JPH0648507A - 密閉コンテナのガスパージ方法 - Google Patents
密閉コンテナのガスパージ方法Info
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- JPH0648507A JPH0648507A JP20265992A JP20265992A JPH0648507A JP H0648507 A JPH0648507 A JP H0648507A JP 20265992 A JP20265992 A JP 20265992A JP 20265992 A JP20265992 A JP 20265992A JP H0648507 A JPH0648507 A JP H0648507A
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Landscapes
- Vacuum Packaging (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガスパージ後に、酸化膜形成の原因となるＨ
2 ＯやＯ2 がコンテナや収納物からでてくるのを抑制す
ることができる密閉コンテナのガスパージ方法を提供す
ることを目的とする。 【構成】 電子機器用の基板Ｗを収納して搬送するため
の密閉コンテナ１、７０を、当該密閉コンテナ内の収納
物（ウエハ等）にとって不活性なガスでガスパージする
場合に、真空引きしたのち上記不活性なガスでガスパー
ジすることを特徴とする。
2 ＯやＯ2 がコンテナや収納物からでてくるのを抑制す
ることができる密閉コンテナのガスパージ方法を提供す
ることを目的とする。 【構成】 電子機器用の基板Ｗを収納して搬送するため
の密閉コンテナ１、７０を、当該密閉コンテナ内の収納
物（ウエハ等）にとって不活性なガスでガスパージする
場合に、真空引きしたのち上記不活性なガスでガスパー
ジすることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クリーンルームに用い
られる可搬式密閉コンテナ等のガスパージ方法に関す
る。
られる可搬式密閉コンテナ等のガスパージ方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体の製造は、内部雰囲気を
清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、ク
リーンルーム内での工程間搬送は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板を収
納したカセットを可搬式の密閉コンテナに収納して行な
う。
清浄化したクリーンルーム内において行なわれるが、ク
リーンルーム内での工程間搬送は、半導体ウエハへの塵
埃の付着を防ぐために当該半導体ウエハや液晶基板を収
納したカセットを可搬式の密閉コンテナに収納して行な
う。
【０００３】更に、近年、半導体ウエハの自然酸化によ
る酸化膜の成長を防止するために、上記密閉コンテナの
内部雰囲気を窒素Ｎ2 ガス等のウエハにとって不活性な
ガスで置換するようにしている。
る酸化膜の成長を防止するために、上記密閉コンテナの
内部雰囲気を窒素Ｎ2 ガス等のウエハにとって不活性な
ガスで置換するようにしている。
【０００４】このＮ2 ガスパージ機能を備えた密閉コン
テナの１例を図４に示す。同図において、１０は可搬式
の密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の
開口部１２に設けられたフランジ、１３、１３Ａはシー
ル材、１４は把手、２０は密閉コンテナの底蓋、３０は
半導体ウエハＷを収納したウエハカセットである。４０
は半導体の表面処理装置の密閉型のケースであって、図
示しない表面処理用の反応炉や昇降装置を含む搬送機構
等を収納している。４２はウエハカセット出し入れ用の
開口であって、ケース４０の上壁４１の一部に設けられ
ている。この上壁４１には、一端が開口４２の周面に開
口し、他端が不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボ
ンベ）５０に接続される給ガス管４４Ａが設けられると
ともに、一端が開口４２の周面に開口し、他端がボツク
ス外に開口する排ガス管４４Ｂが設けられている。４５
Ａは給気弁、４５Ｂは排気弁である。４６は上記昇降装
置の昇降台であって、開口４２内に、当該開口４２の周
面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有してい
る。４０Ａはロック機構である。なお、密閉型のケース
４０内は、窒素Ｎ2 ガス雰囲気であり、通常、大気圧以
上に予圧されている。
