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JP7653761B2 - Electromagnetic wave shielding film, printed wiring board with electromagnetic wave shielding film, and method for producing same - Google Patents

Electromagnetic wave shielding film, printed wiring board with electromagnetic wave shielding film, and method for producing same Download PDF

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JP7653761B2 JP2019206916A JP2019206916A JP7653761B2 JP 7653761 B2 JP7653761 B2 JP 7653761B2 JP 2019206916 A JP2019206916 A JP 2019206916A JP 2019206916 A JP2019206916 A JP 2019206916A JP 7653761 B2 JP7653761 B2 JP 7653761B2
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Description

本発明は、電磁波シールドフィルム、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板及びそれらの製造方法に関する。 The present invention relates to an electromagnetic wave shielding film, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, and a method for manufacturing the same.

プリント配線板から発生する電磁波ノイズや外部からの電磁波ノイズを遮蔽するために、絶縁樹脂層と電磁波遮蔽層とを有する電磁波シールドフィルムを、絶縁フィルム(カバーレイフィルム)を介してプリント配線板の表面に設けることがある(例えば、特許文献1参照)。電磁波遮蔽層は、例えば、電磁波を遮蔽するための金属層と、金属層とプリント配線板のプリント回路とを電気的に接続するための導電性接着層とを有する。導電性接着層は、樹脂及び導電性粒子を含む。導電性接着層は、例えば、樹脂、導電性粒子及び溶剤を含む導電性接着剤塗料を金属層の表面に塗布することによって形成される。 In order to shield electromagnetic noise generated from the printed wiring board or from external electromagnetic noise, an electromagnetic shielding film having an insulating resin layer and an electromagnetic shielding layer may be provided on the surface of the printed wiring board via an insulating film (coverlay film) (see, for example, Patent Document 1). The electromagnetic shielding layer has, for example, a metal layer for shielding electromagnetic waves and a conductive adhesive layer for electrically connecting the metal layer to the printed circuit of the printed wiring board. The conductive adhesive layer contains resin and conductive particles. The conductive adhesive layer is formed, for example, by applying a conductive adhesive paint containing resin, conductive particles, and a solvent to the surface of the metal layer.

電磁波シールドフィルムをプリント配線板の表面に設ける際には、絶縁フィルム付きプリント配線板と電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムと導電性接着層とが接するように重ね、仮固定した後、これらを熱圧着する。この際、電磁波シールドフィルムの導電性接着層の一部が、絶縁フィルムに形成された貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路(グランド)に接触することによって、金属層とプリント配線板のプリント回路とが電気的に接続される。 When providing the electromagnetic shielding film on the surface of the printed wiring board, the printed wiring board with insulating film and the electromagnetic shielding film are overlapped so that the insulating film and the conductive adhesive layer are in contact, temporarily fixed, and then thermocompression bonded. At this time, part of the conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film contacts the printed circuit (ground) of the printed wiring board through the through hole formed in the insulating film, electrically connecting the metal layer and the printed circuit of the printed wiring board.

特開2017-220592号公報JP 2017-220592 A

導電性粒子としては、通常、導電率の高い銅粒子、銀粒子、銀で被覆された銅粒子等の金属粒子が用いられる。しかし、導電性粒子として金属粒子を用いた場合、下記の問題が生じることがある。
・金属粒子は比重が高いため、導電性接着剤塗料中で沈降しやすく、塗工機の流路内で沈降する可能性があり、安定した成膜には特殊な塗工方法が必要である。
・金属粒子は粒度分布が大きいため、プリント回路と金属層との電気的な接続に寄与する粒子数を確保するために金属粒子の含有量が多くなる。含有量の増加に伴い、接続に寄与しない粒子径の小さい金属粒子を多く含むため、樹脂膜自体の可撓性が低下し、相対的に増加した粒子径がより大きな金属粒子がスペーサーのように働き、電磁波シールドフィルムの導電性接着層とプリント配線板の表面との仮固定のしやすさや密着性を低下させる。その結果、実装時の作業性が低下し、はんだフロー工程やリフロー工程において内部でガスが発生した際に、密着力が足りず、導電性接着層が剥離して膨れが発生する。また、密着性が低いために耐薬品性試験や耐溶剤性試験にて電磁波シールドフィルムがプリント配線板から剥がれる等の不具合が生じる。一方、金属粒子の含有量を少なくすると、電磁波シールドフィルムとプリント配線板のプリント回路との接続ができなくなるか、不安定になり、密着性と電気的な接続性とを両立させるのは難しい。
As the conductive particles, metal particles having high conductivity such as copper particles, silver particles, copper particles coated with silver, etc. However, when metal particles are used as the conductive particles, the following problems may occur.
- Metal particles have a high specific gravity and therefore tend to settle in conductive adhesive paints, and there is a possibility that they may settle in the flow passages of the coating machine, so a special coating method is required to form a stable film.
- Metal particles have a large particle size distribution, so the content of metal particles is increased in order to ensure the number of particles that contribute to the electrical connection between the printed circuit and the metal layer. As the content increases, the resin film itself contains many small metal particles that do not contribute to the connection, which reduces the flexibility of the resin film itself, and the relatively increased metal particles with larger particle sizes act as spacers, reducing the ease of temporary fixing and adhesion between the conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film and the surface of the printed wiring board. As a result, the workability during mounting decreases, and when gas is generated inside during the solder flow process or reflow process, the adhesion is insufficient, causing the conductive adhesive layer to peel off and blistering. In addition, due to the low adhesion, problems such as the electromagnetic shielding film peeling off from the printed wiring board occur during chemical resistance tests and solvent resistance tests. On the other hand, if the content of metal particles is reduced, the connection between the electromagnetic shielding film and the printed circuit of the printed wiring board cannot be made or becomes unstable, making it difficult to achieve both adhesion and electrical connectivity.

本発明は、汎用の方法でも電磁波遮蔽層を安定して形成でき、プリント配線板のプリント回路との密着性が優れ、はんだフロー工程やリフロー工程での異常等の不具合が発生せず、かつ電気的な接続性に優れた電磁波シールドフィルム、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板及びそれらの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention aims to provide an electromagnetic wave shielding film, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, and a method for manufacturing the same, which can stably form an electromagnetic wave shielding layer even using a general-purpose method, has excellent adhesion to the printed circuit of a printed wiring board, does not cause defects such as abnormalities during the solder flow process or reflow process, and has excellent electrical connectivity.

本発明は、以下の態様を有する。
[1]絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、
前記電磁波遮蔽層が、樹脂粒子の表面を導電膜で被覆した導電膜付き樹脂粒子を含む、電磁波シールドフィルム。
[2]前記導電膜付き樹脂粒子の総質量に対する前記導電膜の質量の割合が、5質量%以上50質量%以下である、[1]に記載の電磁波シールドフィルム。
[3]前記導電膜付き樹脂粒子の比重が1.00以上3.00以下である、[1]又は[2]に記載の電磁波シールドフィルム。
[4]前記樹脂粒子の比重が、0.90以上3.00以下である、[1]~[3]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[5]前記樹脂粒子が、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ナイロン樹脂及びシリコーン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、[1]~[4]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[6]前記導電膜の比重が、2.50以上22.0以下である、[1]~[5]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[7]前記導電膜が、金、銀及び銅からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属を含む、[1]~[6]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[8]前記導電膜が、異なる2種以上の金属を含む、[1]~[7]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[9]前記導電膜付き樹脂粒子の平均粒子径が0.5μm以上20μm以下である、[1]~[8]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[10]前記導電膜がスパッタ膜を含む、[1]~[9]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[11]前記導電膜がめっき膜を含む、[1]~[9]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[12]前記導電膜付き樹脂粒子の粒度分布における変動係数が0.5%以上27%以下である、[1]~[11]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[13]前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する導電性接着層とを有し、
前記導電性接着層が前記導電膜付き樹脂粒子を含む、[1]~[12]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルム。
[14]前記導電性接着層が、異方導電性接着層である、[13]に記載の電磁波シールドフィルム。
[15]絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、
前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する導電性接着層とを有する電磁波シールドフィルムの製造方法であって、
熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を前記金属層上に塗布して前記導電性接着層を形成する、電磁波シールドフィルムの製造方法。
[16]基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、
前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、
前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に隣接し、前記電磁波遮蔽層が前記絶縁フィルムに接する[1]~[14]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムと、
を有する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
[17]基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板及び前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有する絶縁フィルム付きプリント配線板と、
[1]~[14]のいずれかに記載の電磁波シールドフィルムとを、
前記絶縁フィルムと前記電磁波遮蔽層とが接するように重ねて熱圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
The present invention has the following aspects.
[1] An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
The electromagnetic wave shielding film, wherein the electromagnetic wave shielding layer comprises resin particles having a conductive film formed by coating the surfaces of the resin particles with a conductive film.
[2] The electromagnetic wave shielding film according to [1], wherein the ratio of the mass of the conductive film to the total mass of the resin particles with the conductive film is 5 mass % or more and 50 mass % or less.
[3] The electromagnetic wave shielding film according to [1] or [2], wherein the specific gravity of the resin particles with the conductive film is 1.00 or more and 3.00 or less.
[4] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [3], wherein the specific gravity of the resin particles is 0.90 or more and 3.00 or less.
[5] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [4], wherein the resin particles contain at least one resin selected from the group consisting of an acrylic resin, a urethane resin, a nylon resin, and a silicone resin.
[6] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [5], wherein the specific gravity of the conductive film is 2.50 or more and 22.0 or less.
[7] The electromagnetic shielding film according to any one of [1] to [6], wherein the conductive film contains at least one metal selected from the group consisting of gold, silver, and copper.
[8] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [7], wherein the conductive film contains two or more different metals.
[9] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [8], wherein the average particle size of the resin particles with the conductive film is from 0.5 μm to 20 μm.
[10] The electromagnetic shielding film according to any one of [1] to [9], wherein the conductive film includes a sputtered film.
[11] The electromagnetic shielding film according to any one of [1] to [9], wherein the conductive film includes a plating film.
[12] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [11], wherein the coefficient of variation in particle size distribution of the resin particles with a conductive film is 0.5% or more and 27% or less.
[13] The electromagnetic wave shielding layer has a metal layer adjacent to the insulating resin layer and a conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on the opposite side to the insulating resin layer,
The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [12], wherein the conductive adhesive layer contains the conductive film-attached resin particles.
[14] The electromagnetic wave shielding film according to [13], wherein the conductive adhesive layer is an anisotropic conductive adhesive layer.
[15] An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
a method for producing an electromagnetic wave shielding film, the electromagnetic wave shielding layer having a metal layer adjacent to the insulating resin layer and a conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on a side opposite to the insulating resin layer,
A method for producing an electromagnetic wave shielding film, comprising applying a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film onto the metal layer to form the conductive adhesive layer.
[16] A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate;
an insulating film adjacent to a surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided;
[15] The electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [14], which is adjacent to the insulating film on the opposite side to the printed wiring board and in which the electromagnetic wave shielding layer is in contact with the insulating film;
A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.
[17] A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate and an insulating film provided with an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided;
[1] to [14] and an electromagnetic wave shielding film according to any one of [1] to [14],
The insulating film and the electromagnetic wave shielding layer are overlapped so as to be in contact with each other, and then thermocompression bonded to each other.

本発明によれば、汎用の方法でも電磁波遮蔽層を安定して形成でき、プリント配線板のプリント回路との密着性が優れ、はんだフロー工程やリフロー工程で異常等の不具合が発生せず、かつ電気的な接続性に優れた電磁波シールドフィルム、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板及びそれらの製造方法を提供できる。 The present invention provides an electromagnetic wave shielding film, a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, and a manufacturing method thereof, which can stably form an electromagnetic wave shielding layer even using a general-purpose method, has excellent adhesion to the printed circuit of a printed wiring board, does not cause defects such as abnormalities during the solder flow process or reflow process, and has excellent electrical connectivity.

本発明の電磁波シールドフィルムの第1の実施形態を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of an electromagnetic wave shielding film of the present invention. 本発明の電磁波シールドフィルムの第2の実施形態を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a second embodiment of the electromagnetic wave shielding film of the present invention. 本発明の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一実施形態を示す断面図である。1 is a cross-sectional view showing one embodiment of a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of the present invention. 図3の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造工程を示す断面図である。4A to 4C are cross-sectional views showing a manufacturing process of the printed wiring board with the electromagnetic shielding film of FIG. 3. 図5(A)は接続最小径を測定するための接続性評価用絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板を示す平面図であり、図5(B)は図5(A)のA-A断面図であり、図5(C)は図5(A)のB-B断面図である。FIG. 5(A) is a plan view showing a flexible printed wiring board with an insulating film for evaluating connectivity to measure the minimum connection diameter, FIG. 5(B) is a cross-sectional view taken along line A-A in FIG. 5(A), and FIG. 5(C) is a cross-sectional view taken along line B-B in FIG. 5(A). 図6(A)は接続最小径の測定に用いる試験体を示す平面図であり、図6(B)は図6(A)のC-C断面図である。FIG. 6(A) is a plan view showing a test piece used for measuring the minimum connection diameter, and FIG. 6(B) is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 6(A).

以下の用語の定義は、本明細書及び特許請求の範囲にわたって適用される。
「等方導電性接着層」とは、厚さ方向及び面方向に導電性を有する導電性接着層を意味する。
「異方導電性接着層」とは、厚さ方向に導電性を有し、面方向に導電性を有しない導電性接着層を意味する。
「面方向に導電性を有しない導電性接着層」とは、表面抵抗が1×10Ω/□以上である導電性接着層を意味する。
導電膜付き樹脂粒子(導電性粒子)の平均粒子径は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、それぞれの粒子について、最小径及び最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した30個の粒子の粒子径を算術平均して得た値である。
導電膜付き樹脂粒子(導電性粒子)の変動係数は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、30個の粒子の粒子径について標準偏差σ及び平均粒子径Dを求め、下記式から算出したCV値(%)である。
CV=σ/D×100
導電膜付き樹脂粒子(導電性粒子)の比重は、JIS K7112:1999におけるA法に従い、温度23℃で測定した値である。
導電膜付き樹脂粒子(導電性粒子)の10%圧縮強度は、微小圧縮試験機を用いた測定結果から、下記式(α)によって求める。
C(x)=2.48P/πd ・・・(α)
ただし、C(x)は10%圧縮強度(MPa)であり、Pは粒子径の10%変位時の試験力(N)であり、dは粒子径(mm)である。
フィルム(キャリアフィルム、離型フィルム、絶縁フィルム等)、塗膜(絶縁樹脂層、導電性接着層等)の厚さは、デジタル測長機(ミツトヨ社製、ライトマチックVL-50-B)を用いて無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
金属層の厚さは、JIS K0119:2008に従い、蛍光X線分析法により、無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均した値である。
貯蔵弾性率は、測定対象に与えた応力と検出したひずみから算出され、温度又は時間の関数として出力する動的粘弾性測定装置を用いて、粘弾性特性の一つとして測定される。
表面抵抗は、JIS K 7194:1994及びJIS R 1637:1998、JIS K 6911:2006に準拠する方法で測定される表面抵抗率である。
図1~図4における寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
The following definitions of terms apply throughout the specification and claims.
The term "isotropically conductive adhesive layer" refers to a conductive adhesive layer that has conductivity in the thickness direction and the surface direction.
The term "anisotropic conductive adhesive layer" refers to a conductive adhesive layer that has conductivity in the thickness direction but not in the surface direction.
The term "conductive adhesive layer having no conductivity in the planar direction" refers to a conductive adhesive layer having a surface resistance of 1×10 4 Ω/□ or more.
The average particle diameter of the resin particles with a conductive film (conductive particles) is a value obtained by randomly selecting 30 particles from a microscopic image of the particles, measuring the minimum and maximum diameters of each particle, defining the median of the minimum and maximum diameters as the particle diameter of one particle, and then arithmetically averaging the particle diameters of the 30 measured particles.
The coefficient of variation of the resin particles with a conductive film (conductive particles) is a CV value (%) calculated by randomly selecting 30 particles from a microscopic image of the particles, determining the standard deviation σ and average particle diameter D for the particle diameters of the 30 particles, and using the following formula:
CV=σ/D×100
The specific gravity of the resin particles with a conductive film (conductive particles) is a value measured at a temperature of 23° C. in accordance with Method A of JIS K7112:1999.
The 10% compression strength of the resin particles with a conductive film (conductive particles) is calculated from the results of measurement using a micro compression tester, according to the following formula (α).
C(x)=2.48P/πd 2 ...(α)
where C(x) is the 10% compressive strength (MPa), P is the test force (N) at 10% displacement of the particle diameter, and d is the particle diameter (mm).
The thickness of a film (carrier film, release film, insulating film, etc.) or coating (insulating resin layer, conductive adhesive layer, etc.) is the average value of the thickness measured at five randomly selected locations using a digital length measuring machine (Mitutoyo Corporation, Litematic VL-50-B).
The thickness of the metal layer is determined by measuring the thickness at five randomly selected locations by X-ray fluorescence analysis in accordance with JIS K0119:2008, and averaging the measured values.
The storage modulus is calculated from the stress applied to the measurement object and the strain detected, and is measured as one of the viscoelastic properties using a dynamic viscoelasticity measuring device that outputs the value as a function of temperature or time.
The surface resistance is a surface resistivity measured by a method conforming to JIS K 7194:1994, JIS R 1637:1998, and JIS K 6911:2006.
The dimensional ratios in FIGS. 1 to 4 are different from the actual ones for the sake of convenience of explanation.

<電磁波シールドフィルム>
本発明の第1の態様は、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、電磁波遮蔽層が、樹脂粒子の表面を導電膜で被覆した導電膜付き樹脂粒子を含む電磁波シールドフィルムである。
<Electromagnetic wave shielding film>
A first aspect of the present invention is an electromagnetic wave shielding film having an insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer, the electromagnetic wave shielding layer including resin particles with a conductive film in which the surfaces of the resin particles are coated with a conductive film.

