JP7271662B2 - 樹脂組成物、膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、顔料を含む樹脂組成物、膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置に関する。

近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。固体撮像素子には、カラーフィルタなどの顔料を含む膜が用いられている。カラーフィルタなどの顔料を含む膜は、顔料と樹脂と溶剤とを含む樹脂組成物などを用いて製造されている。

特許文献１には、所定のポリイミド前駆体と、着色剤と、溶剤とを含む着色樹脂組成物を用いて遮光性及び絶縁性に優れた着色被膜を製造することが記載されている。

特許文献２には、所定のポリシロキサン化合物と、光酸発生剤と、着色剤と、溶剤とを含む感光性組成物を用いて着色パターンを製造することが記載されている。

特開２０１７－１８６５３０号公報 国際公開第２０１８／０６１９８８号

固体撮像素子の製造プロセスにおいて、近年では、顔料と樹脂と溶剤とを含む樹脂組成物を用いてカラーフィルタなどの膜を形成したのち、高温（例えば３００℃以上）の加熱処理を要する工程に供することも検討されている。

よって、本発明の目的は、膜を製造した後の工程のプロセスウインドウの拡大を図ることができる新規な樹脂組成物、膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することにある。

本発明は以下を提供する。
＜１＞ 色材と、樹脂と、溶剤と、を含む樹脂組成物であって、
上記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１）で表される吸光度の変化率ΔＡが５０％以下である、樹脂組成物；
ΔＡ＝｜１００－（Ａ２／Ａ１）×１００｜ ・・・（１）
ΔＡは、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である。
＜２＞ 上記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長λ１と、上記膜を窒素雰囲気下にて、３００℃で５時間加熱処理した後の膜の吸光度の最大値を示す波長λ２との差の絶対値が５０ｎｍ以下である、＜１＞に記載の樹脂組成物。
＜３＞ 上記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の変化率の最大値が３０％以下である、＜１＞または＜２＞に記載の樹脂組成物。
＜４＞ 樹脂組成物の全固形分中における色材の含有量が５質量％以上である、＜１＞～＜３＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜５＞ 上記色材が有機顔料である、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜６＞ 上記色材は、フタロシアニン顔料、ジオキサジン顔料、キナクリドン顔料、アントラキノン顔料、ペリレン顔料、アゾ顔料、ジケトピロロピロール顔料、ピロロピロール顔料、イソインドリン顔料及びキノフタロン顔料から選ばれる少なくとも１種を含む、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜７＞ 上記色材が、２種以上の有彩色色材と近赤外線吸収色材とを含むか、あるいは、黒色顔料と近赤外線吸収色材とを含む、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜８＞ 上記色材は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６から選ばれる少なくとも１種を含む、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜９＞ 上記樹脂は、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリアリレート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂およびそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種の樹脂Ａを含む、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１０＞ 上記樹脂Ａは、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂およびそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種である、＜９＞に記載の樹脂組成物。
＜１１＞ 上記樹脂Ａは、ガラス基板に塗布し１００℃で１２０秒加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜の波長４００～１１００ｎｍの透過率の最小値が７０％以上である、＜９＞または＜１０＞に記載の樹脂組成物。
＜１２＞ 上記樹脂組成物の全固形分から色材を除いた成分中に、上記樹脂Ａを２０質量％以上含む、＜９＞～＜１１＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１３＞ 上記樹脂は、アルカリ可溶性樹脂を含む、＜１＞～＜１２＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１４＞ さらに、光重合開始剤を含む、＜１＞～＜１３＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１５＞ 上記樹脂組成物は、ガラス基板に塗布し１００℃で１２０秒加熱して膜厚０．６μｍの膜を形成した際に、上記膜は、波長４００～１１００ｎｍの透過率の最大値が７０％以上で、最小値が３０％以下である、＜１＞～＜１４＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１６＞ フォトリソグラフィ法でのパターン形成用である、＜１＞～＜１５＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１７＞ カラーフィルタの画素形成用である、＜１＞～＜１６＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１８＞ 固体撮像素子用である、＜１＞～＜１７＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物。
＜１９＞ ＜１＞～＜１８＞のいずれか１つに記載の樹脂組成物から得られる膜。
＜２０＞ ＜１９＞に記載の膜を含むカラーフィルタ。
＜２１＞ ＜１９＞に記載の膜を含む固体撮像素子。
＜２２＞ ＜１９＞に記載の膜を含む画像表示装置。

本発明によれば、膜を製造した後の工程のプロセスウインドウの拡大を図ることができる新規な樹脂組成物、膜、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することができる。

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書において、「～」とはその前後に記載される数値を下限値および上限値として含む意味で使用される。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含する。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含する。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において、（メタ）アリル基は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において、重量平均分子量および数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィ）法により測定したポリスチレン換算値である。
本明細書において、近赤外線とは、波長７００～２５００ｎｍの光をいう。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の総質量をいう。
本明細書において「工程」との語は独立した工程だけを指すのではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。

＜樹脂組成物＞
本発明の樹脂組成物は、色材と、樹脂と、溶剤と、を含む樹脂組成物であって、
上記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１）で表される吸光度の変化率ΔＡが５０％以下であることを特徴とする。
ΔＡ＝｜１００－（Ａ２／Ａ１）×１００｜ ・・・（１）
ΔＡは、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である。

本発明の樹脂組成物によれば、樹脂組成物を用いて膜を製造したのち、得られた膜が３００℃以上の高温での加熱を要する処理を要する工程に供されても、高温での加熱処理後の分光特性の変動などを抑制することができる。このため、樹脂組成物を用いて膜を製造した後の工程における加熱温度の適用範囲をより高温（例えば、３００℃以上）まで拡大することができ、膜を製造した後の工程のプロセスウインドウの拡大を図ることができる。

上記式（１）で表される吸光度の変化率ΔＡは、４５％以下であることが好ましく、４０％以下であることがより好ましく、３５％以下であることが特に好ましい。

また、本発明の樹脂組成物を用い、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長λ１と、上記膜を窒素雰囲気下にて、３００℃で５時間熱処理した後の膜の吸光度の最大値を示す波長λ２との差の絶対値は、５０ｎｍ以下であることが好ましく、４５ｎｍ以下であることがより好ましく、４０ｎｍ以下であることが更に好ましい。

また、本発明の樹脂組成物を用い、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間熱処理したとき、加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の変化率の最大値が３０％以下であることが好ましく、２７％以下であることがより好ましく、２５％以下であることが更に好ましい。なお、吸光度の変化率は、下記式（２）から算出される値である。
ΔＡ_λ＝｜１００－（Ａ２_λ／Ａ１_λ）×１００｜ ・・・（２）
ΔＡ_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度の変化率であり、
Ａ１_λは、加熱処理前の膜の波長λにおける吸光度であり、
Ａ２_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度である。

上記物性を達成するには、用いる樹脂や色材の種類や含有量を調整するなどの方法で達成することができる。

本発明の樹脂組成物は、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタ、近赤外線カットフィルタ、ブラックマトリクス、遮光膜などに用いることができる。

カラーフィルタとしては、特定の波長の光を透過させる着色画素を有するフィルタが挙げられ、赤色画素、青色画素、緑色画素、黄色画素、シアン色画素およびマゼンタ色画素から選ばれる少なくとも１種の着色画素を有するフィルタであることが好ましい。カラーフィルタは、有彩色色材を含む樹脂組成物を用いて形成することができる。

近赤外線カットフィルタとしては、極大吸収波長を波長７００～１８００ｎｍの範囲に有するフィルタが挙げられる。近赤外線カットフィルタは、極大吸収波長を波長７００～１３００ｎｍの範囲に有するフィルタであることが好ましく、波長７００～１１００ｎｍの範囲に有するフィルタであることがより好ましい。また、近赤外線カットフィルタの波長４００～６５０ｎｍの全範囲での透過率は７０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９０％以上であることが更に好ましい。また、波長７００～１８００ｎｍの範囲の少なくとも１点での透過率は２０％以下であることが好ましい。また、近赤外線カットフィルタの極大吸収波長における吸光度Ａｍａｘと、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ５５０との比である吸光度Ａｍａｘ／吸光度Ａ５５０は、２０～５００であることが好ましく、５０～５００であることがより好ましく、７０～４５０であることが更に好ましく、１００～４００であることが特に好ましい。近赤外線カットフィルタは、近赤外線吸収色材を含む樹脂組成物を用いて形成することができる。

近赤外線透過フィルタは、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタである。近赤外線透過フィルタは、可視光と近赤外線のいずれも透過させるフィルタ（透明膜）であってもよく、可視光の少なくとも一部を遮光し、近赤外線の少なくとも一部を透過させるフィルタであってもよい。近赤外線透過フィルタとしては、波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）である分光特性を満たしているフィルタなどが好ましく挙げられる。近赤外線透過フィルタは、以下の（１）～（４）のいずれかの分光特性を満たしているフィルタであることが好ましい。
（１）：波長４００～６４０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長８００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（２）：波長４００～７５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長９００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（３）：波長４００～８３０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１０００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。
（４）：波長４００～９５０ｎｍの範囲における透過率の最大値が２０％以下（好ましくは１５％以下、より好ましくは１０％以下）であり、波長１１００～１３００ｎｍの範囲における透過率の最小値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上）であるフィルタ。

本発明の樹脂組成物は、カラーフィルタ用の樹脂組成物として好ましく用いることができる。具体的には、カラーフィルタの画素形成用の樹脂組成物として好ましく用いることができ、カラーフィルタの赤色又は青色の画素形成用の樹脂組成物としてより好ましく用いることができる。また、本発明の樹脂組成物は、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの画素形成用の樹脂組成物として好ましく用いることができる。