テナの１例を図４に示す。同図において、１０は可搬式
の密閉コンテナ（ＰＯＤ）１の本体、１１は本体１０の
開口部１２に設けられたフランジ、１３、１３Ａはシー
ル材、１４は把手、２０は密閉コンテナの底蓋、３０は
半導体ウエハＷを収納したウエハカセットである。４０
は半導体の表面処理装置の密閉型のケースであって、図
示しない表面処理用の反応炉や昇降装置を含む搬送機構
等を収納している。４２はウエハカセット出し入れ用の
開口であって、ケース４０の上壁４１の一部に設けられ
ている。この上壁４１には、一端が開口４２の周面に開
口し、他端が不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボ
ンベ）５０に接続される給ガス管４４Ａが設けられると
ともに、一端が開口４２の周面に開口し、他端がボツク
ス外に開口する排ガス管４４Ｂが設けられている。４５
Ａは給気弁、４５Ｂは排気弁である。４６は上記昇降装
置の昇降台であって、開口４２内に、当該開口４２の周
面との間に隙間Ｇを残して嵌入可能な大きさを有してい
る。４０Ａはロック機構である。なお、密閉型のケース
４０内は、窒素Ｎ2 ガス雰囲気であり、通常、大気圧以
上に予圧されている。
【０００５】上記密閉コンテナの蓋２０は中空体であっ
て、例えば図５に示すような錠機構を有している。２４
はカムで、２５は板状のロックアームであって、転動子
２５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち
支持されている。２６は支点部材、２７はばねである。
カム軸２８は昇降台４６の上壁中央から蓋２０内に伸
び、昇降台４６上に蓋２０が同心に載置された時にカム
４４とスプライン係合する。昇降台４６はカム軸２８を
所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵してお
り、このカム軸駆動機構２９とカム軸２８は解錠／施錠
機構を構成している。なお、本体１０の開口部１２の内
周面には、ロックアーム２５が係合する凹所１２Ａが形
成されている。
て、例えば図５に示すような錠機構を有している。２４
はカムで、２５は板状のロックアームであって、転動子
２５ａを有し、長手方向進退可能かつ傾倒可能に片持ち
支持されている。２６は支点部材、２７はばねである。
カム軸２８は昇降台４６の上壁中央から蓋２０内に伸
び、昇降台４６上に蓋２０が同心に載置された時にカム
４４とスプライン係合する。昇降台４６はカム軸２８を
所定角度だけ回動するカム軸駆動機構２９を内蔵してお
り、このカム軸駆動機構２９とカム軸２８は解錠／施錠
機構を構成している。なお、本体１０の開口部１２の内
周面には、ロックアーム２５が係合する凹所１２Ａが形
成されている。
【０００６】本構成においては、図示しない移載装置
（ハンドリング装置を備えた移動ロボット等）で、ウエ
ハカセット３０を収納した密閉コンテナ１を表面処理装
置の密閉型のケース４０上へ図３に示すように載置し、
ロック機構４０Ａで密閉コンテナ１のフランジ１１を押
さえて固定する。
（ハンドリング装置を備えた移動ロボット等）で、ウエ
ハカセット３０を収納した密閉コンテナ１を表面処理装
置の密閉型のケース４０上へ図３に示すように載置し、
ロック機構４０Ａで密閉コンテナ１のフランジ１１を押
さえて固定する。
【０００７】次いで、上記解錠／施錠機構を作動させ
て、ロックアーム２５と凹所１２Ａとの係合を解き、昇
降台４６を下降させて、底蓋２０を開く。底蓋２０を開
いたのち、給気弁４５Ａと排気弁４５Ｂを開弁すると、
不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボンベ）５０か
らのＮ2 ガスがコンテナ１の本体１０内へ流入し、コン
テナ１の本体１０内にあった空気が排ガス管４４Ｂを通
して排出される。
て、ロックアーム２５と凹所１２Ａとの係合を解き、昇
降台４６を下降させて、底蓋２０を開く。底蓋２０を開
いたのち、給気弁４５Ａと排気弁４５Ｂを開弁すると、
不活性ガスボンベ（この例ではＮ2 ガスボンベ）５０か
らのＮ2 ガスがコンテナ１の本体１０内へ流入し、コン
テナ１の本体１０内にあった空気が排ガス管４４Ｂを通
して排出される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように、近年で
は、窒素Ｎ2 ガスを充満した密閉コンテナに上記ウエハ
カセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密
閉コンテナ内を窒素Ｎ2 ガス等の不活性ガスで置換する
だけでは、当該密閉コンテナの内表面部や、ウエハカセ
ット、このウエハカセットに収納したウエハやカセット
の表面部に付着したＨ2 ＯやＯ2 （以下、吸着・吸蔵気
