JPH06326186A - Auto-changer for blade - Google Patents
Auto-changer for bladeInfo
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- JPH06326186A JPH06326186A JP3281994A JP3281994A JPH06326186A JP H06326186 A JPH06326186 A JP H06326186A JP 3281994 A JP3281994 A JP 3281994A JP 3281994 A JP3281994 A JP 3281994A JP H06326186 A JPH06326186 A JP H06326186A
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- detaching means
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
ダイシング装置における切削用ブレードの着脱を、手作
業によらず自動的に簡単に出来るようにした、ブレード
オートチェンジャーを提供する。
【構成】 半導体ウェーハをダイシングするダイシング
装置において、スピンドルに装着されている旧ブレード
を取り外すと共に、このスピンドルに新たなブレードを
装着するための、ブレード着脱手段及びナット着脱手段
とを少なくとも含む。ナット着脱手段は、スピンドル押
え部とナット回転部とを備える。ブレード着脱手段は、
旧ブレード着脱手段と新ブレード着脱手段とが対称的に
設けられる。ナット着脱手段がブレード着脱手段の内部
に組み込まれる。ブレード交換指令に基づいてブレード
の着脱を遂行する。
(57) [Summary] The present invention provides a blade autochanger in which a cutting blade in a dicing device can be easily attached and detached automatically without manual work. A dicing apparatus for dicing a semiconductor wafer includes at least blade attaching / detaching means and nut attaching / detaching means for detaching an old blade attached to a spindle and attaching a new blade to the spindle. The nut attaching / detaching means includes a spindle pressing portion and a nut rotating portion. The blade attachment / detachment means
The old blade attaching / detaching means and the new blade attaching / detaching means are provided symmetrically. The nut attaching / detaching means is incorporated inside the blade attaching / detaching means. The blade is attached and detached based on the blade exchange command.
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハ等のダ
イシング装置に組み込むブレードオートチェンジャーに
関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a blade autochanger incorporated in a dicing apparatus for semiconductor wafers or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】一般に半導体ウェーハをチップに切削す
るダイシング装置は、図８に示すようにスピンドルａの
先端部に切削ブレードの取付部が形成され、この取付部
はブレードｂを受止するフランジ部ｃと、ブレード押え
用ナットｄを螺着するねじ部ｅとを有し、そのねじ部ｅ
の先端面には前記ナットｄを嵌め外しする際にスピンド
ルａの回り止めに用いる小孔ｆが円周方向に４箇所設け
られ、ブレード押え用ナットｄにはそのナットを回転さ
せるのに用いる小孔ｇが同じく円周方向に４箇所設けら
れている。2. Description of the Related Art Generally, a dicing apparatus for cutting a semiconductor wafer into chips has a mounting portion for a cutting blade formed at the tip of a spindle a as shown in FIG. 8, and this mounting portion is a flange portion for receiving a blade b. c and a screw portion e for screwing the blade pressing nut d, and the screw portion e
There are four small holes f in the circumferential direction, which are used to prevent rotation of the spindle a when the nut d is fitted and removed, and the blade pressing nut d has a small hole for rotating the nut. The holes g are also provided at four places in the circumferential direction.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】前記スピンドルａに対
してブレードｂを着脱するには、ブレード押え用ナット
ｄの嵌め外しにより行うが、このブレード押え用ナット
ｄを回すには前記回転用小孔ｇに棒状の工具やピン等を
差し込んで回転させねばならず、その回転の際に前記ス
ピンドルａが回転しないように、ねじ部ｅの回り止め用
小孔ｆにも棒状の工具やピン等を差し込んで押えていな
ければならず、これらは全て手作業によるためブレード
ｂの交換は厄介であり、ダイシング作業能率の低下を来
す原因にもなっている。The blade b is attached to and detached from the spindle a by removing the fitting of the blade pressing nut d. In order to turn the blade pressing nut d, the rotation small hole is used. It is necessary to insert a rod-shaped tool or pin into g and rotate it. To prevent the spindle a from rotating during the rotation, insert a rod-shaped tool or pin into the rotation prevention small hole f of the screw part e. The blades b must be inserted and held down, and all of them are manually performed, which makes it difficult to replace the blade b, which causes a decrease in dicing work efficiency.
