JPH07151703A

JPH07151703A - ビューファインダー用カラーフイルターの検査装置

Info

Publication number: JPH07151703A
Application number: JP31925293A
Authority: JP
Inventors: Jun Hasegawa; 潤長谷川; Minoru Nakanishi; 稔中西; Hajime Miyashita; 元宮下
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 1993-11-26
Filing date: 1993-11-26
Publication date: 1995-06-16

Abstract

(57)【要約】（修正有）【目的】ビューファインダー用カラーフイルターの全
種類の外観欠陥の検査を自動的にできるコンパクトな自
動検査装置を提供する。【構成】ビューファインダー用カラーフイルター４の
着色面側には、第一撮像手段１ａと、該第一撮像手段の
受像面上にカラーフイルターの像を結像させる第一結像
手段２ａと、カラーフイルター面を照明して、その正反
射光像を第一撮像手段の受像面上に結像させる第一照明
手段３ａとを有し、非着色面側には、カラーフイルター
に対向して、第二撮像手段１ｂと、第二結像手段２ｂ
と、カラーフイルター面を照明して、その透過光像を第
一結像手段により第一撮像手段の受像面上に結像させる
第二照明手段３ｂと、非着色面側を反射暗視野照明し、
散乱光を第二撮像手段の受像面上に結像させ、透過暗視
野照明し、その回折光ないし散乱光を第一撮像手段に結
像させる第三照明手段３ｂとを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は，ビューファインダー用
カラーフイルターの外観欠陥を自動検査する装置に関
し、特に、ビューファインダー用カラーフイルターの欠
陥の全種類を検出可能で、コンパクトな自動検査装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの外観検査方法としては、投光器による人間の目
視方法、及び、目視での検査が難しい微細な欠陥に対し
ては、顕微鏡による方法が採られていた。しかし、近
年、ビューファインダ用ーカラーフイルターについて
は、益々、微細化、量産が求められるようになってき
た。高精細化に伴い、欠陥についても、益々、微細な欠
陥を検出することが要求されるようになってきており、
従来の投光器や顕微鏡を用いた肉眼での検査について
は、人による差や、再現性に問題がある為、人手でな
い、自動化された検査方法が求められるようになってき
た。また、量産対応としても自動化された検査方法が求
められるようになってきた。又、ビューファインダー用
カラーフイルターにおいては、製品の表裏全面が検査対
象領域である為、全種類の欠陥を対象にして検査するこ
とは難しく、表裏の欠陥全てを一つの検査装置にて、で
きるだけコンパクトにした状態で欠陥検出することが望
まれており、その対応が求められていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような状況のも
と、ビューファインダー用カラーフイルターの量産に対
応して、ビューファインダー用カラーフイルターの表裏
の全ての種類の欠陥検出を、コンパクトな自動外観検査
装置にて一度に行うことが求められていた。本発明は、
ビューファインダー用カラーフイルターの自動外観検査
装置に関するもので、詳しくは、ビューファインダー用
カラーフイルターの全ての種類の欠陥検出ができる、コ
ンパクトな自動外観検査装置に関する。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明のビューファイン
ダー用カラーフイルターの欠陥検査装置は、透過または
反射照明手段を用いて、ＸＹ駆動制御されたＸＹステー
ジ上のビューファインダー用カラーフイルターを撮像
し、撮像により得られた信号を画像処理することによ
り、欠陥を検出する自動検査装置であり、ビューファイ
ンダー用カラーフイルターの着色面側には、ビューファ
インダー用カラーフイルターに対向して、ＣＣＤ等の画
素分割素子からなる第一撮像手段と、該第一撮像手段の
受像面上にあおり撮影になるようにビューファインダー
用カラーフイルターの像を結像させる第一結像手段と、
ビューファインダー用カラーフイルター面に斜め入射照
明して、その正反射光像を第一結像手段により第一撮像
手段の受像面上に結像させる第一照明手段とを有し、ビ
ューファインダー用カラーフイルターの非着色面側に
は、ビューファインダー用カラーフイルターに対向し
て、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第二撮像手段と、
該第二撮像手段の受像面上にあおり撮影になるようにビ
ューファインダー用カラーフイルターの像を結像させる
第二結像手段と、ビューファインダ用カラーフイルター
面に、斜め入射照明して、その透過光像を第一結像手段
により第一撮像手段の受像面上に結像させる第二照明手
段と、ビューファインダー用カラーフイルターの非着色
面側を反射暗視野照明し、散乱光を第二撮像手段の受像
面上に結像させ、ビューファインダー用カラーフイルタ
ーを透過暗視野照明し、その回折光ないし散乱光を第一
撮像手段に結像させる第三照明手段とを有し、且つ、各
撮像手段により、撮像された画像信号を画像処理する画
像処理手段とを備えたものである。そして、本発明のビ
ューファインダー用カラーフイルターの欠陥検査装置
は、上記第三照明手段が、リング型光源により、ビュー
ファインダー用カラーフイルターの非着色面側を反射暗
視野照明し、ビューファインダー用カラーフイルターを
透過暗視野照明したものである。

