JPH0625961Y2 - ウエハ搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、例えばイオン注入装置等に用いられるもの
であって、直進および旋回のいわゆる２自由度を有する
ウエハ搬送装置に関する。

〔従来の技術〕

この種のウエハ搬送装置の従来例を第２図に示す。

即ち、真空容器２に真空シール機能を有する軸受部４が
取り付けられており、この軸受部４を通して主軸６が真
空容器２を貫通している。

主軸６は、真空容器２外に取り付けられた第１のモータ
（例えばサーボモータ）８によって、タイミングベルト
１０およびホイール１２、１４を介して、正逆両方向に
回転駆動される。

主軸６の真空容器２内側端部には旋回台１６が取り付け
られており、それに、移動台２２と螺合してそれを前後
に直進させる直進機構を構成するボールねじ２４が回転
自在に取り付けられている。そしてこの移動台２２に、
ウエハ１８を支持する例えばフォーク状をしたウエハ支
持板２０が取り付けられている。

一方、真空容器２外に第２のモータ（例えばサーボモー
タ）２６が取り付けられており、その正逆両方向の回転
運動は、主軸６内を真空シールされた状態で貫通する回
転軸２８、１組の傘歯車３０、旋回台１６に回転自在に
支持された回転軸３２および１組の平歯車３４を介して
ボールねじ２４に伝達される。

上記構成によれば、モータ８によって旋回台１６ひいて
はそれに支持されたウエハ支持板２０を正逆両方向に旋
回させることができ、モータ２６によって移動台２２ひ
いてはそれに取り付けられたウエハ支持板２０を前後に
直進させることができ、それによってウエハ１８の所望
の搬送を行うことができる。

しかもこの装置には、旋回台１６に、移動台２２の位置
を検出する幾つかの検出器が、例えば移動台２２の原点
検出用の検出器３６および移動台２２のオーバーラン防
止用の検出器３７、３８が取り付けられている。検出器
３６〜３８は、例えばリミットスイッチや光電スイッチ
等から成る。そしてこれらの検出器３６〜３８につなが
るリード線４０〜４２は、真空容器２の適当な個所に取
り付けられた電流導入端子（フィードスルーとも呼ばれ
る）４４を介して真空容器２外側へ引き出されている。

尚、真空容器２外の例えば主軸６の周囲にも、旋回台１
６の旋回方向の位置検出用の検出器が幾つか設けられて
いるが、ここではその図示等を省略する。

〔考案が解決しようとする課題〕

上記のようなウエハ搬送装置においては、旋回台１６を
旋回させる際に、真空容器２内にあるリード線４０〜４
２を引きずったり曲げたりするようになるため、それら
に無理な力が加わってそれらが断線する恐れがあるとい
う問題があった。

また、上記のようにして真空容器２内にあるリード線４
０〜４２が引きずられることによってそれらから発塵
し、これがウエハ１８の汚染の原因等になるという問題
もあった。

ちなみにこれに対しては、リード線４０〜４２の保護用
の線樋等を設ける考えもあるが、そのようにすると、こ
の線樋等は真空中という特殊な環境で使用するため、そ
れに使用できる材質が脱ガスの少ない高価なものに限定
され、そのため大きなコストアップが強いられる。

そこでこの考案は、これらの点を改善したウエハ搬送装
置を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この考案のウエハ搬送装置は、前記主軸を中空にし、こ
の主軸と旋回台間に前者内に連通するようにかつ後者で
蓋をするようにモータ収納箱を設けると共にそれぞれの
接続部間に真空シール部を設け、このモータ収納箱内に
前記第２のモータを収納すると共にそれにつながる回転
軸を真空シール部を通して箱外に出してそれと前記直進
機構とを連結し、そして前記旋回台に電流導入端子を取
り付け、前記検出器につながるリード線をこの電流導入
端子を介してかつ主軸内を通して真空容器外に引き出し
たことを特徴とする。

〔作用〕

上記構成によれば、電流導入端子を検出器と同じく旋回
台に取り付けているので、旋回台を旋回させても、検出
器とこの電流導入端子間のリード線に何の外力も加わら
ない。従ってこのリード線の断線や発塵の恐れは全く無
くなる。

また、電流導入端子から外部へのリード線は主軸内を通
して真空容器外へ引き出しているので、旋回台を旋回さ
せても、このリード線に外力は殆ど加わらない。従って
このリード線の断線の恐れも無くなる。またモータ収納
箱内および主軸内は大気圧側なので、このリード線から
の発塵を特に考慮する必要も無い。

また以上の結果から、リード線引回しの特別な保護処理
を施す必要も無くなるので、それに伴うコストアップの
問題も避けられる。

〔実施例〕

第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ搬送装置を
示す断面図である。第２図の例と同一または相当する部
分には同一符号を付し、以下においては従来例との相違
点を主に説明する。

この実施例においては、前述した主軸６に相当する主軸
６ａを中空にし、これを前述したような軸受部４を通し
て真空容器２を貫通させている。

図示例の軸受部４は、軸受４０１および主軸６ａとの間
を真空シールする真空シール部４０２を有し、この真空
シール部４０２は例えばＯリングあるいは磁性流体シー
ルユニットから成る。

