JPH091674A - 光硬化造形方法 - Google Patents
光硬化造形方法Info
- Publication number
- JPH091674A JPH091674A JP7155873A JP15587395A JPH091674A JP H091674 A JPH091674 A JP H091674A JP 7155873 A JP7155873 A JP 7155873A JP 15587395 A JP15587395 A JP 15587395A JP H091674 A JPH091674 A JP H091674A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- curing
- photo
- diameter
- light
- ultraviolet laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000000465 moulding Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 79
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 79
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 claims description 71
- 238000001723 curing Methods 0.000 claims description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 32
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 238000009416 shuttering Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 230000003313 weakening effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製品の各層の各部分において最適な硬化径と
硬化深さとを得ることができる光硬化造形方法を提供す
る。 【構成】 光硬化性樹脂に照射される紫外線レーザ光の
強度とスポット径とがともに調節される。ビームエクス
パンダを構成する凸レンズを光軸方向に移動させて紫外
線レーザ光のスポット径を大きくすると、スポット径が
拡がった分だけピーク強度がP1からP3まで下がり、
二点鎖線で示される光強度分布となる。同時に、AOM
モジュールで紫外線レーザ光の強度を弱くしてピーク強
度をP3からP2に低下させることによって、実線で示
されるようなピーク強度P2でしきい値Pthにおけるビ
ーム径がW1となる光強度分布が得られる。かかる光強
度分布を有する紫外線レーザ光で液状樹脂を照射するこ
とによって、液状樹脂の硬化深さをD2に変化させつつ
硬化径を一定の大きさW1に保つことができる。
硬化深さとを得ることができる光硬化造形方法を提供す
る。 【構成】 光硬化性樹脂に照射される紫外線レーザ光の
強度とスポット径とがともに調節される。ビームエクス
パンダを構成する凸レンズを光軸方向に移動させて紫外
線レーザ光のスポット径を大きくすると、スポット径が
拡がった分だけピーク強度がP1からP3まで下がり、
二点鎖線で示される光強度分布となる。同時に、AOM
モジュールで紫外線レーザ光の強度を弱くしてピーク強
度をP3からP2に低下させることによって、実線で示
されるようなピーク強度P2でしきい値Pthにおけるビ
ーム径がW1となる光強度分布が得られる。かかる光強
度分布を有する紫外線レーザ光で液状樹脂を照射するこ
とによって、液状樹脂の硬化深さをD2に変化させつつ
硬化径を一定の大きさW1に保つことができる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液状の光硬化性樹脂
に選択的に光線を照射して三次元の形状を造形する光硬
化造形方法に関する。
に選択的に光線を照射して三次元の形状を造形する光硬
化造形方法に関する。
【0002】
【従来の技術】液状の光硬化性樹脂(以下、「液状樹
脂」とも略する。)にレーザ光等の強力な光線を照射し
てその一部を硬化させ、任意の三次元形状を造形する光
硬化造形装置が開発・実用化されている。この光硬化造
形装置は、CADシステムで設計した機械部品等をCA
Dデータを用いて容易に実体化することができ、設計の
確認と直接的な評価を行える。また、近年の多品種少量
生産の要請にも適合した極めて有用な装置である。この
光硬化造形装置を用いた光硬化造形の手順について、図
4を参照して説明する。図4に示されるように、光硬化
造形装置102においては、液状樹脂110で満たされ
た容器108の中に昇降可能な昇降テーブル112が設
けられている。図のような製品120を造形するには、
まず、昇降テーブル112を、液状樹脂110の液面1
10aから最下層120aの厚さ分だけ下降した高さに
位置させる。この状態で、ガルバノミラー104を回転
させることによってレーザ光106を必要な範囲内に走
査して、最下層120aを光硬化させる。次に昇降テー
ブル112を最下層から二番目の層120bの厚さ分だ
け下降させ、同様にして二番目の層120bを光硬化さ
せる。以下、同様にして、下から順に一層ずつ光硬化さ
せることによって、図4に示されるような製品120が
造形される。
脂」とも略する。)にレーザ光等の強力な光線を照射し
てその一部を硬化させ、任意の三次元形状を造形する光
硬化造形装置が開発・実用化されている。この光硬化造
形装置は、CADシステムで設計した機械部品等をCA
Dデータを用いて容易に実体化することができ、設計の
確認と直接的な評価を行える。また、近年の多品種少量
生産の要請にも適合した極めて有用な装置である。この
光硬化造形装置を用いた光硬化造形の手順について、図
4を参照して説明する。図4に示されるように、光硬化
造形装置102においては、液状樹脂110で満たされ
た容器108の中に昇降可能な昇降テーブル112が設
けられている。図のような製品120を造形するには、
まず、昇降テーブル112を、液状樹脂110の液面1
10aから最下層120aの厚さ分だけ下降した高さに
位置させる。この状態で、ガルバノミラー104を回転
させることによってレーザ光106を必要な範囲内に走
査して、最下層120aを光硬化させる。次に昇降テー
ブル112を最下層から二番目の層120bの厚さ分だ
け下降させ、同様にして二番目の層120bを光硬化さ
せる。以下、同様にして、下から順に一層ずつ光硬化さ
せることによって、図4に示されるような製品120が
造形される。
【0003】ここで、製品120は下層部ほど曲率半径
が小さくなるような形状を有している。従って、かかる
形状を精度良く造形するためには、図4に示されるよう
に下層部ほど一層の厚さを薄くして積層させることが必
要となる。この際に、薄い層と厚い層とを同じ光強度で
硬化させると、薄い層の場合にはその下にある既に光硬
化した層まで再度光照射されることになる。この結果、
下の層が過度に硬化され、層と層との接続面が不連続に
なるとともに、製品の変形が生じてしまう。これを防止
するためには、光硬化させる厚さに応じて液状樹脂に照
射されるレーザ光のエネルギーの大きさを変えることが
必要となる。従来、このような場合には、ガルバノミラ
ー104によるレーザ光106の走査速度を変化させて
いた。すなわち、厚い層の場合にはレーザ光106の走
査速度を小さくすることによって液状樹脂110に時間
当たり照射される光量を大きくし、薄い層の場合にはレ
ーザ光106の走査速度を大きくすることによって時間
当たり照射される光量を小さくする。このようにして、
硬化させる層の厚さに応じて照射されるレーザ光のエネ
ルギーの大きさを変化させていた。
が小さくなるような形状を有している。従って、かかる
形状を精度良く造形するためには、図4に示されるよう
に下層部ほど一層の厚さを薄くして積層させることが必
要となる。この際に、薄い層と厚い層とを同じ光強度で