【０００５】したがって、本発明の自動検査装置におい
ては、第一照明手段、第二照明手段、及び第三照明手段
にて第一撮像手段に結像することにより着色面側の白欠
陥、黒欠陥の検出ができ、第三照明手段にて第二撮像手
段に結像することによりガラス面側の汚れ、キズ等の欠
陥検出ができ、結局、第一撮像手段、第二撮像手段から
得られる画像信号により、ビューファインダー用カラー
フイルターの全種類の外観欠陥の検出ができる。尚、暗
視野照明とは照明光の光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しなく、且つ、欠陥部がない場合には撮像手段には
光が入射しない照明であり、明視野照明とは照明光の光
軸が撮像手段の受光部の光軸と一致し、且つ、欠陥部が
ない場合には撮像手段に光が入射し、欠陥部がある場合
にはその量が減少ないし無くなる照明である。第一照明
手段、第二照明手段はそれぞれ、反射明視野照明、透過
明視野照明となる。又、第一照明手段と第二撮像手段に
より非着色面側から透過光像の撮像も行うことができ
る。着色面側の反射光像の撮像と同時に行うことによ
り、検査タクトを短縮することができる。そして、あお
り撮影とは、図７に示すように、結像手段の画角の周辺
部を利用して撮像手段の受像面上に試料ビューファイン
ダー用カラーフイルターの像を結像させるものである。

【０００６】本発明の自動検査装置においては、あおり
撮影になるようにビューファインダー用カラーフイルタ
ーの像を第一撮像手段の受像面上に結像させる第一結像
手段とを配置し、且つ、着色面側からビューファインダ
ー用カラーフイルター面に斜め入射照明して、その正反
射光像を第一結像手段により第一撮像手段受像面上に結
像させる第一照明手段とを有しており、又、非着色面側
からビューファインダ用カラーフイルター面に斜め入射
照明して、その透過光像を第一結像手段により第一撮像
手段の受像面上に結像させる第二照明手段とを有してい
る。これにより、垂直落射照明による構成でのハーフミ
ラーを排することができ、ハーフミラー使用することに
より光源の光量が１／４になってしまうという弊害、ハ
ーフミラーにゴミが付着すると擬似欠陥が検出されるて
しまうという弊害をなくすことができる。

【０００７】又、透過明視野照明、反射明視野照明によ
って、ビューファインダー用カラーフイルターの白欠
陥、黒欠陥のいずれもが検出可能となるが、本発明にお
いては、更に、暗視野照明を併用している。透過暗視野
照明、反射暗視野照明を用い撮像し、撮像により得られ
た画像信号を処理することにより、明視野照明単独使用
による撮像の場合に比べ、欠陥検出の感度を上げてい
る。透過暗視野光は、光軸が撮像手段の受光部の光軸と
一致しない為、受光部への暗視野照明による光は、周期
性パターンまたは略周期性パターン部の開口部透過光は
受光部へ入射されない為、ほぼ回折光ないし散乱光のみ
が検出され、明視野の場合に比べＳ／Ｎが大なのであ
る。反射暗視野光についても、同様に、ほぼ散乱光のみ
が検出され、明視野の場合に比べＳ／Ｎが大なのであ
る。暗視野光を併用することにより、Ｓ／Ｎが向上する
のは、撮像手段により得られる透過照明光からの信号の
Ｓ／Ｎを、暗視野光照明の場合Ｓ₁／Ｎ₁、明視野の場
合Ｓ₂／Ｎ₂とするとＳ₁／Ｎ₁＞Ｓ₂／Ｎ₂である
ことより、（Ｓ₁＋Ｓ₂）／（Ｎ₁＋Ｎ₂）＞Ｓ₂／
Ｎ₂となる為であり、暗視野光を単独使用した場合にお
いても、明視野の場合に比べ、Ｓ／Ｎが向上するのは言
うまでもない。尚、本発明において、ビューファインダ
ー用カラーフイルタ−の非着色面側を反射暗視野照明す
る理由は、試料ビューファインダー用カラーフイルタ−
を透明な保持板に載せた場合には裏面の正反射照明像は
得ることができないからであり、試料ビューファインダ
ー用カラーフイルターの側面を押さえて保持し、非着色
面側を正反射照明した場合には着色面の影響により反射
率が試料ビューファインダー用カラーフイルタ−の部位
によって異なるため撮像を複数回に分ける必要があるの
に対し、反射暗視野照明にすれば撮影が１回で済み、検
査タクトを短縮することができるからである。又、着色
面側を反射暗視野照明で検査しようとした場合、図１０
（ロ）に示すような突起欠陥とＩＴＯピンホール欠陥で
は欠陥を検出できる照明照射角度が異なり、自動検査に
適さないため、着色面側は正反射照明で行うべきであ
る。但し、必要に応じて、反射暗視野照明を併用しても
良い。