本発明の樹脂組成物は、ガラス基板に塗布し１００℃で１２０秒加熱して膜厚０．６μｍの膜を形成した際に、上記膜は、波長４００～１１００ｎｍの透過率の最大値が７０％以上（好ましくは７５％以上、より好ましくは８０％以上、更に好ましくは８５％以上）で、最小値が３０％以下（好ましくは２５％以下、より好ましくは２０％以下、更に好ましくは１５％以下）であることが好ましい。上記の分光特性を満たす膜を形成できる樹脂組成物は、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタまたは近赤外線カットフィルタ形成用の樹脂組成物として特に好ましく用いることができる。

また、本発明の樹脂組成物は、フォトリソグラフィ法でのパターン形成用の樹脂組成物であることも好ましい。この態様によれば、微細なサイズの画素を容易に形成することができる。このため、固体撮像素子に用いられるカラーフィルタの画素形成用の樹脂組成物として特に好ましく用いることができる。例えば、重合性基を有する成分（例えば、重合性基を有する樹脂や重合性化合物）と、光重合開始剤とを含有する樹脂組成物は、フォトリソグラフィ法でのパターン形成用の樹脂組成物として好ましく用いることができる。フォトリソグラフィ法でのパターン形成用の樹脂組成物は、更にアルカリ可溶性樹脂を含むことも好ましい。

以下、本発明の樹脂組成物に用いられる各成分について説明する。

＜＜色材＞＞
本発明の樹脂組成物は色材を含有する。色材としては白色色材、黒色色材、有彩色色材、近赤外線吸収色材が挙げられる。なお、本発明において、白色色材は純白色のみならず、白に近い明るい灰色（例えば灰白色、薄灰色など）の色材を含む。また、色材は、有彩色色材、黒色色材、及び近赤外線吸収色材から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、有彩色色材及び近赤外線吸収色材から選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましく、有彩色色材を含むことが更に好ましい。また、色材は、２種以上の有彩色色材と近赤外線吸収色材とを含むか、あるいは、黒色顔料と近赤外線吸収色材とを含むことも好ましい。この態様によれば、近赤外線透過フィルタ形成用の樹脂組成物として好ましく用いることができる。

色材としては染料および顔料が挙げられ、耐熱性の観点からは顔料であることが好ましい。また、顔料は、無機顔料、有機顔料のいずれでもよいが、カラーバリエーションの多さ、分散の容易性、安全性等の観点から有機顔料であることが好ましい。また、顔料は、有彩色顔料および近赤外線吸収顔料から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、有彩色顔料を含むことがより好ましい。

また、顔料は、フタロシアニン顔料、ジオキサジン顔料、キナクリドン顔料、アントラキノン顔料、ペリレン顔料、アゾ顔料、ジケトピロロピロール顔料、ピロロピロール顔料、イソインドリン顔料及びキノフタロン顔料から選ばれる少なくとも１種を含むものであることが好ましく、フタロシアニン顔料、ジケトピロロピロール顔料およびピロロピロール顔料から選ばれる少なくとも１種を含むものであることがより好ましく、フタロシアニン顔料またはジケトピロロピロール顔料を含むものであることが更に好ましい。また、高温（例えば３００℃以上）に加熱した後も分光特性が変動しにくい膜を形成しやすいという理由からフタロシアニン顔料は、中心金属を持たないフタロシアニン顔料や、中心金属として、銅または亜鉛を有するフタロシアニン顔料が好ましい。

また、樹脂組成物に含まれる色材は、高温（例えば３００℃以上）に加熱した後も分光特性が変動しにくい膜を形成しやすいという理由から赤色顔料、黄色顔料および青色顔料から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、赤色顔料および青色顔料から選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましく、青色顔料を含むことが更に好ましい。

樹脂組成物に含まれる色材は、以下に示す条件１を示す顔料Ａを含むことが好ましい。このような特性を有する色材を用いることで、高温（例えば３００℃以上）に加熱した後も分光特性が変動しにくい膜を形成することができる。樹脂組成物に含まれる顔料全量中における顔料Ａの割合は、２０～１００質量％であることが好ましく、３０～１００質量％であることがより好ましく、４０～１００質量％であることが更に好ましい。

条件１）
顔料Ａを６質量％と、樹脂Ｂ－５を１０質量％と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを８４質量％含む組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１０）で表される吸光度の変化率ΔＡ１０が５０％以下である；
ΔＡ１０＝｜１００－（Ａ１２／Ａ１１）×１００｜ ・・・（１０）
ΔＡ１０は、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ１２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である；
樹脂Ｂ－５は、下記構造の樹脂であって、主鎖に付記した数値はモル比であり、重量平均分子量は１１０００であり、酸価は３２ｍｇＫＯＨ／ｇである。

上記の条件１を満たす顔料Ａとしては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２７２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６などが挙げられる。

樹脂組成物に含まれる色材は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２７２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６から選ばれる少なくとも１種を含むことが好ましく、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４およびＣ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６から選ばれる少なくとも１種を含むことがより好ましい。

顔料の平均一次粒子径は、１～２００ｎｍが好ましい。下限は５ｎｍ以上が好ましく、１０ｎｍ以上がより好ましい。上限は、１８０ｎｍ以下が好ましく、１５０ｎｍ以下がより好ましく、１００ｎｍ以下が更に好ましい。顔料の平均一次粒子径が上記範囲であれば、樹脂組成物中における顔料の分散安定性が良好である。なお、本発明において、顔料の一次粒子径は、顔料の一次粒子を透過型電子顕微鏡により観察し、得られた写真から求めることができる。具体的には、顔料の一次粒子の投影面積を求め、それに対応する円相当径を顔料の一次粒子径として算出する。また、本発明における平均一次粒子径は、４００個の顔料の一次粒子についての一次粒子径の算術平均値とする。また、顔料の一次粒子とは、凝集のない独立した粒子をいう。

（有彩色色材）
有彩色色材としては、波長４００～７００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する色材が挙げられる。例えば、黄色色材、オレンジ色色材、赤色色材、緑色色材、紫色色材、青色色材などが挙げれる。耐熱性の観点から有彩色色材は、顔料（有彩色顔料）であることが好ましく、赤色顔料、黄色顔料、及び青色顔料がより好ましく、赤色顔料及び青色顔料が更に好ましい。有彩色顔料の具体例としては、例えば、以下に示すものが挙げられる。

カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４，２１５，２２８，２３１，２３２（メチン系），２３３（キノリン系）等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９，２９４（キサンテン系、Ｏｒｇａｎｏ Ｕｌｔｒａｍａｒｉｎｅ、Ｂｌｕｉｓｈ Ｒｅｄ），２９５（モノアゾ系），２９６（ジアゾ系）等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １，１９，２３，２７，３２，３７，４２，６０（トリアリールメタン系），６１（キサンテン系）等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，２９，６０，６４，６６，７９，８０，８７（モノアゾ系），８８（メチン系）等（以上、青色顔料）。

これらの有彩色顔料のうち、高温（例えば３００℃以上）に加熱した後も分光特性が変動しにくい膜を形成しやすいという理由から赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２７２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７が好ましい。また、青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６が好ましい。

また、緑色色材として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０～１４個であり、臭素原子数が平均８～１２個であり、塩素原子数が平均２～５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／１１８７２０号に記載の化合物が挙げられる。また、緑色顔料として中国特許出願第１０６９０９０２７号明細書に記載の化合物、国際公開第２０１２／１０２３９５号に記載のリン酸エステルを配位子として有するフタロシアニン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のフタロシアニン化合物および特開２０１８－１８００２３号公報に記載のフタロシアニン化合物を用いることもできる。

また、青色色材として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２－２４７５９１号公報の段落番号００２２～００３０、特開２０１１－１５７４７８号公報の段落番号００４７に記載の化合物が挙げられる。

また、黄色色材として、特開２０１７－２０１００３号公報に記載の化合物、特開２０１７－１９７７１９号公報に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１２号公報の段落番号００１１～００６２、０１３７～０２７６に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１３号公報の段落番号００１０～００６２、０１３８～０２９５に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１４号公報の段落番号００１１～００６２、０１３９～０１９０に記載の化合物、特開２０１７－１７１９１５号公報の段落番号００１０～００６５、０１４２～０２２２に記載の化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報の段落番号００１１～００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２６２２８号公報の段落番号００１３～００５８に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２６４４号公報に記載のイソインドリン化合物、特開２０１８－２０３７９８号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０６２５７８号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７７号公報に記載のキノフタロン化合物、特許第６４３２０７６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－１１１７５７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１８－０４０８３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１７－１９７６４０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１６－１４５２８２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０８５５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２１１３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９６１４号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－２０９４３５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－１８１０１５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０６１６２２号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０５４３３９号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１３－０３２４８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１２－２２６１１０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８７号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０８１５６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８６号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０７４９８５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０５０４２０号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２００８－０３１２８１号公報に記載のキノフタロン化合物、特公昭４８－０３２７６５号公報に記載のキノフタロン化合物、特開２０１９－００８０１４号公報に記載のキノフタロン化合物、下記式（ＱＰ１）で表される化合物、下記式（ＱＰ２）で表される化合物を用いることもできる。

式（ＱＰ１）中、Ｘ^１～Ｘ^１６は各々独立に水素原子又はハロゲン原子を表し、Ｚ^１は炭素数１～３のアルキレン基を表す。式（ＱＰ１）で表される化合物の具体例としては、特許第６４４３７１１号公報の段落番号００１６に記載されている化合物が挙げられる。

式（ＱＰ２）中、Ｙ^１～Ｙ^３は、それぞれ独立にハロゲン原子を示す。ｎ、ｍは０～６の整数、ｐは０～５の整数を表す。（ｎ＋ｍ）は１以上である。式（ＱＰ２）で表される化合物の具体例としては、特許６４３２０７７号公報の段落番号００４７～００４８に記載されている化合物が挙げられる。

