることが可能となる。
エハが内蔵された容器本体に嵌合すると、容器蓋材１の
中心付近が強度的に弱く変形し易いため連結枠１１の上
面中心部１２を連結枠１１の上面端部１２よりも高くす
ることによって、連結枠１１の上面端部１３方向に応力
を分散させることができる。つまり、連結枠の上面中心
部１２と連結枠の上面端部１３の高低差により、中心付
近と周辺付近のウエハの抑え圧を調整することが可能と
なる。連結枠の上面中心部１２と連結枠の上面端部１３
の高低差は、容器蓋材１の材質、肉厚等により変更する
必要があるが、好ましく０．５〜５mm、より好ましくは
１〜２mmにすることで中心付近と周辺付近のウエハの抑
え圧をほぼ同一、つまりウエハ全体をほぼ均一な力で抑
えることが可能となる。
【００２１】容器蓋材１にウエハ抑え２を装着した際に
該蓋材の内面に連結枠１１の上面中心部１３が接触して
いない場合でも、容器蓋材１をウエハが収納された容器
本体に嵌合させると、まず、ウエハによりウエハ抑え部
４が持ち上げられ、容器蓋材１の内面に連結枠１１の上
面中心部１２が接して上記と同様に連結枠の上面端部１
３に応力が分散することになる。
該蓋材の内面に連結枠１１の上面中心部１３が接触して
いない場合でも、容器蓋材１をウエハが収納された容器
本体に嵌合させると、まず、ウエハによりウエハ抑え部
４が持ち上げられ、容器蓋材１の内面に連結枠１１の上
面中心部１２が接して上記と同様に連結枠の上面端部１
３に応力が分散することになる。
【００２２】本発明に係わるウエハ収納容器に於いて
は、容器蓋材１に装着されたウエハ抑えのウエハ抑え部
４の先端を連結する連結枠１１が、支持枠の容器蓋材へ
の取り付け面より突出して形成されているのが好まし
く、又、連結枠１１の形状に合わせて例えば方形に容器
蓋材１の内面に窪み部１４が形成され、更に該窪み部１
４内に連結枠１１が嵌合する様に突出リブ１５が４〜８
箇所形成されているのが好ましい。窪み部１４と突出リ
ブ１５の間に連結枠１１を嵌合させ、連結枠１１が上下
方向以外に動くことを規制することで、ウエハをウエハ
抑え部４の所定の位置にて確実に固定することが出来
る。
は、容器蓋材１に装着されたウエハ抑えのウエハ抑え部
４の先端を連結する連結枠１１が、支持枠の容器蓋材へ
の取り付け面より突出して形成されているのが好まし
く、又、連結枠１１の形状に合わせて例えば方形に容器
蓋材１の内面に窪み部１４が形成され、更に該窪み部１
４内に連結枠１１が嵌合する様に突出リブ１５が４〜８
箇所形成されているのが好ましい。窪み部１４と突出リ
ブ１５の間に連結枠１１を嵌合させ、連結枠１１が上下
方向以外に動くことを規制することで、ウエハをウエハ
抑え部４の所定の位置にて確実に固定することが出来
る。
【００２３】連結枠１１の動きを規制するために、窪み
部１４を設けずに、連結枠１１を平行する突出リブ１５
間で嵌合し挟み込むようにすることもできる。しかし、
洗浄性が容易であることや作業性がよいこと、容器蓋材
１にウエハ抑え２を装着する際の位置決めし易さ、更
に、容器蓋材１の内面を平面から立体的形状にすること
で容器蓋材１の剛性を高めることが出来ること等から、
容器蓋材１に窪み部１４を設けることが好ましい。
部１４を設けずに、連結枠１１を平行する突出リブ１５
間で嵌合し挟み込むようにすることもできる。しかし、
洗浄性が容易であることや作業性がよいこと、容器蓋材
１にウエハ抑え２を装着する際の位置決めし易さ、更
に、容器蓋材１の内面を平面から立体的形状にすること
で容器蓋材１の剛性を高めることが出来ること等から、
容器蓋材１に窪み部１４を設けることが好ましい。
【００２４】図示したウエハ収納容器の容器蓋材１に
は、ウエハ抑え２が装着される。この際、該蓋材に形成
された係止部２３にウエハ抑えの開口部２４を嵌着させ
て固定する。
は、ウエハ抑え２が装着される。この際、該蓋材に形成
された係止部２３にウエハ抑えの開口部２４を嵌着させ
て固定する。
【００２５】本発明に係わるウエハ抑えは、ポリプロピ
レン、ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリスチレン、ポリカー
ボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエステル
系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、及び
ポリスチレン系エラストマー等の合成樹脂によって一体
成形することができる。また、容器蓋材及び容器本体
も、同様に合成樹脂で成形されたものであるのが好まし
い。
レン、ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリスチレン、ポリカー
ボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエステル
系エラストマー、ポリオレフィン系エラストマー、及び
ポリスチレン系エラストマー等の合成樹脂によって一体
成形することができる。また、容器蓋材及び容器本体
も、同様に合成樹脂で成形されたものであるのが好まし
い。
【００２６】本発明に於けるウエハ収納容器は、（１）
