JPH09160256A - 液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液体非吐出時における吐出ノズル先端からの
液だれを防止する。 【解決手段】 液体供給ポンプより液体８が供給される
パイプ６に略逆Ｊ字形状の吐出ノズル４の基端部が連通
され、この吐出ノズル４のノズル先端部４ａが液体非吐
出時における吐出ノズル４内などにおける液面８ａより
も高い位置に配置されている。このため、液体の吐出停
止時にノズル先端部４ａよりも下に存在する液体８がサ
イフォン現象によってノズル先端部４ａから吐出される
ことはない。従って、液体の吐出停止時に液だれが発生
することが確実に防止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、所定量の液体を対
象物、例えば液晶表示パネル用のガラス基板、半導体基
板、セラミック基板、プリント基板などの各種基板表面
に吐出するための装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示パネル用のガラス基板、半導体
装置の半導体基板などの基板表面に現像液、エッチング
液、洗浄液などの各種処理液を吐出する液体吐出装置が
知られている。

【０００３】例えば、素子や配線などのパターンを形成
するいわゆるフォトリソグラフィー工程において、図５
に示すような、露光されたレジスト層を現像する現像液
を基板表面に吐出する吐出装置が用いられている。この
装置では、基板２の搬送路上方に、複数のパイプ６６が
並列配置され、各パイプ６６の下部に複数のシャワーノ
ズル６４の基端部が連通されている。シャワーノズル６
４は、搬送ローラー７０によってシャワーノズル６４の
下方に搬送されてくる基板２に向かって開口している。
そして、図示しないポンプより送出される現像液８がシ
ャワーノズル６４に供給されると、その先端から基板２
に向かって現像液８が噴射される。

【０００４】しかし、液体をシャワーノズル６４より吐
出すると、液体の消費量が多いだけでなく、例えば液体
が界面活性剤を含んでいる場合などに吐出液が泡立っ
て、液体の反応特性などが劣化するという問題があっ
た。

【０００５】また、１本のパイプ６６に対する各シャワ
ーノズル６４の取り付け位置が互いに異なるため、複数
のシャワーノズル６４から同時に液体を吐出させること
が困難となる。現像液など、ノズルより吐出した時点か
ら液体の反応が進行する場合には、各シャワーノズル６
４からの液体吐出タイミングが異なると、基板上の場所
によって処理開始時点が異なり、処理の均一性が損なわ
れるという問題が指摘されていた。

【０００６】さらに、液体の吐出停止時には、ポンプを
停止させてシャワーノズル６４への液体の供給を停止す
るが、シャワーノズル６４が下方に開口しているため、
液体供給停止後においても、パイプ６６内に残存した液
体が基板２の表面に滴下し、いわゆる『ぼた落ち』が発
生してしまう。このため、すでに基板に吐出されて表面
処理が完了した後、さらに液体が供給されて部分的に処
理が進行するという問題もあった。

【０００７】そこで、本出願人は、これらの課題を解消
するために図６に示すような構造の液体吐出装置を特開
平７−１７５２２４号公報において提案している。この
液体吐出装置では、基板２の搬送路上に、複数のパイプ
６６が並列配置され、各パイプ６６の上部に吐出ノズル
７４の基端部が連通されている。吐出ノズル７４は、図
６（ｂ）に示すように、その中間部が最も高い位置に配
され、先端部７４ａが下方に向かって伸びる略逆Ｊ字形
状を有している。

【０００８】吐出ノズル７４の下方に基板２が搬送ロー
ラー７０によって図中矢印Ａの方向に搬送されてくる
と、図示しないポンプより送出された液体８が吐出ノズ
ル７４から基板２の表面に吐出される。なお、搬送ロー
ラー７０は支軸７２を有し、この支軸７２には、ガイド
輪７０ａと図示しない基板搬送用の小輪とが取り付けら
れ、ガイド輪７０ａが基板２を側方からガイドすること
により、基板２が蛇行して搬送されることを防止してい
る。