体や液体）を除去することができないので、時間の経過
とともに自然酸化による酸化膜の形成が生じ、歩留りが
低下する。
は、窒素Ｎ2 ガスを充満した密閉コンテナに上記ウエハ
カセットを入れて搬送・保管するようにしているが、密
閉コンテナ内を窒素Ｎ2 ガス等の不活性ガスで置換する
だけでは、当該密閉コンテナの内表面部や、ウエハカセ
ット、このウエハカセットに収納したウエハやカセット
の表面部に付着したＨ2 ＯやＯ2 （以下、吸着・吸蔵気
体や液体）を除去することができないので、時間の経過
とともに自然酸化による酸化膜の形成が生じ、歩留りが
低下する。
【０００９】本発明はこの問題を解消するためになされ
たもので、ガスパージ後に、酸化膜形成の原因となるＨ
2 ＯやＯ2 がコンテナや収納物からでてくるのを抑制す
ることができる密閉コンテナのガスパージ方法を提供す
ることを目的とする。
たもので、ガスパージ後に、酸化膜形成の原因となるＨ
2 ＯやＯ2 がコンテナや収納物からでてくるのを抑制す
ることができる密閉コンテナのガスパージ方法を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、請求項１では、電子機器用の基板を収納して
搬送するための密閉コンテナ内を、当該密閉コンテナ内
の収納物にとって不活性なガスでガスパージする場合
に、真空引きしたのち上記不活性なガスでガスパージす
る構成とした。
するため、請求項１では、電子機器用の基板を収納して
搬送するための密閉コンテナ内を、当該密閉コンテナ内
の収納物にとって不活性なガスでガスパージする場合
に、真空引きしたのち上記不活性なガスでガスパージす
る構成とした。
【００１１】請求項２では、配管を通して真空源と不活
性ガス源に連絡された密閉ボックス内に密閉コンテナを
収納し、当該密閉コンテナ内を前記密閉ボックス内に連
通して、真空引きおよび不活性なガスによるガスパージ
を行なう構成とした。
性ガス源に連絡された密閉ボックス内に密閉コンテナを
収納し、当該密閉コンテナ内を前記密閉ボックス内に連
通して、真空引きおよび不活性なガスによるガスパージ
を行なう構成とした。
【００１２】請求項３では、配管を通して真空源と不活
性ガス源に連絡された密閉ボックス上に密閉コンテナを
気密に載置し、密閉コンテナの底蓋を上記密閉ボックス
内へ開くことらより当該密閉コンテナ内を前記密閉ボッ
クス内に連通して真空引きおよび不活性なガスによるガ
スパージを行なう構成とした。
性ガス源に連絡された密閉ボックス上に密閉コンテナを
気密に載置し、密閉コンテナの底蓋を上記密閉ボックス
内へ開くことらより当該密閉コンテナ内を前記密閉ボッ
クス内に連通して真空引きおよび不活性なガスによるガ
スパージを行なう構成とした。
【００１３】
【作用】本発明では、コンテナ内を、一旦、真空引きし
て、コンテナの内表面部やコンテナ収納物の表面部に吸
着・吸蔵されており、ガス置換だけでは引き出すことの
できない気体や液体を引き出してコンテナ外へ排出し、
その後不活性ガスを充填するから、パージ後にコンテナ
内へでてくるＨ2 ＯやＯ2 の量あるいは表面に残留した
Ｈ2 ＯやＯ2 はは従来に比して著しく低減する。
て、コンテナの内表面部やコンテナ収納物の表面部に吸
着・吸蔵されており、ガス置換だけでは引き出すことの
できない気体や液体を引き出してコンテナ外へ排出し、
その後不活性ガスを充填するから、パージ後にコンテナ
内へでてくるＨ2 ＯやＯ2 の量あるいは表面に残留した
Ｈ2 ＯやＯ2 はは従来に比して著しく低減する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面を参照して説
明する。
明する。
【００１５】図１において、６０はパージ用密閉ボック
ス（真空容器）であって、当該ボックス６０の上開口６
１をシール材６２を介在して気密に閉鎖する上蓋６３を
有し、内部にはコンテナ台６４が据え付けられている。
７０は上蓋型の可搬式密閉コンテナであって、シール材
７１を介しカセット出し入れ口７２を気密に閉鎖する上
蓋（図示しないヒンジで取り付けられている）７３を有
している。６５は蓋開閉装置であって、蓋開閉用のハン
ドリングアーム６６と当該アームの駆動部６７からな
り、密閉ボックス６０の適所に据え付けられている。
ス（真空容器）であって、当該ボックス６０の上開口６
１をシール材６２を介在して気密に閉鎖する上蓋６３を
有し、内部にはコンテナ台６４が据え付けられている。
７０は上蓋型の可搬式密閉コンテナであって、シール材
７１を介しカセット出し入れ口７２を気密に閉鎖する上
蓋（図示しないヒンジで取り付けられている）７３を有
している。６５は蓋開閉装置であって、蓋開閉用のハン
ドリングアーム６６と当該アームの駆動部６７からな
り、密閉ボックス６０の適所に据え付けられている。