ウエハ抑え２が取り付けられた容器蓋材１と、（２）ウ
エハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁
部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内
面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブ１
０が形成されたウエハキャリア７と、（３）容器蓋材１
と容器本体５との間に使用されるパッキン６と、（４）
ウエハキャリア７を収納し、容器蓋材１が取り付けられ
る容器本体５とからなるものが一般的である。
ウエハ抑え２が取り付けられた容器蓋材１と、（２）ウ
エハを出し入れする開口部、互いに対向した一対の側壁
部及び互いに対向した一対の端壁部を有し、側壁部の内
面にウエハを支持する為に等間隔で多数の支持用リブ１
０が形成されたウエハキャリア７と、（３）容器蓋材１
と容器本体５との間に使用されるパッキン６と、（４）
ウエハキャリア７を収納し、容器蓋材１が取り付けられ
る容器本体５とからなるものが一般的である。
【００２７】本発明に係わるウエハキャリア７には、互
いに対向して立設された側壁部にウエハ取出し口に沿っ
て形成された平面部１７と、該平面部から連続しウエハ
取出し口から奥に向かって形成された内側に湾曲した下
部とを有しているものが好ましい。互いに対向して立設
された側壁部の内面には、それぞれウエハを支持する為
に等間隔で多数の支持用リブ１０が形成されている。該
支持用リブは、左右の側壁部全面に多段状に等間隔で形
成され、ウエハを支持するために左右に対となってい
る。また、ウエハキャリア７には、前記支持用リブが形
成されていない端壁部の一つに持ち手２２を有している
のが好ましい。
いに対向して立設された側壁部にウエハ取出し口に沿っ
て形成された平面部１７と、該平面部から連続しウエハ
取出し口から奥に向かって形成された内側に湾曲した下
部とを有しているものが好ましい。互いに対向して立設
された側壁部の内面には、それぞれウエハを支持する為
に等間隔で多数の支持用リブ１０が形成されている。該
支持用リブは、左右の側壁部全面に多段状に等間隔で形
成され、ウエハを支持するために左右に対となってい
る。また、ウエハキャリア７には、前記支持用リブが形
成されていない端壁部の一つに持ち手２２を有している
のが好ましい。
【００２８】また、本発明のウエハ収納容器では、特に
ウエハを内蔵して組み立てられた時に容器蓋材１の側縁
部に形成された係止部２０を容器本体５の側壁部に形成
された係合部２１に連結することによりウエハ抑え部４
がウエハをよりよい状態で固定することができる。
ウエハを内蔵して組み立てられた時に容器蓋材１の側縁
部に形成された係止部２０を容器本体５の側壁部に形成
された係合部２１に連結することによりウエハ抑え部４
がウエハをよりよい状態で固定することができる。
【００２９】
【発明の効果】発明に係わるウエハ収納容器は、そのウ
エハ抑え２が大係止部８と小係止部９が交互に配列され
たウエハ抑え部４を有することにより、隣り合った大係
止部側壁１８と小係止部側壁１９の間隔、つまり、隣り
合った係止部同士の間隔を十分に取ることが出来、金型
製作或いは、成形上の不具合を解消出来る。
エハ抑え２が大係止部８と小係止部９が交互に配列され
たウエハ抑え部４を有することにより、隣り合った大係
止部側壁１８と小係止部側壁１９の間隔、つまり、隣り
合った係止部同士の間隔を十分に取ることが出来、金型
製作或いは、成形上の不具合を解消出来る。
【００３０】また、ウエハ抑え２が大係止部８と小係止
部９を連結してなるものであるため、ウエハの抑え幅を
十分に取ることができ、ウエハ抑えの剛性も高めること
ができる。
部９を連結してなるものであるため、ウエハの抑え幅を
十分に取ることができ、ウエハ抑えの剛性も高めること
ができる。
【図１】本発明に係わるウエハ収納容器の分解斜視図で
ある。
ある。
【図２】本発明に係わるウエハ収納容器の断面図であ
る。
る。
【図３】本発明に係わるウエハを抑えの平面図である。
【図４】本発明に係わるウエハを抑えの正面図である。
【図５】本発明に係わるウエハを抑えの側面図である。
【図６】本発明に係わるウエハを抑えの底面図である。
【図７】図１に於ける線Ａ−Ａに沿った断面図である。
【図８】本発明に係わる係止部を示す部分平面図であ
る。
る。
【図９】本発明に係わる係止部の縦断面の概略図であ
る。
る。
【図１０】本発明に係わる容器蓋材１の内面を示す斜視
図である。
図である。
【図１１】支持枠３に連結枠１１が接続している本発明
に係わる他のウエハ抑えの平面図である。
に係わる他のウエハ抑えの平面図である。
【図１２】本発明に係わるウエハ抑えの他の一例を示す
ウエハ抑えの底面図である。
ウエハ抑えの底面図である。
【図１３】本発明に係わる他のウエハ抑えの側面図であ
る。
る。
１ 容器蓋材 ２ ウエハ抑え ３ 支持枠（容器蓋材への取り付け面） ４ ウエハ抑え部 ５ 容器本体 ６ パッキン ７ ウエハキャリア ８ 大係止部 ９ 小係止部 １０ 支持用リブ １８ 大係止部側壁 １９ 小係止部側壁 ３０ ウエハ
