JP7728215B2 - 印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本開示は、印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法に関する。

従来の印刷用凹版として、例えば特許文献１に記載のグラビア印刷スクリーンがある。この従来の印刷用凹版では、印刷ペーストの流れの傾向を制御するため、印刷パターンを構成するセルを区画している畝目が１箇所または数箇所で切断されている。

特公昭３９－１６４０２号公報

印刷用凹版においては、被印刷物に形成される印刷パターンの表面粗さを小さくできる技術が望まれている。しかしながら、上述した従来の印刷用凹版では、畝目の一部が切断されているものの、畝目が切断されている箇所と畝目に囲まれている箇所とで印刷ペーストの流れやすさの差異が大きいと考えられる。したがって、セル内に充填される印刷ペーストに厚みのばらつきが生じ易く、表面粗さが小さい印刷パターンを得るには不十分であった。

また、実際の印刷の場面では、目的や用途に応じて、被印刷物に対して様々な厚さを有する印刷パターンの形成が想定され得る。印刷パターンの厚さを調整するにあたっては、印刷ペーストの物性を変更することが考えられる。しかしながら、印刷ペーストの物性を都度変更するのは煩雑であり、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整できる技術も望まれている。

本開示は、上記課題の解決のためになされたものであり、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整でき、且つ印刷パターンの表面粗さを抑えられる印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

本開示の一側面に係る印刷用凹版は、印刷方向に伸びる印刷方向土手と、印刷方向に直交する直交方向土手とによって区画された複数のセルを備え、印刷方向土手には、隣り合うセル同士を直交方向に連通させる第１の切欠部が設けられ、直交方向土手には、隣り合うセル同士を印刷方向に連通させる第２の切欠部が設けられ、セルにおける印刷方向土手間距離と印刷方向土手幅との和に対する印刷方向土手間距離の比率をＷ開口率と規定し、セルにおける印刷方向土手間距離と印刷方向土手幅との和に対する直交方向土手間距離と直交方向土手幅との和の比率をピッチＬ／Ｗ比と規定した場合に、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たす。

この印刷用凹版では、Ｗ開口率を変更することで、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整できる。Ｗ開口率を７０％以上とすることで、セルに対する印刷方向土手の面積が過剰とならず、印刷ペーストの十分な流動によって印刷方向土手による非転写部分が十分に埋められる。Ｗ開口率を９０％以下とすることで、直交方向への印刷ペーストの流動性が保たれ、印刷方向土手と直交方向土手との直交部分による非転写部分が十分に埋められる。また、この印刷用凹版では、ピッチＬ／Ｗ比を０．６５以上とすることで、直交方向土手間距離が十分に保たれ、非転写部分が埋め込まれるまでの印刷ペーストの流動性を維持できる。ピッチＬ／Ｗ比を１．３以下とすることで、印刷方向における印刷ペーストの流動性を確保でき、印刷方向土手と直交方向土手との直交部分による非転写部分を速やかに埋めることができる。以上により、この印刷用凹版では、形成される印刷パターンの表面粗さを抑えられる。

印刷方向に隣り合う第１の切欠部同士では、セルに対する印刷方向の位置が略同一となっている一方で、直交方向に隣り合う第１の切欠部同士は、セルに対する印刷方向の位置が異なっており、印刷方向に隣り合う第２の切欠部同士では、セルに対する直交方向の位置が異なっている一方で、直交方向に隣り合う第２の切欠部同士は、セルに対する直交方向の位置が略同一となっていてもよい。

この構成によれば、隣り合う第１の切欠部同士を結ぶようにセル間の直交方向の印刷ペースト流動経路が波状に形成され、隣り合う第２の切欠部同士を結ぶようにセル間の印刷方向の印刷ペースト流動経路が波状に形成される。また、隣り合う直交方向の印刷ペースト流動経路の位相が略同一となり、隣り合う印刷方向の印刷ペースト流動経路の位相が略同一となる。これにより、セル内での印刷ペーストの流れが均一化され、セル内に充填される印刷ペーストの厚さのばらつきが抑えれらる。したがって、形成される印刷パターンの表面粗さを一層抑えることができる。

