JPH067030U - load cell - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 検出精度を高め、信頼性を向上させる。
【構成】 中心部２ａおよび周縁部２ｂが厚肉に形成さ
れ、かつ両者間が薄肉の起歪部４に形成されているダイ
アフラム２をケース１内に設けるとともに、起歪部４上
に感圧素子７を設ける。一方、感圧素子７をダイアフラ
ム２上のブリッジ回路６に接続し、ブリッジ回路６をケ
ース１内の回路部材８の回路に接続する。ダイアフラム
２の中心部２ａにプランジャー２０の一端を固定し、他
端をケース１の外側に向かって開放する。プランジャー
２０の他端に荷重が作用すると、それに応じてプランジ
ャー２０およびダイアフラム２の中心部２ａが一体に変
位し、この中心部２ａの変位に追従して起歪部４が変位
するとともに、起歪部４の変位に追従して起歪部４上の
感圧素子７がその抵抗値を変化させ、この抵抗値の変化
をブリッジ回路６を介することにより荷重が検出され
る。
(57) [Summary] [Purpose] To improve detection accuracy and reliability. [Structure] A diaphragm 2 in which a central portion 2a and a peripheral edge portion 2b are formed thick and a thin portion between which is formed a strain-flexing portion 4 is provided in a case 1, and pressure-sensing is performed on the strain-generating portion 4. The element 7 is provided. On the other hand, the pressure sensitive element 7 is connected to the bridge circuit 6 on the diaphragm 2, and the bridge circuit 6 is connected to the circuit of the circuit member 8 in the case 1. One end of the plunger 20 is fixed to the central portion 2a of the diaphragm 2 and the other end is opened toward the outside of the case 1. When a load is applied to the other end of the plunger 20, the plunger 20 and the central portion 2a of the diaphragm 2 are integrally displaced accordingly, and the strain-flexing portion 4 is displaced in accordance with the displacement of the central portion 2a. The pressure-sensitive element 7 on the strain-flexing part 4 changes its resistance value following the displacement of the strain-flexing part 4, and the load is detected by passing this change in resistance value through the bridge circuit 6.
Description
【０００１】[0001]
この考案は荷重計に関し、特に、歪みゲージ等の感圧素子の抵抗値の変化をブ リッジ回路を介して電圧値の変化として取り出すことにより、荷重を検出するよ うにした荷重計に関するものである。 The present invention relates to a load cell, and more particularly to a load cell that detects a load by extracting a change in resistance value of a pressure sensitive element such as a strain gauge as a change in voltage value via a bridge circuit. .
【０００２】[0002]
従来、荷重を検出するには種々の荷重計が用いられており、例えば、ばね計り にあっては、荷重とばねの伸びが比例することを利用して荷重を検出するように したものであるが、ばねの伸びを荷重に換算するための伝達機構等を必要とし、 機械的に荷重を検出するため、応答性が非常に悪く、検出精度も低く、信頼性に 欠けるものである。また、伝達機構等の設置スペースを必要とするため、全体が 大型化してしまう。さらに、繰り返し使用することにより、ばねが劣化したり変 形したり、伝達機構の可動部が歪んだりするため、長期的に安定した検出精度を 得ることができないという問題点があった。 Conventionally, various load cells have been used to detect the load. For example, in a spring meter, the load is detected by utilizing the fact that the load and the elongation of the spring are proportional. However, it requires a transmission mechanism to convert the spring elongation into a load, and mechanically detects the load, so the response is extremely poor, the detection accuracy is low, and the reliability is low. Moreover, since the installation space for the transmission mechanism and the like is required, the entire size becomes large. Further, due to repeated use, the spring is deteriorated or deformed, or the movable part of the transmission mechanism is distorted, so that there is a problem that stable detection accuracy cannot be obtained in the long term.