そして、この中空の主軸６ａと前述した旋回台１６間
に、穴４６１で主軸６ａ内に通じるように、かつ旋回台
１６で蓋をするように、モータ収納箱４６を設けると共
にそれぞれの接続部間に例えばＯリングから成る真空シ
ール部５６、５７を設けてそこを真空シールしている。
従って、モータ収納箱４６は真空容器２内にあるけれど
も、その内部は主軸６ａ内を通して大気圧側に通じてい
る。

そしてこのモータ収納箱４６内に、前述したような第２
のモータ２６を収納すると共に、それにつながる回転軸
４８を、例えばＯリングあるいは磁性流体シールユニッ
トから成る真空シール部５８を通して箱外に出し、タイ
ミングベルト５０およびホイール５２、５４を介して前
述したボールねじ２４と連結している。ちなみにモータ
２６は、モータ収納箱４６内が大気圧側に通じているた
め、真空用モータにする必要は無い。

そして、この例では旋回台１６の旋回中心付近に、前述
したような電流導入端子４４を取り付け、旋回台１６上
の検出器３６〜３８につながるリード線４０〜４２を、
この電流導入端子４４を介して、かつ中空の主軸６ａ内
を通して真空容器２外へ引き出している。

またこの例では、モータ２６につながるリード線４３
も、主軸６ａ内を通して真空容器２外へ引き出してい
る。

上記構成によれば、従来例と同様に、モータ８によって
旋回台１６ひいてはそれに支持されたウエハ支持板２０
を正逆両方向に旋回させることができ、モータ２６によ
って移動台２２ひいてはそれに取り付けられたウエハ支
持板２０を前後に直進させることができ、それによって
ウエハ１８の所望の搬送を行うことができる。

しかもこの実施例では、電流導入端子４４を検出器３６
〜３８と同じく旋回台１６に取り付けているので、旋回
台１６を旋回させても、検出器３６〜３８とこの電流導
入端子４４間のリード線４０〜４２に何の力も加わらな
い。従ってこのリード線４０〜４２の断線や発塵の恐れ
は全く無くなる。

また、電流導入端子４４から外部へのリード線４０〜４
２は主軸６ａ内を通して真空容器２外へ引き出している
ので、しかもこの例では電流導入端子４４を旋回台１６
の旋回中心付近に取り付けていることもあって、旋回台
１６を旋回させても、このリード線４０〜４２に外力は
殆ど加わらない。従ってこのリード線４０〜４２の断線
の恐れも無くなる。また、モータ収納箱４６内および主
軸６ａ内は大気圧側なので、このリード線４０〜４２か
らの発塵を特に考慮する必要も無い。

また以上の結果から、リード線４０〜４２の引回しの線
樋等の特別な保護処理を施す必要も無くなるので、それ
に伴うコストアップも避けられる。尚、電流導入端子４
４から引出す部分のリード線４０〜４２は大気圧側にあ
るので、仮にそれに保護処理を施すとしても安価に行う
ことができる。

また、リード線４０〜４２がモータ収納箱４６および主
軸６ａによって保護された格好になるので、装置の取扱
い時にリード線４０〜４２を誤って断線させることを防
止できるという効果も得られる。

尚、モータ２６から引出すリード線４３についても、電
流導入端子４４から引き出すリード線４０〜４２と同様
のことが言える。

〔考案の効果〕

以上のようにこの考案によれば、旋回台に取り付けた検
出器から真空容器外へ引き出すリード線の断線および発
塵の問題を無くすることができる。しかも当該リード線
引回しの特別な保護処理が不要になるので、それに伴う
コストアップの問題も避けられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この考案の一実施例に係るウエハ搬送装置を
示す断面図である。第２図は、従来のウエハ搬送装置の
一例を示す断面図である。 ２……真空容器、４……軸受部、６，６ａ……主軸、８
……第１のモータ、１６……旋回台、２０……ウエハ支
持板、２２……移動台、２４……ボールねじ、２６……
第２のモータ、３６〜３８……検出器、４０〜４３……
リード線、４４……電流導入端子、４６……モータ収納
箱、５６〜５８……真空シール部。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】真空容器に取り付けられた真空シール機能
   を有する軸受部と、この軸受部を通して真空容器を貫通
   する主軸と、この主軸を真空容器外側から回転駆動する
   第１のモータと、真空容器内にあって主軸に支持された
   旋回台と、ウエハを支持するウエハ支持板と、このウエ
   ハ支持板が取り付けられた移動台と、旋回台上に設けら
   れていてこの移動台を前後に直進させる直進機構と、こ
   の直進機構を駆動する第２のモータと、旋回台に取り付
   けられていて移動台の位置を検出する検出器とを備える
   ウエハ搬送装置において、前記主軸を中空にし、この主
   軸と旋回台間に前者内に連通するようにかつ後者で蓋を
   するようにモータ収納箱を設けると共にそれぞれの接続
   部間に真空シール部を設け、このモータ収納箱内に前記
   第２のモータを収納すると共にそれにつながる回転軸を
   真空シール部を通して箱外に出してそれと前記直進機構
   とを連結し、そして前記旋回台に電流導入端子を取り付
   け、前記検出器につながるリード線をこの電流導入端子
   を介してかつ主軸内を通して真空容器外に引き出したこ
   とを特徴とするウエハ搬送装置。