複数のセルは、直交方向の中央側に位置する中央側セルと、直交方向の側端に位置する側端セルと、を有し、側端セルの印刷方向土手幅は、中央側セルの印刷方向土手幅よりも大きくなっており、側端セルの開口面積は、中央側セルの開口面積よりも小さくなっていてもよい。

側端セルの印刷方向土手幅を中央側セルの印刷方向土手幅よりも大きくし、側端セルの開口面積を中央側セルの開口面積よりも小さくすることで、転写時の側端セルでの印刷ペーストの糸引きを抑制できる。これにより、中央側での印刷パターンの厚さに比べて側端での印刷パターンの厚さが大きくなる、いわゆるサドル現象の発生を抑制できる。

側端セルの直交方向土手幅は、側端セルの印刷方向土手幅よりも小さくなっていてもよい。側端セルの直交方向土手幅を抑えることで、側端セルによる印刷方向のペースト付着量に差が生じることを抑制できる。この結果、側端での印刷パターンの厚さのばらつきを抑えることが可能となる。また、側端での印刷パターンの直進性の向上も図られる。

本開示の一側面に係る積層型電子部品の製造方法は、上記印刷用凹版を用いて内部電極層又は段差吸収層を形成する工程を含む。

この積層型電子部品の製造方法では、上記印刷用凹版を用いることで、印刷ペーストの物性を変更することなく、形成される内部電極層又は段差吸収層の厚さを調整できる。また、形成される内部電極層又は段差吸収層の表面粗さを抑えられる。

本開示によれば、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整でき、且つ印刷パターンの表面粗さを抑えられる。

本開示の一実施形態に係る印刷用凹版を適用したグラビアロールを示す模式的な斜視図である。 本開示の一実施形態に係る印刷用凹版を示す平面図である。 図２に示した印刷用凹版の中央側セルを示す要部拡大平面図である。 図２に示した印刷用凹版の側端セルを示す要部拡大平面図である。 印刷パターンの厚さ及び表面粗さに関する評価試験結果を示す図である。 Ｗ開口率と印刷パターンの厚さとの関係を示すグラフである。 Ｌ開口率と印刷パターンの厚さとの関係を示すグラフである。 Ｗ開口率と印刷パターンの表面粗さとの関係を示すグラフである。 ピッチＬ／Ｗ比と印刷パターンの表面粗さとの関係を示すグラフである。 印刷パターンに生じるサドル現象の一例を示す模式的な図である。 側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅とサドル高さとの関係を示すグラフである。 印刷パターンのサドル高さ及び側端直進性に関する評価試験結果を示す図である。 側端直進性の評価指標を示す模式的な図である。

以下、図面を参照しながら、本開示の一側面に係る印刷用凹版及び積層型電子部品の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。

図１は、本開示の一実施形態に係る印刷用凹版を適用したグラビアロールを示す模式的な斜視図である。同図に示すグラビアロール１は、例えば積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品の製造工程で用いられる装置である。グラビアロール１は、当該製造工程において、積層型電子部品の素体を構成するセラミックグリーンシートに内部電極層のパターンを転写するために用いられる。

内部電極層のパターンの転写には、印刷用凹版１１が用いられる。印刷用凹版１１を用いてグラビアロール１で印刷を行う場合、まず、印刷ペーストが充填されたタンク内に印刷用凹版１１をセットしたグラビアロール１を浸漬する。これにより、印刷用凹版１１の全体に印刷ペーストを付着させる。次に、グラビアロール１を回転させ、タンクから引き上げられた印刷用凹版１１にドクターブレード２を左右に揺動させながら接触させる。これにより、印刷用凹版１１に付着した余分な印刷ペーストが掻き取られ、各セル１３（図２等参照）に適量の印刷ペーストが充填される。

印刷用凹版１１の各セル１３に印刷ペーストを充填した後、グラビアロール１と圧胴とによってセラミックグリーンシートを挟み、所定の圧力を加えながらグラビアロール１と圧胴とを回転させる。これにより、印刷用凹版１１の印刷ペーストが所定のパターンでセラミックグリーンシート上に転写される。転写の際、各セル１３を構成する土手に対応する部分には印刷ペーストが直接付着しないが、時間の経過とともに周囲の印刷ペーストによって非転写部分が徐々に埋められ、最終的に略長方形状をなす内部電極層のパターンがセラミックグリーンシート上に形成される。