【０００９】次に、図６の吐出装置の動作について、図
７を用いて説明する。

【００１０】液体８の非吐出時には、ポンプは停止して
おりパイプ６６には液体８が供給されず、吐出ノズル７
４内およびパイプ６６の上部には空気層が形成されてい
る。ポンプを駆動してパイプ６６に向けて液体８を圧送
すると、図７（ａ）に示すように、パイプ６６内が徐々
に液体８で満たされ、パイプ６６内の空気が吐出ノズル
７４より外部に排気される。パイプ６６への液体８の供
給を続けると、図７（ｂ）のようにパイプ６６内が液体
８で完全に満たされ、また、吐出ノズル７４内にも液体
８が供給される。さらに液体８の供給を続けると、図７
（ｃ）に示すように、吐出ノズル７４内の空気も排出さ
れ、やがて各吐出ノズルの先端部７４ａから基板２に液
体８の吐出が開始される。

【００１１】吐出を停止する場合には、ポンプを停止し
て、パイプ６６への液体８の供給を停止する。これによ
り、パイプ６６内の液圧が低下し、慣性により所定期間
吐出ノズル７４から液体８が吐出された後、液体８の吐
出が停止する。そして、各吐出ノズル７４の先端部７４
ａよりパイプ６６に向かって空気が吸引され、吐出ノズ
ル７４内に空気層が形成される。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の吐出装置では、依然として、吐出ノズル７４からの
液のぼた落ちを完全に防止することができないという問
題があった。これは、吐出ノズル４の先端部７４ａが、
液体８で満たされるパイプ６６よりも下方にまで伸びて
いることによって、液体の非吐出時にいわゆるサイフォ
ン現象が発生するためである。すなわち、液体の吐出停
止時に、１本のパイプ６６に連通された複数の吐出ノズ
ル７４間で空気の吸引タイミングがずれると、ある吐出
ノズル７４からは空気が吸引され、他の吐出ノズル７４
から液体８が下方に向けて吐出され続けてしまう。そし
て、このサイフォン現象は、図７（ａ）のようにパイプ
６６内の上部に空気層ができるまで続き、図７（ｅ）に
示すように、すでに基板上に吐出された液層８ｂ上の一
部に、液だれ領域８ｃが形成されてしまう。従って、吐
出ノズルからの液のぼた落ちを確実に防止できる液体吐
出装置が要求されていた。

【００１３】また、従来の吐出装置では、図５、図６に
示すように、パイプ６６が基板の搬送路上に設けられて
いるため、液体の吐出処理中においてパイプ６６に付着
した液が、基板２に滴下する可能性があり、改善するこ
とが求められていた。

【００１４】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、吐出ノズルからの液のぼた落ちを確実
に防止し、吐出対象物に対して均一に液体を吐出できる
吐出装置を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、対象物に所定量の液体を吐出する装置に
おいて、所定圧力で液体を供給する液体供給源と、液体
供給源にその基端部が連通され、先端部が前記対象物に
向かって開口した略逆Ｊ字形状の吐出ノズルと、を有す
る。そして、この吐出ノズルの先端部が、吐出ノズル内
または液体供給源内の液体非吐出時における液体の液面
よりも、上方に配置されている。

【００１６】吐出ノズルの先端位置をこのように液体非
吐出時の液面よりも高くすることにより、液体の吐出停
止時に吐出ノズルの先端よりも下に存在する液体がサイ
フォン現象によってノズル先端より吐出されることはな
い。よって、液体の吐出停止時に、吐出ノズルからの液
のぼた落ちが確実に防止されている。

【００１７】また、上記液体供給源は、ポンプと、ポン
プの送出端と戻り端との間に設けられた循環路とを有
し、前記ポンプは、常時、循環路に向かって液体を送出
する。このため、液体の吐出時または非吐出時のいずれ
においても、吐出ノズルに、常に新しい液体が供給さ
れ、対象物に均質な液体を吐出できる。