赤色色材として、特開２０１７－２０１３８４号公報に記載の構造中に少なくとも１つ臭素原子が置換したジケトピロロピロール化合物、特許第６２４８８３８号の段落番号００１６～００２２に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１０２３９９号に記載のジケトピロロピロール化合物、国際公開第２０１２／１１７９６５号に記載のジケトピロロピロール化合物、特開２０１２－２２９３４４号公報に記載のナフトールアゾ化合物などを用いることもできる。また、赤色顔料として、芳香族環に対して、酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。このような化合物としては、式（ＤＰＰ１）で表される化合物であることが好ましく、式（ＤＰＰ２）で表される化合物であることがより好ましい。

上記式中、Ｒ^１１およびＲ^１３はそれぞれ独立して置換基を表し、Ｒ^１２およびＲ^１４はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、ｎ１１およびｎ１３はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、Ｘ^１２およびＸ^１４はそれぞれ独立して酸素原子、硫黄原子または窒素原子を表し、Ｘ^１２が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１２は１を表し、Ｘ^１２が窒素原子の場合は、ｍ１２は２を表し、Ｘ^１４が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１４は１を表し、Ｘ^１４が窒素原子の場合は、ｍ１４は２を表す。Ｒ^１１およびＲ^１３が表す置換基としては、後述する置換基Ｔで挙げた基が挙げられ、アルキル基、アリール基、ハロゲン原子、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロアリールオキシカルボニル基、アミド基、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基、スルホキシド基、スルホ基などが好ましい具体例として挙げられる。

有彩色染料としては、ピラゾールアゾ化合物、アニリノアゾ化合物、トリアリールメタン化合物、アントラキノン化合物、アントラピリドン化合物、ベンジリデン化合物、オキソノール化合物、ピラゾロトリアゾールアゾ化合物、ピリドンアゾ化合物、シアニン化合物、フェノチアジン化合物、ピロロピラゾールアゾメチン化合物、キサンテン化合物、フタロシアニン化合物、ベンゾピラン化合物、インジゴ化合物、ピロメテン化合物が挙げられる。

有彩色色材は、２種以上組み合わせて用いてもよい。また、有彩色色材は、２種以上組み合わせて用いる場合、２種以上の有彩色色材の組み合わせで黒色を形成していてもよい。そのような組み合わせとしては、例えば以下の（１）～（７）の態様が挙げられる。樹脂組成物中に有彩色色材を２種以上含み、かつ、２種以上の有彩色色材の組み合わせで黒色を呈している場合においては、本発明の樹脂組成物は、近赤外線透過フィルタとして好ましく用いることができる。
（１）赤色色材と青色色材とを含有する態様。
（２）赤色色材と青色色材と黄色色材とを含有する態様。
（３）赤色色材と青色色材と黄色色材と紫色色材とを含有する態様。
（４）赤色色材と青色色材と黄色色材と紫色色材と緑色色材とを含有する態様。
（５）赤色色材と青色色材と黄色色材と緑色色材とを含有する態様。
（６）赤色色材と青色色材と緑色色材とを含有する態様。
（７）黄色色材と紫色色材とを含有する態様。

（白色色材）
白色色材としては、酸化チタン、チタン酸ストロンチウム、チタン酸バリウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、硫酸バリウム、シリカ、タルク、マイカ、水酸化アルミニウム、ケイ酸カルシウム、ケイ酸アルミニウム、中空樹脂粒子、硫化亜鉛などの無機顔料（白色顔料）が挙げられる。白色顔料は、チタン原子を有する粒子が好ましく、酸化チタンがより好ましい。また、白色顔料は、波長５８９ｎｍの光に対する屈折率が２．１０以上の粒子であることが好ましい。前述の屈折率は、２．１０～３．００であることが好ましく、２．５０～２．７５であることがより好ましい。

また、白色顔料は「酸化チタン 物性と応用技術 清野学著 １３～４５ページ １９９１年６月２５日発行、技報堂出版発行」に記載の酸化チタンを用いることもできる。

白色顔料は、単一の無機物からなるものだけでなく、他の素材と複合させた粒子を用いてもよい。例えば、内部に空孔や他の素材を有する粒子、コア粒子に無機粒子を多数付着させた粒子、ポリマー粒子からなるコア粒子と無機ナノ微粒子からなるシェル層とからなるコアおよびシェル複合粒子を用いることが好ましい。上記ポリマー粒子からなるコア粒子と無機ナノ微粒子からなるシェル層とからなるコアおよびシェル複合粒子としては、例えば、特開２０１５－０４７５２０号公報の段落番号００１２～００４２の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

白色顔料は、中空無機粒子を用いることもできる。中空無機粒子とは、内部に空洞を有する構造の無機粒子であり、外殻に包囲された空洞を有する無機粒子のことを言う。中空無機粒子としては、特開２０１１－０７５７８６号公報、国際公開第２０１３／０６１６２１号、特開２０１５－１６４８８１号公報などに記載された中空無機粒子が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

（黒色色材）
黒色色材としては特に限定されず、公知のものを用いることができる。例えば、カーボンブラック、チタンブラック、グラファイト等の無機顔料（黒色顔料）が挙げられ、カーボンブラック、チタンブラックが好ましく、チタンブラックがより好ましい。チタンブラックとは、チタン原子を含有する黒色粒子であり、低次酸化チタンや酸窒化チタンが好ましい。チタンブラックは、分散性向上、凝集性抑制などの目的で必要に応じ、表面を修飾することが可能である。例えば、酸化珪素、酸化チタン、酸化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、又は、酸化ジルコニウムでチタンブラックの表面を被覆することが可能である。また、特開２００７－３０２８３６号公報に表されるような撥水性物質での処理も可能である。黒色顔料として、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ １，７等が挙げられる。チタンブラックは、個々の粒子の一次粒子径及び平均一次粒子径のいずれもが小さいことが好ましい。具体的には、平均一次粒子径が１０～４５ｎｍであることが好ましい。チタンブラックは、分散物として用いることもできる。例えば、チタンブラック粒子とシリカ粒子とを含み、分散物中のＳｉ原子とＴｉ原子との含有比が０．２０～０．５０の範囲に調整した分散物などが挙げられる。上記分散物については、特開２０１２－１６９５５６号公報の段落００２０～０１０５の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。チタンブラックの市販品の例としては、チタンブラック１０Ｓ、１２Ｓ、１３Ｒ、１３Ｍ、１３Ｍ－Ｃ、１３Ｒ－Ｎ、１３Ｍ－Ｔ（商品名：三菱マテリアル（株）製）、ティラック（Ｔｉｌａｃｋ）Ｄ（商品名：赤穂化成（株）製）などが挙げられる。

また、黒色色材として、ビスベンゾフラノン化合物、アゾメチン化合物、ペリレン化合物、アゾ化合物などの有機黒色色材を用いることもできる。ビスベンゾフラノン化合物としては、特表２０１０－５３４７２６号公報、特表２０１２－５１５２３３号公報、特表２０１２－５１５２３４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、ＢＡＳＦ社製の「Ｉｒｇａｐｈｏｒ Ｂｌａｃｋ」として入手可能である。ペリレン化合物としては、特開２０１７－２２６８２１号公報の段落番号００１６～００２０に記載の化合物、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌａｃｋ ３１、３２などが挙げられる。アゾメチン化合物としては、特開平０１－１７０６０１号公報、特開平０２－０３４６６４号公報などに記載の化合物が挙げられ、例えば、大日精化社製の「クロモファインブラックＡ１１０３」として入手できる。

（近赤外線吸収色材）
近赤外線吸収色材は、顔料であることが好ましく、有機顔料であることがより好ましい。また、近赤外線吸収色材は、波長７００ｎｍを超え１４００ｎｍ以下の範囲に極大吸収波長を有することが好ましい。また、近赤外線吸収色材の極大吸収波長は、１２００ｎｍ以下であることが好ましく、１０００ｎｍ以下であることがより好ましく、９５０ｎｍ以下であることが更に好ましい。また、近赤外線吸収色材は、波長５５０ｎｍにおける吸光度Ａ_５５０と極大吸収波長における吸光度Ａ_ｍａｘとの比であるＡ_５５０／Ａ_ｍａｘが０．１以下であることが好ましく、０．０５以下であることがより好ましく、０．０３以下であることが更に好ましく、０．０２以下であることが特に好ましい。下限は、特に限定はないが、例えば、０．０００１以上とすることができ、０．０００５以上とすることもできる。上述の吸光度の比が上記範囲であれば、可視透明性および近赤外線遮蔽性に優れた近赤外線吸収色材とすることができる。なお、本発明において、近赤外線吸収色材の極大吸収波長および各波長における吸光度の値は、近赤外線吸収色材を含む樹脂組成物を用いて形成した膜の吸収スペクトルから求めた値である。

