JPH088294B2 - Ｉｃ用ウエハーのコンテナー - Google Patents
Ｉｃ用ウエハーのコンテナーInfo
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- JPH088294B2 JPH088294B2 JP1090832A JP9083289A JPH088294B2 JP H088294 B2 JPH088294 B2 JP H088294B2 JP 1090832 A JP1090832 A JP 1090832A JP 9083289 A JP9083289 A JP 9083289A JP H088294 B2 JPH088294 B2 JP H088294B2
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- resin
- wafer
- container
- nitrile
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、IC用ウエハーのコンテナーに関するもので
あり、詳しくはIC用ウエハーの酸化防止性に優れ、ゴミ
の発生が少ないIC用ウエハーのコンテナーに関するもの
である。
あり、詳しくはIC用ウエハーの酸化防止性に優れ、ゴミ
の発生が少ないIC用ウエハーのコンテナーに関するもの
である。
従来、IC用ウエハー（以下ウエハーと略す）の保管あ
るいは輸送用に用いられるコンテナーの素材としては、
ポリエチレン、ポリプロピレン、硬質塩化ビニル等の樹
脂が用いられており、成形した容器にウエハーを収納
し、別途製造した蓋で覆う方式で使用されている。この
様な１例として、ウエハーが載置されるメタルフィルム
と硬質プラスチック製カバー、具体的には硬質塩化ビニ
ルフィルムからなるカバーとによって形成される収納パ
ッケージが特公昭第61−46970号によって知られ、また
実開昭第62−112146号では防じん機能を備えた通気装置
が設けられたウエハー収納箱が知られ、これらの発明お
よび考案においてウエハーを窒素等の不活性ガス雰囲気
中に保管することも知られている。
るいは輸送用に用いられるコンテナーの素材としては、
ポリエチレン、ポリプロピレン、硬質塩化ビニル等の樹
脂が用いられており、成形した容器にウエハーを収納
し、別途製造した蓋で覆う方式で使用されている。この
様な１例として、ウエハーが載置されるメタルフィルム
と硬質プラスチック製カバー、具体的には硬質塩化ビニ
ルフィルムからなるカバーとによって形成される収納パ
ッケージが特公昭第61−46970号によって知られ、また
実開昭第62−112146号では防じん機能を備えた通気装置
が設けられたウエハー収納箱が知られ、これらの発明お
よび考案においてウエハーを窒素等の不活性ガス雰囲気
中に保管することも知られている。
近年ICの積層度の増大に伴い、ウエハー表面の酸化が
とみに問題となっている。すなわち、従来のポリエチレ
ン樹脂製コンテナーは空気中の酸素を透過するのでウエ
ハー表面の酸化が著しく、酸化表面の再処理、例えば薬
液による処理または研磨等による再処理を必要としてい
る。
とみに問題となっている。すなわち、従来のポリエチレ
ン樹脂製コンテナーは空気中の酸素を透過するのでウエ
ハー表面の酸化が著しく、酸化表面の再処理、例えば薬
液による処理または研磨等による再処理を必要としてい
る。
また、本発明者らの知見よれば、輸送中などにウエハ
ーとポリエチエン等の樹脂との擦れにより、樹脂の擦れ
かすあるいは塵が発生し、ウエハーに付着するなどの問
題が認められた。
ーとポリエチエン等の樹脂との擦れにより、樹脂の擦れ
かすあるいは塵が発生し、ウエハーに付着するなどの問
題が認められた。
本発明の目的は、前記したウエハー表面の再処理の必
要がなく、ウエハーの酸化防止、樹脂の擦れかすおよび
塵の発生防止に優れたIC用ウエハーのコンテナーを提供
することにある。
要がなく、ウエハーの酸化防止、樹脂の擦れかすおよび
塵の発生防止に優れたIC用ウエハーのコンテナーを提供
することにある。
本発明者らは、かかる問題を解決するために鋭意検討
した結果、IC用ウエハーのコンテナーの素材として特定
の樹脂を用い、かつ、内部を実質的に無酸素状態にする
ことにより、ウエハーの酸化防止および擦れかすの付着
防止が可能であることを見出し、遂に本発明を完成し
た。
した結果、IC用ウエハーのコンテナーの素材として特定
の樹脂を用い、かつ、内部を実質的に無酸素状態にする