【０００４】本発明は、このような従来の問題点を解決
するためになされ、ダイシング装置における切削用ブレ
ードの着脱を手作業によらず自動的に簡単に出来るよう
にした、ブレードオートチェンジャーを提供することを
課題としたものである。The present invention has been made to solve such conventional problems, and provides a blade autochanger capable of automatically and easily attaching and detaching a cutting blade in a dicing device without manual work. This is an issue.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、半導体ウェーハをダ
イシングするダイシング装置において、スピンドルに装
着されている旧ブレードを取り外すと共に、このスピン
ドルに新たなブレードを装着するためのブレード着脱手
段及びナット着脱手段とを少なくとも含むことを要旨と
するものである。又、本発明は、ナット着脱手段がスピ
ンドル押え部とナット回転部とを備えたこと、ブレード
着脱手段は旧ブレード着脱手段と新ブレード着脱手段と
が対称的に設けられたこと、ナット着脱手段がブレード
着脱手段の内部に組み込まれたこと、更にブレード交換
指令に基づいてブレードの着脱を遂行することを要旨と
するものである。As a means for technically solving this problem, the present invention relates to a dicing device for dicing a semiconductor wafer, in which the old blade mounted on the spindle is removed and The gist of the present invention is to include at least a blade attaching / detaching means and a nut attaching / detaching means for attaching a new blade. Further, according to the present invention, the nut attaching / detaching means is provided with a spindle pressing portion and a nut rotating portion, the blade attaching / detaching means is symmetrically provided with the old blade attaching / detaching means and the new blade attaching / detaching means. The gist of the present invention is that it is incorporated in the blade attaching / detaching means and that the blade is attached / detached based on a blade replacement command.
【０００６】[0006]
【作 用】ブレード着脱手段とナット着脱手段とによ
り、スピンドルに装着されている旧ブレードを機械的に
取り外すと共に、新ブレードをスピンドルに機械的に装
着することが出来る。つまり、ブレードの着脱を全自動
的に行うことが出来る。[Operation] By using the blade attaching / detaching means and the nut attaching / detaching means, the old blade mounted on the spindle can be mechanically removed and the new blade can be mechanically mounted on the spindle. That is, the blade can be attached and detached automatically.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１は本発明の第１実施例を示すもので、１
はブレードラックであり、新しいブレードを保持する新
ブレード保持軸２と、旧ブレードを保持する旧ブレード
保持軸３とが並設され、これらの保持軸は共に先端部に
ブレード嵌合軸２ａ、３ａがそれぞれ突設され、図２に
示すように保持軸の先端面にはブレードを吸着するため
の吸引孔２ｂ、３ｂがそれぞれ円周方向に複数個設けら
れている。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows a first embodiment of the present invention.
Is a blade rack, in which a new blade holding shaft 2 for holding a new blade and an old blade holding shaft 3 for holding an old blade are juxtaposed, and these holding shafts are both blade fitting shafts 2a, 3a at their tips. 2, and a plurality of suction holes 2b, 3b for attracting the blades are provided in the front end surface of the holding shaft in the circumferential direction as shown in FIG.
【０００８】４は第１の操作軸であり、軸回転可能に形
成されると共にその軸線方向に沿って進退可能に設けら
れ、先端部にはブレード着脱手段５が取り付けられてい
る。Reference numeral 4 denotes a first operating shaft, which is formed so as to be rotatable about the shaft and is provided so as to be movable back and forth along the axial direction of the shaft.
【０００９】ブレード着脱手段５は、図３に示すように
前記第１の操作軸４の軸線方向に対して直角方向に設け
られた支持アーム部５１と、その先端部に取り付けられ
た操作部５２とを有し、操作部５２のカップ状内部には
リング状のブレード保持部５３が設けられ、このブレー
ド保持部５３の先端面にはブレードを吸着するための吸
引孔５３ａが円周方向に複数個設けられている。As shown in FIG. 3, the blade attaching / detaching means 5 has a support arm portion 51 provided in a direction perpendicular to the axial direction of the first operation shaft 4, and an operation portion 52 attached to the tip end portion thereof. And a ring-shaped blade holding portion 53 is provided inside the cup-shaped operation portion 52, and a plurality of suction holes 53a for sucking the blade are circumferentially provided on the tip end surface of the blade holding portion 53. It is provided individually.
