JP2003068830A - ウエハ搬送用の位置決め固定装置 - Google Patents
ウエハ搬送用の位置決め固定装置Info
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ロード／アンロード位置関係が変わらないよう
な機構を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供
する。 【解決手段】ウエハ搬送用キャリアへウエハ径の異なる
ウエハを搭載して所定に位置決めして固定保持するウエ
ハ搬送用の位置決め固定装置において、ウエハサイズの
違いに係わらずウエハの中心位置を基準とする円周上の
位置でウエハが固定保持できるようにウエハクランプピ
ンを移動させることができるウエハクランプピン移動手
段を備える、ウエハ搬送用の位置決め固定装置。
な機構を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供
する。 【解決手段】ウエハ搬送用キャリアへウエハ径の異なる
ウエハを搭載して所定に位置決めして固定保持するウエ
ハ搬送用の位置決め固定装置において、ウエハサイズの
違いに係わらずウエハの中心位置を基準とする円周上の
位置でウエハが固定保持できるようにウエハクランプピ
ンを移動させることができるウエハクランプピン移動手
段を備える、ウエハ搬送用の位置決め固定装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ウエハ搬送用の
位置決め固定装置に関する。特に、ウエハ搬送用キャリ
アへウエハを搭載して位置決めして固定するウエハ搬送
用の位置決め固定装置に関する。
位置決め固定装置に関する。特に、ウエハ搬送用キャリ
アへウエハを搭載して位置決めして固定するウエハ搬送
用の位置決め固定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２はサブチャンバのキャリアへウエハ
を乗せて固定する周辺装置の概念構成図である。尚、こ
の構成はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）や電子ビーム露光
装置のように、真空状態にあるステージへウエハをロー
ド／アンロードする具体例の一構成例である。この要部
構成要素は、ウエハローダ（ロボット）１１０と、アラ
イナ１２０と、ウエハカセット１３０と、サブチャンバ
８０と、メインチャンバ１５０とを備える。また、サブ
チャンバ８０には、ウエハ搬送用キャリア（ウエハキャ
リア）６０と、キャリアローダ７０と、ラッチ／アンラ
ッチシリンダ１０と、サブゲートバルブ９０と、メイン
ゲートバルブ１４０とを備える。また、メインチャンバ
１５０にはステージ（ＸＹＺ軸ステージ）１６０とその
他を備える。
を乗せて固定する周辺装置の概念構成図である。尚、こ
の構成はＳＥＭ（走査型電子顕微鏡）や電子ビーム露光
装置のように、真空状態にあるステージへウエハをロー
ド／アンロードする具体例の一構成例である。この要部
構成要素は、ウエハローダ（ロボット）１１０と、アラ
イナ１２０と、ウエハカセット１３０と、サブチャンバ
８０と、メインチャンバ１５０とを備える。また、サブ
チャンバ８０には、ウエハ搬送用キャリア（ウエハキャ
リア）６０と、キャリアローダ７０と、ラッチ／アンラ
ッチシリンダ１０と、サブゲートバルブ９０と、メイン
ゲートバルブ１４０とを備える。また、メインチャンバ
１５０にはステージ（ＸＹＺ軸ステージ）１６０とその
他を備える。
【０００３】ここで、ロード動作は、ウエハを搬入する
動作であり、ロボットによりウエハをサブチャンバ８０
へ搬入し、更に、格納されているケース（ウエハカセッ
トなどと言う）からＸＹＺ軸ステージ１６０などへ送り
出す。逆に、アンロード動作は、ウエハを搬出する動作
であり、ＸＹＺ軸ステージ１６０からウエハカセット１
３０へ戻す。本願においては、ウエハキャリア６０に対
するウエハのロード動作とアンロード動作について着目
する。
動作であり、ロボットによりウエハをサブチャンバ８０
へ搬入し、更に、格納されているケース（ウエハカセッ
トなどと言う）からＸＹＺ軸ステージ１６０などへ送り
出す。逆に、アンロード動作は、ウエハを搬出する動作
であり、ＸＹＺ軸ステージ１６０からウエハカセット１
３０へ戻す。本願においては、ウエハキャリア６０に対
するウエハのロード動作とアンロード動作について着目
する。
【０００４】ウエハローダ（ロボット）１１０は、ウエ
ハを保持して搬送するロボットであり、搬送ロボットの
ウエハロボットアーム１１２によりウエハを保持して移
送する。
ハを保持して搬送するロボットであり、搬送ロボットの
ウエハロボットアーム１１２によりウエハを保持して移
送する。
【０００５】ここで、ウエハはシリコン単結晶で代表さ
れる円形で厚み０．３〜０．６ｍｍ程度の円板である。
また、円周の任意の場所に結晶軸やパターン露光時の向
きを決めるオリフラやノッチと言ったものが加工されて
いる。ウエハサイズは、ＳＥＭＩ規格などで規定されて
いて、例えば６インチウエハとか８インチウエハなどが
ある。
れる円形で厚み０．３〜０．６ｍｍ程度の円板である。
また、円周の任意の場所に結晶軸やパターン露光時の向
きを決めるオリフラやノッチと言ったものが加工されて
いる。ウエハサイズは、ＳＥＭＩ規格などで規定されて
いて、例えば６インチウエハとか８インチウエハなどが
ある。
【０００６】ウエハカセット１３０は、この中に多数枚
のウエハを収容する容器であって、個々のウエハは、ロ
ボットにより取り出されてアライナへ順次ロードされ、
逆に、アンロード時はロボットからのウエハを収容す
る。
のウエハを収容する容器であって、個々のウエハは、ロ
ボットにより取り出されてアライナへ順次ロードされ、
逆に、アンロード時はロボットからのウエハを収容す
る。
【０００７】アライナ１２０は、任意の角度へオリフラ
（もしくはノッチ）の向きを合せるものであって、ウエ
ハを搬送すべき向きに合せる。この後、ウエハはウエハ
ロボットアーム１１２によりサブチャンバ８０内のウエ
ハキャリア６０へ搬送される。
（もしくはノッチ）の向きを合せるものであって、ウエ
ハを搬送すべき向きに合せる。この後、ウエハはウエハ
ロボットアーム１１２によりサブチャンバ８０内のウエ
ハキャリア６０へ搬送される。
【０００８】サブチャンバ８０は、ウエハをウエハキャ
リア６０の所定位置へ搬入した後、真空状態にする為の
真空室である。ウエハを搬入する開口部であるサブゲー
トバルブ９０とメインゲートバルブ１４０と、真空ポン
プ（図示せず）、その他を備える。
リア６０の所定位置へ搬入した後、真空状態にする為の
真空室である。ウエハを搬入する開口部であるサブゲー
トバルブ９０とメインゲートバルブ１４０と、真空ポン
プ（図示せず）、その他を備える。
【０００９】メインチャンバ１５０は、真空状態を維持
してステージ１６０上にウエハがセットされたウエハキ
ャリア６０と共に、ウエハの試験や測定等を行なう真空
容器である。尚、本願と関係しない試験や測定の為の装
置や真空排気装置、その他については図示していない。
してステージ１６０上にウエハがセットされたウエハキ
ャリア６０と共に、ウエハの試験や測定等を行なう真空
容器である。尚、本願と関係しない試験や測定の為の装
置や真空排気装置、その他については図示していない。
【００１０】次に、サブチャンバ８０内に示すウエハキ
ャリア６０は、ウエハを固定してステージ１６０へ搬送
するものであって、ウエハサイズや厚みの種類の違いを
吸収して所定の保持状態で搬送できる。
ャリア６０は、ウエハを固定してステージ１６０へ搬送
するものであって、ウエハサイズや厚みの種類の違いを
吸収して所定の保持状態で搬送できる。
【００１１】サブチャンバ８０のキャリアローダ７０
は、ウエハキャリア６０をステージ１６０へ搬送するロ
ーダである。サブチャンバ８０のラッチ／アンラッチシ
リンダ１０は、ウエハキャリア６０へウエハを固定／開
放させるときに使用する往復駆動源である。
は、ウエハキャリア６０をステージ１６０へ搬送するロ
ーダである。サブチャンバ８０のラッチ／アンラッチシ