【０００８】本発明の自動検査装置においては、ビュー
ファインダー用カラーフイルターを着色面側を上にし
て、透明な保持板等の上に載せた状態で、カラーフイル
ターの表裏を照明し、撮像するもので、ビューファイン
ダー用カラーフイルターは、通常、保持板とともにＸＹ
駆動制御可能なステージ上にて位置制御される。本発明
の自動検査装置は、具体的には図１に示すように、光源
３ａからの光をビューファインダー用カラーフイルター
面に斜め入射照明し、光の正反射光像をレンズ２ａによ
りによりカメラ１ａに結像させる、照明手段を有するも
のであり、光源３ｂからの光をビューファインダー用カ
ラーフイルター面に斜め入射照明し、光の透過明視野照
明による光をレンズ２ａによりカメラ１ａに結像させる
透過照明手段を有する。そして、光源３ｃよりの透過暗
視野照明による回折光ないし散乱光をカメラ１ａにて結
像させ、且つ、光源３ｃより反射暗視野照明による散乱
光をカメラ１ａにて結像させる、照明手段を有するもの
である。撮像手段としては、ＣＣＤ素子等の画素分割素
子を用いた撮像カメラで、特に、電子シャッターを有
し、露光時間の調整ができるものが好ましい。照明手段
の光源としては、キセノン光源等が挙げられるが、特に
これに限定はされない。ビューファインダー用カラーフ
イルターの非着色面側を反射暗視野照明し、同時にビュ
ーファインダー用カラーフイルターを透過暗視野照明す
る光源としては、試料より大サイズの孔部を有する環状
（リング型）の光源が、反射暗視野照明、透過暗視野照
明いずれの照明にも適しており、この形状の場合、ビュ
ーファインダー用カラーフイルター面に斜め入射照明し
て、その透過光像を第一結像手段（レンズ系）により第
一撮像手段に結像させる第二透過照明手段、第二撮像手
段の配置、組合せを容易にできる。通常、リング型のフ
アイバー光源を使用する。

【０００９】本発明のビューファインダー用カラーフイ
ルターの欠陥検査装置における画像処理部は、撮像によ
り得られた画像信号を、画素のＸ方向またはＹ方向に一
次微分ないし二次微分することにより、信号の変化を得
て欠陥を特定する等の強調処理を施し欠陥検出するもの
である。しかしながら、ビューファインダー用カラーフ
イルターは図１０に示すように、着色画素部、外周遮光
部、最外周透明部の各領域に分けられ、着色画素部は図
１０（ロ）に示すように、一般にはＲ（レッド）、Ｇ
（グリーン）、Ｂ（ブルー）の着色層の繰り返し配列に
て構成されており、照明光に対して、着色部は低い反射
率、低透過率で、外周遮光部は高い反射率、低透過率
で、最外周透明部は高透過率であり、各領域によって、
その透過率、反射率が異なる。この為、一度の撮像から
得られた信号により、全域の欠陥検出を行うことはでき
ず、画像処理部は、欠陥検出の信号処理の他に、特別な
画像処理を行う。画像処理部の行う処理を説明する為、
一例として図２に示す処理を挙げる。図２における処理
は、ビューファインダー用カラーフイルターの全領域を
含む撮像領域にて撮像した場合のもので、所望の領域の
反射率、透過率に合った露光量でビューファインダー用
カラーフイルターの全領域を撮像し、得られた画像信号
から微分処理により、反射率、透過率の異なる領域の境
界部やその領域の欠陥部を抽出した２値化画像と、その
領域よりわずかに狭い領域に限定した領域の２値化画像
（マスキング画像）とから、ＡＮＤ処理により所望の領
域の欠陥部のみを抽出するものである。そして、全領域
の欠陥検出は、この操作を各領域毎に行い、各領域毎の
欠陥を得て、全領域の欠陥を合わせるものである。