図1は、第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1を示す断面図である。図2は、第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1を示す断面図である。
第1の実施形態及び第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1はいずれも、絶縁樹脂層10と、絶縁樹脂層10に隣接する電磁波遮蔽層20と、絶縁樹脂層10の電磁波遮蔽層20とは反対側に隣接するキャリアフィルム30と、電磁波遮蔽層20の絶縁樹脂層10とは反対側に隣接する離型フィルム40とを有する。
第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、電磁波遮蔽層20が、絶縁樹脂層10に隣接する金属層22と、離型フィルム40に隣接する異方導電性接着層24とを有する。
第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、電磁波遮蔽層20が、絶縁樹脂層10に隣接する金属層22と、離型フィルム40に隣接する等方導電性接着層26とを有する。
伝送特性に優れ、導電膜付き樹脂粒子の含有量が少なくコスト面で有利な点では、導電性接着層が異方導電性接着層24である電磁波シールドフィルム1の方が好ましい。
Fig. 1 is a cross-sectional view showing an electromagnetic wave shielding film 1 according to a first embodiment. Fig. 2 is a cross-sectional view showing an electromagnetic wave shielding film 1 according to a second embodiment.
Both the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment and the second embodiment have an insulating resin layer 10, an electromagnetic wave shielding layer 20 adjacent to the insulating resin layer 10, a carrier film 30 adjacent to the insulating resin layer 10 on the side opposite the electromagnetic wave shielding layer 20, and a release film 40 adjacent to the insulating resin layer 20 on the side opposite the insulating resin layer 10.
In the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment, the electromagnetic wave shielding layer 20 has a metal layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an anisotropic conductive adhesive layer 24 adjacent to the release film 40 .
In the electromagnetic wave shielding film 1 of the second embodiment, the electromagnetic wave shielding layer 20 has a metal layer 22 adjacent to the insulating resin layer 10 and an isotropic conductive adhesive layer 26 adjacent to the release film 40 .
From the viewpoints of excellent transmission characteristics, a small content of conductive-coated resin particles, and cost advantages, an electromagnetic wave shielding film 1 in which the conductive adhesive layer is the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferred.

電磁波シールドフィルム1の厚さ(キャリアフィルム30及び離型フィルム40を除く)は、3μm以上50μm以下が好ましく、5μm以上30μm以下がより好ましい。キャリアフィルム30及び離型フィルム40を含まない電磁波シールドフィルム1の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30を剥離する際に破断しにくい。キャリアフィルム30及び離型フィルム40を含まない電磁波シールドフィルム1の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を薄くできる。 The thickness of the electromagnetic shielding film 1 (excluding the carrier film 30 and the release film 40) is preferably 3 μm or more and 50 μm or less, and more preferably 5 μm or more and 30 μm or less. If the thickness of the electromagnetic shielding film 1 excluding the carrier film 30 and the release film 40 is equal to or more than the lower limit of the above range, the film is less likely to break when the carrier film 30 is peeled off. If the thickness of the electromagnetic shielding film 1 excluding the carrier film 30 and the release film 40 is equal to or less than the upper limit of the above range, the printed wiring board with the electromagnetic shielding film can be made thin.

(絶縁樹脂層)
絶縁樹脂層10は、電磁波シールドフィルム1をフレキシブルプリント配線板の表面に設けられた絶縁フィルムの表面に貼り付け、電磁波シールドフィルム1からキャリアフィルム30を剥離した後には、金属層22の保護層となる。
(Insulating resin layer)
The insulating resin layer 10 becomes a protective layer for the metal layer 22 after the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to the surface of an insulating film provided on the surface of a flexible printed wiring board and the carrier film 30 is peeled off from the electromagnetic wave shielding film 1.

絶縁樹脂層10としては、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させて形成された塗膜;熱可塑性樹脂を含む組成物を溶融成形したフィルムからなる層等が挙げられる。はんだリフロー工程に供される際の耐熱性の点から、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させて形成された塗膜が好ましい。 Examples of the insulating resin layer 10 include a coating film formed by applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing the paint; a coating film formed by applying a paint containing a thermoplastic resin and drying the paint; and a layer made of a film formed by melt-molding a composition containing a thermoplastic resin. From the viewpoint of heat resistance when subjected to the solder reflow process, a coating film formed by applying a paint containing a thermosetting resin and a curing agent and semi-curing or curing the paint is preferred.

熱硬化性樹脂としては、アミド樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。熱硬化性樹脂としては、耐熱性に優れる点から、アミド樹脂、エポキシ樹脂が好ましい。
硬化剤としては、熱硬化性樹脂の種類に応じた公知の硬化剤が挙げられる。
熱可塑性樹脂としては、芳香族ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリフェニレンサルホン、ポリフェニレンサルフィド、ポリフェニレンサルフィドサルホン、ポリフェニレンサルフィドケトン等が挙げられる。
Examples of the thermosetting resin include amide resin, epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, ultraviolet-curable acrylate resin, etc. As the thermosetting resin, amide resin and epoxy resin are preferred from the viewpoint of excellent heat resistance.
The curing agent may be a known curing agent suitable for the type of thermosetting resin.
Examples of the thermoplastic resin include aromatic polyether ketone, polyimide, polyamide imide, polyamide, polysulfone, polyether sulfone, polyphenylene sulfone, polyphenylene sulfide, polyphenylene sulfide sulfone, and polyphenylene sulfide ketone.

絶縁樹脂層10は、プリント配線板のプリント回路を隠蔽したり、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板に意匠性を付与したりするために、着色剤(顔料、染料等)及びフィラーのいずれか一方又は両方を含んでいてもよい。
着色剤及びフィラーのいずれか一方又は両方としては、耐候性、耐熱性、隠蔽性の点から、顔料又はフィラーが好ましく、プリント回路の隠蔽性、意匠性の点から、黒色顔料、黒色顔料と他の顔料との組み合わせ、又は黒色顔料とフィラーとの組み合わせがより好ましい。
絶縁樹脂層10は、難燃剤を含んでいてもよい。
絶縁樹脂層10は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分を含んでいてもよい。
The insulating resin layer 10 may contain either or both of a colorant (pigment, dye, etc.) and a filler in order to conceal the printed circuit of the printed wiring board or to impart design features to the printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film.
As either or both of the colorant and the filler, a pigment or a filler is preferred from the viewpoints of weather resistance, heat resistance, and hiding power, and from the viewpoints of hiding power and design of the printed circuit, a black pigment, a combination of a black pigment with another pigment, or a combination of a black pigment with a filler is more preferred.
The insulating resin layer 10 may contain a flame retardant.
The insulating resin layer 10 may contain other components as necessary within the range that does not impair the effects of the present invention.

絶縁樹脂層10の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁樹脂層10の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁樹脂層10の厚さは、1.0μm以上20μm以下が好ましく、2.0μm以上15μm以下がより好ましく、3.0μm以上8.0μm以下がさらに好ましい。絶縁樹脂層10の厚さが1.0μm以上であれば、絶縁樹脂層10が保護層としての機能を十分に発揮できる。絶縁樹脂層10の厚さが2.0μm以上であれば、絶縁樹脂層10の面内の厚みブレを抑え、性能と生産性を向上できる。絶縁樹脂層10の厚さが3.0μm以上であれば、絶縁樹脂層10が破断しづらくなる。絶縁樹脂層10の厚さが20μm以下であれば、プレス条件を緩和でき、絶縁樹脂層10や電磁波遮蔽層20が破断しづらくなることで、シールド特性の低下を防止できる。絶縁樹脂層10の厚さが15μm以下であれば、プリント配線板の段差への追従性が向上する。絶縁樹脂層10の厚さが8.0μm以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。
From the viewpoint of electrical insulation, the surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1×10 6 Ω/□ or more, and from the viewpoint of practical use, the surface resistance of the insulating resin layer 10 is preferably 1×10 19 Ω/□ or less.
The thickness of the insulating resin layer 10 is preferably 1.0 μm or more and 20 μm or less, more preferably 2.0 μm or more and 15 μm or less, and even more preferably 3.0 μm or more and 8.0 μm or less. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 1.0 μm or more, the insulating resin layer 10 can fully function as a protective layer. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 2.0 μm or more, the thickness variation in the surface of the insulating resin layer 10 can be suppressed, and performance and productivity can be improved. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 3.0 μm or more, the insulating resin layer 10 is less likely to break. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 20 μm or less, the pressing conditions can be relaxed, and the insulating resin layer 10 and the electromagnetic wave shielding layer 20 are less likely to break, thereby preventing a decrease in shielding characteristics. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 15 μm or less, the conformability to the step of the printed wiring board is improved. If the thickness of the insulating resin layer 10 is 8.0 μm or less, the electromagnetic wave shielding film 1 can be made thin.

(電磁波遮蔽層)
電磁波遮蔽層20は、金属層22と、金属層22の絶縁樹脂層10とは反対側に隣接する導電性接着層(異方導電性接着層24又は等方導電性接着層26)とを有するため、電磁波遮蔽性が十分に高い。
(Electromagnetic wave shielding layer)
The electromagnetic wave shielding layer 20 has a metal layer 22 and a conductive adhesive layer (anisotropic conductive adhesive layer 24 or an isotropic conductive adhesive layer 26) adjacent to the metal layer 22 on the side opposite the insulating resin layer 10, and therefore has sufficiently high electromagnetic wave shielding properties.

金属層:
金属層22は、金属からなる層である。金属層22は、面方向に広がるように形成されていることから、面方向に導電性を有し、電磁波を遮蔽する層等として機能する。
Metal layer:
The metal layer 22 is a layer made of metal. The metal layer 22 is formed so as to extend in the planar direction, and therefore has electrical conductivity in the planar direction and functions as a layer that blocks electromagnetic waves, etc.

金属層22としては、物理蒸着(真空蒸着、スパッタリング、イオンビーム蒸着、電子ビーム蒸着等)又はCVD(化学気相蒸着)によって形成された蒸着層、めっきによって形成されためっき層、金属箔等が挙げられる。金属層22を薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れる点では、金属層22は、蒸着層、めっき層が好ましい。金属層22をドライプロセスにて簡便に形成できる点では、金属層22は蒸着層がより好ましく、物理蒸着による蒸着層がさらに好ましい。 Examples of the metal layer 22 include a deposition layer formed by physical vapor deposition (vacuum deposition, sputtering, ion beam deposition, electron beam deposition, etc.) or CVD (chemical vapor deposition), a plating layer formed by plating, metal foil, etc. In that the metal layer 22 can be made thin and has excellent conductivity in the surface direction even if it is thin, the metal layer 22 is preferably a deposition layer or a plating layer. In that the metal layer 22 can be easily formed by a dry process, the metal layer 22 is more preferably a deposition layer, and a deposition layer formed by physical vapor deposition is even more preferable.

金属層22を構成する金属としては、アルミニウム、銀、銅、金、導電性セラミックス等が挙げられる。なかでも、電気伝導度の点からは、銀又は銅が好ましい。
金属層22のなかでも、電磁波遮蔽性が高く、しかも金属薄膜を容易に形成しやすいことから、金属蒸着層が好ましく、銀蒸着層又は銅蒸着層がより好ましい。
Examples of metals constituting the metal layer 22 include aluminum, silver, copper, gold, conductive ceramics, etc. Among these, silver or copper is preferable from the viewpoint of electrical conductivity.
Among the metal layers 22, a metal vapor deposition layer is preferred because it has high electromagnetic wave shielding properties and is easy to form a thin metal film, and a silver vapor deposition layer or a copper vapor deposition layer is more preferred.

金属層22の表面抵抗は、0.001Ω/□以上1Ω/□以下が好ましく、0.001Ω/□以上0.5Ω/□以下がより好ましい。金属層22の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、金属層22を十分に薄くできる。金属層22の表面抵抗が1Ω/□以下であれば、電磁波遮蔽性を十分に発現できる。金属層22の表面抵抗が0.5Ω/□以下であれば、プリント配線板の伝送特性へ与える影響を小さくできる。 The surface resistance of the metal layer 22 is preferably 0.001 Ω/□ or more and 1 Ω/□ or less, and more preferably 0.001 Ω/□ or more and 0.5 Ω/□ or less. If the surface resistance of the metal layer 22 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the metal layer 22 can be made sufficiently thin. If the surface resistance of the metal layer 22 is 1 Ω/□ or less, the electromagnetic wave shielding properties can be sufficiently exhibited. If the surface resistance of the metal layer 22 is 0.5 Ω/□ or less, the effect on the transmission characteristics of the printed wiring board can be reduced.

金属層22の厚さは、0.01μm以上5μm以下が好ましく、0.05μm以上3μm以下がより好ましい。金属層22の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波ノイズの遮蔽効果がさらに良好になる。金属層22の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の生産性、可とう性がよくなる。 The thickness of the metal layer 22 is preferably 0.01 μm or more and 5 μm or less, and more preferably 0.05 μm or more and 3 μm or less. If the thickness of the metal layer 22 is equal to or more than the lower limit of the above range, the electromagnetic noise shielding effect is further improved. If the thickness of the metal layer 22 is equal to or less than the upper limit of the above range, the electromagnetic shielding film 1 can be made thinner. In addition, the productivity and flexibility of the electromagnetic shielding film 1 are improved.

異方導電性接着層:
異方導電性接着層24は、厚さ方向に導電性を有し、面方向には導電性を有さず、かつ、接着性を有する。
異方導電性接着層24は、導電膜付き樹脂粒子の量を少なくでき、その結果、電磁波シールドフィルム1の可とう性と密着性をさらに高くでき、コストも抑えられるという利点を有する。
異方導電性接着層24は、面方向に導電性を有しないため、電磁波遮蔽層20がプリント配線板の伝送特性へ与える影響が小さく、伝送損失の小さい電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造できる。
Anisotropic conductive adhesive layer:
The anisotropic conductive adhesive layer 24 has conductivity in the thickness direction, has no conductivity in the planar direction, and has adhesiveness.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 has the advantage that the amount of conductive-coated resin particles can be reduced, and as a result, the flexibility and adhesion of the electromagnetic wave shielding film 1 can be further improved, and costs can be reduced.
Since the anisotropic conductive adhesive layer 24 has no conductivity in the planar direction, the electromagnetic wave shielding layer 20 has little effect on the transmission characteristics of the printed wiring board, making it possible to produce a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film having small transmission loss.

異方導電性接着層24としては、例えば、導電性接着剤からなる層が挙げられる。異方導電性接着層24としては、硬化後に耐熱性を発揮でき、熱圧着の際にプリント配線板のプリント回路との密着性と電気的な接続性を維持しやすい点から、熱硬化性樹脂24aと、導電膜付き樹脂粒子24bとを含む、熱硬化性の導電性接着層が好ましい。熱硬化性の異方導電性接着層24は、未硬化の状態であってもよく、Bステージ化された状態であってもよい。
なお、本発明では、導電性接着層において、熱硬化性樹脂の代わりに熱可塑性樹脂を用いてもよく、熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂を併用してもよい。
The anisotropic conductive adhesive layer 24 may be, for example, a layer made of a conductive adhesive. A thermosetting conductive adhesive layer containing a thermosetting resin 24a and conductive film-attached resin particles 24b is preferable as the anisotropic conductive adhesive layer 24, because it can exhibit heat resistance after curing and can easily maintain adhesion and electrical connection with the printed circuit of the printed wiring board during thermocompression bonding. The thermosetting anisotropic conductive adhesive layer 24 may be in an uncured state or in a B-stage state.
In the present invention, in the conductive adhesive layer, a thermoplastic resin may be used instead of the thermosetting resin, or a thermosetting resin and a thermoplastic resin may be used in combination.

熱硬化性樹脂24aとしては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アルキッド樹脂、ウレタン樹脂、合成ゴム、紫外線硬化アクリレート樹脂等が挙げられる。耐熱性に優れる点から、エポキシ樹脂が好ましい。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(ニトリルゴム、アクリルゴム等)、粘着付与剤等を含んでいてもよい。
熱硬化性樹脂24aは、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分(硬化剤、硬化促進剤、反応開始剤等)を含んでいてもよい。
Examples of the thermosetting resin 24a include epoxy resin, phenol resin, amino resin, alkyd resin, urethane resin, synthetic rubber, ultraviolet-cured acrylate resin, etc. Epoxy resin is preferable because of its excellent heat resistance. The epoxy resin may contain a rubber component (nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility, a tackifier, etc.
The thermosetting resin 24a may contain other components (such as a curing agent, a curing accelerator, and a reaction initiator) as necessary, as long as the effects of the present invention are not impaired.

異方導電性接着層24に用いる熱可塑性樹脂としては、例えば、絶縁樹脂層10で挙げたものと同じ熱可塑性樹脂が挙げられる。
異方導電性接着層24は、異方導電性接着層24の強度を高め、打ち抜き特性を向上させるために、セルロース樹脂、ミクロフィブリル(ガラス繊維等)を含んでいてもよい。異方導電性接着層24は、本発明の効果を損なわない範囲において、必要に応じて他の成分(難燃剤、アンチブロッキング剤、密着性向上剤、分散剤等)を含んでいてもよい。
Examples of the thermoplastic resin used for the anisotropic conductive adhesive layer 24 include the same thermoplastic resins as those listed for the insulating resin layer 10 .
The anisotropic conductive adhesive layer 24 may contain cellulose resin and microfibril (glass fiber, etc.) in order to increase the strength and improve the punching characteristics of the anisotropic conductive adhesive layer 24. The anisotropic conductive adhesive layer 24 may contain other components (flame retardant, antiblocking agent, adhesion improver, dispersant, etc.) as necessary within a range that does not impair the effects of the present invention.

