JPH0989982A - Ｉｃハンドラ - Google Patents
ＩｃハンドラInfo
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- JPH0989982A JPH0989982A JP7251044A JP25104495A JPH0989982A JP H0989982 A JPH0989982 A JP H0989982A JP 7251044 A JP7251044 A JP 7251044A JP 25104495 A JP25104495 A JP 25104495A JP H0989982 A JPH0989982 A JP H0989982A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ロット間でのＩＣの混入を防止しながら複数
のロットのＩＣを連続的に測定する。 【解決手段】 ＩＣ供給部１は、第１のロットのＩＣを
収容する第１の供給ストッカ２Ａと、第２のロットのＩ
Ｃを収容する第２の供給ストッカ２Ｂとを有する。ＩＣ
収納部９は、第１のロットのＩＣを収納する第１の分類
ストッカ群１０Ａと、第２のロットのＩＣを収納する第
２のストッカ群１０Ｂとを有する。第１の供給ストッカ
２Ａに収容されたＩＣは順次測定部６で測定された後
に、ＩＣ搬送装置８によって第１の分類ストッカ群１０
Ａに搬送され、測定結果に基づき第１の分類ストッカ１
０Ａの所定のストッカに収納される。第１の供給ストッ
カ２Ａに収容された全ＩＣの測定が終了すると、引続き
第２の供給ストッカ２ＢのＩＣが測定部６で測定され、
ＩＣ搬送装置８によって第２の分類ストッカ群１０Ｂに
搬送され、測定結果に基づき第２の分類ストッカ１０Ｂ
の所定のストッカに収納される。
のロットのＩＣを連続的に測定する。 【解決手段】 ＩＣ供給部１は、第１のロットのＩＣを
収容する第１の供給ストッカ２Ａと、第２のロットのＩ
Ｃを収容する第２の供給ストッカ２Ｂとを有する。ＩＣ
収納部９は、第１のロットのＩＣを収納する第１の分類
ストッカ群１０Ａと、第２のロットのＩＣを収納する第
２のストッカ群１０Ｂとを有する。第１の供給ストッカ
２Ａに収容されたＩＣは順次測定部６で測定された後
に、ＩＣ搬送装置８によって第１の分類ストッカ群１０
Ａに搬送され、測定結果に基づき第１の分類ストッカ１
０Ａの所定のストッカに収納される。第１の供給ストッ
カ２Ａに収容された全ＩＣの測定が終了すると、引続き
第２の供給ストッカ２ＢのＩＣが測定部６で測定され、
ＩＣ搬送装置８によって第２の分類ストッカ群１０Ｂに
搬送され、測定結果に基づき第２の分類ストッカ１０Ｂ
の所定のストッカに収納される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣ供給部からＩ
Ｃを測定部に搬送し、そこでＩＣの電気的な特性を測定
した後にその測定結果に基づきそのＩＣをＩＣ収納部に
分類収納するＩＣハンドラに関する。
Ｃを測定部に搬送し、そこでＩＣの電気的な特性を測定
した後にその測定結果に基づきそのＩＣをＩＣ収納部に
分類収納するＩＣハンドラに関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣハンドラはＩＣ製造現場において広
く使用されている。図２は従来のＩＣハンドラを示した
もので、ＩＣ供給部１はＩＣを収容する複数個の供給ス
トッカ２を有する。ＩＣ搬送装置３はＩＣを真空吸着す
る真空吸着部３ａを有し、ＩＣ供給部１の供給ストッカ
２からＩＣを真空吸着部３ａで保持して測定前ＩＣバッ
ファ部４に搬送する。この測定前ＩＣバッファ部４はＩ
Ｃ搬送装置３によって搬送されたＩＣを一時的に保持す
る。
く使用されている。図２は従来のＩＣハンドラを示した
もので、ＩＣ供給部１はＩＣを収容する複数個の供給ス
トッカ２を有する。ＩＣ搬送装置３はＩＣを真空吸着す
る真空吸着部３ａを有し、ＩＣ供給部１の供給ストッカ
２からＩＣを真空吸着部３ａで保持して測定前ＩＣバッ
ファ部４に搬送する。この測定前ＩＣバッファ部４はＩ
Ｃ搬送装置３によって搬送されたＩＣを一時的に保持す
る。
【０００３】ＩＣ搬送装置５は二つの真空吸着部５ａ、
５ｂを有し、この真空吸着部５ａは測定前ＩＣバッファ
部４のＩＣを真空吸着して測定部６に搬送する。この測
