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JPH0883656A - ボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット - Google Patents

ボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット

Info

Publication number
JPH0883656A
JPH0883656A JP6215810A JP21581094A JPH0883656A JP H0883656 A JPH0883656 A JP H0883656A JP 6215810 A JP6215810 A JP 6215810A JP 21581094 A JP21581094 A JP 21581094A JP H0883656 A JPH0883656 A JP H0883656A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
contact
socket
bga package
branch
grid array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP6215810A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeru Matsumura
茂 松村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Advantest Corp
Original Assignee
Advantest Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Advantest Corp filed Critical Advantest Corp
Priority to JP6215810A priority Critical patent/JPH0883656A/ja
Priority to PCT/JP1995/002224 priority patent/WO1997016874A1/ja
Priority claimed from PCT/JP1995/002224 external-priority patent/WO1997016874A1/ja
Priority to TW085215546U priority patent/TW306681U/zh
Publication of JPH0883656A publication Critical patent/JPH0883656A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0483Sockets for un-leaded IC's having matrix type contact fields, e.g. BGA or PGA devices; Sockets for unpackaged, naked chips

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ハンダボールに対する接触圧力は分岐コンタ
クトピンの長さ方向とは直角の方向に生成せしめられ、
分岐コンタクトピンの長さは接触圧力とは無関係に必要
最小限の長さに設計することができ、コンタクトピンの
浮遊のインダクタンス、キャパシタンスを小さくするこ
とができ、高い周波数の試験をする上において好適なボ
ール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケットを提供す
る。 【構成】 バネ性を有する板金を音叉状に打ち抜き形成
した分岐コンタクトピン36を具備し、分岐コンタクト
ピン36はベリリウム銅或はリン青銅の如きバネ性を有
する板金を打ち抜いて弾性分岐部362 を形成したもの
であり、弾性分岐部362 の先端部を接触部361 とす
るものであるボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソ
ケット。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、ボール・グリッド・
アレイ半導体(Ball Grid Arrey I
C、BGAパッケージ)測定用ソケットに関し、特に、
ICテスタに適用されてBGAパッケージの端子或は電
極であるハンダボールとICテスタ側とを電気的に接続
するBGAパッケージ測定用ソケットに関する。
【0002】
【従来の技術】ICが高密度化されると、IC内部回路
を外部に引き出すリードは多数必要とされることとなる