【００１８】上記液体供給源は、さらに、前記液体を備
蓄し、備蓄した液体を前記ポンプに供給し、前記循環路
内を循環した液体を受け入れる液体備蓄タンクと、前記
循環路の復路側と前記液体備蓄タンクとの間に設けられ
た復路側絞りバルブと、を有する。復路側絞りバルブを
絞れば、循環路内の液圧が上昇して吐出ノズルから液体
が吐出され、復路側絞りバルブを開くと、循環路内の液
圧が低下して吐出ノズルからの液体の吐出が停止する。
このように絞りバルブを制御して循環路内の液圧を調整
することによって、容易かつ精度よく液体の吐出及び非
吐出を制御することができる。

【００１９】また、本発明の吐出装置では、上記液体備
蓄タンク内の液体の液面が所定高さに維持されているこ
とを特徴とする。液体備蓄タンク内の液体の液面の高さ
は、循環路から液体備蓄タンクに戻る際の液体の戻り
圧、すなわち循環路内の液圧に影響する。従って、液体
備蓄タンク内の液体の液面を所定の高さに維持すること
により、非吐出時における液体の液面位置を正確に維持
できる。

【００２０】さらに、前記液体備蓄タンク内の前記液面
が所定値よりも低くなると、前記予備タンクから前記液
体備蓄タンクに液体が補充される構成とすることによ
り、液体備蓄タンク内での液面の維持が容易となる。

【００２１】本発明の液体吐出装置の別の発明では、複
数の上記略逆Ｊ字形状の吐出ノズルが、その基端路を共
有して液体供給源に接続されている。基端部を共有する
吐出ノズルは、その基端部での液体の液圧が等しいた
め、液体の吐出および吐出停止のタイミングを各吐出ノ
ズルでほぼ同一とできる。従って、各吐出ノズルからの
吐出量の精度を向上できる。

【００２２】本発明の液体吐出装置の具体的な構成は、
所定方向に搬送駆動される基板表面に液体を吐出する液
体吐出装置に関する。この液体吐出装置では、基板搬送
路の側方に一部が配置された循環路と、この循環路に液
体を送出するポンプと、循環路に基端部が連通され、先
端部が前記基板に向かって開口した略逆Ｊ字形状の吐出
ノズルとを有する。さらにこの吐出ノズルの先端部は、
液体非吐出時おける吐出ノズル内または、循環路内での
液体の液面よりも上方に配置されていることを特徴とす
る。このような構成とすることにより、基板表面には、
液だれがなく、かつ定量の液体を精度よく吐出すること
が可能となる。

【００２３】さらに、上記構成において、基板の搬送路
の側方に配置される循環路は、前記基板よりも下方に配
置されていることを特徴とする。循環路を基板よりも下
方に配置することにより、液体吐出時などに液はねが生
じた場合にも、循環路に液体が付着して、これが基板に
滴下することが防止できる。

【００２４】また、上記構成において、循環路に基端部
が接続された前記吐出ノズルは、その先端部が前記基板
の中央領域寄りに配置されていることを特徴とする。こ
れにより、基板の端部からこぼれおちる余分な液体を減
らし、使用する液体を最小限とすることができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を用いて説明する。なお、既に説明した図面と対応
する部分には同一符号を付して説明を省略する。

【００２６】［液体吐出部の構成］図１は、本実施形態
の液体吐出装置の循環路の一部をなす液体吐出部の構成
を示している。本実施形態の液体吐出装置は、例えばロ
ーラー搬送される液晶用ガラス角型基板の表面に純水な
どの洗浄液や現像液を供給して該基板を洗浄・現像する
表面処理装置に用いられるものである。図１に示すよう
に、搬送ローラーによって図中矢印Ａに示す方向に基板
２が搬送される搬送路の側方の下部には、内部に液体８
が循環するパイプ６が配置されている。パイプ６の上部
には、略逆Ｊ字形状の複数の吐出ノズル４の基端部が連
通されている。吐出ノズル４は、その中間部が最も高い
位置に配置され、ノズル先端部４ａは、搬送されてくる
基板２に向かって開口している。そして、このノズル先
端部４ａは、図１（ａ）に示すように、液体非吐出時に
おける液体吐出部での液体の液面８ａ（図中では吐出ノ
ズル４内）よりも高い位置に配置されている。