導電膜付き樹脂粒子24bは、樹脂粒子の表面を導電膜で被覆したコアシェル構造の導電性粒子である。そのため、金属粒子より比重が低く、粒度分布の制御が容易であり、粒子の圧縮強度を低くすることができる。
樹脂粒子の樹脂材料としては、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ナイロン樹脂、シリコーン樹脂等が挙げられる。樹脂粒子の樹脂材料は、1種でもよく、2種以上でもよい。樹脂粒子は、安価で入手しやすく、粒子径の範囲の狭い樹脂粒子の製造が容易である点から、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ナイロン樹脂及びシリコーン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことが好ましい。
樹脂粒子に耐熱性や耐溶剤性が必要な場合は、架橋した樹脂粒子を用い、柔軟性が必要な場合は、未架橋の樹脂粒子を用いることが好ましい。
The conductive film-attached resin particles 24b are conductive particles having a core-shell structure in which the surfaces of the resin particles are coated with a conductive film, and therefore have a lower specific gravity than metal particles, making it easier to control the particle size distribution and allowing the compression strength of the particles to be reduced.
Examples of the resin material of the resin particles include acrylic resin, urethane resin, nylon resin, silicone resin, etc. The resin material of the resin particles may be one type or two or more types. The resin particles preferably contain at least one type selected from the group consisting of acrylic resin, urethane resin, nylon resin, and silicone resin, because the resin particles are inexpensive and easily available, and resin particles having a narrow particle size range are easily manufactured.
When the resin particles require heat resistance and solvent resistance, it is preferable to use crosslinked resin particles, and when flexibility is required, it is preferable to use uncrosslinked resin particles.

導電膜付き樹脂粒子24bにおける導電膜の材料としては、金、銀、銅、白金、ニッケル、パラジウム、アルミニウム等が挙げられる。
導電膜は、導電膜の導電性が良くなり、プリント回路に電磁波遮蔽層20をより確実に電気的に接続できる点から、金、銀及び銅からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属を含むことが好ましい。導電膜の性能を高める目的で、2種以上の異なる金属を含む導電膜としてもよい。例えば、密着性、均一性を向上させるために、アンカーとしてのニッケル膜上に、金、銀、銅等の金属膜が形成された導電膜としてもよい。
Examples of materials for the conductive film in the conductive film-coated resin particles 24b include gold, silver, copper, platinum, nickel, palladium, and aluminum.
The conductive film preferably contains at least one metal selected from the group consisting of gold, silver, and copper, because this improves the conductivity of the conductive film and allows the electromagnetic wave shielding layer 20 to be more reliably electrically connected to the printed circuit. In order to improve the performance of the conductive film, the conductive film may contain two or more different metals. For example, in order to improve adhesion and uniformity, the conductive film may be formed by forming a metal film such as gold, silver, or copper on a nickel film as an anchor.

導電膜付き樹脂粒子24bにおける導電膜としては、コアシェル構造の導電膜付き樹脂粒子の製造が容易な点から、めっき膜又は蒸着膜が好ましい。また、蒸着膜のなかでも、安価な点から、バレルスパッタリング等のスパッタリングで形成されたスパッタ膜がより好ましい。 As the conductive film in the conductive film-coated resin particles 24b, a plated film or a vapor deposition film is preferred because it is easy to manufacture resin particles with a conductive film having a core-shell structure. Furthermore, among vapor deposition films, a sputtered film formed by sputtering such as barrel sputtering is more preferred because it is inexpensive.

導電膜付き樹脂粒子24bの平均粒子径は、1μm以上20μm以下が好ましく、2μm以上15μm以下がより好ましく、3μm以上10μm以下がさらに好ましい。導電膜付き樹脂粒子24bの平均粒子径が1μm以上であれば、樹脂粒子に均一な導電膜を形成でき、プリント回路への電磁波遮蔽層20の電気的な接続を確保しやすくできる。導電膜付き樹脂粒子24bの平均粒子径が2μm以上であれば、樹脂粒子の単位質量あたりの表面積を小さくでき、導電膜付き樹脂粒子24bの総質量に対する導電膜の質量の割合を小さくできることで、比重が低く、分散性が高い導電膜付き樹脂粒子24bを安価で製造できる。導電膜付き樹脂粒子24bの平均粒子径が3μm以上であれば、異方導電性接着層を厚くでき、面内での厚みブレを抑えて性能と生産性を安定化できる。導電膜付き樹脂粒子24bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着層24を薄くすることができ、電磁波シールドフィルムの薄膜化が可能である。 The average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 24b is preferably 1 μm or more and 20 μm or less, more preferably 2 μm or more and 15 μm or less, and even more preferably 3 μm or more and 10 μm or less. If the average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 24b is 1 μm or more, a uniform conductive film can be formed on the resin particles, and the electrical connection of the electromagnetic wave shielding layer 20 to the printed circuit can be easily ensured. If the average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 24b is 2 μm or more, the surface area per unit mass of the resin particles can be reduced, and the ratio of the mass of the conductive film to the total mass of the conductive film-attached resin particles 24b can be reduced, so that the conductive film-attached resin particles 24b with low specific gravity and high dispersibility can be manufactured inexpensively. If the average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 24b is 3 μm or more, the anisotropic conductive adhesive layer can be thickened, and the in-plane thickness fluctuation can be suppressed, thereby stabilizing performance and productivity. If the average particle size of the conductive film-attached resin particles 24b is equal to or less than the upper limit of the range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be made thin, making it possible to reduce the thickness of the electromagnetic wave shielding film.

導電膜付き樹脂粒子24bの粒度分布における変動係数は、0.5%以上27%以下が好ましく、1%以上25%以下がより好ましく、2%以上20%以下がさらに好ましい。導電膜付き樹脂粒子24bの変動係数が前記範囲の下限値以上であれば、導電膜付き樹脂粒子の製造コストが抑えられる。導電膜付き樹脂粒子24bの変動係数が前記範囲の上限値以下であれば、プリント配線板の表面と電磁波遮蔽層20の樹脂表面との間でスペーサーのように働く粒子径がより大きな粒子と、電気的な接続に寄与せず異方導電性接着層24の可撓性を低下させる粒子径がより小さな粒子との含有量を低減でき、プリント配線板の表面と電磁波遮蔽層20との密着性をさらに改善できる。また、導電性接着剤塗料中で導電膜付き樹脂粒子24bがより均一に分散でき、異方導電性接着層24における導電膜付き樹脂粒子24bの分布をより均一にできる。その結果、プリント配線板と電磁波遮蔽層の密着性を確保でき、プリント回路に電磁波遮蔽層20をより確実に電気的に接続できる電磁波遮蔽層20をより安定的に製造できる。 The coefficient of variation in the particle size distribution of the conductive film-attached resin particles 24b is preferably 0.5% to 27%, more preferably 1% to 25%, and even more preferably 2% to 20%. If the coefficient of variation of the conductive film-attached resin particles 24b is equal to or greater than the lower limit of the range, the manufacturing cost of the conductive film-attached resin particles can be reduced. If the coefficient of variation of the conductive film-attached resin particles 24b is equal to or less than the upper limit of the range, the content of particles with a larger particle diameter that act as a spacer between the surface of the printed wiring board and the resin surface of the electromagnetic wave shielding layer 20 and particles with a smaller particle diameter that do not contribute to electrical connection and reduce the flexibility of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be reduced, and the adhesion between the surface of the printed wiring board and the electromagnetic wave shielding layer 20 can be further improved. In addition, the conductive film-attached resin particles 24b can be more uniformly dispersed in the conductive adhesive paint, and the distribution of the conductive film-attached resin particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be more uniform. As a result, it is possible to ensure adhesion between the printed wiring board and the electromagnetic wave shielding layer, and it is possible to more stably manufacture the electromagnetic wave shielding layer 20, which can more reliably electrically connect the electromagnetic wave shielding layer 20 to the printed circuit.

導電膜付き樹脂粒子24bの比重は、1.00以上3.00以下が好ましく、1.10以上2.00以下がより好ましい。導電膜付き樹脂粒子24bの比重が前記範囲の下限値以上であれば、導電性に優れる。導電膜付き樹脂粒子24bの比重が前記範囲の上限値以下であれば、導電膜付き樹脂粒子24bの分散性に優れ、均一な電磁波遮蔽層の形成が容易になる。 The specific gravity of the resin particles 24b with conductive film is preferably 1.00 or more and 3.00 or less, and more preferably 1.10 or more and 2.00 or less. When the specific gravity of the resin particles 24b with conductive film is equal to or more than the lower limit of the above range, the conductivity is excellent. When the specific gravity of the resin particles 24b with conductive film is equal to or less than the upper limit of the above range, the dispersibility of the resin particles 24b with conductive film is excellent, and it becomes easy to form a uniform electromagnetic wave shielding layer.

樹脂粒子の比重は、0.90以上3.00以下が好ましく、0.95以上2.00以下がより好ましい。樹脂粒子の比重が前記範囲の下限値以上であれば、樹脂粒子を容易に入手できる。樹脂粒子の比重が前記範囲の上限値以下であれば、導電膜付き樹脂粒子の比重を低くできる。 The specific gravity of the resin particles is preferably 0.90 or more and 3.00 or less, and more preferably 0.95 or more and 2.00 or less. If the specific gravity of the resin particles is equal to or more than the lower limit of the above range, the resin particles can be easily obtained. If the specific gravity of the resin particles is equal to or less than the upper limit of the above range, the specific gravity of the resin particles with conductive film can be reduced.

導電膜の比重は、2.50以上22.0以下が好ましく、7.30以上20.0以下がより好ましく、7.50以上12.0以下がさらに好ましい。導電膜の比重が2.50以上22.0以下であれば、導電性に優れ、導電膜付き樹脂粒子の比重が低く抑えられ、異方導電性接着層24における導電膜付き樹脂粒子24bの分布が均一になりやすく、異方導電性接着層24を容易に製造できる。導電膜の比重が7.30以上20.0以下であれば、さらに導電性が向上するため、導電膜付き樹脂粒子24bの総質量に対する導電膜の質量の割合を低くし、分散性を向上でき、また、導電膜付き樹脂粒子24bの添加量を減らして、密着性を向上できる。導電膜の比重が7.50以上12.0以下であれば、導電膜付き樹脂粒子24bを容易に製造することができる。 The specific gravity of the conductive film is preferably 2.50 or more and 22.0 or less, more preferably 7.30 or more and 20.0 or less, and even more preferably 7.50 or more and 12.0 or less. If the specific gravity of the conductive film is 2.50 or more and 22.0 or less, the conductive film has excellent conductivity, the specific gravity of the conductive film-attached resin particles is kept low, and the distribution of the conductive film-attached resin particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is easily uniform, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily manufactured. If the specific gravity of the conductive film is 7.30 or more and 20.0 or less, the conductivity is further improved, so that the ratio of the mass of the conductive film to the total mass of the conductive film-attached resin particles 24b can be lowered to improve dispersibility, and the amount of the conductive film-attached resin particles 24b added can be reduced to improve adhesion. If the specific gravity of the conductive film is 7.50 or more and 12.0 or less, the conductive film-attached resin particles 24b can be easily manufactured.

導電膜付き樹脂粒子24bの総質量に対する導電膜の質量の割合は、2.5質量%以上50質量%以下が好ましく、4質量%以上30質量%以下がより好ましく、5質量%以上20質量%以下がさらに好ましい。前記導電膜の質量の割合が前記範囲の下限値以上であれば、導電膜付き樹脂粒子の導電性が良くなり、プリント回路に電磁波遮蔽層20をより確実に電気的に接続できる。前記導電膜の質量の割合が50質量%以下であれば、導電膜付き樹脂粒子の比重が低く抑えられ、異方導電性接着層24における導電膜付き樹脂粒子の分布が均一になりやすく、異方導電性接着層24を容易に製造できる。前記導電膜の質量の割合が30質量%以下であれば、樹脂粒子の圧縮強度への影響が小さく、熱圧着の際に導電膜付き樹脂粒子24bが変形するため、密着性が向上し、はんだフロー工程やリフロー工程での耐熱性や耐薬品性、耐溶剤性が向上する。 The ratio of the mass of the conductive film to the total mass of the resin particles 24b with conductive film is preferably 2.5% by mass or more and 50% by mass or less, more preferably 4% by mass or more and 30% by mass or less, and even more preferably 5% by mass or more and 20% by mass or less. If the ratio of the mass of the conductive film is equal to or more than the lower limit of the range, the conductivity of the resin particles with conductive film is improved, and the electromagnetic wave shielding layer 20 can be more reliably electrically connected to the printed circuit. If the ratio of the mass of the conductive film is 50% by mass or less, the specific gravity of the resin particles with conductive film is kept low, and the distribution of the resin particles with conductive film in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is easily uniform, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily manufactured. If the ratio of the mass of the conductive film is 30% by mass or less, the effect on the compressive strength of the resin particles is small, and the resin particles 24b with conductive film are deformed during thermocompression bonding, improving adhesion, and improving heat resistance, chemical resistance, and solvent resistance in the solder flow process and reflow process.

導電膜付き樹脂粒子24bの10%圧縮強度は、40MPa以下であり、0.25MPa以上19.0MPa以下が好ましく、0.5MPa以上7.0MPa以下がより好ましい。導電膜付き樹脂粒子24bの10%圧縮強度が19.0MPa以下であれば、熱圧着の際に導電膜付き樹脂粒子24bが変形しやすい。そのため、熱圧着時のプレス圧力、プレス温度、プレス時間等の条件を厳しくしなくても、異方導電性接着層24の樹脂が絶縁フィルム付きプリント配線板に接触しやすく、十分な密着性を確保できる。その結果、絶縁樹脂層10や金属層22、プリント配線板に破断や変形等の不具合が生じることが抑制され、作業性にも優れる。導電膜付き樹脂粒子24bの10%圧縮強度が7.0MPa以下であれば、密着性がさらに向上し、はんだフロー工程やリフロー工程での耐熱性や耐薬品性、耐溶剤性が向上する。また、短いプレス時間でも圧着可能になることで作業性もさらに向上する。導電膜付き樹脂粒子24bの10%圧縮強度が0.25MPa以上であれば、異方導電性接着層24の成膜時に変形して性能が低下する危険性がなくなる。導電膜付き樹脂粒子24bの10%圧縮強度が0.5MPa以上であれば、熱圧着の際に金属層22にかけられた圧力を大きく損失することなく、異方導電性接着層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路に確実に電気的に接続されやすい。 The 10% compressive strength of the conductive film-attached resin particles 24b is 40 MPa or less, preferably 0.25 MPa or more and 19.0 MPa or less, and more preferably 0.5 MPa or more and 7.0 MPa or less. If the 10% compressive strength of the conductive film-attached resin particles 24b is 19.0 MPa or less, the conductive film-attached resin particles 24b are easily deformed during thermocompression bonding. Therefore, even if the conditions such as the press pressure, press temperature, and press time during thermocompression bonding are not strict, the resin of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is easily in contact with the printed wiring board with the insulating film, and sufficient adhesion can be ensured. As a result, defects such as breakage and deformation in the insulating resin layer 10, the metal layer 22, and the printed wiring board are suppressed, and the workability is also excellent. If the 10% compressive strength of the conductive film-attached resin particles 24b is 7.0 MPa or less, the adhesion is further improved, and the heat resistance, chemical resistance, and solvent resistance in the solder flow process and reflow process are improved. In addition, workability is further improved by enabling compression bonding with a short press time. If the 10% compressive strength of the conductive film-attached resin particles 24b is 0.25 MPa or more, there is no risk of deformation during film formation of the anisotropic conductive adhesive layer 24, resulting in a decrease in performance. If the 10% compressive strength of the conductive film-attached resin particles 24b is 0.5 MPa or more, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is likely to be reliably electrically connected to the printed circuit of the printed wiring board through the through holes of the insulating film without a significant loss in the pressure applied to the metal layer 22 during thermocompression bonding.

異方導電性接着層24中の導電膜付き樹脂粒子24bの含有量は、異方導電性接着層24の総質量に対して、0.2質量%以上30質量%以下が好ましく、0.4質量%以上20質量%以下がより好ましい。導電膜付き樹脂粒子24bの含有量が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着層24の導電性が良好になり、電磁遮蔽性及び電気的な接続性が向上する。導電膜付き樹脂粒子24bの含有量が前記範囲の上限値以下であれば、異方導電性接着層24の接着性が良好になり、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。また、電磁波シールドフィルム1の製造コストが抑えられる。 The content of the conductive film-attached resin particles 24b in the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 0.2% by mass or more and 30% by mass or less, and more preferably 0.4% by mass or more and 20% by mass or less, relative to the total mass of the anisotropic conductive adhesive layer 24. If the content of the conductive film-attached resin particles 24b is equal to or more than the lower limit of the above range, the conductivity of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is improved, and the electromagnetic shielding properties and electrical connectivity are improved. If the content of the conductive film-attached resin particles 24b is equal to or less than the upper limit of the above range, the adhesion of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is improved, and the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved. In addition, the manufacturing cost of the electromagnetic wave shielding film 1 is reduced.

異方導電性接着層24の180℃における貯蔵弾性率は、1×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、5×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。異方導電性接着層24の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着層24がさらに適度な硬さを有するようになり、熱圧着の際の異方導電性接着層24における圧力損失を低減できる。その結果、異方導電性接着層24とプリント配線板のプリント回路とが十分に接着され、異方導電性接着層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路により確実に電気的に接続される。異方導電性接着層24の180℃における貯蔵弾性率が5×10Pa以下であれば、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。その結果、電磁波シールドフィルム1が絶縁フィルムの貫通孔内に沈み込みやすくなり、異方導電性接着層24が絶縁フィルムの貫通孔を通ってプリント配線板のプリント回路により確実に電気的に接続される。異方導電性接着層24の180℃における貯蔵弾性率が1×10Pa以下であれば、導電膜付き樹脂粒子24bが容易に変形できる。 The storage modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180°C is preferably 1x103 Pa or more and 5x107 Pa or less, more preferably 5x103 Pa or more and 1x107 Pa or less. If the storage modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180°C is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 has a more appropriate hardness, and the pressure loss in the anisotropic conductive adhesive layer 24 during thermocompression bonding can be reduced. As a result, the anisotropic conductive adhesive layer 24 and the printed circuit of the printed wiring board are sufficiently bonded, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 is more reliably electrically connected to the printed circuit of the printed wiring board through the through hole of the insulating film. If the storage modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180°C is 5x107 Pa or less, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved. As a result, the electromagnetic wave shielding film 1 is easily sunk into the through-hole of the insulating film, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 passes through the through-hole of the insulating film and is reliably electrically connected to the printed circuit of the printed wiring board. If the storage modulus of the anisotropic conductive adhesive layer 24 at 180°C is 1 x 107 Pa or less, the conductive film-attached resin particles 24b can be easily deformed.