ことにより、ウエハーの酸化防止および擦れかすの付着
防止が可能であることを見出し、遂に本発明を完成し
た。
すなわち、本発明の第１の発明は、 高ニトリル樹脂単層または高ニトリル樹脂、ポリ塩化
ビニリデン樹脂、エチレンビニルアルコール共重合体、
およびポリビニルアルコール樹脂より選ばれたガスバリ
アー性樹脂と他の熱可塑性樹脂との積層フィルムまたは
シートによって形成されたトレー状部材およびカバー部
材を一体化してなるIC用ウエハーのコンテナーであり、
第２の発明は上記したコンテナーにより不活性ガス下に
保管することを特徴とするIC用ウエハーの保管方法であ
る。
ビニリデン樹脂、エチレンビニルアルコール共重合体、
およびポリビニルアルコール樹脂より選ばれたガスバリ
アー性樹脂と他の熱可塑性樹脂との積層フィルムまたは
シートによって形成されたトレー状部材およびカバー部
材を一体化してなるIC用ウエハーのコンテナーであり、
第２の発明は上記したコンテナーにより不活性ガス下に
保管することを特徴とするIC用ウエハーの保管方法であ
る。
上記したIC用ウエハーのコンテナーのより好ましい成
形材料としては高ニトリル樹脂が挙げられ、この高ニト
リル樹脂の好ましい製造方法としては、アクリロニトリ
ル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重合性を有す
る単量体との混合物を共役ジエン系合成ゴムの存在下で
重合する方法が採用される。
形材料としては高ニトリル樹脂が挙げられ、この高ニト
リル樹脂の好ましい製造方法としては、アクリロニトリ
ル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重合性を有す
る単量体との混合物を共役ジエン系合成ゴムの存在下で
重合する方法が採用される。
そしてさらにIC用ウエハーのコンテナーの安全性を高
めるためには、IC用ウエハーと接する面の樹脂硬度がAS
TM法（Ｄ−2240）で硬度70以上としたものが提供され
る。
めるためには、IC用ウエハーと接する面の樹脂硬度がAS
TM法（Ｄ−2240）で硬度70以上としたものが提供され
る。
本発明で用いるガスバリアー性に優れた樹脂として
は、高ニトリル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレ
ン−ビニルアルコール共重合体あるいは、ポリビニルア
ルコール樹脂などが、成形性、例えば熱成形時の深絞り
加工が容易であることなどの点で高ニトリル樹脂を用い
るのが好ましい。また、高ニトリル樹脂を用いる場合に
は単体で用いることができるが、ポリ塩化ビニリデン樹
脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体あるいは、ポ
リビニルアルコール樹脂を用いる場合に他の熱可塑性樹
脂と積層して用いる。このように積層して用いる場合に
は、ウエハーとの接する可能性のある部分、具体的には
コンテナー内面の樹脂硬度が、Ｄ硬度70（ASTM法Ｄ−22
40）以上であるものを用いることが好ましい。硬度がＤ
硬度70未満のものでは輸送中などにウエハーとの擦れに
よるかすがウエハーに付着する場合があり、好ましくな
い。一方、高ニトリル樹脂を用いる場合にはこの様な問
題は生じない。
は、高ニトリル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレ
ン−ビニルアルコール共重合体あるいは、ポリビニルア
ルコール樹脂などが、成形性、例えば熱成形時の深絞り
加工が容易であることなどの点で高ニトリル樹脂を用い
るのが好ましい。また、高ニトリル樹脂を用いる場合に
は単体で用いることができるが、ポリ塩化ビニリデン樹
脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体あるいは、ポ
リビニルアルコール樹脂を用いる場合に他の熱可塑性樹
脂と積層して用いる。このように積層して用いる場合に
は、ウエハーとの接する可能性のある部分、具体的には
コンテナー内面の樹脂硬度が、Ｄ硬度70（ASTM法Ｄ−22
40）以上であるものを用いることが好ましい。硬度がＤ
硬度70未満のものでは輸送中などにウエハーとの擦れに
よるかすがウエハーに付着する場合があり、好ましくな
い。一方、高ニトリル樹脂を用いる場合にはこの様な問
題は生じない。
本発明で用いる高ニトリル樹脂とは、アクリロニトリ
ル、メタクリロニトリルなどの不飽和ニトリル単量体を