リンダ１０は、ウエハキャリア６０へウエハを固定／開
放させるときに使用する往復駆動源である。
【００１２】サブチャンバ８０にあるメインゲートバル
ブ１４０とサブゲートバルブ９０とは、真空開閉弁
（扉）であって、チャンバ内を真空状態に維持する為、
扉にはパッキンが装着されており閉めた状態で真空ポン
プ（図示せず）による排気を行うことで真空状態が保た
れる。ウエハ１又はウエハキャリア６０を他へ搬送する
ときのみ扉を開く。メインゲートバルブ１４０は、真空
を維持するゲートであり、真空状態において、メインチ
ャンバ１５０とサブチャンバ８０との間でウエハキャリ
ア６０を通過させる。サブゲートバルブ９０は、真空を
維持するゲートであり、ロボット１１０とサブチャンバ
８０との間でウエハ１を通過させる。
ブ１４０とサブゲートバルブ９０とは、真空開閉弁
（扉）であって、チャンバ内を真空状態に維持する為、
扉にはパッキンが装着されており閉めた状態で真空ポン
プ（図示せず）による排気を行うことで真空状態が保た
れる。ウエハ１又はウエハキャリア６０を他へ搬送する
ときのみ扉を開く。メインゲートバルブ１４０は、真空
を維持するゲートであり、真空状態において、メインチ
ャンバ１５０とサブチャンバ８０との間でウエハキャリ
ア６０を通過させる。サブゲートバルブ９０は、真空を
維持するゲートであり、ロボット１１０とサブチャンバ
８０との間でウエハ１を通過させる。
【００１３】また、メインチャンバ１５０内のステージ
１６０は、ウエハを乗せて保持した状態で、ＸＹＺ軸方
向に移動可能なステージである。これにより、例えば電
子ビーム等（図示せず）を照射して所望の試験や測定や
ウエハ処理等が行える。
１６０は、ウエハを乗せて保持した状態で、ＸＹＺ軸方
向に移動可能なステージである。これにより、例えば電
子ビーム等（図示せず）を照射して所望の試験や測定や
ウエハ処理等が行える。
【００１４】次に、搬送動作の一例について説明する。
（１）ウエハカセット１３０内に格納されたウエハ１を
ロボット１１０より取り出しアライナ１２０へロードす
る。 （２）アライナ１２０により任意の角度へオリフラ（も
しくはノッチ）の向きを合せる。 （３）サブチャンバ８０を真空状態から大気圧状態にし
た後、サブゲートバルブ９０を開ける。 （４）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシリ
ンダ１０でウエハキャリア６０のラッチ状態を開放状態
にする。 （５）ウエハロボットアーム１１２に保持しているウエ
ハ１をキャリアローダ７０内のウエハキャリア６０へロ
ードする。 （６）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシリ
ンダ１０でウエハ１をラッチ状態にする。 （７）サブゲートバルブ９０を閉め真空排気して真空状
態にする。 （８）メインチャンバ１５０内のステージ１６０をキャ
リアロード／アンロード位置へ移動させ、メインゲート
バルブ１４０を開ける。このとき両チャンバは真空状態
である。 （９）キャリアローダ７０にてウエハキャリア６０をス
テージ１６０上へロードする。 （１０）その後、メインゲートバルブ１４０を閉める。 （１１）その後に行われる、当該ウエハに対する試験や
測定やウエハ処理等についての説明は、省略する。 （１２）前記ウエハに対する実施完了後、メインチャン
バ１５０内のステージ１６０をキャリアロード／アンロ
ード位置へ移動し、メインゲートバルブ１４０を開け
る。 （１３）ステージ１６０上のウエハキャリア６０をキャ
リアローダ７０側へアンロードする。 （１４）メインゲートバルブ１４０を閉めた後、サブチ
ャンバ８０を真空状態から大気状態にした後、サブゲー
トバルブ９０を開ける。 （１５）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシ
リンダ１０でウエハキャリア６０のラッチ状態を開放状
態にし、この状態で、ロボット１１０にてウエハ１をつ
かんで搬送し、ウエハカセット１３０へ戻す。
ロボット１１０より取り出しアライナ１２０へロードす
る。 （２）アライナ１２０により任意の角度へオリフラ（も
しくはノッチ）の向きを合せる。 （３）サブチャンバ８０を真空状態から大気圧状態にし
た後、サブゲートバルブ９０を開ける。 （４）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシリ
ンダ１０でウエハキャリア６０のラッチ状態を開放状態
にする。 （５）ウエハロボットアーム１１２に保持しているウエ
ハ１をキャリアローダ７０内のウエハキャリア６０へロ
ードする。 （６）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシリ
ンダ１０でウエハ１をラッチ状態にする。 （７）サブゲートバルブ９０を閉め真空排気して真空状
態にする。 （８）メインチャンバ１５０内のステージ１６０をキャ
リアロード／アンロード位置へ移動させ、メインゲート
バルブ１４０を開ける。このとき両チャンバは真空状態
である。 （９）キャリアローダ７０にてウエハキャリア６０をス
テージ１６０上へロードする。 （１０）その後、メインゲートバルブ１４０を閉める。 （１１）その後に行われる、当該ウエハに対する試験や
測定やウエハ処理等についての説明は、省略する。 （１２）前記ウエハに対する実施完了後、メインチャン
バ１５０内のステージ１６０をキャリアロード／アンロ
ード位置へ移動し、メインゲートバルブ１４０を開け
る。 （１３）ステージ１６０上のウエハキャリア６０をキャ
リアローダ７０側へアンロードする。 （１４）メインゲートバルブ１４０を閉めた後、サブチ
ャンバ８０を真空状態から大気状態にした後、サブゲー
トバルブ９０を開ける。 （１５）キャリアローダ７０内のラッチ／アンラッチシ
リンダ１０でウエハキャリア６０のラッチ状態を開放状
態にし、この状態で、ロボット１１０にてウエハ１をつ
かんで搬送し、ウエハカセット１３０へ戻す。
【００１５】次に、図１はロボット１１０のアームによ
りウエハ１がウエハ搬送用キャリア６０の中央部へ置か
れた後、所定に位置決めする様子を示す概念構成図であ
る。従来のウエハ搬送用キャリア６０には、ウエハクラ
ンプＡと、ウエハクランプＢと、オリフラ突き当てＣと
を備えている。これら３要素の支持部位により、ウエハ
を２点と１辺で固定支持するウエハ固定手段である。
りウエハ１がウエハ搬送用キャリア６０の中央部へ置か
れた後、所定に位置決めする様子を示す概念構成図であ
る。従来のウエハ搬送用キャリア６０には、ウエハクラ
ンプＡと、ウエハクランプＢと、オリフラ突き当てＣと
を備えている。これら３要素の支持部位により、ウエハ
を２点と１辺で固定支持するウエハ固定手段である。
【００１６】ウエハクランプＡは、外部からの駆動手段
によりウエハ１を中心方向へ摺動させてチャック固定す
る可動機構を備えている。ウエハクランプＢは、固定し
た支持点であり、ウエハ１のサイズに対応する所定の決
められた位置に配設されている。従って、ウエハクラン
プＢはウエハサイズが異なると、これに対応した位置に
配設変更若しくは交換する必要がある。オリフラ突き当
てＣは、直線状の辺によりウエハの直線状のオリフラ部
位と対向接触して位置決め固定する、固定した突き当て
部材である。
によりウエハ１を中心方向へ摺動させてチャック固定す
る可動機構を備えている。ウエハクランプＢは、固定し
た支持点であり、ウエハ１のサイズに対応する所定の決
められた位置に配設されている。従って、ウエハクラン
プＢはウエハサイズが異なると、これに対応した位置に
配設変更若しくは交換する必要がある。オリフラ突き当
てＣは、直線状の辺によりウエハの直線状のオリフラ部
位と対向接触して位置決め固定する、固定した突き当て
部材である。
【００１７】次に、ウエハ搬送用キャリアへウエハを固
定するウエハロード動作を説明する。ロボット１１０に
より外部から搬送されてきたウエハは、ウエハロボット
アーム逃げ溝の開口部から運ばれ、ウエハ１のオリフラ
部位がオリフラ突き当てＣに概略対向するように、且
つ、オリフラ突き当てＣから少し離れた位置（図１の点
線のウエハ１ａ参照）に置かれる。例えば、図１の点線