【００１０】図２における欠陥検出処理（Ａ）を説明す
る。欠陥検出処理としては、透過照明および／または反
射照明により照明して、第一、第二撮像手段（カメラ）
にて撮像した映像信号が画像処理装置に入り、強調処理
等を施して欠陥が検出される。所望の領域にあった露光
量にて、ビューファインダー用カラーフイルターの全領
域を含む撮像領域にて撮像する為、所望領域の欠陥とと
もに領域境界等が検出される。これを２値化画像とす
る。以下、欠陥検出のための強調処理について一例を挙
げ、図３にそって説明する。説明を簡単にする為、試料
を透過明視野照明して自動検査する場合、即ち、図１に
おいて、光源３ｂを点灯し、ビューファインダー用カラ
ーフイルターの非着色面側から斜め入射し、撮像カメラ
１ａで撮像する場合についての画像処理について説明す
る。先ず、試料の同一箇所において複数回、撮像手段に
よって撮像し、画像信号を得て、得られた複数回分の画
像信号を積算、平均処理する。これは、欠陥部を含む箇
所については、図３の（ａ）のような光透過率分布をえ
るが、撮像装置からのビデオ信号は（ｂ）のように、パ
ターンの照明ムラ、撮像面の感度ムラ等によるゆるやか
な信号変化（シエーデイング）とビデオ信号回路で発生
するランダムノイズ、および光学系に付着したゴミなど
による信号の局部的変化とが含まれた信号となってしま
うことに対応するもので、同一箇所において、複数回、
撮像手段によって撮像し、画像信号を得て、得られた複
数回分の画像信号を積算、平均処理するもので、これに
より（ｃ）のように、加算回数をＮとした場合には、ラ
ンダムノイズの比率は１／Ｎ^1/2となる。ここで、Ａ
１、Ｂ１、Ａ２、Ｂ２は欠陥部を示すもので、Ｃは光学
系に付着したゴミ等による信号の局部的変化を示すもの
である。次いで、撮像する位置をわずかにずらして、同
様に積算、平均処理することにより、信号（ｃ）をわず
かに変位させた信号（ｄ）を得ることができ、（ｃ）と
（ｄ）との差信号をえると（ｅ）のようになり、ゆるや
かな信号変化（シエーデイング）や撮像する位置の移動
により変化しない信号分が除去される。ここでは、光の
透過率変化による信号分と低減されたランダムノイズ成
分だけが残るが、更に、この信号（ｅ）について、近傍
平均値の減算あるいは微分処理を施すと、（ｆ）のよう
な、ゆるやかな信号変化（シエーデイング）成分も除去
され、結果として、得られた信号（ｆ）は、欠陥部に相
当のみが局部的に変化しており、強調されていることが
分かる。又、スライス処理による２値化については、信
号（ｆ）を所定のスライスレベルＳＬで処理するもの
で、欠陥部のみを判定し２値化するものである。尚、図
３の（ｅ）での欠陥部における信号の反転の順序によっ
て、欠陥の種類（白欠陥、黒欠陥）が識別できる。尚、
ここでは、白欠陥とは、着色パターン部のピンホールや
絵柄欠けを言い、黒欠陥とは、着色パターン部の所定の
絵柄以外の余分な着色部分または遮光部分を言ってお
り、汚れやガラス部のキズも黒欠陥として検出される。