主体とする共重合体であって、不飽和ニトリル単量体分
を50重量％以上、好ましくは55重量％以上を含むもので
ある。
ル、メタクリロニトリルなどの不飽和ニトリル単量体を
主体とする共重合体であって、不飽和ニトリル単量体分
を50重量％以上、好ましくは55重量％以上を含むもので
ある。
不飽和ニトリル単量体と共重合しうる単量体として
は、スチレン、ブタジエン、イソブレン、メチルアクリ
レート、エチルアクリレート、メチルメタクリレート、
エチルメタクリレートなどが挙げられ、これらの１種以
上を不飽和ニトリル単量体と共重合させる。
は、スチレン、ブタジエン、イソブレン、メチルアクリ
レート、エチルアクリレート、メチルメタクリレート、
エチルメタクリレートなどが挙げられ、これらの１種以
上を不飽和ニトリル単量体と共重合させる。
また、高ニトリル樹脂としては、ブタジエン−アクリ
ロニトリル共重合体、イソプレン−アクリロニトリル共
重合体、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリブタジエ
ン、ポリイソプレンなどのゴム状重合体と上記共重合体
との混合物、およびこれらのゴム状重合体の存在下に不
飽和ニトリル単量体と上記共重合体単量体をグラフト重
合させたものも使用可能である。特に、アクリロニトリ
ル単量体含有量が50重量％以上であり、かつ多量のアク
リロニトリル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重
合性を有する単量体との混合役を共約ジエン系合成ゴム
の存在下で重合して製造したものが加工性、耐衝撃性な
どのバランスが良く、かつ、ガスバリアー性も良好であ
るので好ましい。
ロニトリル共重合体、イソプレン−アクリロニトリル共
重合体、ブタジエン−スチレン共重合体、ポリブタジエ
ン、ポリイソプレンなどのゴム状重合体と上記共重合体
との混合物、およびこれらのゴム状重合体の存在下に不
飽和ニトリル単量体と上記共重合体単量体をグラフト重
合させたものも使用可能である。特に、アクリロニトリ
ル単量体含有量が50重量％以上であり、かつ多量のアク
リロニトリル単量体と該アクリロニトリル単量体と共重
合性を有する単量体との混合役を共約ジエン系合成ゴム
の存在下で重合して製造したものが加工性、耐衝撃性な
どのバランスが良く、かつ、ガスバリアー性も良好であ
るので好ましい。
なお、不飽和ニトリル単量体含有量が50重量％未満で
は酸素遮断性が不足し易くウエハー表面が酸化され易く
なるので好ましくない。
は酸素遮断性が不足し易くウエハー表面が酸化され易く
なるので好ましくない。
因に、高ニトリル樹脂の１例として挙げられる三井東
圧化学（株）製、商品名バレックスの酸素透過率は、0.
3cc/m2・atm・24Hrであり、ポリ塩化ビニリデン樹脂の
それは0.3〜2.7cc/m2・atm.24Hr、ポリ塩化ビニルは3.2
〜7.9cc/m2・atm.24Hrの程度である。
圧化学（株）製、商品名バレックスの酸素透過率は、0.
3cc/m2・atm・24Hrであり、ポリ塩化ビニリデン樹脂の
それは0.3〜2.7cc/m2・atm.24Hr、ポリ塩化ビニルは3.2
〜7.9cc/m2・atm.24Hrの程度である。
本発明のIC用ウエハーのコンテナーは、例えば上記高
ニトリル樹脂を通常のＴダイ押出法、カレンダー法、イ
ンフレーション法等により成形して得られるシート、あ
るいはポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレン−ビニルアル
コール共重合体またはポリビニルアルコール樹脂を熱可
塑性樹脂と積層して得られるシートを、真空成形、圧空
成形などの熱成形法によって成形することにより製造さ
れる。また、上記樹脂を直接射出成形などすることによ
り製造することも出来る。
ニトリル樹脂を通常のＴダイ押出法、カレンダー法、イ
ンフレーション法等により成形して得られるシート、あ
るいはポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレン−ビニルアル
コール共重合体またはポリビニルアルコール樹脂を熱可
塑性樹脂と積層して得られるシートを、真空成形、圧空
成形などの熱成形法によって成形することにより製造さ
れる。また、上記樹脂を直接射出成形などすることによ
り製造することも出来る。
高ニトリル樹脂を使用する際は、容易に深絞りが可能
であり、任意の形状に成形できる。ポリ塩化ビニリデン
樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体あるいはポ
リビニルアルコール樹脂と他の熱可塑性樹脂と積層して
用いる場合には、深絞り成形、複雑な形状の成形におい
て、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレン−ビニルアルコ
ール共重合体あるいはポリビニルアルコール樹脂の層が
部分的に薄くなったり、層切れをし易くなる。従って、
成形品のガスバリヤー性を確認する工程が必要となり、
製品の歩留りも低下する。
であり、任意の形状に成形できる。ポリ塩化ビニリデン
樹脂、エチレン−ビニルアルコール共重合体あるいはポ
リビニルアルコール樹脂と他の熱可塑性樹脂と積層して
用いる場合には、深絞り成形、複雑な形状の成形におい
て、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレン−ビニルアルコ
ール共重合体あるいはポリビニルアルコール樹脂の層が
部分的に薄くなったり、層切れをし易くなる。従って、
成形品のガスバリヤー性を確認する工程が必要となり、
製品の歩留りも低下する。
本発明で提供させるIC用ウエハーのコンテナーの形状
は、その利用目的に合わせて自由に選択できる。本発明
ではトレー部材とカバー部材を一体化してなると表現し
ているが、一般的には熱成形して得られるトレー部材に
IC用ウエハーを収納し、その上面にフィルムまたはシー
ト状のカバー部材を載置し熱接着等の方法で一体化する
形式が採用される。しかしながら、積載を容易にする等
の目的で、シート状またはフィルム状の下部部材にトレ
ー状のカバー部材を上部部材として形成したIC用ウエハ
ーのコンテナーも含まれるものである。
は、その利用目的に合わせて自由に選択できる。本発明
ではトレー部材とカバー部材を一体化してなると表現し
ているが、一般的には熱成形して得られるトレー部材に
IC用ウエハーを収納し、その上面にフィルムまたはシー
ト状のカバー部材を載置し熱接着等の方法で一体化する
形式が採用される。しかしながら、積載を容易にする等
の目的で、シート状またはフィルム状の下部部材にトレ
ー状のカバー部材を上部部材として形成したIC用ウエハ
ーのコンテナーも含まれるものである。
トレー部材を熱成形する際のコンテナーの形状は、
円、四角、六角等自由に選択できる。そしてこの様なコ
ンテナーに収納するIC用ウエハーの枚数は、通常、数枚
から数百枚である。一例を示せば、１ユニット25枚の４
インチウエハー用のコンテナーは17×17×17cmであり、
また６ユニットを収納する場合は35×53×17cmであり、
ウエハーは適当な収納治具にセットされて収納される。
円、四角、六角等自由に選択できる。そしてこの様なコ
ンテナーに収納するIC用ウエハーの枚数は、通常、数枚
から数百枚である。一例を示せば、１ユニット25枚の４
インチウエハー用のコンテナーは17×17×17cmであり、
また６ユニットを収納する場合は35×53×17cmであり、
ウエハーは適当な収納治具にセットされて収納される。
本発明のコンテナーの壁の厚さは、ウエハーの収納枚
数、必要強度等により変わる。通常0.1〜10mmが適当で
あり、好ましくは0.2〜5mmである。0.1mm未満ではコン
テナーの剛性が不足し易く、また、10mmを越えても良い
が、重量が重くなり作業性が不良となったり、コストア
ップの原因となるので好ましくない。
数、必要強度等により変わる。通常0.1〜10mmが適当で
あり、好ましくは0.2〜5mmである。0.1mm未満ではコン
テナーの剛性が不足し易く、また、10mmを越えても良い
が、重量が重くなり作業性が不良となったり、コストア
ップの原因となるので好ましくない。
本発明のIC用ウエハーのコンテナーのカバー部材、一
般的にはトレー状部材にIC用ウエハーを収納しフィルム
またはシートをカバー部材としてコンテナーを形成する
場合のカバー部材としては、前記高ニトリル樹脂の単層
フィルムまたはシート、あるいはポリプロピレン、ポリ
エチレン、ポリエステル、ナイロンなどのフィルムに、
上記高ニトリル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂あるいは
ポリビニルアルコール樹脂の単層フィルムを積層した多
層フィルム等が使用される。これらは通常のヒートシー
ル法、インパルスシール法などによりトレー状部材と一
体化される。