ので、これら多数のリードをICのハウジングに対して
直線状に配列しようとしても収容しきれなくなる。ここ
で、図5を参照するに、上述の様な理由から、端子或は
電極として動作するハンダより成るボール12をICパ
ッケージ10のIC実装基板13の底面にマトリックス
状に2次元的に配列し、基板13に対して表面実装をす
るものが実用化され始めている。端子或は電極として動
作するこの様なハンダボール12を具備するICパッケ
ージはBGAパッケージと称されている。BGAパッケ
ージ10の内部回路は11により示されるモールドによ
り封止され、基板3に形成されるプリント配線を介して
ハンダボール12に電気接続している。
【0003】ここで、上述の通りのBGAパッケージ1
0をICテスタにより試験するに際して、BGAパッケ
ージ10の端子或は電極であるハンダボール12とIC
テスタ側とは電気的に接続されなければならないが、こ
の接続はBGAパッケージ10とICテスタとの間に介
在されるBGAパッケージ測定用ソケットにより行なわ
れる。
【0004】図6(a)を参照するに、ここにはBGA
パッケージ測定用ソケットの従来例が示されている。即
ち、10はBGAパッケージ、20はICテスタ側の一
部を構成するプリント基板であり、これらは30により
示されるBGAパッケージ測定用ソケットを介して電気
的に相互接続される。プリント基板20には開孔21が
穿設されている。開孔21は、BGAパッケージ10下
面にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12
に対応して同様に多数配列穿設される。30はBGAパ
ッケージ測定用ソケット全体を示す。31はBGAパッ
ケージ測定用ソケット30のハウジングであり、絶縁材
料より成る板状体を加工することにより構成される。ハ
ウジング31の上面にはBGAパッケージが試験に際し
て装着される装着凹部32が形成される。33は装着凹
部32からハウジング31下面近傍に達する収容孔であ
る。収容孔33は装着凹部32に装着されるBGAパッ
ケージ10下面にマトリックス状に配列設置されるハン
ダボール12に対応して同様に配列穿設されている。3
4は収容孔33に配置されるコンタクトピンである。図
6(b)はコンタクトピン34の斜視図である。コンタ
クトピン34はベリリウム銅、リン青銅の如きバネ性を
有する板金を原材料としてこれから細長片を形成し、プ
レス加工により図6(a)において断面により示される
如くに屈曲変形せしめられる。そして、341 はBGA
パッケージのハンダボール12に接触する接触部、34
2 はコンタクトピン34に上下方向にバネ性を付与する
湾曲部、343 はICテスタ側の一部を構成するプリン
ト基板20に穿設される開孔21に嵌合する端子部であ
る。コンタクトピン34はその端子部343 の上部をハ
ウジング31下部に一体成形することによりハウジング
31に固定される。コンタクトピン34の接触部341
には、図6(b)に示される如く、円形孔が穿設されて
いる。
【0005】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、ICテスタ側の一部を構成するプリント基板2
0に対して、コンタクトピン34の端子部343 先端を
プリント基板20の開孔21に挿通嵌合した状態におい
て載置され、コンタクトピン34の端子部343 先端と
開孔21近傍のプリント配線とはハンダ付される。この
状態において、BGAパッケージ10をBGAパッケー
ジ測定用ソケット30の装着凹部32に装着し、BGA
パッケージ10を下向きに押圧保持し、BGAパッケー
ジ10下面のハンダボール12をBGAパッケージ測定
用ソケット30のコンタクトピン34の接触部341
円形孔に係合圧接状態にする。圧接状態にする力はBG
Aパッケージ10を下向きに押圧することに起因するコ
ンタクトピン34の湾曲部342 による反作用により生
ずる。この様に、BGAパッケージ10下面のハンダボ
ール12をBGAパッケージ測定用ソケット30のコン
タクトピン34の接触部341 に圧接したところで、B
GAパッケージ10はICテスタ側に電気的に接続した
こととなり、ここにおいて試験を実施することができ
る。
【0006】BGAパッケージ測定用ソケット30は上
述した通りのコンタクトピン34を使用している。この
ソケット30において、BGAパッケージ10下面のハ
ンダボール12とコンタクトピン34の接触部341
の間の圧接力は、コンタクトピン34の湾曲部342
より生ずるものであるから、必要とされる圧接力を得る
に、湾曲部342 の長さを或る一定限度以下に短くする
ことはできない。必要とされる圧接力を確保するに、コ
ンタクトピン34の全長は比較的に長いものとならざる