のような位置にウエハが置かれる。
定するウエハロード動作を説明する。ロボット１１０に
より外部から搬送されてきたウエハは、ウエハロボット
アーム逃げ溝の開口部から運ばれ、ウエハ１のオリフラ
部位がオリフラ突き当てＣに概略対向するように、且
つ、オリフラ突き当てＣから少し離れた位置（図１の点
線のウエハ１ａ参照）に置かれる。例えば、図１の点線
のような位置にウエハが置かれる。
【００１８】その後、ウエハクランプＡを中心方向へ駆
動することで、ウエハ１はウエハクランプＢに当接し、
且つ、オリフラ突き当てＣの辺とウエハ１のオリフラ部
位が接面状態（図１のウエハ１ｂ参照）になって固定さ
れる。この結果、ウエハはウエハ搬送用キャリア６０上
の所定の位置へ位置決めされた状態で固定支持されるこ
ととなる。この状態のウエハ搬送用キャリア６０がメイ
ンチャンバ１５０のステージ１６０へ搬送されて、ウエ
ハの測定評価やウエハ処理等が行われる。
動することで、ウエハ１はウエハクランプＢに当接し、
且つ、オリフラ突き当てＣの辺とウエハ１のオリフラ部
位が接面状態（図１のウエハ１ｂ参照）になって固定さ
れる。この結果、ウエハはウエハ搬送用キャリア６０上
の所定の位置へ位置決めされた状態で固定支持されるこ
ととなる。この状態のウエハ搬送用キャリア６０がメイ
ンチャンバ１５０のステージ１６０へ搬送されて、ウエ
ハの測定評価やウエハ処理等が行われる。
【００１９】次に、ウエハがウエハ搬送用キャリアに固
定されたウエハロード状態から、逆に、ウエハをアンロ
ードする動作は、上述の逆の手順で行われる。即ち、ウ
エハクランプＡを開放した後、ロボット１１０により図
１のウエハ１ｂの位置にあるウエハをピックアップして
外部へ搬送する。
定されたウエハロード状態から、逆に、ウエハをアンロ
ードする動作は、上述の逆の手順で行われる。即ち、ウ
エハクランプＡを開放した後、ロボット１１０により図
１のウエハ１ｂの位置にあるウエハをピックアップして
外部へ搬送する。
【００２０】上述従来構成によれば、搬入するロード時
のウエハ位置状態（図１の点線のウエハ１ａ参照）と、
搬出するアンロード時のウエハ位置状態（図１のウエハ
１ｂ参照）が異なってくることとなる。この為、搬送す
るロボット１１０ウエハを保持するときのウエハ中心位
置が違ってくる結果、前記ウエハ中心位置のずれに対応
できるようにアライナ１２０若しくはウエハカセット１
３０の搬送機構に位置ずれ修正構造を備える必要性があ
る難点がある。また、ウエハサイズが異なる毎に、ロー
ド／アンロード位置関係が変わらないように、ウエハク
ランプＡやウエハクランプＢやオリフラ突き当てＣの配
設位置を変更／交換等する必要性があり、これらの難点
がある。また、アンロードするときに、ウエハのオリフ
ラ部位がオリフラ突き当てＣに当接した状態である為
に、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性があ
り、この点でも好ましくない。
のウエハ位置状態（図１の点線のウエハ１ａ参照）と、
搬出するアンロード時のウエハ位置状態（図１のウエハ
１ｂ参照）が異なってくることとなる。この為、搬送す
るロボット１１０ウエハを保持するときのウエハ中心位
置が違ってくる結果、前記ウエハ中心位置のずれに対応
できるようにアライナ１２０若しくはウエハカセット１
３０の搬送機構に位置ずれ修正構造を備える必要性があ
る難点がある。また、ウエハサイズが異なる毎に、ロー
ド／アンロード位置関係が変わらないように、ウエハク
ランプＡやウエハクランプＢやオリフラ突き当てＣの配
設位置を変更／交換等する必要性があり、これらの難点
がある。また、アンロードするときに、ウエハのオリフ
ラ部位がオリフラ突き当てＣに当接した状態である為
に、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性があ
り、この点でも好ましくない。
【００２１】
【発明が解決しようとする課題】上述説明したように従
来技術におけるウエハ搬送用の位置決め固定装置では、
３カ所の支持部位でウエハを固定するが、２カ所の支持
部位は固定状態であり、１カ所の可動状態のウエハクラ
ンプＡによりウエハを３カ所で挟んで位置決め固定する
形態である結果、ロード時のウエハ位置状態とアンロー
ド時のウエハ位置状態とが違ってくる難点がある。更
に、ウエハサイズが異なる毎に、ロード／アンロード位
置関係が変わらないように、ウエハクランプＡやウエハ
クランプＢやオリフラ突き当てＣの配設位置を変更／交
換等する必要性がある、と言う難点がある。また、ウエ
ハロボットアーム１１２によるウエハの保持位置をウエ
ハサイズに対応して変更する移動機構が必要となる難点
がある。更に、アンロードするときに、ウエハのオリフ
ラ部位がオリフラ突き当てＣに当接した状態である為
に、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性があ
り、このことはウエハの信頼性の観点から好ましくな
い。
来技術におけるウエハ搬送用の位置決め固定装置では、
３カ所の支持部位でウエハを固定するが、２カ所の支持
部位は固定状態であり、１カ所の可動状態のウエハクラ
ンプＡによりウエハを３カ所で挟んで位置決め固定する
形態である結果、ロード時のウエハ位置状態とアンロー
ド時のウエハ位置状態とが違ってくる難点がある。更
に、ウエハサイズが異なる毎に、ロード／アンロード位
置関係が変わらないように、ウエハクランプＡやウエハ
クランプＢやオリフラ突き当てＣの配設位置を変更／交
換等する必要性がある、と言う難点がある。また、ウエ
ハロボットアーム１１２によるウエハの保持位置をウエ
ハサイズに対応して変更する移動機構が必要となる難点
がある。更に、アンロードするときに、ウエハのオリフ
ラ部位がオリフラ突き当てＣに当接した状態である為
に、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性があ
り、このことはウエハの信頼性の観点から好ましくな
い。
【００２２】そこで、本発明が解決しようとする課題
は、ロード／アンロード位置関係が変わらないような機
構を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供する
ことである。また、ウエハサイズが異なる場合でも同一
の機構でそのまま適用可能な構造を備えるウエハ搬送用
の位置決め固定装置を提供することである。また、ウエ
ハエッジがこすれたりして損傷する可能性を解消可能な
構造を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供す
ることである。
は、ロード／アンロード位置関係が変わらないような機
構を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供する
ことである。また、ウエハサイズが異なる場合でも同一
の機構でそのまま適用可能な構造を備えるウエハ搬送用
の位置決め固定装置を提供することである。また、ウエ
ハエッジがこすれたりして損傷する可能性を解消可能な
構造を備えるウエハ搬送用の位置決め固定装置を提供す
ることである。
【００２３】
【課題を解決するための手段】第１の解決手段を示す。
上記課題を解決するために、ウエハ搬送用キャリアへウ
エハ径の異なるウエハを搭載して所定に位置決めして固
定保持するウエハ搬送用の位置決め固定装置において、
ウエハサイズの違いに係わらずウエハの中心位置を基準
とする円周上の位置でウエハが固定保持できるように、
ウエハを保持するウエハクランプピン８as〜８csを移動
させることができるウエハクランプピン移動手段を備え
る、ことを特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置
である。上記発明によれば、ロード／アンロード位置関
係が変わらないような機構を備えるウエハ搬送用の位置
決め固定装置が実現できる。
上記課題を解決するために、ウエハ搬送用キャリアへウ
エハ径の異なるウエハを搭載して所定に位置決めして固
定保持するウエハ搬送用の位置決め固定装置において、
