JP7741631B2 - 搬送ハンド - Google Patents

Description

本発明は、搬送ハンドに関する。

半導体デバイスを製造するためのウエハまたは液晶表示デバイスを製造するためのガラスプレートなどの基板を被搬送物とする搬送装置では、一般的に、吸引パッド(attraction pad)を有する搬送ハンドで被搬送物を吸引保持して搬送する。被搬送物に反りやひずみが発生していると、被搬送物を吸引保持する際、被搬送物の表面（被吸引面）と吸引パッドの吸引面とが合致せず、隙間が生じる。この隙間から空気が吸引パッド内に流入すると、吸引パッドによる被搬送物の吸引力（attraction force）が低下し、吸引吸引被搬送物の良好な吸引保持状態を保てなくなる。そこで、吸引パッドをばね構造または弾性部材で支持し、パッドの吸引面を被搬送物の表面の形状にならわせることで、吸引時に被搬送物と吸引面を合致させ、空気の流入を防ぐ搬送ハンドが提案されている（特許文献１及び特許文献２参照）。

特願２０１７－１０７０６６号公報 特開２０１５－１０３６９６号公報

特許文献１及び特許文献２の構造では、吸引パッドの構造が複雑化するためにパッドの厚さが増加しうる。この場合、搬送ハンドが厚くなり、被搬送物の搬送において、被搬送物と搬送ハンドが、他の装置などと干渉する可能性がある。

本発明は、被搬送物を安定して搬送するための搬送ハンドの構造の単純化に有利な技術を提供する。

本発明の１つの側面は、物体を搬送する搬送ハンドに係り、前記搬送半戸は、基部と、前記基部に配置され、前記物体を吸引する第１吸引パッドと、前記第１吸引パッドよりも弱い力で前記物体を吸引する第２吸引パッドとを含み、前記第１吸引パッドと前記第２吸引パッドとは、前記第１吸引パッドと前記第２吸引パッドとの間に前記物体の重心位置が配置されるように配置され、前記第１吸引パッドは、前記第１吸引パッドの中心と前記第２吸引パッドの中心とを通る仮想線に交差する方向に細長く、前記方向における前記第２吸引パッドの寸法は、前記方向における前記第１吸引パッドの寸法より小さい。

本発明によれば、被搬送物を安定して搬送するための搬送ハンドの構造の単純化に有利な技術が提供される。

一実施形態の搬送ハンドの構成を示す概略図。 第１吸引パッドの構成を示す概略平面図（ａ）および概略断面図（ｂ）。 第２吸引パッドの構成を示す概略平面図（ａ）および概略断面図（ｂ）。 第１吸引パッドの他の構成例を示す概略平面図。 第１吸引パッドの別の構成例（ａ）および更に別の構成例を示す概略断面図。 第１吸引パッドの変形例を示す概略図。 一実施形態の搬送ハンドの変形例を示す概略図。 一実施形態の搬送ハンドの他の変形例を示す概略図。 他の実施形態の搬送ハンドの構成を示す概略図。

以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられても良い。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。

本明細書において、「吸引」は、被搬送物等の物体に対して吸引力（attractiveforce）を作用させることを意味する。吸引は、例えば、圧力差を利用する吸引（例えば、真空吸引）であってもよいし、電磁力を利用する電磁吸引でもよいし、静電力を利用する静電吸引であってもよいし、他の方式の吸引であってもよい。

図１は、一実施形態の搬送ハンド１０の構成を示す概略図である。搬送ハンド１０は、被搬送物（物体）Ｗを搬送する搬送装置の可動部に取り付けられうる。被搬送物Ｗは、例えば、半導体デバイスを製造するためのウエハまたは液晶表示デバイスを製造するためのガラスプレートなどの基板でありうる。搬送ハンド１０は、被搬送物Ｗを吸引することによって被搬送物Ｗを保持する。搬送ハンド１０は、被搬送物Ｗに対向する対向面ＯＳを有する。本明細書および図面では、対向面ＯＳに平行な面をＸＹ平面、対向面ＯＳに直交する方向をＺ軸とするＸＹＺ座標系において方向を例示する。

図１に示すように、搬送ハンド１０は、搬送ハンド１０の本体を構成する基部１１と、基部１１に配置された複数の支持部としての第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３を備えうる。搬送ハンド１０は、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３に対して吸引力を与えるためのラインを備えうる。一例において、該ラインは、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３に連通する空気流路１４であり、空気流路１４には、吸引力供給源Ｖ１が接続されうる。吸引力供給源Ｖ１は、例えば、真空ポンプおよび制御弁を含み、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３に対して負圧を提供しうる。第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３は、被搬送物Ｗの裏面に接触して被搬送物Ｗを支持し、被搬送物Ｗに対して負圧による吸引力を作用させうる。第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３とは、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３との間に被搬送物Ｗの重心位置Ｇが配置されるように配置されうる。対向面ＯＳは、複数の支持部（この例では、第１吸引パッド１２、第２吸引パッド１３）によって被搬送物Ｗが支持された状態で被搬送物Ｗと対向する。一例において、第２吸引パッド１３は、対向面ＯＳ（あるいはＸＹ面）に平行な方向における最大寸法が、第１吸引パッド１２よりも小さい。

図２（ａ）は、第１吸引パッド１２の平面図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ－Ａ線の断面図である。第１吸引パッド１２は、被搬送物Ｗを支持する凸部（バンク）１２１を含みうる。凸部１２１は、被搬送物Ｗの吸引のために吸引力供給源Ｖ１によって減圧される吸引空間（吸引溝）１２２を取り囲むように構成されうる。凸部１２１は、被搬送物Ｗを保持するときに被搬送物Ｗと接触する接触面を有する。第１吸引パッド１２はまた、吸引空間１２２に連通した吸引孔１２３を含みうる。吸引孔１２３は、空気流路１４に連通している。ここで、凸部１２１のＺ方向における上面と、該上面によって取り囲まれた部分とで構成される領域を保持面１２４として定義する。吸引空間１２２には、空気の吸引を制限する障壁部１２５が設けられてもよい。障壁部１２５は、凸部１２１と同一の高さ（Ｚ方向の寸法）を有してもよいし、凸部１２１よりも低い高さ（Ｚ方向の寸法）を有してもよい。障壁部１２５は、障壁部１２５によって相互に部分的に仕切られた複数の部分空間（図５では４つの部分空間）を吸引空間１２２において定義するように配置されうる。