を得ない。コンタクトピン34の全長が長いものとなる
ということは、ハウジング31の高さを或る一定のもの
として、湾曲部342 の湾曲の度合が大きくなることに
つながり、コンタクトピンの長さ方向と直角の方向の寸
法が大きくなる結果、コンタクトピン34の実装密度が
低くなる。そして、コンタクトピン34の全長が長くな
ることに起因して、ハウジング31の形状構造にも種々
の制約が加わり、その製造コストが高くなる。また、コ
ンタクトピン34の全長が長いものとなるということ
は、それだけ浮遊のインダクタンス、キャパシタンスを
増大することであり、電気的にも好ましいことではな
く、100MHz程度の高い周波数の試験には耐えられ
ない。
【0007】BGAパッケージ測定用ソケットの従来例
としては、図7(a)に示されるが如きものもある。こ
のBGAパッケージ測定用ソケットも、ハウジング31
の形状構造自体は図6に示される従来例とほぼ同様であ
る。即ち、このハウジング31は絶縁材料より成る板状
体を加工することにより構成される。ハウジング31の
上面にはBGAパッケージが試験に際して装着される装
着凹部32が形成されている。33は装着凹部32から
ハウジング31下面に達する貫通孔である。貫通孔33
は装着凹部32に装着されるBGAパッケージ10下面
にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12に
対応して同様のマトリックス状に配列穿設されている。
35は貫通孔33に嵌合固定されるプローブピンであ
る。図7(b)はプローブピン35の断面図である。
【0008】図7(b)において、351 は導電性金属
より成る円筒チューブである。円筒チューブ351 の上
端には、塑性加工によりフランジが形成され、その中心
は円筒チューブより小径の円形穴352 とされている。
353 は導電性金属より成るプランジャであり、一方の
端部は鍔部とされている。354 はバネ性を有する導電
性金属より成るコイルバネである。ここで、円筒チュー
ブ351 の内径とプランジャ353 の鍔部の外径は、円
筒チューブ351 内面にプランジャ353 の鍔部が摺動
可能であると共にに電気的接触を保持する様に構成され
る。そして、両プランジャ353 をこれらの鍔部の間に
コイルバネ354 が介在する様に円筒チューブ351
に収容し、円筒チューブ351 の上下両端を塑性加工に
よりフランジを形成して、両プランジャ353 およびコ
イルバネ354 を圧縮した状態においてこれら三者を閉
じ込める。
【0009】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、ICテスタ側の一部を構成するプリント基板2
0に載置、位置決めされる。この位置決めに際して、プ
ローブピン35の下側プランジャ353 の先端はICテ
スタ側のプリント基板20の所定のプリント配線に対応
接触せしめられる。この状態において、BGAパッケー
ジ10をBGAパッケージ測定用ソケット30の装着凹
部32に装着し、BGAパッケージ10を下向きに押圧
保持し、BGAパッケージ10下面のハンダボール12
をプローブピン35の上側プランジャ353 の先端に係
合圧接状態にする。圧接状態にする力はBGAパッケー
ジ10を下向きに押圧することに起因するプローブピン
35のコイルバネ354 による反作用により生ずる。こ
の状態においてBGAパッケージ10はICテスタ側に
電気的に接続したこととなり、ここにおいて試験を実施
することができる。
【0010】BGAパッケージ測定用ソケット30は上
述した通りのプローブピン35を使用している。このソ
ケット30において、BGAパッケージ10下面のハン
ダボール12とプローブピン35の上側プランジャ35
3 の先端との間の圧接力、およびICテスタ側のプリン
ト基板20の所定のプリント配線と下側プランジャ35
3 の先端との間の圧接力は、プローブピン35のコイル
バネ354 により生ずるものであるから、必要とされる
圧接力を得るに、コイルバネ354 の長さを或る一定限
度以下に短くすることはできない。必要とされる圧接力
を確保すると、コイルバネ354 の全長は比較的に長い
ものとなる。コイルバネ354 の全長が長いものとなる
ということは、それだけ浮遊のインダクタンス、キャパ
シタンスを増大することであり、電気的に好ましいこと
ではなく、100MHz程度の高い周波数の試験には耐
えられない。そして、プローブピン35は、円筒チュー
ブ351 の直径が1mm以下の極く細いものであり、そ
の全長が長くなることに起因して、プローブピン35を
構成する部材の形状構造にも種々の制約が加わり、その
製造加工コストは高くなる。
【0011】更に、プローブピン35は、図7(b)に