異方導電性接着層24の表面抵抗は、1×10Ω/□以上1×1016Ω/□以下が好ましく、1×10Ω/□以上1×1014Ω/□以下がより好ましい。異方導電性接着層24の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電膜付き樹脂粒子24bの含有量が低く抑えられる。また、電磁波遮蔽層20がプリント配線板の伝送特性へ与える影響が小さく、伝送損失の小さい電磁波シールドフィルム付きプリント配線板を製造できる。異方導電性接着層24の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、実用上、異方性に問題がない。 The surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1×10 4 Ω/□ or more and 1×10 16 Ω/□ or less, and more preferably 1×10 6 Ω/□ or more and 1×10 14 Ω/□ or less. If the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is equal to or more than the lower limit of the above range, the content of the conductive film-attached resin particles 24b can be kept low. In addition, the influence of the electromagnetic wave shielding layer 20 on the transmission characteristics of the printed wiring board is small, and a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film having small transmission loss can be manufactured. If the surface resistance of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is equal to or less than the upper limit of the above range, there is no practical problem with the anisotropy.

異方導電性接着層24の厚さは、1μm以上25μm以下が好ましく、2μm以上15μm以下がより好ましい。異方導電性接着層24の厚さが1μm以上であれば、異方導電性接着層24の密着性を確保できる。異方導電性接着層24の厚さが2μm以上であれば、異方導電性接着層24の面内での厚みブレを抑え、性能と生産性を安定化できる。異方導電性接着層24の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is preferably 1 μm or more and 25 μm or less, and more preferably 2 μm or more and 15 μm or less. If the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is 1 μm or more, the adhesion of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be ensured. If the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is 2 μm or more, the thickness variation within the plane of the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be suppressed, and performance and productivity can be stabilized. If the thickness of the anisotropic conductive adhesive layer 24 is equal to or less than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be made thinner. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着層:
等方導電性接着層26は、厚さ方向及び面方向に導電性を有し、かつ、接着性を有する。
等方導電性接着層26は、導電経路が増えるため、電気的な接続の安定性が高く、電磁波シールドフィルム1の電磁波遮蔽性をより高くできる利点を有する。また、導電膜付き樹脂粒子26bを用いることで、等方導電性接着層26の可撓性を改善でき、等方導電性接着層26の層内の金属成分の比率を下げることで、電磁波遮蔽層20がプリント配線板の伝送特性へ与える影響を小さくすることができる。
Isotropically conductive adhesive layer:
The isotropically conductive adhesive layer 26 has electrical conductivity in the thickness direction and the surface direction, and also has adhesiveness.
The isotropic conductive adhesive layer 26 has the advantage that the number of conductive paths is increased, resulting in high stability of electrical connection and higher electromagnetic shielding properties of the electromagnetic shielding film 1. In addition, by using the conductive film-attached resin particles 26b, the flexibility of the isotropic conductive adhesive layer 26 can be improved, and by reducing the ratio of metal components in the isotropic conductive adhesive layer 26, the effect of the electromagnetic shielding layer 20 on the transmission characteristics of the printed wiring board can be reduced.

等方導電性接着層26は、例えば、導電性接着剤からなる層が挙げられ、硬化後に耐熱性を発揮でき、熱圧着の際に導電経路を維持しやすい点から、熱硬化性樹脂26a及び導電膜付き樹脂粒子26bを含む、熱硬化性の導電性接着層が好ましい。
等方導電性接着層26に含まれる熱硬化性樹脂26aとしては、異方導電性接着層24に含まれる熱硬化性樹脂24aと同様のものが挙げられ、好ましい形態も同様である。
The isotropic conductive adhesive layer 26 may be, for example, a layer made of a conductive adhesive. A thermosetting conductive adhesive layer containing a thermosetting resin 26a and conductive film-attached resin particles 26b is preferred because it can exhibit heat resistance after curing and is easy to maintain a conductive path during thermocompression bonding.
The thermosetting resin 26a contained in the isotropic conductive adhesive layer 26 may be the same as the thermosetting resin 24a contained in the anisotropic conductive adhesive layer 24, and the preferred forms are also the same.

導電膜付き樹脂粒子26bとしては、異方導電性接着層24に含まれる導電膜付き樹脂粒子24bと同様に上述したコアシェル構造の導電膜付き樹脂粒子であり、好ましい形態も同様である。
等方導電性接着層26における導電膜付き樹脂粒子26bの平均粒子径は、0.5μm以上10μm以下が好ましく、0.5μm以上5μm以下がより好ましく、0.5μm以上3μm以下がさらに好ましい。導電膜付き樹脂粒子26bの平均粒子径が前記範囲の下限値以上であれば、導電膜付き樹脂粒子26bの製造コストを抑えることができる。導電膜付き樹脂粒子26bの平均粒子径が前記範囲の上限値以下であれば、導電膜付き樹脂粒子26bの接触点数が増えることになり、3次元方向の導通性を安定的に高めることができる。
The conductive film-attached resin particles 26b are the conductive film-attached resin particles having the above-mentioned core-shell structure, similar to the conductive film-attached resin particles 24b contained in the anisotropic conductive adhesive layer 24, and the preferred form is also the same.
The average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 26b in the isotropically conductive adhesive layer 26 is preferably 0.5 μm or more and 10 μm or less, more preferably 0.5 μm or more and 5 μm or less, and even more preferably 0.5 μm or more and 3 μm or less. If the average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 26b is equal to or more than the lower limit of the above range, the manufacturing cost of the conductive film-attached resin particles 26b can be reduced. If the average particle diameter of the conductive film-attached resin particles 26b is equal to or less than the upper limit of the above range, the number of contact points of the conductive film-attached resin particles 26b increases, and the conductivity in the three-dimensional direction can be stably improved.

等方導電性接着層26中の導電膜付き樹脂粒子26bの含有量は、等方導電性接着層26の総質量に対して、5質量%以上60質量%以下が好ましく、9質量%以上50質量%以下がより好ましい。導電膜付き樹脂粒子26bの割合が前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着層26の導電性が良好になる。導電膜付き樹脂粒子26bの割合が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着層26の接着性、流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)が良好になる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The content of the conductive film-attached resin particles 26b in the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 5% by mass or more and 60% by mass or less, and more preferably 9% by mass or more and 50% by mass or less, relative to the total mass of the isotropic conductive adhesive layer 26. If the proportion of the conductive film-attached resin particles 26b is equal to or more than the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 is good. If the proportion of the conductive film-attached resin particles 26b is equal to or less than the upper limit of the above range, the adhesion and fluidity (ability to conform to the shape of the through holes in the insulating film) of the isotropic conductive adhesive layer 26 are good. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

等方導電性接着層26の180℃における貯蔵弾性率は、1×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、5×10Pa以上1×10Pa以下がより好ましい。前記範囲が好ましい理由は、異方導電性接着層24と同様である。 The storage modulus of the isotropically conductive adhesive layer 26 at 180° C. is preferably 1×10 3 Pa or more and 5×10 7 Pa or less, and more preferably 5×10 3 Pa or more and 1×10 7 Pa or less. The reason why this range is preferable is the same as that of the anisotropically conductive adhesive layer 24.

等方導電性接着層26の表面抵抗は、0.05Ω/□以上2.0Ω/□以下が好ましく、0.1Ω/□以上1.0Ω/□以下がより好ましい。等方導電性接着層26の表面抵抗が前記範囲の下限値以上であれば、導電膜付き樹脂粒子26bの含有量が低く抑えられ、導電性接着剤の粘度が高くなりすぎず、塗布性がさらに良好となる。また、等方導電性接着層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)をさらに確保できる。等方導電性接着層26の表面抵抗が前記範囲の上限値以下であれば、等方導電性接着層26の全面が均一な導電性を有するものとなる。 The surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 0.05 Ω/□ or more and 2.0 Ω/□ or less, and more preferably 0.1 Ω/□ or more and 1.0 Ω/□ or less. If the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or more than the lower limit of the above range, the content of the conductive film-attached resin particles 26b is kept low, the viscosity of the conductive adhesive does not become too high, and the applicability is further improved. In addition, the fluidity of the isotropic conductive adhesive layer 26 (ability to follow the shape of the through holes in the insulating film) can be further ensured. If the surface resistance of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or less than the upper limit of the above range, the entire surface of the isotropic conductive adhesive layer 26 has uniform conductivity.

等方導電性接着層26の厚さは、1μm以上20μm以下が好ましく、2μm以上17μm以下がより好ましく、4μm以上15μm以下がさらに好ましい。等方導電性接着層26の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、等方導電性接着層26の導電性が良好になり、電磁波遮蔽性を十分に発現できる。また、等方導電性接着層26の流動性(絶縁フィルムの貫通孔の形状への追随性)を確保でき、絶縁フィルムの貫通孔内を導電性接着剤で十分に埋めることができ、密着性も確保できる。等方導電性接着層26の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1を薄くできる。また、電磁波シールドフィルム1の可とう性がよくなる。 The thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is preferably 1 μm or more and 20 μm or less, more preferably 2 μm or more and 17 μm or less, and even more preferably 4 μm or more and 15 μm or less. If the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the conductivity of the isotropic conductive adhesive layer 26 is good, and the electromagnetic wave shielding properties can be fully exhibited. In addition, the fluidity (ability to follow the shape of the through holes of the insulating film) of the isotropic conductive adhesive layer 26 can be ensured, the through holes of the insulating film can be sufficiently filled with the conductive adhesive, and adhesion can be ensured. If the thickness of the isotropic conductive adhesive layer 26 is equal to or less than the upper limit of the above range, the electromagnetic wave shielding film 1 can be made thin. In addition, the flexibility of the electromagnetic wave shielding film 1 is improved.

(キャリアフィルム)
キャリアフィルム30は、絶縁樹脂層10及び電磁波遮蔽層20を補強及び保護する支持体であり、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性を良好にする。特に、絶縁樹脂層10として、厚さ10μm以下のフィルムを用いた場合には、キャリアフィルム30を有することによって、絶縁樹脂層10の破断を防ぐことができる。
キャリアフィルム30は、電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に貼り付けた後には、絶縁樹脂層10から剥離される。
(Carrier film)
The carrier film 30 is a support that reinforces and protects the insulating resin layer 10 and the electromagnetic wave shielding layer 20, and improves the handleability of the electromagnetic wave shielding film 1. In particular, when a film having a thickness of 10 μm or less is used as the insulating resin layer 10, the presence of the carrier film 30 can prevent the insulating resin layer 10 from breaking.
After the electromagnetic wave shielding film 1 is attached to a printed wiring board or the like, the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10 .

本実施形態において使用されるキャリアフィルム30は、キャリアフィルム本体32と、キャリアフィルム本体32の絶縁樹脂層10側の表面に設けられた離型剤層34とを有する。 The carrier film 30 used in this embodiment has a carrier film body 32 and a release agent layer 34 provided on the surface of the carrier film body 32 facing the insulating resin layer 10.

キャリアフィルム本体32の樹脂材料としては、ポリエチレンテレフタレート(以下、「PET」ということもある。)、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリオレフィン、ポリアセテート、ポリカーボネート、ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド、エチレン-酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、合成ゴム、液晶ポリマー等が挙げられる。樹脂材料としては、電磁波シールドフィルム1を製造する際の耐熱性(寸法安定性)及び価格の点から、PETが好ましい。 The resin material of the carrier film body 32 may be polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes referred to as "PET"), polyethylene naphthalate, polyethylene isophthalate, polybutylene terephthalate, polyolefin, polyacetate, polycarbonate, polyphenylene sulfide, polyamide, ethylene-vinyl acetate copolymer, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, synthetic rubber, liquid crystal polymer, etc. As the resin material, PET is preferred from the standpoint of heat resistance (dimensional stability) and price when manufacturing the electromagnetic wave shielding film 1.

キャリアフィルム本体32は、着色剤(顔料、染料等)及びフィラーのいずれか一方又は両方を含んでいてもよい。
着色剤及びフィラーのいずれか一方又は両方としては、絶縁樹脂層10と明確に区別でき、熱圧着した後にキャリアフィルム30の剥がし残しに気が付きやすい点から、絶縁樹脂層10とは異なる色のものが好ましく、白色顔料、フィラー、白色顔料と他の顔料の組み合わせ、又は白色顔料とフィラーとの組み合わせがより好ましい。
The carrier film body 32 may contain either or both of a colorant (pigment, dye, etc.) and a filler.
As either the colorant or the filler, or both, a color different from that of the insulating resin layer 10 is preferable, since it can be clearly distinguished from the insulating resin layer 10 and it is easy to notice any remaining part of the carrier film 30 after thermocompression bonding. A white pigment, a filler, a combination of a white pigment and another pigment, or a combination of a white pigment and a filler is more preferable.

キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率は、8×10Pa以上5×10Pa以下が好ましく、1×10Pa以上8×10Pa以下がより好ましい。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の下限値以上であれば、キャリアフィルム30が適度の硬さを有するようになり、熱圧着の際のキャリアフィルム30における圧力損失を低減でき、電磁波シールドフィルム1の破断を防止できる。キャリアフィルム本体32の180℃における貯蔵弾性率が前記範囲の上限値以下であれば、キャリアフィルム30の柔軟性が良好となり、電磁波シールドフィルム1のプリント配線板の段差への追従性が向上する。 The storage modulus of the carrier film main body 32 at 180°C is preferably 8x107 Pa or more and 5x109 Pa or less, and more preferably 1x108 Pa or more and 8x108 Pa or less. When the storage modulus of the carrier film main body 32 at 180°C is equal to or more than the lower limit of the above range, the carrier film 30 has an appropriate hardness, which can reduce pressure loss in the carrier film 30 during thermocompression bonding and prevent breakage of the electromagnetic wave shielding film 1. When the storage modulus of the carrier film main body 32 at 180°C is equal to or less than the upper limit of the above range, the flexibility of the carrier film 30 is good, and the ability of the electromagnetic wave shielding film 1 to conform to steps on a printed wiring board is improved.

キャリアフィルム本体32の厚さは、12μm以上100μm以下が好ましく、20μm以上75μm以下がより好ましい。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム本体32の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム1の導電性接着層を熱圧着する際に導電性接着層に熱が伝わりやすい。また、電磁波シールドフィルム1のプリント配線板の段差への追従性が向上する。 The thickness of the carrier film body 32 is preferably 12 μm or more and 100 μm or less, and more preferably 20 μm or more and 75 μm or less. If the thickness of the carrier film body 32 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the handling properties of the electromagnetic shielding film 1 are good. If the thickness of the carrier film body 32 is equal to or less than the upper limit of the above range, heat is easily transferred to the conductive adhesive layer when the conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film 1 is thermocompression bonded to the surface of the insulating film. In addition, the conformability of the electromagnetic shielding film 1 to steps on the printed wiring board is improved.

離型剤層34は、キャリアフィルム本体32の表面を離型剤で処理して形成される。キャリアフィルム30が離型剤層34を有することによって、キャリアフィルム30を絶縁樹脂層10から剥離する際に、キャリアフィルム30を剥離しやすく、絶縁樹脂層10が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The release agent layer 34 is formed by treating the surface of the carrier film body 32 with a release agent. By having the release agent layer 34 on the carrier film 30, when the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10, the carrier film 30 is easily peeled off and the insulating resin layer 10 is less likely to break.
As the release agent, a known release agent may be used.

離型剤層34の厚さは、0.01μm以上30μm以下が好ましく、0.05μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層34の厚さが前記範囲内であれば、キャリアフィルム30をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 34 is preferably 0.01 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.05 μm or more and 20 μm or less. If the thickness of the release agent layer 34 is within the above range, the carrier film 30 becomes even easier to peel off.

キャリアフィルム30の厚さは、12μm以上125μm以下が好ましく、25μm以上100μm以下がより好ましい。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の下限値以上であれば、電磁波シールドフィルム1のハンドリング性が良好となる。キャリアフィルム30の厚さが前記範囲の上限値以下であれば、絶縁フィルムの表面に電磁波シールドフィルム1の導電性接着層を熱圧着する際に導電性接着層に熱が伝わりやすい。また、電磁波シールドフィルム1のプリント配線板の段差への追従性が向上する。 The thickness of the carrier film 30 is preferably 12 μm or more and 125 μm or less, and more preferably 25 μm or more and 100 μm or less. If the thickness of the carrier film 30 is equal to or greater than the lower limit of the above range, the handling properties of the electromagnetic shielding film 1 are good. If the thickness of the carrier film 30 is equal to or less than the upper limit of the above range, heat is easily transferred to the conductive adhesive layer when the conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film 1 is thermocompression bonded to the surface of the insulating film. In addition, the conformability of the electromagnetic shielding film 1 to steps on the printed wiring board is improved.

(離型フィルム)
離型フィルム40は、導電性接着層を保護するものであり、電磁波シールドフィルム1をロール形状に巻き取った際やシート状にカットして重ねた際のブロッキングの防止と摺動性の改善に効果的である。離型フィルム40は、電磁波シールドフィルム1をプリント配線板等に貼り付ける前に、導電性接着層から剥離される。
(Release film)
The release film 40 protects the conductive adhesive layer and is effective in preventing blocking and improving sliding properties when the electromagnetic shielding film 1 is wound into a roll or cut into sheets and stacked. The release film 40 is peeled off from the conductive adhesive layer before the electromagnetic shielding film 1 is attached to a printed wiring board or the like.