ウエハサイズの違いに係わらずウエハの中心位置を基準
とする円周上の位置でウエハが固定保持できるように、
ウエハを保持するウエハクランプピン８as〜８csを移動
させることができるウエハクランプピン移動手段を備え
る、ことを特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置
である。上記発明によれば、ロード／アンロード位置関
係が変わらないような機構を備えるウエハ搬送用の位置
決め固定装置が実現できる。
【００２４】次に、第２の解決手段を示す。上述ウエハ
クランプピン移動手段の一態様としては、カム４と、ウ
エハクランプピン８as〜８csを備える少なくとも３個の
クランプレバー８a〜８cと、コイルスプリング６と、ト
ラスミッションロッド１４とを備える、ことを特徴とす
る上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
クランプピン移動手段の一態様としては、カム４と、ウ
エハクランプピン８as〜８csを備える少なくとも３個の
クランプレバー８a〜８cと、コイルスプリング６と、ト
ラスミッションロッド１４とを備える、ことを特徴とす
る上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
【００２５】次に、第３の解決手段を示す。ここで第３
図と第４図と第５図は、本発明に係る解決手段を示して
いる。上記課題を解決するために、ウエハ搬送用キャリ
アへウエハ径の異なるウエハを搭載して所定に位置決め
して固定保持するウエハ搬送用の位置決め固定装置にお
いて、カム４と３個のクランプレバー８a〜８cとコイル
スプリング６とトラスミッションロッド１４とを備え、
ウエハ搬送用キャリアの本体ベースには所定の楕円状の
長孔とする上記ウエハクランプピン８asを嵌入する３個
のピンガイド孔２a〜２cが形成され、上記カム４はウエ
ハ搬送用キャリアの裏面に配設して備える円板状の回転
体であり、円板の中心を回転軸として回転でき、所定の
円周上の３カ所に長孔の遊動孔４a〜４cを形成し、３個
の上記クランプレバー８a〜８cはウエハ搬送用キャリア
の裏面に配設して備える三角形状の板材であり、且つ所
定の３カ所で力が作用する力点を備え、第１の力点には
ウエハ搬送用キャリアの本体ベースに回動可能に支持さ
れて回転軸となる支点８a1を備え、第２の力点には上記
カム４に形成されている対応する遊動孔４aへ遊動可能
に嵌入される円柱状の遊動ピン８a2を備え、第３の力点
には上記クランプレバー８a自身に固定されてウエハ搬
送用キャリアの上面側へ貫通してウエハを保持できるよ
うに裏面側から上面側まで突き出ているテーパ状円柱の
ピンであるウエハクランプピン８asを備え、上記コイル
スプリング６は上記カム４を所定の回転方向へ回動させ
るスプリング力を与え、且つウエハ搬送用キャリアの上
面側でウエハを保持できる所定の係止力を付与でき、上
記トラスミッションロッド１４は上記スプリング力に反
して、上記カム４を逆の回転方向へ回動させてウエハの
固定保持状態（ラッチ状態）を開放状態（アンラッチ状
態）にできる構造を備え、以上を具備することを特徴と
するウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
図と第４図と第５図は、本発明に係る解決手段を示して
いる。上記課題を解決するために、ウエハ搬送用キャリ
アへウエハ径の異なるウエハを搭載して所定に位置決め
して固定保持するウエハ搬送用の位置決め固定装置にお
いて、カム４と３個のクランプレバー８a〜８cとコイル
スプリング６とトラスミッションロッド１４とを備え、
ウエハ搬送用キャリアの本体ベースには所定の楕円状の
長孔とする上記ウエハクランプピン８asを嵌入する３個
のピンガイド孔２a〜２cが形成され、上記カム４はウエ
ハ搬送用キャリアの裏面に配設して備える円板状の回転
体であり、円板の中心を回転軸として回転でき、所定の
円周上の３カ所に長孔の遊動孔４a〜４cを形成し、３個
の上記クランプレバー８a〜８cはウエハ搬送用キャリア
の裏面に配設して備える三角形状の板材であり、且つ所
定の３カ所で力が作用する力点を備え、第１の力点には
ウエハ搬送用キャリアの本体ベースに回動可能に支持さ
れて回転軸となる支点８a1を備え、第２の力点には上記
カム４に形成されている対応する遊動孔４aへ遊動可能
に嵌入される円柱状の遊動ピン８a2を備え、第３の力点
には上記クランプレバー８a自身に固定されてウエハ搬
送用キャリアの上面側へ貫通してウエハを保持できるよ
うに裏面側から上面側まで突き出ているテーパ状円柱の
ピンであるウエハクランプピン８asを備え、上記コイル
スプリング６は上記カム４を所定の回転方向へ回動させ
るスプリング力を与え、且つウエハ搬送用キャリアの上
面側でウエハを保持できる所定の係止力を付与でき、上
記トラスミッションロッド１４は上記スプリング力に反
して、上記カム４を逆の回転方向へ回動させてウエハの
固定保持状態（ラッチ状態）を開放状態（アンラッチ状
態）にできる構造を備え、以上を具備することを特徴と
するウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
【００２６】次に、第４の解決手段を示す。上述ウエハ
搬送用キャリアの本体ベースに上記ウエハクランプピン
８as〜８csを嵌入して、当該ウエハクランプピン８as〜
８csの移動を案内する所定に形成された楕円状長孔とす
る所定複数個のピンガイド孔２a〜２cを備える、ことを
特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
搬送用キャリアの本体ベースに上記ウエハクランプピン
８as〜８csを嵌入して、当該ウエハクランプピン８as〜
８csの移動を案内する所定に形成された楕円状長孔とす
る所定複数個のピンガイド孔２a〜２cを備える、ことを
特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
【００２７】次に、第５の解決手段を示す。上述ウエハ
搬送用の位置決め固定装置の一態様としては、カム４の
回動に伴って３個の上記遊動孔４a〜４cに嵌入されてい
るクランプレバー８a〜８cの上記遊動ピン８a2〜８c2に
駆動されて３個の上記クランプレバー８a〜８cが回動
し、前記回動に伴って上記ピンガイド孔２a〜２cに嵌入
されている３個の上記ウエハクランプピン８as〜８csの
各々がカム４の回転軸を中心とする周接円となる位置に
移動することで、ウエハサイズの違いに係わらずカム４
の回転軸を中心とする位置でウエハを固定保持若しくは
開放するラッチ状態／開放状態にすることができる、こ
とを特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
搬送用の位置決め固定装置の一態様としては、カム４の
回動に伴って３個の上記遊動孔４a〜４cに嵌入されてい
るクランプレバー８a〜８cの上記遊動ピン８a2〜８c2に
駆動されて３個の上記クランプレバー８a〜８cが回動
し、前記回動に伴って上記ピンガイド孔２a〜２cに嵌入
されている３個の上記ウエハクランプピン８as〜８csの
各々がカム４の回転軸を中心とする周接円となる位置に
移動することで、ウエハサイズの違いに係わらずカム４
の回転軸を中心とする位置でウエハを固定保持若しくは
開放するラッチ状態／開放状態にすることができる、こ
とを特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
【００２８】次に、第６の解決手段を示す。上述カム４
の一態様としては、ウエハ搬送用キャリアの裏面に配設
される円板状の形状であり、当該カムの回転軸を中心と
して回転可能であり、所定の位置に上記クランプレバー
８a〜８cを回動させる所定数の遊動孔４a〜４cを備え
る、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定
装置がある。
の一態様としては、ウエハ搬送用キャリアの裏面に配設
される円板状の形状であり、当該カムの回転軸を中心と
して回転可能であり、所定の位置に上記クランプレバー