印刷用凹版１１は、内部電極層に限られず、段差吸収層の形成に用いることもできる。段差吸収層は、内部電極層が形成されたセラミックグリーンシートを積層する際に、内部電極層の厚さ分のシート間の段差を埋めるために用いられる層である。段差吸収層は、例えば内部電極層と同等の厚さで内部電極層の周囲に印刷される。印刷用凹版１１は、グラビア印刷以外の印刷方式にも適用可能である。印刷用凹版１１は、ディスプレイなどの他の電子機器の回路や電極の形成に用いることもできる。

以下、印刷用凹版１１の構成について詳細に説明する。

図２は、本開示の一実施形態に係る印刷用凹版を示す平面図である。同図に示すように、印刷用凹版１１は、例えば印刷方向（グラビアロール１の周方向に対応する方向）を長辺とし、印刷方向に直交する直交方向（グラビアロール１の軸方向に対応する方向）を短辺とする長方形状をなしている。印刷用凹版１１の一面側には、印刷すべき図形パターン１２が設けられている。

図形パターン１２は、例えば略正方形状をなす複数のセル１３によって構成されている。これらのセル１３は、印刷用凹版１１の一面側に格子状に配列されている。図形パターン１２は、直交方向の中央側に位置する中央側セル１３Ａと、直交方向の側端に位置する側端セル１３Ｂとを有している。中央側セル１３Ａ及び側端セル１３Ｂは、いずれも土手で囲われた矩形状の開口１４を有している。印刷の際、開口１４のそれぞれに上述した印刷ペーストが充填される。

中央側セル１３Ａは、図３に示すように、印刷方向に伸びる一対の印刷方向土手１５，１５と、直交方向に伸びる一対の直交方向土手１６，１６とによって区画されている。中央側セル１３Ａでは、印刷方向土手１５のそれぞれに対し、隣り合うセル１３，１３同士を直交方向に連通させる第１の切欠部２１，２１が設けられている。第１の切欠部２１，２１は、セル１３の隅部に対応する位置に形成されている。印刷方向に隣り合うセル１３，１３では、セル１３の同一の隅部に対応して第１の切欠部２１，２１が形成されている。直交方向に隣り合うセル１３，１３では、セル１３の対角線上にある隅部のそれぞれに対応して第１の切欠部２１，２１が形成されている。

中央側セル１３Ａでは、図３に示すように、直交方向土手１６のそれぞれに対し、隣り合うセル１３，１３同士を印刷方向に連通させる第２の切欠部２２，２２が設けられている。第２の切欠部２２，２２は、セル１３の隅部に対応する位置に形成されている。直交方向に隣り合うセル１３，１３では、セル１３の同一の隅部に対応して第２の切欠部２２，２２が形成されている。印刷方向に隣り合うセル１３，１３では、セル１３の対角線上にある隅部のそれぞれに対応して第２の切欠部２２，２２が形成されている。

第１の切欠部２１により、印刷用凹版１１には、隣り合う第１の切欠部２１，２１を結ぶようにして、セル１３，１３間を直交方向に伸びる波状の印刷ペースト流動経路Ｐ１が形成されている。印刷方向に隣り合う印刷ペースト流動経路Ｐ１，Ｐ１間の位相は、互いに略同一となっている。第２の切欠部２２により、印刷用凹版１１には、隣り合う第２の切欠部２２，２２を結ぶようにして、セル１３，１３間を印刷方向に伸びる波状の印刷ペースト流動経路Ｐ２が形成されている。直交方向に隣り合う印刷ペースト流動経路Ｐ２，Ｐ２間の位相は、互いに略同一となっている。

本実施形態では、第２の切欠部２２の直交方向の幅Ｋ２は、第１の切欠部２１の印刷方向の幅Ｋ１よりも大きくなっている。これにより、印刷方向に伸びる印刷ペースト流動経路Ｐ２における印刷ペーストの流動性は、直交方向に伸びる印刷ペースト流動経路Ｐ１における印刷ペーストの流動性よりも大きくなっている。第１の切欠部２１の印刷方向の幅Ｋ１と、第２の切欠部２２の直交方向の幅Ｋ２との比は、特に制限はないが、例えば１：１．５～１：８となっている。