図３（ａ）は、第２吸引パッド１３の平面図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）のＢ－Ｂ線の断面図である。第１吸引パッド１２と同様に、第２吸引パッド１３は、被搬送物Ｗを支持する凸部（バンク）１３１を含みうる。凸部１３１は、被搬送物Ｗの吸引のために吸引力供給源Ｖ１によって減圧される吸引空間（吸引溝）１３２を取り囲むように構成されうる。凸部１３１は、被搬送物Ｗを保持するときに被搬送物Ｗと接触する接触面を有する。第２吸引パッド１３はまた、吸引空間１３２に連通した吸引孔１３３を含みうる。吸引孔１３３は、空気流路１４に連通している。ここで、凸部１３１のＺ方向における上面と、該上面によって取り囲まれた部分とで構成される領域を保持面１３４として定義する。

一例において、保持面１３４の中心からの保持面１３４の外縁までの距離は、保持面１２４の中心から保持面１２４の外縁までの距離よりも、全方位において小さい。一例において、吸引空間１３２の面積（ＸＹ平面に平行な面における面積）は、吸引空間１２２の面積（ＸＹ平面に平行な面における面積）よりも小さい。換言すると、第２パッド１３が被搬送物Ｗに接触する領域の外縁によって囲まれる面積（保持面１２４の面積）は、第１吸引パッド１２が被搬送物Ｗに接触する領域の外縁によって囲まれる面積（保持面１３４の面積）より小さい。また、一例において、吸引空間１３２の中心から吸引空間１３２の外縁までの距離は、吸引空間１２２の中心から吸引空間１２２の外縁までの距離は、全方位において小さい。

一般に、搬送ハンドによる被搬送物の搬送では、搬送時に被搬送物にかかる力によって被搬送物が搬送ハンド上で動かないよう、搬送ハンドによって被搬送物を保持する必要がある。被搬送物を保持するためには、複数の支持部（吸引パッド）は、並進成分の力と回転成分の力との双方の影響を保持力によって打ち消す必要がある。被搬送物の保持では、主に吸引パッドによる吸引力が保持力として利用される。

回転成分の力については、被搬送物の重心位置から吸引パッドが離れていることに起因して、並進成分の力の影響の全てをこの吸引パッドによる保持力によって打ち消せない場合がありうる。１つの吸引パッドの保持力が十分に高い場合、他の吸引パッドは、その影響を打ち消せない力、つまり回転成分の力のみを打ち消せればよい。吸引パッドの配置および被搬送物の配置にもよるが、例えば、保持力が高い方の吸引パッドを被搬送物の重心位置により近い位置に配置すれば、回転成分の力の影響を打ち消すための力をより小さくすることができる。本実施形態では、第１吸引パッド１２による被搬送物Ｗの保持力は、第２吸引パッド１３による被搬送物Ｗの保持力よりも大きい。換言すると、第２吸引パッド１３は、第１吸引パッド１２よりも小さい保持力で被搬送物Ｗを保持する。ここで、第１吸引パッド１２の凸部１２１のＸＹ面における寸法を大きくすることは、回転成分の力の影響を打ち消す力を高めるために有利である。これにより、第２吸引パッド１３に要求される保持力を小さくすることができる。

吸引パッドの最大保持力Ｆは、吸引力Ｆ_Ｐ、被搬送物Ｗから受ける荷重Ｆ_Ｇ、および、吸引パッド（凸部）と被搬送物Ｗとの摩擦係数μを使って、
Ｆ＝μ×（Ｆ_Ｐ＋Ｆ_Ｇ）
という式で表現されうる。

被搬送物の搬送方向および搬送速度などの搬送条件によっては、荷重による摩擦保持力（μ×Ｆ_Ｇ）のみで被搬送物を保持することも可能である。一方、近年、半導体製造装置全体のスループットの向上のため、搬送速度の高速化や、吸引パッドを重心位置に近い位置に配置できなくなることで、各吸引パッドで、より高い保持力が求められるようになってきている。保持力を増加させるために、荷重による保持力のみならず吸引力による保持力を利用することが求められている。吸引パッドによって高い吸引力を得るためには、例えば、吸引に負圧を利用している場合は、吸引パッド内の負圧を高く保つ必要がある。

一方で、搬送ハンドで被搬送物を搬送するために被搬送物を搬送ハンド上に配置すると、非吸引時において、被搬送物の反りおよびひずみなどにより、被搬送物と吸引面との間の平行度が大きくなる場合がある。ここで、平行度は、その値が大きいほど、２つの面の間の平行からのずれが大きいことを意味する。被搬送物の吸引時において平行度が大きいと、被搬送物と吸引面との間に隙間が生じ、空気吸引の場合、この隙間を通して吸引空間に空気が流入する。吸引空間に空気が流入すると、吸引パッド内で被搬送物を吸引保持するために必要な負圧、つまり吸引力を確保できなくなることがある。また、同一の吸引力供給源によって複数の吸引パッドの吸引空間の空気を吸引する場合、吸引空間への空気の流入が起きていない吸引パッドにおいても、負圧が低下し、吸引力による被搬送物の搬送がより不利になることがある。

被搬送物と吸引面との間の平行度は、吸引パッドの数が多いほど生じやすい。これは、被搬送物の反りおよびひずみの影響が複数の吸引パッドのそれぞれにおいて互いに異なる平行度として現れるからである。被搬送物と複数の吸引パッドとの間の接触は、最も面接触しやすい吸引パッドの吸引面と被搬送物との面接触が始まる。面接触が起こりやすい吸引パッドは、主に、吸引力と、吸引パッドの形状と、吸引開始前の被搬送物と吸引パッドの吸引面との平行度とによって決まりうる。被搬送物と１つ目の吸引パッドの吸引面との面接触では、被搬送物を傾斜させ、かつ被搬送物を吸引面と面接触できる形状になるように微小に変形させる力、つまり被搬送物を矯正する力だけが必要である。この力は、吸引パッドの負圧による吸引力によるものである。一方、２つ目以降の吸引パッドの吸引面と被搬送物との面接触では、より強い吸引力（負圧）が必要となる。これは、１つ目の吸引パッドの吸引面と被搬送物との面接触によって、他の吸引パッドの吸引面と被搬送物との間の平行度のずれが増大することによって起こりうる。また、２つ目以降の吸引パッドの吸引面を被搬送物と面接触させるためには、１つ目の吸引パッドの吸引面と２つ目以降の吸引パッドの吸引面とに倣うように被搬送物を変形させる必要がある。