硬化させると、薄い層の場合にはその下にある既に光硬
化した層まで再度光照射されることになる。この結果、
下の層が過度に硬化され、層と層との接続面が不連続に
なるとともに、製品の変形が生じてしまう。これを防止
するためには、光硬化させる厚さに応じて液状樹脂に照
射されるレーザ光のエネルギーの大きさを変えることが
必要となる。従来、このような場合には、ガルバノミラ
ー104によるレーザ光106の走査速度を変化させて
いた。すなわち、厚い層の場合にはレーザ光106の走
査速度を小さくすることによって液状樹脂110に時間
当たり照射される光量を大きくし、薄い層の場合にはレ
ーザ光106の走査速度を大きくすることによって時間
当たり照射される光量を小さくする。このようにして、
硬化させる層の厚さに応じて照射されるレーザ光のエネ
ルギーの大きさを変化させていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにレーザ光106の走査速度を変化させる方法では、
ガルバノミラー104等の機械的構造部分の動作精度が
走査速度に依存するため、走査速度を大きくした場合
に、作成される製品の精度が劣化するという問題が生ず
る。すなわち、ガルバノミラー104が回転する場合の
ぶれ・ガタつき等は走査速度を大きくするほど大きくな
るため、光硬化で形成される面の精度もこれに伴って劣
化して、面粗さの粗い製品となってしまうという問題点
があった。これに対して、走査速度は一定として、硬化
させる層の厚さに応じて光透過率可変フィルター,光変
調器等によってレーザ光の強度を変化させる方法が考え
られる。しかし、この方法においては、硬化する層の厚
さが変わるのに伴って硬化する層の径も変化する。すな
わち、硬化させる層の厚さを薄くするためにレーザ光の
強度を小さくすると、光硬化が起こる光強度のしきい値
を越えるレーザビームの径もこれに伴って小さくなり、
硬化する部分の径が小さくなってしまう。このため、製
品の外周部分において硬化寸法のずれを生じ、製品の寸
法精度が悪くなってしまうという問題点があった。さら
に、より高精度の光硬化製品を造形するためには、製品
の各層の各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な
形状として、最適な硬化径と硬化深さとを得ることが求
められていた。
うにレーザ光106の走査速度を変化させる方法では、
ガルバノミラー104等の機械的構造部分の動作精度が
走査速度に依存するため、走査速度を大きくした場合
に、作成される製品の精度が劣化するという問題が生ず
る。すなわち、ガルバノミラー104が回転する場合の
ぶれ・ガタつき等は走査速度を大きくするほど大きくな
るため、光硬化で形成される面の精度もこれに伴って劣
化して、面粗さの粗い製品となってしまうという問題点
があった。これに対して、走査速度は一定として、硬化
させる層の厚さに応じて光透過率可変フィルター,光変
調器等によってレーザ光の強度を変化させる方法が考え
られる。しかし、この方法においては、硬化する層の厚
さが変わるのに伴って硬化する層の径も変化する。すな
わち、硬化させる層の厚さを薄くするためにレーザ光の
強度を小さくすると、光硬化が起こる光強度のしきい値
を越えるレーザビームの径もこれに伴って小さくなり、
硬化する部分の径が小さくなってしまう。このため、製
品の外周部分において硬化寸法のずれを生じ、製品の寸
法精度が悪くなってしまうという問題点があった。さら
に、より高精度の光硬化製品を造形するためには、製品
の各層の各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な
形状として、最適な硬化径と硬化深さとを得ることが求
められていた。
【0005】そこで、本出願の請求項1乃至請求項3に
係る発明においては、製品の各層の各部分において最適
な硬化径と硬化深さとを得ることができる光硬化造形方
法を提供することを目的とする。また、本出願の請求項
2に係る発明においては、光線による光硬化性樹脂の硬
化径を変えることなく硬化深さを変えることができる光
硬化造形方法を提供することを目的とする。また、本出
願の請求項3に係る発明においては、上記の各目的を容
易かつ確実に達成することができる光硬化造形方法を提
供することを目的とする。
係る発明においては、製品の各層の各部分において最適
な硬化径と硬化深さとを得ることができる光硬化造形方
法を提供することを目的とする。また、本出願の請求項
2に係る発明においては、光線による光硬化性樹脂の硬
化径を変えることなく硬化深さを変えることができる光
硬化造形方法を提供することを目的とする。また、本出
願の請求項3に係る発明においては、上記の各目的を容
易かつ確実に達成することができる光硬化造形方法を提
供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】そこで、請求項1に係る
発明においては、上記の課題を解決するために、光硬化
性樹脂に選択的に光線を照射して該光硬化性樹脂を選択
的に硬化させることによって三次元の形状を造形する光
硬化造形方法であって、前記光硬化性樹脂に照射される
前記光線のビーム径を変化させ、または前記光線のビー
ム径を変化させるとともに前記光線の強度を変化させる
ことによって、前記光線の前記光硬化性樹脂の表面にお
ける光強度分布を変化させることを特徴とする光硬化造
形方法を創出した。
発明においては、上記の課題を解決するために、光硬化
性樹脂に選択的に光線を照射して該光硬化性樹脂を選択
的に硬化させることによって三次元の形状を造形する光
硬化造形方法であって、前記光硬化性樹脂に照射される
前記光線のビーム径を変化させ、または前記光線のビー
ム径を変化させるとともに前記光線の強度を変化させる
ことによって、前記光線の前記光硬化性樹脂の表面にお
ける光強度分布を変化させることを特徴とする光硬化造
形方法を創出した。
【0007】また請求項2に係る発明においては、上記
の課題を解決するために、光硬化性樹脂に選択的に光線
を照射して該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることに
よって三次元の形状を造形する光硬化造形方法であっ
て、前記光硬化性樹脂に照射される際の前記光線の強度
を変化させるとともに、前記光線の強度変化による前記
光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように前記光硬
化性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変化させる
ことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
の課題を解決するために、光硬化性樹脂に選択的に光線
を照射して該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることに
よって三次元の形状を造形する光硬化造形方法であっ
て、前記光硬化性樹脂に照射される際の前記光線の強度
を変化させるとともに、前記光線の強度変化による前記
光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように前記光硬
化性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変化させる
ことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
【0008】また、請求項3に係る発明においては、請
求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法であっ
て、前記光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを
構成するレンズを光軸方向に沿って移動させることによ
って行うことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法であっ
