JPH0972806A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH0972806A JPH0972806A JP23021095A JP23021095A JPH0972806A JP H0972806 A JPH0972806 A JP H0972806A JP 23021095 A JP23021095 A JP 23021095A JP 23021095 A JP23021095 A JP 23021095A JP H0972806 A JPH0972806 A JP H0972806A
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- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 作製工数の少ない圧力センサを提供する。
【解決手段】 本発明は、センサチップ２４とこれを封
止状態で収容する収容箱体とを備え、前記センサチップ
２４が、電極部１４が形成された第１の基板と、圧力に
応じて変形するダイアフラム部１１が形成された第２の
基板とを有している。ダイアフラム部１１と電極部１４
のギャップ幅の変化によるダイアフラム部１１と電極部
１４との間の静電容量の変化によって圧力を検出する。
前記収容箱体は、キャップ部１０と台座１７とで形成さ
れている。キャップ部１０は上部に通気穴３０を有し側
部に下方に突出する凸部２７を有している。台座１７は
大気または被測定気体をセンサチップ２４の周囲に導入
するための通気路２２と連通している凹部２８を有し、
凹部２８が凸部２７と嵌合した状態でこの凸部２７と協
同して通気路２９を形成している。
止状態で収容する収容箱体とを備え、前記センサチップ
２４が、電極部１４が形成された第１の基板と、圧力に
応じて変形するダイアフラム部１１が形成された第２の
基板とを有している。ダイアフラム部１１と電極部１４
のギャップ幅の変化によるダイアフラム部１１と電極部
１４との間の静電容量の変化によって圧力を検出する。
前記収容箱体は、キャップ部１０と台座１７とで形成さ
れている。キャップ部１０は上部に通気穴３０を有し側
部に下方に突出する凸部２７を有している。台座１７は
大気または被測定気体をセンサチップ２４の周囲に導入
するための通気路２２と連通している凹部２８を有し、
凹部２８が凸部２７と嵌合した状態でこの凸部２７と協
同して通気路２９を形成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、気体の圧力を検出
する静電容量型の圧力センサに関する。
する静電容量型の圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の静電容量型の圧力センサとして、
図５乃至図７に示すものが知られている。図５は、従来
の静電容量型の圧力センサを示す斜視図である。図６
は、図５の圧力センサをＣ−Ｃ´線に沿って切断して示
す断面図である。図７は、図５の圧力センサをＤ−Ｄ´
線に沿って切断して示す断面図である。
図５乃至図７に示すものが知られている。図５は、従来
の静電容量型の圧力センサを示す斜視図である。図６
は、図５の圧力センサをＣ−Ｃ´線に沿って切断して示
す断面図である。図７は、図５の圧力センサをＤ−Ｄ´
線に沿って切断して示す断面図である。
【０００３】図５乃至図７に示すように、従来の圧力セ
ンサは、被測定圧力により変形する可動電極を構成する
ダイアフラム部３１とその下に設けたキャビティ部３２
とを有するシリコン基板３３と、固定電極３４と、大気
または被測定気体の圧力の比較となる基準圧力の基準気
体を導入する通気穴４０とを有するガラス基板３５とか
ら構成されるセンサチップ４４を備えている。
ンサは、被測定圧力により変形する可動電極を構成する
ダイアフラム部３１とその下に設けたキャビティ部３２
とを有するシリコン基板３３と、固定電極３４と、大気
または被測定気体の圧力の比較となる基準圧力の基準気
体を導入する通気穴４０とを有するガラス基板３５とか
ら構成されるセンサチップ４４を備えている。
【０００４】前記センサチップ４４には、前記固定電極
３４の引出しのために、シリコン基板３３とガラス基板
３５との間に横穴４３が形成されている。この横穴４３
は、前記キャビティ３２とセンサチップ周囲部４５とを
隔離するため封止剤４６により封止されている。センサ
チップ４４は、リード端子３６を配置したベース部とし
ての台座３７上に接着されている。前記台座３７は、樹
脂モールド成形により形成されている。
３４の引出しのために、シリコン基板３３とガラス基板
３５との間に横穴４３が形成されている。この横穴４３
は、前記キャビティ３２とセンサチップ周囲部４５とを
隔離するため封止剤４６により封止されている。センサ
チップ４４は、リード端子３６を配置したベース部とし
ての台座３７上に接着されている。前記台座３７は、樹
脂モールド成形により形成されている。
【０００５】前記リード端子３６と前記固定電極３４は
リードワイヤ３８により電気的に接続されている。前記
台座３７には台座３７の底面及び側面に沿って大気また
は基準気体を導入する通気路４１，４２が設けられてい
る。これらの通気路４１，４２は、連通されており、か
つ、前記通気穴４０とも連通されている。