１つ目の吸引パッドの吸引面と被搬送物とが面接触していることによって、２つ目の吸引パッドの吸引面と被搬送物との間の平行度が大きくなる。そのため、２つ目の吸引パッドの吸引空間に対して空気が流入しやすく、負圧が確保しにくくなり、被搬送物を２つ目の吸引パッドの吸引面に倣うよう矯正させる力を確保しにくくなる。そこで、これまでは、複数の吸引パッドで被搬送物を安定して保持するために、該複数の吸引パッドのそれぞれの吸引力を大きく方向で検討がなされてきた。例えば、特許文献１などでは、各パッドの吸引面が被搬送物に倣うように吸引パッドが変形することを可能にしている。これにより、各吸引面が被搬送物と面接触し、負圧を保ち、十分な吸引保持力を維持する。

一方、搬送ハンドを用いる装置では、搬送ハンドが他の構造と干渉しないように搬送ハンドの寸法の制限があることがある。寸法の制限には、厚さに対するものもある。特許文献１および特許文献２のようなパッドの構造を採用しようとすると、パッドが厚くなってしまう。そこで、吸引パッドを薄くために有利で、かつ、被搬送物を十分な保持力で保持可能な搬送ハンドが求められる。もちろん、厚さに制限がない場合には、このような搬送ハンドには、吸引パッドを可動にするような機構が組み込まれてもよい。

以下では、本実施形態の搬送ハンド１０の利点について説明する。搬送ハンド１０によって被搬送物Ｗを保持する時、被搬送物Ｗの反りおよびひずみが小さい場合は、第１吸引パッド１２の吸引面１２４および第２吸引パッド１３の吸引面１３４の双方が被搬送物Ｗと面接触する。一方、被搬送物Ｗの反りおよびひずみが大きくなると、第１吸引パッド１２の吸引面１２４および第２吸引パッド１３の吸引面１３４の双方を被搬送物Ｗに面接触させることができない。本実施形態の搬送ハンド１０の構成によれば、被搬送物Ｗと面接触しない吸引面は、第２吸引パッド１３の吸引面１３４となりやすい。これは、第１吸引パッド１２の吸引面１２４の方が、第２吸引パッド１３の吸引面１３４よりも被搬送物Ｗと面接触しやすい構成を有するからである。

図１に示すように、第１吸引パッド１２は、負圧を形成する吸引空間１２２の面積が第２吸引パッド１３の吸引空間１３２の面積よりも大きい。これにより、吸引パッド１２は、吸引パッド１３よりも高い吸引力（および保持力）を得やすい。また、吸引面１２４は、吸引面１３４よりも、ＸＹ面に沿った方向で重心位置Ｇを中心とした仮想円の接線方向への寸法が大きい。そのため、非吸引時においても、第１吸引パッド１２の吸引面１２４は、第２吸引パッド１３の吸引面１３４よりも、複数点、或いは、面で被搬送物Ｗを支持しやすい。例えば、第１吸引パッド１２の吸引面１２４が２点で被搬送物Ｗを支持する場合、吸引面１２４と被搬送物Ｗとの平行度を小さくしやすい。平行度が小さくなると、被搬送物Ｗを吸引面１２４に倣わせるために、傾斜させたり、矯正したりするために必要な吸引力を小さくすることができる。そのため、吸引の開始時に、第１吸引パッド１２の吸引面１２４は、第２吸引パッド１３の吸引面１３４よりも早く被搬送物Ｗを吸引し保持しやすい。

一方、本実施形態の搬送ハンド１０の構造では、第２吸引パッド１３の吸引面１３４を被搬送物Ｗと面接触しにくい構成にしたため、被搬送物Ｗと吸引面１３４との面接触が起きにくく、吸引空間１３２に空気が流入しうる。吸引空間１３２への空気の流入が起こることにより、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３の負圧が低下する（つまり、大気圧に近くなる）。しかし、吸引面１３４が小さい構成では、吸領域１３４と被搬送物Ｗとの間に生じる隙間も小さいので吸引空間１３２に流入しようとする空気は、吸引面１３４と被搬送物Ｗによって強い圧損を受ける。この圧損により、吸引空間１３２に流入する空気の量が制限されるので、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３の負圧の低下が制限される。

前述したように、被搬送物Ｗの搬送時に受ける力の並進成分と回転成分の双方の影響（つまり、並進、回転）を保持力によって打ち消すことができれば、被搬送物Ｗを搬送ハンド１０に対して並進、回転させることなく搬送することができる。そこで、搬送条件に応じ、必要量の負圧（吸引力）を確保し、その負圧によって並進成分の力の影響を打ち消す保持力で被搬送物Ｗを保持することができるように、第１吸引パッド１２の吸引空間１２２の面積が決定されうる。また、回転成分の力の影響を打ち消す保持力で被搬送物Ｗを保持することができるように、第２吸引パッド１３の吸引空間１３２の面積が決定されうる。

これにより、被搬送物Ｗを搬送ハンド１０に対して並進、回転させることなく被搬送物Ｗを保持し搬送することができる。本実施形態によれば、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３によって被搬送物Ｗを安定して保持することができ、また、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３の構造を単純化することができる。特に、Ｚ方向に関しては、凸部１２１および凸部１３１の高さ分のスペースがあればよい。そのため、本実施形態は、被搬送物Ｗの保持力を確保しつつ搬送ハンド１０の厚さを薄くするために有利である。構造の単純化は、搬送ハンド１０の生産コストの低減、生産性の向上、耐久性の向上にも有利である。

以下、搬送ハンド１０のより詳細な構成例を説明する。吸引パッドの数は２つに限定されないが、被搬送物Ｗを支持しにくいなど、他に大きなトレードオフの要因がなければ、２つであることが好ましい。これは、３つ以上の吸引パッドがある場合、１つの吸引パッドの吸引面が被搬送物Ｗと面接触すると、他の２つ以上の吸引パッドの吸引面を被搬送物と面接触させることが難しくなるためである。これにより、他の２つ以上の吸引パッドの吸引空間に対する空気の流入が起きるため、各吸引パッドの吸引空間における負圧がより減少しやすくなる。なお、空気の流路を複数設けることができれば、この問題を回避できるが、構造が複雑化し汎用性やコストの面で不利である。また、吸引パッドの個数を増やすと、被搬送物Ｗの支持点がそれらの吸引パッドに分散されるため、１つ目に面接触する吸引パッドの面接触で不都合が生じやすい。しかし、吸引パッドの個数の増加がもたらす問題は、複数の吸引パッドを近接して配置することによって解決されうる。また、被搬送物の反りおよびひずみの形状の傾向が定まっている場合や、被搬送物が自重などで変形し、３つ以上の支持点で支持できる場合は、３つ以上の吸引パッドが設けられてもよい。