て、前記光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを
構成するレンズを光軸方向に沿って移動させることによ
って行うことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
【0009】
【作用】さて、請求項1に係る光硬化造形方法は、光硬
化性樹脂に選択的に光線を照射して、光硬化性樹脂を選
択的に硬化させることによって三次元の形状を造形する
光硬化造形方法である。かかる光硬化造形方法におい
て、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径を変化さ
せることによって、または光線のビーム径を変化させる
とともに光線の強度を変化させることによって、光線の
光硬化性樹脂の表面における光強度分布が変化させられ
る。これによって、光硬化の過程における製品の各層の
各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な形状とす
ることができ、光線の照射による光硬化性樹脂の硬化径
と硬化深さの比率を変化させて最適な硬化径と硬化深さ
を得ることができる。このようにして、製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さとを得ることがで
きる光硬化造形方法となる。
化性樹脂に選択的に光線を照射して、光硬化性樹脂を選
択的に硬化させることによって三次元の形状を造形する
光硬化造形方法である。かかる光硬化造形方法におい
て、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径を変化さ
せることによって、または光線のビーム径を変化させる
とともに光線の強度を変化させることによって、光線の
光硬化性樹脂の表面における光強度分布が変化させられ
る。これによって、光硬化の過程における製品の各層の
各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な形状とす
ることができ、光線の照射による光硬化性樹脂の硬化径
と硬化深さの比率を変化させて最適な硬化径と硬化深さ
を得ることができる。このようにして、製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さとを得ることがで
きる光硬化造形方法となる。
【0010】また、請求項2に係る光硬化造形方法で
は、かかる光硬化造形方法において、光硬化性樹脂に照
射される際の光線の強度が変化させられるとともに、光
線の強度変化による光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち
消すように、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径
が変化させられる。これによって、照射される際の光線
の強度が変化しても光硬化性樹脂の硬化径は変化せず、
従って光硬化性樹脂の硬化径を一定に保ったまま硬化深
さを変化させることができる。このようにして、光線に
よる光硬化性樹脂の硬化径を変えることなく硬化深さを
変えることができる光硬化造形方法となる。
は、かかる光硬化造形方法において、光硬化性樹脂に照
射される際の光線の強度が変化させられるとともに、光
線の強度変化による光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち
消すように、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径
が変化させられる。これによって、照射される際の光線
の強度が変化しても光硬化性樹脂の硬化径は変化せず、
従って光硬化性樹脂の硬化径を一定に保ったまま硬化深
さを変化させることができる。このようにして、光線に
よる光硬化性樹脂の硬化径を変えることなく硬化深さを
変えることができる光硬化造形方法となる。
【0011】また、請求項3に係る光硬化造形方法は、
請求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法におい
て、光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成
するレンズを光軸方向に沿って移動させることによって
行っている。ビームエクスパンダを構成するレンズを光
軸方向に沿って移動させれば、光線の焦点位置が光硬化
性樹脂の表面から上下にずれることになり、この結果光
硬化性樹脂の表面における光線のビーム径が変化するこ
とになる。かかるビームエクスパンダを構成するレンズ
の移動は、光学用ステージ等を用いて極めて容易かつ精
密に行うことができる。また、ビームエクスパンダは光
硬化造形方法を実施するための装置には通常組み込まれ
ているため、新たな光学要素を追加することなく、光線
のビーム径の変化を実現することができる。このように
して、光線による光硬化性樹脂の硬化径を変えることな
く硬化深さを変えるという目的を容易かつ確実に達成す
ることができる光硬化造形方法となる。
請求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法におい
て、光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成
するレンズを光軸方向に沿って移動させることによって
行っている。ビームエクスパンダを構成するレンズを光
軸方向に沿って移動させれば、光線の焦点位置が光硬化
性樹脂の表面から上下にずれることになり、この結果光
硬化性樹脂の表面における光線のビーム径が変化するこ
とになる。かかるビームエクスパンダを構成するレンズ
の移動は、光学用ステージ等を用いて極めて容易かつ精
密に行うことができる。また、ビームエクスパンダは光
硬化造形方法を実施するための装置には通常組み込まれ
ているため、新たな光学要素を追加することなく、光線
のビーム径の変化を実現することができる。このように
して、光線による光硬化性樹脂の硬化径を変えることな
く硬化深さを変えるという目的を容易かつ確実に達成す
ることができる光硬化造形方法となる。
【0012】
【実施例】次に、本発明を具現化した一実施例につい
て、図1乃至図3を参照して説明する。まず、本実施例
の光硬化造形方法に用いられる光硬化造形装置の構成及
び各部の機能について、図1及び図2を参照して説明す
る。図1は本実施例の光硬化造形方法に用いられる光硬
化造形装置の構成を示す平面図であり、図2はその正面
図である。なお、図1及び図2は、光硬化造形装置の中
心となる光学系の構成のみを示しており、ミラー,レン
ズ等の支持機構や駆動機構等は省略されている。図1に
示されるように、本実施例に用いられる光硬化造形装置
2はレーザ光源として He-Cdレーザ4を有している。こ
の He-Cdレーザ4から出射される紫外線レーザ光6が全
反射ミラー8で反射され、音響光学式光変調器(Acoust
o-OpticModulator ,以下「AOM」と略する)モジュ
ール10に入射される。AOMモジュール10内で変調
された紫外線レーザ光6は、直進する0次光または僅か
に偏向した1次光として出射して、全反射ミラー12で
真下方向(図1の紙面に垂直な方向)に反射され、さら
に全反射ミラー14で水平方向に反射される。
て、図1乃至図3を参照して説明する。まず、本実施例
の光硬化造形方法に用いられる光硬化造形装置の構成及
び各部の機能について、図1及び図2を参照して説明す
る。図1は本実施例の光硬化造形方法に用いられる光硬
化造形装置の構成を示す平面図であり、図2はその正面
図である。なお、図1及び図2は、光硬化造形装置の中
心となる光学系の構成のみを示しており、ミラー,レン
ズ等の支持機構や駆動機構等は省略されている。図1に
示されるように、本実施例に用いられる光硬化造形装置
2はレーザ光源として He-Cdレーザ4を有している。こ
の He-Cdレーザ4から出射される紫外線レーザ光6が全
反射ミラー8で反射され、音響光学式光変調器(Acoust
o-OpticModulator ,以下「AOM」と略する)モジュ
ール10に入射される。AOMモジュール10内で変調