８a〜８cを回動させる所定数の遊動孔４a〜４cを備え
る、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定
装置がある。
【００２９】次に、第７の解決手段を示す。上述遊動孔
４a〜４cの一態様としては、長円形の長孔が形成されて
いて、対応するクランプレバー８a〜８cに備えるテーパ
状円柱のウエハクランプピン８as〜８csが力点となるよ
うに遊動可能に嵌入されていて、上記カム４の回転と連
動して所定複数個のクランプレバー８a〜８cを回動させ
る、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定
装置がある。
４a〜４cの一態様としては、長円形の長孔が形成されて
いて、対応するクランプレバー８a〜８cに備えるテーパ
状円柱のウエハクランプピン８as〜８csが力点となるよ
うに遊動可能に嵌入されていて、上記カム４の回転と連
動して所定複数個のクランプレバー８a〜８cを回動させ
る、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定
装置がある。
【００３０】次に、第８の解決手段を示す。上述クラン
プレバー８a〜８cの一態様としては、回動可能な三角状
の板材であって、当該クランプレバー８a〜８cに備える
ウエハクランプピン８as、８bs、８csによって上面側で
ウエハを３点で挟むようにして保持する、ことを特徴と
する上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
プレバー８a〜８cの一態様としては、回動可能な三角状
の板材であって、当該クランプレバー８a〜８cに備える
ウエハクランプピン８as、８bs、８csによって上面側で
ウエハを３点で挟むようにして保持する、ことを特徴と
する上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置がある。
【００３１】次に、第９の解決手段を示す。上述ウエハ
クランプピン８as〜８csの一態様としては、ウエハ搬送
用キャリアの本体ベースに所定に形成された楕円状長孔
の所定複数個のピンガイド孔２a〜２cに沿って移動する
ことでカム回転軸４ｇから同心円状の周接円位置に移動
できる、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め
固定装置がある。
クランプピン８as〜８csの一態様としては、ウエハ搬送
用キャリアの本体ベースに所定に形成された楕円状長孔
の所定複数個のピンガイド孔２a〜２cに沿って移動する
ことでカム回転軸４ｇから同心円状の周接円位置に移動
できる、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め
固定装置がある。
【００３２】次に、第１０の解決手段を示す。上述コイ
ルスプリング６の一態様としては、上記カム４に常に回
転力を付与して、上記クランプレバー８a〜８cに備える
ウエハクランプピン８as〜８csによって上面側でウエハ
を所定複数点で挟むようにしてラッチ保持する、ことを
特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
ルスプリング６の一態様としては、上記カム４に常に回
転力を付与して、上記クランプレバー８a〜８cに備える
ウエハクランプピン８as〜８csによって上面側でウエハ
を所定複数点で挟むようにしてラッチ保持する、ことを
特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固定装置があ
る。
【００３３】次に、第１１の解決手段を示す。上述トラ
スミッションロッド１４の一態様としては、外部からの
アンラッチ駆動を受けたとき、上記カム４を上記コイル
スプリング６の回転力方向とは逆方向に所定量回動させ
て、ウエハを保持している上記ウエハクランプピン８as
〜８csを外側方向へ開きながら移動させてウエハを開放
する、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固
定装置がある。
スミッションロッド１４の一態様としては、外部からの
アンラッチ駆動を受けたとき、上記カム４を上記コイル
スプリング６の回転力方向とは逆方向に所定量回動させ
て、ウエハを保持している上記ウエハクランプピン８as
〜８csを外側方向へ開きながら移動させてウエハを開放
する、ことを特徴とする上述ウエハ搬送用の位置決め固
定装置がある。
【００３４】
【発明の実施の形態】以下に本発明を適用した実施の形
態の一例を図面を参照しながら説明する。また、以下の
実施の形態の説明内容によって特許請求の範囲を限定す
るものではないし、更に、実施の形態で説明されている
要素や接続関係が解決手段に必須であるとは限らない。
更に、実施の形態で説明されている要素や接続関係の形
容／形態は、一例でありその形容／形態内容のみに限定
するものではない。
態の一例を図面を参照しながら説明する。また、以下の
実施の形態の説明内容によって特許請求の範囲を限定す
るものではないし、更に、実施の形態で説明されている
要素や接続関係が解決手段に必須であるとは限らない。
更に、実施の形態で説明されている要素や接続関係の形
容／形態は、一例でありその形容／形態内容のみに限定
するものではない。
【００３５】図３はウエハロボットアームによりウエハ
１がウエハ搬送用キャリア６０の中央部へ置かれた後、
所定に位置決めする様子を示す上面図と側面図である。
図４はウエハアンラッチ状態におけるウエハ搬送用キャ
リア６０の裏面図である。図５はウエハラッチ状態にお
けるウエハ搬送用キャリア６０の裏面図である。これら
の図を参照して説明する。
１がウエハ搬送用キャリア６０の中央部へ置かれた後、
所定に位置決めする様子を示す上面図と側面図である。
図４はウエハアンラッチ状態におけるウエハ搬送用キャ
リア６０の裏面図である。図５はウエハラッチ状態にお
けるウエハ搬送用キャリア６０の裏面図である。これら
の図を参照して説明する。
【００３６】本願のウエハ搬送用キャリア６０の構成要
素は、図５の裏面図に示すように、カム４と、コイルス
プリング６と、トラスミッションロッド１４と、３組の
ウエハクランプ手段とを備える。３組のウエハクランプ
手段は、３個のクランプレバー８a、８b、８cと、３個
のテーパ状円柱（ウエハの浮き上がりを防止する逆三角
形のテーパ状円柱）のウエハクランプピン８as、８bs、
８csと、カム４に形成された３個の長円形の遊動孔４
a、４b、４cと、図３の上面図に示すように、本体ベー
スに形成された３個のピンガイド孔２a、２b、２cとを
備える。
素は、図５の裏面図に示すように、カム４と、コイルス
プリング６と、トラスミッションロッド１４と、３組の
ウエハクランプ手段とを備える。３組のウエハクランプ
手段は、３個のクランプレバー８a、８b、８cと、３個
のテーパ状円柱（ウエハの浮き上がりを防止する逆三角
形のテーパ状円柱）のウエハクランプピン８as、８bs、
８csと、カム４に形成された３個の長円形の遊動孔４
a、４b、４cと、図３の上面図に示すように、本体ベー
スに形成された３個のピンガイド孔２a、２b、２cとを
備える。
【００３７】コイルスプリング６は、図５の裏面図に示
すように、カム４が右回転するようにスプリング力（図
５Ａ参照）を常に与えるものである。この一端はカム４
に係止され、他端はウエハ搬送用キャリア６０の本体ベ
ースに係止されている。これによれば、図５Ｂに示すト
ラスミッションロッド１４が自由状態において、最大に
右回転した状態にある。この状態では、３個のウエハク
ランプピン８as、８bs、８csによる周接円（図５Ｄ参
照）は、最小径の状態になる。また、この閉じる力を利
用してウエハをラッチ保持する。更に、途中の移動段階
においても、常にカム回転軸４ｇを中心軸とした周接円
となる利点が得られる。
すように、カム４が右回転するようにスプリング力（図
５Ａ参照）を常に与えるものである。この一端はカム４
に係止され、他端はウエハ搬送用キャリア６０の本体ベ
ースに係止されている。これによれば、図５Ｂに示すト