第２吸引パッド１３の吸引面１３４は、第１吸引パッド１２の吸引面１２４との比較において十分に小さいことが好ましい。これは、第２吸引パッドの吸引面１３４が大きいと、吸引面１３４と被搬送物Ｗとの隙間が大きくなり、負圧が低下するからである。一方で、吸引力は、負圧の大きさと吸引溝１３２の面積とに依存する。負圧の低減を防ぐためには、吸引面１３４と被搬送物Ｗとの隙間を小さくし、かつ、吸引空間１３２への空気の流入を制限する圧損領域が形成されるように凸部１３１の幅を十分に確保するべきである。つまり、吸引パッド１３に要求される吸引力に応じて、吸引面１３４の大きさ、凸部１３１の幅、吸引空間１３２の面積などが決定されうる。本実施形態の効果を得やすくするためには、吸引面１３４を小さくする方向で搬送ハンド１０を設計する方が好ましい。なお、被搬送物Ｗの反りおよびひずみの大きさなどを含む搬送条件によっては、吸引面１３４は大きくなるが、吸引支持部１３１の幅を広くしたり、吸引空間１３２の面積を大きくしたりすることが要求されることもありうる。

吸引の開始前における吸引面１３４と被搬送物との相対位置が不明または不定である場合は、吸引パッド１３の構造をＺ軸に平行な線に対し点対称にするとよい。例えば、吸引面１３４などを円形状とすることができる。これは、被搬送物が吸引面１３４のどの位置で支持されても、吸引面１３４と被搬送物との隙間を小さくし、吸引空間１３２への空気の流入を少なく抑えるために有利である。

一方で、例えば、いずれの被搬送物も重心位置に対して点対称に反る場合は、吸引面１３４は、重心位置Ｇを中心とする円周方向に長く、半径方向に短い構造を有してもよい。これは、吸引面１３４の隙間が変化する方向が被搬送物の半径方向に沿っているので、隙間を小さくするために有利である。これにより、負圧を形成する吸引空間１３２の面積を大きくし、第１吸引パッド１３の吸引力を高めることができる。吸引パッド１３の吸引空間１３２の面積が小さい場合は、吸引空間１３２の領域をすべて吸引孔１３３の領域にしてもよい。

吸引面１２４は、被搬送物Ｗの大きさ、および、被搬送物Ｗの搬送ハンド１０への配置精度を考慮し、非吸引時に被搬送物Ｗを落下させず、被搬送物Ｗをバランスよく配置できるようにすることが好ましい。そのため、吸引面１２４は、ＸＹ平面における１又は複数の方向に細長い形状を有してもよい。吸引面１２４は、例えば、基部１１の長軸方向に細長い形状を有してもよいし、重心位置Ｇを中心とする円周方向に細長い形状を有してもよいし、第１吸引パッド１２の中心と第２吸引パッド１３の中心とを通る仮想線に直交する方向に細長くてもよい。吸引面１２４は、吸引前に被搬送物Ｗを支持しやすいよう、重心位置Ｇを起点とした円の接線方向に寸法が長いことが好ましい。

図２（ａ）に例示されるように、第１吸引パッド１２は、凸部１２１の中に障壁部１２５を含みうる。障壁部１２５は、吸引孔１２３への空気の流入を制限するように圧損を生じさせうる。これにより、吸引パッド１２の吸引空間１２２における減圧を障壁部１２５によって部分的に仕切られた複数の部分空間で順に行うことができる。これにより、被搬送物Ｗの形状の矯正を段階的に進めることができるので、吸引面１２４と被搬送物Ｗとの隙間を段階的に小さくすることができる。これは、被搬送物Ｗと吸引面１２４との面接触を容易にするために有利である。障壁部１２５の数および配置、障壁部１２５間の間隔は、被搬送物Ｗの反りおよびひずみの大きさなどに応じて決定されうる。例えば、最初に減圧する部分空間（吸引孔１２３に最も近い部分空間）の面積および障壁部１２５は、その部分領域の負圧による吸引力によって吸引面１２４のうち当該部分空間に面する部分が被搬送物Ｗと面接触するように決定されうる。これは、吸引面１２４と被搬送物Ｗとを吸引の開始後のより早いタイミングで部分的に面接触させるために有利である。これにより、第２吸引パッド１３の吸引面１３４が第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとの面接触に対して与える悪影響が小さいうちに第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとを面接触させることができる。

また、障壁部１２５は、吸引パッド１２の配置、被搬送物Ｗの反りおよびひずみの形状のために非吸引時に第１吸引パッド１２の吸引面１２４の長辺方向の一端で隙間が一時的に大きくなることを許容しうる。この場合、吸引パッド１２の吸引空間１２２において障壁部１２５によって部分的に仕切られた複数の部分領域が順に減圧され、該複数の部分領域の上に隙間が順に小さくなることを可能にする。これにより、当初は隙間が大きかった部分も徐々に隙間が小さくなっていき、それによって生じる圧損が空気の流入を小さくし、部分空間の減圧を容易にする。したがって、吸引面１２４と被搬送物Ｗとの面接触が容易になる。この効果を高めるため、可能であれば、隙間が小さい位置の部分領域から減圧を行うのが好ましい。これは、隙間が小さい位置では、部分領域への空気の流入が少なく、減圧を確実に行うことができるためである。

図４には、空気の流れを制限する障壁部１２５の他の構成例が模式的に示されている。図４に例示されるように、凸部１２１と障壁部１２５との間に隙間を形成し、この隙間が流路とされてもよい。図５（ａ）には、障壁部１２５の別の構成例が模式的に示されている。図５（ａ）に例示されるように、障壁部１２５の上面と吸引面１２４との間に隙間を設けて、この隙間が流路とされてもよい。この場合、吸引される空気が吸引孔１２３の方向に流れることによって、ベルヌイチャックのように、被搬送物Ｗを吸引する力が発生しうる。また、吸引面１２４と被搬送物Ｗとが面接触した状態では、障壁部１２５の上面と吸引面１２４との間の空間も負圧によって被搬送物Ｗに吸引力を作用する。図５（ｂ）には、障壁部１２５の更に別の構成例が模式的に示されている。図５（ｂ）に例示されるように、障壁部１２５と、吸引空間１２２の下面を規定する底面との間に隙間を設けて、この隙間が流路とされてもよい。