より図示説明された通りのものである。プローブピン3
5内の導電経路は、上側プランジャ353 の先端からこ
のプランジャを介してその鍔部外周面と円筒チューブ3
1 の内周面との間の接触部に到り、この接触部から円
筒チューブを介して今度はこれと下側プランジャ35 3
の鍔部外周面との間の接触部を介して下側プランジャ3
3 の先端に到る。このプローブピン35による導電経
路には合計4箇所の接触部が存在することになる。即
ち、ハンダボール12と上側プランジャ353 の先端と
の間、上側プランジャ353 の鍔部外周面と円筒チュー
ブ351 の内周面との間、円筒チューブ351 の内周面
と下側プランジャ353 の鍔部外周面との間、および下
側プランジャ353 の先端とICテスタ側のプリント基
板20の所定のプリント配線との間の4箇所である。と
ころで、これら4箇所の接触部の接触状態は充分に良好
という訳ではない上に、不安定である。上述の通りの導
電経路が形成されずに、上側プランジャ353 からコイ
ルバネ354 を介して下側プランジャ353 に到る導電
経路が形成される場合もある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】この発明は、上述の通
りの問題を解消するBGAパッケージ測定用ソケットを
提供するものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】バネ性を有する板金を音
叉状に打ち抜き形成した分岐コンタクトピン36を具備
するボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケットを
構成した。そして、分岐コンタクトピン36はバネ性を
有するベリリウム銅或はリン青銅より成る板金を打ち抜
いて弾性分岐部362 を形成したものであり、弾性分岐
部362 の先端部を接触部361 とするものであるボー
ル・グリッド・アレイ半導体測定用ソケットを構成し
た。
【0014】また、分岐コンタクトピン36を収容する
収容孔33が形成される絶縁材料より成るハウジング3
1を具備することを特徴とするボール・グリッド・アレ
イ半導体測定用ソケットを構成した。更に、収容孔33
は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部362 が収容さ
れる領域を収容孔33の配列方向とは傾斜する対向方向
に形成したものであるボール・グリッド・アレイ半導体
測定用ソケットを構成した。
【0015】また、弾性分岐部362 が収容される領域
を収容孔33の配列方向とは45゜傾斜する対向方向に
形成したものであるボール・グリッド・アレイ半導体測
定用ソケットを構成した。
【0016】
【実施例】この発明の実施例を図1ないし図4を参照し
て説明する。図1はこの発明のBGAパッケージ測定用
ソケットとBGAパッケージとの間の位置関係を説明す
る図であり、上から視たところを示す図である。図2は
図1におけるA−A線に沿った断面を示す図である。図
3は図1におけるB−B線に沿った断面を示す図であ
る。図4はこの発明のボール・グリッド・アレイ半導体
測定用ソケットにおいて使用されるコンタクトピンの斜
視図である。
【0017】BGAパッケージ10はその実装基板13
の裏面にマトリックス状に2次元的に配列されるハンダ
ボール12を具備している。BGAパッケージ10の内
部回路はモールド11により封止され、基板13に形成
されるプリント配線を介してハンダボール12に電気接
続している。30はこの発明のBGAパッケージ測定用
ソケットであり、BGAパッケージ10をICテスタ側
の一部を構成するプリント基板20に対して電気的に接
続する。即ち、プリント基板20には細長い開孔22が
穿設され、この開孔22には21により示されるコネク
タが挿入固定されている。結局、BGAパッケージ10
の内部回路はプリント基板20のコネクタ21に電気的
に接続する。この開孔22は、BGAパッケージ10裏
面にマトリックス状に配列設置されるハンダボール12
に対応して配列穿設される。
【0018】ここで、31はBGAパッケージ測定用ソ
ケット30のハウジングであり、絶縁材料より成る板状
体を加工することにより構成される。BGAパッケージ
10は試験に際してハウジング31の上面32に装着さ
れる。33は上面32からハウジング31下面近傍に達
する収容孔である。収容孔33は上面32に装着される
BGAパッケージ10下面にマトリックス状に配列設置
されるハンダボール12に対応して配列穿設されてい
る。36は収容孔33に収容配置されるこの発明の分岐
コンタクトピンである。図4は分岐コンタクトピン36
の斜視図である。分岐コンタクトピン36は、バネ性を
有するベリリウム銅、リン青銅の如きバネ性を有する板
