JPH0523651A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH0523651A JPH0523651A JP18226691A JP18226691A JPH0523651A JP H0523651 A JPH0523651 A JP H0523651A JP 18226691 A JP18226691 A JP 18226691A JP 18226691 A JP18226691 A JP 18226691A JP H0523651 A JPH0523651 A JP H0523651A
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- JP
- Japan
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- cleaned
- cleaning
- roller
- article
- brush
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- Pending
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
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- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ブラシを用いた擦り洗浄を行なう洗浄装置に関
し、特にガラス基板を洗浄対象物とする洗浄装置におい
て、被洗浄物を蛇行，破損させることなく確実に、かつ
汚染することなく搬送することのできる洗浄装置を提供
する。 【構成】洗浄用ブラシと同じ材質で搬送ローラを構成
し、かつ被洗浄物が進行方向に対し上下，左右に動くこ
とを規制するガイドローラを設置することにより、上記
目的は達成される。 【効果】洗浄用ブラシの材質，形状，接触面圧，回転数
などに関係なく、被洗浄物を蛇行，破損させることなく
確実に搬送することができる。また、搬送にともない被
洗浄物を汚染することがない。
し、特にガラス基板を洗浄対象物とする洗浄装置におい
て、被洗浄物を蛇行，破損させることなく確実に、かつ
汚染することなく搬送することのできる洗浄装置を提供
する。 【構成】洗浄用ブラシと同じ材質で搬送ローラを構成
し、かつ被洗浄物が進行方向に対し上下，左右に動くこ
とを規制するガイドローラを設置することにより、上記
目的は達成される。 【効果】洗浄用ブラシの材質，形状，接触面圧，回転数
などに関係なく、被洗浄物を蛇行，破損させることなく
確実に搬送することができる。また、搬送にともない被
洗浄物を汚染することがない。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は被洗浄物の搬送機構を有
する洗浄装置に係り、特にガラス基板，シリコン基板を
洗浄対象物とし、ブラシを用いた擦り洗浄を行う洗浄装
置の被洗浄物搬送に係る。
する洗浄装置に係り、特にガラス基板，シリコン基板を
洗浄対象物とし、ブラシを用いた擦り洗浄を行う洗浄装
置の被洗浄物搬送に係る。
【０００２】
【従来の技術】従来技術では実開平2−1290 号記載のよ
うに、弾性に乏しく、被洗浄物との接触面積の少ない多
数の搬送ローラを用いて被洗浄物を搬送していた。
うに、弾性に乏しく、被洗浄物との接触面積の少ない多
数の搬送ローラを用いて被洗浄物を搬送していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例では被洗浄物と
搬送ローラとの接触面積が少なく、十分な摩擦力を得る
ことができない。そのためブラシを被洗浄物に接触させ
る方法，圧力、及びブラシの材質によっては被洗浄物と
搬送ローラが空転を起し、被洗浄物を蛇行する、破損す
るなどの問題点があった。
搬送ローラとの接触面積が少なく、十分な摩擦力を得る
ことができない。そのためブラシを被洗浄物に接触させ
る方法，圧力、及びブラシの材質によっては被洗浄物と
搬送ローラが空転を起し、被洗浄物を蛇行する、破損す
るなどの問題点があった。
【０００４】また多数の搬送ローラを被洗浄物と接触さ
せることにより、搬送ローラの材質及び搬送ローラと被
洗浄物との接触圧によっては、被洗浄物を傷つけたり、
汚染したりする可能性があった。
せることにより、搬送ローラの材質及び搬送ローラと被
洗浄物との接触圧によっては、被洗浄物を傷つけたり、
汚染したりする可能性があった。
【０００５】本発明の目的は被洗浄を汚染したり傷つけ
たりすることなく、確実に搬送を行うことのできる洗浄
装置を提供することにある。
たりすることなく、確実に搬送を行うことのできる洗浄
装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決するため