第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３とは、被搬送物Ｗの重心位置Ｇに関して点対称な位置に配置されてもよいし、被搬送物Ｗの重心位置Ｇに関して点対称ではない位置に配置されてもよい。例えば、第１吸引パッド１２と重心位置Ｇとの距離が第２吸引パッド１２と重心位置Ｇとの距離より小さいように第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３とを配置することができる。この場合、第１吸引パッド１２が被搬送物Ｗを保持しやすくなり、第２吸引パッド１３が被搬送物Ｗの搬送において必要とする保持力を小さくすることができる。

第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３との距離は、被搬送物Ｗの大きさ、反りおよびひずみの程度等に応じて決定されうる。ここで、第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとの平行度と第２吸引パッド１３の吸引面１３４と被搬送物Ｗとの平行度との差は、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３との距離が大きくなるに従って大きくなりうる。

空気流路１４は、空気流路１４における圧損が生じにくい形状を有することが好ましい。これは、圧損が生じにくければ、空気の流量が増え、吸引面１２４が被搬送物Ｗとより面接触しやすく、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３でより高い負圧を確保でき、高い保持力を得ることができるからである。一方で、空気流路１４の分岐箇所から第２吸引パッド１３までの区間の圧損を該分岐箇所から第１吸引パッド１２までの圧損よりも大きくしてもよい。ここで、該分岐箇所は、第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３とに対して共通の流路から第１吸引パッド１２と第２吸引パッド１３とに分岐する箇所である。このような構成は、第１吸引パッド１２の吸引面１２４を第２吸引パッド１３の吸引面１３４よりも優先的に被搬送物Ｗに面接触させるため有利である。また、このような構成は、第２吸引パッド１３の吸引空間１３２への空気の流入による負圧の低減を第１吸引パッド１２で受けにくくするために有利である。吸引力供給源Ｖ１から第２吸引パッド１３までの空気流路１４の長さを、吸引力供給源Ｖ１から第１吸引パッド１２までの空気流路１４の長さよりも長くしてもよい。

被搬送物Ｗの反りおよびずみの形状などによっては、第２吸引パッド１３の吸引面１３４が第１吸引パッド１２の吸引面１２４よりも先に被搬送物Ｗと面接触してしまい、第１吸引パッド１２の吸引面１２４が被搬送物Ｗと面接触できない可能性がある。例えば、吸引の開始時において第２吸引パッド１３の吸引面１３４と被搬送物Ｗとの平行度が第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとの平行度より小さいと、このようなことが起こりうる。これを回避するために、第２吸引パッド１３の凸部１３１に隙間形成部を設けてもよい。隙間形成部は、第２吸引パッド１３と被搬送物Ｗとが接触した場合においても、被搬送物Ｗと凸部１３１との間に隙間を形成する。隙間形成部は、例えば、凸部１３１に凸部または凹部を設けることによって構成されうる。あるいは、隙間形成部は、凸部１３１の上面の平面度を大きくすることによって提供されてもよく、一例において、第２吸引パッド１３の凸部１３１の上面の平面度は、０．００５以上にされうる。あるいは、第２吸引パッド１３の凸部１３１の上面の平面度は、第１吸引パッド１２の凸部１２の上面の平面度より大きくされうる。これにより、吸引面１３４と被搬送物Ｗとの平行度が小さい場合においても、第２吸引パッド１３による被搬送物Ｗの吸引力を小さくすることができる。第２吸引パッド１３による被搬送物Ｗの吸引力を小さくすることによって、仮に第２吸引パッド１３の吸引面１３４が被搬送物Ｗと面接触に近い状態になっても、吸引面１３４が被搬送物Ｗから離れやすくなる。したがって、第１吸引パッド１２の吸引面１２４が被搬送物Ｗに面接触しやすくなる。この手法によれば、第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとがより面接触しやすくなるが、第２吸引パッド１３による被搬送物Ｗの保持力は低くなりやすいというトレードオフがある。そのため、この手法は必ずしも適切というわけではない。

基部１１は、例えば、セラミック、金属、またはプラスチックなどの材料で構成されうる。基部１１は、その自重による変形の影響が少ない材料、即ち硬くて軽い材料で構成されることが好ましい。具体的には、基部１１は、アルミナまたはＳｉＣで構成されうる。第１吸引パッド１２、第２吸引パッド１３の凸部１２１、１３１は、例えば、セラミック、金属、プラスチック、またはゴムなどの材料で構成されうる。第１吸引パッド１２、第２吸引パッド１３の凸部１２１、１３１は、耐久性が高い材料で構成されることがこのまましい。凸部を柔らかい材料で構成することは、吸引面と被搬送物Ｗとの面接触を容易にするために有利である。そのため、第１吸引パッド１２の凸部１２１は、耐久性の条件を満たしていれば、ゴムのように、柔らかく弾性領域が広い材料で構成されることが有利である。また、耐久性が求められる場所では、第１吸引パッド１２の凸部１２１は、硬いセラミックまたは金属で構成されうる。具体的には、第１吸引パッド１２の凸部１２１は、アルミナ、ＳｉＣまたはＴｉＯ_２等のセラミック材料、または、ＳＵＳまたはアルミといった材料で構成されうる。第２吸引パッド１３の凸部１３１は、吸引面１３４と被搬送物Ｗとの面接触を避ける場合は、硬くて耐久性が高い材料、例えば、セラミックまたは金属で構成されうる。具体的には、第２吸引パッド１３の凸部１３１は、アルミナ、ＳｉＣ、ＴｉＯ_２等のセラミック、または、ＳＵＳまたはアルミといった材料で構成されうる。

吸引パッド１２、１３が有する吸引孔の数は、１つには限定されない。例えば、吸引パッド１２に吸引孔１２３を設ける代わりに、吸引空間１２２を直接に空気流路１４に連通させてもよい。これは、吸引空間１２２と空気流路１４との間での圧損を低減するために有利である。また、例えば、１つの吸引空間１２２に複数の吸引孔を設けてもよい。これにより、例えば、吸引の開始時に吸引面１２４のどの位置に被搬送物Ｗとの隙間が存在しても、吸引面１２４を被搬送物Ｗに安定して面接触させることが容易になる。また、例えば、図６に例示されるように、吸引パッド１２の吸引空間１２２を障壁部１２５によって２以上の部分空間に分割し、部分空間ごとに空気流路１４に連通させる吸引孔１２３が設けられてもよい。ここで、複数の吸引孔１２３のそれぞれにおける圧損を調整してもよい。