された紫外線レーザ光6は、直進する0次光または僅か
に偏向した1次光として出射して、全反射ミラー12で
真下方向(図1の紙面に垂直な方向)に反射され、さら
に全反射ミラー14で水平方向に反射される。
【0013】このAOMモジュール10は、後述する液
状樹脂40に照射される紫外線レーザ光6の強度を変化
させる機能をも有する。すなわち、AOMモジュール1
0に印加される超音波の電力を変化させることによっ
て、0次光と1次光との強度比率が変化する。後述する
ように、最終的に液状樹脂40に照射されるのは紫外線
レーザ光6の1次光のみであるため、0次光と1次光と
の強度比率を変えることによって、液状樹脂40に照射
される紫外線レーザ光6の強度が変わることになる。
状樹脂40に照射される紫外線レーザ光6の強度を変化
させる機能をも有する。すなわち、AOMモジュール1
0に印加される超音波の電力を変化させることによっ
て、0次光と1次光との強度比率が変化する。後述する
ように、最終的に液状樹脂40に照射されるのは紫外線
レーザ光6の1次光のみであるため、0次光と1次光と
の強度比率を変えることによって、液状樹脂40に照射
される紫外線レーザ光6の強度が変わることになる。
【0014】続いて、紫外線レーザ光6はメカシャッタ
ー16及び虹彩絞り18を通過して、ビームエクスパン
ダを構成する凸レンズ20に入射する。この凸レンズ2
0と凸レンズ24とによって、紫外線レーザ光6のビー
ム径を拡大するためのビームエクスパンダが構成されて
いる。凸レンズ20と凸レンズ24との間には、空間フ
ィルター22が設けられている。この空間フィルター2
2は凸レンズ20の焦点に位置しており、本実施例にお
いては空間フィルター22としてスリットを用いてい
る。この空間フィルター22によってAOMモジュール
10から出射したレーザ光のうち0次光は遮られ、1次
光のみが空間フィルター22を通過する。従って、AO
Mモジュール10で紫外線レーザ光6を0次光と1次光
とに高速で切り換えることによって、後述するガルバノ
ミラー28,30の走査速度に対応した高速での紫外線
レーザ光6のシャッタリングが可能になる。これによっ
て、紫外線レーザ光6を高速で走査しながら、液状樹脂
40のうち必要な部分にのみ照射することができる。
ー16及び虹彩絞り18を通過して、ビームエクスパン
ダを構成する凸レンズ20に入射する。この凸レンズ2
0と凸レンズ24とによって、紫外線レーザ光6のビー
ム径を拡大するためのビームエクスパンダが構成されて
いる。凸レンズ20と凸レンズ24との間には、空間フ
ィルター22が設けられている。この空間フィルター2
2は凸レンズ20の焦点に位置しており、本実施例にお
いては空間フィルター22としてスリットを用いてい
る。この空間フィルター22によってAOMモジュール
10から出射したレーザ光のうち0次光は遮られ、1次
光のみが空間フィルター22を通過する。従って、AO
Mモジュール10で紫外線レーザ光6を0次光と1次光
とに高速で切り換えることによって、後述するガルバノ
ミラー28,30の走査速度に対応した高速での紫外線
レーザ光6のシャッタリングが可能になる。これによっ
て、紫外線レーザ光6を高速で走査しながら、液状樹脂
40のうち必要な部分にのみ照射することができる。
【0015】また、凸レンズ24は、紫外線レーザ光6
の光軸方向に沿って移動可能となっている。この凸レン
ズ24の移動機構は、凸レンズ24のレンズホルダーを
パルスモータを用いたスライドステージ(いずれも図示
省略)に取り付けることによって構成されている。かか
る移動機構で凸レンズ24を移動させることによって、
紫外線レーザ光6の最小集光点が液状樹脂40の液面か
ら上下にずれ、この結果液状樹脂40の液面における紫
外線レーザ光6のスポット径が変化する。これによっ
て、後で図3について説明するように、紫外線レーザ光
6による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹
脂40の硬化深さを変化させることができる。
の光軸方向に沿って移動可能となっている。この凸レン
ズ24の移動機構は、凸レンズ24のレンズホルダーを
パルスモータを用いたスライドステージ(いずれも図示
省略)に取り付けることによって構成されている。かか
る移動機構で凸レンズ24を移動させることによって、
紫外線レーザ光6の最小集光点が液状樹脂40の液面か
ら上下にずれ、この結果液状樹脂40の液面における紫
外線レーザ光6のスポット径が変化する。これによっ
て、後で図3について説明するように、紫外線レーザ光
6による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹
脂40の硬化深さを変化させることができる。
【0016】凸レンズ24から出射したビーム径が拡大
された紫外線レーザ光6は、二つ目の虹彩絞り26を通
過して、ガルバノミラー28及び30によって反射され
る。ガルバノミラー28は、図1の紙面に垂直な回転軸
を中心として回転し、ガルバノミラー30は、図1の紙
面内にある回転軸を中心として回転する。これによっ
て、図2に破線で示されるように、紫外線レーザ光6
は、ガルバノミラー30の下方に設けられた樹脂容器3
8の全面にわたって走査される。また、図2に示される
ように、ガルバノミラー30と樹脂容器38の間には、
fθレンズ32が設けられている。このfθレンズ32
は、数枚のレンズが組み合わされて構成されており、紫
外線レーザ光6を樹脂容器38内の液状樹脂40の表面
において、全面にわたって均一なスポット径で集光す
る。なお、二つの虹彩絞り18,26は、光硬化造形装
置2を組み立てる際に紫外線レーザ光6の光軸合わせを
するためにのみ用いられるものであり、光軸合わせが完
了した後は全開とされる。また、メカシャッター16は
樹脂容器38の周辺で作業をする場合等に作業者の安全
のために閉じられるものであり、光硬化造形装置2の使
用時には全開とされている。
された紫外線レーザ光6は、二つ目の虹彩絞り26を通
過して、ガルバノミラー28及び30によって反射され
る。ガルバノミラー28は、図1の紙面に垂直な回転軸
を中心として回転し、ガルバノミラー30は、図1の紙
面内にある回転軸を中心として回転する。これによっ
て、図2に破線で示されるように、紫外線レーザ光6
は、ガルバノミラー30の下方に設けられた樹脂容器3
8の全面にわたって走査される。また、図2に示される
ように、ガルバノミラー30と樹脂容器38の間には、
fθレンズ32が設けられている。このfθレンズ32
は、数枚のレンズが組み合わされて構成されており、紫
外線レーザ光6を樹脂容器38内の液状樹脂40の表面
において、全面にわたって均一なスポット径で集光す
る。なお、二つの虹彩絞り18,26は、光硬化造形装
置2を組み立てる際に紫外線レーザ光6の光軸合わせを
するためにのみ用いられるものであり、光軸合わせが完
了した後は全開とされる。また、メカシャッター16は
樹脂容器38の周辺で作業をする場合等に作業者の安全
のために閉じられるものであり、光硬化造形装置2の使
用時には全開とされている。
【0017】さらに、樹脂容器38の外側には、二つの
二次元光センサ34A,34Bが設けられている。これ
らの二次元光センサ34A,34Bは正方形の受光面を
有しており、光ビームが当たったときに正方形の受光面
のうちどの位置に当たったかを検出することができる。
ガルバノミラー28による紫外線レーザ光6の図1の左
右方向への走査を開始する際には、まず原位置として二
次元光センサ34Bに紫外線レーザ光6が照射される。
ガルバノミラー28のふれ角が正常であれば、紫外線レ
ーザ光6は二次元光センサ34Bの受光面の中心に当た
る。しかし、光硬化造形装置2の使用中の温度変化等に
よってガルバノミラー28のふれ角がずれると、原位置
における紫外線レーザ光6の当たる位置も二次元光セン
サ34Bの受光面の中心からずれてくる。そこで、この
ずれ量を二次元光センサ34Bで測定して、図示しない
制御ユニットによってガルバノミラー28のふれ角を修
正する。このようにして、長時間の使用によっても、ガ
ルバノミラー28による走査位置が常に正確に保たれる