に請求項１から請求項５、及び請求項７から請求項８に
示すように、弾性のある搬送ローラで被洗浄物を上下か
ら挾み込んで搬送することにより、被洗浄物を確実に進
行方向に搬送する事ができる。
に請求項１から請求項５、及び請求項７から請求項８に
示すように、弾性のある搬送ローラで被洗浄物を上下か
ら挾み込んで搬送することにより、被洗浄物を確実に進
行方向に搬送する事ができる。
【０００７】また請求項９から請求項１１に示す様に、
進行方向に対し被洗浄物を上下方向，左右方向から挾み
込む様にガイドローラを設ける事により、被洗浄物の搬
送位置を正確に決めることができる。これにより被洗浄
物の蛇行，上下方向の動きを規制することができ、確実
に搬送を行う事ができる。
進行方向に対し被洗浄物を上下方向，左右方向から挾み
込む様にガイドローラを設ける事により、被洗浄物の搬
送位置を正確に決めることができる。これにより被洗浄
物の蛇行，上下方向の動きを規制することができ、確実
に搬送を行う事ができる。
【０００８】また請求項６に示すように洗浄用ブラシに
用いられる材質の搬送ローラを用いることにより、搬送
ローラによって被洗浄物を傷つけたり再汚染したりする
事なく搬送を行なう事ができる。
用いられる材質の搬送ローラを用いることにより、搬送
ローラによって被洗浄物を傷つけたり再汚染したりする
事なく搬送を行なう事ができる。
【０００９】
【作用】洗浄用ブラシと同じ材質の弾性を持った搬送ロ
ーラで被洗浄物を上下から挾み込み、上記搬送ローラを
回転駆動することにより被洗浄物を搬送する。この時被
洗浄物の進行的に対する上下，左右方向への動きをガイ
ドローラにより規制する事により、確実に搬送を行なう
事ができる。
ーラで被洗浄物を上下から挾み込み、上記搬送ローラを
回転駆動することにより被洗浄物を搬送する。この時被
洗浄物の進行的に対する上下，左右方向への動きをガイ
ドローラにより規制する事により、確実に搬送を行なう
事ができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の一実施例を図１により説明す
る。搬送ローラ４は、ガラス基板などの被洗浄物１を上
下から挾み込むように設置されており、図に記載されて
いない駆動系と結ばれた駆動軸３によって回転駆動され
ることにより、被洗浄物を搬送する。
る。搬送ローラ４は、ガラス基板などの被洗浄物１を上
下から挾み込むように設置されており、図に記載されて
いない駆動系と結ばれた駆動軸３によって回転駆動され
ることにより、被洗浄物を搬送する。
【００１１】洗浄用ブラシ２は例えばポリビニールホル
マール系の材質で構成されており、被洗浄物を上下から
挾み込む用に設置され、図に記載されていない駆動系に
より回転駆動されることにより、被洗浄物の擦り洗浄を
行なう。洗浄に用いる洗浄液８はノズル７により供給さ
れる。また洗浄液８は図に記載されていないノズルによ
り、搬送ローラ４にも供給される。
マール系の材質で構成されており、被洗浄物を上下から
挾み込む用に設置され、図に記載されていない駆動系に
より回転駆動されることにより、被洗浄物の擦り洗浄を
行なう。洗浄に用いる洗浄液８はノズル７により供給さ
れる。また洗浄液８は図に記載されていないノズルによ
り、搬送ローラ４にも供給される。
【００１２】この時、搬送ローラ４と被洗浄物１との間
には静止摩擦力が働く。また洗浄用ブラシ２と被洗浄物
１との間には動摩擦が働く。材質が同じであれば、静止
摩擦係数及び動摩擦係数は等しくなる。よって洗浄用ブ
ラシ２と同じ材質の例えばポリビニールホルマール系の
材質で構成される搬送ローラ４を用い、搬送ローラ４と
被洗浄物１との接触面圧が洗浄用ブラシ２と被洗浄物１
との接触面圧より大きくなるように、搬送ローラ４と及
び洗浄用ブラシ２の被洗浄物１に対する押しつけ圧力及
び接触面積を設定する事により、確実に被洗浄物１を搬
送する事ができる。また、洗浄用ブラシ２の動摩擦係数
が搬送ローラ４の静止摩擦係数より小さくなるように、
洗浄用ブラシ２及び搬送ローラ４の材質を選定した場合
にも同様な効果を得ることができる。
には静止摩擦力が働く。また洗浄用ブラシ２と被洗浄物
１との間には動摩擦が働く。材質が同じであれば、静止
摩擦係数及び動摩擦係数は等しくなる。よって洗浄用ブ
ラシ２と同じ材質の例えばポリビニールホルマール系の
材質で構成される搬送ローラ４を用い、搬送ローラ４と
被洗浄物１との接触面圧が洗浄用ブラシ２と被洗浄物１
との接触面圧より大きくなるように、搬送ローラ４と及
び洗浄用ブラシ２の被洗浄物１に対する押しつけ圧力及
び接触面積を設定する事により、確実に被洗浄物１を搬
送する事ができる。また、洗浄用ブラシ２の動摩擦係数
が搬送ローラ４の静止摩擦係数より小さくなるように、
洗浄用ブラシ２及び搬送ローラ４の材質を選定した場合
にも同様な効果を得ることができる。