搬送条件によっては、被搬送物の搬送に要する保持力が小さくてもよい場合があり、そのような場合は、第２吸引パッド１３は、被搬送物Ｗを吸引することなく接触によって支持する１又は複数の接触支持部で置き換えられてもよい。このような場合は、第１吸引パッド１２の吸引面１２４が被搬送物Ｗと面接触しやすく、第２吸引パッド１３の吸引空間１３２への空気の流入による第１吸引パッド１２の吸引空間１２２の負圧の減少がなくなる。そのため、第１吸引パッド１２の保持力を向上させることができる。この場合、第２吸引パッド１３の代わりに設けられる１又は複数の接触支持部は、被搬送物Ｗの荷重による摩擦力で被搬送物Ｗを保持するため、摩擦係数が高い構成を有することが好ましい。該１又は複数の接触支持部は、例えば、ゴムなどの部材で構成されうる。ゴムなどの柔らかい部材で構成された接触支持部によって被搬送物Ｗを支持すると、被搬送物Ｗの荷重によって該接触支持部がＺ方向に伸縮し、かつ伸縮量に応じて反発力が変わる。これにより、吸引時に、第１吸引パッド１２の吸引面１２４と被搬送物Ｗとが面接触しやすくなる。第１吸引パッド１２の吸引面１２４を内包する最小の正多角形の最大寸法は、１又は複数の接触支持部を内包する最小の正多角形の最大寸法より大きいことが好ましい。あるいは、第１吸引パッド１２の吸引面１２４を内包する最小の正多角形の面積は、１又は複数の接触支持部を内包する最小の正多角形の面積より大きいことが好ましい。

搬送ハンド１０が備える支持部あるいは吸引パッドの個数は、特定の個数に限定されない。例えば、図７に例示されるように、第１吸引パッド１２が複数の吸引パッド１２Ａで置き換えられてもよい。複数の吸引パッド１２Ａは、第１吸引保持部を構成し、吸引パッド１３は、第２吸引保持部を構成しうる。第１吸引保持部の吸引面を内包する最小の正多角形の最大寸法は、第２吸引保持部の吸引面を内包する最小の正多角形の最大寸法より大きいことが好ましい。あるいは、第１吸引保持部の吸引面を内包する最小の正多角形の面積は、第２吸引保持部の吸引面を内包する最小の正多角形の面積より大きいことが好ましい。第１吸引保持部が被搬送物Ｗに作用させる吸引力の最大値は、第２吸引保持部が被搬送物Ｗに作用させる吸引力の最大値より大きいことが好ましい。第１吸引保持部を構成する複数の吸引パッド１２Ａは、互いに近接して配置されることができ、これは第１吸引保持部を複数の吸引パッド１２Ａで構成したことによる吸引力の低下を抑制するために有利である。

例えば、図８に例示されるように、第２吸引パッド１３は、複数の吸引パッド１３Ａで置き換えられてもよい。この場合、複数の吸引パッド１３Ａは、相互に近接して配置されるとよい。これにより、吸引時に複数の吸引パッド１３Ａに対する空気の流入量を一定以下に抑えることができ、複数の吸引パッド１３Ａの吸引面と被搬送物Ｗとの隙間を小さくすることができる。また、第１吸引パッド１２による被搬送物Ｗの支持が容易になる。よって、複数の吸引パッド１３Ａを第２吸引パッド１３と同様に機能させることができる。

また、複数の吸引パッド１２Ａのうち、幾つかを吸引構造を持たない接触支持部で支持部材に置き換えてもよいし、複数の吸引パッド１３Ａのうち、幾つか、または、すべてを接触支持部で支持部材に置き換えてもよい。

搬送ハンド１０は、複数の支持部を有し、該複数の支持部は、少なくとも１つの吸引パッドを含みうる。該複数の支持部は、３以上の支持部であってもよい。該複数の支持部は、１又は複数の吸引パッドの他に、１又は複数の接触支持部を含みうる。

図８に例示されるように複数の吸引パッド１３Ａが配置される場合は、被搬送物Ｗと複数の吸引パッド１３Ａのそれぞれの吸引面との隙間が大きくなりすぎないようにするとよい。この隙間の大きさは、１つの吸引パッド１３Ａによる被搬送物Ｗの支持位置と他の吸引パッド１３Ａによる被搬送物Ｗの支持位置との距離に依存しうる。そのため、複数の吸引パッド１３Ａ間の距離が離れすぎると、複数の吸引パッド１３Ａのいずれかにおいて吸引面と被搬送物Ｗとの隙間が大きくなり、空気の流入が増加することで、負圧を確保できなくなってしまう。

負圧を確保するためには、吸引パッドの吸引面の形状や、空気吸引の流量などにも影響されうるが、隙間が最も大きい箇所の隙間を４０μｍ以下に抑えることが好ましい。吸引面の形状が円形（直径６ｍｍ弱）の吸引パッドで空気の流入による負圧への影響を検証した。その結果、最大部の隙間が４０μｍ弱となる構成で、隙間がない状態の負圧と比べ、半分以上の負圧を確保していることが確認された。

ここで、被搬送物としてシリコンウエハを搬送する例を説明する。露光などのプロセスによりシリコンウエハに反りが生じることがある。この反りは、パターンの形状および配置などから、シリコンウエハの中心から外周方向に、ほぼ円形状に反ることが多い。本実施形態の効果を得るためには、複数の支持部は、シリコンウエハの中心挟んで位置される２つの領域に配置されうる。この場合、基部１１やシリコンウエハの自重変形などの影響を無視して単純に考えると、シリコンウエハと吸引面などに平行度の差は、２つの領域間の距離におおよそ比例した量となりうる。そして、吸引面とシリコンウエハとの隙間は、この平行度の差に比例しうる。８インチまたは１２インチなどの大径のシリコンウエハの場合、シリコンウエハを支持する２つの領域間の距離が大きくなりうる。そこで、現在、需要の高い、８インチのシリコンウエハについて本実施形態の効果を得るために有利な構成について考えてみる。

８インチのシリコンウエハでは、反りにより数百μｍの高低差が生じることで、搬送ハンドによってシリコンウエハを保持できなくなることが問題となっている。ここで、シリコンウエハが２００μｍの反りを有する場合について考える。例えば、図８のように複数の吸引パッド１３Ａを配置する場合を考える。吸引パッド１２と複数の吸引パッド１３Ａとの距離を１００ｍｍと想定する。複数の吸引パッド１３Ａの個数を２つと仮定し、２つの吸引パッド１３Ａ間の距離を１０ｍｍとし、各吸引パッド１３Ａの吸引面の外径を５ｍｍとする。このような構成において、吸引パッド１２をシリコンウエハと面接触させると、吸引パッド１３Ａとシリコンウエハとの隙間は、最大で４０μｍとなる。つまり、上記のような構成では、隙間を最大で４０μｍに抑えることができ、本実施形態の効果が得られることがわかる。より高い効果を得る場合や、より高い反り量に対応する場合などを考えると、２つの吸引パッド１３Ａ間の距離は、より小さい方が好ましいことがわかる。