般的にはトレー状部材にIC用ウエハーを収納しフィルム
またはシートをカバー部材としてコンテナーを形成する
場合のカバー部材としては、前記高ニトリル樹脂の単層
フィルムまたはシート、あるいはポリプロピレン、ポリ
エチレン、ポリエステル、ナイロンなどのフィルムに、
上記高ニトリル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂あるいは
ポリビニルアルコール樹脂の単層フィルムを積層した多
層フィルム等が使用される。これらは通常のヒートシー
ル法、インパルスシール法などによりトレー状部材と一
体化される。
本発明では、IC用ウエハーを上記のようにして成形し
たコンテナーに収納し、内部を窒素、炭酸ガス、ヘリウ
ム、アルゴン等から選ばれる１種以上の不活性ガスで置
換し、または脱酸素剤と共にトップフィルムにて封入す
る。これによりコンテナー内部の実質的に無酸素状態が
達成され、ウエハーの酸化がより一層効果的に防止で
き、前記した再処理の必要がなくなる。また、前記不活
性ガスの脱酸素剤を併用することも可能である。この説
明における実質的に無酸素状態とは、コンテナーに収納
されるIC用ウエハーの表面が酸素により酸化されない状
態を示し、酸素濃度としては２％以上、好ましくは１％
以下の雰囲気であることが好ましい。また、好ましいIC
用ウエハーの保管方法としては、乾燥剤を併用すること
もできる。
たコンテナーに収納し、内部を窒素、炭酸ガス、ヘリウ
ム、アルゴン等から選ばれる１種以上の不活性ガスで置
換し、または脱酸素剤と共にトップフィルムにて封入す
る。これによりコンテナー内部の実質的に無酸素状態が
達成され、ウエハーの酸化がより一層効果的に防止で
き、前記した再処理の必要がなくなる。また、前記不活
性ガスの脱酸素剤を併用することも可能である。この説
明における実質的に無酸素状態とは、コンテナーに収納
されるIC用ウエハーの表面が酸素により酸化されない状
態を示し、酸素濃度としては２％以上、好ましくは１％
以下の雰囲気であることが好ましい。また、好ましいIC
用ウエハーの保管方法としては、乾燥剤を併用すること
もできる。
以下、実施例により本発明を説明する。
実施例１ ブタジエン−アクリロニトリルゴム状共重合体（ブタ
ジエン含量70重量％）10重量部の存在下にアクリロニト
リル75重量部とメチルメタアクリレート25重量部の混合
物を乳化重合して得た高ニトリル樹脂（窒素分析法によ
るアクリロニトリル含量は約70重量％、ASTM D−2240に
よる硬度90）を用い、押出し法により厚み5mmのシート
を得た。このシートを真空成形して深さ15cmのトレー部
材（酸素透過度2cc/m2・atm・24Hr）を製造した。この
コンテナーに４インチのミラーウエハーを収納し、窒素
ガスにて内部を置換し、酸素濃度を１％にした。カバー
部材として別途製造した厚み40μｍの高ニトリル樹脂フ
ィルム（酸素透過度33cc/m2・atm・24Hr）で熱シール封
入後、トラックにて500kmの輸送テストを行い、１月後
に開封しウエハーの酸化および塵の付着状況を調べた。
ウエハー表面の酸化測定結果を第１表に、塵の付着量測
定結果を第２表に示す。
ジエン含量70重量％）10重量部の存在下にアクリロニト
リル75重量部とメチルメタアクリレート25重量部の混合
物を乳化重合して得た高ニトリル樹脂（窒素分析法によ
るアクリロニトリル含量は約70重量％、ASTM D−2240に
よる硬度90）を用い、押出し法により厚み5mmのシート
を得た。このシートを真空成形して深さ15cmのトレー部
材（酸素透過度2cc/m2・atm・24Hr）を製造した。この
コンテナーに４インチのミラーウエハーを収納し、窒素
ガスにて内部を置換し、酸素濃度を１％にした。カバー
部材として別途製造した厚み40μｍの高ニトリル樹脂フ
ィルム（酸素透過度33cc/m2・atm・24Hr）で熱シール封
入後、トラックにて500kmの輸送テストを行い、１月後
に開封しウエハーの酸化および塵の付着状況を調べた。
ウエハー表面の酸化測定結果を第１表に、塵の付着量測
定結果を第２表に示す。
実施例２ 樹脂としてブタジエン−アクリロニトリルゴム状共重
合体（ブタジエン含量80重量％）10重量部の存在下にア
クリロニトリル70重量部とメチルメタクリレートー15重
量部およびスチレン５重量部からなる混合物を重合して
高ニトリル樹脂（アクリロニトリル含量約65重量％、樹
脂硬度85）を用いる他は実施例１を繰返した。この実験