【００１０】６は第２の操作軸であり、前記第１の操作
軸４の内部に軸線を合致させて、この第１の操作軸とは
独立して軸回転可能に形成されると共にその軸線方向に
沿って進退可能に設けられ、先端部にはナット着脱手段
７が取り付けられている。Reference numeral 6 denotes a second operation shaft, which is formed so that the axis line is aligned with the inside of the first operation shaft 4 so as to be rotatable independently of the first operation shaft and the axis line thereof. The nut attaching / detaching means 7 is attached to the tip end portion so as to be movable back and forth along the direction.
【００１１】ナット着脱手段７は、図３に示すように前
記第２の操作軸６の軸線方向に対して直角方向に設けら
れた支持アーム部７１と、その先端部に取り付けられた
操作部７２とを有し、操作部７２のカップ状内部にはリ
ング状のナット回転部７３と、その中心部に配設された
スピンドル押え部７４とがそれぞれ回転可能に設けら
れ、しかもスピンドル押え部７４はナット回転部７３と
は独立して回転可能となっており、更に操作部７２の先
端部の内周面にはナットを吸着するための吸引孔７２ａ
が円周方向に複数個設けられている。As shown in FIG. 3, the nut attaching / detaching means 7 has a support arm portion 71 provided in a direction perpendicular to the axial direction of the second operation shaft 6, and an operation portion 72 attached to the tip end portion thereof. And a ring-shaped nut rotating portion 73 and a spindle pressing portion 74 arranged at the center thereof are rotatably provided in the cup-shaped interior of the operating portion 72, and the spindle pressing portion 74 is It is rotatable independently of the nut rotating portion 73, and further has a suction hole 72a for sucking the nut on the inner peripheral surface of the tip portion of the operating portion 72.
Are provided in the circumferential direction.
【００１２】前記ナット回転部７３の先端面には、前記
ブレード押え用ナットｄの回転用小孔ｇに係合するピン
７３ａがその小孔ｇの位置に合わせて円周方向に４個設
けられ、前記スピンドル押え部７４の先端面には、前記
スピンドルａの回り止め用小孔ｆに係合するピン７４ａ
がその小孔ｆの位置に合わせて同じく円周方向に４個設
けられている。これらの係合ピン７３ａ、７４ａはいず
れもスプリング（図示せず）を介して進退自在に形成
し、常時は突出状態に付勢する方が好ましい。尚、８は
半導体ウェーハ保持テーブルである。On the tip surface of the nut rotating portion 73, four pins 73a which engage with the rotating small holes g of the blade pressing nut d are provided in the circumferential direction according to the positions of the small holes g. , A pin 74a that engages with the small rotation preventing hole f of the spindle a is provided on the tip end surface of the spindle pressing portion 74.
4 are also provided in the circumferential direction according to the positions of the small holes f. It is preferable that both of these engagement pins 73a and 74a are formed so as to be movable back and forth through a spring (not shown) and normally urged to a protruding state. Reference numeral 8 is a semiconductor wafer holding table.
【００１３】上記のように構成された装置で、スピンド
ルに装着されている旧ブレードを取り外し、新ブレード
を装着する手順について詳説すると、先ず第１の操作軸
４を所要角度回転させてブレード着脱手段５を非作用位
置まで回転移動して待機させる。The procedure of removing the old blade mounted on the spindle and mounting the new blade in the apparatus configured as described above will be described in detail. First, the first operating shaft 4 is rotated by a required angle to attach and detach the blade. Rotate 5 to the non-acting position and wait.
【００１４】次に、第２の操作軸６を所要角度回転及び
前進させてナット着脱手段７を作用位置まで移動して図
１に示すスピンドルａのブレード押え用ナットｄに操作
部７２を作用させる。この時、スピンドル押え部７４を
回転させて係合ピン７４ａをスピンドルａの先端の回り
止め用小孔ｆに嵌入して、このスピンドル押え部７４に
よってスピンドルａが回転しないように保持しておき、
前記ナット回転部７３の係合ピン７３ａをブレード押え
用ナットｄの回転用小孔ｇにそれぞれ嵌合して、このナ
ット回転部７３を回転させながら徐々に後退させること
によりブレード押え用ナットｄをスピンドルａのねじ部
ｅから外すと共に、そのブレード押え用ナットｄを前記
吸引孔７２ａにより吸引して操作部７２の先端部の内周
面に吸着させる。Next, the second operating shaft 6 is rotated and moved forward by a required angle to move the nut attaching / detaching means 7 to the operating position, and the operating portion 72 is operated on the blade pressing nut d of the spindle a shown in FIG. . At this time, the spindle pressing portion 74 is rotated to fit the engagement pin 74a into the small rotation preventing hole f at the tip of the spindle a, and the spindle pressing portion 74 holds the spindle a so as not to rotate.