２つの吸引パッド１３Ａのうち片方が接触支持部で置き換えられる場合も同様であり、吸引パッド１３Ａと接触支持部との距離が１０ｍｍ以下であることが好ましい。また、複数の吸引パッド１３Ａのすべてが接触支持部で置き換えられる場合は、空気の流入の影響はないが、全ての接触支持部でシリコンウエハを支持してしまう可能性があるので、隣接する接触支持部の距離も１０ｍｍ以下であることが好ましい。なお、距離が１０ｍｍ以下であることは、より詳しくは、距離が０ｍｍ以上かつ１０ｍｍ以下であることを意味する。距離が０ｍｍであることは、２つの接触支持部が相互に接触していることを意味する。

ある実施形態では、被搬送物を支持する複数の支持部が基部に配置され、該複数の支持部は、該被搬送物を吸引し支持する吸引パッドと、該被搬送物を吸引することなく接触によって支持する第１接触支持部および第２接触支持部とを含みうる。該第１接触支持部と該第２接触支持部との距離は、１０ｍｍ以下でありうる。該吸引パッドは、該第１接触支持部および該第２接触支持部から離間した位置（例えば、２０ｍｍ以上、３０ｍｍ以上、４０ｍｍ以上、５０ｍｍ、６０ｍｍ以上、７０ｍｍ以上、８０ｍｍ以上、９０ｍｍ以上または１００ｍｍ以上離間した位置）に配置されうる。

搬送ハンド１０が被搬送物Ｗを吸引するための吸引方式は、真空吸引に限定されない。例えば、吸引方式として、ベルヌイチャック、または、電磁チャックが使用されてもよい。ベルヌイチャックおよび電磁チャックの使用においても、被搬送物Ｗの反りおよびひずみにより、被搬送物Ｗと吸引面との距離が最適距離から外れると、吸引力が減少する。そこで、１つの吸引パッドの大きさを他の吸引パッドの大きさより小さくすれば、該１つの吸引パッドの吸引面と被搬送物Ｗとの距離は大きくならず、吸引力の減少を抑えることができる。

ここで、基部１１の上に、吸引面１２４および吸引面１３４よりＺ方向の高さが低い突起部を設けてもよい。この突起部は、被搬送物Ｗを搬送ハンド１０上に乗せる際や吸引を開始する際、被搬送物Ｗが振動などで動いた場合に、その動きを止める、または、減衰させる機能を発揮しうる。突起部は、被搬送物Ｗの動きを止められ、かつ、支持しないような高さと位置にあるとよい。また、突起部は、被搬送物を傷つけずに、動きを止めやすい、または、減衰しやすいように、柔らかいゴムなどの素材で構成されうる。

ここで、第１吸引パッド１２および第２吸引パッド１３は、特許文献１のように、被搬送物に対して吸引面の構造が倣う構造を有していてもよい。例えば、第１吸引パッド１２のみが特許文献１のような構造となっても、第２吸引パッド１３の空気の流入量は少なくなり、実施形態のような効果が得られる。また、この場合、第１吸引パッド１２のみ厚い構成となるため、全体の装置構成によっては、第２吸引パッド１３の位置での物理的な干渉を防げることもある。さらに、第２吸引パッド１３は、接触支持部によって置き換えられてもよい。

図９は、他の実施形態の搬送ハンド２０の構成を示す図である。搬送ハンド２０は、被搬送物（物体）Ｗを搬送する搬送装置の可動部に取り付けられうる。被搬送物Ｗは、例えば、半導体デバイスを製造するためのウエハまたは液晶表示デバイスを製造するためのガラスプレートなどの基板でありうる。搬送ハンド２０は、被搬送物Ｗを吸引することによって被搬送物Ｗを保持する。

図７に示すように、搬送ハンド２０は、搬送ハンド２０の本体を構成する基部２１と、基部２１に配置された複数の支持部としての第１吸引パッド２２および第２吸引パッド２３を備えうる。搬送ハンド２０は、第１吸引パッド２２および第２吸引パッド２３に対して吸引力を与えるラインを備えうる。該ラインは、第１吸引パッド２２に連通する第１空気流路２４１と、第２吸引パッド２３に連通する第２空気流路２４２を含みうる。第１空気流路２４１には、第１吸引力供給源Ｖ２２が接続されうる。第２空気流路２４２には、第２吸引力供給源Ｖ２３が接続されうる。第１吸引力供給源Ｖ２２および第２吸引力供給源Ｖ２３は、吸引制御部ＶＣによって制御されうる。第１吸引パッド２２および第２吸引パッド２３は、被搬送物Ｗの裏面に接触して被搬送物Ｗを支持し、被搬送物Ｗに対して負圧により吸引力を作用させる。第１吸引パッド２２は、第２吸引パッド２３よりも大きい吸引力を発生するように、吸引のために負圧を形成する吸引空間の面積が第２吸引パッド２３よりも大きい。また、第１吸引パッド２２は、第２吸引パッド２３よりも、ＸＹ面に平行な方向の寸法が大きい。

搬送ハンド２０による被搬送物Ｗの保持では、第１吸引パッド２２と第２吸引パッド２３は、それぞれが個別の空気流路および吸引力供給源から供給される負圧によって被搬送物Ｗを吸引する。第１空気流路２４１と第２空気流路２４２とが独立していることで、第１吸引パッド２２または第２吸引パッド２３で空気の流入が生じても、空気の流入が生じてない吸引パッド内の減圧はその影響を受けない。これにより、被搬送物Ｗとの面接触が第１吸引パッド２２で起きた場合、第１吸引パッド２２は、第１吸引力供給源Ｖ２２の到達圧力に近い圧力、つまり、高い負圧で被搬送物Ｗを吸引することができる。したがって、第１吸引パッド２２は高い吸引力で、かつ、第２吸引パッド２３への空気の流入量に左右されない吸引力で、安定して被搬送物Ｗを吸引することができる。

第１吸引パッド２２が第２吸引パッド２３よりも先に被搬送物Ｗと面接触するように、まず、第１吸引パッド２２による吸引が開始されうる。そして、第１吸引パッド２２が被搬送物Ｗと面接触した後、第２吸引パッド２３による吸引が開始されうる。これにより、第１吸引パッド２２が被搬送物Ｗとより面接触をしやすくなる。また、第２吸引パッド２３は、意図的に先に面接触が起きないような手段を他にとらなくても済む。例えば、第２吸引パッド２３の吸引面の平面度を上げる必要はない。これは、第１吸引パッド２２が被搬送物Ｗと面接触すれば、第２吸引パッド２３の吸引によって第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗとの面接触が保たれなくなることは起こりにくいためである。