【００２７】本実施形態の液体吐出装置の吐出動作は、
図２に示すようになっている。図２（ａ）は、液体の非
吐出時における液体吐出部の状態を示している。パイプ
６には、後述する液体送出ポンプから常時一定の送出圧
力で液体８が供給されている。液体の非吐出時には、パ
イプ６の出口側が開放されてパイプ６内の液圧が一定と
なっており、液体の液面８ａが一定高さに維持されてい
る。この液体の液面８ａは、液体供給ポンプからの液体
の送出圧力またはパイプ６内での液体の液圧を所望の値
とすることによって、吐出ノズル４のノズル先端部４ａ
の高さよりも低くなるように設定されている。なお、液
体供給ポンプからの送出圧力が低く、パイプ６内での液
圧がより低ければ、図２（ａ）よりも液体非吐出時の液
面８ａは低くなり、例えば液面８ａはパイプ６の上部に
位置することとなる。しかし、いずれにしても、この液
体非吐出時の液面８ａは、ノズル先端部４ａよりも低い
位置となっている。

【００２８】液体の吐出時には、例えばパイプ６の出口
側を閉じることにより、パイプ６内での液体の液圧を上
昇させる。これにより、図２（ｂ）に示すように、徐々
に吐出ノズル４内が液体８で満たされていく。この液圧
を維持すると、やがて、吐出ノズル４内が液体８で完全
に満たされ、図２（ｃ）に示すように、ノズル先端部４
ａから、下方の基板表面に向かって液体８が吐出され
る。

【００２９】ここで、各ノズル先端部４ａは、図１
（ｂ）のように、基板２の比較的中央領域寄りに向けら
れており、基板２の表面に吐出された液体８ｂは、図１
（ｂ）に示すように徐々に広がって、所定期間経過後に
基板２の全面を覆う。このように、基板２の中央領域寄
りに液体８を吐出すれば、基板２の端部から流れ落ちる
余分な液量を減らし、液体の全消費量を低減することが
可能となる。

【００３０】吐出ノズル４より所定量の液体８を吐出し
た後、例えば、パイプ６の出口側を開くことにより、パ
イプ６内の液圧を低下させる。これにより、吐出ノズル
４から吐出されている液体８がとぎれ、ノズル先端部４
ａより空気が吸入される。そして、図２（ｄ）に示すよ
うに、再び、パイプ６内における液体の液圧が液体非吐
出時と同じ値に戻り、また、吐出ノズル４内の液体の液
面が低下して、液体の非吐出時における液面８ａと同様
の高さとなる。本実施形態では、吐出ノズル４のノズル
先端部４ａが液面８ａよりも上方に位置しているため、
サイフォン現象が生じることがなく、パイプ６内におけ
る液圧を低下させた場合に、ノズル先端部４ａより下に
位置するパイプ６内の液体８が吐出ノズル４から吐出さ
れることはない。従って、例えば、吐出ノズル４からの
液体吐出が停止して、ノズル先端部４ａより空気が吸引
されるタイミングが各吐出ノズル４でばらついても、液
のぼた落ちが発生することが確実に防止されている。

【００３１】図１に示す液体吐出部の構成においては、
例えば液晶表示パネル用のガラス基板などの角型の基板
２の搬送路の両側に２本のパイプ６が配置され、各パイ
プ６に複数の吐出ノズル４がそれぞれ個別に連通されて
いる。しかし、例えば、パイプ６の液体入口側のほうが
液体の液圧が高いため、図１に示す吐出ノズル４の構成
では、液体の液面が、図２（ａ）のようにパイプ６の入
口側の吐出ノズル４の方が高くなる。このため、液体吐
出時に、パイプ６の入口側と出口側に位置する吐出ノズ
ル４で、液体の吐出のタイミングが多少ずれる可能性が
ある。

【００３２】そこで、液体の吐出タイミングを正確に制
御するという観点からは、図３（ａ）または（ｂ）に示
すように、パイプ６に対し、複数の吐出ノズル１４、２
４の基端部を共有して連通する構成とすることが好まし
い。基端部を共有させれば、各吐出ノズル１４，２４で
その基端部の液圧が等しく、各吐出ノズル１４、２４に
おける液体の液面の高さをほぼ同一に維持できる。従っ
て、液体の吐出タイミングを一致させることが容易であ
る。