金を、図4に示されるが如き音叉状に打ち抜き形成す
る。362 は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部であ
り、互に平行に構成される。互に平行な弾性分岐部36
2 の外側面間の寸法はおよそ1mm程度である。弾性分
岐部362 の先端部は、BGAパッケージ10のハンダ
ボール12に接触する接触部361 とされる。接触部3
1 の接触面はその下端から上方に向い分岐コンタクト
ピン中心軸から離れる方向に傾斜して形成される。接触
部361 の接触面のなす角はほぼ28゜程度とされる。
363 は分岐コンタクトピン36の端子部を構成する。
この端子部363 の先端部は、ICテスタ側の一部を構
成するプリント基板20の開孔22に挿入固定されるコ
ネクタ21に挿入嵌合する部分である。
【0019】ところで、収容孔33の形状構造について
であるが、331 により示されるハウジング31の上面
32の上部開孔は、BGAパッケージ10のハンダボー
ル12が進入して接触部361 に接触するところである
から、その直径はハンダボール12の直径より少し大き
く、その深さはハンダボール12の直径より少し深い開
孔とされている。そして、332 により示されるところ
は、上部開孔331 の内面に半径方向に互に対向して半
径方向に切削形成されるスリットであり、そして、これ
らスリット332 は上部開孔331 の底部を越えて下向
きに更に深く切削形成されている。分岐コンタクトピン
36の弾性分岐部362 が収容されるこのスリット33
2 の切削形成される方向は、収容孔33の配列方向とは
傾斜する対向方向とされる。即ち、スリット332 は収
容孔33の中心軸に関して対称であり、一方のスリット
332 から中心軸に直交して他方のスリット332 に到
る水平線は収容孔33の配列方向とは傾斜する。スリッ
ト332 の上部開孔331の内面から計測した深さは、
弾性分岐部362 の先端の接触部341 がハンダボール
12により拡開せしめられたときに接触部341 がハウ
ジング31に接触しない深さに構成される。スリット3
2 の幅は分岐コンタクトピン36の厚さより少し大き
い。スリット332 の長さは分岐コンタクトピン36の
弾性分岐部362 の長さにほぼ等しい。333 は端子部
363 の基部が嵌合して一体的に固定される開孔部であ
る。
【0020】ここで、BGAパッケージ測定用ソケット
30は、分岐コンタクトピン36をハウジング31の収
容孔33に収容し、これをハウジング31に一体的に固
定したところで完成する。完成したBGAパッケージ測
定用ソケット30の分岐コンタクトピン36の端子部3
3 先端部を、ICテスタ側の一部を構成するプリント
基板20の開孔22に挿入固定されるコネクタ21に挿
入嵌合した状態において、BGAパッケージ10をBG
Aパッケージ測定用ソケット30の上面32に装着し、
BGAパッケージ10を下向きに押圧保持し、BGAパ
ッケージ10下面のハンダボール12をBGAパッケー
ジ測定用ソケット30の分岐コンタクトピン36の接触
部361 に係合圧接状態にする。圧接状態する力はBG
Aパッケージ10を下向きに押圧することに起因する分
岐コンタクトピン36の弾性分岐部362 の内向きの反
作用により生ずる。この様に、BGAパッケージ10下
面のハンダボール12をBGAパッケージ測定用ソケッ
ト30の分岐コンタクトピン36の接触部361 に圧接
したところで、BGAパッケージ10はICテスタ側に
電気的に接続したこととなり、試験を実施することがで
きる。
【0021】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明のボール
・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット30の分岐コ
ンタクトピン36は、そのバネ性を有する弾性分岐部3
2 がハンダボール12に対して2点において接触する
こととなり、従来のコンタクトピン34或はプローブピ
ン35とハンダボール12との間の接触が1点であった
ことと比較して、それだけ接触の信頼性が向上する。バ
ネ性を有する弾性分岐部362 に対して弾性分岐部36
2 をハンダボール12が押し開きながら接触するので、
弾性分岐部362 およびハンダボール12双方の接触面
はセルフクリーニングされることとなる。
【0022】弾性分岐部362 の先端がハンダボール1
2に対する接触部341 とされていることにより、BG
Aパッケージ測定用ソケット30にBGAパッケージを
装着するに際して分岐コンタクトピン36の中心軸とハ
ンダボール12の中心とが垂直方向に関して多少ずれて
いても、2本の弾性分岐部362 の内の一方から他方に