定部６は搬送されたＩＣの電気的な特性を測定する。Ｉ
Ｃ搬送装置５の真空吸着部５ｂは測定部６で測定された
ＩＣを真空吸着して測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
る。なお、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５ａによる測
定前ＩＣの搬送と真空吸着部５ｂによる測定後ＩＣの搬
送とを同時に行う。
５ｂを有し、この真空吸着部５ａは測定前ＩＣバッファ
部４のＩＣを真空吸着して測定部６に搬送する。この測
定部６は搬送されたＩＣの電気的な特性を測定する。Ｉ
Ｃ搬送装置５の真空吸着部５ｂは測定部６で測定された
ＩＣを真空吸着して測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
る。なお、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５ａによる測
定前ＩＣの搬送と真空吸着部５ｂによる測定後ＩＣの搬
送とを同時に行う。
【０００４】ＩＣ搬送装置８は真空吸着部８ａを有し、
測定後ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着部８ａによっ
て真空吸着してＩＣ収納部９に搬送する。このＩＣ収納
部９は、複数のＩＣ分類ストッカ１０と空トレー用スト
ッカ１１と有する。トレー搬送手段１２はＩＣ供給部１
で生ずる空トレーを空トレー用ストッカ１１に搬送する
と共に、この空トレー用ストッカ１１から空トレーをＩ
Ｃ分類ストッカ１０に搬送する。
測定後ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着部８ａによっ
て真空吸着してＩＣ収納部９に搬送する。このＩＣ収納
部９は、複数のＩＣ分類ストッカ１０と空トレー用スト
ッカ１１と有する。トレー搬送手段１２はＩＣ供給部１
で生ずる空トレーを空トレー用ストッカ１１に搬送する
と共に、この空トレー用ストッカ１１から空トレーをＩ
Ｃ分類ストッカ１０に搬送する。
【０００５】ＩＣの製造工程においては、品質管理の点
からＩＣを製造年月日や製造条件等によってグループ分
けして、ロット単位で各工程の作業が行われる。従っ
て、ＩＣハンドラにあっても、測定は各ロットごとに行
われる。作業者が一つのロットのＩＣをＩＣ供給部１の
供給ストッカ２に収容すると、このＩＣはＩＣ搬送装置
３によって測定前ＩＣバッファ部４に搬送される。測定
前ＩＣバッファ部４に搬送されたＩＣは、ＩＣ搬送装置
５の真空吸着部５ａによって測定部６に搬送され、ここ
で電気的特性が測定される。この測定されたＩＣはＩＣ
搬送装置５の真空吸着部５ｂによって測定後ＩＣバッフ
ァ部７に搬送され、これと同時に真空吸着部５ａが次の
ＩＣを測定前ＩＣバッファ部４から測定部６に搬送す
る。測定後ＩＣバッファ部７に搬送されたＩＣは、ＩＣ
搬送装置８によって測定部６の測定結果に基づきＩＣ収
納部９の指定のＩＣ分類ストッカ１０に収納される。
からＩＣを製造年月日や製造条件等によってグループ分
けして、ロット単位で各工程の作業が行われる。従っ
て、ＩＣハンドラにあっても、測定は各ロットごとに行
われる。作業者が一つのロットのＩＣをＩＣ供給部１の
供給ストッカ２に収容すると、このＩＣはＩＣ搬送装置
３によって測定前ＩＣバッファ部４に搬送される。測定
前ＩＣバッファ部４に搬送されたＩＣは、ＩＣ搬送装置
５の真空吸着部５ａによって測定部６に搬送され、ここ
で電気的特性が測定される。この測定されたＩＣはＩＣ
搬送装置５の真空吸着部５ｂによって測定後ＩＣバッフ
ァ部７に搬送され、これと同時に真空吸着部５ａが次の
ＩＣを測定前ＩＣバッファ部４から測定部６に搬送す
る。測定後ＩＣバッファ部７に搬送されたＩＣは、ＩＣ
搬送装置８によって測定部６の測定結果に基づきＩＣ収
納部９の指定のＩＣ分類ストッカ１０に収納される。
【０００６】以上の動作がＩＣ供給部１のＩＣが無くな
るまで繰返し行われる。作業者は全ＩＣの測定が終了す
ると、ＩＣ収納部９からＩＣを取り出すと共に、次のロ
ットのＩＣをＩＣ供給部１にセットする。
るまで繰返し行われる。作業者は全ＩＣの測定が終了す
ると、ＩＣ収納部９からＩＣを取り出すと共に、次のロ