【００３３】また、一本のパイプ６に連通された吐出ノ
ズルより、基板搬送方向Ａの直交方向に対し、複数の箇
所に液体を吐出する場合には、図３（ｂ）に示すような
構成の吐出ノズル２４を採用できる。図３（ｂ）の吐出
ノズル２４を利用すれば、例えば大型基板の場合や、装
置のレイアウト上、基板搬送路の一方側にしかパイプ６
を配置できない場合などにおいても、各吐出ノズル２４
で液体の吐出タイミングを正確にコントロールすること
が可能であり、液体を均一に基板２に吐出できる。

【００３４】［装置の全体構成］図４は、上述のような
液体吐出部を有する液体吐出装置の全体構成を示す図で
ある。循環路１０には、液体送出ポンプ２５から送出さ
れる液体８が循環しており、この循環路１０の経路内に
は、液体吐出部１６、すなわち、基板搬送路の側方に設
けられたパイプ６およびパイプ６の上部に基端部が連通
された吐出ノズル１４とが設けられている。また、循環
路１０の復路１０ｂと往路１０ａとの間（液体送出ポン
プ２５の送出端と戻り端との間）には、所定量の液体８
を備蓄して、この液体を液体送出ポンプ２５に供給する
液体備蓄タンク２０が設けられている。液体送出ポンプ
２５は、液体を循環路１０内に所定の圧力で送出してお
り、このポンプ２５から送出される液体８は、循環路１
０の往路１０ａに設けられたフィルター４０、さらに循
環路１０内での液体の流量を調整する流量調整バルブ２
６を介してパイプ６に供給される。また、パイプ６の入
口側には、循環路１０内の液圧を測定する圧力計３０が
設けられている。パイプ６の液体出口側、すなわち循環
路１０の復路１０ｂには、液体吐出部１６内の液圧を調
整するための復路側絞りバルブ２８が設けられ、パイプ
６内を通った液体８はこのバルブ２８を介して再び液体
備蓄タンク２０に戻されている。

【００３５】また、液体吐出部１６の設けられる基板搬
送路の下部には液回収トレイ５０が配置され、基板２ま
たは吐出ノズル４などから滴下した液体がこの液回収ト
レイ５０に集められている。液回収トレイ５０内には、
回収した液体の下限を検知する液面検知センサー４２
と、液面の上限を検知する液面検知センサー４４とが設
けられている。液回収トレイ５０の下部には液回収路５
２が接続され、この液回収路５２の経路に、上記液面検
知センサー４２，４４での検知状態に応じて開閉する開
閉バルブ５４が設けられている。

【００３６】液回収トレイ５０に回収された液体が、セ
ンサー４２，４４によって検知される液面の上限−下限
の範囲内にある場合には、上記開閉バルブ５４が開いて
回収した液体が液体備蓄タンク２０に戻される。液面の
下限を検知するセンサー４２が、回収液が所定量より少
なくなったことを検知すると、開閉バルブ５４は閉じら
れ、回収液の表面の泡が液体備蓄タンク２０内に混入す
ることが防止されている。なお、液面の上限を検知する
センサー４４は、液回収トレイ５０に溜まる液体が所定
量以上となって、例えば回収液が液回収トレイ５０から
溢れ出てしまうことを防止している。

【００３７】液体備蓄タンク２０には、液供給路３４を
通じて予備タンク２２が接続されており、液供給路３４
に設けられた開閉バルブ３２の開閉によって、予備タン
ク２２から液体備蓄タンク２０への液体の供給が制御さ
れている。液体備蓄タンク２０内には、液体の備蓄量を
検知するための液面検知センサー４６が設けられてお
り、このセンサー４６によりタンク内の液体が所定量よ
り少なくなったことが検知されると、上記開閉バルブ３
２が開き、予備タンク２２から液体備蓄タンク２０へ所
定量の液体が供給される。このようにして、液体備蓄タ
ンク２０内における液体の液量、すなわち液面の高さが
常時一定範囲に保たれている。