側端セル１３Ｂは、図４に示すように、印刷方向に伸びる一つの印刷方向土手１５と、直交方向に伸びる一対の直交方向土手１６，１６とによって区画されている。印刷方向土手１５は、直交方向に一つ隣の中央側セル１３Ａを区画する印刷方向土手１５と共通の土手であり、側端セル１３Ｂの中央側セル１３Ａ側に位置している。側端セル１３Ｂの側端側には、印刷方向土手１５が配置されておらず、当該外端側は、開放された状態となっている。

続いて、上述した中央側セル１３Ａ及び側端セル１３Ｂの構成について更に詳細に説明する。

中央側セル１３Ａにおいて、図３に示すように、Ｗ開口幅Ｗ１、Ｗ土手幅Ｗ２、Ｌ開口幅Ｌ１、Ｌ土手幅Ｌ２をそれぞれ規定する。Ｗ開口幅Ｗ１は、セル１３を構成する一対の印刷方向土手１５，１５間の距離（印刷方向土手間距離）であり、一方の印刷方向土手１５の開口１４側の縁から他方の印刷方向土手１５の開口１４側の縁までの距離である。Ｗ土手幅Ｗ２は、印刷方向土手１５における直交方向の幅（印刷方向土手幅）である。

Ｌ開口幅Ｌ１は、セル１３を構成する一対の直交方向土手１６，１６間の距離（直交方向土手間距離）であり、一方の直交方向土手１６の開口１４側の縁から他方の直交方向土手１６の開口１４側の縁までの距離である。Ｌ土手幅Ｌ２は、直交方向土手１６における印刷方向の幅（直交方向土手幅）である。本実施形態では、Ｌ土手幅Ｌ２は、Ｗ土手幅Ｗ２と等しくなっている。

中央側セル１３Ａにおいて、Ｗ開口率及びＬ開口率をそれぞれ以下のように規定する。Ｗ開口率は、セル１３における印刷方向土手間距離と印刷方向土手幅との和に対する印刷方向土手間距離の比率である。Ｌ開口率は、セル１３における直交方向土手間距離と直交方向土手幅との和に対する直交方向土手間距離の比率である。このようにＷ開口率及びＬ開口率を規定した場合、印刷用凹版１１では、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たしている。
Ｗ開口率（％）＝１００×（Ｗ開口幅Ｗ１／（Ｗ開口幅Ｗ１＋Ｗ土手幅Ｗ２））
Ｌ開口率（％）＝１００×（Ｌ開口幅Ｌ１／（Ｌ開口幅Ｌ１＋Ｌ土手幅Ｌ２））

中央側セル１３Ａにおいて、ピッチＬ／Ｗ比を以下のように規定する。ピッチＬ／Ｗ比は、セル１３における印刷方向土手間距離と印刷方向土手幅との和に対する直交方向土手間距離と直交方向土手幅との和の比率である。このようにピッチＬ／Ｗ比を規定した場合、印刷用凹版１１では、０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たしている。
ピッチＬ／Ｗ比＝（Ｌ開口幅Ｌ１＋Ｌ土手幅Ｌ２）／（Ｗ開口幅Ｗ１＋Ｗ土手幅Ｗ２）

側端セル１３Ｂにおいて、図４に示すように、印刷方向土手１５における直交方向の幅（印刷方向土手幅）をＷ土手幅Ｗ３と規定し、直交方向土手１６における印刷方向の幅（直交方向土手幅）をＬ土手幅Ｌ３と規定する。この場合、印刷用凹版１１では、Ｗ土手幅Ｗ３＞Ｗ土手幅Ｗ２を満たしている。本実施形態では、側端セル１３Ｂの印刷方向土手１５は、側端セル１３Ｂの開口１４側に幅広となっている。

このため、側端セル１３Ｂにおいて印刷方向土手１５から直交方向に突出する直交方向土手１６の突出長さＦ２は、中央側セル１３Ａにおいて、印刷方向土手１５から直交方向に突出する直交方向土手１６の突出長さＦ１（図３参照）よりも短くなっている。突出長さＦ２が突出長さＦ１よりも短いことで、側端セル１３Ｂの開口面積Ｓ２は、中央側セル１３Ａの開口面積Ｓ１よりも小さくなっている。