ットのＩＣをＩＣ供給部１にセットする。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来のＩＣハンドラは、ロット間のＩＣの混入を避けるた
めに、一つのロットのＩＣの測定が完全に終了し、ＩＣ
収納部からそのロットのＩＣを取出した後に、次のロッ
トのＩＣをＩＣ供給部にセットする。従って、従来のＩ
Ｃハンドラは、各ロット間で必ずＩＣハンドラが所定時
間、停止するため、稼働率が低下するといった問題があ
る。特に、近年はＩＣの製造は多品種少量生産の傾向が
強く、一ロット内のＩＣの数量が少なくなっているた
め、ＩＣハンドラの稼働を頻繁に停止する必要が生じ、
稼働率の低下は著しく、一層大きな問題になってきてい
る。そこで、本発明の目的はロット間でのＩＣの混入を
防止しながら複数のロットのＩＣを連続的に測定するこ
とができるＩＣハンドラを提供することにある。
来のＩＣハンドラは、ロット間のＩＣの混入を避けるた
めに、一つのロットのＩＣの測定が完全に終了し、ＩＣ
収納部からそのロットのＩＣを取出した後に、次のロッ
トのＩＣをＩＣ供給部にセットする。従って、従来のＩ
Ｃハンドラは、各ロット間で必ずＩＣハンドラが所定時
間、停止するため、稼働率が低下するといった問題があ
る。特に、近年はＩＣの製造は多品種少量生産の傾向が
強く、一ロット内のＩＣの数量が少なくなっているた
め、ＩＣハンドラの稼働を頻繁に停止する必要が生じ、
稼働率の低下は著しく、一層大きな問題になってきてい
る。そこで、本発明の目的はロット間でのＩＣの混入を
防止しながら複数のロットのＩＣを連続的に測定するこ
とができるＩＣハンドラを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明は、ＩＣを収容するＩＣ供給部と、上記ＩＣ供
給部に収容された上記ＩＣを搬送する第１のＩＣ搬送手
段と、上記第１のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣの電気的な特性を測定する測定部と、上記測定部に
よって測定された上記ＩＣを搬送する第２のＩＣ搬送手
段と、上記第２のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣを上記測定部の測定結果に基づいて分類して収納す
るＩＣ収納部とを具備するＩＣハンドラにおいて、上記
ＩＣ供給部は第１のロットのＩＣを収容する第１の供給
ストッカと第２のロットのＩＣを収容する第２の供給ス
トッカとを少なくとも有し、上記ＩＣ収納部は上記第１
のロットのＩＣを分類収納する第１の分類ストッカ群と
上記第２のロットのＩＣを分類収納する第２の分類スト
ッカ群とを少なくとも具備することを特徴とするもので
ある。
に本発明は、ＩＣを収容するＩＣ供給部と、上記ＩＣ供
給部に収容された上記ＩＣを搬送する第１のＩＣ搬送手
段と、上記第１のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣの電気的な特性を測定する測定部と、上記測定部に
よって測定された上記ＩＣを搬送する第２のＩＣ搬送手
段と、上記第２のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣを上記測定部の測定結果に基づいて分類して収納す
るＩＣ収納部とを具備するＩＣハンドラにおいて、上記
ＩＣ供給部は第１のロットのＩＣを収容する第１の供給
ストッカと第２のロットのＩＣを収容する第２の供給ス
トッカとを少なくとも有し、上記ＩＣ収納部は上記第１
のロットのＩＣを分類収納する第１の分類ストッカ群と
上記第２のロットのＩＣを分類収納する第２の分類スト
ッカ群とを少なくとも具備することを特徴とするもので
ある。
【０００９】このような構成にあっては、上記第１のＩ
Ｃ搬送手段は上記第１の供給ストッカに収容された上記
ＩＣを上記測定部に連続的に搬送し全部のＩＣの搬送終
了後に、引続き上記第２の供給ストッカに収容された上
記ＩＣを連続的に搬送することが望ましい。
Ｃ搬送手段は上記第１の供給ストッカに収容された上記
ＩＣを上記測定部に連続的に搬送し全部のＩＣの搬送終
了後に、引続き上記第２の供給ストッカに収容された上
記ＩＣを連続的に搬送することが望ましい。
【００１０】ＩＣ供給部の第１の供給ストッカには第１
のロットのＩＣが収容され、第２の供給ストッカには第