【００３８】ここで、液体備蓄タンク２０での液面の高
さによって、循環路１０の復路１０ｂから液体備蓄タン
ク２０に戻る液体の戻り圧が決定している。従って、液
体備蓄タンク２０での液面の高さを一定範囲にすること
により、液体の戻り圧が一定の範囲内に維持され、結果
として、液体非吐出時におけるパイプ６内の液圧、すな
わち吐出ノズル１４内の液面の高さが一定に維持され
る。

【００３９】以上のような構成において、液体送出ポン
プ２５は常時液体を送出しており、復路側絞りバルブ２
８を絞り込むことにより、パイプ６内の液圧が上昇して
液面が上がり、複数の吐出ノズル１４からほぼ同一のタ
イミングで所定量の液体が吐出される。また、復路側絞
りバルブ２８を開くことにより、パイプ６内の液圧が低
下して、『液だれ』が発生することなく、吐出ノズル１
４からの液体の吐出を一様に停止することができる。

【００４０】また、液体送出ポンプ２５の送出圧力や、
循環路１０内の液体流量などを所望の値に設定すること
によってパイプ６内の液圧を調整できる。よって、吐出
ノズルから吐出される液量を正確に制御することがで
き、余分な液体の吐出を防止できる。このため、例えば
コストの高い基板の現像液やレジスト液などの吐出装置
においても、利用価値が高い。

【００４１】なお、図４では、基端部を共有する図３
（ａ）の吐出ノズル１４を用いているが、これには限ら
ない。例えば、図１に示すように、パイプ６に個別に複
数の吐出ノズル４の基端部が連通されていてもよく、ま
た図３（ｂ）に示すように、１つのパイプ６に基端部を
共有して連通され、それぞれが基板の端部または中央部
に向かって伸びる吐出ノズル２４のような構成であって
もよい。

【００４２】また、本実施形態においては、復路側絞り
バルブ２８を有し、液体の吐出および非吐出時にかかわ
らず、液体送出ポンプ２５が同一の送出圧力で動作して
いる構成について説明している。しかし、パイプ６内で
の液圧を液体の吐出時と非吐出時とで変更できれば、上
記ポンプ２５は必ずしも同一の送出圧力で動作している
必要はなく、また復路側絞りバルブ２８を省略する構成
も採用できる。このような構成とする場合には、ポンプ
２５の液体送出圧力を液体吐出と非吐出とで少なくとも
２段階に変更する必要がある。２段階の液体送出圧力
は、例えば、液体非吐出時には、ポンプ２５を停止する
かあるいは送出圧力を所定の低い値とし、液体吐出時に
は、ポンプ２５からの送出圧を所定の高い圧力とすれば
よい。ただし、例えば、吐出する液体が、現像液のよう
に反応性の高いものであったり、温度調整が必要な場合
には、既に説明したように、ポンプ２５を常時動作させ
て循環路１０内に液体８を循環させ、絞りバルブ２８に
よって液圧を調整する構成とすることが好ましい。

【００４３】さらに、本実施形態の吐出装置は、基板に
所定の液体を吐出する構成を例にとって説明したがこれ
には限らず、液体を複数の試験管など吐出する例えば分
注装置などにも利用できる。この場合において、例えば
図３に示すように、パイプに連通される基端部を共有し
た吐出ノズルの構成を採用すれば、所定量の液体を対象
物に対してより正確に吐出することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上のように、本発明の液体吐出装置に
よれば、液体非吐出時における吐出ノズルからの液のぼ
た落ちを確実に防止することができ、対象物に対して均
一に液体を吐出することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態の液体吐出装置の液体吐出
部の構成を示す図である。