The engagement pin 73a of the nut rotating portion 73 is fitted into each small hole g for rotation of the blade pressing nut d, and the blade rotating nut d is gradually retracted by rotating the nut rotating portion 73, so that the blade pressing nut d is removed. The blade pressing nut d is removed from the threaded portion e of the spindle a, and is sucked by the suction hole 72a so as to be attracted to the inner peripheral surface of the tip portion of the operation portion 72.
【００１５】この後、操作部７２を後退させることで、
スピンドル押え部７４を後退させて係合ピン７４ａをス
ピンドルａの回り止め用小孔ｆから外し、第２の操作軸
６を所要角度逆回転させてナット着脱手段７を非作用位
置まで回転移動して待機させる。After that, by retracting the operating portion 72,
The spindle pressing portion 74 is retracted to disengage the engagement pin 74a from the rotation-stopping small hole f of the spindle a, and the second operating shaft 6 is reversely rotated by a required angle to rotationally move the nut attaching / detaching means 7 to the inoperative position. To wait.
【００１６】次いで、非作用位置に待機しているブレー
ド着脱手段５を、その待機位置から作用位置まで回転移
動しスピンドルａに装着している旧ブレードｂに作用さ
せる。即ち、旧ブレードｂに操作部５２を被せ、前記吸
引孔５３ａによりブレード保持部５３に一旦ブレードｂ
を吸着してスピンドルａのねじ部ｅから外すと共に、図
４に示すように回転移動して前記ブレードラック１の旧
ブレード保持軸３ａに収納する。この旧ブレードｂは、
前記吸引孔３ｂにより吸着され旧ブレード保持軸３ａに
嵌合状態で保持される。Next, the blade attaching / detaching means 5 standing by at the non-acting position is rotationally moved from the waiting position to the acting position to act on the old blade b mounted on the spindle a. That is, the operation portion 52 is covered on the old blade b, and the blade holding portion 53 is temporarily moved to the blade b through the suction hole 53a.
Is sucked and removed from the screw portion e of the spindle a, and is rotationally moved as shown in FIG. 4 to be housed in the old blade holding shaft 3a of the blade rack 1. This old blade b is
It is adsorbed by the suction holes 3b and held in a fitted state on the old blade holding shaft 3a.
【００１７】前記ブレード着脱手段５は、更に新ブレー
ド保持軸２迄回転移動してそこから新ブレードｂ′を吸
着保持すると共に、スピンドルａ迄回転移動してその新
ブレードｂ′をスピンドルａに装着する。The blade attaching / detaching means 5 further rotates to the new blade holding shaft 2 to adsorb and hold the new blade b ', and also to the spindle a to mount the new blade b'on the spindle a. To do.
【００１８】ブレード着脱手段５が非作用位置まで回転
移動して待機した後、ナット着脱手段７が前記待機位置
から作用位置まで回転移動し、そのブレード押え用ナッ
トｄをスピンドルａのねじ部ｅに螺着して新ブレード
ｂ′を固定する。この時、スピンドル押え部７４を回転
させて係合ピン７４ａをスピンドルａの先端の回り止め
用小孔ｆに嵌入して、このスピンドル押え部７４によっ
てスピンドルａが回転しないように保持する。前記ナッ
ト回転部７３の係合ピン７３ａはブレード押え用ナット
ｄの小孔ｇに嵌合したまま、このナット回転部７３を回
転させながら徐々に前進させることによりブレード押え
用ナットｄをスピンドルａのねじ部ｅに螺着することが
出来る。最後に、ブレード着脱手段５を非作用位置まで
回転移動して待機させる。After the blade attaching / detaching means 5 is rotationally moved to the non-acting position and is on standby, the nut attaching / detaching means 7 is rotationally moved from the standby position to the operating position, and the blade pressing nut d is attached to the thread portion e of the spindle a. The new blade b'is fixed by screwing. At this time, the spindle pressing portion 74 is rotated to fit the engagement pin 74a into the small rotation preventing hole f at the tip of the spindle a, and the spindle pressing portion 74 holds the spindle a so as not to rotate. While the engagement pin 73a of the nut rotating portion 73 is fitted in the small hole g of the blade pressing nut d, the blade rotating nut d is gradually moved forward while rotating the nut rotating portion 73 to move the blade pressing nut d of the spindle a. It can be screwed onto the screw part e. Finally, the blade attaching / detaching means 5 is rotationally moved to the non-acting position and made to stand by.