２のロットのＩＣが収容される。第１の供給ストッカの
ＩＣは第１のＩＣ搬送手段によって順次連続的に測定部
に搬送され、そこで電気的な特性が測定される。この測
定されたＩＣは、第２のＩＣ搬送手段によって搬送さ
れ、測定部の測定結果に基づいて分類され第１のストッ
カ群に収納される。
のロットのＩＣが収容され、第２の供給ストッカには第
２のロットのＩＣが収容される。第１の供給ストッカの
ＩＣは第１のＩＣ搬送手段によって順次連続的に測定部
に搬送され、そこで電気的な特性が測定される。この測
定されたＩＣは、第２のＩＣ搬送手段によって搬送さ
れ、測定部の測定結果に基づいて分類され第１のストッ
カ群に収納される。
【００１１】こうして第１の供給ストッカの全ＩＣが第
１の分類ストッカ群に分類収納されると、引続き、第２
の供給ストッカのＩＣが第１のＩＣ搬送手段によって順
次連続的に測定部に搬送され、そこで電気的な特性が測
定される。この測定されたＩＣは、第２のＩＣ搬送手段
によって搬送され、測定部の測定結果に基づいて分類さ
れ第２の分類ストッカ群に収納される。ＩＣ供給部は第
１のロットのＩＣを収容する第１の供給ストッカと第２
のロットのＩＣを収容する第２の供給ストッカとを有
し、ＩＣ収納部は第１のロットのＩＣを分類収容する第
１の分類ストッカ群と第２のロットのＩＣを分類収容す
る第２の分類ストッカ群とを有するので、ロット間での
ＩＣの混入を防止しながら複数のロットのＩＣを連続的
に測定することができる。
１の分類ストッカ群に分類収納されると、引続き、第２
の供給ストッカのＩＣが第１のＩＣ搬送手段によって順
次連続的に測定部に搬送され、そこで電気的な特性が測
定される。この測定されたＩＣは、第２のＩＣ搬送手段
によって搬送され、測定部の測定結果に基づいて分類さ
れ第２の分類ストッカ群に収納される。ＩＣ供給部は第
１のロットのＩＣを収容する第１の供給ストッカと第２
のロットのＩＣを収容する第２の供給ストッカとを有
し、ＩＣ収納部は第１のロットのＩＣを分類収容する第
１の分類ストッカ群と第２のロットのＩＣを分類収容す
る第２の分類ストッカ群とを有するので、ロット間での
ＩＣの混入を防止しながら複数のロットのＩＣを連続的
に測定することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下本発明によるＩＣハンドラの
実施形態を図２と同部分には同一符号を付して示した図
１を参照して説明する。図１において、ＩＣ供給部１
は、第１のロットのＩＣを収容する第１の供給ストッカ
２Ａと、第２のロットのＩＣを収容する第２の供給スト
ッカ２Ｂとを有する。これらの第１及び第２の供給スト
ッカ２Ａ、２Ｂは左右に並置され、夫々独立に前方に引
き出し可能に構成されている。ＩＣ搬送装置３は、ＩＣ
を真空吸着する真空吸着部３ａを有し、ＩＣ供給部１の
第１及び第２の供給ストッカ２Ａ、２ＢのＩＣを真空吸
着部３ａで保持して、測定前ＩＣバッファ部４に搬送す
る。この測定前ＩＣバッファ部４はＩＣ搬送装置３によ
って搬送されたＩＣを一時的に保持する。
実施形態を図２と同部分には同一符号を付して示した図
１を参照して説明する。図１において、ＩＣ供給部１
は、第１のロットのＩＣを収容する第１の供給ストッカ
２Ａと、第２のロットのＩＣを収容する第２の供給スト
ッカ２Ｂとを有する。これらの第１及び第２の供給スト
ッカ２Ａ、２Ｂは左右に並置され、夫々独立に前方に引
き出し可能に構成されている。ＩＣ搬送装置３は、ＩＣ
を真空吸着する真空吸着部３ａを有し、ＩＣ供給部１の
第１及び第２の供給ストッカ２Ａ、２ＢのＩＣを真空吸
着部３ａで保持して、測定前ＩＣバッファ部４に搬送す
る。この測定前ＩＣバッファ部４はＩＣ搬送装置３によ
って搬送されたＩＣを一時的に保持する。
【００１３】ＩＣ搬送装置５は二つの真空吸着部５ａ、
５ｂを有し、この真空吸着部５ａは測定前ＩＣバッファ
部４のＩＣを真空吸着して測定部６に搬送する。この測
定部６は搬送されたＩＣの電気的な特性を測定する。Ｉ
Ｃ搬送装置５の真空吸着部５ｂは測定部６で測定された
ＩＣを真空吸着して測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
る。なお、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５ａによる測