近赤外線吸収色材としては、特に限定はないが、ピロロピロール化合物、シアニン化合物、スクアリリウム化合物、フタロシアニン化合物、ナフタロシアニン化合物、クアテリレン化合物、メロシアニン化合物、クロコニウム化合物、オキソノール化合物、イミニウム化合物、ジチオール化合物、トリアリールメタン化合物、ピロメテン化合物、アゾメチン化合物、アントラキノン化合物、ジベンゾフラノン化合物、ジチオレン金属錯体等が挙げられる。ピロロピロール化合物としては、特開２００９－２６３６１４号公報の段落番号００１６～００５８に記載の化合物、特開２０１１－０６８７３１号公報の段落番号００３７～００５２に記載の化合物、国際公開第２０１５／１６６８７３号の段落番号００１０～００３３に記載の化合物などが挙げられる。スクアリリウム化合物としては、特開２０１１－２０８１０１号公報の段落番号００４４～００４９に記載の化合物、特許第６０６５１６９号公報の段落番号００６０～００６１に記載の化合物、国際公開第２０１６／１８１９８７号の段落番号００４０に記載の化合物、特開２０１５－１７６０４６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１９０１６２号の段落番号００７２に記載の化合物、特開２０１６－０７４６４９号公報の段落番号０１９６～０２２８に記載の化合物、特開２０１７－０６７９６３号公報の段落番号０１２４に記載の化合物、国際公開第２０１７／１３５３５９号に記載の化合物、特開２０１７－１１４９５６号公報に記載の化合物、特許６１９７９４０号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１２０１６６号に記載の化合物などが挙げられる。シアニン化合物としては、特開２００９－１０８２６７号公報の段落番号００４４～００４５に記載の化合物、特開２００２－１９４０４０号公報の段落番号００２６～００３０に記載の化合物、特開２０１５－１７２００４号公報に記載の化合物、特開２０１５－１７２１０２号公報に記載の化合物、特開２００８－０８８４２６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１６／１９０１６２号の段落番号００９０に記載の化合物、特開２０１７－０３１３９４号公報に記載の化合物などが挙げられる。クロコニウム化合物としては、特開２０１７－０８２０２９号公報に記載の化合物が挙げられる。イミニウム化合物としては、例えば、特表２００８－５２８７０６号公報に記載の化合物、特開２０１２－０１２３９９号公報に記載の化合物、特開２００７－０９２０６０号公報に記載の化合物、国際公開第２０１８／０４３５６４号の段落番号００４８～００６３に記載の化合物が挙げられる。フタロシアニン化合物としては、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物、特開２００６－３４３６３１号公報に記載のオキシチタニウムフタロシアニン、特開２０１３－１９５４８０号公報の段落番号００１３～００２９に記載の化合物、特許第６０８１７７１号公報に記載のバナジウムフタロシアニン化合物が挙げられる。ナフタロシアニン化合物としては、特開２０１２－０７７１５３号公報の段落番号００９３に記載の化合物が挙げられる。ジチオレン金属錯体としては、特許第５７３３８０４号公報に記載の化合物が挙げられる。

近赤外線吸収色材としては、また、特開２０１７－１９７４３７号公報に記載のスクアリリウム化合物、特開２０１７－０２５３１１号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第２０１６／１５４７８２号に記載のスクアリリウム化合物、特許第５８８４９５３号公報に記載のスクアリリウム化合物、特許第６０３６６８９号公報に記載のスクアリリウム化合物、特許第５８１０６０４号公報に記載のスクアリリウム化合物、国際公開第２０１７／２１３０４７号の段落番号００９０～０１０７に記載のスクアリリウム化合物、特開２０１８－０５４７６０号公報の段落番号００１９～００７５に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－０４０９５５号公報の段落番号００７８～００８２に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－００２７７３号公報の段落番号００４３～００６９に記載のピロール環含有化合物、特開２０１８－０４１０４７号公報の段落番号００２４～００８６に記載のアミドα位に芳香環を有するスクアリリウム化合物、特開２０１７－１７９１３１号公報に記載のアミド連結型スクアリリウム化合物、特開２０１７－１４１２１５号公報に記載のピロールビス型スクアリリウム骨格又はクロコニウム骨格を有する化合物、特開２０１７－０８２０２９号公報に記載されたジヒドロカルバゾールビス型のスクアリリウム化合物、特開２０１７－０６８１２０号公報の段落番号００２７～０１１４に記載の非対称型の化合物、特開２０１７－０６７９６３号公報に記載されたピロール環含有化合物（カルバゾール型）、特許第６２５１５３０号公報に記載されたフタロシアニン化合物などを用いることもできる。

樹脂組成物の全固形分中における色材の含有量は５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましく、１５質量％以上であることが更に好ましく、２０質量％以上であることがより一層好ましい。上限は９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７０質量％以下であることが更に好ましい。
また、樹脂組成物の全固形分中における顔料の含有量は５質量％以上であることが好ましく、１０質量％以上であることがより好ましく、１５質量％以上であることが更に好ましく、２０質量％以上であることがより一層好ましい。上限は９０質量％以下であることが好ましく、８０質量％以下であることがより好ましく、７０質量％以下であることが更に好ましい。
また、色材中における染料の含有量は５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましく、３０質量％以下であることが更に好ましい。
また、本発明の樹脂組成物は、得られる膜を高温に加熱した際の膜厚変化をより効果的に抑制しやすいという理由から染料を実質的に含有しないことも好ましい。本発明の樹脂組成物が染料を実質的に含まない場合、本発明の樹脂組成物の全固形分中における染料の含有量が０．１質量％以下であることが好ましく、０．０５質量％以下であることがより好ましく、含有しないことが特に好ましい。

本発明の樹脂組成物は、樹脂を含有する。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を樹脂組成物中で分散させる用途やバインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で使用することもできる。

本発明の樹脂組成物に含まれる樹脂は、アルカリ可溶性樹脂を含むものであることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、酸基を有する樹脂であることが好ましい。酸基としては、フェノール性ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、ホスホン酸基などが挙げられる。アルカリ可溶性樹脂は後述する樹脂Ａであってもよく、樹脂Ａ以外の樹脂であってもよい。

（樹脂Ａ）
本発明の樹脂組成物は、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂、シリコーン樹脂、ポリアリレート樹脂、ベンゾオキサジン樹脂およびそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種の樹脂Ａを含むことが好ましい。また、（メタ）アクリルアミドとスチレンの共重合体も好適に用いられる。本発明の樹脂組成物が樹脂Ａを含むことにより、耐熱性に優れた膜を形成しやすく、加熱後の膜収縮や変色などをより抑制しやすい。また、加熱に伴う黄変も生じにくい膜を形成しやすいので、例えば、本発明の樹脂組成物を用いて、カラーフィルタにおける青色の画素形成を形成した場合においては、青色画素の加熱に伴う黄変も抑制でき、加熱も分光特性の変動を効果的に抑制できる。さらには、樹脂組成物を用いて得られる膜の表面に無機膜などを形成した際において、この無機膜が表面に形成された膜を３００℃以上の高温に加熱しても、無機膜にクラックなどが生じることもより効果的に抑制することもできる。特に、樹脂組成物の全固形分から色材を除いた成分中に、樹脂Ａを２０質量％以上含む場合においては、このような効果が顕著に得られる。樹脂Ａは、ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂の前駆体、ポリベンゾオキサゾール樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂の前駆体、エポキシ樹脂、ビスマレイミド樹脂およびシリコーン樹脂であることが好ましく、耐熱性が良好であり、加熱後の収縮が少ないという理由から、ポリイミド樹脂、ポリベンゾオキサゾール樹脂およびそれらの前駆体から選ばれる少なくとも１種であることがより好ましく、ポリイミド樹脂の前駆体、ポリベンゾオキサゾール樹脂の前駆体であることが更に好ましい。

上記樹脂Ａは、ガラス基板に塗布し１００℃で１２０秒加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、膜の波長４００～１１００ｎｍの透過率の最小値が７０％以上であることが好ましく、７５％以上であることがより好ましく、８０％以上であることがさらに好ましく、８５％以上であることが特に好ましい。このような分光特性を有する樹脂Ａを用いることで、樹脂組成物を用いて形成される膜についての分光特性をより優れたものにすることができる。

［ポリイミド前駆体］
ポリイミド樹脂の前駆体（以下、ポリイミド前駆体ともいう）としては下記式（ＰＩＡ－１）で表される構成単位を含むものが挙げられる。

Ｒｉ^１は、２価の有機基を表し、Ｒｉ^５は、４価の有機基を表し、Ｒｉ^３およびＲｉ^４は、それぞれ独立に、水素原子または１価の有機基を表し、Ｘｉ^１およびＸｉ^２はそれぞれ独立してＯまたはＮＲｘｉを表し、Ｒｘｉは水素原子または置換基を表す。

Ｒｉ^１は、２価の有機基を表す。２価の有機基としては、直鎖または分岐の脂肪族炭化水素基、環状の脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基または複素環基を含む基が挙げられ、炭素数２～２０の直鎖の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の分岐の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の環状の脂肪族炭化水素基または炭素数６～２０の芳香族炭化水素基を含む基であることが好ましく、炭素数６～２０の芳香族炭化水素基を含む基であることがより好ましい。

Ｒｉ^１は、ジアミンから誘導される基であることが好ましい。ジアミンは、炭素数２～２０の直鎖の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の分岐の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の環状の脂肪族炭化水素基または炭素数６～２０の芳香族炭化水素基を含む化合物であることが好ましく、炭素数６～２０の芳香族炭化水素基を含む化合物であることがより好ましい。ジアミンの具体例としては、国際公開第２０１７／２０９１７７号の段落００２４～００２９に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

Ｒｉ^１は、得られる硬化膜の柔軟性の観点から、－Ａｒ^０－Ｌ^０－Ａｒ^０－で表されることが好ましい。Ａｒ^０は、それぞれ独立に、芳香族炭化水素基（炭素数６～２２の芳香族炭化水素基が好ましく、６～１８の芳香族炭化水素基がより好ましく、６～１０の芳香族炭化水素基が特に好ましい）であり、フェニレン基が好ましい。Ｌ^０は、単結合、または、２価の連結基を表す。２価の連結基としては、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－Ｓ－、－Ｓ（＝Ｏ）_２－、－ＮＨＣＯ－ならびに、これらの組み合わせから選択される基であることが好ましく、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１～３のアルキレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－Ｓ－および－ＳＯ_２－から選択される基であることがより好ましく、－ＣＨ_２－、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－、－Ｃ（ＣＦ_３）_２－、および、－Ｃ（ＣＨ_３）_２－であることがさらに好ましい。

