JPH09113203A - 差動トランスおよびそれを用いた測定装置 - Google Patents
差動トランスおよびそれを用いた測定装置Info
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 22
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 7
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract 1
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 20
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 9
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 210000003298 dental enamel Anatomy 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000896 Manganin Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 2
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- VNTLIPZTSJSULJ-UHFFFAOYSA-N chromium molybdenum Chemical compound [Cr].[Mo] VNTLIPZTSJSULJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/204—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils
- G01D5/2046—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature by influencing the mutual induction between two or more coils by a movable ferromagnetic element, e.g. a core
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/004—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points
- G01B7/008—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
- G01B7/012—Contact-making feeler heads therefor
- G01B7/016—Constructional details of contacts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/12—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring diameters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
- G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
- G01D5/20—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature
- G01D5/22—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying inductance, e.g. by a movable armature differentially influencing two coils
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Abstract
ルの相対変位量に応じた一定の検出値が得られる差動ト
ランスの提供。 【解決手段】 非磁性体からなる円筒状のボビンの外周
面に1つの一次コイル32および2つの二次コイル3
3,34を巻回した差動コイル35と、前記差動コイル
内に軸線方向移動可能に嵌装された磁性体からなるコア
36とから構成され、前記コア36と前記差動コイルと
の相対変位量を検出する差動トランスにおいて、前記2
つの二次コイルを抵抗率の温度係数が異なる少なくとも
2種類の導線Aと導線Bとを所定の割合で結線した複合
導線によって構成したことを特徴とする差動トランス。
Description
が変化しない差動トランスおよびそれを用いた測定装置
に関するものである。
作物(被測定物)の径寸法を測定する定寸装置において
は、工作物を狭持する一対のフィーラの相対変位量を差
動トランスにて検出するものが一般的に知られている。
この種の定寸装置に関し、本出願人は先に特開平6−2
29704号公報において、定寸装置の周囲の温度変化
による熱変位の影響を補償する定寸装置を提案した。す
なわち、この定寸装置は、図9に示すように、工作物W
の上下に接触する接触子3a,3bを先端に有する一対
のフィーラ2a,2bが、装置本体1に固定された支持