【００１６】パージ用密閉ボックス６０の側壁には真空
排気用の配管６８と、不活性ガスもしくは乾燥ガスを給
気するための配管６９が密に貫通している。８０は真空
源、８１はバルブ、８２は不活性ガス（例えば、Ｎ2 ガ
ス）貯溜タンク、８３はバルブである。
排気用の配管６８と、不活性ガスもしくは乾燥ガスを給
気するための配管６９が密に貫通している。８０は真空
源、８１はバルブ、８２は不活性ガス（例えば、Ｎ2 ガ
ス）貯溜タンク、８３はバルブである。
【００１７】本実施例においては、ウエハカセット３０
を収納したコンテナ７０を、図示しない移載装置で密閉
ボックス６０内のコンテナ台６４上へ移載したのち、真
空源８０を駆動するとともに駆動部６７を駆動してコン
テナ７０の上蓋７３を開ける。
を収納したコンテナ７０を、図示しない移載装置で密閉
ボックス６０内のコンテナ台６４上へ移載したのち、真
空源８０を駆動するとともに駆動部６７を駆動してコン
テナ７０の上蓋７３を開ける。
【００１８】密閉ボックス６０内が所定の真空度になり
所定の時間が経過すると、バルブ８１を閉じ、バルブ８
３を開いて、密閉ボックス６０内へＮ2 ガスを供給す
る。密閉ボックス６０内およびコンテナ７０内がＮ2 ガ
スで置換され、密閉ボックス６０内が所定の正圧（わず
かな正圧）になると、駆動部６７を駆動してコンテナ７
０の上蓋７３を閉じ、バルブ８３を閉じてコンテナ７０
を密閉ボックス６０から取り出す。
所定の時間が経過すると、バルブ８１を閉じ、バルブ８
３を開いて、密閉ボックス６０内へＮ2 ガスを供給す
る。密閉ボックス６０内およびコンテナ７０内がＮ2 ガ
スで置換され、密閉ボックス６０内が所定の正圧（わず
かな正圧）になると、駆動部６７を駆動してコンテナ７
０の上蓋７３を閉じ、バルブ８３を閉じてコンテナ７０
を密閉ボックス６０から取り出す。
【００１９】本実施例では、コンテナ７０の内部を、一
旦、負圧にするので、コンテナ７０や底蓋７３の内表面
部に付着している水分や酸素、ウエハＷやウエハカセッ
ト３０の表面部に付着している水分や酸素がこれら内表
面部や表面部からにじみ出るように出てきて内表面や表
面から離脱し、外部へ排気され、その後、コンテナ７０
はＮ2 ガスで置換されることになる。
旦、負圧にするので、コンテナ７０や底蓋７３の内表面
部に付着している水分や酸素、ウエハＷやウエハカセッ
ト３０の表面部に付着している水分や酸素がこれら内表
面部や表面部からにじみ出るように出てきて内表面や表
面から離脱し、外部へ排気され、その後、コンテナ７０
はＮ2 ガスで置換されることになる。
【００２０】図３の（ａ）は本実施例によるガスパージ
を行なった後の密閉容器内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示し、
（ｂ）は前記従来のガスパージを行なった後の密閉容器
内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示す。また、同図の（ｃ）は本
実施例によるガスパージを行なった後の密閉容器内のＯ
2 濃度の変化を示し、同図の（ｄ）は前記従来法により
Ｏ2 濃度を０ｐｐｍまで下げたのちのＯ2 濃度の変化を
示している。なお、この実験に用いた密閉容器の容積は
５４０リットルで、当該密閉容器内には２５枚入りのウ
エハカセットを４箇収納して実験した。
を行なった後の密閉容器内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示し、
（ｂ）は前記従来のガスパージを行なった後の密閉容器
内のＨ2 Ｏ濃度の変化を示す。また、同図の（ｃ）は本
実施例によるガスパージを行なった後の密閉容器内のＯ
2 濃度の変化を示し、同図の（ｄ）は前記従来法により
Ｏ2 濃度を０ｐｐｍまで下げたのちのＯ2 濃度の変化を
示している。なお、この実験に用いた密閉容器の容積は
５４０リットルで、当該密閉容器内には２５枚入りのウ
エハカセットを４箇収納して実験した。
【００２１】この実験結果から明らかなように、真空引
きしたのち不活性ガスパージを行なった場合には、容器
内表面や、ウエハ、ウエハカセットから出てくるＨ2 Ｏ
やＯ2 の量が従来の場合に比して、著しく低減するか
ら、長期にわたってコンテナに収納したままでも自然酸
化膜の成長を抑制することができる。
きしたのち不活性ガスパージを行なった場合には、容器
内表面や、ウエハ、ウエハカセットから出てくるＨ2 Ｏ
やＯ2 の量が従来の場合に比して、著しく低減するか
ら、長期にわたってコンテナに収納したままでも自然酸
化膜の成長を抑制することができる。
【００２２】上記実施例では、パージ用密閉ボックス６
０にコンテナ７０を入れて真空引きおよびガスパージを
行なっているが、コンテナが図４に示した底蓋型のコン