Ｒｉ^５が表す４価の有機基としては、芳香環を含む基であることが好ましく、下記式（Ｒｉ^５－１）または式（Ｒｉ^５－２）で表される基がより好ましい。

Ｘｉ^１０は、単結合または２価の連結基を表す。２価の連結基としては、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１～１０の脂肪族炭化水素基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－Ｓ－、－Ｓ（＝Ｏ）_２－、－ＮＨＣＯ－ならびに、これらの組み合わせから選択される基であることが好ましく、フッ素原子で置換されていてもよい炭素数１～３のアルキレン基、－Ｏ－、－Ｃ（＝Ｏ）－、－Ｓ－および－ＳＯ_２－から選択される基であることがより好ましく、－ＣＨ_２－、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ_２－、－Ｃ（ＣＦ_３）_２－、および、－Ｃ（ＣＨ_３）_２－であることがさらに好ましい。

Ｒｉ^５が表す４価の有機基としては、具体的には、テトラカルボン酸二無水物から酸二無水物基を除去した後に残存するテトラカルボン酸残基などが挙げられる。テトラカルボン酸二無水物は、１種のみ用いてもよいし、２種以上用いてもよい。テトラカルボン酸二無水物の具体例としては、国際公開第２０１７／２０９１７７号の段落００３５～００３７に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４は、それぞれ独立に、水素原子または１価の有機基を表す。１価の有機基としては、重合性基、酸分解性基、炭化水素基、複素環基などが挙げられる。Ｒｉ^３およびＲｉ^４の少なくとも一方は重合性基であることが好ましく、両方が重合性基であることがより好ましい。重合性基を含むポリイミド前駆体を用いた場合においては、より優れた特性を有する膜が得られやすい。また、本発明の樹脂組成物が光重合開始剤を含む場合においては、フォトリソグラフィ法でのパターン形成性に優れた樹脂組成物とすることもできる。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４が表す重合性基としては、ラジカル重合性基であることが好ましい。ラジカル重合性基としては、ラジカルの作用により、架橋反応することが可能な基であって、好ましい例として、エチレン性不飽和結合含有基が挙げられる。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、下記式（ＩＩＩ）で表される基などが挙げられる。

式（ＩＩＩ）において、Ｒ^２００は、水素原子またはメチル基を表し、メチル基がより好ましい。
式（ＩＩＩ）において、Ｒ^２０１は、炭素数２～１２のアルキレン基、－ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２－または炭素数４～３０の（ポリ）オキシアルキレン基（アルキレン基としては炭素数１～１２が好ましく、１～６がより好ましく、１～３が特に好ましい；繰り返し数は１～１２が好ましく、１～６がより好ましく、１～３が特に好ましい）を表す。なお、（ポリ）オキシアルキレン基とは、オキシアルキレン基またはポリオキシアルキレン基を意味する。好適なＲ^２０１の例は、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、テトラメチレン基、１，２－ブタンジイル基、１，３－ブタンジイル基、ペンタメチレン基、ヘキサメチレン基、オクタメチレン基、ドデカメチレン基、－ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２－が挙げられ、エチレン基、プロピレン基、トリメチレン基、－ＣＨ_２ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ_２－が好ましい。
特に好ましくは、Ｒ^２００がメチル基で、Ｒ^２０１がエチレン基である。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４が表す酸分解性基としては、３級アルキル基、アセタール型酸分解性基などが挙げられる。上記第三級アルキル基としては、ｔ－ブチル基などが挙げられる。上記アセタール型酸分解性基としては、１－アルコキシアルキル基、２－テトラヒドロフラニル基、又は、２－テトラヒドロピラニル基などが挙げられる。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４が表す炭化水素基としては、アルキル基、アリール基、アリールアルキル基などが挙げられる。アルキル基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～８が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。アリール基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２５がより好ましく、６～１２が更に好ましい。アリールアルキル基の炭素数は、７～３０が好ましく、７～２５がより好ましく、７～１２が更に好ましい。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４が表す複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。複素環基は、単環または縮合数が２～４の縮合環が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基の環を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。複素環基の環を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１２がより好ましい。

Ｒｉ^３およびＲｉ^４が表す炭化水素基および複素環基は、置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、ホスホン酸基などの酸基類；これらの酸基類が酸分解性基で保護された基；重合性基などが挙げられる。上記酸基類が酸分解性基で保護された基における酸分解性基、重合性基については、上記と同義である。

Ｘｉ^１およびＸｉ^２はそれぞれ独立してＯまたはＮＲｘｉを表し、Ｒｘｉは水素原子または置換基を表す。Ｒｘｉが表す置換基としては、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アシル基などが挙げられる。Ｒｘｉは水素原子であることが好ましい。Ｘｉ^１およびＸｉ^２はＯであることが好ましい。

ポリイミド前駆体において、式（ＰＩＡ－１）で表される構成単位は１種であってもよいが、２種以上であってもよい。また、式（ＰＩＡ－１）で表される構成単位の構造異性体を含んでいてもよい。また、ポリイミド前駆体は、上記の式（ＰＩＡ－１）で表される構成単位のほかに、他の種類の構成単位も含んでもよい。

ポリイミド前駆体の一実施形態として、全構成単位の５０モル％以上、さらには７０モル％以上、特には９０モル％以上が式（ＰＩＡ－１）で表される構成単位であるポリイミド前駆体が例示される。

ポリイミド前駆体は、特開２０１７－１８６５３０号公報の段落番号００１５～００２９、特開２０１９－０２３７２８号公報の段落番号００３０～００３６、特開２０１９－０４５８６５号公報の段落番号００２９～００３５に記載されているポリイミド前駆体を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

ポリイミド前駆体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは２０００～５０００００であり、より好ましくは５０００～１０００００であり、さらに好ましくは１００００～５００００である。また、数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは８００～２５００００であり、より好ましくは、２０００～５００００であり、さらに好ましくは、４０００～２５０００である。
ポリイミド前駆体の分子量の分散度は、１．５～３．５が好ましく、２～３がより好ましい。

［ポリイミド樹脂］
ポリイミド樹脂としては、ポリイミド樹脂の前駆体（ポリイミド前駆体）を環化して得られたものなどが挙げられる。ポリイミド前駆体としては上述したものが挙げられる。また、ポリイミド樹脂は、主鎖および側鎖の少なくとも一方に、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、およびホスホン酸基から選ばれる少なくとも１種の基を有するものであることも好ましい。この態様によれば、アルカリ現像液に対する溶解性に優れたポリイミド樹脂とすることができる。

［ポリベンゾオキサゾール前駆体］
ポリベンゾオキサゾール樹脂の前駆体（以下、ポリベンゾオキサゾール前駆体ともいう）としては下記式（ＰＢＯ－１）で表される構成単位を含むものが挙げられる。

Ｒｂ^１は、２価の有機基を表し、Ｒｂ^５は、４価の有機基を表し、Ｒｂ^３およびＲｂ^４は、それぞれ独立に、水素原子または１価の有機基を表す。

式（ＰＢＯ－１）のＲｂ^１が表す２価の有機基としては、直鎖または分岐の脂肪族炭化水素基、環状の脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基または複素環基を含む基が挙げられ、炭素数２～２０の直鎖の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の分岐の脂肪族炭化水素基、炭素数３～２０の環状の脂肪族炭化水素基または炭素数６～２０の芳香族炭化水素基を含む基であることが好ましく、炭素数２～２０の直鎖の脂肪族炭化水素基または炭素数３～２０の分岐の脂肪族炭化水素基であることがより好ましい。

式（ＰＢＯ－１）のＲｂ^５が表す４価の有機基としては、芳香環を含む基であることが好ましく、上述した式（Ｒｉ^５－１）または式（Ｒｉ^５－２）で表される基がより好ましい。

式（ＰＢＯ－１）のＲｂ^３およびＲｂ^４が表す１価の有機基としては、重合性基、酸分解性基、炭化水素基、複素環基などが挙げられる。Ｒｂ^３およびＲｂ^４の少なくとも一方は重合性基であることが好ましく、両方が重合性基であることがより好ましい。重合性基、酸分解性基、炭化水素基、複素環基の詳細については、式（ＰＩＡ－１）のＲｉ^３およびＲｉ^４が表す１価の有機基の項で説明したものが挙げられ、好ましい範囲についても同様である。重合性基を含むポリベンゾオキサゾール前駆体を用いた場合においては、より優れた特性を有する膜が得られやすい。また、本発明の樹脂組成物が光重合開始剤を含む場合においては、フォトリソグラフィ法でのパターン形成性に優れた樹脂組成物とすることもできる。

ポリベンゾオキサゾール前駆体において、式（ＰＢＯ－１）で表される構成単位は１種であってもよいが、２種以上であってもよい。また、式（ＰＢＯ－１）で表される構成単位の構造異性体を含んでいてもよい。また、ポリベンゾオキサゾール前駆体は、上記の式（ＰＢＯ－１）で表される構成単位のほかに、他の種類の構成単位も含んでもよい。

ポリベンゾオキサゾール前駆体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、好ましくは２０００～５０００００であり、より好ましくは５０００～１０００００であり、さらに好ましくは１００００～５００００である。また、数平均分子量（Ｍｎ）は、好ましくは８００～２５００００であり、より好ましくは、２０００～５００００であり、さらに好ましくは、４０００～２５０００である。
ポリベンゾオキサゾール前駆体の分子量の分散度は、１．５～３．５が好ましく、２～３がより好ましい。