定前ＩＣの搬送と真空吸着部５ｂによる測定後ＩＣの搬
送とを同時に行う。
５ｂを有し、この真空吸着部５ａは測定前ＩＣバッファ
部４のＩＣを真空吸着して測定部６に搬送する。この測
定部６は搬送されたＩＣの電気的な特性を測定する。Ｉ
Ｃ搬送装置５の真空吸着部５ｂは測定部６で測定された
ＩＣを真空吸着して測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
る。なお、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５ａによる測
定前ＩＣの搬送と真空吸着部５ｂによる測定後ＩＣの搬
送とを同時に行う。
【００１４】ＩＣ搬送装置８は真空吸着部８ａを有し、
測定後ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着部８ａによっ
て真空吸着してＩＣ収納部９に搬送する。このＩＣ収納
部９は、第１の供給ストッカ２Ａに収容された第１のロ
ットのＩＣを収納する第１の分類ストッカ群１０Ａと、
第２の供給ストッカ２Ｂに収容された第２のロットのＩ
Ｃを収納する第２の分類ストッカ群１０Ｂと、空トレー
用ストッカ１１とを有する。第１及び第２の分類ストッ
カ群１０Ａ、１０Ｂの各々は、測定部６で測定された測
定結果によって決定される分類数に応じた数のストッカ
から構成される。これらの第１及び第２の分類ストッカ
群１０Ａ、１０Ｂ及び空トレー用ストッカ１１は互いに
並置され、前方に引き出し可能に構成されている。トレ
ー搬送手段１２はＩＣ供給部１で生ずる空トレーを空ト
レー用ストッカ１１に搬送すると共に、この空トレー用
ストッカ１１から空トレーを第１及び第２のＩＣ分類ス
トッカ群１０Ａ、１０Ｂに搬送する。
測定後ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着部８ａによっ
て真空吸着してＩＣ収納部９に搬送する。このＩＣ収納
部９は、第１の供給ストッカ２Ａに収容された第１のロ
ットのＩＣを収納する第１の分類ストッカ群１０Ａと、
第２の供給ストッカ２Ｂに収容された第２のロットのＩ
Ｃを収納する第２の分類ストッカ群１０Ｂと、空トレー
用ストッカ１１とを有する。第１及び第２の分類ストッ
カ群１０Ａ、１０Ｂの各々は、測定部６で測定された測
定結果によって決定される分類数に応じた数のストッカ
から構成される。これらの第１及び第２の分類ストッカ
群１０Ａ、１０Ｂ及び空トレー用ストッカ１１は互いに
並置され、前方に引き出し可能に構成されている。トレ
ー搬送手段１２はＩＣ供給部１で生ずる空トレーを空ト
レー用ストッカ１１に搬送すると共に、この空トレー用
ストッカ１１から空トレーを第１及び第２のＩＣ分類ス
トッカ群１０Ａ、１０Ｂに搬送する。
【００１５】次に、上述した本発明の実施形態の作用を
説明する。作業者は、一つのロットのＩＣを第１及び第
２の供給ストッカ２Ａ、２Ｂの一方、例えば第１の供給
ストッカ２Ａに収容した後に、ＩＣハンドラを始動す
る。第２の供給ストッカ２Ｂには、次のロットのＩＣを
収容するが、その収容時期は第１の供給ストッカ２Ａに
収容した全ＩＣの測定終了前であれば、任意の時点でよ
い。
説明する。作業者は、一つのロットのＩＣを第１及び第
２の供給ストッカ２Ａ、２Ｂの一方、例えば第１の供給
ストッカ２Ａに収容した後に、ＩＣハンドラを始動す
る。第２の供給ストッカ２Ｂには、次のロットのＩＣを
収容するが、その収容時期は第１の供給ストッカ２Ａに
収容した全ＩＣの測定終了前であれば、任意の時点でよ
い。
【００１６】第１の供給ストッカ２ＡのＩＣは、ＩＣ搬
送装置３の真空吸着部３ａによって順次連続的に真空吸
着され、測定前ＩＣバッファ部４に搬送される。この測
定前ＩＣバッファ部４に搬送されたＩＣは、ＩＣ搬送装
置５の真空吸着部５ａによって真空吸着されて測定部６
に搬送され、ここで電気的な特性が測定される。この間
に、ＩＣ搬送装置３は次のＩＣを第１の供給ストッカ２
Ａから測定前ＩＣバッファ部４に搬送する。測定部６で
の測定が終了すると、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５
ｂが測定部６のＩＣを測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