ラスミッションロッド１４が自由状態において、最大に
右回転した状態にある。この状態では、３個のウエハク
ランプピン８as、８bs、８csによる周接円（図５Ｄ参
照）は、最小径の状態になる。また、この閉じる力を利
用してウエハをラッチ保持する。更に、途中の移動段階
においても、常にカム回転軸４ｇを中心軸とした周接円
となる利点が得られる。
【００３８】トラスミッションロッド１４は、外部のラ
ッチ／アンラッチシリンダ１０からの駆動を受けたと
き、即ち、プッシュ状態（図４Ｂ参照）のときに、トラ
スミッションアーム１４ｂを介してカム４を左方向へ所
定量回動させる駆動力を与えるものである。この駆動力
に連動して３個のクランプレバー８a、８b、８cは対応
する支点８a1を軸として回動する結果、対応する３個の
ウエハクランプピン８as、８bs、８csが対応するピンガ
イド孔２a、２b、２cに案内されながら外側方向へ開き
ながら移動する。この外側方向への移動の結果、３個の
ウエハクランプピン８as、８bs、８csによる周接円（図
４Ｃ参照）は開く方向に移動して、最大径の開放状態に
なる。この開放状態はウエハをアンラッチして開放する
状態である。尚、ウエハクランプピン８as、８bs、８cs
は、ウエハのオリフラ部位がウエハクランプピン８as、
８bs、８csに当接しない位置となるように配設する。
ッチ／アンラッチシリンダ１０からの駆動を受けたと
き、即ち、プッシュ状態（図４Ｂ参照）のときに、トラ
スミッションアーム１４ｂを介してカム４を左方向へ所
定量回動させる駆動力を与えるものである。この駆動力
に連動して３個のクランプレバー８a、８b、８cは対応
する支点８a1を軸として回動する結果、対応する３個の
ウエハクランプピン８as、８bs、８csが対応するピンガ
イド孔２a、２b、２cに案内されながら外側方向へ開き
ながら移動する。この外側方向への移動の結果、３個の
ウエハクランプピン８as、８bs、８csによる周接円（図
４Ｃ参照）は開く方向に移動して、最大径の開放状態に
なる。この開放状態はウエハをアンラッチして開放する
状態である。尚、ウエハクランプピン８as、８bs、８cs
は、ウエハのオリフラ部位がウエハクランプピン８as、
８bs、８csに当接しない位置となるように配設する。
【００３９】カム４は、ウエハ搬送用キャリア６０の中
心点であるカム回転軸４ｇを軸として自由に回転可能な
円板状の形状であり、且つ、所定の位置に４つの遊動孔
４a、４b、４c、４dを備える。３つの遊動孔４a、４b、
４cは長円形の長孔が形成されていて、対応するクラン
プレバー８a、８b、８cに備えるテーパ状円柱のウエハ
クランプピン８as、８bs、８csが力点となるように遊動
可能に嵌入されていて、カム４の回転と連動して３個の
クランプレバー８a、８b、８cを回動させることができ
る。トラスミッションロッド１４が自由状態（図５Ｂ参
照）となると、これに連動して３個の三角形状のクラン
プレバー８aが各々の支点８a1を軸として右方向へ回動
する結果、対応する３個のウエハクランプピン８as、８
bs、８csが対応するピンガイド孔２a、２b、２cに案内
されながら内側方向へ移動する。これによれば、カム４
の回転と連動して３個のウエハクランプピン８as、８b
s、８csの位置はカム回転軸４ｇから同心円状の周接円
（図４Ｃ参照）位置に移動する。従って、トラスミッシ
ョンロッド１４を自由状態とするとき、及びプッシュ状
態とするときの如何なる段階においても、ウエハ１の中
心位置が一定した状態でウエハラッチ又はウエハアンラ
ッチすることが可能となる大きな利点が得られる。
心点であるカム回転軸４ｇを軸として自由に回転可能な
円板状の形状であり、且つ、所定の位置に４つの遊動孔
４a、４b、４c、４dを備える。３つの遊動孔４a、４b、
４cは長円形の長孔が形成されていて、対応するクラン
プレバー８a、８b、８cに備えるテーパ状円柱のウエハ
クランプピン８as、８bs、８csが力点となるように遊動
可能に嵌入されていて、カム４の回転と連動して３個の
クランプレバー８a、８b、８cを回動させることができ
る。トラスミッションロッド１４が自由状態（図５Ｂ参
照）となると、これに連動して３個の三角形状のクラン
プレバー８aが各々の支点８a1を軸として右方向へ回動
する結果、対応する３個のウエハクランプピン８as、８
bs、８csが対応するピンガイド孔２a、２b、２cに案内
されながら内側方向へ移動する。これによれば、カム４
の回転と連動して３個のウエハクランプピン８as、８b
s、８csの位置はカム回転軸４ｇから同心円状の周接円
（図４Ｃ参照）位置に移動する。従って、トラスミッシ
ョンロッド１４を自由状態とするとき、及びプッシュ状
態とするときの如何なる段階においても、ウエハ１の中
心位置が一定した状態でウエハラッチ又はウエハアンラ
ッチすることが可能となる大きな利点が得られる。
【００４０】残りの１つの遊動孔４dは長円形の長孔が
形成されていて、トラスミッションロッド１４のトラス
ミッションアーム１４ｂの先端に備えるテーパ状円柱の
ピンである遊動孔４dが遊動可能に嵌入する孔であっ
て、トラスミッションロッド１４のプッシュ動作によ
り、カム４は左方向へ所定量回動できる。この結果、ウ
エハ１をウエハラッチ状態からウエハアンラッチ状態に
することができる。
形成されていて、トラスミッションロッド１４のトラス
ミッションアーム１４ｂの先端に備えるテーパ状円柱の
ピンである遊動孔４dが遊動可能に嵌入する孔であっ
て、トラスミッションロッド１４のプッシュ動作によ
り、カム４は左方向へ所定量回動できる。この結果、ウ
エハ１をウエハラッチ状態からウエハアンラッチ状態に
することができる。
【００４１】３個のクランプレバー８a、８b、８cは、
回動可能な三角状の板材であって、各々備えるウエハク
ランプピン８as、８bs、８csによって上面側でウエハ１
を３点で挟むようにして保持する。１つのクランプレバ
ー８aには、３カ所の支点があり、支点８a1と遊動ピン
８a2とウエハクランプピン８asとを備える。支点８a1は
この支点位置で回動可能に固定される。遊動ピン８a2は
長孔が形成されている遊動孔４aへ遊動可能に嵌入され
ている。ウエハクランプピン８asは長いテーパ状円柱の
ピンであり、上面側でウエハ１を保持できるように、上
面側まで突き出ている。更に、このウエハクランプピン
８asは、本体ベースに形成されている楕円状の長孔のピ
ンガイド孔２aへ遊動可能に嵌入されている。上記上面
側へ突出している３つのウエハクランプピン８as、８b
s、８csによってウエハ１を３点で挟むように保持す
る。これによれば、カム４の回動に連動して移動するウ
エハクランプピン８as、８bs、８csがどの段階にあって
も、カム回転軸４ｇから同心円状の周接円（例えば、図
４Ｃ参照、図５Ｄ参照）位置に存在できることとなる。
回動可能な三角状の板材であって、各々備えるウエハク
ランプピン８as、８bs、８csによって上面側でウエハ１
を３点で挟むようにして保持する。１つのクランプレバ
ー８aには、３カ所の支点があり、支点８a1と遊動ピン
８a2とウエハクランプピン８asとを備える。支点８a1は
この支点位置で回動可能に固定される。遊動ピン８a2は
長孔が形成されている遊動孔４aへ遊動可能に嵌入され
ている。ウエハクランプピン８asは長いテーパ状円柱の
ピンであり、上面側でウエハ１を保持できるように、上
面側まで突き出ている。更に、このウエハクランプピン
８asは、本体ベースに形成されている楕円状の長孔のピ
ンガイド孔２aへ遊動可能に嵌入されている。上記上面
側へ突出している３つのウエハクランプピン８as、８b
s、８csによってウエハ１を３点で挟むように保持す
る。これによれば、カム４の回動に連動して移動するウ
エハクランプピン８as、８bs、８csがどの段階にあって
も、カム回転軸４ｇから同心円状の周接円（例えば、図
４Ｃ参照、図５Ｄ参照）位置に存在できることとなる。
【００４２】上述構成によれば、３個のウエハクランプ
ピン８as、８bs、８csはカム回転軸４ｇを軸とした同心
円状の周接円の位置に存在できる結果、第１に、トラス
ミッションロッド１４を駆動してウエハアンラッチ状態