ようにしている。同様にして、ガルバノミラー30のふ
れ角を、二次元光センサ34Aを用いて補正している。
二次元光センサ34A,34Bが設けられている。これ
らの二次元光センサ34A,34Bは正方形の受光面を
有しており、光ビームが当たったときに正方形の受光面
のうちどの位置に当たったかを検出することができる。
ガルバノミラー28による紫外線レーザ光6の図1の左
右方向への走査を開始する際には、まず原位置として二
次元光センサ34Bに紫外線レーザ光6が照射される。
ガルバノミラー28のふれ角が正常であれば、紫外線レ
ーザ光6は二次元光センサ34Bの受光面の中心に当た
る。しかし、光硬化造形装置2の使用中の温度変化等に
よってガルバノミラー28のふれ角がずれると、原位置
における紫外線レーザ光6の当たる位置も二次元光セン
サ34Bの受光面の中心からずれてくる。そこで、この
ずれ量を二次元光センサ34Bで測定して、図示しない
制御ユニットによってガルバノミラー28のふれ角を修
正する。このようにして、長時間の使用によっても、ガ
ルバノミラー28による走査位置が常に正確に保たれる
ようにしている。同様にして、ガルバノミラー30のふ
れ角を、二次元光センサ34Aを用いて補正している。
【0018】この補正のための、ずれ量の求め方の具体
的な内容について説明する。ガルバノミラー28のふれ
角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる二次元
光センサ34Bの面上の位置をE1とし、そのX方向
(図1の左右方向)の座標をx1,Y方向(図1の上下
方向)の座標をy1とする。また、ガルバノミラー30
のふれ角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる
二次元光センサ34Aの面上の位置をE2とし、そのX
方向の座標をx2,Y方向の座標をy2とする。さら
に、光硬化造形装置2の使用中において実際に紫外線レ
ーザ光6が当たる位置(ずれ量を含む)の座標を、二次
元光センサ34BについてE3(x3,y3)、二次元
光センサ34AについてE4(x4,y4)とする。ガ
ルバノミラー28,30のずれ量(オフセット)のうち
ゼロオフセットをΔx,Δyとし、ゲインオフセットを
ΔGx,ΔGyとすると、次式(1),(2)が成り立
つ。 x3=ΔGx・x1+Δx … (1) x4=ΔGx・x2+Δx … (2) 従って、ΔGx,Δxの値は、次式(3),(4)によ
って与えられる。 ΔGx=(x3−x4)/(x1−x2) … (3) Δx=x3−ΔGx・x1 … (4) ΔGy,Δyの値も、同様にしてy1,y2,y3,y
4から求められる。
的な内容について説明する。ガルバノミラー28のふれ
角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる二次元
光センサ34Bの面上の位置をE1とし、そのX方向
(図1の左右方向)の座標をx1,Y方向(図1の上下
方向)の座標をy1とする。また、ガルバノミラー30
のふれ角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる
二次元光センサ34Aの面上の位置をE2とし、そのX
方向の座標をx2,Y方向の座標をy2とする。さら
に、光硬化造形装置2の使用中において実際に紫外線レ
ーザ光6が当たる位置(ずれ量を含む)の座標を、二次
元光センサ34BについてE3(x3,y3)、二次元
光センサ34AについてE4(x4,y4)とする。ガ
ルバノミラー28,30のずれ量(オフセット)のうち
ゼロオフセットをΔx,Δyとし、ゲインオフセットを
ΔGx,ΔGyとすると、次式(1),(2)が成り立
つ。 x3=ΔGx・x1+Δx … (1) x4=ΔGx・x2+Δx … (2) 従って、ΔGx,Δxの値は、次式(3),(4)によ
って与えられる。 ΔGx=(x3−x4)/(x1−x2) … (3) Δx=x3−ΔGx・x1 … (4) ΔGy,Δyの値も、同様にしてy1,y2,y3,y
4から求められる。
【0019】さて、かかる構成を有する本実施例の光硬
化造形装置2における硬化深さ及び硬化径の調節方法に
ついて、図1,図2を参照しつつ図3について説明す
る。図3は、液状樹脂40の表面における紫外線レーザ
光6の光強度分布を示すものである。図3の縦軸は紫外
線レーザ光6の光強度を示し、下に行くほど光強度が大
きくなる。光強度しきい値Pthは、これ以上の光強度で
液状樹脂40が照射された場合に光硬化を起こすしきい
値である。また、図3の横軸は、ビームスポット径を示
している。図3に示されるように、紫外線レーザ光6が
一点鎖線で示されるピーク強度P1の光強度分布で液状
樹脂40に照射された場合には、しきい値Pthを越える
部分D1が光硬化する。すなわち、硬化深さはD1とな
る。これに対して、図1,図2のAOMモジュール10
によって紫外線レーザ光6の強度を弱くして、破線で示
されるピーク強度P2の光強度分布で照射した場合に
は、液状樹脂40の硬化深さはD2となる。このよう
に、照射する紫外線レーザ光6の強度を調節することに
よって液状樹脂40の硬化深さを調節することができ
る。しかし、これに伴って図3に示されるように、液状
樹脂40の硬化径もW1からW2に変化して硬化径が細
くなってしまうため、先に述べたように製品の寸法精度
が劣化することになる。
化造形装置2における硬化深さ及び硬化径の調節方法に
ついて、図1,図2を参照しつつ図3について説明す
る。図3は、液状樹脂40の表面における紫外線レーザ
光6の光強度分布を示すものである。図3の縦軸は紫外
線レーザ光6の光強度を示し、下に行くほど光強度が大
きくなる。光強度しきい値Pthは、これ以上の光強度で
液状樹脂40が照射された場合に光硬化を起こすしきい
値である。また、図3の横軸は、ビームスポット径を示
している。図3に示されるように、紫外線レーザ光6が
一点鎖線で示されるピーク強度P1の光強度分布で液状
樹脂40に照射された場合には、しきい値Pthを越える
部分D1が光硬化する。すなわち、硬化深さはD1とな
る。これに対して、図1,図2のAOMモジュール10
によって紫外線レーザ光6の強度を弱くして、破線で示
されるピーク強度P2の光強度分布で照射した場合に
は、液状樹脂40の硬化深さはD2となる。このよう
に、照射する紫外線レーザ光6の強度を調節することに
よって液状樹脂40の硬化深さを調節することができ
る。しかし、これに伴って図3に示されるように、液状
樹脂40の硬化径もW1からW2に変化して硬化径が細
くなってしまうため、先に述べたように製品の寸法精度
が劣化することになる。
【0020】そこで、本実施例の光硬化造形方法におい
ては、紫外線レーザ光6の強度を調節するとともにレー
ザビームのスポット径を調節することによって、硬化径
が一定になるようにしている。すなわち、まず図1,図
2の凸レンズ24を光軸方向に移動させて、紫外線レー
ザ光6のスポット径を大きくする。これによって、スポ
ット径が拡がった分だけピーク強度がP3まで下がり、
二点鎖線で示される光強度分布となる。同時に、AOM
モジュール10で紫外線レーザ光6の強度を弱くしてピ
ーク強度をP3からP2に低下させる。これによって、
図3に実線で示されるような、ピーク強度P2でしきい
値Pthにおけるビーム径がW1となるような光強度分布
が得られる。このような光強度分布を有する紫外線レー
ザ光6で液状樹脂40を照射することによって、液状樹
脂40の硬化深さをD2に変化させつつ、硬化径を一定
の大きさW1に保つことができる。このようにして、本
実施例の光硬化造形方法においては、紫外線レーザ光6
による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹脂
40の硬化深さを変化させることができる。
ては、紫外線レーザ光6の強度を調節するとともにレー
ザビームのスポット径を調節することによって、硬化径
が一定になるようにしている。すなわち、まず図1,図
2の凸レンズ24を光軸方向に移動させて、紫外線レー
ザ光6のスポット径を大きくする。これによって、スポ
