JPH0815561A - 光導波路用ファイバアレイ - Google Patents
光導波路用ファイバアレイInfo
- Publication number
- JPH0815561A JPH0815561A JP14948794A JP14948794A JPH0815561A JP H0815561 A JPH0815561 A JP H0815561A JP 14948794 A JP14948794 A JP 14948794A JP 14948794 A JP14948794 A JP 14948794A JP H0815561 A JPH0815561 A JP H0815561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical waveguide
- fiber array
- low melting
- melting point
- point glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、厳しい環境下においても安定に動作
する信頼性の優れた光導波路型デバイスを実現する為の
光導波路用ファイバアレイに関する。 【構成】本発明は、光導波路型デバイスの接続部におい
て使用するファイバアレイ及びその接続固定に低融点ガ
ラス４、８を使用するもので、Ｖ溝基板１のアレイＶ溝
２にファイバアレイ芯線３の各光ファイバを低融点ガラ
ス４で固定した光導波路用ファイバアレイで、光導波路
素子との接続面は研磨後に低融点ガラス薄膜が蒸着して
あり、光導波路との接続時にこの低融点ガラス薄膜で溶
着する。
する信頼性の優れた光導波路型デバイスを実現する為の
光導波路用ファイバアレイに関する。 【構成】本発明は、光導波路型デバイスの接続部におい
て使用するファイバアレイ及びその接続固定に低融点ガ
ラス４、８を使用するもので、Ｖ溝基板１のアレイＶ溝
２にファイバアレイ芯線３の各光ファイバを低融点ガラ
ス４で固定した光導波路用ファイバアレイで、光導波路
素子との接続面は研磨後に低融点ガラス薄膜が蒸着して
あり、光導波路との接続時にこの低融点ガラス薄膜で溶
着する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路型部品におけ
る光ファイバと光導波路との接続におけるファイバアレ
イに関する。
る光ファイバと光導波路との接続におけるファイバアレ
イに関する。
【０００２】
【従来技術】従来、光導波路型部品において、使用する
光ファイバアレイとその接続部は、ＵＶ、可視光型等の
有機系接着剤を使用して固定されている。しかしながら
それらを使用した場合、接着剤の経時変化により接続部
のズレによる特性の変動、ハガレによる長期信頼性の欠
如等の欠点があった。叉、振動、温湿度変化の激しい所
での使用に対しては接着剤の膨張収縮の他、上記理由に
より使用が困難な状況にあった。
光ファイバアレイとその接続部は、ＵＶ、可視光型等の
有機系接着剤を使用して固定されている。しかしながら
それらを使用した場合、接着剤の経時変化により接続部
のズレによる特性の変動、ハガレによる長期信頼性の欠
如等の欠点があった。叉、振動、温湿度変化の激しい所
での使用に対しては接着剤の膨張収縮の他、上記理由に
より使用が困難な状況にあった。
【０００３】更に、信頼性向上の為、両者をレーザ溶接
等により融着接続する方法も試みられているが、直接融
着の場合、光ファイバと光導波路の熱容量に大幅な差が
ある為、光ファイバのみが変形してしまい、高精度な位
置合わせが難しく、製作が困難であった。
等により融着接続する方法も試みられているが、直接融
着の場合、光ファイバと光導波路の熱容量に大幅な差が
ある為、光ファイバのみが変形してしまい、高精度な位
置合わせが難しく、製作が困難であった。
【０００４】本発明は厳しい環境下においても安定に動
作する信頼性の優れた光導波路型デバイスを実現する光
導波路用ファイバアレイの提供を目的にする。
作する信頼性の優れた光導波路型デバイスを実現する光
導波路用ファイバアレイの提供を目的にする。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】上記課題を解決するために
本発明は、光導波路型部品の接続固定に低融点ガラスを
用いたもので、光導波路素子との接続面に向けてアレイ
状に形成された基板上の各溝に光ファイバがそれぞれ低
融点ガラスで固定されるとともに前記接続面に低融点ガ
ラスが蒸着されて成ることを特徴とする光導波路ファイ
バアレイ。
本発明は、光導波路型部品の接続固定に低融点ガラスを
用いたもので、光導波路素子との接続面に向けてアレイ
状に形成された基板上の各溝に光ファイバがそれぞれ低
融点ガラスで固定されるとともに前記接続面に低融点ガ
ラスが蒸着されて成ることを特徴とする光導波路ファイ