ると同時に、真空吸着部５ａが測定前ＩＣバッファ部４
のＩＣを測定部６に搬送する。測定部６はこの搬送され
たＩＣについて電気特性の測定を直ちに開始する。
送装置３の真空吸着部３ａによって順次連続的に真空吸
着され、測定前ＩＣバッファ部４に搬送される。この測
定前ＩＣバッファ部４に搬送されたＩＣは、ＩＣ搬送装
置５の真空吸着部５ａによって真空吸着されて測定部６
に搬送され、ここで電気的な特性が測定される。この間
に、ＩＣ搬送装置３は次のＩＣを第１の供給ストッカ２
Ａから測定前ＩＣバッファ部４に搬送する。測定部６で
の測定が終了すると、ＩＣ搬送装置５は、真空吸着部５
ｂが測定部６のＩＣを測定後ＩＣバッファ部７に搬送す
ると同時に、真空吸着部５ａが測定前ＩＣバッファ部４
のＩＣを測定部６に搬送する。測定部６はこの搬送され
たＩＣについて電気特性の測定を直ちに開始する。
【００１７】ＩＣ搬送装置８は真空吸着部８ａが測定後
ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着して、当該ＩＣが供
給部１のどちらの供給ストッカ２Ａ、２Ｂに収容されて
いたのかに関する情報と測定結果に関する情報との両情
報に基づきＩＣ収納部９の所定のストッカに収納する。
これを詳述すると、ＩＣ搬送装置８は、測定されたＩＣ
がＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに収容されて
いた場合には、第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａを選択
し、ＩＣが第２の供給ストッカ２Ｂに収容されていた場
合には、第２のＩＣ分類ストッカ群１０Ｂを選択し、か
つその選択した第１または第２のＩＣ分類ストッカ群１
０Ａ、１０Ｂから、当該ＩＣの測定結果に基づく分類に
対応したストッカを選択する。本例では、測定されたＩ
Ｃは、ＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに収容さ
れていたので、第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａが選択
され、この第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａの中から測
定結果に基づき所定のストッカが選択され、この選択さ
れた分類ストッカに収納される。
ＩＣバッファ部７のＩＣを真空吸着して、当該ＩＣが供
給部１のどちらの供給ストッカ２Ａ、２Ｂに収容されて
いたのかに関する情報と測定結果に関する情報との両情
報に基づきＩＣ収納部９の所定のストッカに収納する。
これを詳述すると、ＩＣ搬送装置８は、測定されたＩＣ
がＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに収容されて
いた場合には、第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａを選択
し、ＩＣが第２の供給ストッカ２Ｂに収容されていた場
合には、第２のＩＣ分類ストッカ群１０Ｂを選択し、か
つその選択した第１または第２のＩＣ分類ストッカ群１
０Ａ、１０Ｂから、当該ＩＣの測定結果に基づく分類に
対応したストッカを選択する。本例では、測定されたＩ
Ｃは、ＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに収容さ
れていたので、第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａが選択
され、この第１のＩＣ分類ストッカ群１０Ａの中から測
定結果に基づき所定のストッカが選択され、この選択さ
れた分類ストッカに収納される。
【００１８】なお、測定されたＩＣがＩＣ供給部１の第
１及び第２の供給ストッカ２Ａ、２Ｂのどちらに収容さ
れていたかの情報と電気特性の測定結果の情報とは、図
示を省略した制御装置に入力されており、ＩＣ搬送装置
８は測定されたＩＣを上述の制御装置の指示によってＩ
Ｃ収納部９の所定の分類ストッカに収納する。
１及び第２の供給ストッカ２Ａ、２Ｂのどちらに収容さ
れていたかの情報と電気特性の測定結果の情報とは、図