【０００３】 この考案は前記のような従来のもののもつ問題点を解決したものであって、応 答性に優れ、精度が高く、信頼性が高く、かつ耐久性にも優れる荷重計を提供す ることを目的とするものである。The present invention solves the above-mentioned problems of conventional ones, and provides a load cell having excellent responsiveness, high accuracy, high reliability, and excellent durability. The purpose is to
【０００４】[0004]
上記の問題点を解決するためにこの考案は、一端が閉塞されたケースと、この ケース内に、外周部が固定され、かつ中心部がフリーの状態で設けられるととも に、外周部と中心部との間が薄肉の起歪部に形成されているダイアフラムと、前 記起歪部上に設けられるとともに、起歪部の変位に追従して抵抗値を変化させる 感圧素子と、前記ケース内に設けられるとともに、前記感圧素子の信号に応じた 信号を出力する回路部材と、前記ダイアフラムの中心部に一端が固定され、他端 が前記ケースの外側に向かって開放されているプランジャーとを具えた手段を採 用したものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a case whose one end is closed, an outer peripheral portion of which is fixed in the case, and a central portion of which is provided in a free state. A diaphragm having a thin strain-flexing portion between it and the pressure-sensitive element, which is provided on the strain-generating portion and changes the resistance value following the displacement of the strain-generating portion, and the case described above. A circuit member that is provided inside and outputs a signal according to the signal of the pressure-sensitive element, and a plunger that has one end fixed to the center of the diaphragm and the other end that is open toward the outside of the case. It adopts the means including and.
【０００５】[0005]
この考案は前記のような手段を採用したことにより、プランジャーの他端に荷 重が作用すると、その荷重の大きさに応じてプランジャーが変位し、このプラン ジャーの変位に追従してダイアフラムの中心部が変位する。そして、ダイアフラ ムの中心部の変位に追従して起歪部が変位するとともに、起歪部上の感圧素子が その抵抗値を変化させ、この感圧素子の抵抗値の変化を回路部材を介して取り出 すことによって、プランジャーに作用する荷重が検出されることになる。 This invention adopts the above-mentioned means, and when load acts on the other end of the plunger, the plunger is displaced according to the magnitude of the load, and the diaphragm follows the displacement of the plunger. The center of is displaced. The strain-flexing portion is displaced following the displacement of the center of the diaphragm, and the pressure-sensitive element on the strain-changing portion changes its resistance value. By taking it out through, the load acting on the plunger will be detected.
【０００６】[0006]
以下、図面に示すこの考案の実施例について説明する。 図１には、この考案による荷重計の第１の実施例による概略断面図が示されて いて、この実施例に示す荷重計は、ダイアフラム２と、感圧素子７、例えば歪み ゲージと、感圧素子７からの信号を増幅する回路等が組み込まれている回路部材 ８と、荷重をダイアフラム２に伝達するプランジャー２０とを具えている。 An embodiment of the present invention shown in the drawings will be described below. FIG. 1 shows a schematic sectional view of a load cell according to a first embodiment of the present invention. The load cell shown in this embodiment includes a diaphragm 2, a pressure sensitive element 7, for example, a strain gauge and a sensor. A circuit member 8 incorporating a circuit for amplifying a signal from the pressure element 7 and the like, and a plunger 20 for transmitting a load to the diaphragm 2 are provided.
【０００７】 前記ダイアフラム２は、円板状をなすとともに、裏面側にホトエッチングや機 械加工等によりリング状の溝部３が穿設され、この溝部３によりダイアフラム２ の中心部２ａおよび周縁部２ｂは厚肉に形成されるとともに、溝部３に対応する 部分、すなわち中心部２ａと周縁部２ｂとの間は、薄肉の起歪部４に形成され、 前記中心部２ａには適宜のねじ穴５が貫通した状態で螺設されている。The diaphragm 2 has a disk shape, and a ring-shaped groove portion 3 is bored on the back surface side by photoetching, mechanical processing, or the like, and the groove portion 3 forms a central portion 2 a and a peripheral edge portion 2 b of the diaphragm 2. Is thick, and a thin straining portion 4 is formed between the portion corresponding to the groove portion 3, that is, between the central portion 2a and the peripheral portion 2b, and an appropriate screw hole 5 is formed in the central portion 2a. Is threaded in a penetrating state.
【０００８】 前記感圧素子７は、前記ダイアフラム２の表面側の起歪部４上の適宜の位置に 、真空蒸着やスパッタリング等によって適宜の形状に設けられ、この感圧素子７ は、ダイアフラム２の表面側にアルミ等を蒸着することにより形成されているブ リッジ回路６に接続されるようになっている。The pressure-sensitive element 7 is provided in an appropriate shape on the front surface side of the diaphragm 2 on the strain-flexing portion 4 by vacuum vapor deposition, sputtering, or the like. Is connected to the bridge circuit 6 formed by evaporating aluminum or the like on the surface side of the.