Claims (3)
- 【請求項１】 容器蓋材に装着されたウエハ抑えを備え
たウエハ収納容器に於いて、ウエハ抑えが方形の支持枠
と、支持枠の対向する二辺から形成され、櫛状に分岐し
たウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部個々の下部に形成さ
れた係止部とからなり、該係止部が大係止部と小係止部
とを連接してなり、且つ、隣接の係止部同士に於いて大
係止部と小係止部とが向き合う様に配列したことを特徴
とするウエハ収納容器。 - 【請求項２】 ウエハ抑えが支持枠と、係止部を有する
ウエハ抑え部と、該ウエハ抑え部の先端を連結した樹脂
製連結枠とからなり、且つ該連結枠が前記支持枠と直結
していないことを特徴とする請求項１記載のウエハ収納
容器。 - 【請求項３】 ウエハ抑え部が合成樹脂製であることを
特徴とする請求項１記載の合成樹脂製ウエハ収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9286780A JPH11121601A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウエハ収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9286780A JPH11121601A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウエハ収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11121601A true JPH11121601A (ja) | 1999-04-30 |
Family
ID=17708963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9286780A Pending JPH11121601A (ja) | 1997-10-20 | 1997-10-20 | ウエハ収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11121601A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007153414A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | リテーナ及び基板収納容器 |
| JP2009540621A (ja) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェハ収納容器用の再利用可能な弾性クッション |
| JP2015518279A (ja) * | 2012-04-09 | 2015-06-25 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェーハ輸送容器 |
| CN106742579A (zh) * | 2017-02-13 | 2017-05-31 | 童领 | 基片储运盒 |
-
1997
- 1997-10-20 JP JP9286780A patent/JPH11121601A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007153414A (ja) * | 2005-12-07 | 2007-06-21 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | リテーナ及び基板収納容器 |
| JP2009540621A (ja) * | 2006-06-13 | 2009-11-19 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェハ収納容器用の再利用可能な弾性クッション |
| US8528738B2 (en) | 2006-06-13 | 2013-09-10 | Entegris, Inc. | Reusable resilient cushion for wafer container |
| KR101395467B1 (ko) * | 2006-06-13 | 2014-05-14 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 재사용이 가능한 웨이퍼 용기용 탄성 쿠션 |
| JP2015518279A (ja) * | 2012-04-09 | 2015-06-25 | インテグリス・インコーポレーテッド | ウェーハ輸送容器 |
| CN106742579A (zh) * | 2017-02-13 | 2017-05-31 | 童领 | 基片储运盒 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050909 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050916 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060127 |