リードワイヤ３８により電気的に接続されている。前記
台座３７には台座３７の底面及び側面に沿って大気また
は基準気体を導入する通気路４１，４２が設けられてい
る。これらの通気路４１，４２は、連通されており、か
つ、前記通気穴４０とも連通されている。
【０００６】また、前記台座３７には、通気路４１を形
成する際に成形金型の構成上必要である金型穴５１が形
成されるため、封止剤５２により前記金型穴５１は封止
されている。前記センサチップ２４が接着固定された台
座３７の上には、被測定気体を導入するための被測定気
体導入通路３９と、大気または基準気体を導入する基準
気体導入通路５０とを有するカバー部材としてキャップ
６０がハーメチックシールされている。
成する際に成形金型の構成上必要である金型穴５１が形
成されるため、封止剤５２により前記金型穴５１は封止
されている。前記センサチップ２４が接着固定された台
座３７の上には、被測定気体を導入するための被測定気
体導入通路３９と、大気または基準気体を導入する基準
気体導入通路５０とを有するカバー部材としてキャップ
６０がハーメチックシールされている。
【０００７】また、前記台座３７内の大気または基準気
体を導入する通気路４１，４２と、前記キャップ６０内
の基準気体導入通路５０は連通されている。被測定気体
導入通路３９と基準気体導入通路５０とは同一方向に形
成されている。
体を導入する通気路４１，４２と、前記キャップ６０内
の基準気体導入通路５０は連通されている。被測定気体
導入通路３９と基準気体導入通路５０とは同一方向に形
成されている。
【０００８】図示の圧力センサでは、ダイアフラム部３
１に圧力が加わると、圧力の大きさに応じてダイアフラ
ム部３１は変形する。ダイアフラム部３１の変形によっ
て、ダイアフラム部３１と固定電極３４との間のギャッ
プ幅が変化することになる。ここで、ダイアフラム部３
１と固定電極３４との間には、ｃ＝ξ（Ａ／ｄ）の関係
がある。なお、ｃは静電容量であり、ξは空気の誘電率
であり、Ａは電極面積であり、ｄはダイアフラム部３１
と固定電極３４との間の電極間ギャップである。
１に圧力が加わると、圧力の大きさに応じてダイアフラ
ム部３１は変形する。ダイアフラム部３１の変形によっ
て、ダイアフラム部３１と固定電極３４との間のギャッ
プ幅が変化することになる。ここで、ダイアフラム部３
１と固定電極３４との間には、ｃ＝ξ（Ａ／ｄ）の関係
がある。なお、ｃは静電容量であり、ξは空気の誘電率
であり、Ａは電極面積であり、ｄはダイアフラム部３１
と固定電極３４との間の電極間ギャップである。
【０００９】従って、電極間ギャップｄの変化によって
静電容量が変化することになり、さらに、圧力と電極間
ギャップｄとの間には一定の相関関係があるから、静電
容量を検出することによって圧力を知ることができる。
静電容量が変化することになり、さらに、圧力と電極間
ギャップｄとの間には一定の相関関係があるから、静電
容量を検出することによって圧力を知ることができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の静電容量型の圧
力センサでは、被測定気体導入通路と、大気または基準
気体を導入する基準気体導入通路を、収容箱体の同一方
向に設けるため、収容箱体の底部及び側部に通気路を形
成している。前記収容箱体の底部の通気路を形成する際
には、形成金型上の構成上において不必要な金型穴が発
生してしまう。よって、従来の静電容量型の圧力センサ
では、前記金型穴を封止するために封止剤を設ける必要
があるために、作製工数増加するという問題がある。
力センサでは、被測定気体導入通路と、大気または基準
気体を導入する基準気体導入通路を、収容箱体の同一方
向に設けるため、収容箱体の底部及び側部に通気路を形
成している。前記収容箱体の底部の通気路を形成する際
には、形成金型上の構成上において不必要な金型穴が発
生してしまう。よって、従来の静電容量型の圧力センサ
では、前記金型穴を封止するために封止剤を設ける必要
があるために、作製工数増加するという問題がある。
【００１１】本発明の目的は、作製工数の少ない静電容
量型の圧力センサを提供することにある。
量型の圧力センサを提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するために、センサチップとこのセンサチップを封止
状態で収容する収容箱体とを備え、前記センサチップ
は、電極部が形成された第１の基板と、圧力に応じて変
形するダイアフラム部が形成された第２の基板とを有
し、前記ダイアフラム部と前記電極部とが所定のギャッ
プをおいて互いに対向する関係となるように前記第１及
び前記第２の基板とが接合され、前記ダイアフラム部に
加わる圧力に応じて前記ギャップの幅を変化させてこの
ギャップ幅の変化による前記ダイアフラム部と前記電極
部との間の静電容量の変化によって前記圧力を検出する
圧力センサにおいて、前記収容箱体は、キャップ部とベ
ース部とで形成されており、前記キャップ部は上部に通
気穴を有し側部に下方に突出する凸部を有し、前記ベー
ス部は大気または被測定気体を前記センサチップの周囲
に導入するための通気路と連通している凹部を有し、こ
の凹部が前記凸部と嵌合した状態でこの凸部と協同して
通気路を形成していることを特徴とする。
決するために、センサチップとこのセンサチップを封止