に用いたトレーの酸素透過率は3cc/m2・atm・24Hrであ
った。結果を第１表および第２表に示す。
合体（ブタジエン含量80重量％）10重量部の存在下にア
クリロニトリル70重量部とメチルメタクリレートー15重
量部およびスチレン５重量部からなる混合物を重合して
高ニトリル樹脂（アクリロニトリル含量約65重量％、樹
脂硬度85）を用いる他は実施例１を繰返した。この実験
に用いたトレーの酸素透過率は3cc/m2・atm・24Hrであ
った。結果を第１表および第２表に示す。
実施例３ 窒素置換の替わりに脱酸素剤（三菱ガス化学（株）
製、商品名Ageless SS）と共に密封する他は実施例１を
繰り返した。この実験に用いたトレーの酸素透過率は2c
c/m2・atm・24Hrであった。結果を第１表および第２表
に示す。
製、商品名Ageless SS）と共に密封する他は実施例１を
繰り返した。この実験に用いたトレーの酸素透過率は2c
c/m2・atm・24Hrであった。結果を第１表および第２表
に示す。
実施例４ シートとしてポリプロピレン（ASTM法Ｄ−2240で、Ｄ
硬度75のもの）とポリ塩化ビニリデンの積層したものを
用いる他は、実施例１を繰返した。結果を第１表および
第２表に示す。
硬度75のもの）とポリ塩化ビニリデンの積層したものを
用いる他は、実施例１を繰返した。結果を第１表および
第２表に示す。
比較例１ 樹脂としてポリエチレン（樹脂硬度60）を用いた他は
実施例１を繰返した。この実験に用いたトレーの酸素透
過率は700cc/m2・atm・24Hrであった。結果を第１表お
よび第２表に示す。
実施例１を繰返した。この実験に用いたトレーの酸素透
過率は700cc/m2・atm・24Hrであった。結果を第１表お
よび第２表に示す。
比較例２ シートとして硬質ポリ塩化ビニル樹脂（樹脂硬度80）
を用いた他は実施例１を繰返した。この実験に用いたト
レーの酸素透過率は20,000cc/m2・atm.24Hrであった。
結果を第１表および第２表に示す。
を用いた他は実施例１を繰返した。この実験に用いたト
レーの酸素透過率は20,000cc/m2・atm.24Hrであった。
結果を第１表および第２表に示す。
〔発明の効果〕 本発明のIC用ウエハーのコンテナーは、輸送あるいは
保管中のIC用ウエハーの酸化防止、樹脂の擦れかすの発
生防止および塵の付着防止に優れており、ICメーカーの
作業能率アップに寄与すること大である。
保管中のIC用ウエハーの酸化防止、樹脂の擦れかすの発
生防止および塵の付着防止に優れており、ICメーカーの
作業能率アップに寄与すること大である。
Claims (6)
- 【請求項１】高ニトリル樹脂単層または高ニトリル樹
脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレンビニルアルコー
ル共重合体、およびポリビニルアルコール樹脂より選ば
れたガスバリアー性樹脂と他の熱可塑性樹脂との積層フ
ィルムまたはシートによって形成されたトレー状部材お
よびカバー部材を一体化してなるIC用ウエハーのコンテ
ナー。 - 【請求項２】トレー状部材およびカバー部材の何れか一
方が高ニトリル樹脂で形成されたものである請求項１の
コンテナー。 - 【請求項３】高ニトリル樹脂が不飽和ニトリル単量体含
有率が50重量％以上のものである請求項１のコンテナ
ー。 - 【請求項４】高ニトリル樹脂がアクリロニトリル単量体
と該アクリロニトリル単量体と共重合性を有する単量体
との混合物を共役ジエン系合成ゴムの存在下で重合して
製造したものである請求項１のコンテナー。 - 【請求項５】IC用ウエハーと接する面の樹脂硬度がASTM
法（Ｄ−2240法）で硬度70以上である請求項１のコンテ
ナー。 - 【請求項６】高ニトリル樹脂単層または高ニトリル樹
脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、エチレンビニルアルコー
ル共重合体、およびポリビニルアルコール樹脂より選ば
れたガスバリアー性樹脂と他の熱可塑性樹脂との積層フ
ィルムまたはシートによつて形成されたトレー状部材お
よびカバー部材を一体化してなるIC用ウエハーのコンテ
ナーにより不活性ガス下に保管することを特徴とするIC
用ウエハーの保管方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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