【００１９】このようにして、スピンドルａに対し新旧
ブレードの交換を自動的に行うことが出来、新ブレード
ｂ′が破損したような場合には上記のような動作が繰り
返される。In this way, the old and new blades can be automatically replaced with respect to the spindle a, and when the new blade b'is damaged, the above operation is repeated.
【００２０】図５、図６に示すのは本発明の第２実施例
であり、第１の操作軸２４の先端部に設けられたブレー
ド着脱手段２５において、旧ブレード着脱手段２５ａ
と、新ブレード着脱手段２５ｂとが第１の操作軸２４の
軸線方向に対して直角方向に設けられた支持アーム部２
５１の両端部に対称的に設けられている点が、前記第１
実施例とは異なっている。第２の操作軸２６の先端部に
設けられたナット着脱手段２７は、第１実施例のナット
着脱手段７と同じ構成のものである。FIG. 5 and FIG. 6 show a second embodiment of the present invention. In the blade attaching / detaching means 25 provided at the tip of the first operating shaft 24, the old blade attaching / detaching means 25a is used.
And a new blade attaching / detaching means 25b provided in a direction perpendicular to the axial direction of the first operating shaft 24.
The points that are symmetrically provided at both ends of 51 are the first
It differs from the embodiment. The nut attaching / detaching means 27 provided at the tip of the second operating shaft 26 has the same structure as the nut attaching / detaching means 7 of the first embodiment.
【００２１】この第２実施例の場合は、ナット着脱手段
２７でスピンドルａのブレード押え用ナットｄを外すと
共に、そのスピンドルａに装着されている旧ブレードｂ
を前記旧ブレード着脱手段２５ａで外し、ブレード着脱
手段２５を１８０°回転させて新ブレード着脱手段２５
ｂに予め保持させた新ブレードｂ′をスピンドルａに装
着し、前記ナット着脱手段２７に保持されているブレー
ド押え用ナットｄを再びスピンドルａに螺着すれば新ブ
レードｂ′を固定することが出来る。旧ブレードｂは外
側に出された旧ブレード着脱手段２５ａから外されて除
かれる。従って、第１実施例におけるブレードラック１
が不要になる特徴を有する。In the case of the second embodiment, the nut attaching / detaching means 27 removes the blade pressing nut d of the spindle a, and the old blade b attached to the spindle a is removed.
Is removed by the old blade attaching / detaching means 25a, the blade attaching / detaching means 25 is rotated by 180 °, and the new blade attaching / detaching means 25 is removed.
The new blade b ′ previously held by b is mounted on the spindle a, and the blade pressing nut d held by the nut attaching / detaching means 27 is screwed onto the spindle a again to fix the new blade b ′. I can. The old blade b is removed and removed from the old blade attaching / detaching means 25a that is exposed to the outside. Therefore, the blade rack 1 in the first embodiment
Has the characteristic that it becomes unnecessary.
【００２２】図７に示すのは本発明の第３実施例であ
り、第１、第２実施例で示したナット着脱手段と実質的
に同一のナット着脱手段３７が、ブレード着脱手段３５
（これも第１、第２実施例で示したブレード着脱手段と
実質的に同一である。）の内部に組み込まれた構成であ
り、この場合には第２の操作軸及び支持アームが不要と
なり、ブレードオートチェンジャーの構成を簡略化し、
且つ装置全体を小型化できる特徴を有する。FIG. 7 shows a third embodiment of the present invention, in which the nut attaching / detaching means 37 which is substantially the same as the nut attaching / detaching means shown in the first and second embodiments, is attached to the blade attaching / detaching means 35.