【０００９】 前記回路部材８は、前記感圧素子７に接続するブリッジ回路６に安定した電圧 を供給する回路等が組み込まれている電源回路基板１０と、感圧素子７からの信 号を増幅する増幅回路等が組み込まれている増幅回路基板９と、ゼロ調整するゼ ロ調整回路やゲイン調整回路等が組み込まれている調整回路基板１１とから構成 され、各基板間は連結ピン１３を介して互いに接続されるとともに、電源回路基 板１０には、調整回路基板１１を貫通しているターミナルピン１４の一端が接続 され、ターミナルピン１４の他端にはリード線１５が接続されるようになってい る。The circuit member 8 amplifies a signal from the power supply circuit board 10 in which a circuit for supplying a stable voltage to the bridge circuit 6 connected to the pressure sensitive element 7 is incorporated, and a signal from the pressure sensitive element 7. And an adjusting circuit board 11 in which a zero adjusting circuit for zero adjustment, a gain adjusting circuit, and the like are incorporated, and a connecting pin 13 is provided between the boards. One end of the terminal pin 14 penetrating the adjustment circuit board 11 is connected to the power circuit board 10, and the lead wire 15 is connected to the other end of the terminal pin 14. Is becoming.
【００１０】 前記プランジャー２０は、棒状をなすとともに、先端部に前記ダイアフラム２ の中心部２ａのねじ穴５に合致するねじ部２１が螺設され、後端部には半球状の 荷重受け部２２が一体に形成されている。The plunger 20 has a rod-like shape, and has a threaded portion 21 screwed at the tip end thereof to match the threaded hole 5 of the center portion 2 a of the diaphragm 2, and a hemispherical load receiving portion at the rear end portion. 22 is integrally formed.
【００１１】 そして、上記のように構成したダイアフラム２、回路部材８、プランジャー２ ０を一体に組み立てるには、まず、一端が閉塞された筒状をなすケース１内の底 面に、前記ダイアフラム２を、表面（感圧素子７が設けられている側の面）を上 側にして位置させ、この状態でダイアフラム２の下面側周縁部を電子ビーム溶接 等によりケース１の底面に溶着する。In order to integrally assemble the diaphragm 2, the circuit member 8 and the plunger 20 configured as described above, first, the diaphragm is attached to the bottom surface of the cylindrical case 1 with one end closed. 2 is positioned with the surface (the surface on which the pressure sensitive element 7 is provided) facing upward, and in this state, the peripheral edge of the lower surface of the diaphragm 2 is welded to the bottom surface of the case 1 by electron beam welding or the like.
【００１２】 次に、ケース１内の適宜の位置に、回路部材８の電源回路基板１０、増幅回路 基板９、調整回路基板１１をそれぞれ装着し、増幅回路基板９の回路とダイアフ ラム２の起歪部４上のブリッジ回路６との間をボンディングワイヤ２４で接続す る。Next, the power supply circuit board 10, the amplification circuit board 9, and the adjustment circuit board 11 of the circuit member 8 are mounted at appropriate positions in the case 1, and the circuit of the amplification circuit board 9 and the diaphragm 2 are raised. A bonding wire 24 is connected to the bridge circuit 6 on the distortion section 4.
【００１３】 次に、ケース１の開口部に、中央部に挿通孔１７が穿設されているとともに、 挿通孔１７の内面側にＯリング２３が装着され、かつ、適宜の位置に前記ターミ ナルピン１４を挿通させるための貫通孔１８が穿設されている円板状のキャップ １６を装着し、このキャップ１６の貫通孔１８内に前記ターミナルピン１４を挿 通させ、キャップ１６の周縁部にケース１の開口端部をかしめつける。Next, an insertion hole 17 is formed in the center of the opening of the case 1, an O-ring 23 is attached to the inner surface of the insertion hole 17, and the terminal pin is placed at an appropriate position. A disk-shaped cap 16 having a through hole 18 for inserting 14 is attached, the terminal pin 14 is inserted into the through hole 18 of the cap 16, and a case is provided on the peripheral edge of the cap 16. Crim the open end of 1.
【００１４】 次に、前記キャップ１６の中央部の挿通孔１７内にプランジャー２０を挿通し 、その先端部のねじ部２１を前記ダイアフラム２の中心部２ａのねじ穴５に螺合 させて両者を一体とし、さらに、キャップ１６の貫通孔１８から突出しているタ ーミナルピン１４をグロメット等の固定部材２５でキャップ１６側に固定する。Next, the plunger 20 is inserted into the insertion hole 17 in the central portion of the cap 16, and the threaded portion 21 at the tip thereof is screwed into the threaded hole 5 in the central portion 2 a of the diaphragm 2 and both are inserted. And the terminal pin 14 protruding from the through hole 18 of the cap 16 is fixed to the cap 16 side by a fixing member 25 such as a grommet.