テナ１の場合には、パージ用密閉ボックス６０は、図２
に示すように、昇降装置の昇降台４６を内蔵し、ボック
ス上壁６０Ｕをコンテナ１を置く台座として利用するタ
イプのものとし、このボックス上壁６０Ｕに、昇降台４
６が出入りする開口４２を設ける。そして、ボックス６
０内に、真空排気用の配管６８の一端と、不活性ガスも
しくは乾燥ガスを給気するための配管６９の一端を開口
させる。
０にコンテナ７０を入れて真空引きおよびガスパージを
行なっているが、コンテナが図４に示した底蓋型のコン
テナ１の場合には、パージ用密閉ボックス６０は、図２
に示すように、昇降装置の昇降台４６を内蔵し、ボック
ス上壁６０Ｕをコンテナ１を置く台座として利用するタ
イプのものとし、このボックス上壁６０Ｕに、昇降台４
６が出入りする開口４２を設ける。そして、ボックス６
０内に、真空排気用の配管６８の一端と、不活性ガスも
しくは乾燥ガスを給気するための配管６９の一端を開口
させる。
【００２３】なお、上記実施例では、不活性ガスでガス
パージする場合について説明したが、ウエハには不活性
ガスといえる乾燥空気でパージする場合もある。
パージする場合について説明したが、ウエハには不活性
ガスといえる乾燥空気でパージする場合もある。
【００２４】
【発明の効果】本発明は以上説明した通り、コンテナ内
を、一旦、真空引きして、コンテナの内表面部やコンテ
ナ収納物の表面部に吸着・吸蔵されており、ガス置換だ
けでは引き出すことのできない気体や液体を引き出して
コンテナ外へ排出し、その後不活性ガスを充填するか
ら、パージ後にコンテナ内へでてくるＨ2 ＯやＯ2 の量
は従来に比して著しく低減し、その分、自然酸化膜の成
長は抑制されることになる。
を、一旦、真空引きして、コンテナの内表面部やコンテ
ナ収納物の表面部に吸着・吸蔵されており、ガス置換だ
けでは引き出すことのできない気体や液体を引き出して
コンテナ外へ排出し、その後不活性ガスを充填するか
ら、パージ後にコンテナ内へでてくるＨ2 ＯやＯ2 の量
は従来に比して著しく低減し、その分、自然酸化膜の成
長は抑制されることになる。
【図１】本発明の実施例を示す概略縦断面図である。
【図２】本発明の他の実施例を示す概略縦断面図であ
る。
る。
【図３】上記実施例によるパージ後の容器内のＨ2 Ｏや
Ｏ2 濃度の時間経過と、従来のガスパージ後の容器内の
Ｈ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過とを対比して示した線図で
ある。
Ｏ2 濃度の時間経過と、従来のガスパージ後の容器内の
Ｈ2 ＯやＯ2 濃度の時間経過とを対比して示した線図で
ある。
【図４】従来の可搬式密閉コンテナを示す図でる。
【図５】上記可搬式密閉コンテナの解錠／施錠機構を示
す図である。
す図である。
【符号の説明】 １ 可搬式密閉コンテナ １０ 密閉コンテナの本体 ２０ 密閉コンテナの底蓋 ３０ ウエハカセット ６０ 密閉ボックス ６０Ｕ 密閉ボックスの上壁 ６３ 密閉ボックスの上蓋 ６４ 昇降台 ６８ 真空排気用の配管 ６９ 給ガス用の配管 ７０ 可搬式密閉コンテナ ８０ 真空源 ８２ 不活性ガス源
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森田 日也 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 河野 等 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 林 満弘 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 奥野 敦 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内 (72)発明者 中村 昭生 三重県伊勢市竹ケ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢製作所内
Claims (3)
- 【請求項１】 電子機器用の基板を収納して搬送するた
めの密閉コンテナ内を、当該密閉コンテナ内の収納物に
とって不活性なガスでガスパージする場合に、真空引き
したのち上記不活性なガスでガスパージすることを特徴
とする密閉コンテナのガスパージ方法 - 【請求項２】 配管を通して真空源と不活性ガス源に連
絡された密閉ボックス内に密閉コンテナを収納し、当該
密閉コンテナ内を前記密閉ボックス内に連通して、真空
引きおよび不活性ガスによるガスパージを行なうことを
特徴とする請求項１記載の密閉容器のガスパージ方法。 - 【請求項３】 配管を通して真空源と不活性ガス源に連
絡された密閉ボックス上に密閉コンテナを気密に載置
し、密閉コンテナの底蓋を上記密閉ボックス内へ開くこ