離型フィルム40は、例えば、離型フィルム本体42と、離型フィルム本体42の導電性接着層側の表面に設けられた離型剤層44とを有する。 The release film 40 has, for example, a release film body 42 and a release agent layer 44 provided on the surface of the release film body 42 on the conductive adhesive layer side.

離型フィルム本体42の樹脂材料としては、キャリアフィルム本体32の樹脂材料と同様なものが挙げられる。
離型フィルム本体42は、着色剤、フィラー等を含んでいてもよい。
離型フィルム本体42の厚さは、5μm以上500μm以下が好ましく、10μm以上150μm以下がより好ましく、20μm以上100μm以下がさらに好ましい。
Examples of the resin material of the release film body 42 include the same resin material as that of the carrier film body 32 .
The release film body 42 may contain a colorant, a filler, and the like.
The thickness of the release film body 42 is preferably 5 μm or more and 500 μm or less, more preferably 10 μm or more and 150 μm or less, and even more preferably 20 μm or more and 100 μm or less.

離型剤層44は、離型フィルム本体42の表面を離型剤で処理して形成される。離型フィルム40が離型剤層44を有することによって、離型フィルム40を導電性接着層から剥離する際に、離型フィルム40を剥離しやすく、導電性接着層が破断しにくくなる。
離型剤としては、公知の離型剤を用いればよい。
The release agent layer 44 is formed by treating the surface of the release film body 42 with a release agent. By having the release agent layer 44 on the release film 40, when the release film 40 is peeled off from the conductive adhesive layer, the release film 40 is easily peeled off and the conductive adhesive layer is less likely to break.
As the release agent, a known release agent may be used.

離型剤層44の厚さは、0.01μm以上30μm以下が好ましく、0.05μm以上20μm以下がより好ましい。離型剤層44の厚さが前記範囲内であれば、離型フィルム40をさらに剥離しやすくなる。 The thickness of the release agent layer 44 is preferably 0.01 μm or more and 30 μm or less, and more preferably 0.05 μm or more and 20 μm or less. If the thickness of the release agent layer 44 is within the above range, the release film 40 becomes even easier to peel off.

以上説明した電磁波シールドフィルム1にあっては、電磁波遮蔽層に含まれる導電性粒子が導電膜付き樹脂粒子である。導電膜付き樹脂粒子は金属粒子に比べて比重が小さく、導電性接着剤塗料中や塗工機の流路内で沈降しにくいため、汎用の塗工方法でも安定して電磁波遮蔽層を形成できる。また、導電膜付き樹脂粒子は金属粒子に比べて粒度分布を制御しやすく、粒度分布をシャープにできる。そのため、接続に寄与しない粒子径の小さい導電膜付き樹脂粒子やスペーサーのように働く粒子径がより大きな導電膜付き樹脂粒子の比率が低く、電磁波シールドフィルムの導電性接着層とプリント配線板の表面との仮固定性や密着性が向上する。その結果、はんだフロー工程やリフロー工程において内部でガスが発生した際に、導電性接着層が剥離せず膨れが発生しない。また、接続に寄与する粒子径の導電膜付き樹脂粒子が増加するため、導電膜付き樹脂粒子の含有量を少なくしても、電磁波シールドフィルムとプリント配線板のプリント回路との電気的な接続性に優れる。 In the electromagnetic shielding film 1 described above, the conductive particles contained in the electromagnetic shielding layer are resin particles with a conductive film. The resin particles with a conductive film have a smaller specific gravity than metal particles and are less likely to settle in the conductive adhesive paint or in the flow path of the coating machine, so that the electromagnetic shielding layer can be stably formed even with a general-purpose coating method. In addition, the particle size distribution of the resin particles with a conductive film is easier to control than that of metal particles, and the particle size distribution can be made sharper. Therefore, the ratio of the resin particles with a conductive film with a small particle size that do not contribute to the connection and the resin particles with a conductive film with a larger particle size that acts like a spacer is low, and the temporary fixation and adhesion between the conductive adhesive layer of the electromagnetic shielding film and the surface of the printed wiring board are improved. As a result, when gas is generated inside during the solder flow process or reflow process, the conductive adhesive layer does not peel off and no swelling occurs. In addition, since the resin particles with a conductive film with a particle size that contributes to the connection increase, the electrical connection between the electromagnetic shielding film and the printed circuit of the printed wiring board is excellent even if the content of the resin particles with a conductive film is reduced.

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルムは、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、電磁波遮蔽層が導電膜付き樹脂粒子を含むものであればよく、図示例の第1の実施形態及び第2の実施形態に限定されない。
例えば、絶縁樹脂層10が十分な柔軟性や強度を有する場合は、キャリアフィルム30を省略しても構わない。
電磁波遮蔽層が金属層を有していなくてもよい。例えば、電磁波遮蔽層が、絶縁樹脂層に隣接する等方導電性接着層からなる電磁波シールドフィルムであってもよい。
導電性接着層の表面の粘着力が小さい場合には、離型フィルム40を省略しても構わない。
キャリアフィルム30は、キャリアフィルム本体32が十分な離型性を有する、又は自己粘着性を有するフィルムである場合には、離型剤層34を有しなくてもよい。
キャリアフィルム30は、離型剤層34の代わりに粘着剤層を有していてもよい。
離型フィルム40は、離型フィルム本体42が十分な離型性を有する、又は自己粘着性を有するフィルムである場合は、離型剤層44を有しなくてもよい。
離型フィルム40は、離型剤層44の代わりに粘着剤層を有していてもよい。
Other Embodiments
The electromagnetic wave shielding film of this embodiment has an insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer, and the electromagnetic wave shielding layer may contain resin particles with a conductive film, and is not limited to the first and second embodiments shown in the figures.
For example, if the insulating resin layer 10 has sufficient flexibility and strength, the carrier film 30 may be omitted.
The electromagnetic wave shielding layer does not necessarily have to have a metal layer, and may be, for example, an electromagnetic wave shielding film made of an isotropic conductive adhesive layer adjacent to an insulating resin layer.
If the adhesive strength of the surface of the conductive adhesive layer is low, the release film 40 may be omitted.
The carrier film 30 does not need to have the release agent layer 34 if the carrier film body 32 has sufficient releasability or is a film having self-adhesive properties.
The carrier film 30 may have an adhesive layer instead of the release agent layer 34 .
The release film 40 does not need to have the release agent layer 44 if the release film body 42 has sufficient releasability or is a film having self-adhesive properties.
The release film 40 may have an adhesive layer instead of the release agent layer 44 .

<電磁波シールドフィルムの製造方法>
本発明の第2の態様は、絶縁樹脂層と、絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、電磁波遮蔽層が、絶縁樹脂層に隣接する金属層と、金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する導電性接着層とを有する電磁波シールドフィルムを製造する方法である。本発明の第2の態様では、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を金属層上に塗布して導電性接着層を形成する。
<Method of manufacturing electromagnetic wave shielding film>
A second aspect of the present invention is a method for producing an electromagnetic wave shielding film having an insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer, the electromagnetic wave shielding layer having a metal layer adjacent to the insulating resin layer and a conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on the opposite side to the insulating resin layer. In the second aspect of the present invention, a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film is applied onto the metal layer to form a conductive adhesive layer.

第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1を製造する方法としては、例えば、下記の方法(A1)が挙げられる。方法(A1)は、下記の工程(A1-1)~(A1-4)を有する方法である。
工程(A1-1):キャリアフィルム30の片面に絶縁樹脂層10を形成する工程。
工程(A1-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属層22を形成する工程。
工程(A1-3):金属層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に異方導電性接着層24を形成する工程。
工程(A1-4):異方導電性接着層24の金属層22とは反対側の面に離型フィルム40を積層する工程。
以下、方法(A1)の各工程について詳細に説明する。
An example of a method for producing the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment is the following method (A1). The method (A1) is a method including the following steps (A1-1) to (A1-4).
Step (A1-1): A step of forming an insulating resin layer 10 on one surface of a carrier film 30.
Step (A1-2): A step of forming a metal layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30.
Step (A1-3): A step of forming an anisotropic conductive adhesive layer 24 on the surface of the metal layer 22 opposite to the insulating resin layer 10.
Step (A1-4): A step of laminating a release film 40 on the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite to the metal layer 22.
Each step of the method (A1) will be described in detail below.

工程(A1-1)における絶縁樹脂層10の形成方法としては、例えば、下記の方法が挙げられる。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させる方法。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む塗料を塗布し、乾燥させる方法。
・キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱可塑性樹脂を含む組成物を押出成形により成形したフィルムを直接積層する方法。
これらの方法のなかでも、はんだ付け等の際の耐熱性の点から、キャリアフィルム30の離型剤層34側の面に、熱硬化性樹脂と硬化剤とを含む塗料を塗布し、半硬化又は硬化させる方法が好ましい。
塗料の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
熱硬化性樹脂を半硬化又は硬化させる際には、ヒータ、赤外線ランプ等の加熱器を用いて加熱すればよく、紫外線照射器により紫外線を照射してもよい。
The method for forming the insulating resin layer 10 in the step (A1-1) may be, for example, the following method.
A method in which a coating material containing a thermosetting resin and a curing agent is applied to the surface of the carrier film 30 on the release agent layer 34 side, and then semi-cured or cured.
A method of applying paint containing a thermoplastic resin to the surface of the carrier film 30 on the release agent layer 34 side, and then drying the paint.
A method of directly laminating a film formed by extrusion molding a composition containing a thermoplastic resin onto the surface of the carrier film 30 on which the release agent layer 34 is formed.
Among these methods, from the standpoint of heat resistance during soldering, etc., a method in which a paint containing a thermosetting resin and a curing agent is applied to the surface of the carrier film 30 on the release agent layer 34 side and then semi-cured or cured is preferred.
Examples of a method for applying the coating material include methods using various coaters such as a die coater, a gravure coater, a roll coater, a curtain flow coater, a spin coater, a bar coater, a reverse coater, a kiss coater, a fountain coater, a rod coater, an air doctor coater, a knife coater, a blade coater, a cast coater, and a screen coater.
When semi-curing or curing the thermosetting resin, it is sufficient to heat it using a heater such as a heater or an infrared lamp, or it may be irradiated with ultraviolet rays using an ultraviolet irradiator.

工程(A1-2)における金属層22の形成方法としては、物理蒸着、CVD(化学気相蒸着)によって蒸着膜を形成する方法、めっきによってめっき膜を形成する方法、金属箔を貼り付ける方法等が挙げられる。面方向の導電性に優れる金属層22を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法、又はめっきによってめっき膜を形成する方法が好ましい。金属層22の厚さを薄くでき、かつ厚さが薄くても面方向の導電性に優れる金属層22を形成でき、ドライプロセスにて簡便に金属層22を形成できる点から、物理蒸着、CVDによって蒸着膜を形成する方法がより好ましく、物理蒸着によって蒸着膜を形成する方法がさらに好ましい。 Methods for forming the metal layer 22 in step (A1-2) include a method for forming a vapor-deposited film by physical vapor deposition or CVD (chemical vapor deposition), a method for forming a plated film by plating, and a method for attaching a metal foil. From the viewpoint of forming a metal layer 22 with excellent conductivity in the surface direction, a method for forming a vapor-deposited film by physical vapor deposition or CVD, or a method for forming a plated film by plating is preferred. From the viewpoints of being able to form a thin metal layer 22, being able to form a metal layer 22 with excellent conductivity in the surface direction even if it is thin, and being able to form the metal layer 22 simply by a dry process, a method for forming a vapor-deposited film by physical vapor deposition or CVD is more preferred, and a method for forming a vapor-deposited film by physical vapor deposition is even more preferred.

工程(A1-3)では、金属層22の絶縁樹脂層10とは反対側の面に、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を塗布する。導電性接着剤塗料としては、例えば、熱硬化性樹脂24aと導電膜付き樹脂粒子24bと溶剤とを含むものが挙げられる。
導電性接着剤塗料に含まれる溶剤としては、エステル(酢酸ブチル、酢酸エチル、酢酸メチル、酢酸イソプロピル、エチレングリコールモノアセテート等)、ケトン(メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等)、アルコール(メタノール、エタノール、イソプロパノール、ブタノール、プロピレングリールモノメチルエーテル、プロピレングルコール等)、トルエン等が挙げられる。
導電性接着剤塗料の塗布方法としては、例えば、ダイコーター、グラビアコーター、ロールコーター、カーテンフローコーター、スピンコーター、バーコーター、リバースコーター、キスコーター、ファウンテンコーター、ロッドコーター、エアドクターコーター、ナイフコーター、ブレードコーター、キャストコーター、スクリーンコーター等の各種コーターを用いた方法を適用することができる。
塗布した導電性接着剤塗料から溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着層24を形成する。
In step (A1-3), a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film is applied to the surface of the metal layer 22 opposite the insulating resin layer 10. The conductive adhesive paint may, for example, contain a thermosetting resin 24a, resin particles with a conductive film 24b, and a solvent.
Examples of solvents contained in the conductive adhesive paint include esters (butyl acetate, ethyl acetate, methyl acetate, isopropyl acetate, ethylene glycol monoacetate, etc.), ketones (methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, etc.), alcohols (methanol, ethanol, isopropanol, butanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol, etc.), toluene, etc.
Examples of a method for applying the conductive adhesive coating material include methods using various coaters such as a die coater, gravure coater, roll coater, curtain flow coater, spin coater, bar coater, reverse coater, kiss coater, fountain coater, rod coater, air doctor coater, knife coater, blade coater, cast coater, and screen coater.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is formed by volatilizing the solvent from the applied conductive adhesive paint.

工程(A1-4)では、離型フィルム40を、異方導電性接着層24の金属層22とは反対側の面に、離型剤層44が異方導電性接着層24に接するように積層する。
離型フィルム40を異方導電性接着層24に積層した後には、キャリアフィルム30、絶縁樹脂層10、金属層22、異方導電性接着層24及び離型フィルム40からなる積層体に、各層同士の密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。
加圧処理と同時に加熱してもよい。
In the step (A1-4), the release film 40 is laminated on the surface of the anisotropic conductive adhesive layer 24 opposite the metal layer 22 such that the release agent layer 44 is in contact with the anisotropic conductive adhesive layer 24.
After laminating the release film 40 onto the anisotropic conductive adhesive layer 24, the laminate consisting of the carrier film 30, the insulating resin layer 10, the metal layer 22, the anisotropic conductive adhesive layer 24 and the release film 40 may be subjected to a pressure treatment to increase the adhesion between the layers.
Heating may be performed simultaneously with the pressure treatment.

なお、第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、下記の方法(A2)によって製造してもよい。方法(A2)は、下記の工程(A2-1)~(A2-4)を有する方法である。
工程(A2-1):キャリアフィルム30の片面に絶縁樹脂層10を形成する工程。
工程(A2-2):絶縁樹脂層10のキャリアフィルム30とは反対側の面に金属層22を形成して積層体Iを得る工程。
工程(A2-3):離型フィルム40の片面に異方導電性接着層24を形成して積層体IIを得る工程。
工程(A2-4):積層体Iと積層体IIとを、積層体Iの金属層22と積層体IIの異方導電性接着層24とが接するように貼り合せる工程。
The electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment may be produced by the following method (A2). The method (A2) is a method including the following steps (A2-1) to (A2-4).
Step (A2-1): A step of forming an insulating resin layer 10 on one surface of a carrier film 30.
Step (A2-2): A step of forming a metal layer 22 on the surface of the insulating resin layer 10 opposite to the carrier film 30 to obtain a laminate I.
Step (A2-3): A step of forming an anisotropic conductive adhesive layer 24 on one surface of a release film 40 to obtain a laminate II.
Step (A2-4): A step of bonding the laminate I and the laminate II together so that the metal layer 22 of the laminate I and the anisotropic conductive adhesive layer 24 of the laminate II are in contact with each other.

工程(A2-1)及び工程(A2-2)は、前記方法(A1)における工程(A1-1)及び工程(A1-2)と同様である。 Steps (A2-1) and (A2-2) are the same as steps (A1-1) and (A1-2) in the method (A1).

工程(A2-3)では、離型フィルム40の離型剤層44が設けられた面に導電性接着剤塗料を塗布する。塗布した導電性接着剤塗料から溶剤を揮発させることにより、異方導電性接着層24を形成する。導電性接着剤塗料及び塗布方法は、前記方法(A1)における工程(A1-3)と同様である。 In step (A2-3), a conductive adhesive paint is applied to the surface of the release film 40 on which the release agent layer 44 is provided. The solvent is evaporated from the applied conductive adhesive paint to form the anisotropic conductive adhesive layer 24. The conductive adhesive paint and the application method are the same as those in step (A1-3) in the method (A1).

工程(A2-4)における積層体Iと積層体IIとの貼り合せでは、積層体Iと積層体IIとの密着性を高めるための加圧処理を施してもよい。加圧条件は、工程(A1-4)における加圧処理と同様である。また、工程(A2-4)においても、工程(A1-4)と同様に加熱してもよい。 When laminating laminate I and laminate II in step (A2-4), a pressure treatment may be performed to increase the adhesion between laminate I and laminate II. The pressure conditions are the same as those in the pressure treatment in step (A1-4). Heating may also be performed in step (A2-4) as in step (A1-4).

第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1を製造する方法としては、例えば、下記の方法(B1)が挙げられる。
方法(B1)は、異方導電性接着層24の代わりに等方導電性接着層26を形成する以外は方法(A1)と同様の方法である。
なお、第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1は、方法(B2)によって製造してもよい。方法(B2)は、異方導電性接着層24の代わりに等方導電性接着層26を形成する以外は方法(A2)と同様の方法である。
An example of a method for producing the electromagnetic wave shielding film 1 of the second embodiment is the following method (B1).
The method (B1) is similar to the method (A1) except that an isotropic conductive adhesive layer 26 is formed instead of the anisotropic conductive adhesive layer 24.
The electromagnetic wave shielding film 1 of the second embodiment may be produced by a method (B2), which is the same as the method (A2) except that an isotropic conductive adhesive layer 26 is formed instead of the anisotropic conductive adhesive layer 24.