【００１３】上下ガイドローラ５は被洗浄物の上下方向
への動きを規制しており、左右ガイドローラ６は被洗浄
物１の左右方向への動きを規制する。被洗浄物１は通
常、搬送ローラ４によってのみ支持されて搬送されてお
り、左右への蛇行及び上下への動きが生じた場合には、
上下ガイドローラ５及び左右ガイドローラ６が搬送方向
を修正する。上記、上下ガイドローラ５及び左右ガイド
ローラ６は図には記載されていない駆動系により回転駆
動されるか、または被洗浄物１との接触により従動的に
回転するものとする。
への動きを規制しており、左右ガイドローラ６は被洗浄
物１の左右方向への動きを規制する。被洗浄物１は通
常、搬送ローラ４によってのみ支持されて搬送されてお
り、左右への蛇行及び上下への動きが生じた場合には、
上下ガイドローラ５及び左右ガイドローラ６が搬送方向
を修正する。上記、上下ガイドローラ５及び左右ガイド
ローラ６は図には記載されていない駆動系により回転駆
動されるか、または被洗浄物１との接触により従動的に
回転するものとする。
【００１４】上記搬送方法では搬送用ローラ４の材質あ
るいは物性を洗浄用ブラシ２と同じにすることにより、
搬送機構部と被洗浄物１との接触により、被洗浄物１を
汚染したり傷つけたりすることなく搬送をおこなうこと
ができる。
るいは物性を洗浄用ブラシ２と同じにすることにより、
搬送機構部と被洗浄物１との接触により、被洗浄物１を
汚染したり傷つけたりすることなく搬送をおこなうこと
ができる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、洗浄用ブラシの形状，
材質，接触面圧，回転数などに関係なく、確実に被洗浄
物の搬送を行なうことができる。またガイドローラによ
り被洗浄物の動きを規制することにより、被洗浄物を破
損させたり、蛇行させることなく搬送することができ
る。また洗浄用ブラシと同じ材質の搬送ローラを用いる
ことにより、被洗浄物を傷つけたり汚染したりすること
なく搬送を行なうことができる。
材質，接触面圧，回転数などに関係なく、確実に被洗浄
物の搬送を行なうことができる。またガイドローラによ
り被洗浄物の動きを規制することにより、被洗浄物を破
損させたり、蛇行させることなく搬送することができ
る。また洗浄用ブラシと同じ材質の搬送ローラを用いる
ことにより、被洗浄物を傷つけたり汚染したりすること
なく搬送を行なうことができる。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
１…被洗浄物、２…洗浄用ブラシ、３…駆動軸、４…搬
送ローラ、５…上下ガイドローラ、６…左右ガイドロー
ラ、７…ノズル、８…洗浄液。
送ローラ、５…上下ガイドローラ、６…左右ガイドロー
ラ、７…ノズル、８…洗浄液。
Claims (11)
- 【請求項１】ブラシによる擦り洗浄をおこなう洗浄装置
において、弾性のある搬送ローラにより被洗浄物を搬送
することを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】被洗浄物を搬送する搬送ローラを、被洗浄
物を上下から挾み込むように設置したことを特徴とす
る、請求項１記載の洗浄装置。 - 【請求項３】被洗浄物を搬送する搬送ローラが、吸水性
のあるスポンジ状の材質で構成されていることを特徴と
する、請求項１または請求項２記載の洗浄装置。 - 【請求項４】被洗浄物を洗浄するために用いる洗浄液を
搬送ローラにも供給することを特徴とする、請求項１か
ら請求項３記載の洗浄装置。 - 【請求項５】被洗浄物を搬送する搬送ローラの材質が、
ポリビニールホルマール系の材質であることを特徴とす
る、請求項１から請求項４記載の洗浄装置。 - 【請求項６】被洗浄物を搬送する搬送ローラの材質が、
洗浄用ブラシに用いられる材質であることを特徴とす
る、請求項１から請求項５記載の洗浄装置。 - 【請求項７】被洗浄物を搬送する搬送ローラと被洗浄物
との接触面圧が、洗浄用ブラシと被洗浄物との接触面圧
より大きいことを特徴とする、請求項１から請求項６記
載の洗浄装置。 - 【請求項８】搬送ローラによる被洗浄物の搬送力が、洗
浄用ブラシの反力に勝ることを特徴とする、請求項１か
ら請求項７記載の洗浄装置。 - 【請求項９】被洗浄物を搬送する搬送ローラ以外に、被
洗浄物の搬送方向に対して左右方向の位置決めをおこな
うガイドローラを設置したことを特徴とする、請求項１
から請求項８記載の洗浄装置。 - 【請求項１０】被洗浄物を搬送する搬送ローラ以外に、
被洗浄物の搬送方向に対して上下方向の位置決めをおこ
なうガイドローラを設置したことを特徴とする、請求項
１から請求項９記載の洗浄装置。 - 【請求項１１】位置決め用ガイドローラを、被洗浄物の
搬送速度と同調するように回転駆動することを特徴とす