また、側端セル１３Ｂでは、Ｌ土手幅Ｌ３＜Ｗ土手幅Ｗ３を満たしている。すなわち、側端セル１３Ｂの直交方向土手幅は、側端セル１３Ｂの印刷方向土手幅よりも小さくなっている。本実施形態では、Ｌ土手幅Ｌ３は、Ｌ土手幅Ｌ２と等しくなっている。上述したように、Ｌ土手幅Ｌ２は、Ｗ土手幅Ｗ２と等しくなっている。したがって、本実施形態では、Ｗ土手幅Ｗ３＞Ｌ土手幅Ｌ３＝Ｌ土手幅Ｌ２＝Ｗ土手幅Ｗ２となっている。

以上の構成を有する印刷用凹版１１では、Ｗ開口率を変更することで、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整できる。Ｗ開口率を７０％以上とすることで、セル１３に対する印刷方向土手１５の面積が過剰とならず、印刷ペーストの十分な流動によって印刷方向土手１５による非転写部分が十分に埋められる。Ｗ開口率を９０％以下とすることで、直交方向への印刷ペーストの流動性が保たれ、印刷方向土手１５と直交方向土手１６との直交部分による非転写部分が十分に埋められる。

また、印刷用凹版１１では、ピッチＬ／Ｗ比を０．６５以上とすることで、直交方向土手間距離が十分に保たれ、非転写部分が埋め込まれるまでの印刷ペーストの流動性を維持できる。ピッチＬ／Ｗ比を１．３以下とすることで、印刷方向における印刷ペーストの流動性を確保でき、印刷方向土手と直交方向土手との直交部分による非転写部分を速やかに埋めることができる。以上により、印刷用凹版１１では、形成される印刷パターンの表面粗さを抑えられる。

印刷用凹版１１では、印刷方向に隣り合う第１の切欠部２１，２１同士は、セル１３に対する印刷方向の位置が略同一となっている一方で、直交方向に隣り合う第１の切欠部２１，２１同士は、セル１３に対する印刷方向の位置が異なっている。また、印刷用凹版１１では、印刷方向に隣り合う第２の切欠部２２，２２同士は、セル１３に対する直交方向の位置が異なっている一方で、直交方向に隣り合う第２の切欠部２２，２２同士は、セル１３に対する直交方向の位置が略同一となっている。

この構成によれば、隣り合う第１の切欠部２１，２１同士を結ぶようにセル１３，１３間の直交方向の印刷ペースト流動経路Ｐ１が波状に形成され、隣り合う第２の切欠部２２，２２同士を結ぶようにセル１３，１３間の印刷方向の印刷ペースト流動経路Ｐ２が波状に形成される。また、隣り合う直交方向の印刷ペースト流動経路Ｐ１，Ｐ１の位相が略同一となり、隣り合う印刷方向の印刷ペースト流動経路Ｐ２，Ｐ２の位相が略同一となる。これにより、セル１３内での印刷ペーストの流れが均一化され、セル１３内に充填される印刷ペーストの厚さのばらつきが抑えられる。したがって、形成される印刷パターンの表面粗さを一層抑えることができる。

印刷用凹版１１では、複数のセル１３は、直交方向の中央側に位置する中央側セル１３Ａと、直交方向の側端に位置する側端セル１３Ｂとを有している。側端セル１３Ｂの印刷方向土手幅は、中央側セル１３Ａの印刷方向土手幅よりも大きくなっており、側端セル１３Ｂの開口面積Ｓ２は、中央側セル１３Ａの開口面積Ｓ１よりも小さくなっている。

このように、側端セル１３Ｂの印刷方向土手幅を中央側セル１３Ａの印刷方向土手幅よりも大きくし、側端セル１３Ｂの開口面積を中央側セル１３Ａの開口面積よりも小さくすることで、転写時の側端セルでの印刷ペーストの糸引きを抑制できる。これにより、中央側での印刷パターンの厚さに比べて側端での印刷パターンの厚さが大きくなる、いわゆるサドル現象（後述する）の発生を抑制できる。