【００１５】 このようにして、この実施例による荷重計が組み立てられることになる。In this way, the load cell according to this embodiment is assembled.
【００１６】 次に、前記に示すものの作用について説明する。 まず、プランジャー２０の荷重受け部２２に荷重が作用すると、その荷重の大 きさに応じてプランジャー２０がキャップ１６の挿通孔１７内を図中下方に移動 し、プランジャー２０の移動量に応じてダイアフラム２の中心部２ａが図中下方 に変位するとともに、ダイアフラム２の中心部２ａに追従して起歪部４が変位し 、この起歪部４の変位に応じて起歪部４上の感圧素子７がその抵抗値を変化させ る。Next, the operation of the above will be described. First, when a load acts on the load receiving portion 22 of the plunger 20, the plunger 20 moves downward in the drawing through the insertion hole 17 of the cap 16 according to the magnitude of the load, and the amount of movement of the plunger 20. The center portion 2a of the diaphragm 2 is displaced downward in the figure in accordance with the above, and the strain-flexing portion 4 is displaced following the center portion 2a of the diaphragm 2, and the strain-generating portion 4 is displaced in accordance with the displacement of the strain-generating portion 4. The upper pressure sensitive element 7 changes its resistance value.
【００１７】 そして、感圧素子７の抵抗値の変化をダイアフラム２上のブリッジ回路６を介 して電圧値の変化に変換し、この電圧値の変化を回路部材８の増幅回路基板９で 増幅して出力することにより、プランジャー２０に作用する荷重を検出すること ができることになる。Then, a change in the resistance value of the pressure sensitive element 7 is converted into a change in the voltage value via the bridge circuit 6 on the diaphragm 2, and this change in the voltage value is amplified by the amplification circuit board 9 of the circuit member 8. Then, the load acting on the plunger 20 can be detected.
【００１８】 上記のようにこの実施例による荷重計にあっては、プランジャー２０に作用す る荷重をダイアフラム２の起歪部４の変位に変換するとともに、起歪部４の変位 を起歪部４上の感圧素子７の抵抗値の変化に変換し、さらに、感圧素子７の抵抗 値の変化をブリッジ回路６を介することにより、電圧値の変化として取り出すよ うにしたことにより、応答性が高まるとともに、検出精度も高まることになる。As described above, in the load cell according to this embodiment, the load acting on the plunger 20 is converted into the displacement of the strain-flexing part 4 of the diaphragm 2, and the displacement of the strain-flexing part 4 is strained. By converting the change in the resistance value of the pressure-sensitive element 7 on the portion 4 and further extracting the change in the resistance value of the pressure-sensitive element 7 as a change in the voltage value through the bridge circuit 6, the response is changed. As a result, the accuracy of detection increases.
【００１９】 また、従来のばね計りのように、ばねの伸びを荷重に変換するための伝達機構 等を一切必要としなくなるので、全体を小型化することができるとともに、繰り 返し使用しても許容限度内で使用している限り、ダイアフラム２やプランジャー ２０等に歪みが蓄積されるようなこともないので、長期的に安定した検出精度が 得られ、信頼性が高まることになる。Further, unlike the conventional spring meter, since no transmission mechanism or the like for converting the elongation of the spring into a load is required, the entire device can be downsized and can be used repeatedly. As long as it is used within the limit, no distortion will be accumulated in the diaphragm 2, the plunger 20, etc., so that stable detection accuracy can be obtained for a long period of time and reliability will be enhanced.
【００２０】 図２には、この考案による荷重計の第２の実施例による概略断面図が示されて いて、この実施例に示す荷重計は、ダイアフラム２の中心部２ａに一体に取り付 けられるプランジャー２０の上端部の荷重受け部２２をフック状に形成して、引 っ張り荷重に対応できるようにしたものであって、そのほかの構成は前記第１の 実施例に示すものと同様の構成を有しているので、前記第１の実施例に示すもの と同一の部分には、同一の番号を付してその構成の詳細な説明は省略するものと する。FIG. 2 shows a schematic sectional view of a load cell according to a second embodiment of the present invention. The load cell shown in this embodiment is integrally attached to the central portion 2a of the diaphragm 2. The load receiving portion 22 at the upper end portion of the plunger 20 is formed in a hook shape so as to be capable of supporting a tensile load, and other configurations are similar to those shown in the first embodiment. Therefore, the same parts as those shown in the first embodiment are designated by the same reference numerals and detailed description of the structure will be omitted.