る、請求項１から請求項１０記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226691A JPH0523651A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18226691A JPH0523651A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0523651A true JPH0523651A (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=16115255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18226691A Pending JPH0523651A (ja) | 1991-07-23 | 1991-07-23 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0523651A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150005545A (ko) | 2013-05-28 | 2015-01-14 | 가부시키가이샤 다이와 | 프린트 배선판용의 청소 브러시, 및 이것을 사용한 청소기 |
| CN105215033A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-01-06 | 苏州市灵通玻璃制品有限公司 | 一种微波炉底盘玻璃清洗装置 |
| CN106315227A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传送系统 |
| CN106623189A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板清洗设备 |
| JP2017113663A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 洗浄装置 |
| CN108655144A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-10-16 | 连云港奇晴光电照明有限公司 | 一种石英玻璃清洗装置 |
| US10414008B2 (en) | 2017-09-22 | 2019-09-17 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
| JP2020145256A (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び洗浄方法 |
| CN114669568A (zh) * | 2017-07-12 | 2022-06-28 | 哈里斯股份有限公司 | 清扫系统 |
-
1991
- 1991-07-23 JP JP18226691A patent/JPH0523651A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20150005545A (ko) | 2013-05-28 | 2015-01-14 | 가부시키가이샤 다이와 | 프린트 배선판용의 청소 브러시, 및 이것을 사용한 청소기 |
| CN105215033A (zh) * | 2015-10-21 | 2016-01-06 | 苏州市灵通玻璃制品有限公司 | 一种微波炉底盘玻璃清洗装置 |
| JP2017113663A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 洗浄装置 |
| CN106315227A (zh) * | 2016-09-05 | 2017-01-11 | 京东方科技集团股份有限公司 | 传送系统 |
| CN106623189A (zh) * | 2016-12-19 | 2017-05-10 | 武汉华星光电技术有限公司 | 基板清洗设备 |
| CN114669568A (zh) * | 2017-07-12 | 2022-06-28 | 哈里斯股份有限公司 | 清扫系统 |
| US10414008B2 (en) | 2017-09-22 | 2019-09-17 | Matsuura Machinery Corporation | Method for supplying cutting oil |
| CN108655144A (zh) * | 2018-04-02 | 2018-10-16 | 连云港奇晴光电照明有限公司 | 一种石英玻璃清洗装置 |
| JP2020145256A (ja) * | 2019-03-05 | 2020-09-10 | 株式会社ディスコ | 加工装置及び洗浄方法 |
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