印刷用凹版１１では、側端セル１３Ｂの直交方向土手幅は、側端セル１３Ｂの印刷方向土手幅よりも小さくなっている。側端セル１３Ｂの直交方向土手幅を抑えることで、側端セル１３Ｂによる印刷方向のペースト付着量に差が生じることを抑制できる。この結果、側端での印刷パターンの厚さのばらつきを抑えることが可能となる。また、側端での印刷パターンの直進性の向上も図られる。

また、本実施形態の積層型電子部品の製造方法では、上記印刷用凹版１１を用いることで、印刷ペーストの物性を変更することなく、形成される内部電極層又は段差吸収層の厚さを調整できる。また、形成される内部電極層又は段差吸収層の表面粗さを抑えられる。

以下、本開示の実施例について説明する。本実施例では、まず、図５に示すように、Ｗ開口率及びピッチＬ／Ｗ比と印刷パターンの厚さ及び表面粗さとの関係について評価試験を行った。この評価試験では、Ｗ開口率及びピッチＬ／Ｗ比が異なる複数の印刷用凹版のサンプルを作製した。印刷ペーストには、積層型電子部品の内部電極層の形成に用いられる電極ペーストを用い、当該電極ペーストをセラミックグリーンシートに転写した際の印刷パターンの厚さと表面粗さをそれぞれ測定した。印刷パターンの表面粗さは、マクロＲａ（一定の二次元領域における算術平均粗さ）を指標とした。

実施例１～８のそれぞれは、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たしている。実施例１～４では、Ｌ開口幅（直交方向土手間距離）及びＬ土手幅（直交方向土手幅）を一定とし、Ｗ開口幅（印刷方向土手間距離）及びＷ土手幅（印刷方向土手幅）を調整することで、Ｗ開口率及びピッチＬ／Ｗ比を上記範囲内で変えている。実施例５～８では、Ｗ開口幅（印刷方向土手間距離）、Ｗ土手幅（印刷方向土手幅）、Ｌ土手幅（直交方向土手幅）を一定とし、Ｌ開口幅（直交方向土手間距離）を調整することで、ピッチＬ／Ｗ比のみを上記範囲内で変えている。実施例１～８における各パラメータの具体的な数値は、図５に示すとおりである。

比較例１は、０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たしているが、Ｗ開口率＜７０％となっている。比較例２は、０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たしているが、Ｗ開口率＞９０％となっている。比較例３は、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たしているが、ピッチＬ／Ｗ比＜０．６５となっている。比較例４は、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たしているが、ピッチＬ／Ｗ比＞１．３となっている。比較例１～４における各パラメータの具体的な数値は、図５に示すとおりである。

図５に示すように、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たす実施例１～８では、印刷パターンの表面粗さを示すマクロＲａがいずれも１０ｎｍ未満であった。一方、７０％≦Ｗ開口率≦９０％及び０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３の一方を満たさない比較例１～４では、印刷パターンの表面粗さを示すマクロＲａが１５ｎｍ～５０ｎｍであった。この結果から、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たすことで、印刷パターンの表面粗さが抑えられることを確認できた。

図６は、Ｗ開口率と印刷パターンの厚さとの関係を示すグラフである。図６では、横軸にＷ開口率［％］、縦軸に印刷パターンの厚さ［μｍ］を示し、図５に示した実施例１～８及び比較例１～４のＷ開口率と印刷パターンの厚さとをそれぞれプロットしている。図６の結果から、Ｗ開口率が６５％～９５％の範囲において、Ｗ開口率の増加に伴って印刷パターンの厚さが０．３μｍ～０．６μｍの範囲で線形に増加していることが分かる。この結果から、Ｗ開口率を変更することで、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整できることが確認できた。

図７は、Ｌ開口率と印刷パターンの厚さとの関係を示すグラフである。図７では、横軸にＬ開口率［％］、縦軸に印刷パターンの厚さ［μｍ］を示し、図５に示した実施例１～８及び比較例１～４のＬ開口率と印刷パターンの厚さとをそれぞれプロットしている。図７の結果から、Ｌ開口率が７０％～９５％の範囲において、Ｌ開口率が増加した場合でも印刷パターンの厚さは０．５μｍ～０．６μｍの範囲でほぼ一定となっていることが分かる。このことから、Ｌ開口率の変更は、印刷パターンの厚さには寄与しないことが確認できた。