【００２１】 そして、この実施例に示すものにあっても、前記第１の実施例に示すものと同 様の作用効果を示すことになり、プランジャー２０に作用する荷重をダイアフラ ム２の起歪部４の変位に変換するとともに、起歪部４の変位を起歪部４上の感圧 素子７の抵抗値の変化に変換し、さらに、感圧素子７の抵抗値の変化をブリッジ 回路６を介することにより、電圧値の変化として取り出すようにしたので、応答 性が高まるとともに、検出精度も高まることになる。Also, the one shown in this embodiment has the same effect as the one shown in the first embodiment, so that the load acting on the plunger 20 is increased by the diaphragm 2. The displacement of the strain sensing portion 4 is converted into the displacement of the strain sensing portion 4, and the displacement of the pressure sensing element 7 on the strain sensing portion 4 is converted into a change in the resistance value of the pressure sensing element 7. Since it is taken out as a change in voltage value by way of 6, the responsiveness is improved and the detection accuracy is also improved.
【００２２】 また、従来のばね計りのように、ばねの伸びを荷重に変換するための伝達機構 等を一切必要としなくなるので、全体を小型化することができるとともに、繰り 返し使用しても許容限度内で使用している限り、ダイアフラム２やプランジャー ２０に歪みが蓄積されるようなこともないので、長期的に安定した検出精度が得 られ、信頼性が著しく高まることになる。Further, unlike the conventional spring meter, since no transmission mechanism or the like for converting the extension of the spring into a load is required, the whole can be downsized and can be used repeatedly. As long as it is used within the limit, no strain will be accumulated on the diaphragm 2 or the plunger 20, so that stable detection accuracy can be obtained for a long period of time, and reliability will be remarkably improved.
【００２３】 なお、前記各実施例においては、プランジャー２０の上端部（荷重受け部２２ ）がケース１外に突出するようにしたが、これに限定することなく、プランジャ ー２０の上端部（荷重受け部２２）がケース１内に位置するようにしてもよいも のであり、要は、プランジャー２０の上端部をケース１の外側に向かって開放さ せて、上端部に荷重を作用させることができればよいものである。Although the upper end portion (load receiving portion 22) of the plunger 20 is projected outside the case 1 in each of the above-described embodiments, the present invention is not limited to this, and the upper end portion of the plunger 20 ( The load receiving portion 22) may be located inside the case 1. In short, the upper end of the plunger 20 is opened toward the outside of the case 1 so that the load is applied to the upper end. I wish I could.
【００２４】 また、前記各実施例においては、回路部材８を増幅回路基板９と電源回路基板 １０と調整回路基板１１の３枚の基板で構成したが、これに限定することなく、 一枚の基板に全ての回路を集約してもよいものであり、２枚又は３枚以上の基板 に集約するようにしてもよいものである。Further, in each of the above-described embodiments, the circuit member 8 is composed of three boards, that is, the amplification circuit board 9, the power supply circuit board 10, and the adjustment circuit board 11. However, the present invention is not limited to this, and one board is used. All the circuits may be integrated on the board, or two or three or more boards may be integrated.
【００２５】[0025]
この考案は前記のように構成して、プランジャーの一端をダイアフラムの中心 部に固定し、他端をケースの外側に向かって開放するようにして、プランジャー の他端に荷重が作用するようにしたので、プランジャーの他端に荷重が作用する と、その荷重に応じてプランジャーが変位するとともに、プランジャーの変位に 追従してダイアフラムの中心部が変位し、ダイアフラムの中心部の変位に追従し てダイアフラムの起歪部が変位し、起歪部の変位に追従して起歪部上の感圧素子 がその抵抗値を変化させる。そして、この感圧素子の抵抗値の変化を回路部材を 介することによって、作用する荷重に応じた歪みを電気信号に直接変換して取り 出すことができることになる。したがって、荷重を電気的に検出することができ ることになるので、荷重を検出するのに機械的な可動部が一切必要なくなり、こ れにより、応答性が著しく向上するとともに、検出精度も著しく高まり、信頼性 が向上することになる。また、荷重を伝達させるための伝達機構等も必要なくな るので、それ用の設置スペースがいらなくなり、これにより、全体を著しく小型 化することもできることになる等の優れた効果を有するものである。 This invention is constructed as described above, and one end of the plunger is fixed to the center of the diaphragm and the other end is opened toward the outside of the case so that the load acts on the other end of the plunger. Therefore, when a load is applied to the other end of the plunger, the plunger is displaced according to the load, and the center of the diaphragm is displaced following the displacement of the plunger, causing the displacement of the center of the diaphragm. The strain-flexing portion of the diaphragm is displaced in response to, and the pressure-sensitive element on the strain-changing portion changes its resistance value following the displacement of the strain-generating portion. Then, by passing the change in the resistance value of the pressure sensitive element through the circuit member, the strain corresponding to the acting load can be directly converted into an electric signal and taken out. Therefore, since the load can be detected electrically, no mechanical moving parts are required to detect the load, which significantly improves the responsiveness and the detection accuracy. Will increase and reliability will increase. In addition, since a transmission mechanism for transmitting the load is not required, the installation space for it is not needed, which has an excellent effect that the entire size can be significantly reduced. is there.