ット径が拡がった分だけピーク強度がP3まで下がり、
二点鎖線で示される光強度分布となる。同時に、AOM
モジュール10で紫外線レーザ光6の強度を弱くしてピ
ーク強度をP3からP2に低下させる。これによって、
図3に実線で示されるような、ピーク強度P2でしきい
値Pthにおけるビーム径がW1となるような光強度分布
が得られる。このような光強度分布を有する紫外線レー
ザ光6で液状樹脂40を照射することによって、液状樹
脂40の硬化深さをD2に変化させつつ、硬化径を一定
の大きさW1に保つことができる。このようにして、本
実施例の光硬化造形方法においては、紫外線レーザ光6
による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹脂
40の硬化深さを変化させることができる。
【0021】さらに、本実施例の光硬化造形方法におい
ては、紫外線レーザ光6の光強度分布を任意に変化させ
ることによって、光硬化の過程における製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さを得ることができ
る。すなわち、上述の如く、凸レンズ24の移動によっ
て紫外線レーザ光6のスポット径を大きくすると、光強
度分布は一点鎖線で示されるものから二点鎖線で示され
るものへ変化する。図3に示されるように、この場合の
硬化径はW1からW3へと変化し、硬化深さはD1から
D3へと変化する。このように、スポット径を変化させ
るのみでも、光強度分布を変えることができる。これに
加えて、AOMモジュール10で紫外線レーザ光6の強
度を弱くすることによって、上述の如く、光強度分布を
二点鎖線で示されるものから実線で示されるものへと変
化させることができる。このように、スポット径を変化
させることによって、またはスポット径を変化させると
ともに光強度を変化させることによって、紫外線レーザ
光6の光強度分布を任意に変化させることができる。従
って、紫外線レーザ光6による硬化径と硬化深さを最適
な比率及び最適な大きさに調節することができ、光硬化
造形の際の製品の各層の各部分における硬化径と硬化深
さを最適化することが可能となる。これによって、より
高精度な光硬化造形を行うことができる。
ては、紫外線レーザ光6の光強度分布を任意に変化させ
ることによって、光硬化の過程における製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さを得ることができ
る。すなわち、上述の如く、凸レンズ24の移動によっ
て紫外線レーザ光6のスポット径を大きくすると、光強
度分布は一点鎖線で示されるものから二点鎖線で示され
るものへ変化する。図3に示されるように、この場合の
硬化径はW1からW3へと変化し、硬化深さはD1から
D3へと変化する。このように、スポット径を変化させ
るのみでも、光強度分布を変えることができる。これに
加えて、AOMモジュール10で紫外線レーザ光6の強
度を弱くすることによって、上述の如く、光強度分布を
二点鎖線で示されるものから実線で示されるものへと変
化させることができる。このように、スポット径を変化
させることによって、またはスポット径を変化させると
ともに光強度を変化させることによって、紫外線レーザ
光6の光強度分布を任意に変化させることができる。従
って、紫外線レーザ光6による硬化径と硬化深さを最適
な比率及び最適な大きさに調節することができ、光硬化
造形の際の製品の各層の各部分における硬化径と硬化深
さを最適化することが可能となる。これによって、より
高精度な光硬化造形を行うことができる。
【0022】本実施例においては、光硬化性樹脂(液状
樹脂)40を硬化させるための光線として He-Cdレーザ
4から出射される紫外線レーザ光6を用いているが、Ar
レーザ等の他の紫外線レーザ光源による紫外線レーザ光
でも良い。また、光硬化性樹脂の種類によっては、他の
波長のレーザ光やレーザ光以外の光線を用いることもで
きる。また、本実施例においては、紫外線レーザ光6の
強度を調節する方法としてAOMモジュールによる0次
光と1次光との強度比率の変化を用いているが、光透過
率可変フィルターを用いる等の他の方式によることもで
きる。強度調節及び光偏向用として、AOMモジュール
の代わりにEOM(Electro-Optic Modulator,電気光
学式光変調器)モジュールを用いても良い。
樹脂)40を硬化させるための光線として He-Cdレーザ
4から出射される紫外線レーザ光6を用いているが、Ar
レーザ等の他の紫外線レーザ光源による紫外線レーザ光
でも良い。また、光硬化性樹脂の種類によっては、他の
波長のレーザ光やレーザ光以外の光線を用いることもで
きる。また、本実施例においては、紫外線レーザ光6の
強度を調節する方法としてAOMモジュールによる0次
光と1次光との強度比率の変化を用いているが、光透過
率可変フィルターを用いる等の他の方式によることもで
きる。強度調節及び光偏向用として、AOMモジュール
の代わりにEOM(Electro-Optic Modulator,電気光
学式光変調器)モジュールを用いても良い。
【0023】さらに、本実施例では、紫外線レーザ光6
のスポット径を調節する方法としてビームエクスパンダ
を構成する凸レンズ24を光軸方向に沿って移動させる
方法を用いているが、fθレンズ32を光軸方向に沿っ
て移動させる(上下させる)ことによってもスポット径
を調節することができる。また、ビームエクスパンダ用
レンズ20,24、fθレンズ32以外のスポット径調
節専用のレンズを追加して、この専用レンズを光軸方向
に沿って移動させる等、その他の方法を用いても構わな
い。また、本実施例においては、空間フィルター22と
してスリットを用いているが、ガラス板上にマスクパタ
ーンを描いたもの等を空間フィルターとして用いても良
い。光硬化造形方法のその他の部分の構成,機能,数,
大きさ,接続関係等についても、本実施例に限定される
ものではない。
のスポット径を調節する方法としてビームエクスパンダ
を構成する凸レンズ24を光軸方向に沿って移動させる
方法を用いているが、fθレンズ32を光軸方向に沿っ
て移動させる(上下させる)ことによってもスポット径
を調節することができる。また、ビームエクスパンダ用
レンズ20,24、fθレンズ32以外のスポット径調
節専用のレンズを追加して、この専用レンズを光軸方向
に沿って移動させる等、その他の方法を用いても構わな
い。また、本実施例においては、空間フィルター22と
してスリットを用いているが、ガラス板上にマスクパタ
ーンを描いたもの等を空間フィルターとして用いても良
い。光硬化造形方法のその他の部分の構成,機能,数,
大きさ,接続関係等についても、本実施例に限定される
ものではない。
【0024】
【発明の効果】請求項1に係る発明においては、光線の
ビーム径を変化させ、またはビーム径を変化させるとと
もに光線の強度を変化させることによって光強度分布を
変化させる光硬化造形方法を創出したために、光硬化の
過程における製品の各層の各部分においてレーザ光の光
強度分布を最適な形状とすることができ、光線の照射に
よる光硬化性樹脂の硬化径と硬化深さの比率を変化させ
て最適な硬化径と硬化深さを得ることができる。これに
よって、製品の各層の各部分における硬化径と硬化深さ
とを最適化して、より高精度な製品を造形することがで
きる実用的な光硬化造形方法となる。
ビーム径を変化させ、またはビーム径を変化させるとと
もに光線の強度を変化させることによって光強度分布を
変化させる光硬化造形方法を創出したために、光硬化の
過程における製品の各層の各部分においてレーザ光の光
強度分布を最適な形状とすることができ、光線の照射に
よる光硬化性樹脂の硬化径と硬化深さの比率を変化させ
て最適な硬化径と硬化深さを得ることができる。これに
よって、製品の各層の各部分における硬化径と硬化深さ
とを最適化して、より高精度な製品を造形することがで
きる実用的な光硬化造形方法となる。
【0025】また、請求項2に係る発明においては、光
硬化性樹脂に照射される光線の強度を変化させるととも
に光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように光線の