［ポリベンゾオキサゾール樹脂］
ポリベンゾオキサゾール樹脂としては、ポリベンゾオキサゾール樹脂の前駆体（ポリベンゾオキサゾール前駆体）を環化して得られたものなどが挙げられる。ポリベンゾオキサゾール前駆体としては上述したものが挙げられる。また、ポリベンゾオキサゾール樹脂は、主鎖および側鎖の少なくとも一方に、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、およびホスホン酸基から選ばれる少なくとも１種の基を有するものであることも好ましい。この態様によれば、アルカリ現像液に対する溶解性に優れたポリベンゾオキサゾール樹脂とすることができる。

［エポキシ樹脂］
エポキシ樹脂としては、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に２～１０個が好ましく、２～５個がより好ましく、３個が特に好ましい。エポキシ樹脂は、ベンゼン環を含む化合物であることが好ましく、ジアリール構造、トリアリール構造またはテトラアリール構造を有する化合物であることがより好ましい。

エポキシ樹脂の一態様としては、下記式（ＥＰ－１）で表される化合物が挙げられる。

式（ＥＰ－１）において、Ｒｅ^１は、水素原子、アルキル基、アリール基またはハロゲン原子を表し、水素原子、アルキル基またはハロゲン原子であることが好ましく、水素原子またはアルキル基であることがより好ましく、アルキル基であることがさらに好ましい。
Ｒｅ^１が表すアルキル基の炭素数は１～３０が好ましく、１～１２がより好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は、置換基を有していてもよいが、無置換であることが好ましい。
Ｒｅ^１が表すアリール基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２５がより好ましく、６～１２が更に好ましい。Ｒｅ^１が表すアルキル基およびアリール基は、置換基を有していてもよいが、無置換であることが好ましい。
Ｒｅ^１が表すハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子及びヨウ素原子が挙げられる。

Ｌｅ^１は、単結合または２価の連結基を表し、２価の連結基であることが好ましい。２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＮＲ’－（Ｒ’は、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよいアリール基を表す）、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＯ－、－Ｓ－、－ＳＯ－及びこれらを組み合わせて構成される基が挙げられ、アルキレン基であることが好ましい。
アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～１２がより好ましい。アルキレン基は、直鎖または分岐であることが好ましく、分岐であることがより好ましい。

エポキシ樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１００～１００００が好ましく、５００～５０００がより好ましく、１０００～３０００がさらに好ましい。また、エポキシ樹脂のエポキシ当量（＝エポキシ樹脂の分子量／エポキシ樹脂に含まれるエポキシ基の数）は５０～８００ｇ／ｅｑであることが好ましく、８０～５００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１００～３００ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。エポキシ樹脂のエポキシ当量が上記範囲であれば、硬化膜の耐熱性と機械強度を高い水準で両立できる。

式（ＥＰ－１）で表される化合物の具体例としては、１－［４－（１－ヒドロキシ－１－メチル－エチル）－フェニル］エタノンとフェノール類（無置換もしくは、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数１～１２のアルコキシ基、ハロゲン原子を置換基として有するフェノール類）との反応により得られるフェノール樹脂とエピハロヒドリン（エピクロロヒドリン、エピブロモヒドリンから選ばれる少なくとも１種）との反応により、主成分として得られる化合物が挙げられる。エポキシ樹脂の市販品としてはＶＧ－３１０１Ｍ８０（プリンテック社製）、ＮＣ－６０００、ＮＣ－６３００（以上日本化薬（株）製）、デナコールＥＸ－６１１（ナガセケムテックス（株）製等が挙げられる。

［ビスマレイミド樹脂］
ビスマレイミド樹脂としては、下記式（ＢＭ－１）で表される化合物などが挙げられる。

式（ＢＭ－１）において、Ｒｂｍ^１～Ｒｂｍ^４は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表し、Ｌｂｍ１は２価の連結基を表す。

Ｒｂｍ^１～Ｒｂｍ^４が表す置換基としては、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、複素環基などが挙げられる。

Ｌｂｍ１が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＮＲ’－（Ｒ’は、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基または置換基を有していてもよいアリール基を表す）、－ＳＯ_２－、－ＣＯ－、－Ｏ－、－ＯＣＯ－、－ＣＯＯ－、－Ｓ－、－ＳＯ－及びこれらを組み合わせて構成される基が挙げられる。

ビスマレイミド樹脂の具体例としては、下記構造の化合物が挙げられる。

ビスマレイミド樹脂の市販品としては、ＨＲ３０３０、３０３２、３０７０（以上、ブリンテック社製）、ＢＭＩ－１０００、ＢＭＩ－２０００（以上、大和化成工業（株）製）、サンフェルＢＭ－Ｇ（三新化学工業（株）製）などが挙げられる。

［シリコーン樹脂］
シロキサン結合を含む繰り返し単位を有する樹脂が挙げられる。シリコーン樹脂において、シロキサン結合を含む繰り返し単位は、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。シリコーン樹脂としては、エポキシ変性シリコーン樹脂、ポリエステル変性シリコーン樹脂、アルキッド変性シリコーン樹脂、ウレタン変性シリコーン樹脂、アクリル変性シリコーン樹脂などが挙げられ、これらを好ましく用いることができる。なかでも、硬化膜の耐熱性をより向上させやすいという理由からエポキシ変性シリコーン樹脂、ポリエステル変性シリコーン樹脂が好ましい。

シリコーン樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５００～１００００００が好ましく、１０００～１０００００がより好ましく、２０００～２００００がさらに好ましい。

シリコーン樹脂の一態様としては、ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物と、エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物との反応物などが挙げられる。
この実施形態のシリコーン樹脂は、エポキシ基を有していることが好ましい。また、この実施形態のシリコーン樹脂のエポキシ当量は１５０～５００ｇ／ｅｑであることが好ましい。また、この実施形態のシリコーン樹脂は、ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物由来のエポキシ基のモル数と、エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物由来のエポキシ基のモル数との比率（（ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物由来のエポキシ基のモル数）／（エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物由来のエポキシ基のモル数）が０．１～３であることが好ましい。
また、この実施形態のシリコーン樹脂は、アルコキシ基を有していることも好ましい。シリコーン樹脂中に含まれるアルコキシ基の量は１５０～３０００ｇ／ｅｑであることが好ましい。

上記ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物としては、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ樹脂、エポキシ樹脂のベンゼン環を核水添した水添ビスフェノール型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂等が挙げられる。

ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物に含まれるヒドロキシ基の平均個数は０．３～５であることが好ましい。

上記エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物としては、下記式（Ｓｉ－１）で表される化合物を加水分解および縮合して得られる化合物が挙げられる。
Ｒｓ^１Ｓｉ（ＯＲｓ^２）_３ ・・・（Ｓｉ－１）
（式中、Ｒｓ^１はエポキシ基を有する炭素数３～８の炭化水素基を表し、Ｒｓ^２は水素原子または炭素数１～４の炭化水素基を表す。）

式（Ｓｉ－１）で表される化合物の具体例としては、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、３－グリシドキシプロピルトリプロポキシシランなどのグリシドキシプロピルトリアルコキシシラン類、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリエトキシシラン、２－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリプロポキシシランなどの（エポキシシクロヘキシル）エチルトリアルコキシシラン類などが挙げられる。

また、上記式（Ｓｉ－１）で表される化合物に加えて、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリエチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシランなどのトリアルキルアルコキシシラン類、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、メチルフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジエトキシシラン、３－メルカプトプロピルメチルジメトキシシランなどのジアルキルジアルコキシシラン類；メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシランなどのアルキルトリアルコキシシラン類；テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラプロポキシシラン、テトラブトキシシランなどのテトラアルコキシシラン類、テトラメトキシチタン、テトラエトキシチタン、テトラプロポキシチタン、テトラブトキシチタンなどのテトラアルコキシチタン類；テトラエトキシジルコニウム、テトラプロポキシジルコニウム、テトラブトキシジルコニウムなどのテトラアルコキシジルコニウム類などのエポキシ基を含有しない金属アルコキシド類をさらに併用してもよい。

（式（Ｓｉ－１）で表される化合物に含まれるアルコキシ基のモル数と金属アルコキシド類に含まれるアルコキシ基のモル数の合計）／（式（Ｓｉ－１）で表される化合物のモル数と金属アルコキシド類のモル数の合計）は、２．５～３．５であることが好ましく、２．７～３．２であることがより好ましい。

式（Ｓｉ－１）で表される化合物、または、式（Ｓｉ－１）で表される化合物と上記金属アルコキシド類との混合物を加水分解および縮合することで、エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物が得られる。加水分解反応によって、式（Ｓｉ－１）で表される化合物やと上記金属アルコキシド類に含まれるアルコキシ基がシラノール基となり、アルコールが副生する。加水分解反応に必要な水の量は、（加水分解反応に用いる水のモル数）／（式（Ｓｉ－１）で表される化合物と金属アルコキシド類に含まれる各アルコキシ基の合計モル数）が０．２～１であることが好ましく、０．３～０．７であることがより好ましい。

ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物と、エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物とを反応させてこれらの反応物であるシリコーン樹脂とするにあたり、ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物と、エポキシ基およびアルコキシ基を含有するシルセスキオキサン化合物との使用割合は、ヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物１００質量部に対してヒドロキシ基およびエポキシ基を有する化合物が２０～８００であることが好ましく、５０～５００であることがより好ましい。

シリコーン樹脂の具体例としては下記構造の化合物などが挙げられる。

シリコーン樹脂の市販品としては、ＫＲ－５２３０、ＲＫ－５２３４、ＫＲ－５２３５（以上、信越シリコーン社製）、コンポセランＥ１０３Ａ、Ｅ１０３Ｄ、Ｅ２０３（以上、荒川化学工業（株）製などが挙げられる。