バアレイ。
【０００６】
【実施例】次に本発明による実施例を図に基づいて説明
する。図１は、本発明による光導波路用ファイバアレイ
の一実施例を示す斜視図で、４芯アレイタイプのものを
示している。Ｖ溝基板１にはアレイＶ溝２が形成され、
ファイバアレイ芯線３のアレイＶ溝２への固定は、低融
点ガラス４を使用して上部基板５と固定しており、後部
ファイバ保護被覆部は通常の接着剤６を使用している。
尚、ここでは４芯アレイとしているが、本発明はそれに
限定されることなく、任意のポートを有するアレイに適
用されるものである。ここで使用しているＶ溝基板材料
としては例えば石英ガラス等のようなガラス材料の場
合、固定用低融点ガラスと同質であれば整合性がよい
が、それに限定する必要性はなく、アルミナ、ジルコニ
ア等のセラミクス材料でもよい。低融点ガラス上部の基
板も同様である。
する。図１は、本発明による光導波路用ファイバアレイ
の一実施例を示す斜視図で、４芯アレイタイプのものを
示している。Ｖ溝基板１にはアレイＶ溝２が形成され、
ファイバアレイ芯線３のアレイＶ溝２への固定は、低融
点ガラス４を使用して上部基板５と固定しており、後部
ファイバ保護被覆部は通常の接着剤６を使用している。
尚、ここでは４芯アレイとしているが、本発明はそれに
限定されることなく、任意のポートを有するアレイに適
用されるものである。ここで使用しているＶ溝基板材料
としては例えば石英ガラス等のようなガラス材料の場
合、固定用低融点ガラスと同質であれば整合性がよい
が、それに限定する必要性はなく、アルミナ、ジルコニ
ア等のセラミクス材料でもよい。低融点ガラス上部の基
板も同様である。
【０００７】図２は、光導波路素子Ａとの接続構造を示
した側面図で、光導波路用ファイバアレイ接続面側は研
磨後、低融点ガラス薄膜を蒸着し、基板７の上でその面
を光導波路素子Ａの入出射面と合わせ局部加熱融着接続
したものである。その後、周囲を低融点ガラス８にて融
着固定、補強実装される。低融点ガラスは、通常、ＢＯ
2 、ＰＢＯ等の成分からなり、軟化点が４００゜Ｃ程度
のもので、通常の石英系ガラスに比較して低温で軟化、
溶着出来るもので、高温加熱による残留応力歪等が低減
出来るものである。
した側面図で、光導波路用ファイバアレイ接続面側は研
磨後、低融点ガラス薄膜を蒸着し、基板７の上でその面
を光導波路素子Ａの入出射面と合わせ局部加熱融着接続
したものである。その後、周囲を低融点ガラス８にて融
着固定、補強実装される。低融点ガラスは、通常、ＢＯ
2 、ＰＢＯ等の成分からなり、軟化点が４００゜Ｃ程度
のもので、通常の石英系ガラスに比較して低温で軟化、
溶着出来るもので、高温加熱による残留応力歪等が低減
出来るものである。
【０００８】図３は、光光導波路用ファイバアレイの作
製工程を示したもので、先ず、（ａ）のようにＶ溝基板
１、ファイバアレイ芯線３、下面に低融点ガラス薄板を
付けた基板４’を準備し、アッセンブリする。Ｖ溝上の
ファイバアレイ芯線３の保護被覆は除去する。次に
（ｂ）のように、低融点ガラス付け基板４’をアレイ芯
線３上に載せ、全体を例えばＢＮヒータ、Ａｌ2 Ｏ
3 （アルミナ）セラミクス等のような局部加熱源９で加
圧加熱する。その際、熱が保護被覆付きのアレイ芯線３
側に伝導しないように断熱板１０で遮断する。軟化融着
後その部分をアニーリングをする。それから（ｃ）のよ
うに保護被覆側を接着剤６にて固定する。最後に入出射
面側を光学研磨し、その後低融点ガラスをスパッタ装置
等で数μｍ厚程度蒸着して研磨蒸着面１１とする。それ
により本発明によるファイバアレイが作製される。光導
波路接続の為にはその面を光導波路入出射端面に接続位
置合わせし、局部加熱固定すればよい。その後、更に低
融点ガラスを用いて周囲を補強固定することにより、厳
しい環境下における長期信頼性を有する光導波路を実現
する事が出来る。
製工程を示したもので、先ず、（ａ）のようにＶ溝基板
１、ファイバアレイ芯線３、下面に低融点ガラス薄板を
付けた基板４’を準備し、アッセンブリする。Ｖ溝上の
ファイバアレイ芯線３の保護被覆は除去する。次に
（ｂ）のように、低融点ガラス付け基板４’をアレイ芯
線３上に載せ、全体を例えばＢＮヒータ、Ａｌ2 Ｏ
3 （アルミナ）セラミクス等のような局部加熱源９で加
圧加熱する。その際、熱が保護被覆付きのアレイ芯線３
側に伝導しないように断熱板１０で遮断する。軟化融着
後その部分をアニーリングをする。それから（ｃ）のよ
うに保護被覆側を接着剤６にて固定する。最後に入出射
面側を光学研磨し、その後低融点ガラスをスパッタ装置
等で数μｍ厚程度蒸着して研磨蒸着面１１とする。それ
により本発明によるファイバアレイが作製される。光導
波路接続の為にはその面を光導波路入出射端面に接続位
置合わせし、局部加熱固定すればよい。その後、更に低
融点ガラスを用いて周囲を補強固定することにより、厳