(This is also substantially the same as the blade attaching / detaching means shown in the first and second embodiments.) In this case, the second operating shaft and the supporting arm are unnecessary. , The configuration of the blade auto changer is simplified,
In addition, it has a feature that the entire device can be downsized.
【００２３】更に、図示は省略したが、ブレード交換指
令に基づいてブレードの着脱を遂行するように構成する
ことも可能であり、旧ブレードの破損及び摩耗量を検出
する装置としては、例えば特開平２−２１２０４５号公
報に開示されたブレード不良を検出する検出装置を用い
ることが出来る。この検出装置の検出信号を制御装置
（図示せず）に入力し、その制御装置からのブレード交
換指令に基づいて本発明に係るブレードオートチェンジ
ャーを駆動させるように構成すれば良い。Further, although not shown in the drawings, it is also possible to configure so that the blade is attached or detached based on a blade replacement command, and as a device for detecting the damage and wear amount of the old blade, for example, Japanese Patent Laid-Open No. It is possible to use the detection device for detecting a blade defect disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 2-212045. A detection signal of this detection device may be input to a control device (not shown), and the blade autochanger according to the present invention may be driven based on a blade replacement command from the control device.
【００２４】[0024]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
半導体ウェーハをダイシングするダイシング装置におい
て、スピンドルに装着されている旧ブレードを取り外す
と共に、このスピンドルに新たなブレードを装着するた
めのブレード着脱手段及びナット着脱手段とを少なくと
も含むブレードオートチェンジャーを提供することによ
り、ブレードの交換を自動的に行うことが出来、ブレー
ドの交換が簡単となり、ダイシングの作業能率を著しく
向上させる等の優れた効果を奏する。As described above, according to the present invention,
In a dicing device for dicing a semiconductor wafer, by providing a blade autochanger including at least a blade attaching / detaching means and a nut attaching / detaching means for detaching an old blade attached to a spindle and attaching a new blade to the spindle. The blades can be automatically replaced, the blades can be easily replaced, and the dicing work efficiency can be significantly improved.
【図１】 本発明の第１実施例を示す装置要部の平面図
である。FIG. 1 is a plan view of a main part of an apparatus showing a first embodiment of the present invention.
【図２】 (イ) 、(ロ) はいずれもブレードラックにおけ
るブレード保持軸の概略斜視図である。FIG. 2A and FIG. 2B are schematic perspective views of a blade holding shaft in a blade rack.
【図３】 第１実施例におけるブレード着脱手段及びナ
ット着脱手段の概略斜視図である。FIG. 3 is a schematic perspective view of a blade attaching / detaching means and a nut attaching / detaching means in the first embodiment.
【図４】 第１実施例における装置要部の正面図であ
る。FIG. 4 is a front view of the main part of the apparatus in the first embodiment.
【図５】 本発明の第２実施例を示す装置要部の平面図
である。FIG. 5 is a plan view of an essential part of the device showing a second embodiment of the present invention.
【図６】 同、装置要部の概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view of the main part of the apparatus.
【図７】 本発明の第３実施例を示す装置要部の概略平
面図である。FIG. 7 is a schematic plan view of an essential part of the device showing a third embodiment of the present invention.
【図８】 スピンドルからブレード押え用ナット及び切
削ブレードを外した状態を示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a state in which a blade pressing nut and a cutting blade are removed from a spindle.