（他の樹脂）
本発明の樹脂組成物は、上述した樹脂Ａ以外の樹脂をさらに含有することができる。他の樹脂をさらに含む場合においては、樹脂組成物を用いて得られる膜に適度な柔軟性を付与することもできる。このため、本発明の樹脂組成物を用いて得られる膜の表面に無機膜などを形成した際において、この積層体が高温に晒されても、無機膜にクラックなどが生じることも効果的に抑制することもできる。また、本発明の樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィによる解像を行う場合、上述した樹脂Ａ以外のアルカリ現像性を有する樹脂を含有することで、解像性を良化することもできる。

他の樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、３０００～２００００００が好ましい。上限は、１００００００以下がより好ましく、５０００００以下がさらに好ましい。下限は、４０００以上がより好ましく、５０００以上がさらに好ましい。

他の樹脂としては、（メタ）アクリル樹脂、ポリイミン樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂などが挙げられ、（メタ）アクリル樹脂およびポリイミン樹脂が好ましく、（メタ）アクリル樹脂がより好ましい。また、他の樹脂として、特開２０１７－２０６６８９号公報の段落番号００４１～００６０に記載の樹脂、特開２０１８－０１０８５６号公報の段落番号００２２～００７１に記載の樹脂、特開２０１７－０５７２６５号公報に記載の樹脂、特開２０１７－０３２６８５号公報に記載の樹脂、特開２０１７－０７５２４８号公報に記載の樹脂、特開２０１７－０６６２４０号公報に記載の樹脂を用いることもできる。

また、他の樹脂としては、酸基を有する樹脂を用いることが好ましい。この態様によれば、樹脂組成物の現像性をより向上させることができる。酸基としては、フェノール性ヒドロキシ基、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基、ホスホン酸基などが挙げられ、カルボキシ基が好ましい。酸基を有する樹脂は、例えば、アルカリ可溶性樹脂として用いることができる。

酸基を有する樹脂は、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましく、側鎖に酸基を有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中１～７０モル％含むことがより好ましい。側鎖に酸基を有する繰り返し単位の含有量の上限は、５０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。側鎖に酸基を有する繰り返し単位の含有量の下限は、２モル％以上であることが好ましく、５モル％以上であることがより好ましい。

酸基を有する樹脂の酸価は、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。また、酸基を有する樹脂の酸価は、５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。

酸基を有する樹脂は、更にエチレン性不飽和結合含有基を有することも好ましい。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられ、アリル基および（メタ）アクリロイル基が好ましく、（メタ）アクリロイル基がより好ましい。

エチレン性不飽和結合含有基を有する樹脂は、側鎖にエチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位を含むことが好ましく、側鎖にエチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位を樹脂の全繰り返し単位中５～８０モル％含むことがより好ましい。側鎖にエチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位の含有量の上限は、６０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましい。側鎖にエチレン性不飽和結合含有基を有する繰り返し単位の含有量の下限は、１０モル％以上であることが好ましく、１５モル％以上であることがより好ましい。

他の樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および／または下記式（ＥＤ２）で表される化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）を含むモノマー成分に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。

式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

式（ＥＤ２）中、Ｒは、水素原子または炭素数１～３０の有機基を表す。式（ＥＤ２）の詳細については、特開２０１０－１６８５３９号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

エーテルダイマーの具体例としては、例えば、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

他の樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。

式（Ｘ）中、Ｒ_１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ_２は炭素数２～１０のアルキレン基を表し、Ｒ_３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１～２０のアルキル基を表す。ｎは１～１５の整数を表す。

酸基を有する樹脂としては、例えば下記構造の樹脂などが挙げられる。以下の構造式中、Ｍｅはメチル基を表す。

（分散剤）
本発明の樹脂組成物は、分散剤としての樹脂を含むこともできる。分散剤は、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシ基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、４０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、５０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、６０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）は、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基であることが好ましい。

分散剤として用いる樹脂は、酸基を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。

分散剤として用いる樹脂は、グラフト樹脂であることも好ましい。グラフト樹脂としては、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号００２５～００９４に記載された樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

分散剤として用いる樹脂は、主鎖及び側鎖の少なくとも一方に窒素原子を含むポリイミン系分散剤（ポリイミン樹脂）であることも好ましい。ポリイミン系分散剤としては、ｐＫａ１４以下の官能基を有する部分構造を有する主鎖と、原子数４０～１００００の側鎖とを有し、かつ主鎖及び側鎖の少なくとも一方に塩基性窒素原子を有する樹脂が好ましい。塩基性窒素原子とは、塩基性を呈する窒素原子であれば特に制限はない。ポリイミン系分散剤としては、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１６６に記載された樹脂が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

分散剤として用いる樹脂は、コア部に複数個のポリマー鎖が結合した構造の樹脂であることも好ましい。このような樹脂としては、例えばデンドリマー（星型ポリマーを含む）が挙げられる。また、デンドリマーの具体例としては、特開２０１３－０４３９６２号公報の段落番号０１９６～０２０９に記載された高分子化合物Ｃ－１～Ｃ－３１などが挙げられる。

また、上述した樹脂Ａの項で説明した樹脂や他の樹脂の項で説明した樹脂を分散剤として用いることもできる。

分散剤は、市販品としても入手可能であり、そのような具体例としては、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ（例えば、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－１１１、１６１など）、Ｌｕｂｒｉｚｏｌ製のＳｏｌｓｐｅｒｓｅシリーズ（例えば、Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ ３６０００など）などが挙げられる。また、特開２０１４－１３０３３８号公報の段落番号００４１～０１３０に記載された顔料分散剤を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。

樹脂組成物の全固形分中における樹脂の含有量は、１０～９５質量％が好ましい。下限は、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましい。上限は、９０質量％以下がより好ましく、８５質量％以下がさらに好ましい。
また、樹脂組成物の全固形分中における上述した樹脂Ａの含有量は、５～９５質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましい。上限は、９０質量％以下が好ましく、８５質量％以下がより好ましい。

樹脂組成物の全固形分から色材を除いた成分中に、樹脂Ａを２０質量％以上含むことが好ましく、３０質量％以上含むことがより好ましく、４０質量％以上含むことが更に好ましい。上限は、１００質量％することもでき、９０質量％以下とすることもでき、８５質量％以下とすることもできる。樹脂Ａの含有量が上記範囲であれば、耐熱性に優れた膜を形成しやすく、加熱後の膜収縮や変色などをより抑制しやすい。更には、本発明の樹脂組成物を用いて得られる膜の表面に無機膜などを形成した際において、この積層体が高温に晒されても、無機膜にクラックなどが生じることも抑制することもできる。
また、樹脂組成物の全固形分中における色材と上述した樹脂Ａの合計の含有量は、２５～１００質量％が好ましい。下限は、３０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上がさらに好ましい。上限は、９０質量％以下がより好ましく、８０質量％以下がさらに好ましい。
また、樹脂組成物の全固形分中における色材と上述した樹脂Ａとの比率は、色材１００質量部に対して樹脂Ａが３～１５００質量部であることが好ましい。下限は、５質量部以上であることが好ましく、１０質量部以上であることがより好ましい。上限は、１０００質量部以下であることが好ましく、５００質量部以下であることがより好ましい。

樹脂組成物において、上述した他の樹脂の含有量は、上述した樹脂Ａの１００質量部に対して２３０質量部以下であることが好ましく、２００質量部以下であることがより好ましく、１５０質量部以下であることが更に好ましい。下限は０質量部であってもよく、５質量部以上とすることもでき、１０質量部以上とすることもできる。また、樹脂組成物は上述した他の樹脂を実質的に含まないことも好ましい。この態様によれば、より耐熱性に優れた膜を形成しやすい。他の樹脂を実質的に含まない場合とは、樹脂組成物の全固形分中における他の樹脂の含有量が０．１質量％以下であることを意味し、０．０５質量％以下であることが好ましく、含有しないことがより好ましい。

＜＜溶剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、溶剤を含有する。溶剤としては有機溶剤が好ましい。有機溶剤としては、各成分の溶解性や樹脂組成物の塗布性を満足すれば基本的には特に制限はない。有機溶剤としては、エステル系溶剤、ケトン系溶剤、アルコール系溶剤、アミド系溶剤、エーテル系溶剤、炭化水素系溶剤などが挙げられる。これらの詳細については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２２３を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、環状アルキル基が置換したエステル系溶剤、環状アルキル基が置換したケトン系溶剤を好ましく用いることもできる。有機溶剤の具体例としては、ポリエチレングリコールモノメチルエーテル、ジクロロメタン、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、酢酸シクロヘキシル、シクロペンタノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、ガンマブチロラクトン、Ｎ－メチル－２－ピロリドンなどが挙げられる。ただし有機溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下とすることもでき、１０質量ｐｐｍ以下とすることもでき、１質量ｐｐｍ以下とすることもできる）。

本発明においては、金属含有量の少ない有機溶剤を用いることが好ましく、有機溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの有機溶剤を用いてもよく、そのような有機溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。有機溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。

有機溶剤は、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。

有機溶剤中の過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。

樹脂組成物中における有機溶剤の含有量は、１０～９５質量％であることが好ましく、２０～９０質量％であることがより好ましく、３０～９０質量％であることが更に好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の樹脂組成物は顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、フタロシアニン骨格、アンスラキノン骨格、キナクリドン骨格、ジオキサジン骨格、ペリノン骨格、ペリレン骨格、チオインジゴ骨格、イソインドリン骨格、イソインドリノン骨格、キノフタロン骨格、スレン骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン骨格、ベンゾイミダゾロン骨格、ジケトピロロピロール骨格、アゾ骨格、キノフタロン骨格、イソインドリン骨格およびフタロシアニン骨格が好ましく、アゾ骨格およびベンゾイミダゾロン骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシ基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。