ビーム径を変化させる光硬化造形方法を創出したため
に、照射される際の光線の強度が変化しても光硬化性樹
脂の硬化径は変化せず、光硬化性樹脂の硬化径を一定に
保ったまま硬化深さを変化させることができる。これに
よって、光硬化させる層の厚さを変えつつ、造形される
製品の寸法精度を高精度に保つことができる実用的な光
硬化造形方法となる。
硬化性樹脂に照射される光線の強度を変化させるととも
に光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように光線の
ビーム径を変化させる光硬化造形方法を創出したため
に、照射される際の光線の強度が変化しても光硬化性樹
脂の硬化径は変化せず、光硬化性樹脂の硬化径を一定に
保ったまま硬化深さを変化させることができる。これに
よって、光硬化させる層の厚さを変えつつ、造形される
製品の寸法精度を高精度に保つことができる実用的な光
硬化造形方法となる。
【0026】また、請求項3に係る発明においては、光
線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成するレ
ンズを光軸方向に沿って移動させることによって行う光
硬化造形方法を創出したために、新たな光学要素を追加
することなく、容易かつ精密にビーム径を変化させるこ
とができる。このようにして、光線による光硬化性樹脂
の硬化径を変えることなく硬化深さを変えるという目的
を容易かつ確実に達成することができる実用的な光硬化
造形方法となる。
線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成するレ
ンズを光軸方向に沿って移動させることによって行う光
硬化造形方法を創出したために、新たな光学要素を追加
することなく、容易かつ精密にビーム径を変化させるこ
とができる。このようにして、光線による光硬化性樹脂
の硬化径を変えることなく硬化深さを変えるという目的
を容易かつ確実に達成することができる実用的な光硬化
造形方法となる。
【図1】本発明に係る光硬化造形方法の一実施例に用い
られる光硬化造形装置の構成を示す平面図である。
られる光硬化造形装置の構成を示す平面図である。
【図2】光硬化造形方法の一実施例に用いられる光硬化
造形装置の構成を示す正面図である。
造形装置の構成を示す正面図である。
【図3】光硬化造形方法の一実施例における光硬化深さ
及び硬化径の調節の方法を示す説明図である。
及び硬化径の調節の方法を示す説明図である。
【図4】従来の光硬化造形方法を示す説明図である。
2 光硬化造形装置 6 光線 40 光硬化性樹脂
Claims (3)
- 【請求項1】 光硬化性樹脂に選択的に光線を照射して
該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることによって三次
元の形状を造形する光硬化造形方法であって、 前記光硬化性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変
化させ、または前記光線のビーム径を変化させるととも
に前記光線の強度を変化させることによって、前記光線
の前記光硬化性樹脂の表面における光強度分布を変化さ
せることを特徴とする光硬化造形方法。 - 【請求項2】 光硬化性樹脂に選択的に光線を照射して
該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることによって三次
元の形状を造形する光硬化造形方法であって、 前記光硬化性樹脂に照射される際の前記光線の強度を変
化させるとともに、前記光線の強度の変化による前記光
硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように前記光硬化
性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変化させるこ
とを特徴とする光硬化造形方法。 - 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の光硬化
造形方法であって、前記光線のビーム径の変化をビーム
エクスパンダを構成するレンズを光軸方向に沿って移動
させることによって行うことを特徴とする光硬化造形方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155873A JPH091674A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 光硬化造形方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7155873A JPH091674A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 光硬化造形方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091674A true JPH091674A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15615376
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7155873A Pending JPH091674A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 光硬化造形方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH091674A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10212937A1 (de) * | 2002-03-22 | 2003-10-09 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren zur Einstellung der Bildlinienbreite in einem Belichter |
| KR100845302B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2008-07-10 | 한국기계연구원 | 3차원 가공 장치의 피딩 룸 건조 장치 |
| WO2016075801A1 (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | 株式会社ニコン | 造形装置及び造形方法 |
| CN106922135A (zh) * | 2014-11-14 | 2017-07-04 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
| JP2018103472A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | シーメット株式会社 | 光学的立体造形方法 |
| JP2023521002A (ja) * | 2020-03-31 | 2023-05-23 | アップナノ ゲーエムベーハー | 3次元部品をリソグラフィに基づいて生成して製造するための方法及び装置 |
| US11794281B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-10-24 | Renishaw Plc | Laser processing |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP7155873A patent/JPH091674A/ja active Pending
Cited By (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10212937A1 (de) * | 2002-03-22 | 2003-10-09 | Heidelberger Druckmasch Ag | Verfahren zur Einstellung der Bildlinienbreite in einem Belichter |