示を省略した制御装置に入力されており、ＩＣ搬送装置
８は測定されたＩＣを上述の制御装置の指示によってＩ
Ｃ収納部９の所定の分類ストッカに収納する。
【００１９】以上の動作はＩＣ供給部１の第１の供給ス
トッカ２Ａに収容された全ＩＣについて、繰返し行われ
る。この第１の供給ストッカ２Ａの全ＩＣの測定が終了
すると、引き続いてＩＣ搬送装置３がＩＣ供給部１の第
２の供給ストッカ２Ｂから次のロットのＩＣを測定前Ｉ
Ｃバッファ部４に順次連続的に搬送して、次ロットのＩ
Ｃについて上述の全く同様に処理が行われる。この次ロ
ットの処理の間に、ＩＣ収納部９の第１の分類ストッカ
群１０Ａから前ロットのＩＣが作業者によって取り出さ
れると共に、ＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに
は、別のロットのＩＣが収容される。
トッカ２Ａに収容された全ＩＣについて、繰返し行われ
る。この第１の供給ストッカ２Ａの全ＩＣの測定が終了
すると、引き続いてＩＣ搬送装置３がＩＣ供給部１の第
２の供給ストッカ２Ｂから次のロットのＩＣを測定前Ｉ
Ｃバッファ部４に順次連続的に搬送して、次ロットのＩ
Ｃについて上述の全く同様に処理が行われる。この次ロ
ットの処理の間に、ＩＣ収納部９の第１の分類ストッカ
群１０Ａから前ロットのＩＣが作業者によって取り出さ
れると共に、ＩＣ供給部１の第１の供給ストッカ２Ａに
は、別のロットのＩＣが収容される。
【００２０】こうして、第１及び第２の供給ストッカ２
Ａ、２Ｂの一方に収容された全ＩＣの測定が終了した後
に、引続き他方の供給ストッカに収容された全ＩＣの測
定を行うので、測定作業中にＩＣがロット間で混入する
ことを防止することができると共に、複数のロットのＩ
Ｃを連続的に測定することができる。なお、以上の実施
例では、供給部１には第１及び第２の供給ストッカ２
Ａ、２Ｂを設置し、収納部９にも第１及び第２の分類ス
トッカ群１０Ａ、１０Ｂを設置したが、必要に応じて更
に供給ストッカ及び分類ストッカ群の個数を増加するこ
とができる。
Ａ、２Ｂの一方に収容された全ＩＣの測定が終了した後
に、引続き他方の供給ストッカに収容された全ＩＣの測
定を行うので、測定作業中にＩＣがロット間で混入する
ことを防止することができると共に、複数のロットのＩ
Ｃを連続的に測定することができる。なお、以上の実施
例では、供給部１には第１及び第２の供給ストッカ２
Ａ、２Ｂを設置し、収納部９にも第１及び第２の分類ス
トッカ群１０Ａ、１０Ｂを設置したが、必要に応じて更
に供給ストッカ及び分類ストッカ群の個数を増加するこ
とができる。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、ＩＣ供給部は第１のロットのＩＣを収容する第
１の供給ストッカと第２のロットのＩＣを収容する第２
の供給ストッカとを少なくとも有し、ＩＣ収納部は第１
のロットのＩＣを分類収納する第１の分類ストッカ群と
第２のロットのＩＣを分類収納する第２の分類ストッカ
群とを少なくとも具備するため、ロット間でのＩＣの混
入を防止しながら複数のロットのＩＣを連続的に測定す
ることができ、ＩＣハンドラの稼働率を大幅に向上させ
ることができる。
よれば、ＩＣ供給部は第１のロットのＩＣを収容する第
１の供給ストッカと第２のロットのＩＣを収容する第２
の供給ストッカとを少なくとも有し、ＩＣ収納部は第１
のロットのＩＣを分類収納する第１の分類ストッカ群と
第２のロットのＩＣを分類収納する第２の分類ストッカ
群とを少なくとも具備するため、ロット間でのＩＣの混
入を防止しながら複数のロットのＩＣを連続的に測定す
ることができ、ＩＣハンドラの稼働率を大幅に向上させ
ることができる。
【図１】本発明によるＩＣハンドラの実施例を概略的に
示した斜視図。
示した斜視図。
【図２】従来のＩＣハンドラの実施例を概略的に示した
斜視図。
斜視図。
１ ＩＣ供給部 ２Ａ 第１の供給ストッカ ２Ｂ 第２の供給ストッカ ３ ＩＣ搬送装置 ５ ＩＣ搬送装置 ６ 測定部 ８ ＩＣ搬送装置 ９ ＩＣ収納部 １０Ａ 第１の分類ストッカ群 １０Ｂ 第２の分類ストッカ群
Claims (2)
- 【請求項１】ＩＣを収容するＩＣ供給部と、上記ＩＣ供
給部に収容された上記ＩＣを搬送する第１のＩＣ搬送手