とにより当該密閉コンテナ内を前記密閉ボックス内に連
通して真空引きおよび不活性ガスによるガスパージを行
なうことを特徴とする請求項１記載の密閉容器のガスパ
ージ方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20265992A JPH0648507A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 密閉コンテナのガスパージ方法 |
| TW85216633U TW468866U (en) | 1992-07-29 | 1993-07-16 | Electronic circuit board treating apparatus using a portable sealed container and related apparatus thereof |
| US08/803,818 US5746008A (en) | 1992-07-29 | 1997-02-24 | Electronic substrate processing system using portable closed containers |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20265992A JPH0648507A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 密閉コンテナのガスパージ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0648507A true JPH0648507A (ja) | 1994-02-22 |
Family
ID=16461020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20265992A Pending JPH0648507A (ja) | 1992-07-29 | 1992-07-29 | 密閉コンテナのガスパージ方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0648507A (ja) |
| TW (1) | TW468866U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628604A (en) * | 1994-05-17 | 1997-05-13 | Shinko Electric Co., Ltd. | Conveying system |
| US5984610A (en) * | 1995-03-07 | 1999-11-16 | Fortrend Engineering Corporation | Pod loader interface |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108093649A (zh) * | 2015-03-16 | 2018-05-29 | 精工爱普生株式会社 | 电子部件输送装置及电子部件检查装置 |
| WO2016147536A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
-
1992
- 1992-07-29 JP JP20265992A patent/JPH0648507A/ja active Pending
-
1993
- 1993-07-16 TW TW85216633U patent/TW468866U/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5628604A (en) * | 1994-05-17 | 1997-05-13 | Shinko Electric Co., Ltd. | Conveying system |
| US5984610A (en) * | 1995-03-07 | 1999-11-16 | Fortrend Engineering Corporation | Pod loader interface |
| US6086323A (en) * | 1995-03-07 | 2000-07-11 | Fortrend Engineering Corporation | Method for supplying wafers to an IC manufacturing process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW468866U (en) | 2001-12-11 |
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