部材1aに板バネ4を介して変位可能に支持されてい
る。フィーラ2a,2bの後端側には差動トランス5が
設けられている。この差動トランス5は、磁性体からな
るコア6と、このコア6を外嵌する差動コイル7と、こ
の差動コイル7を保持するボビン8とから構成されてい
る。コア6は下側のフィーラ2bに固定されており、上
記差動コイル7を内装するボビン8はスペーサ9を介し
て上側のフィーラ2aに固定されている。そして、フィ
ーラ2a,2bの変位によってコア6と差動コイル7と
が相対変位することにより工作物Wの径変化を検出する
ようになっている。また、上記ボビン8とフィーラ2a
の間に介在されるスペーサ9は、熱変位によってコア6
が伸びる方向に同一量膨張するような線膨張係数を有す
る部材で構成されている。
よってコア6が軸線方向に伸びを生ずる場合、スペーサ
9が同一方向に同量だけ膨張するため、これに支持され
るボビン8が同一方向に変位してコア6と差動コイル7
の相対変位(基準位置ずれ)を発生しないようにし、熱
変位による測定誤差の影響を防止するようになってい
る。
いては、熱膨張に起因するコア6と差動コイル7の相対
変位(基準位置ずれ)を防止することができるが、以下
に説明する差動コイル7の温度変化による測定誤差を防
止することができない問題があった。すなわち、一般に
金属物質は温度変化によってその抵抗値が変化する特性
を有していることが知られている。また、導線を巻回し
て構成されるコイルは、温度変化により、導線断面の膨
張やコイル全長の伸びによりコイルとしての抵抗が変化
する。このため、上記差動コイル7を励磁用の一次コイ
ル、検出用の二次コイル共にエナメル線(0℃から10
0℃における抵抗率の温度係数が4.3×10 -3の銅
線)を巻回して構成した場合、差動トランス5の温度変
化およびコア6と差動コイル7との変位量に関する測定
誤差は図10に示すように変化する。つまり、図10か
らも解るように、差動コイル7の検出誤差は温度が上昇
するにつれ増大し、さらに、コア6と差動コイル7の相
対変位量が大きいほどその検出誤差が大きくなる。ま
た、温度の上昇につれ正方向の変位に対しては正方向の
測定誤差を、負方向の変位に対しては負方向の測定誤差
を生ずる。
その構造上、工作物(被測定物)の径測定におけるコア
6と差動コイル7の変位量は非常に微少(例えば、全ス
トロークにして100μm程度)のため、温度変化に伴
う差動トランス5の測定誤差はほぼ無視できる範囲にあ
る。ところが、コア6と差動コイル7の変位量が大きい
(例えば、全ストロークにして5mm程度)広範囲測定
可能な定寸装置の場合には、この温度変化に伴う差動ト
ランスの測定誤差を無視できないといった問題を生じ
た。
変化に係わらずコアと差動コイルの相対変位量に応じた
一定の検出値が得られる差動トランスおよびそれを用い
た測定装置を提供することである。
る本発明の差動トランスの構成は、非磁性体からなる円
筒状のボビンの外周面もしくは内周面に1つの一次コイ
ルおよび2つの二次コイルを巻回した差動コイルと、前
記差動コイル内に軸線方向移動可能に嵌装された磁性体
からなるコアとから構成され、前記コアと前記差動コイ
ルとの相対変位量を検出する差動トランスにおいて、前
記2つの二次コイルを抵抗率の温度係数が異なる少なく
とも2種類の導線を所定の割合で結線した複合導線によ
ってそれぞれ構成したものである。
度係数が4.3×10- 3 よりも小さいかもしくは負の
値を有する導線によってそれぞれ構成しても良い。さら
に、上記問題点を解決する本発明の測定装置の構成は、
被測定物に接触し互いに相対変位可能な一対のフィーラ
と、前記一対のフィーラの相対変位量を検出する差動ト
ランスとを有し、前記被測定物の寸法を測定する測定装
置において、前記差動トランスは、前記フィーラの一方
に対して固定された非磁性体からなる円筒状のボビンの
外周面もしくは内周面に1つの一次コイルおよび2つの
二次コイルを巻回した差動コイルと、前記フィーラの他
方に対して固定され前記差動コイル内を軸線方向移動可
能に嵌装された磁性体からなるコアとから構成され、前
記2つの二次コイルを抵抗率の温度係数が異なる少なく
とも2種類の導線を所定の割合で結線した複合導線によ
ってそれぞれ構成したものである。
ルに交流電流を流すことにより、コアと差動コイルの相
対変位量に応じた電圧が二次コイルに発生し、変位量
(被測定物の寸法)が検出される。この時、上記導線か
らなる二次コイルを有する差動トランスは温度変化に係
わらず、コアと差動コイルの相対変位量に応じた一定の
電圧を出力する。
範囲定寸装置に適用した一実施形態について図面に基づ
き詳細に説明する。図1において、10は広範囲測定可
能な定寸装置(測定装置)であり、この定寸装置10
は、ヘッド本体11と下側フィーラ12と上側フィーラ
13と測定部20から主に構成される。
り、図略の工作機械に適宜取り付けられる。このヘッド
本体11は装置軽量化のためアルミ部材(線膨張係数2
3.6×10-6/℃)からなり、内部には後述する測定
部20が内装され、また、下面には下側フィーラ12が
取り付けられている。下側フィーラ12は、先端上面に
工作物(被測定物)Wの下部を当接する当接部12aが
形成されたJ形の部材であり、周囲の温度変化による熱
変位の影響を相殺するように工作物Wと同じ材質(工作
物Wと線膨張係数が等しい)の炭素鋼(線膨張係数が1
1.2×10-6/℃)にて構成されている。