【００１１】次いで、図２におけるマスキング画像の作
成方法について以下簡単に説明する。ここでは簡単の
為、着色画素部領域を透過照明で検査する場合に限定し
て所定領域部以外の領域を除外し、所定領域の欠陥のみ
を抽出する方法を説明する。透過照明で着色画素部領域
の欠陥検出に適した露光条件にて、試料全面を撮像し、
撮像した画像信号に対しての強調処理を施す。ここでは
画像信号に対してｘ方向に微分処理する。この強調処理
は信号のｘ方向に対する変化を強調するものである。着
色画素部領域を透過照明で検査する場合、試料全面を撮
像し、得られた画像信号に対して強調処理を施した場
合、図２の２値化画像のように着色画素部領域内の欠陥
とともに、着色画素部、外周遮光部、最外周透明部のそ
れぞれの境界等の着色画素部領域以外のものも欠陥とし
て抽出されるが、関心領域（着色画素部領域）のみを抽
出するため、図２に示すように２値化画像と検出したい
領域のマスキング画像とのＡＮＤをとる。このマスキン
グ画像は、例えばメモリの検出したい領域を全ビット１
他領域を０にしたもので、強調処理を施した２化値画像
とのＡＮＤをとることにより、関心領域（着色画素部領
域）のみ２値化した値を残し、他領域を除外することが
できる。次いで、着色部領域のマスキング画像を作成す
る場合について述べる。図５（１）に示すように、まず
欠陥のない試料の全面を撮像し、試料の各領域の輝度レ
ベルに対応した、撮像により得られた画像信号を、所定
のスライスレベル２値化し、図５（２）のように着色画
素部領域画像αを抽出する。図５（２）の画像αを縮小
するため、画像αを左右（強調処理がｙ方向の微分処理
の場合は上下）にシフトし、それぞれ図６のようにし
て、それぞれＡＮＤをとり、マスキング画像を作成す
る。マスキング画像は実際の着色画素部領域よりも小さ
く作成されるため図３のような着色部と外周遮光部の信
号変化による境界線を抽出しても、図４のように、マス
キング画像とのＡＮＤにより、着色画素領域の欠陥のみ
が抽出されるのである。ここで図６の処理におけるシフ
ト量について述べる。撮像により得られた画像信号は、
ｘ方向では図９（イ）に示すようになる。図９（イ）の
画像信号に図８に示す要素配列フイルター（空間フイル
タ）を用い、フイルタリング（二次微分処理）を施した
場合、図９（ロ）のようになる。したがってこの場合、
検査領域中、左側２画素分、右側３画素分が境界線とし
て出てしまい除外しなければならないので、画像αのシ
フト量は右側へ２画素、左側に３画素となる。尚、ここ
では、撮像手段より得られた、画素データＰ（ｘ、ｙ）
に空間フイルターテーブルＷ（ｉ、ｊ）を用い、Ｐ
（ｘ、ｙ）とＷ（ｉ、ｊ）との積和演算を行うものをフ
イルタと言い、エリアセンサにて特定画素列のＸ方向に
限定した場合には、（−１、＋１）、空間フイルタテー
ブル（重みテーブル）を設定することで一次微分処理が
行え、（−１、−１、＋２、＋２、−１、−１）に空間
フイルタテーブル（重みテーブル）を設定することによ
り二次微分処理が行なえる。着目画素Ｎの画素データを
Ｘ_nとすると、Ｘ方向に２画素分の平滑処理をした二次
微分処理の場合、画素データと空間フイルターテープル
との積和演算Ｓ_nは、（−１）×Ｘ_n-2＋（−１）×Ｘ
_n-1＋（＋２）×Ｘ_n＋（＋２）×Ｘ_n+1＋（−１）×
Ｘ_n+2＋（−１）×Ｘ_n+3となる。このようにして画像
αをシフトしてＡＮＤをとった画像が着色画素部領域に
対応するマスキング画像であるが、試料の他の領域に対
しても、露光条件やスライスレベルを調整して撮像し、
２値化し、シフトすることにより、各領域に対応したマ
スキング画像を作成することができる。

【００１２】

【作用】本発明のビューファインダー用カラーフイルタ
ーの欠陥検査装置は、このような構成にすることによ
り、コンパクトで、全ての種類の外観欠陥を検査を一度
ででき、且つ、量産にも対応できる装置の提供を可能と
している。具体的には、暗視野照明を併用ないし単独使
用することにより、高い感度で検出することを可能と
し、表裏にそれぞれ、照明手段、撮像手段を前述のよう
に配設することにより、表裏全体の欠陥を一度に検出で
きるようにしている。又、リング型光源を用いることに
より、着色面側撮像手段への透過暗視野照明、非着色面
側撮像手段への反射暗視野照明を一つの光源にて達成
し、且つ、着色面側撮像手段へ透過明視野照明、撮像装
置の配置をし易いものとし、全体をコンパクトとしてい
る。また、垂直落射構成でのハーフミラーを排すること
ができ、ハーフミラー使用時の光量の減少や、ハーフミ
ラーにゴミが付着した場合に発生する擬似欠陥検出を回
避することができる。