| US6836283B2 (en) | 2002-03-22 | 2004-12-28 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Method of setting the image line width in an exposer |
| DE10212937B4 (de) * | 2002-03-22 | 2009-12-17 | Heidelberger Druckmaschinen Ag | Verfahren zur Einstellung der Bildlinienbreite in einem Belichter |
| KR100845302B1 (ko) * | 2007-02-21 | 2008-07-10 | 한국기계연구원 | 3차원 가공 장치의 피딩 룸 건조 장치 |
| US20210354243A1 (en) * | 2014-11-14 | 2021-11-18 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| KR20210094166A (ko) * | 2014-11-14 | 2021-07-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 조형 장치 및 조형 방법 |
| KR20170084196A (ko) * | 2014-11-14 | 2017-07-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 조형 장치 및 조형 방법 |
| JPWO2016075801A1 (ja) * | 2014-11-14 | 2017-09-28 | 株式会社ニコン | 造形装置及び造形方法 |
| US20170304947A1 (en) * | 2014-11-14 | 2017-10-26 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| US20170304946A1 (en) * | 2014-11-14 | 2017-10-26 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| US11911844B2 (en) | 2014-11-14 | 2024-02-27 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| CN106922135B (zh) * | 2014-11-14 | 2020-07-14 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
| CN111702173A (zh) * | 2014-11-14 | 2020-09-25 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
| CN106922135A (zh) * | 2014-11-14 | 2017-07-04 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
| US11161202B2 (en) | 2014-11-14 | 2021-11-02 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| WO2016075801A1 (ja) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | 株式会社ニコン | 造形装置及び造形方法 |
| CN111702173B (zh) * | 2014-11-14 | 2023-12-19 | 株式会社尼康 | 造型装置及造型方法 |
| US11806810B2 (en) | 2014-11-14 | 2023-11-07 | Nikon Corporation | Shaping apparatus and shaping method |
| JP2018103472A (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | シーメット株式会社 | 光学的立体造形方法 |
| US11794281B2 (en) | 2017-08-09 | 2023-10-24 | Renishaw Plc | Laser processing |
| JP2023521002A (ja) * | 2020-03-31 | 2023-05-23 | アップナノ ゲーエムベーハー | 3次元部品をリソグラフィに基づいて生成して製造するための方法及び装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2067607B1 (en) | Optical shaping apparatus and optical shaping method | |
| US5133987A (en) | Stereolithographic apparatus and method | |
| EP3078482B1 (en) | Photo-curing 3d printing device and imaging system thereof | |
| EP2213443B1 (en) | Optical shaping apparatus and shaping base | |
| EP0388129B2 (en) | Method and apparatus for producing three-dimensional objects | |
| CN101204851B (zh) | 光学建模装置 | |
| JP3520310B2 (ja) | 3次元物体の製造方法及び装置 | |
| RU2671740C1 (ru) | Стереолитографическое устройство с улучшенным оптическим блоком | |
| JP5023975B2 (ja) | 光造形装置及び光造形方法 | |
| US20220168960A1 (en) | Method of 3d printing shapes defined by surface equations | |
| US20170225393A1 (en) | Apparatus and method for forming three-dimensional objects using two-photon absorption linear solidification | |
| JP2008162188A (ja) | 光造形装置 | |
| JP2009113294A (ja) | 光造形装置及び光造形方法 | |
| JPH091674A (ja) | 光硬化造形方法 | |
| JPS6237109A (ja) | 立体形状形成装置 | |
| JP3252859B2 (ja) | 立体形状成形装置および立体形状成形方法 | |
| JP3948835B2 (ja) | 光造形方法及びその装置 | |
| JP2009166448A (ja) | 光造形装置および光造形方法 | |
| IL296748A (en) | Method and apparatus for lithography-based generative manufacturing of a three-dimensional component | |
| KR102497174B1 (ko) | 이광자 스테레오리소그래피의 이중패터닝 방법 및 장치 | |
| JP3170832B2 (ja) | 光学的造形方法 | |
| JPH07232383A (ja) | 三次元光造形方法及びその装置 | |
| JPS6299753A (ja) | 立体形状の形成方法 | |
| JP3171478B2 (ja) | 光造形装置の反射光学系 | |
| KR100236565B1 (ko) | 액면규제방식의 광조형 장치 및 방법 |