ィーラ12と同一材質にて構成された上側フィーラ13
が設けられている。この上側フィーラ13には先端に工
作物Wの上部に当接する接触子14がその突出量を調節
可能に螺合されており、後端は後述する測定部20のブ
ロック22と連結シャフト15にて連結されている。接
触子14は線膨張係数が炭素鋼と等しいクロムモリブデ
ン鋼(線膨張係数が11.2×10-6/℃)で構成され
ている。
0は、基準枠21と、この基準枠21に対して昇降可能
に支持されたブロック22と、基準枠21およびブロッ
ク22間に形成されたそれぞれ測定範囲の異なる第1、
第2差動トランス30a,30bとから主に構成されて
いる。基準枠21は前記下側フィーラ12と同様に炭素
鋼からなるコ形状の部材であり、中間部21aにて前記
ヘッド本体11の内部に固定されている。このとき、基
準枠21の上部21bおよび下部21cはヘッド本体1
1に接触しないように所定の隙間を有した状態にある。
を掛け渡す一対のパイロットバー23が支持されてお
り、このパイロットバー23にブロック22が直動ベア
リング24を介して支持されており、ブロック22は基
準枠21に対して昇降移動可能になっている。ブロック
22の下面には連結シャフト15が固定されており、こ
の連結シャフト15は基準枠21およびヘッド本体11
を貫通して下方に突出し、その先端に前記上側フィーラ
13が固定されている。これにより、上側フィーラ13
はブロック22と一体的に昇降移動するようになってい
る。また、ブロック22には貫通穴22aが形成されて
おり、この貫通穴22aに連結棒16が遊嵌されてい
る。連結棒16の下方端にはフランジ部16aが形成さ
れており、貫通穴22aの大径部22bと係合してブロ
ック22の抜け止めを形成している。また、連結棒16
の上方側は、基準枠21およびヘッド本体11を貫通し
て上方に突出しており、その先端にピストン17が固定
されている。
7を嵌装するシリンダ18が取り付けられ、図略の圧縮
空気供給装置に連結されたエアシリンダー19を形成し
ている。これにより、エアシリンダ19を駆動して連結
棒16を上昇すると、連結棒16下方端のフランジ部1
6aがブロック22の大径部22bに係合し、さらにブ
ロック22を上昇させる。ブロック22の上昇に伴いこ
れに連結される上側フィーラ13が上昇し、工作物Wを
下側フィーラ12と上側フィーラ13の間に挿入可能な
状態にするようになっている。一方、工作物Wが挿入さ
れた場合には、エアシリンダ19を駆動して連結棒16
を降下する。すると、連結棒16との係合が外れたブロ
ック22は自重により降下し、上側フィーラ13の接触
子14先端が工作物Wの上部に接触する位置にて停止
し、工作物Wの径寸法測定可能な状態になるようになっ
ている。
イロットバー23、直動ベアリング24および連結シャ
フト15は全て下側フィーラ12と同一材質の炭素鋼に
て構成されており、温度変化よる熱膨張量を等しくする
ようになっている。ブロック22と基準枠21との間に
は、工作物(被測定物)Wの径寸法を測定する第1差動
トランス30aおよび第2差動トランス30bが設けら
れている。第1差動トランス30aと第2差動トランス
30bは後述するコア軸37a,37bの長さが異なる
のみで同一の構成のため、第1差動トランス30aにつ
いてのみ説明する。
大図である。第1差動トランス30aは、コア36と差
動コイル35から主に構成される。コア36は高周波数
で軸特性の良いパーマロイで形成された円柱状の部材で
あり、ステンレス(線膨張係数17.3×10-6/℃)
からなるコア軸37にてブロック22に固定され、ブロ
ック22と一体的に昇降移動する。
ン31の外周に巻回された一次コイル32並びに二次コ
イル33,34とから構成される。ボビン31は筒状部
材であり、スペーサ25aを介して基準枠21の上部2
1bに固定されている。このボビン31の内部には前記
コア36が軸線方向に移動可能に嵌装されている。ま
た、ボビン31aの外周面には軸線方向を3つに区分す
るフランジが形成されており、この区分された外周面に
二次コイル33,一次コイル32、二次コイル34が順
次巻回されている。
0℃から100℃間の抵抗率の温度係数が4.3×10
- 3 以上の導線A(例えばエナメル線:抵抗率の温度係
数が4.3×10- 3 の銅線)がボビン32の外周中央
部に所定回数巻回されている。この一次コイル32aは
励磁用のため抵抗の小さい導線を用いることが好まし
い。
出用のコイルであり、0℃から100℃間の抵抗率の温
度係数が4.3×10- 3 以上の導線A(例えば前記エ
ナメル線)と前記抵抗率の温度係数が4.3×10- 3
よりも小さい導線B(例えばマンガニン線:0℃から1
00℃間の抵抗率の温度係数が−0.03〜+0.02
×10- 3 )を所定の割合(例えば5:5)で結線した
複合導線が前記ボビン31の上下部分にそれぞれ所定回
数ずつ巻回されている。各二次コイル33,34は図3
に示すように互いに逆属性に結線されている。
2の両端に接続された交流電源より交流電流を流すとボ
ビン31内のコア36に誘導磁界が発生し、この誘導磁
界によって二次コイル33,34の両端子間にコア36
と差動コイル35の差動変位量に応じた起電力が発生す
る。この起電力を検出することにより工作物Wの径寸法
を測定するようになっている。
と線膨張係数の異なるヘッド本体11(アルミ)やコア