図８は、Ｗ開口率と印刷パターンの表面粗さとの関係を示すグラフである。図８では、横軸にＷ開口率［％］、縦軸に印刷パターンのマクロＲａ［ｎｍ］を示し、図５に示した実施例１～８及び比較例１～４のＷ開口率と印刷パターンのマクロＲａとをそれぞれプロットしている。図８の結果から、Ｗ開口率が７０％以上９０％以下の範囲では、印刷パターンのマクロＲａが１０ｎｍ以下に抑えられている。一方、Ｗ開口率が７０％未満及び９０％を超える場合では、印刷パターンのマクロＲａが３０ｎｍ～５０ｎｍとなっている。

図９は、ピッチＬ／Ｗ比と印刷パターンの表面粗さとの関係を示すグラフである。図９では、横軸にピッチＬ／Ｗ比、縦軸に印刷パターンのマクロＲａ［ｎｍ］を示し、図５に示した実施例１～８及び比較例１～４のピッチＬ／Ｗ比と印刷パターンのマクロＲａとをそれぞれプロットしている。図９の結果から、ピッチＬ／Ｗ比が０．６５以上１．３以下の範囲では、印刷パターンのマクロＲａが１０ｎｍ以下に抑えられている。一方、ピッチＬ／Ｗ比が０．５未満及び１．３を超える場合では、印刷パターンのマクロＲａが１５ｎｍ～３０ｎｍとなっている。

図６、図８、及び図９の結果を合わせると、印刷用凹版において、７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たすことで、印刷ペーストの物性を変更することなく印刷パターンの厚さを調整でき、且つ印刷パターンの表面粗さを抑えられると結論付けられる。

本実施例では、次に、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅とサドル高さとの関係について評価試験を行った。上述したように、サドル現象とは、転写時の側端セルでの印刷ペーストの糸引きに起因し、図１０に示すように、中央側での印刷パターンの厚さに比べて側端での印刷パターンの厚さが大きくなる現象である。ここでは、図１０に示すように、中央側での印刷パターンの高さＨ１に対する側端での印刷パターンの厚さのピーク高さＨ２の高さの差をサドル高さとして評価を行った。

図１１は、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅とサドル高さとの関係を示すグラフである。ここでは、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を中央側セルのＷ土手幅及びＬ土手幅と等しくしたサンプルＡを基準とし、サンプルＢでは、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を中央側セルのＷ土手幅及びＬ土手幅よりもそれぞれ３μｍずつ幅広とした。また、サンプルＣでは、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を中央側セルのＷ土手幅及びＬ土手幅よりもそれぞれ６μｍずつ幅広とした。

図１１に示すように、基準であるサンプルＡと比較して、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を幅広としたサンプルＢでは、サドル高さが０．０１５μｍ程度低減した。側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を更に幅広としたサンプルＣでは、サドル高さが０．０５５μｍ程度低減した。この結果から、側端セルのＷ土手幅及びＬ土手幅を中央側セルのＷ土手幅及びＬ土手幅に対して幅広にするほど、サドル高さの低減効果が高まる傾向があることが確認できた。

図１２は、印刷パターンのサドル高さ及び側端直進性に関する評価試験結果を示す図である。側端直進性は、図１３に示すように、転写後の印刷パターンにおける側端の凹凸の程度を示す指標である。ここでは、側端における直交方向の最大突出位置と最小突出位置との差Ｄの値を側端直進性の評価に用いた。差Ｄが大きい程側端直進性が低いことを示し、差Ｄが小さい程側端直進性が高いことを示している。また、ここでは、開口面積に準じたパラメータとして面開口率を用いている。面開口率は、印刷方向土手及び直交方向土手を含めたセルの全体の面積に対する開口の面積の割合である。面開口率は、Ｗ開口率とＬ開口率との積に一致する。