【図１】この考案による荷重計の第１の実施例を示した
概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of a load cell according to the present invention.
【図２】この考案による荷重計の第２の実施例を示した
概略断面図である。FIG. 2 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the load cell according to the present invention.
１……ケース ２……ダイアフラム ２ａ……中心部 ２ｂ……周縁部 ３……溝部 ４……起歪部 ５……ねじ穴 ６……ブリッジ回路 ７……感圧素子（歪みゲージ） ８……回路部材 ９……増幅回路基板 １０……電源回路基板 １１……調整回路基板 １３……連結ピン １４……ターミナルピン １５……リード線 １６……キャップ １７……挿通孔 １８……貫通孔 ２０……プランジャー ２１……ねじ部 ２２……荷重受け部 ２３……Ｏリング ２４……ボンディングワイヤ ２５……固定部材 1 ... Case 2 ... Diaphragm 2a ... Center part 2b ... Peripheral part 3 ... Groove part 4 ... Straining part 5 ... Screw hole 6 ... Bridge circuit 7 ... Pressure sensitive element (strain gauge) 8 ... … Circuit member 9 …… Amplifier circuit board 10 …… Power supply circuit board 11 …… Adjustment circuit board 13 …… Coupling pin 14 …… Terminal pin 15 …… Lead wire 16 …… Cap 17 …… Insertion hole 18 …… Through hole 20 ... Plunger 21 ... Screw part 22 ... Load receiving part 23 ... O-ring 24 ... Bonding wire 25 ... Fixing member
Claims (1)
ケース（１）内に、外周部が固定され、かつ中心部（２
ａ）がフリーの状態で設けられるとともに、外周部と中
心部（２ａ）との間が薄肉の起歪部（４）に形成されて
いるダイアフラム（２）と、前記起歪部（４）上に設け
られるとともに、起歪部（４）の変位に追従して抵抗値
を変化させる感圧素子（７）と、前記ケース（１）内に
設けられるとともに、前記感圧素子（７）の信号に応じ
た信号を出力する回路部材（８）と、前記ダイアフラム
（２）の中心部（２ａ）に一端が固定され、他端が前記
ケース（１）の外側に向かって開放されているプランジ
ャー（２０）とを具えたことを特徴とする荷重計。1. A case (1) having one end closed, and an outer peripheral portion fixed to the case (1) and a central portion (2).
a) is provided in a free state, and a diaphragm (2) having a thin strain element (4) formed between the outer peripheral portion and the central portion (2a) and the strain element (4). A pressure-sensitive element (7) that is provided in the case (1) and that changes a resistance value following the displacement of the strain-flexing part (4); and a signal of the pressure-sensitive element (7) that is provided in the case (1). A circuit member (8) that outputs a signal according to the above, and one end fixed to the central portion (2a) of the diaphragm (2) and the other end opened to the outside of the case (1). (20) A load cell comprising:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4656492U JPH067030U (en) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | load cell |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4656492U JPH067030U (en) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | load cell |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH067030U true JPH067030U (en) | 1994-01-28 |
Family
ID=12750820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4656492U Pending JPH067030U (en) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | load cell |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH067030U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005043101A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pedaling force sensor and pedaling force detecion device using the sensor |
| JP2018169231A (en) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | ユニパルス株式会社 | Load transducer |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP4656492U patent/JPH067030U/en active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005043101A1 (en) * | 2003-10-30 | 2005-05-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Pedaling force sensor and pedaling force detecion device using the sensor |
| JP2018169231A (en) * | 2017-03-29 | 2018-11-01 | ユニパルス株式会社 | Load transducer |
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