軸37a(ステンレス)の熱膨張差に起因するコア36
aと差動コイル35aの相対変位(基準位置ずれ)を相
殺する熱膨張をする部材(例えば、アンバー:線膨張係
数1.0×10-6/℃)にて構成されている。ここで、
差動コイル35についてさらに詳細に説明する。前記従
来の技術にて述べたように、金属物質は温度変化に伴い
その抵抗値が変化する。そこで、本出願人は実験によ
り、0℃から100℃間の抵抗率の温度係数が4.3×
10- 3より小さいもしくは負の温度係数を有する金属
物質の導線Bを二次コイル33,34に巻回した差動コ
イル35aが温度変化並びにコア36および差動コイル
35の相対変位量に対して図5の特性を示すものが有る
ことを確認した。すなわち、図5は二次コイル33,3
4をマンガニン線(抵抗率の温度係数が−0.03〜+
0.02×10- 3 )で構成した差動トランスの特性で
あり、この差動トランスは温度が上昇するにつれ正の変
位に対して負の測定誤差を生じ、一方、負の変位に対し
て正の測定誤差を生じる特性を有している。そこで、こ
の特性に注目し、0℃から100℃間の抵抗率の温度係
数が4.3×10- 3 以上の導線Aと抵抗率の温度係数
が4.3×10- 3 より小さいかもしくは負の温度係数
の導線Bを組み合わせた複合導線により二次コイル3
3,34をそれぞれ構成することで、図6に示すよう
に、温度変化やコア36と差動コイル35の相対変化に
よって測定誤差が変化しない差動トランス30が構成で
きることを確認した。なお、この特性は、差動コイル3
5aが軸線方向に伸びないことが必要となるため、本実
施形態においては、上記ボビン31aは線膨張係数の非
常に小さいセラミックスにて構成し、温度変化により差
動コイル35aが軸線方向の熱変位を最小限に抑えるよ
うにしている。
差動トランス30bは互いにコア軸37a,37bの長
さを異にして並列的に配置され、測定する工作物Wの径
に応じて選択的に使用され工作物径を測定するように構
成されている。したがって、上記構成の定寸装置10
は、下側フィーラ12と上側フィーラ13の間に工作物
(被測定物)Wが挿入されると、選択された第1差動ト
ランス30aもしくは第2差動トランス30bの一次コ
イル32に交流電流を流し、二次コイル33,34から
コア36と差動コイル35との相対変位量に応じた電圧
を検出し、工作物Wの径寸法を測定するようになってい
る。
の各部材が熱膨張する場合にもコア36と差動コイル3
5の相対変位はスペーサ25a,25bの熱膨張により
それぞれ相殺されるために発生しない。その上、上述し
たように差動トランス30a,30bは温度変化並びに
コア36と差動コイル35の相対変位量の大小に対して
測定誤差を生じることがなく、温度変化に係わらず常に
一定の検出値が測定される。
は、線膨張係数の異なる部材の熱変位差に起因するコア
36と差動コイル35の相対変位(基準位置ずれ)がス
ペーサ25a,25bによって補償され、その上、温度
変化による差動トランスの特性に変化が生じないため、
定寸装置周囲の温度変化に係わらず高精度な広範囲定寸
が可能であるといった効果がある。
コイル33,34のそれぞれに、抵抗率の温度係数が
4.3×10- 3 以上の導線Aと抵抗率の温度係数が
4.3×10- 3 よりも小さい導線Bを所定割合で結線
した複合導線をボビン31に巻回しているが、抵抗率の
温度変化係数が4.3×10- 3 以下の所望の温度係数
を有する導線Bを用いる場合には、図4に示すように、
単に導線Bのみをボビン31に巻回した二次コイル32
でも構わない。また同様に、抵抗率の温度変化係数の異
なる3種類以上の導線により二次コイルを構成しても構
わない。
は、図2に示したようにボビン31の外周に一次コイル
32および二次コイル33,34を巻回したものを使用
しているが、図7に示した第1の変形例のように、ボビ
ン31の内周面に一次コイル32および二次コイル3
3,34を内装するものでも構わない。さらに、図8に
示した第2変形例のように、2分割されたボビン31a
の外周面に一次コイル32と二次コイル33並びに一次
コイル32と二次コイル34をそれぞれ巻回し、図3に
示した結線をした2段型の差動コイル35aでも同様の
効果が得られる。
明の差動トランスを用いた測定装置として定寸装置の例
を説明したが、温度変化が生じる環境下で変位量を測定
する計測装置であれば上記定寸装置に限られず一般に幅
広い使用が可能である。
スおよびこの差動トランスを用いた測定装置は、温度変
化により差動トランスの特性が変化しないため、いかな
る温度条件下においてもコアと差動コイルの変位量に応
じた一定の測定値が検出できるため、高精度かつ安定し
た変位量(被測定物の径寸法)の測定が広範囲にわたっ
て行えるといった効果がある。
断面図である。
である。
トランスの温度特性を示したグラフである。
性を示したグラフである。
る。
る。
たグラフである。
Claims (3)
- 【請求項1】 非磁性体からなる円筒状のボビンの外周
面もしくは内周面に1つの一次コイルおよび2つの二次
コイルを巻回した差動コイルと、前記差動コイル内に軸
線方向移動可能に嵌装された磁性体からなるコアとから
構成され、前記コアと前記差動コイルとの相対変位量を
検出する差動トランスにおいて、前記2つの二次コイル
を抵抗率の温度係数が異なる少なくとも2種類の導線を
所定の割合で結線した複合導線によってそれぞれ構成し