第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗとの面接触の後に第２吸引パッド２３による吸引を行う方法として、例えば、第１吸引力供給源Ｖ２２などの圧力で面接触を判断する方法がある。第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗが面接触すると、第１吸引パッド２２、第１空気流路２４１、第１吸引力供給源Ｖ２２の一部の圧力が到達圧力まで下がり続ける。ここで、これらの区間の中の圧力を検知するセンサを設け、圧力が一定の閾値以下に下がることで、吸引制御部ＶＣは、第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗとの面接触が起こったと判断することができる。第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗとの面接触が起こったとの判断の後、吸引制御部ＶＣは、第２吸引力供給源Ｖ２３による空気吸引を開始しうる。これにより、第１吸引パッド２２と被搬送物Ｗとの面接触の後に第２吸引パッド２３による吸引を開始することができる。あるいは、吸引制御部ＶＣは、第１吸引力供給源Ｖ２２による空気吸引の開始から一定時間後に、第２吸引力供給源Ｖ２３による空気吸引を開始してもよい。このような制御は、圧力を検知するセンサが不要であるので、コストの低減に有利である。ここで、吸引を開始する時間差を長めに設定することは、動作の安定には有利であるものの、スループットの点では不利であるので、吸引を開始する時間差は、用途を考慮して決定されうる。

他の実施形態において、吸引パッドの数は、２つに限定されなくてもよい。また、空気流路の数および吸引力供給源の数も２つに限定されなくてもよい。例えば、３つ以上の吸引パッドと同数の個別の空気流路および吸引力供給源を設けることで、ある吸引パッドへの空気の流入の影響を他の吸引パッドが受けずにすむ。また、例えば、１つの吸引パッドの適切な位置に、複数の吸引孔と、吸引孔それぞれに対して個別の空気流路および吸引力供給源を設けることで、吸引効果を高めることも可能となる。また、複数の吸引パッドを近接して配置する場合は、近接して配置された複数の吸引パッドを１つの独立した空気流路および吸引力供給源で制御してもよいし、吸引パッドと同数の個別の空気流路および吸引力供給源で制御してもよい。 発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。

１０：搬送ハンド、１１：基部、１２：第１吸引パッド、１３：第２吸引パッド、Ｗ：被搬送物、１２１：凸部、１２２：吸引空間、１２３：吸引孔、１２４：吸引面、１２５：障壁部、１３１：凸部、１３２：吸引空間、１３３：吸引孔、１３４：吸引面

Claims (13)

1. 物体を搬送する搬送ハンドであって、
   基部と、
   前記基部に配置され、前記物体を吸引する第１吸引パッドと、前記第１吸引パッドよりも弱い力で前記物体を吸引する第２吸引パッドとを含み、
   前記第１吸引パッドと前記第２吸引パッドとは、前記第１吸引パッドと前記第２吸引パッドとの間に前記物体の重心位置が配置されるように配置され、
   前記第１吸引パッドは、前記第１吸引パッドの中心と前記第２吸引パッドの中心とを通る仮想線に交差する方向に細長く、
   前記方向における前記第２吸引パッドの寸法は、前記方向における前記第１吸引パッドの寸法より小さい、
   ことを特徴とする搬送ハンド。
2. 前記基部は、前記第１吸引パッド及び前記第２吸引パッドによって前記物体が支持された状態で前記物体と対向する対向面を有し、前記第２吸引パッドは、前記対向面に平行な方向における最大寸法が、全方位において前記第１吸引パッドよりも小さい、
   ことを特徴とする請求項１に記載の搬送ハンド。
3. 前記第２吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積は、前記第１吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積より小さい、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の搬送ハンド。
4. 前記第１吸引パッドは、前記物体の吸引のために減圧される吸引空間を取り囲む凸部を含む、
   ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
5. 前記第１吸引パッドは、前記吸引空間に配置された障壁部を更に含み、
   前記障壁部は、前記障壁部によって相互に部分的に仕切られた複数の部分空間を前記吸引空間において定義するように配置されている、
   ことを特徴とする請求項４に記載の搬送ハンド。
6. 前記障壁部は、前記複数の部分空間は、前記仮想線に交差する前記方向における位置が互いに異なる、
   ことを特徴とする請求項５に記載の搬送ハンド。
7. 前記第２吸引パッドは、前記第２吸引パッドと前記物体とが接触した場合においても前記物体との間に隙間を形成する隙間形成部を有する、
   ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
8. 前記第１吸引パッドによる前記物体の吸引と前記第２吸引パッドによる前記物体の吸引とが個別に制御される、
   ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の搬送ハンド。
9. 物体を搬送する搬送ハンドであって、
   基部と、
   前記基部に配置され、前記物体を支持する複数の支持部と、を備え、
   前記複数の支持部は、前記物体を吸引する吸引パッドと、前記物体を吸引することなく接触によって支持する接触支持部とを含み、
   前記接触支持部が前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積は、前記吸引パッドが前記物体に接触する領域の外縁によって囲まれる面積より小さく、
   前記吸引パッドと前記接触支持部とは、前記吸引パッドと前記接触支持部との間に前記物体の重心位置が配置されるように配置され、
   前記吸引パッドは、前記吸引パッドの中心と前記接触支持部の中心とを通る仮想線に交差する方向に細長く、
   前記方向における前記接触支持部の寸法は、前記方向における前記吸引パッドの寸法より小さい、
   ことを特徴とする搬送ハンド。
10. 前記基部は、前記複数の支持部によって前記物体が支持された状態で前記物体と対向する対向面を有し、前記接触支持部は、前記対向面に平行な方向における最大寸法が、全方位において前記吸引パッドよりも小さい、
    ことを特徴とする請求項９に記載の搬送ハンド。
11. 前記吸引パッドは、前記物体の吸引のために減圧される吸引空間を取り囲む凸部を含む、
    ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の搬送ハンド。
12. 前記吸引パッドは、前記吸引空間に配置された障壁部を更に含み、
    前記障壁部は、前記障壁部によって相互に部分的に仕切られた複数の部分空間を前記吸引空間において定義するように配置されている、
    ことを特徴とする請求項１１に記載の搬送ハンド。
13. 前記障壁部は、前記複数の部分空間は、前記仮想線に交差する前記方向における位置が互いに異なる、
    ことを特徴とする請求項１２に記載の搬送ハンド。