しい環境下における長期信頼性を有する光導波路を実現
する事が出来る。
【０００９】
【発明の効果】上記で説明したように本発明による光導
波路用ファイバアレイによれば、次のような優れた利点
がある。
波路用ファイバアレイによれば、次のような優れた利点
がある。
【００１０】ファイバアレイ芯線とＶ溝基板との固定
を低融点ガラスで行っているので環境変動、経時変化に
対して特性劣化が無い。
を低融点ガラスで行っているので環境変動、経時変化に
対して特性劣化が無い。
【００１１】光導波路との接続を低融点ガラス薄膜の
融着により行う為、光導波路、基板にガラス系材料を使
用した場合、材料特性として整合性が良く、信頼性が高
い。
融着により行う為、光導波路、基板にガラス系材料を使
用した場合、材料特性として整合性が良く、信頼性が高
い。
【図１】本発明による光導波路用ファイバアレイの一実
施例を示す斜視図。
施例を示す斜視図。
【図２】図１の光導波路用ファイバアレイと光導波路と
の接続構造の側面図。
の接続構造の側面図。
【図３】（ａ）（ｂ）（ｃ）は本発明の光導波路用ファ
イバアレイ製造工程図。
イバアレイ製造工程図。
１：Ｖ溝基板 ２：アレイＶ溝 ３：ファイバ
アレイ芯線 ４，８：低融点ガラス ５：上部基板 ６：接
着剤 １１：研磨蒸着面 Ａ：光導波路素子
アレイ芯線 ４，８：低融点ガラス ５：上部基板 ６：接
着剤 １１：研磨蒸着面 Ａ：光導波路素子
Claims (1)
- 【請求項１】光導波路素子との接続面に向けてアレイ状
に形成された基板上の各溝に光ファイバがそれぞれ低融
点ガラスで固定されるとともに前記接続面に低融点ガラ
スが蒸着されて成ることを特徴とする光導波路用ファイ
バアレイ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14948794A JPH0815561A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光導波路用ファイバアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14948794A JPH0815561A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光導波路用ファイバアレイ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815561A true JPH0815561A (ja) | 1996-01-19 |
Family
ID=15476233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14948794A Pending JPH0815561A (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光導波路用ファイバアレイ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0815561A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002014260A (ja) * | 2000-04-25 | 2002-01-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 平面実装型光モジュールおよびこれを用いた伝送基板 |
| JP2007310208A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Fujikura Ltd | 光ファイバアレイ及びその製造方法 |
| KR101540087B1 (ko) * | 2014-10-23 | 2015-07-30 | (주) 한사 | 가정용 도정장치 |
-
1994
- 1994-06-30 JP JP14948794A patent/JPH0815561A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002014260A (ja) * | 2000-04-25 | 2002-01-18 | Oki Electric Ind Co Ltd | 平面実装型光モジュールおよびこれを用いた伝送基板 |
| JP2007310208A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Fujikura Ltd | 光ファイバアレイ及びその製造方法 |
| KR101540087B1 (ko) * | 2014-10-23 | 2015-07-30 | (주) 한사 | 가정용 도정장치 |
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