にしておき、ウエハロボットアーム１１２により搬送さ
れてきたウエハ１をカム４の中心位置に置くことができ
る。第２に、トラスミッションロッド１４を駆動解除す
ることで、中心位置に置かれたウエハ１をその位置状態
のままで、３カ所のウエハクランプピン８as、８bs、８
csによりウエハ１の直径に対応した位置で保持してウエ
ハラッチ状態にすることができる。この結果、ウエハサ
イズが異なっても、ウエハ１の中心位置はほとんど定位
置の状態にできる。第３に、この保持状態のウエハ搬送
用キャリア６０がメインチャンバ１５０のステージ１６
０へ移動してウエハの測定評価や処理等が行われた後、
サブチャンバ８０に戻ってきて、ウエハロボットアーム
１１２により外部へ搬送するとき、ウエハ１はほとんど
中心位置に置かれた元々の位置状態なので、そのままロ
ボット１１０でピックアップして外部へ搬送できる。従
って、ウエハサイズにかかわらず中心位置にウエハが存
在できることとなる。この結果、ロード／アンロードに
おけるウエハの位置関係がウエハのサイズにかかわらず
常に一定した位置でウエハを掴むことができる結果、ウ
エハサイズが異なる場合でも同一の機構でそのまま適用
可能な構造のウエハ搬送用の位置決め固定装置が実現で
きる。これに伴い、ウエハロボットアーム１１２による
ウエハの保持位置をウエハサイズに対応して変更する構
造等が不要となる利点が得られる。従って、従来のよう
な、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性も同
時に解消可能なウエハ搬送用位置決め固定装置が実現で
きる。
ピン８as、８bs、８csはカム回転軸４ｇを軸とした同心
円状の周接円の位置に存在できる結果、第１に、トラス
ミッションロッド１４を駆動してウエハアンラッチ状態
にしておき、ウエハロボットアーム１１２により搬送さ
れてきたウエハ１をカム４の中心位置に置くことができ
る。第２に、トラスミッションロッド１４を駆動解除す
ることで、中心位置に置かれたウエハ１をその位置状態
のままで、３カ所のウエハクランプピン８as、８bs、８
csによりウエハ１の直径に対応した位置で保持してウエ
ハラッチ状態にすることができる。この結果、ウエハサ
イズが異なっても、ウエハ１の中心位置はほとんど定位
置の状態にできる。第３に、この保持状態のウエハ搬送
用キャリア６０がメインチャンバ１５０のステージ１６
０へ移動してウエハの測定評価や処理等が行われた後、
サブチャンバ８０に戻ってきて、ウエハロボットアーム
１１２により外部へ搬送するとき、ウエハ１はほとんど
中心位置に置かれた元々の位置状態なので、そのままロ
ボット１１０でピックアップして外部へ搬送できる。従
って、ウエハサイズにかかわらず中心位置にウエハが存
在できることとなる。この結果、ロード／アンロードに
おけるウエハの位置関係がウエハのサイズにかかわらず
常に一定した位置でウエハを掴むことができる結果、ウ
エハサイズが異なる場合でも同一の機構でそのまま適用
可能な構造のウエハ搬送用の位置決め固定装置が実現で
きる。これに伴い、ウエハロボットアーム１１２による
ウエハの保持位置をウエハサイズに対応して変更する構
造等が不要となる利点が得られる。従って、従来のよう
な、ウエハエッジがこすれたりして損傷する可能性も同
時に解消可能なウエハ搬送用位置決め固定装置が実現で
きる。
【００４３】尚、本発明の技術的思想は、上述実施の形
態の具体構成例、接続形態例に限定されるものではな
い。更に、本発明の技術的思想に基づき、上述実施の形
態を適宜変形して広汎に応用してもよい。例えば、上述
実施例では、３組のウエハクランプ手段とした具体例で
あったが、所望により４組のウエハクランプ手段で構成
しても良い。
態の具体構成例、接続形態例に限定されるものではな
い。更に、本発明の技術的思想に基づき、上述実施の形
態を適宜変形して広汎に応用してもよい。例えば、上述
実施例では、３組のウエハクランプ手段とした具体例で
あったが、所望により４組のウエハクランプ手段で構成
しても良い。
【００４４】また、３個のウエハクランプピン８asを、
カム回転軸４ｇに対して常に周接円となるように移動さ
せる機構として、三角形のクランプレバー８a、８b、８
cを適用した具体例であったが、周接円となるようにウ
エハを保持できる他のウエハクランプピン移動手段で実
現しても良い。
カム回転軸４ｇに対して常に周接円となるように移動さ
せる機構として、三角形のクランプレバー８a、８b、８
cを適用した具体例であったが、周接円となるようにウ
エハを保持できる他のウエハクランプピン移動手段で実
現しても良い。
【００４５】
【発明の効果】本発明は、上述の説明内容からして、下
記に記載される効果を奏する。上述説明したように本発
明によれば、３個のウエハクランプピン８as、８bs、８
csはカム回転軸４ｇを軸とした同心円状の周接円となる
ように移動できる構造を備える結果、ウエハサイズにか
かわらず中心位置でウエハをロード／アンロードするこ
とが可能となる結果、ウエハサイズが異なる場合でも同
一の機構でそのまま適用可能な構造のウエハ搬送用の位
置決め固定装置が実現できる。また、ウエハサイズが異
なっても同一の機構でそのまま適用可能となる利点が得
られる。また、従来のように、ウエハエッジがこすれた
りしてウエハ端部が損傷する可能性も解消できる。更
に、従来のように、ウエハサイズに対応してウエハクラ
ンプ機構の配設位置を変更／交換したりする煩わしさも
解消できる利点が得られる。従って、本発明の技術的効
果は大であり、産業上の経済効果も大である。
記に記載される効果を奏する。上述説明したように本発
明によれば、３個のウエハクランプピン８as、８bs、８
csはカム回転軸４ｇを軸とした同心円状の周接円となる
ように移動できる構造を備える結果、ウエハサイズにか
かわらず中心位置でウエハをロード／アンロードするこ
とが可能となる結果、ウエハサイズが異なる場合でも同
一の機構でそのまま適用可能な構造のウエハ搬送用の位
置決め固定装置が実現できる。また、ウエハサイズが異
なっても同一の機構でそのまま適用可能となる利点が得
られる。また、従来のように、ウエハエッジがこすれた
りしてウエハ端部が損傷する可能性も解消できる。更
に、従来のように、ウエハサイズに対応してウエハクラ
ンプ機構の配設位置を変更／交換したりする煩わしさも
解消できる利点が得られる。従って、本発明の技術的効
果は大であり、産業上の経済効果も大である。
【図１】従来の、ロボットのアームによりウエハがウエ
ハ搬送用キャリアの中央部へ置かれた後、所定に位置決
めする様子を示す概念構成図の上面図と側面図。
ハ搬送用キャリアの中央部へ置かれた後、所定に位置決
めする様子を示す概念構成図の上面図と側面図。
【図２】サブチャンバのキャリアへウエハを乗せて固定
する周辺装置の概念構成図。
する周辺装置の概念構成図。
【図３】本発明の、ウエハ搬送用の位置決め固定装置の
概念を示す上面図と側面図。
概念を示す上面図と側面図。
【図４】本発明の、ウエハ搬送用の位置決め固定装置の
ウエハアンラッチ状態を示す裏面図。
ウエハアンラッチ状態を示す裏面図。
【図５】本発明の、ウエハ搬送用の位置決め固定装置の
ウエハラッチ状態を示す裏面図。
ウエハラッチ状態を示す裏面図。
１，１ａ，１ｂ ウエハ
２a，２b，２c ピンガイド孔
４ カム
４a，４b，４c，４d 遊動孔
４ｇ カム回転軸
６ コイルスプリング
８a，８b，８c クランプレバー
８as，８bs，８cs ウエハクランプピン
１０ ラッチ／アンラッチシリンダ
１４ トラスミッションロッド
１４ｂ トラスミッションアーム
６０ ウエハ搬送用キャリア（ウエハキャリア）
７０ キャリアローダ
８０ サブチャンバ
９０ サブゲートバルブ
１１０ ウエハローダ（ロボット）
１１２ ウエハロボットアーム
１４０ メインゲートバルブ
１５０ メインチャンバ
１６０ ＸＹＺ軸ステージ（ステージ）
【手続補正書】
【提出日】平成１３年１０月１９日（２００１．１０．
１９）
１９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
Claims (11)
