JPH028039U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の１実施例装置の構成を示す斜
視図、第２図は摺動子の立面図、第３図及び第４
図は摺動子の移動機構を説明する平面図、第５図
Ａは本考案の５本の位置決めピンによるウエハの
位置決めを示す平面図、同図Ｂ，Ｃは位置決めピ
ンが４本ないし３本の場合の誤差を示す平面図で
ある。 ２……ベース板、４……真空吸着チヤツク、５
……モータ、６……透溝、７……ガイドレール、
８……摺動子、９……位置決めピン、１０……連
結軸、１１……回転板、１２……軸、１３……ロ
ツド、１４，１５……バネかけ軸、１６……スプ
リング、１７……フオーク、１８……クランク、
１９……ローラ、２０……パルスモータ、２１…
…セクター板、２３……ランプ、２４……光電素
子、Ｗ……ウエハ、Ｆ……オリエンテーシヨン・
フラツト。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 水平に保持され、中心にウエハ支持手段を装着
   したベース板と、 該ベース板に沿つて、前記ウエハ支持手段装着
   位置を中心として、放射状に設置した複数組のガ
   イドレールと、 該ガイドレレールにそれぞれ摺動可能に装着さ
   れ、前記ベース板の上面に突出する上端側に位置
   決めピンを立設し、かつ、下面側に連結軸を垂設
   した複数個の摺動子と、 前記ベース板の下方に、前記中心位置回りに回
   動可能に設置された回転板と、 該回転板の周縁に、前記各ガイドレールの配置
   と等しい角度間隔で、かつ、中心から等距離の位
   置に、それぞれ一端が枢着され、他端が前記摺動
   子の下面に垂設された連結軸に係合することによ
   り、前記回転板の回転により前記複数個の摺動子
   をそれぞれのガイドレールに沿つて、同期的に移
   動させる複数個のそれぞれ等長のロツドと、 前記回転板の周縁から半径方向に突出した回転
   駆動用のフオークと、 先端部が前記フオークに摺動可能に嵌設されて
   回転するクランクと、 該クランクを回転駆動するためのパルスモータ
   と、 前記各摺動子が、外方へ移動した位置を基準と
   して、前記パルスモータに所要個数の制御パルス
   を入力させ、前記回転板を入力パルス数に対応す
   る角度回転させて、前記各摺動子に立設した位置
   決めピンを、対象とするウエハの寸法に対応する
   位置に、同期的に移動させる駆動制御手段とを備
   えたウエハ位置決め装置。