【図２】 図１の液体吐出装置の吐出動作を示す概念図
である。

【図３】 図１の液体吐出部と異なる構成を有する液体
吐出部の構成を示す図である。

【図４】 本発明の実施形態の吐出装置の全体構成を示
す図である。

【図５】 従来の液体吐出装置の構成を示す図である。

【図６】 図５とは異なる従来の液体吐出装置の構成を
示す図である。

【図７】 図６の液体吐出装置の液体吐出動作を示す概
念図である。

【符号の説明】

２ 基板、４，１４，２４ 吐出ノズル、６ パイプ、
８ 液体、１０ 循環路、１０ａ 往路、１０ｂ 復
路、２０ 液体備蓄タンク、２２ 予備タンク、２５
液体送出ポンプ、２６ 流量調整バルブ、２８ 復路側
絞りバルブ、３０圧力計、３２ 開閉バルブ、３４ 液
供給路、４０ フィルター、４２，４４，４６ 液面検
知センサー、５０ 液回収トレイ、５２ 液回収路、５
４ 開閉バルブ。

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 対象物に所定量の液体を吐出する装置に
   おいて、 所定圧力で前記液体を供給する液体供給源と、 前記液体供給源に基端部が連通され、先端部が前記対象
   物に向かって開口した略逆Ｊ字形状の吐出ノズルと、 を有し、 前記吐出ノズルの先端部は、前記吐出ノズル内または前
   記液体供給源内の液体非吐出時における前記液体の液面
   よりも上方に配置されていることを特徴とする液体吐出
   装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の液体吐出装置におい
   て、 前記液体供給源は、ポンプと、前記ポンプの送出端と戻
   り端との間に設けられた循環路と、を有し、 前記ポンプは、常時、前記循環路に向かって前記液体を
   送出することを特徴とする液体吐出装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載の液体吐出装置
   において、 前記液体供給源は、 さらに、前記液体を備蓄し、備蓄した液体を前記ポンプ
   に供給し、前記循環路内を循環した液体を受け入れる液
   体備蓄タンクと、 前記循環路の復路側と前記液体備蓄タンクとの間に設け
   られた復路側絞りバルブと、を有し、 前記復路側絞りバルブを絞って前記吐出ノズルより前記
   液体を吐出し、 前記復路側絞りバルブを開いて前記吐出ノズルからの前
   記液体の吐出を停止することを特徴とする液体吐出装
   置。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれか１つに記載の液
   体吐出装置において、 前記液体を備蓄し、備蓄した前記液体を前記ポンプに供
   給し、前記循環路内を循環した前記液体を受け入れる液
   体備蓄タンクを有し、 前記液体備蓄タンク内の前記液体の液面は、所定高さに
   維持されていることを特徴とする液体吐出装置。
5. 【請求項５】 請求項４に記載の液体吐出装置におい
   て、 前記液体備蓄タンク内の液体の液面の高さを検知する検
   知手段と、 予備タンクと、を有し、 前記液体備蓄タンク内の前記液面が所定値よりも低くな
   ると、前記予備タンクから前記液体備蓄タンクに液体が
   補充されることを特徴とする液体吐出装置。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１つに記載の液
   体吐出装置において、 前記液体供給源に接続される複数の前記吐出ノズルが互
   いに基端部を共有することを特徴とする液体吐出装置。
7. 【請求項７】 所定方向に搬送駆動される基板表面に液
   体を吐出する液体吐出装置であって、 前記基板の搬送路の側方に一部が配置された循環路と、 前記循環路に液体を送出するポンプと、 前記循環路に基端部が連通され、先端部が前記基板に向
   かって開口した略逆Ｊ字形状の吐出ノズルと、を有し、 前記吐出ノズルの先端部は、前記吐出ノズル内または前
   記循環路内の液体非吐出時における前記液体の液面より
   も上方に配置されていることを特徴とする液体吐出装
   置。
8. 【請求項８】 請求項７に記載の液体吐出装置におい
   て、 前記基板の搬送路の側方に配置される循環路は、前記基
   板よりも下方に配置されていることを特徴とする液体吐
   出装置。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の液体吐出装置におい
   て、 前記循環路に基端部が接続された前記吐出ノズルは、そ
   の先端部が前記基板の中央領域寄りに配置されているこ
   とを特徴とする液体吐出装置。