- 【請求項１】 ウエハ搬送用キャリアへウエハ径の異な
るウエハを搭載して所定に位置決めして固定保持するウ
エハ搬送用の位置決め固定装置において、 ウエハサイズの違いに係わらずウエハの中心位置を基準
とする円周上の位置でウエハが固定保持できるように、
ウエハを保持するウエハクランプピンを移動させること
ができるウエハクランプピン移動手段を備える、ことを
特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項２】 該ウエハクランプピン移動手段は、カム
と、ウエハクランプピンを備える少なくとも３個のクラ
ンプレバーと、コイルスプリングと、トラスミッション
ロッドとを備える、ことを特徴とする請求項１記載のウ
エハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項３】 ウエハ搬送用キャリアへウエハ径の異な
るウエハを搭載して所定に位置決めして固定保持するウ
エハ搬送用の位置決め固定装置において、 カムと３個のクランプレバーとコイルスプリングとトラ
スミッションロッドとを備え、 ウエハ搬送用キャリアの本体ベースには所定の楕円状の
長孔とする該ウエハクランプピンを嵌入する３個のピン
ガイド孔が形成され、 該カムはウエハ搬送用キャリアの裏面に配設して備える
円板状の回転体であり、円板の中心を回転軸として回転
でき、所定の円周上の３カ所に長孔の遊動孔を形成し、 ３個の該クランプレバーはウエハ搬送用キャリアの裏面
に配設して備える三角形状の板材であり、且つ所定の３
カ所で力が作用する力点を備え、第１の力点にはウエハ
搬送用キャリアの本体ベースに回動可能に支持されて回
転軸となる支点を備え、第２の力点には該カムに形成さ
れている対応する遊動孔へ遊動可能に嵌入される円柱状
の遊動ピンを備え、第３の力点には該クランプレバー自
身に固定されてウエハ搬送用キャリアの上面側へ貫通し
てウエハを保持できるテーパ状円柱のピンであるウエハ
クランプピンを備え、 該コイルスプリングは該カムを所定の回転方向へ回動さ
せるスプリング力を与え、且つウエハ搬送用キャリアの
上面側でウエハを保持できる所定の係止力を付与でき、 該トラスミッションロッドは該スプリング力に反して、
該カムを逆の回転方向へ回動させてウエハの固定保持状
態を開放状態にできる構造を備え、 以上を具備することを特徴とするウエハ搬送用の位置決
め固定装置。 - 【請求項４】 ウエハ搬送用キャリアの本体ベースに該
ウエハクランプピンを嵌入して、当該ウエハクランプピ
ンの移動を案内する所定に形成された楕円状長孔とする
所定複数個のピンガイド孔を備える、ことを特徴とする
請求項１、２又は３記載のウエハ搬送用の位置決め固定
装置。 - 【請求項５】 請求項３記載のウエハ搬送用の位置決め
固定装置はカムの回動に伴って３個の該遊動孔に嵌入さ
れているクランプレバーの該遊動ピンに駆動されて３個
の該クランプレバーが回動し、前記回動に伴って該ピン
ガイド孔に嵌入されている３個の該ウエハクランプピン
の各々がカムの回転軸を中心とする周接円となる位置に
移動することで、ウエハサイズの違いに係わらずカムの
回転軸を中心とする位置でウエハを固定保持若しくは開
放するラッチ状態／開放状態にすることができる、こと
を特徴とするウエハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項６】 該カムは、ウエハ搬送用キャリアの裏面
に配設される円板状の形状であり、当該カムの回転軸を
中心として回転可能であり、所定の位置に該クランプレ
バーを回動させる所定数の遊動孔を備える、ことを特徴
とする請求項２又は３記載のウエハ搬送用の位置決め固
定装置。 - 【請求項７】 該遊動孔は、長円形の長孔が形成されて
いて、対応するクランプレバーに備えるテーパ状円柱の
ウエハクランプピンが力点となるように遊動可能に嵌入
されていて、該カムの回転と連動して所定複数個のクラ
ンプレバーを回動させる、ことを特徴とする請求項３記
載のウエハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項８】 該クランプレバーは、回動可能な三角状
の板材であって、当該クランプレバーに備えるウエハク
ランプピンによってウエハを３点で挟むようにして保持
する、ことを特徴とする請求項２、３、６又は７記載の
ウエハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項９】 該ウエハクランプピンは、ウエハ搬送用
キャリアの本体ベースに所定に形成された楕円状長孔の
所定複数個のピンガイド孔に沿って移動する、ことを特
徴とする請求項１、２、３、４、７又は８記載のウエハ
搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項１０】 該コイルスプリングは、該カムに常に
回転力を付与して、該クランプレバーに備えるウエハク
ランプピンによってウエハを所定複数点で挟むようにし
てラッチ保持する、ことを特徴とする請求項２又は３記
載のウエハ搬送用の位置決め固定装置。 - 【請求項１１】 該トラスミッションロッドは、外部か
らのアンラッチ駆動を受けたとき、該カムを該コイルス
プリングの回転力方向とは逆方向に所定量回動させて、
ウエハを保持している該ウエハクランプピンを外側方向
へ開きながら移動させてウエハを開放する、ことを特徴
とする請求項２又は３記載のウエハ搬送用の位置決め固
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001252503A JP4603209B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | ウエハ搬送用の位置決め固定装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001252503A JP4603209B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | ウエハ搬送用の位置決め固定装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003068830A true JP2003068830A (ja) | 2003-03-07 |
| JP4603209B2 JP4603209B2 (ja) | 2010-12-22 |
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| JP2001252503A Expired - Fee Related JP4603209B2 (ja) | 2001-08-23 | 2001-08-23 | ウエハ搬送用の位置決め固定装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007525591A (ja) * | 2003-04-18 | 2007-09-06 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 複数の化学物質メッキシステム |
| US7670465B2 (en) | 2002-07-24 | 2010-03-02 | Applied Materials, Inc. | Anolyte for copper plating |
| JP2010258288A (ja) * | 2009-04-27 | 2010-11-11 | Sanyo Electric Co Ltd | 固定治具およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
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-
2001
- 2001-08-23 JP JP2001252503A patent/JP4603209B2/ja not_active Expired - Fee Related
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