状態で収容する収容箱体とを備え、前記センサチップ
は、電極部が形成された第１の基板と、圧力に応じて変
形するダイアフラム部が形成された第２の基板とを有
し、前記ダイアフラム部と前記電極部とが所定のギャッ
プをおいて互いに対向する関係となるように前記第１及
び前記第２の基板とが接合され、前記ダイアフラム部に
加わる圧力に応じて前記ギャップの幅を変化させてこの
ギャップ幅の変化による前記ダイアフラム部と前記電極
部との間の静電容量の変化によって前記圧力を検出する
圧力センサにおいて、前記収容箱体は、キャップ部とベ
ース部とで形成されており、前記キャップ部は上部に通
気穴を有し側部に下方に突出する凸部を有し、前記ベー
ス部は大気または被測定気体を前記センサチップの周囲
に導入するための通気路と連通している凹部を有し、こ
の凹部が前記凸部と嵌合した状態でこの凸部と協同して
通気路を形成していることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】次に、本発明の圧力センサの実施
例を図面に基づいて詳細に説明する。
例を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１４】図１は、本発明の圧力センサを示す斜視図
である。図２は、図１の圧力センサを分解して示す分解
斜視図である。図３は、図１の圧力センサをＡ−Ａ´線
に沿って切断して示す断面図である。図４は、図１の圧
力センサをＢ−Ｂ´線に沿って切断して示す断面図であ
る。
である。図２は、図１の圧力センサを分解して示す分解
斜視図である。図３は、図１の圧力センサをＡ−Ａ´線
に沿って切断して示す断面図である。図４は、図１の圧
力センサをＢ−Ｂ´線に沿って切断して示す断面図であ
る。
【００１５】図１乃至図４に示すように、本発明の圧力
センサは、被測定圧力により変形する可動電極を構成す
るダイアフラム部１１とその下に設けたキャビティ部１
２とを有するシリコン基板１３と、固定電極１４と、大
気または被測定圧力の比較となる基準圧力の基準気体を
導入する通気穴２０を有するガラス基板１５とから構成
されるセンサチップ２４を備えている。前記センサチッ
プ２４には、前記固定電極１４の引出しのために、シリ
コン基板１３とガラス基板１５との間に横穴２３が形成
されている。この横穴２３は、前記キャビティ１２とセ
ンサチップ周囲部２５を隔離するため、封止剤２６によ
り封止されている。このセンサチップ２４は、リード端
子１６を配置したベース部材としての台座１７上に配置
されている。また、前記台座１７は、樹脂モールド成形
により形成される。前記リード端子１６と前記固定電極
１４はリードワイヤ１８により電気的に接続されてい
る。
センサは、被測定圧力により変形する可動電極を構成す
るダイアフラム部１１とその下に設けたキャビティ部１
２とを有するシリコン基板１３と、固定電極１４と、大
気または被測定圧力の比較となる基準圧力の基準気体を
導入する通気穴２０を有するガラス基板１５とから構成
されるセンサチップ２４を備えている。前記センサチッ
プ２４には、前記固定電極１４の引出しのために、シリ
コン基板１３とガラス基板１５との間に横穴２３が形成
されている。この横穴２３は、前記キャビティ１２とセ
ンサチップ周囲部２５を隔離するため、封止剤２６によ
り封止されている。このセンサチップ２４は、リード端
子１６を配置したベース部材としての台座１７上に配置
されている。また、前記台座１７は、樹脂モールド成形
により形成される。前記リード端子１６と前記固定電極
１４はリードワイヤ１８により電気的に接続されてい
る。
【００１６】前記台座１７には、前記センサチップ２４
の下部にセンサチップ２４と垂直に大気または基準気体
を導入する基準気体導入通路２１と、底部に沿って大気
または基準気体を導入する基準気体導入通路２２が設け
られている。また、前記通気路２２の前記台座１７の両
端部には、図１，２に示すように凹部２８が形成されて
いる。
の下部にセンサチップ２４と垂直に大気または基準気体
を導入する基準気体導入通路２１と、底部に沿って大気
または基準気体を導入する基準気体導入通路２２が設け
られている。また、前記通気路２２の前記台座１７の両
端部には、図１，２に示すように凹部２８が形成されて
いる。
【００１７】前記台座１７の上には、キャップ部１０が
嵌合されてハーメチックシールされている。これらの台
座１７とキャップ部１０とは、センサチップ２４とを封
止状態で収容する収容箱体を構成している。キャップ部
１０には、被測定気体を導入するための被測定気体導入
通路１９と、大気または基準気体を導入する通気穴３０
とが形成されている。
嵌合されてハーメチックシールされている。これらの台
座１７とキャップ部１０とは、センサチップ２４とを封
止状態で収容する収容箱体を構成している。キャップ部
１０には、被測定気体を導入するための被測定気体導入
通路１９と、大気または基準気体を導入する通気穴３０
とが形成されている。
【００１８】また、前記キャップ部１０は、側部に下方
に突出する凸部２７を有している。前記台座１７は、大
気または被測定気体を前記センサチップ２４の周囲に導
入するための通気路２２と連通している前記凹部２８を
有している。この凹部２８が前記凸部２７と嵌合した状
態でこの凸部２７と協同して通気路２９を形成してい