(作用効果)
以上説明した電磁波シールドフィルム1の製造方法にあっては、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を塗布するため、第1の態様と同じ作用効果によって、汎用の方法で簡便に電磁波シールドフィルム1を製造できる。また、可撓性と密着性が優れ、導電膜付き樹脂粒子の含有量を少なくしても、プリント配線板のプリント回路との電気的な接続性に優れた電磁波シールドフィルム1を製造できる。
(Action and Effect)
In the method for producing the electromagnetic wave shielding film 1 described above, a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film is applied, and therefore the electromagnetic wave shielding film 1 can be produced easily by a general-purpose method with the same effect as in the first embodiment. In addition, an electromagnetic wave shielding film 1 that has excellent flexibility and adhesion and has excellent electrical connectivity with the printed circuit of a printed wiring board can be produced even if the content of the resin particles with a conductive film is reduced.

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルムの製造方法は、熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料の塗工によって導電性接着層を形成する方法であり、導電性粒子が上述した導電膜付き樹脂粒子である方法であればよく、上述した方法(A1)、(A2)、(B1)、(B2)に限定されない。
Other Embodiments
The manufacturing method of the electromagnetic wave shielding film of this embodiment is a method of forming a conductive adhesive layer by applying a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film, and is not limited to the above-mentioned methods (A1), (A2), (B1), and (B2) as long as the conductive particles are the above-mentioned resin particles with a conductive film.

<電磁波シールドフィルム付きプリント配線板>
本発明の第3の態様は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の表面に隣接する絶縁フィルムと、絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に隣接し、電磁波遮蔽層が前記絶縁フィルムに接する本発明の第1の態様の電磁波シールドフィルムとを有する電磁波シールドフィルム付きプリント配線板である。
<Printed wiring board with electromagnetic shielding film>
A third aspect of the present invention is a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, comprising: a printed wiring board having a printed circuit provided on at least one side of a substrate; an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided; and an electromagnetic wave shielding film of the first aspect of the present invention adjacent to the side of the insulating film opposite the printed wiring board, with an electromagnetic wave shielding layer in contact with the insulating film.

図3は、本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の一実施形態を示す断面図である。
電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2は、フレキシブルプリント配線板50と、絶縁フィルム60と、第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1とを備える。
フレキシブルプリント配線板50は、ベースフィルム52の少なくとも片面にプリント回路54が設けられたものである。
絶縁フィルム60は、フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に設けられる。
電磁波シールドフィルム1の異方導電性接着層24は、絶縁フィルム60の表面に接着され、かつ硬化されている。また、異方導電性接着層24は、絶縁フィルム60に形成された貫通孔(図示略)を通ってプリント回路54に電気的に接続されている。
電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2においては、キャリアフィルム及び離型フィルムは、電磁波シールドフィルム1から剥離されている。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing one embodiment of a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film according to this aspect.
The printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film includes a flexible printed wiring board 50, an insulating film 60, and the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment.
The flexible printed wiring board 50 has a printed circuit 54 provided on at least one surface of a base film 52 .
The insulating film 60 is provided on the surface of the flexible printed wiring board 50 on which the printed circuit 54 is provided.
The anisotropic conductive adhesive layer 24 of the electromagnetic wave shielding film 1 is adhered to and cured on the surface of the insulating film 60. In addition, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is electrically connected to the printed circuit 54 through a through hole (not shown) formed in the insulating film 60.
In the printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film, the carrier film and the release film have been peeled off from the electromagnetic wave shielding film 1 .

貫通孔のある部分を除くプリント回路54(信号回路、グランド回路、グランド層等)の近傍には、電磁波シールドフィルム1の金属層22が、絶縁フィルム60及び異方導電性接着層24を介して離間して対向配置される。 In the vicinity of the printed circuit 54 (signal circuit, ground circuit, ground layer, etc.) except for the part with the through hole, the metal layer 22 of the electromagnetic shielding film 1 is arranged opposite and spaced apart via the insulating film 60 and the anisotropic conductive adhesive layer 24.

(フレキシブルプリント配線板)
フレキシブルプリント配線板50は、銅張積層板の銅箔を公知のエッチング法により所望のパターンに加工してプリント回路54としたものである。
銅張積層板としては、ベースフィルム52の片面又は両面に接着剤層(図示略)を介して銅箔を貼り付けたもの;銅箔の表面にベースフィルム52を形成する樹脂溶液等をキャストしたもの等が挙げられる。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。
接着剤層の厚さは、0.5μm以上30μm以下が好ましい。
(Flexible Printed Circuit Board)
The flexible printed wiring board 50 is formed by processing the copper foil of a copper-clad laminate into a desired pattern by a known etching method to form a printed circuit 54 .
Examples of copper-clad laminates include those in which copper foil is attached to one or both sides of a base film 52 via an adhesive layer (not shown); and those in which a resin solution or the like that forms a base film 52 is cast onto the surface of the copper foil.
Examples of materials for the adhesive layer include epoxy resins, polyesters, polyimides, polyamideimides, polyamides, phenolic resins, urethane resins, acrylic resins, and melamine resins.
The thickness of the adhesive layer is preferably 0.5 μm or more and 30 μm or less.

ベースフィルム52としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、芳香族ポリエーテルケトン、液晶ポリマーフィルムがより好ましい。
ベースフィルム52の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。ベースフィルム52の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
ベースフィルム52の厚さは、5μm以上200μm以下が好ましく、屈曲性の点から、6μm以上50μm以下がより好ましく、10μm以上25μm以下がより好ましい。
The base film 52 is preferably a heat-resistant film, and more preferably a polyimide film, a polyetherimide film, a polyphenylene sulfide film, an aromatic polyether ketone film, or a liquid crystal polymer film.
From the viewpoint of electrical insulation, the surface resistance of the base film 52 is preferably 1×10 6 Ω/□ or more, and from the viewpoint of practical use, the surface resistance of the base film 52 is preferably 1×10 19 Ω/□ or less.
The thickness of the base film 52 is preferably 5 μm or more and 200 μm or less, and from the viewpoint of flexibility, is more preferably 6 μm or more and 50 μm or less, and even more preferably 10 μm or more and 25 μm or less.

プリント回路54を構成する銅箔としては、圧延銅箔、電解銅箔等が挙げられ、屈曲性の点から、圧延銅箔が好ましい。プリント回路54は、信号回路、グランド回路、グランド層等として使用される。
銅箔の厚さは、1μm以上50μm以下が好ましい。
プリント回路54の長さ方向の端部(端子)は、ハンダ接続、コネクター接続、部品搭載等のため、絶縁フィルム60や電磁波シールドフィルム1に覆われず、露出している。
Examples of the copper foil constituting the printed circuit 54 include rolled copper foil and electrolytic copper foil, and from the viewpoint of flexibility, rolled copper foil is preferred. The printed circuit 54 is used as a signal circuit, a ground circuit, a ground layer, etc.
The thickness of the copper foil is preferably 1 μm or more and 50 μm or less.
The ends (terminals) of the printed circuit 54 in the longitudinal direction are exposed and not covered by the insulating film 60 or the electromagnetic shielding film 1 for soldering, connector connection, component mounting, and the like.

(絶縁フィルム)
絶縁フィルム60(カバーレイフィルム)は、絶縁フィルム本体(図示略)の片面に、接着剤の塗布、接着剤シートの貼り付け等によって接着剤層(図示略)を形成したものである。
絶縁フィルム本体の表面抵抗は、電気的絶縁性の点から、1×10Ω/□以上が好ましい。絶縁フィルム本体の表面抵抗は、実用上の点から、1×1019Ω/□以下が好ましい。
絶縁フィルム本体としては、耐熱性を有するフィルムが好ましく、ポリイミドフィルム、ポリエーテルイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、芳香族ポリエーテルケトン、液晶ポリマーフィルムが好ましい。
絶縁フィルム本体の厚さは、可とう性の点から、1μm以上100μm以下が好ましい。
接着剤層の材料としては、エポキシ樹脂、ポリエステル、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド、フェノール樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、メラミン樹脂、ポリスチレン、ポリオレフィン等が挙げられる。エポキシ樹脂は、可とう性付与のためのゴム成分(ニトリルゴム、アクリルゴム等)を含んでいてもよい。
接着剤層の厚さは、1μm以上100μm以下が好ましく、1.5μm以上60μm以下がより好ましい。
(Insulating film)
The insulating film 60 (coverlay film) is an insulating film body (not shown) having an adhesive layer (not shown) formed on one side thereof by applying an adhesive, attaching an adhesive sheet, or the like.
The surface resistance of the insulating film body is preferably 1×10 6 Ω/□ or more from the viewpoint of electrical insulation, and is preferably 1×10 19 Ω/□ or less from the viewpoint of practical use.
The insulating film body is preferably a heat-resistant film, such as a polyimide film, a polyetherimide film, a polyphenylene sulfide film, an aromatic polyether ketone film, or a liquid crystal polymer film.
The thickness of the insulating film body is preferably 1 μm or more and 100 μm or less from the viewpoint of flexibility.
Examples of materials for the adhesive layer include epoxy resins, polyesters, polyimides, polyamideimides, polyamides, phenolic resins, urethane resins, acrylic resins, melamine resins, polystyrene, polyolefins, etc. The epoxy resins may contain a rubber component (nitrile rubber, acrylic rubber, etc.) for imparting flexibility.
The thickness of the adhesive layer is preferably from 1 μm to 100 μm, and more preferably from 1.5 μm to 60 μm.

絶縁フィルム60に形成される貫通孔の開口部の形状は、特に限定されない。貫通孔の開口部の形状としては、円形、楕円形、四角形等が挙げられる。 The shape of the opening of the through hole formed in the insulating film 60 is not particularly limited. Examples of the shape of the opening of the through hole include a circle, an ellipse, a rectangle, etc.

(作用効果)
以上説明した電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2にあっては、電磁波シールドフィルムの電磁波遮蔽層に含まれる導電性粒子が導電膜付き樹脂粒子であるため、第1の態様と同じ作用効果によって、密着性とプリント配線板のプリント回路との電気的な接続性に優れている。
(Action and Effect)
In the printed wiring board 2 with electromagnetic wave shielding film described above, the conductive particles contained in the electromagnetic wave shielding layer of the electromagnetic wave shielding film are resin particles with a conductive film, and therefore have the same effect as the first aspect, resulting in excellent adhesion and electrical connectivity with the printed circuit of the printed wiring board.

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、プリント配線板のプリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、絶縁フィルムのプリント配線板とは反対側に隣接し、導電性接着層が絶縁フィルムに接する本発明の第1の態様の電磁波シールドフィルムとを有するものであればよく、図示例の実施形態に限定されない。
例えば、フレキシブルプリント配線板50は、裏面側にグランド層を有するものであってもよい。また、フレキシブルプリント配線板50は、両面にプリント回路54を有し、両面に絶縁フィルム60及び電磁波シールドフィルム1が貼り付けられたものであってもよい。
フレキシブルプリント配線板50の代わりに、柔軟性のないリジッドプリント基板を用いてもよい。
第1の実施形態の電磁波シールドフィルム1の代わりに、第2の実施形態の電磁波シールドフィルム1を用いてもよい。
Other Embodiments
The printed wiring board with electromagnetic wave shielding film of this embodiment need only have a printed wiring board having a printed circuit on at least one side of a substrate, an insulating film adjacent to the side of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and an electromagnetic wave shielding film of the first embodiment of the present invention adjacent to the side of the insulating film opposite the printed wiring board, with a conductive adhesive layer in contact with the insulating film, and is not limited to the embodiment shown in the figures.
For example, the flexible printed wiring board 50 may have a ground layer on the back surface side. The flexible printed wiring board 50 may have printed circuits 54 on both sides, and the insulating film 60 and the electromagnetic wave shielding film 1 may be attached to both sides.
Instead of the flexible printed wiring board 50, a rigid printed circuit board that has no flexibility may be used.
The electromagnetic wave shielding film 1 of the second embodiment may be used in place of the electromagnetic wave shielding film 1 of the first embodiment.

<電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法>
本発明の第4の態様は、基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板及びプリント配線板のプリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有する絶縁フィルム付きプリント配線板と、本発明の第1の態様の電磁波シールドフィルムとを、絶縁フィルムと電磁波遮蔽層とが接するように重ねて熱圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法である。
<Method of manufacturing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film>
A fourth aspect of the present invention is a method for producing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film, comprising overlapping a printed wiring board having a printed circuit provided on at least one side of a substrate and an insulating film adjacent to the side of the printed wiring board on which the printed circuit is provided, and an electromagnetic wave shielding film of the first aspect of the present invention, and thermocompression bonding the insulating film and the electromagnetic wave shielding layer in contact with each other.

電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2は、例えば、下記の工程(a)~(e)を有する方法によって製造できる(図4参照)。
工程(a):フレキシブルプリント配線板50のプリント回路54が設けられた側の表面に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を設け、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る工程。
工程(b):工程(a)の後、絶縁フィルム付きプリント配線板3と、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1とを、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24が接触するように重ね、これらを仮固定する工程。
工程(c):工程(b)の後、仮固定した絶縁フィルム付きプリント配線板3と、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1とを熱圧着する工程。
工程(d):工程(c)の後、キャリアフィルム30が不要になった際にキャリアフィルム30を剥離する工程。
工程(e):必要に応じて、工程(d)の後に異方導電性接着層24を本硬化させる工程。
以下、各工程について、図4を参照しながら詳細に説明する。
The printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film can be produced, for example, by a method including the following steps (a) to (e) (see FIG. 4).
Step (a): A step of providing an insulating film 60 having a through hole 62 formed at a position corresponding to the printed circuit 54 on the surface of the flexible printed wiring board 50 on which the printed circuit 54 is provided, thereby obtaining a printed wiring board 3 with an insulating film.
Step (b): After step (a), the printed wiring board 3 with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film 1 from which the release film 40 has been peeled off are overlapped so that the anisotropic conductive adhesive layer 24 is in contact with the surface of the insulating film 60, and then temporarily fixed together.
Step (c): After step (b), a step of thermocompression bonding the temporarily fixed printed wiring board 3 with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film 1 from which the release film 40 has been peeled off.
Step (d): After step (c), a step of peeling off the carrier film 30 when the carrier film 30 is no longer needed.
Step (e): If necessary, a step of fully curing the anisotropic conductive adhesive layer 24 after step (d).
Each step will be described in detail below with reference to FIG.

工程(a):
工程(a)は、フレキシブルプリント配線板50に絶縁フィルム60を積層して、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る工程である。
具体的には、まず、フレキシブルプリント配線板50に、プリント回路54に対応する位置に貫通孔62が形成された絶縁フィルム60を重ねる。次いで、フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層(図示略)を接着し、接着剤層を硬化させることによって、絶縁フィルム付きプリント配線板3を得る。フレキシブルプリント配線板50の表面に絶縁フィルム60の接着剤層を仮接着し、工程(d)にて接着剤層を本硬化させてもよい。
接着剤層の接着及び硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱圧着によって行う。
Step (a):
Step (a) is a step of laminating an insulating film 60 on a flexible printed wiring board 50 to obtain a printed wiring board 3 with an insulating film.
Specifically, first, an insulating film 60 having through holes 62 formed in positions corresponding to the printed circuits 54 is laid on the flexible printed wiring board 50. Next, an adhesive layer (not shown) of the insulating film 60 is adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer is cured to obtain the printed wiring board 3 with the insulating film. The adhesive layer of the insulating film 60 may be temporarily adhered to the surface of the flexible printed wiring board 50, and the adhesive layer may be fully cured in step (d).
The adhesive layer is bonded and cured by, for example, thermocompression bonding using a press (not shown) or the like.

工程(b):
工程(b)は、絶縁フィルム付きプリント配線板3に電磁波シールドフィルム1を穏やかな条件にて熱圧着する工程である。
具体的には、絶縁フィルム付きプリント配線板3に、離型フィルム40を剥離した電磁波シールドフィルム1を重ね、穏やかな条件にて熱圧着する。これにより、絶縁フィルム付きプリント配線板3に対する電磁波シールドフィルム1の位置を仮固定することができる。工程(b)により、工程(c)で使用する高温のプレス機の近くで位置合わせする必要がなく、危険な作業を省略できる。
Step (b):
Step (b) is a step of thermocompression bonding the electromagnetic wave shielding film 1 to the printed wiring board 3 with the insulating film under mild conditions.
Specifically, the electromagnetic wave shielding film 1 from which the release film 40 has been peeled off is placed on the printed wiring board 3 with the insulating film, and they are thermocompression bonded under mild conditions. This makes it possible to temporarily fix the position of the electromagnetic wave shielding film 1 relative to the printed wiring board 3 with the insulating film. Step (b) eliminates the need for alignment near the high-temperature press used in step (c), and thus makes it possible to omit dangerous work.

電磁波シールドフィルム1の仮固定は、例えば、プレス機(図示略)等による熱圧着によって行う。
熱圧着のプレス時間は、5秒以上2分以下が好ましく、5秒以上30秒以下がより好ましい。熱圧着の時間が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24を容易に粘着できる。熱圧着の時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
The electromagnetic wave shielding film 1 is temporarily fixed by, for example, thermocompression bonding using a press (not shown) or the like.
The pressing time for thermocompression bonding is preferably 5 seconds to 2 minutes, more preferably 5 seconds to 30 seconds. If the thermocompression bonding time is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60. If the thermocompression bonding time is equal to or less than the upper limit of the above range, the manufacturing time for the printed wiring board 2 with the electromagnetic shielding film can be shortened.