段と、上記第１のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣの電気的な特性を測定する測定部と、上記測定部に
よって測定された上記ＩＣを搬送する第２のＩＣ搬送手
段と、上記第２のＩＣ搬送手段によって搬送された上記
ＩＣを上記測定部の測定結果に基づいて分類して収納す
るＩＣ収納部とを具備するＩＣハンドラにおいて、上記
ＩＣ供給部は第１のロットのＩＣを収容する第１の供給
ストッカと第２のロットのＩＣを収容する第２の供給ス
トッカとを少なくとも有し、上記ＩＣ収納部は上記第１
のロットのＩＣを分類収納する第１の分類ストッカ群と
上記第２のロットのＩＣを分類収納する第２の分類スト
ッカ群とを少なくとも具備することを特徴とするＩＣハ
ンドラ。 - 【請求項２】上記第１のＩＣ搬送手段は上記第１の供給
ストッカに収容された上記ＩＣを上記測定部に連続的に
搬送し全部のＩＣの搬送終了後に、引続き上記第２の供
給ストッカに収容された上記ＩＣを連続的に搬送するこ
とを特徴とする請求項１に記載のＩＣハンドラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7251044A JPH0989982A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Ｉｃハンドラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7251044A JPH0989982A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Ｉｃハンドラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0989982A true JPH0989982A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17216785
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7251044A Pending JPH0989982A (ja) | 1995-09-28 | 1995-09-28 | Ｉｃハンドラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0989982A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100825774B1 (ko) * | 2006-03-22 | 2008-04-29 | 삼성전자주식회사 | 싱글 도어형 스토커를 갖는 핸들러 |
| JP2009505417A (ja) * | 2005-08-18 | 2009-02-05 | テクウィング．， カンパニー リミテッド | テストハンドラー |
| JP5282032B2 (ja) * | 2007-05-18 | 2013-09-04 | 株式会社アドバンテスト | トレイ格納装置、電子部品試験装置及びトレイ格納方法 |
-
1995
- 1995-09-28 JP JP7251044A patent/JPH0989982A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009505417A (ja) * | 2005-08-18 | 2009-02-05 | テクウィング．， カンパニー リミテッド | テストハンドラー |
| KR100825774B1 (ko) * | 2006-03-22 | 2008-04-29 | 삼성전자주식회사 | 싱글 도어형 스토커를 갖는 핸들러 |
| US7659711B2 (en) | 2006-03-22 | 2010-02-09 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Test handler including single-door-type stockers |
| JP5282032B2 (ja) * | 2007-05-18 | 2013-09-04 | 株式会社アドバンテスト | トレイ格納装置、電子部品試験装置及びトレイ格納方法 |
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