【００１３】

【実施例】本発明のビューファインダー用カラーフイル
ター欠陥検査装置の実施例１を以下、図にそって説明す
る。図１は実施例１における装置概略図である。図１
中、１ａ、１ｂは撮像カメラ、２ａ、２ｂはレンズ、３
ａ、３ｂ、３ｃは光源、４はビューファインダー用カラ
ーフイルター、５は保持板、６は画像処理装置、７はＸ
Ｙステージ、８はＸＹステージ制御装置である。ビュー
ファインダー用カラーフイルター４は着色面を上にして
保持板５の上に載っており、保持板５はＸＹステージ７
の上に載っている。撮像カメラ１ａ、１ｂは露光時間可
変のＣＣＤエリアセンサを使用した。レンズ２ａは試料
ビューファインダー用カラーフイルター４の着色面の像
が、あおり撮影により、撮像カメラ１ａの受像面上に結
像するように調整されており、レンズ２ｂは試料ビュー
ファインダー用カラーフイルター４の非着色面の像が、
あおり撮影により、撮像カメラ１ｂの受像面に結像する
ように調整されている。レンズ２ａ、２ｂ各々の光軸と
撮像カメラ１ａ、１ｂの受像面が交わった点は、それぞ
れ撮像カメラ１ａ、１ｂの受像面の中心からズレた位置
になっている。光源３ａは、試料４の着色面側を撮像カ
メラ１ａに対して正反射照明する。又、光源３ｂは、試
料４を非着色面側から撮像カメラ１ａに対して透過照明
する。光源３ｃは図１では一例としてリング型ファイバ
ー光源を使用しており、試料４を撮像カメラ１ａに対し
て透過暗視野照明、および非着色面側を撮像カメラ１ｂ
に対して反射暗視野照明する。

【００１４】本装置における撮像方法を以下簡単にのべ
る。ビューファインダー用カラーフイルター４を透過明
視野照明して撮像する場合には、光源３ｂを点灯し、試
料ビューファインダー用カラーフイルター４を透過照明
し、透過光をレンズ２ａで集光して撮像カメラ１ａの受
光面上に結像させて撮像する。試料ビューファインダー
用カラーフイルター４を透過暗視野照明して撮像する場
合には、光源３ｃを点灯して試料４を透過暗視野照明
し、試料４に微小白欠陥がある場合に回折光をレンズ２
ａで集光して撮像カメラ１ａの受光面上に結像させ撮影
する。そして、試料ビューファインダー用カラーフイル
ター４の着色面の正反射照明による撮像については、光
源３ａを点灯して、試料着色面を正反射照明し、反射光
をレンズ２ａにより撮像カメラ１ａの受光面上に結像さ
せ、撮影する。又、試料ビューファインダー用カラーフ
イルター４の非着色面側の反射暗視野照明による撮像
は、光源３ｃを点灯して試料非着色面を反射暗視野照明
し、試料の表面の凹凸による散乱光をレンズ２ｂにより
撮像カメラ１ｂの受光面上に結像させ撮影する。

【００１５】本装置における欠陥検出方法を以下簡単に
説明する。試料ビューファインダー用カラーフイルター
４の全面を光源３ｂにて透過照明、光源３ｃにて透過暗
視野照明し、撮像カメラにて撮影する。試料ビューファ
インダー用カラーフイルター４の各領域の透過率に合わ
せ、カメラの電子シヤッターにて露光時間を調整し、所
望の領域毎に撮影して所望の領域毎に欠陥を検出し、全
域における欠陥検出を行った。これにより着色面側の白
欠陥、黒欠陥を検出した。尚、欠陥の検出のための画像
処理については前述の通りである。次いで、光源３ａに
て、試料ビューファインダー用カラーフイルター４を斜
め入射照明し、反射光像をレンズ２ａにて撮像カメラ１
ａに結像し、欠陥検出をおこなった。これにより着色面
側の汚れ、キズ、突起等の欠陥を検出した。この場合の
画像処理についても前述の通りである。次いで、試料ビ
ューファインダー用カラーフイルター４の全面を光源３
ｃにて透過照明反射暗視野照明し、撮像カメラ１ｂにて
その散乱光を撮像することにより欠陥検出をおこなっ
た。これにより非着色面側、主にガラス面の汚れ、キズ
等の欠陥を検出した。尚、光源３ａを点灯し、カメラ１
ａで反射光像、カメラ１ｂで透過光像を撮像する場合は
並行して行う。以上より、試料ビューファインダー用カ
ラーフイルター４の全種類の外観欠陥検査を本装置のみ
で、ほぼ一度に自動でできた。