熱圧着のプレス温度(プレス機の熱盤の温度)は、50℃以上150℃以下が好ましく、60℃以上80℃以下がより好ましい。熱圧着の温度が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24を容易に粘着できる。また、熱圧着の時間を短縮できる。熱圧着の温度が前記範囲の上限値以下であれば、作業の危険性が軽減できる。 The thermocompression pressing temperature (the temperature of the hot platen of the press) is preferably 50°C or higher and 150°C or lower, and more preferably 60°C or higher and 80°C or lower. If the thermocompression temperature is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily adhered to the surface of the insulating film 60. In addition, the thermocompression bonding time can be shortened. If the thermocompression bonding temperature is equal to or lower than the upper limit of the above range, the danger of the work can be reduced.

熱圧着のプレス圧力は、0.01MPa以上1MPa以下がより好ましい。熱圧着の圧力が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24が接着される。また、熱圧着の時間を短縮できる。熱圧着の圧力が前記範囲の上限値以下であれば、作業の危険性が軽減できる。 The pressure for thermocompression bonding is preferably 0.01 MPa or more and 1 MPa or less. If the pressure for thermocompression bonding is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered to the surface of the insulating film 60. In addition, the time for thermocompression bonding can be shortened. If the pressure for thermocompression bonding is equal to or less than the upper limit of the above range, the risk of the work can be reduced.

工程(c):
工程(c)は、絶縁フィルム付きプリント配線板3に電磁波シールドフィルム1を熱圧着する工程である。
具体的には、仮固定した絶縁フィルム付きプリント配線板3と、電磁波シールドフィルム1とを熱圧着する。これにより、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24を接着するとともに、異方導電性接着層24を貫通孔62内に押し込み、貫通孔62内を埋めてプリント回路54に電気的に接続する。これにより、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2を得る。
Step (c):
Step (c) is a step of thermocompression bonding the electromagnetic wave shielding film 1 to the printed wiring board 3 with the insulating film.
Specifically, the temporarily fixed printed wiring board 3 with the insulating film and the electromagnetic wave shielding film 1 are thermocompression bonded together, whereby the anisotropic conductive adhesive layer 24 is bonded to the surface of the insulating film 60, and the anisotropic conductive adhesive layer 24 is pressed into the through hole 62, filling the through hole 62 and electrically connecting to the printed circuit 54. In this way, a printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film is obtained.

異方導電性接着層24の接着及び硬化は、例えば、プレス機(図示略)等による熱圧着によって行う。
熱圧着のプレス時間は、20秒以上60分以下が好ましく、30秒以上30分以下がより好ましい。熱圧着の時間が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24を容易に接着できる。熱圧着の時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered and cured by, for example, thermocompression bonding using a press (not shown) or the like.
The pressing time for thermocompression bonding is preferably 20 seconds to 60 minutes, more preferably 30 seconds to 30 minutes. If the thermocompression bonding time is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily bonded to the surface of the insulating film 60. If the thermocompression bonding time is equal to or less than the upper limit of the above range, the manufacturing time of the printed wiring board 2 with the electromagnetic shielding film can be shortened.

熱圧着のプレス温度(プレス機の熱盤の温度)は、140℃以上200℃以下が好ましく、170℃以上190℃以下がより好ましい。熱圧着の温度が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24を容易に接着できる。また、熱圧着の時間を短縮できる。熱圧着の温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を容易に抑えることができる。 The thermocompression pressing temperature (temperature of the hot platen of the press) is preferably 140°C or higher and 200°C or lower, and more preferably 170°C or higher and 190°C or lower. If the thermocompression temperature is equal to or higher than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be easily bonded to the surface of the insulating film 60. In addition, the thermocompression time can be shortened. If the thermocompression temperature is equal to or lower than the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, etc. can be easily suppressed.

熱圧着のプレス圧力は、0.5MPa以上20MPa以下が好ましく、1MPa以上16MPa以下がより好ましい。熱圧着の圧力が前記範囲の下限値以上であれば、絶縁フィルム60の表面に異方導電性接着層24が接着される。また、熱圧着の時間を短縮できる。熱圧着の圧力が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の破損等を抑えることができる。 The pressure for thermocompression bonding is preferably 0.5 MPa or more and 20 MPa or less, and more preferably 1 MPa or more and 16 MPa or less. If the pressure for thermocompression bonding is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 is adhered to the surface of the insulating film 60. In addition, the time for thermocompression bonding can be shortened. If the pressure for thermocompression bonding is equal to or less than the upper limit of the above range, damage to the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, etc. can be suppressed.

工程(d):
工程(d)は、キャリアフィルム30を剥離する工程である。
具体的には、キャリアフィルムが不要になった際に、絶縁樹脂層10からキャリアフィルム30を剥離する。
Step (d):
Step (d) is a step of peeling off the carrier film 30 .
Specifically, when the carrier film is no longer needed, the carrier film 30 is peeled off from the insulating resin layer 10 .

工程(e):
工程(e)は、異方導電性接着層24を本硬化させる工程である。
工程(c)における熱圧着の時間が20秒以上10分以下の短時間である場合、工程(c)と工程(d)との間、又は工程(d)の後に異方導電性接着層24の本硬化を行うことが好ましい。
異方導電性接着層24の本硬化は、例えば、オーブン等の加熱装置を用いて行う。
加熱時間は、15分以上120分以下であり、30分以上60分以下がより好ましい。加熱時間が前記範囲の下限値以上であれば、異方導電性接着層24を十分に硬化できる。加熱時間が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造時間を短縮できる。
加熱温度(オーブン中の雰囲気温度)は、120℃以上180℃以下が好ましく、120℃以上160℃以下がより好ましい。加熱温度が前記範囲の下限値以上であれば、加熱時間を短縮できる。加熱温度が前記範囲の上限値以下であれば、電磁波シールドフィルム1、フレキシブルプリント配線板50等の劣化等を抑えることができる。
Step (e):
Step (e) is a step of fully curing the anisotropic conductive adhesive layer 24 .
When the time for the thermocompression bonding in step (c) is a short time of 20 seconds or more and 10 minutes or less, it is preferable to carry out main curing of the anisotropic conductive adhesive layer 24 between steps (c) and (d) or after step (d).
The anisotropic conductive adhesive layer 24 is fully cured by using a heating device such as an oven.
The heating time is from 15 minutes to 120 minutes, and more preferably from 30 minutes to 60 minutes. When the heating time is equal to or more than the lower limit of the above range, the anisotropic conductive adhesive layer 24 can be sufficiently cured. When the heating time is equal to or less than the upper limit of the above range, the manufacturing time of the printed wiring board 2 with the electromagnetic shielding film can be shortened.
The heating temperature (ambient temperature in the oven) is preferably 120° C. or higher and 180° C. or lower, and more preferably 120° C. or higher and 160° C. or lower. When the heating temperature is equal to or higher than the lower limit of the above range, the heating time can be shortened. When the heating temperature is equal to or lower than the upper limit of the above range, deterioration of the electromagnetic wave shielding film 1, the flexible printed wiring board 50, and the like can be suppressed.

(作用効果)
以上説明した電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2の製造方法にあっては、電磁波シールドフィルムの電磁波遮蔽層に含まれる導電性粒子が導電膜付き樹脂粒子であるため、第1の態様と同じ作用効果によって、密着性が良く、プリント配線板のプリント回路との電気的な接続性に優れた電磁波シールドフィルム付きプリント配線板2を製造できる。
(Action and Effect)
In the manufacturing method of the printed wiring board 2 with the electromagnetic wave shielding film described above, the conductive particles contained in the electromagnetic wave shielding layer of the electromagnetic wave shielding film are resin particles with a conductive film, and therefore, due to the same action effect as in the first aspect, it is possible to manufacture a printed wiring board 2 with an electromagnetic wave shielding film that has good adhesion and excellent electrical connectivity with the printed circuit of the printed wiring board.

(他の実施形態)
本態様の電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法は、絶縁フィルム付きプリント配線板と、本発明の第1の態様の電磁波シールドフィルム(ただし、電磁波遮蔽層に隣接する離型フィルムを有する場合は、離型フィルムを剥離する。)とを、絶縁フィルムと電磁波遮蔽層とが接するように重ねて熱圧着する方法であればよく、上述した実施形態に限定されない。
精密な位置合わせが不要な場合は、工程(b)を省略してもよい。
工程(c)において、熱圧着時間が異方導電性接着層24を硬化させるのに十分に長時間である場合は、工程(e)を省略できる。
Other Embodiments
The method for producing a printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film of this embodiment may be a method in which a printed wiring board with an insulating film and an electromagnetic wave shielding film of the first embodiment of the present invention (however, if there is a release film adjacent to the electromagnetic wave shielding layer, the release film is peeled off) are superimposed and thermocompressed so that the insulating film and the electromagnetic wave shielding layer are in contact with each other, and is not limited to the above-mentioned embodiment.
If precise alignment is not required, step (b) may be omitted.
In the step (c), if the thermocompression bonding time is long enough to harden the anisotropic conductive adhesive layer 24, the step (e) can be omitted.

以下、実施例及び比較例を示して本発明をより詳細に説明するが、本発明は下記実施例に限定されない。 The present invention will be described in more detail below with reference to examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

(導電性粒子、樹脂粒子の比重)
導電性粒子及び樹脂粒子の比重は、JIS K7112:1999におけるA法に従い、温度23℃で測定した。
(Specific gravity of conductive particles and resin particles)
The specific gravity of the conductive particles and the resin particles was measured at a temperature of 23° C. in accordance with Method A of JIS K7112:1999.

(導電性粒子の平均粒子径、変動係数)
導電性粒子の平均粒子径は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、それぞれの粒子について、最小径及び最大径を測定し、最小径と最大径との中央値を一粒子の粒子径とし、測定した30個の粒子の粒子径を算術平均して求めた。
導電性粒子の変動係数(CV)は、粒子の顕微鏡像から30個の粒子を無作為に選び、30個の粒子の粒子径について標準偏差σ及び平均粒子径Dを求め、上記式から算出した。
(Average particle size and coefficient of variation of conductive particles)
The average particle diameter of the conductive particles was determined by randomly selecting 30 particles from a microscopic image of the particles, measuring the minimum and maximum diameters of each particle, determining the median of the minimum and maximum diameters as the particle diameter of one particle, and taking the arithmetic mean of the measured particle diameters of the 30 particles.
The coefficient of variation (CV) of the conductive particles was calculated from the above formula by randomly selecting 30 particles from a microscopic image of the particles, determining the standard deviation σ and average particle diameter D for the particle diameters of the 30 particles.

(金属層、導電性接着層の厚さ)
金属層の厚さは、渦電流式膜厚計を用いて無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均して求めた。
導電性接着層の厚さは、デジタル測長機(ミツトヨ社製、ライトマチックVL-50-B)を用いて無作為に選ばれた5箇所の厚さを測定し、平均して求めた。
(Thickness of metal layer, conductive adhesive layer)
The thickness of the metal layer was determined by measuring the thickness at five randomly selected locations using an eddy current thickness gauge and averaging the results.
The thickness of the conductive adhesive layer was determined by measuring the thickness at five randomly selected locations using a digital length measuring machine (Mitutoyo Corporation, Litematic VL-50-B) and averaging the results.

(導電性粒子分散性)
各例において、導電性接着層を形成するための導電性接着剤塗料を調製した後、25℃で1時間静置し、導電性接着剤塗料中の導電膜付き樹脂粒子(導電性粒子)の分散性を目視にて確認し、以下の評価基準で評価した。
<評価基準>
◎:導電性粒子が沈降しない、又はほとんど沈降しない。
〇:導電性粒子が沈降するが、撹拌すると再分散可能である。
×:導電性粒子が沈降し、撹拌しても再分散しない。
(Conductive particle dispersibility)
In each example, after preparing a conductive adhesive paint for forming a conductive adhesive layer, it was left to stand at 25°C for 1 hour, and the dispersibility of the resin particles with conductive film (conductive particles) in the conductive adhesive paint was visually confirmed and evaluated according to the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria>
⊚: The conductive particles do not settle or hardly settle at all.
◯: The conductive particles settle but can be redispersed by stirring.
×: The conductive particles settle and do not redisperse even when stirred.

(仮固定性)
各例の電磁波シールドフィルムと厚さ50μmのポリイミドフィルムとを、導電性接着層とポリイミドフィルムを向かい合わせにして重ね、ホットプレス装置を用い、プレス温度を65℃、プレス圧力を0.1MPa、プレス時間を10秒として熱圧着し、絶縁フィルムの表面に異方導電性接着層を仮固定した。電磁波シールドフィルムと厚さ50μmのポリイミドフィルムの密着具合を目視にて確認し、以下の評価基準で評価した。
<評価基準>
◎:全面が密着している。
〇:密着していない部分もあるが、剥がれることがない。
△:一部密着しているが、簡単に剥がれる。
×:密着していない。
(Temporary fixation)
The electromagnetic wave shielding film of each example and a 50 μm thick polyimide film were stacked with the conductive adhesive layer and the polyimide film facing each other, and were thermally compressed using a hot press device at a press temperature of 65° C., a press pressure of 0.1 MPa, and a press time of 10 seconds to temporarily fix the anisotropic conductive adhesive layer to the surface of the insulating film. The degree of adhesion between the electromagnetic wave shielding film and the 50 μm thick polyimide film was visually confirmed and evaluated according to the following evaluation criteria.
<Evaluation criteria>
⊚: The entire surface is adhered.
Good: There are some areas that are not adhered, but the film does not peel off.
△: Partially adhered, but easily peeled off.
×: Not adhered.

(リフロー耐熱性)
各例の電磁波シールドフィルムと厚さ50μmのポリイミドフィルムとを、導電性接着層とポリイミドフィルムを向かい合わせにして重ね、ホットプレス装置を用い、プレス温度を180℃、プレス圧力を5MPa、プレス時間を120秒として熱圧着した。キャリアフィルムを剥離後、電磁波シールドフィルムが熱圧着されたフレキシブルプリント配線板を、高温恒温器を用い、温度:150℃で1時間加熱することによって、異方導電性接着層を本硬化させ、試験体を得た。
次いで、JIS C60068―2―58:2006の鉛フリーはんだ合金を使用する場合のはんだ耐熱性試験のリフロー温度プロファイルに従い、150℃から180℃で120秒間の予備加熱の後、220℃の滞在時間が60秒で最高温度が250℃のはんだ付け条件を通過できるように設定したリフロー炉に試験体を通した。その操作を3回繰り返し、絶縁樹脂層を目視で観察し、下記の基準で評価した。
<評価基準>
〇:膨れが発生していない。
×:膨れが発生している。
(Reflow heat resistance)
The electromagnetic wave shielding film of each example and a 50 μm thick polyimide film were stacked with the conductive adhesive layer and the polyimide film facing each other, and were thermocompression-bonded using a hot press device at a press temperature of 180° C., a press pressure of 5 MPa, and a press time of 120 seconds. After peeling off the carrier film, the flexible printed wiring board with the electromagnetic wave shielding film thermocompression-bonded was heated at a temperature of 150° C. for 1 hour using a high-temperature incubator to fully cure the anisotropic conductive adhesive layer, thereby obtaining a test specimen.
Next, according to the reflow temperature profile of the solder heat resistance test when using a lead-free solder alloy in JIS C60068-2-58:2006, the test specimen was passed through a reflow furnace set so as to pass the soldering conditions of preheating at 150° C. to 180° C. for 120 seconds, residence time at 220° C. for 60 seconds, and a maximum temperature of 250° C. This operation was repeated three times, and the insulating resin layer was visually observed and evaluated according to the following criteria.
<Evaluation criteria>
◯: No swelling occurred.
×: Blisters are observed.

(はんだフロー耐熱性)
リフロー耐熱性試験と同様の方法で試験体を作製した。試験体を288℃のはんだ浴に、絶縁樹脂層にはんだが接触するように浮かべ、10秒後に引き上げた。その操作を3回繰り返し、絶縁樹脂層を目視で観察し、下記の基準で評価した。
<評価基準>
〇:膨れが発生していない。
×:膨れが発生している。
(Solder flow heat resistance)
A test specimen was prepared in the same manner as in the reflow heat resistance test. The test specimen was floated in a solder bath at 288°C so that the solder was in contact with the insulating resin layer, and was then pulled out after 10 seconds. This operation was repeated three times, and the insulating resin layer was visually observed and evaluated according to the following criteria.
<Evaluation criteria>
◯: No swelling occurred.
×: Blisters are observed.

(接続最小径)
図5(A)~図5(C)に示す接続性評価用絶縁フィルム付きフレキシブルプリント配線板100(以下、「評価用配線板100」と記す。)を用意した。評価用配線板100は、厚さ25μmのベースフィルム(ポリイミドフィルム)152と、厚さ12.5μmの銅箔をエッチングして形成したプリント回路154と、厚さ25μmの接着剤層156と、厚さ12.5μmの絶縁フィルム(ポリイミドフィルム)160とが順に積層されている。評価用配線板100では、20mm×3mmの長方形の2つのプリント回路154が3mmの間隔をあけて平行に設置されている。絶縁フィルム160と接着剤層156とには、各プリント回路154の両端部に対応する位置に、接続試験用貫通孔162と直径2mmの抵抗測定用貫通孔164とが、1つずつ形成されている。接続試験用貫通孔162と抵抗測定用貫通孔164の中心間の距離は15mm、接続試験用貫通孔162の中心間の距離は6mm、抵抗測定用貫通孔164の中心間の距離は6mmとした。また、プリント回路154の接続試験用貫通孔162と抵抗測定用貫通孔164とに対応する位置は、厚さ0.5μmのニッケル層と厚さ0.05μmの金層により表面処理されている。
評価用配線板100は、接続試験用貫通孔162の直径が0.1mmのものから1.0mmのものまで0.1mm刻みで10個用意した。
(Minimum connection diameter)
A flexible printed wiring board 100 with an insulating film for connectivity evaluation (hereinafter, referred to as "evaluation wiring board 100") shown in Figures 5(A) to 5(C) was prepared. The evaluation wiring board 100 is formed by laminating a base film (polyimide film) 152 having a thickness of 25 μm, a printed circuit 154 formed by etching a copper foil having a thickness of 12.5 μm, an adhesive layer 156 having a thickness of 25 μm, and an insulating film (polyimide film) 160 having a thickness of 12.5 μm in this order. In the evaluation wiring board 100, two rectangular printed circuits 154 of 20 mm x 3 mm are placed in parallel with an interval of 3 mm. In the insulating film 160 and the adhesive layer 156, one connection test through hole 162 and one resistance measurement through hole 164 having a diameter of 2 mm are formed at positions corresponding to both ends of each printed circuit 154. The distance between the centers of the connection test through holes 162 and the resistance measurement through holes 164 was 15 mm, the distance between the centers of the connection test through holes 162 was 6 mm, and the distance between the centers of the resistance measurement through holes 164 was 6 mm. In addition, the positions of the printed circuit 154 corresponding to the connection test through holes 162 and the resistance measurement through holes 164 were surface treated with a nickel layer having a thickness of 0.5 μm and a gold layer having a thickness of 0.05 μm.
Ten evaluation wiring boards 100 were prepared with connection test through holes 162 having diameters ranging from 0.1 mm to 1.0 mm in increments of 0.1 mm.