実施例９～１１では、いずれも側端セルの印刷方向土手幅が中央側セルの印刷方向土手幅よりも大きくなっている。実施例１１では、側端セルの直交方向土手幅と側端セルの印刷方向土手幅とが等しくなっているが、実施例９，１０では、側端セルの直交方向土手幅が側端セルの印刷方向土手幅よりも小さくなっている。また、実施例９～１１では、いずれも側端セルの開口面積が中央側セルの開口面積よりも小さくなっている。一方、比較例５では、側端セルの印刷方向土手幅が中央側セルの印刷方向土手幅と等しくなっている。また、比較例５では、側端セルの直交方向土手幅と側端セルの印刷方向土手幅とが等しくなっている。比較例５では、側端セルの開口面積と中央側セルの開口面積とが等しくなっている。

図１２に示すように、比較例５では、サドル高さが８０ｎｍ、側端部直進性が１２μｍであった。これに対し、実施例９～１１では、サドル高さが３０ｎｍ以下に低減した。このことから、側端セルの印刷方向土手幅を中央側セルの印刷方向土手幅よりも大きくし、側端セルの開口面積を中央側セルの開口面積よりも小さくすることがサドル現象の発生に寄与することが確認できた。また、実施例９，１０では、側端部直進性が７～８μｍに低減した。したがって、側端セルの直交方向土手幅を側端セルの印刷方向土手幅よりも小さくすることが側端直進性の向上に寄与することも確認できた。

１１…印刷用凹版、１３…セル、１３Ａ…中央側セル、１３Ｂ…側端セル、１５…印刷方向土手、１６…直交方向土手、２１…第１の切欠部、２２…第２の切欠部、Ｗ１…Ｗ開口幅（印刷方向土手間距離）、Ｗ２，Ｗ３…Ｗ土手幅（印刷方向土手幅）、Ｌ１…Ｌ開口幅（直交方向土手間距離）、Ｌ２，Ｌ３…Ｌ土手幅（直交方向土手幅）、Ｓ１…中央側セルの開口面積、Ｓ２…側端セルの開口面積。

Claims (5)

1. 印刷方向に伸びる印刷方向土手と、前記印刷方向に直交する直交方向土手とによって区画された複数のセルを備え、
   前記印刷方向土手には、隣り合う前記セル同士を前記直交方向に連通させる第１の切欠部が設けられ、
   前記直交方向土手には、隣り合う前記セル同士を前記印刷方向に連通させる第２の切欠部が設けられ、
   前記セルにおける印刷方向土手間距離と印刷方向土手幅との和に対する前記印刷方向土手間距離の比率をＷ開口率と規定し、
   前記セルにおける前記印刷方向土手間距離と前記印刷方向土手幅との和に対する直交方向土手間距離と直交方向土手幅との和の比率をピッチＬ／Ｗ比と規定した場合に、
   ７０％≦Ｗ開口率≦９０％を満たし、且つ０．６５≦ピッチＬ／Ｗ比≦１．３を満たす印刷用凹版。
2. 前記印刷方向に隣り合う前記第１の切欠部同士では、前記セルに対する前記印刷方向の位置が略同一となっている一方で、前記直交方向に隣り合う前記第１の切欠部同士は、前記セルに対する前記印刷方向の位置が異なっており、
   前記印刷方向に隣り合う前記第２の切欠部同士では、前記セルに対する前記直交方向の位置が異なっている一方で、前記直交方向に隣り合う前記第２の切欠部同士は、前記セルに対する前記直交方向の位置が略同一となっている請求項１記載の印刷用凹版。
3. 前記複数のセルは、前記直交方向の中央側に位置する中央側セルと、前記直交方向の側端に位置する側端セルと、を有し、
   前記側端セルの印刷方向土手幅は、前記中央側セルの印刷方向土手幅よりも大きくなっており、
   前記側端セルの開口面積は、前記中央側セルの開口面積よりも小さくなっている請求項１又は２記載の印刷用凹版。
4. 前記側端セルの直交方向土手幅は、前記側端セルの印刷方向土手幅よりも小さくなっている請求項３記載の印刷用凹版。
5. 請求項１～４のいずれか一項記載の印刷用凹版を用いて内部電極層又は段差吸収層を形成する工程を含む積層型電子部品の製造方法。