向けてハンダボール12を押圧する力が生ずるところか
ら、BGAパッケージがソケット30に対して自己整列
せしめられる効果が生ずる。
【0023】この発明の分岐コンタクトピン36は、弾
性分岐部362 の先端が接触部36 1 とされていること
から、ハンダボール12に対する接触圧力は分岐コンタ
クトピン36の長さ方向とは直角の方向に生成せしめら
れる構成のものである。分岐コンタクトピン36の長さ
と接触圧力を増強生成せしめることとは無関係であるの
で、分岐コンタクトピン36の長さは接触圧力とは無関
係に必要最小限の長さに設計することができる。この
点、分岐コンタクトピン36の浮遊のインダクタンス、
キャパシタンスを小さくすることができ、高い周波数の
試験をする上において好適である。
【0024】この発明の分岐コンタクトピン36は、そ
の形状構造が上述した通りのものであるので、バネ性を
有する板金を打ち抜き加工することのみにより極く簡単
に製造することができ、製造コストに関して大変に有利
である。ハンダボール12が高密度に配列されたファイ
ンピッチのBGAパッケージに対応する分岐コンタクト
ピン36も容易に製造することができる。
【0025】この発明のボール・グリッド・アレイ半導
体測定用ソケット30は、ハウジング31に形成される
収容孔33は分岐コンタクトピン36の弾性分岐部36
2 が収容されるスリット332 の対向形成される方向を
収容孔33の配列方向とは傾斜する方向、特に45°と
したことにより、隣接するスリット332 同志が接続す
ることなしに上部開孔331 同志を互に接近して穿設す
ることができ、その結果、分岐コンタクトピン36の実
装密度を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を説明する図である。
【図2】図1におけるA−A線に沿った断面を示す図で
ある。
【図3】図1におけるB−B線に沿った断面を示す図で
ある。
【図4】この発明の実施例において使用されるコンタク
トピンの斜視図である。
【図5】BGAパッケージの従来例を説明する図であ
る。
【図6】従来例を説明する図であり、(a)はその断面
図、(b)はそのコンタクトピンの斜視図である。
【図7】他の従来例を説明する図であり、(a)その断
面図、(b)はそのプローブピンである。
【符号の説明】
31 ハウジング 33 収容孔 36 分岐コンタクトピン 361 接触部 362 弾性分岐部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 バネ性を有する板金を音叉状に打ち抜き
    形成した分岐コンタクトピンを具備することを特徴とす
    るボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載されるボール・グリッド
    ・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、分岐コンタク
    トピンはベリリウム銅或はリン青銅の如きバネ性を有す
    る板金を打ち抜いて弾性分岐部を形成したものであり、
    弾性分岐部の先端部を接触部とするものであることを特
    徴とするボール・グリッド・アレイ半導体測定用ソケッ
    ト。
  3. 【請求項3】 請求項2に記載されるボール・グリッド
    ・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、分岐コンタク
    トピンを収容する収容孔が形成される絶縁材料より成る
    ハウジングを具備することを特徴とするボール・グリッ
    ド・アレイ半導体測定用ソケット。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載されるボール・グリッド
    ・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、収容孔は分岐
    コンタクトピンの弾性分岐部が収容される領域を収容孔
    の配列方向とは傾斜する対向方向に形成したものである
    ことを特徴とするボール・グリッド・アレイ半導体測定
    用ソケット。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載されるボール・グリッド
    ・アレイ半導体測定用ソケットにおいて、弾性分岐部が
    収容される領域を収容孔の配列方向とは45゜傾斜する
    対向方向に形成したものであることを特徴とするボール
    ・グリッド・アレイ半導体測定用ソケット。
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