図6(A)及び図6(B)に示すように、各例の電磁波シールドフィルム(シールドフィルム201)と各評価用配線板100とを、接続試験用貫通孔162は覆われ、抵抗測定用貫通孔164は覆われない様に、導電性接着層(導電性接着層224)と絶縁フィルム160を向かい合わせにして重ね、ホットプレス装置を用い、プレス温度を180℃、プレス圧力を5MPa、プレス時間を120秒として熱圧着した。キャリアフィルムを剥離後、シールドフィルム201が熱圧着された評価用配線板100を、高温恒温器を用い、温度:150℃で1時間加熱することによって、絶縁樹脂層(絶縁樹脂層210)上の導電性接着層224を本硬化させ、電磁波シールドフィルム付きフレキシブルプリント配線板(試験体)を得た。
各試験体の抵抗測定用貫通孔164にテスターを当てて、配線-電磁波遮蔽層-配線の抵抗値を測定し、抵抗値が1Ω以下となる試験体のうち、接続試験用貫通孔162の直径が最小であるものを接続最小径として求めた。
As shown in Fig. 6(A) and Fig. 6(B), the electromagnetic wave shielding film (shielding film 201) of each example and each evaluation wiring board 100 were stacked with the conductive adhesive layer (conductive adhesive layer 224) and the insulating film 160 facing each other so that the connection test through hole 162 was covered and the resistance measurement through hole 164 was not covered, and they were thermocompressed using a hot press device at a press temperature of 180°C, a press pressure of 5 MPa, and a press time of 120 seconds. After peeling off the carrier film, the evaluation wiring board 100 to which the shielding film 201 was thermocompressed was heated at a temperature of 150°C for 1 hour using a high-temperature incubator to fully cure the conductive adhesive layer 224 on the insulating resin layer (insulating resin layer 210), thereby obtaining a flexible printed wiring board (test specimen) with an electromagnetic wave shielding film.
A tester was placed against the resistance measurement through hole 164 of each test specimen to measure the resistance value of wiring-electromagnetic wave shielding layer-wiring, and among the test specimens with a resistance value of 1 Ω or less, the one with the smallest diameter of the connection test through hole 162 was determined as the minimum connection diameter.

(実施例1)
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製、jER(登録商標)1001)の100質量部と、2-メチル-4-エチルイミダゾールの2質量部と、カーボンブラックの4質量部とを溶剤(メチルエチルケトン)の300質量部に溶解して絶縁樹脂層形成用塗料を調製した。
キャリアフィルムとして、PETフィルム(東洋紡社製、CN200、厚さ:50μm)を用意した。
熱硬化性接着剤(ウレタン樹脂(東洋紡社製、バイロン UR-3500)の100質量部と硬化剤(三菱ケミカル社製、jER 1031S)の5.3質量部との混合物)の85質量部と、表1に示す導電性粒子(導電膜付き樹脂粒子)の15質量部とを、溶剤(メチルエチルケトンの100質量部とトルエンの100質量部との混合物)の100質量部に撹拌によって溶解又は分散させて熱硬化性導電性接着剤塗料を調製した。
Example 1
A coating material for forming an insulating resin layer was prepared by dissolving 100 parts by mass of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, jER (registered trademark) 1001), 2 parts by mass of 2-methyl-4-ethylimidazole, and 4 parts by mass of carbon black in 300 parts by mass of a solvent (methyl ethyl ketone).
As a carrier film, a PET film (manufactured by Toyobo Co., Ltd., CN200, thickness: 50 μm) was prepared.
A thermosetting conductive adhesive coating material was prepared by dissolving or dispersing, by stirring, 85 parts by mass of a thermosetting adhesive (a mixture of 100 parts by mass of a urethane resin (Byron UR-3500, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) and 5.3 parts by mass of a curing agent (jER 1031S, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)) and 15 parts by mass of the conductive particles (resin particles with conductive film) shown in Table 1 in 100 parts by mass of a solvent (a mixture of 100 parts by mass of methyl ethyl ketone and 100 parts by mass of toluene).

キャリアフィルムの離型剤層の表面に絶縁樹脂層形成用塗料を塗布し、100℃で2分間加熱し、塗料を乾燥させ、高温恒温器を用い、温度:120℃で48時間加熱することによって、本硬化させて、絶縁樹脂層(厚さ:10μm)を形成した。
絶縁樹脂層の表面に、電子ビーム蒸着法にて銅を物理的に蒸着させ、金属層(蒸着膜、厚さ:0.5μm)を形成した。
金属層の表面に熱硬化性導電性接着剤塗料を、ダイコーターを用いて塗布し、溶剤を揮発させてBステージ化することによって、異方導電性接着層(厚さ:4μm)を形成し、電磁波シールドフィルムを得た。
導電性粒子分散性及び接続最小径の評価結果を表1に示す。
The coating material for forming an insulating resin layer was applied to the surface of the release agent layer of the carrier film, heated at 100°C for 2 minutes to dry the coating material, and then heated at 120°C for 48 hours in a high-temperature incubator to fully harden the coating material, thereby forming an insulating resin layer (thickness: 10 μm).
Copper was physically deposited on the surface of the insulating resin layer by electron beam deposition to form a metal layer (deposited film, thickness: 0.5 μm).
A thermosetting conductive adhesive paint was applied to the surface of the metal layer using a die coater, and the solvent was volatilized to bring it to a B-stage, thereby forming an anisotropic conductive adhesive layer (thickness: 4 μm) and obtaining an electromagnetic wave shielding film.
The evaluation results of the conductive particle dispersibility and the minimum connection diameter are shown in Table 1.

(実施例2~23)
使用する導電性粒子の種類及び含有量、導電性接着層の厚さを表1に示すとおりに変更した以外は、実施例1と同様の方法で電磁波シールドフィルムを製造し、密着性及び接続最小径を評価した。結果を表1に示す。
(Examples 2 to 23)
An electromagnetic wave shielding film was produced in the same manner as in Example 1, except that the type and content of the conductive particles used and the thickness of the conductive adhesive layer were changed as shown in Table 1, and the adhesion and the minimum connection diameter were evaluated. The results are shown in Table 1.

(比較例1~3)
導電性粒子として銅粒子を用い、導電性粒子の含有量、導電性接着層の厚さを表1に示すとおりに変更した以外は、実施例1と同様の方法で電磁波シールドフィルムを製造し、密着性及び接続最小径を評価した。結果を表1に示す。
(Comparative Examples 1 to 3)
An electromagnetic wave shielding film was produced in the same manner as in Example 1, except that copper particles were used as the conductive particles and the content of the conductive particles and the thickness of the conductive adhesive layer were changed as shown in Table 1, and the adhesion and the minimum connection diameter were evaluated. The results are shown in Table 1.

Figure 0007653761000001
Figure 0007653761000001

なお、表1における「質量比C/S」は、導電性粒子におけるコアとシェルとの質量比を意味する。「PMMA」はポリメチルメタクリレートを意味する。 In Table 1, "mass ratio C/S" refers to the mass ratio of the core to the shell in the conductive particles. "PMMA" refers to polymethyl methacrylate.

本発明の電磁波シールドフィルムは、スマートフォン、携帯電話、光モジュール、デジタルカメラ、ゲーム機、ノートパソコン、医療器具等の電子機器用のフレキシブルプリント配線板における、電磁波シールド用部材として有用である。 The electromagnetic wave shielding film of the present invention is useful as an electromagnetic wave shielding component in flexible printed wiring boards for electronic devices such as smartphones, mobile phones, optical modules, digital cameras, game consoles, notebook computers, and medical devices.

1 電磁波シールドフィルム、
2 電磁波シールドフィルム付きプリント配線板、
3 絶縁フィルム付きプリント配線板、
10 絶縁樹脂層、
22 金属層、
20 電磁波遮蔽層、
24 異方導電性接着層、
24a 熱硬化性樹脂、
24b 導電膜付き樹脂粒子、
26 等方導電性接着層、
26a 熱硬化性樹脂、
26b 導電膜付き樹脂粒子、
30 キャリアフィルム、
32 キャリアフィルム本体、
34 離型剤層、
40 離型フィルム、
42 離型フィルム本体、
44 離型剤層、
50 フレキシブルプリント配線板、
52 ベースフィルム、
54 プリント回路、
60 絶縁フィルム、
62 貫通孔。
1. Electromagnetic wave shielding film,
2. Printed wiring board with electromagnetic wave shielding film,
3. Printed wiring board with insulating film,
10 insulating resin layer,
22 metal layer,
20 electromagnetic wave shielding layer,
24 anisotropic conductive adhesive layer,
24a thermosetting resin,
24b Resin particles with conductive film,
26 isotropic conductive adhesive layer,
26a thermosetting resin,
26b Resin particles with conductive film,
30 carrier film,
32 carrier film body,
34 release agent layer,
40 Release film,
42 release film body,
44 release agent layer,
50 Flexible printed wiring board,
52 base film,
54 printed circuits,
60 insulating film,
62 through hole.

Claims (15)

絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、
前記電磁波遮蔽層が、樹脂粒子の表面に導電膜が直接形成されて前記樹脂粒子が被覆されている導電膜付き樹脂粒子を含み、
前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する等方導電性接着層とを有し、
前記等方導電性接着層が前記導電膜付き樹脂粒子を含み、
前記導電膜付き樹脂粒子の平均粒子径が0.5μm以上10μm以下であり、
前記導電膜付き樹脂粒子の粒度分布における変動係数が0.5%以上27%以下である、電磁波シールドフィルム。
An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
the electromagnetic wave shielding layer includes resin particles having a conductive film formed directly on the surface of the resin particles to coat the resin particles,
the electromagnetic wave shielding layer has a metal layer adjacent to the insulating resin layer and an isotropic conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on the opposite side to the insulating resin layer,
the isotropically conductive adhesive layer contains the conductive film-attached resin particles,
the average particle size of the resin particles with a conductive film is 0.5 μm or more and 10 μm or less,
The electro-magnetic wave shielding film, wherein the coefficient of variation in particle size distribution of the resin particles with the conductive film is 0.5% or more and 27% or less.
絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
前記電磁波遮蔽層が、樹脂粒子の表面に導電膜が直接形成されて前記樹脂粒子が被覆されている導電膜付き樹脂粒子を含み、the electromagnetic wave shielding layer includes resin particles having a conductive film formed directly on the surface of the resin particles to coat the resin particles,
前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する異方導電性接着層とを有し、the electromagnetic wave shielding layer has a metal layer adjacent to the insulating resin layer and an anisotropic conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on the opposite side to the insulating resin layer,
前記異方導電性接着層が前記導電膜付き樹脂粒子を含み、the anisotropic conductive adhesive layer contains the conductive film-attached resin particles,
前記導電膜付き樹脂粒子の平均粒子径が1μm以上20μm以下であり、The average particle size of the resin particles with a conductive film is 1 μm or more and 20 μm or less,
前記導電膜付き樹脂粒子の粒度分布における変動係数が0.5%以上27%以下である、電磁波シールドフィルム。The electro-magnetic wave shielding film, wherein the coefficient of variation in particle size distribution of the resin particles with the conductive film is 0.5% or more and 27% or less.
前記導電膜付き樹脂粒子の総質量に対する前記導電膜の質量の割合が、5質量%以上50質量%以下である、請求項1又は2に記載の電磁波シールドフィルム。 3. The electromagnetic shielding film according to claim 1 , wherein a ratio of a mass of the conductive film to a total mass of the resin particles with the conductive film is 5 mass % or more and 50 mass % or less. 前記導電膜付き樹脂粒子の比重が1.00以上3.00以下である、請求項1~3のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 1 , wherein the specific gravity of the resin particles with the conductive film is 1.00 or more and 3.00 or less. 前記樹脂粒子の比重が、0.90以上3.00以下である、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 5. The electromagnetic wave shielding film according to claim 1 , wherein the resin particles have a specific gravity of 0.90 or more and 3.00 or less. 前記樹脂粒子が、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、ナイロン樹脂及びシリコーン樹脂からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 6. The electromagnetic wave shielding film according to claim 1 , wherein the resin particles contain at least one resin selected from the group consisting of an acrylic resin, a urethane resin, a nylon resin, and a silicone resin. 前記導電膜の比重が、2.50以上22.0以下である、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 6 , wherein the specific gravity of the conductive film is 2.50 or more and 22.0 or less. 前記導電膜が、金、銀及び銅からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属を含む、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 7 , wherein the conductive film contains at least one metal selected from the group consisting of gold, silver, and copper. 前記導電膜が、異なる2種以上の金属を含む、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 1 , wherein the conductive film contains two or more different metals. 前記導電膜がスパッタ膜を含む、請求項1~のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic wave shielding film according to claim 1 , wherein the conductive film comprises a sputtered film. 前記導電膜がめっき膜を含む、請求項1~10のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルム。 The electromagnetic shielding film according to claim 1 , wherein the conductive film comprises a plating film. 絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、
前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する等方導電性接着層とを有する電磁波シールドフィルムの製造方法であって、
熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、樹脂粒子の表面に導電膜が直接形成されて前記樹脂粒子が被覆されている導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を前記金属層上に塗布して前記等方導電性接着層を形成し、
前記導電膜付き樹脂粒子の平均粒子径が0.5μm以上10μm以下であり、
前記導電膜付き樹脂粒子の粒度分布における変動係数が0.5%以上27%以下である、電磁波シールドフィルムの製造方法。
An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
a method for producing an electromagnetic wave shielding film, the electromagnetic wave shielding layer having a metal layer adjacent to the insulating resin layer and an isotropic conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on a side opposite to the insulating resin layer,
a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film formed directly on the surface of the resin particles to cover the resin particles is applied onto the metal layer to form the isotropic conductive adhesive layer;
the average particle size of the resin particles with a conductive film is 0.5 μm or more and 10 μm or less,
The electroconductively coated resin particles have a particle size distribution coefficient of variation of 0.5% or more and 27% or less.
絶縁樹脂層と、前記絶縁樹脂層に隣接する電磁波遮蔽層とを有し、An insulating resin layer and an electromagnetic wave shielding layer adjacent to the insulating resin layer,
前記電磁波遮蔽層が、前記絶縁樹脂層に隣接する金属層と、前記金属層の前記絶縁樹脂層とは反対側に隣接する異方導電性接着層とを有する電磁波シールドフィルムの製造方法であって、a method for producing an electromagnetic wave shielding film, the electromagnetic wave shielding layer having a metal layer adjacent to the insulating resin layer and an anisotropic conductive adhesive layer adjacent to the metal layer on a side opposite to the insulating resin layer,
熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂と、樹脂粒子の表面に導電膜が直接形成されて前記樹脂粒子が被覆されている導電膜付き樹脂粒子とを含む導電性接着剤塗料を前記金属層上に塗布して前記異方導電性接着層を形成し、a conductive adhesive paint containing a thermosetting resin or a thermoplastic resin and resin particles with a conductive film formed directly on the surface of the resin particles to cover the resin particles is applied onto the metal layer to form the anisotropic conductive adhesive layer;
前記導電膜付き樹脂粒子の平均粒子径が1μm以上20μm以下であり、The average particle size of the resin particles with a conductive film is 1 μm or more and 20 μm or less,
前記導電膜付き樹脂粒子の粒度分布における変動係数が0.5%以上27%以下である、電磁波シールドフィルムの製造方法。The electroconductively coated resin particles have a particle size distribution coefficient of variation of 0.5% or more and 27% or less.
基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板と、
前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムと、
前記絶縁フィルムの前記プリント配線板とは反対側に隣接し、前記電磁波遮蔽層が前記絶縁フィルムに接する請求項1~11のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムと、
を有する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板。
A printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate;
an insulating film adjacent to a surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided;
The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 11 , which is adjacent to the insulating film on a side opposite to the printed wiring board, and the electromagnetic wave shielding layer is in contact with the insulating film;
A printed wiring board with an electromagnetic wave shielding film.
基板の少なくとも片面にプリント回路が設けられたプリント配線板及び前記プリント配線板の前記プリント回路が設けられた側の面に隣接する絶縁フィルムを有する絶縁フィルム付きプリント配線板と、
請求項1~11のいずれか一項に記載の電磁波シールドフィルムとを、
前記絶縁フィルムと前記電磁波遮蔽層とが接するように重ねて熱圧着する、電磁波シールドフィルム付きプリント配線板の製造方法。
a printed wiring board having a printed circuit provided on at least one surface of a substrate and an insulating film provided with an insulating film adjacent to the surface of the printed wiring board on which the printed circuit is provided;
The electromagnetic wave shielding film according to any one of claims 1 to 11 ,
The insulating film and the electromagnetic wave shielding layer are overlapped so as to be in contact with each other, and then thermocompression bonded to each other.
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