る。前記通気穴２０と、基準気体導入通路２１，２２
と、通気路２９と、通気穴３０とは、連通している。
に突出する凸部２７を有している。前記台座１７は、大
気または被測定気体を前記センサチップ２４の周囲に導
入するための通気路２２と連通している前記凹部２８を
有している。この凹部２８が前記凸部２７と嵌合した状
態でこの凸部２７と協同して通気路２９を形成してい
る。前記通気穴２０と、基準気体導入通路２１，２２
と、通気路２９と、通気穴３０とは、連通している。
【００１９】
【発明の効果】本発明の圧力センサは、金型上の構成に
よる不必要な金型穴が発生してしまうことがなく、金型
穴を封止するために封止剤を設ける必要がなくなるか
ら、作製工数減少することができる。
よる不必要な金型穴が発生してしまうことがなく、金型
穴を封止するために封止剤を設ける必要がなくなるか
ら、作製工数減少することができる。
【図１】本発明の１実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の実施例を分解して示す分解斜視図であ
る。
る。
【図３】図１の圧力センサをＡ−Ａ´線に沿って切断し
て示す断面図である。
て示す断面図である。
【図４】図１の圧力センサをＢ−Ｂ´線に沿って切断し
て示す断面図である。
て示す断面図である。
【図５】従来の圧力センサを示す斜視図である。
【図６】図５の圧力センサをＣ−Ｃ´線に沿って切断し
て示す断面図である。
て示す断面図である。
【図７】図５の圧力センサをＤ−Ｄ´線に沿って切断し
て示す断面図である。
て示す断面図である。
１０ キャップ部 １１ ダイアフラム部 １２ キャビティー部 １３ シリコン基板 １４ 固定電極 １５ ガラス基板 １６ リード端子 １７ 台座 １８ リードワイヤー １９ 被測定気体導入通路 ２０ 通気穴 ２１ 基準気体導入通路 ２２ 基準気体導入通路 ２３ 横穴 ２４ センサチップ ２５ センサチップ外界 ２６ 封止剤 ２７ 凸部 ２８ 凹部 ２９ 通気路 ３０ 通気穴
Claims (1)
- 【請求項１】 センサチップとこのセンサチップを封止
状態で収容する収容箱体とを備え、前記センサチップ
は、電極部が形成された第１の基板と、圧力に応じて変
形するダイアフラム部が形成された第２の基板とを有
し、前記ダイアフラム部と前記電極部とが所定のギャッ
プをおいて互いに対向する関係となるように前記第１及
び前記第２の基板とが接合され、前記ダイアフラム部に
加わる圧力に応じて前記ギャップの幅を変化させてこの
ギャップ幅の変化による前記ダイアフラム部と前記電極
部との間の静電容量の変化によって前記圧力を検出する
圧力センサにおいて、前記収容箱体は、キャップ部とベ
ース部とで形成されており、前記キャップ部は上部に通
気穴を有し側部に下方に突出する凸部を有し、前記ベー
ス部は大気または被測定気体を前記センサチップの周囲
に導入するための通気路と連通している凹部を有し、こ
の凹部が前記凸部と嵌合した状態でこの凸部と協同して
通気路を形成していることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23021095A JPH0972806A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23021095A JPH0972806A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0972806A true JPH0972806A (ja) | 1997-03-18 |
Family
ID=16904302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23021095A Withdrawn JPH0972806A (ja) | 1995-09-07 | 1995-09-07 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0972806A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014068782A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Teijin Pharma Ltd | 酸素供給装置 |
| KR20160147504A (ko) * | 2015-06-15 | 2016-12-23 | 주식회사 아이티엠반도체 | 압력센서장치 및 그 제조방법 |
-
1995
- 1995-09-07 JP JP23021095A patent/JPH0972806A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014068782A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Teijin Pharma Ltd | 酸素供給装置 |
| KR20160147504A (ko) * | 2015-06-15 | 2016-12-23 | 주식회사 아이티엠반도체 | 압력센서장치 및 그 제조방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20021203 |