【００１６】

【発明の効果】上記のような構成にすることにより、本
発明のビューファインダー用カラーフイルターの欠陥検
出方法は、ビューファインダー用カラーフイルター表裏
の汚れ、傷等の外観欠陥の自動検査を可能としている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例における装置概略図

【図２】画像処理部における画像処理の工程概略図

【図３】画像処理における強調処理を説明するための図

【図４】マスキング画像作成における強調処理を説明す
るための図

【図５】マスキング画像作成におけるＡＮＤ処理を説明
する為の図

【図６】マスキング画像作成におけるシフト処理を説明
する為の図

【図７】あおり撮影による撮像を説明するための図

【図８】マスキング画像作成において使用する空間フイ
ルター図

【図９】マスキング画像作成を説明するための図

【図１０】ビューファインダア用カラーフイルター概略
図

【符号の説明】

１ａ、１ｂ撮像カメラ２ａ、２ｂレンズ３ａ、３ｂ、３ｃ光源４ビューファインダア用カラ
ーフイルター５保持板６画像処理装置７ＸＹステージ８ＸＹステージ制御部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透過または反射照明手段を用いて、ＸＹ
駆動制御されたＸＹステージ上のビューファインダー用
カラーフイルターを撮像し、撮像により得られた信号を
画像処理することにより、欠陥を検出する自動検査装置
であって、ビューファインダー用カラーフイルターの着
色面側には、ビューファインダー用カラーフイルターに
対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からなる第一撮像手
段と、該第一撮像手段の受像面上にあおり撮影になるよ
うにビューファインダー用カラーフイルターの像を結像
させる第一結像手段と、ビューファインダー用カラーフ
イルター面に斜め入射照明して、その正反射光像を第一
結像手段により第一撮像手段の受像面上に結像させる第
一照明手段とを有し、ビューファインダー用カラーフイ
ルターの非着色面側には、ビューファインダー用カラー
フイルターに対向して、ＣＣＤ等の画素分割素子からな
る第二撮像手段と、該第二撮像手段の受像面上にあおり
撮影になるようにビューファインダー用カラーフイルタ
ーの像を結像させる第二結像手段と、ビューファインダ
用カラーフイルター面に、斜め入射照明して、その透過
光像を第一結像手段により第一撮像手段の受像面上に結
像させる第二照明手段と、ビューファインダー用カラー
フイルターの非着色面側を反射暗視野照明し、散乱光を
第二撮像手段の受像面上に結像させ、ビューファインダ
ー用カラーフイルターを透過暗視野照明し、その回折光
ないし散乱光を第一撮像手段に結像させる第三照明手段
とを有し、且つ、各撮像手段により、撮像された画像信
号を画像処理する画像処理手段とを備えたことを特徴と
するビューファインダー用カラーフイルターの検査装
置。
【請求項２】請求項１において、第三照明手段が、リ
ング型光源により、ビューファインダー用カラーフイル
ターの非着色面側を反射暗視野照明し、ビューファイン
ダー用カラーフイルターを透過暗視野照明したものであ
ることを特徴とするビューファインダー用カラーフイル
ターの検査装置。
【請求項３】請求項１ないし２において、撮像された
画像信号を画像処理する画像処理手段が、少なくとも、
撮像された画像信号を画素のＸまたは／およびＹ方向に
微分して得た欠陥を含む２値化画像と、ビューファイン
ダー用カラーフイルターの所望の領域部に対応するわず
かに小さい領域の２値化画像とのＡＮＤ処理を行うもの
であることを特徴とするビューファインダー用カラーフ
イルターの検査装置。