１…ブレードラック ２…新ブレード保持軸 ２ａ
…ブレード嵌合軸 ２ｂ…吸引孔 ３…旧ブレード保持軸 ３ａ…ブレ
ード嵌合軸 ３ｂ…吸引孔 ４…第１の操作軸
５…ブレード着脱手段 ５１…支持アーム部 ５２…操作部 ５３…ブレード保持部 ５３ａ…吸
引孔 ６…第２の操作軸 ７…ナット着脱手段
７１…支持アーム部 ７２…操作部 ７２ａ…吸引
孔 ７３…ナット回転部 ７３ａ…係合ピン ７
４…スピンドル押え部 ７４ａ…係合ピン ８…半
導体ウェーハ保持テーブル ２４…第１の操作軸
２５…ブレード着脱手段 ２５ａ…旧ブレード着脱手
段 ２５ｂ…新ブレード着脱手段 ２５１…支持ア
ーム部 ２６…第２の操作軸 ２７…ナット着脱手段 ３５…ブレード着脱手段
３７…ナット着脱手段1 ... Blade rack 2 ... New blade holding shaft 2a
... Blade fitting shaft 2b ... Suction hole 3 ... Old blade holding shaft 3a ... Blade fitting shaft 3b ... Suction hole 4 ... First operation shaft
5 ... Blade attaching / detaching means 51 ... Support arm portion 52 ... Operating portion 53 ... Blade holding portion 53a ... Suction hole 6 ... Second operating shaft 7 ... Nut attaching / detaching means
71 ... Support arm part 72 ... Operation part 72a ... Suction hole 73 ... Nut rotating part 73a ... Engagement pin 7
4 ... Spindle pressing portion 74a ... Engaging pin 8 ... Semiconductor wafer holding table 24 ... First operation shaft
25 ... Blade attaching / detaching means 25a ... Old blade attaching / detaching means 25b ... New blade attaching / detaching means 251 ... Support arm part 26 ... Second operation shaft 27 ... Nut attaching / detaching means 35 ... Blade attaching / detaching means
37 ... Nut attaching / detaching means
─────────────────────────────────────────────────────
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【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成６年４月７日[Submission date] April 7, 1994
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Name of item to be amended] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【特許請求の範囲】[Claims]
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００５[Name of item to be corrected] 0005
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ダイシング装置に配
設されるブレードオートチェンジャーであって、該ブレ
ードオートチェンジャーは、スピンドルに装着されてい
る旧ブレードを取り外すと共にスピンドルに新たなブレ
ードを装着するブレード着脱手段と、スピンドルに対し
てブレードを固定するナットを着脱するナット着脱手段
と、を少なくとも含むブレードオートチェンジャーを要
旨とする。又、本発明は、新ブレードを保持する新ブレ
ード保持軸と、旧ブレードを保持する旧ブレード保持軸
とを有するブレードラックが含まれること、ブレード着
脱手段が、スピンドルにブレードを着脱する作用位置
と、ブレードラックの旧ブレード保持軸及び新ブレード
保持軸とに位置付けられること、を要旨とするものであ
る。As a means for technically solving this problem, the present invention is a blade autochanger provided in a dicing machine, the blade autochanger being mounted on a spindle. A blade autochanger that includes at least blade attaching / detaching means for removing an old blade and attaching a new blade to a spindle and nut attaching / detaching means for attaching / detaching a nut for fixing the blade to the spindle. Further, the present invention includes a blade rack having a new blade holding shaft that holds a new blade and an old blade holding shaft that holds an old blade, and the blade attaching / detaching means has an operating position for attaching / detaching the blade to / from the spindle. It is positioned on the old blade holding shaft and the new blade holding shaft of the blade rack.
Claims (5)
ング装置において、スピンドルに装着されている旧ブレ
ードを取り外すと共に、このスピンドルに新たなブレー
ドを装着するためのブレード着脱手段及びナット着脱手
段とを少なくとも含むブレードオートチェンジャー。1. A blade autochanger in a dicing apparatus for dicing a semiconductor wafer, comprising at least a blade attaching / detaching means and a nut attaching / detaching means for removing an old blade attached to a spindle and attaching a new blade to the spindle. .
ナット回転部とを備えた、請求項１記載のブレードオー
トチェンジャー。2. The blade autochanger according to claim 1, wherein the nut attaching / detaching means includes a spindle pressing portion and a nut rotating portion.
段と新ブレード着脱手段とが対称的に設けられた、請求
項１記載のブレードオートチェンジャー。3. The blade automatic changer according to claim 1, wherein the blade attaching / detaching means is symmetrically provided with the old blade attaching / detaching means and the new blade attaching / detaching means.
部に組み込まれた、求項１記載のブレードオートチェン
ジャー。4. The blade autochanger according to claim 1, wherein the nut attaching / detaching means is incorporated inside the blade attaching / detaching means.
着脱を遂行する、請求項１記載のブレードオートチェン
ジャー。5. The blade autochanger according to claim 1, wherein the blade is attached and detached based on a blade replacement command.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6032819A JP2617876B2 (en) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | Blade autochanger |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6032819A JP2617876B2 (en) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | Blade autochanger |
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|---|---|
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| JP2617876B2 JP2617876B2 (en) | 1997-06-04 |
Family
ID=12369449
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