たことを特徴とする差動トランス。 - 【請求項2】 非磁性体からなる円筒状のボビンの外周
面もしくは内周面に1つの一次コイルおよび2つの二次
コイルを巻回した差動コイルと、前記差動コイル内に軸
線方向移動可能に嵌装された磁性体からなるコアとから
構成され、前記コアと前記差動コイルとの相対変位量を
検出する差動トランスにおいて、前記2つの二次コイル
を抵抗率の温度係数が4.3×10- 3 よりも小さいか
もしくは負の値を有する導線によってそれぞれ構成した
ことを特徴とする差動トランス。 - 【請求項3】 被測定物に接触し互いに相対変位可能な
一対のフィーラと、前記一対のフィーラの相対変位量を
検出する差動トランスとを有し、前記被測定物の寸法を
測定する測定装置において、前記差動トランスは、前記
フィーラの一方に対して固定された非磁性体からなる円
筒状のボビンの外周面もしくは内周面に1つの一次コイ
ルおよび2つの二次コイルを巻回した差動コイルと、前
記フィーラの他方に対して固定され前記差動コイル内を
軸線方向移動可能に嵌装された磁性体からなるコアとか
ら構成され、前記2つの二次コイルを抵抗率の温度係数
が異なる少なくとも2種類の導線を所定の割合で結線し
た複合導線によってそれぞれ構成したことを特徴とする
測定装置。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7266893A JPH09113203A (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 差動トランスおよびそれを用いた測定装置 |
| KR1019960043485A KR100425747B1 (ko) | 1995-10-16 | 1996-10-01 | 차동트랜스 및 그것을 사용한 측정장치 |
| KR1019960045338A KR100310140B1 (ko) | 1995-10-11 | 1996-10-11 | 진동자이로스코프 |
| US08/733,136 US5789918A (en) | 1995-10-16 | 1996-10-16 | Temperature compensated differential transformer and a measuring device using the same |
| GB9621585A GB2306665A (en) | 1995-10-16 | 1996-10-16 | A differential transformer and a measuring device using the same |
| KR1019960047481A KR970022312A (ko) | 1995-10-11 | 1996-10-22 | 유체의 비중 측정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7266893A JPH09113203A (ja) | 1995-10-16 | 1995-10-16 | 差動トランスおよびそれを用いた測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113203A true JPH09113203A (ja) | 1997-05-02 |
Family
ID=17437124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7266893A Pending JPH09113203A (ja) | 1995-10-11 | 1995-10-16 | 差動トランスおよびそれを用いた測定装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5789918A (ja) |
| JP (1) | JPH09113203A (ja) |
| KR (1) | KR100425747B1 (ja) |
| GB (1) | GB2306665A (ja) |
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| KR970022216A (ko) | 1997-05-28 |
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| KR100425747B1 (ko) | 2004-06-24 |
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Legal Events
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080627 Year of fee payment: 5 |
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Year of fee payment: 6 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090627 Year of fee payment: 6 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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