顔料誘導体としては、可視透明性に優れた顔料誘導体（以下、透明顔料誘導体ともいう）を用いることもできる。透明顔料誘導体の４００～７００ｎｍの波長領域におけるモル吸光係数の最大値（εｍａｘ）は３０００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることが好ましく、１０００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることがより好ましく、１００Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以下であることがさらに好ましい。εｍａｘの下限は、例えば１Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以上であり、１０Ｌ・ｍｏｌ^－１・ｃｍ^－１以上でもよい。

顔料誘導体の具体例としては、特開昭５６－１１８４６２号公報、特開昭６３－２６４６７４号公報、特開平０１－２１７０７７号公報、特開平０３－００９９６１号公報、特開平０３－０２６７６７号公報、特開平０３－１５３７８０号公報、特開平０３－０４５６６２号公報、特開平０４－２８５６６９号公報、特開平０６－１４５５４６号公報、特開平０６－２１２０８８号公報、特開平０６－２４０１５８号公報、特開平１０－０３００６３号公報、特開平１０－１９５３２６号公報、国際公開第２０１１／０２４８９６号の段落番号００８６～００９８、国際公開第２０１２／１０２３９９号の段落番号００６３～００９４、国際公開第２０１７／０３８２５２号の段落番号００８２、特開２０１５－１５１５３０号公報の段落番号０１７１、特開２０１１－２５２０６５号公報の段落番号０１６２～０１８３、特開２００３－０８１９７２号公報、特許第５２９９１５１号公報、特開２０１５－１７２７３２号公報、特開２０１４－１９９３０８号公報、特開２０１４－０８５５６２号公報、特開２０１４－０３５３５１号公報、特開２００８－０８１５６５号公報に記載の化合物が挙げられる。

顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対して１～３０質量部が好ましく、３～２０質量部が更に好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜重合性化合物＞＞
本発明の樹脂組成物は、重合性化合物を含有することができる。重合性化合物は、例えば、エチレン性不飽和結合含有基を有する化合物であることが好ましい。エチレン性不飽和結合含有基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。本発明で用いられる重合性化合物は、ラジカル重合性化合物であることが好ましい。

重合性化合物としては、モノマー、プレポリマー、オリゴマーなどの化学的形態のいずれであってもよいが、モノマーが好ましい。重合性化合物の分子量は、１００～３０００が好ましい。上限は、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。

重合性化合物は、エチレン性不飽和結合含有基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～１５個含む化合物であることがより好ましく、エチレン性不飽和結合含有基を３～６個含む化合物であることが更に好ましい。また、重合性化合物は、３～１５官能の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、３～６官能の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。重合性化合物の具体例としては、特開２００９－２８８７０５号公報の段落番号００９５～０１０８、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０２２７、特開２００８－２９２９７０号公報の段落番号０２５４～０２５７、特開２０１３－２５３２２４号公報の段落番号００３４～００３８、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０４７７、特開２０１７－０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報、特開２０１７－１９４６６２号公報に記載されている化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

重合性化合物としては、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）が好ましい。また、重合性化合物としては、ジグリセリンＥＯ（エチレンオキシド）変性（メタ）アクリレート（市販品としてはＭ－４６０；東亞合成製）、ペンタエリスリトールテトラアクリレート（新中村化学工業（株）製、ＮＫエステルＡ－ＴＭＭＴ）、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート（日本化薬（株）製、ＫＡＹＡＲＡＤ ＨＤＤＡ）、ＲＰ－１０４０（日本化薬（株）製）、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）、ＮＫオリゴＵＡ－７２００（新中村化学工業（株）製）、８ＵＨ－１００６、８ＵＨ－１０１２（大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ－Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることもできる。

また、重合性化合物として、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることも好ましい。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０９、Ｍ－３１０、Ｍ－３２１、Ｍ－３５０、Ｍ－３６０、Ｍ－３１３、Ｍ－３１５、Ｍ－３０６、Ｍ－３０５、Ｍ－３０３、Ｍ－４５２、Ｍ－４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル Ａ９３００、Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ、Ａ－ＧＬＹ－２０Ｅ、Ａ－ＴＭＭ－３、Ａ－ＴＭＭ－３Ｌ、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、Ａ－ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＧＰＯ－３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ－３３０、ＴＰＡ－３３０、ＰＥＴ－３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

重合性化合物は、酸基を有する化合物を用いることもできる。酸基を有する重合性化合物を用いることで、現像時に未露光部の重合性化合物が除去されやすく、現像残渣の発生を抑制できる。酸基としては、カルボキシ基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシ基が好ましい。酸基を有する重合性化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０５、Ｍ－５１０、Ｍ－５２０、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。酸基を有する重合性化合物の好ましい酸価としては、０．１～４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５～３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性化合物の酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。

重合性化合物は、カプロラクトン構造を有する化合物であることも好ましい態様である。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０、ＤＰＣＡ－３０、ＤＰＣＡ－６０、ＤＰＣＡ－１２０等が挙げられる。

重合性化合物は、アルキレンオキシ基を有する重合性化合物を用いることもできる。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物は、エチレンオキシ基および／またはプロピレンオキシ基を有する重合性化合物が好ましく、エチレンオキシ基を有する重合性化合物がより好ましく、エチレンオキシ基を４～２０個有する３～６官能（メタ）アクリレート化合物がさらに好ましい。アルキレンオキシ基を有する重合性化合物の市販品としては、例えばサートマー社製のエチレンオキシ基を４個有する４官能（メタ）アクリレートであるＳＲ－４９４、イソブチレンオキシ基を３個有する３官能（メタ）アクリレートであるＫＡＹＡＲＡＤ ＴＰＡ－３３０などが挙げられる。

重合性化合物は、フルオレン骨格を有する重合性化合物を用いることもできる。フルオレン骨格を有する重合性化合物の市販品としては、オグソールＥＡ－０２００、ＥＡ－０３００（大阪ガスケミカル（株）製、フルオレン骨格を有する（メタ）アクリレートモノマー）などが挙げられる。

重合性化合物としては、トルエンなどの環境規制物質を実質的に含まない化合物を用いることも好ましい。このような化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ ＬＴ、ＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＥＡ－１２ ＬＴ（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

重合性化合物としては、特公昭４８－０４１７０８号公報、特開昭５１－０３７１９３号公報、特公平０２－０３２２９３号公報、特公平０２－０１６７６５号公報に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭５８－０４９８６０号公報、特公昭５６－０１７６５４号公報、特公昭６２－０３９４１７号公報、特公昭６２－０３９４１８号公報に記載されたエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物も好適である。また、特開昭６３－２７７６５３号公報、特開昭６３－２６０９０９号公報、特開平０１－１０５２３８号公報に記載された分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する重合性化合物を用いることも好ましい。また、重合性化合物は、ＵＡ－７２００（新中村化学工業（株）製）、ＤＰＨＡ－４０Ｈ（日本化薬（株）製）、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－３０６Ｔ、ＵＡ－３０６Ｉ、ＡＨ－６００、Ｔ－６００、ＡＩ－６００、ＬＩＮＣ－２０２ＵＡ（共栄社化学（株）製）などの市販品を用いることもできる。

重合性化合物を含有する場合、樹脂組成物の全固形分中における重合性化合物の含有量は０．1～５０質量％であることが好ましい。下限は、０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、４５質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が更に好ましい。重合性化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の樹脂組成物は光重合開始剤を含むことができる。光重合開始剤としては、特に制限はなく、公知の光重合開始剤の中から適宜選択することができる。例えば、紫外線領域から可視領域の光線に対して感光性を有する化合物が好ましい。光重合開始剤は光ラジカル重合開始剤であることが好ましい

光重合開始剤としては、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物、イミダゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物などが挙げられる。光重合開始剤は、露光感度の観点から、トリハロメチルトリアジン化合物、ビイミダゾール化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、アシルホスフィン化合物、ホスフィンオキサイド化合物、メタロセン化合物、オキシム化合物、トリアリールイミダゾールダイマー、オニウム化合物、ベンゾチアゾール化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物、シクロペンタジエン－ベンゼン－鉄錯体、ハロメチルオキサジアゾール化合物および３－アリール置換クマリン化合物であることが好ましく、ビイミダゾール化合物、オキシム化合物、α－ヒドロキシケトン化合物、α－アミノケトン化合物、および、アシルホスフィン化合物から選ばれる化合物であることがより好ましく、オキシム化合物であることが更に好ましい。光重合開始剤としては、特開２０１４－１３０１７３号公報の段落００６５～０１１１、特許第６３０１４８９号公報に記載された化合物が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

ビイミダゾール化合物としては、２，２－ビス（２－クロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４’，５，５－テトラキス（３，４，５－トリメトキシフェニル）－１，２’－ビイミダゾール、２，２’－ビス（２，３－ジクロロフェニル）－４，４’，５，５’－テトラフェニルビイミダゾール、及び２，２’－ビス（ｏ－クロロフェニル）－４，４，５，５’－テトラフェニル－１，２’－ビイミダゾールなどが挙げられる。α－ヒドロキシケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ １８４、Ｏｍｎｉｒａｄ １１７３、Ｏｍｎｉｒａｄ ２９５９、Ｏｍｎｉｒａｄ １２７（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １８４、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １１７３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ２９５９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ １２７（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。α－アミノケトン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ ９０７、Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９、Ｏｍｎｉｒａｄ ３６９Ｅ、Ｏｍｎｉｒａｄ ３７９ＥＧ（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ９０７、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３６９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３６９Ｅ、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ３７９ＥＧ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。アシルホスフィン化合物の市販品としては、Ｏｍｎｉｒａｄ ８１９、Ｏｍｎｉｒａｄ ＴＰＯ（以上、ＩＧＭ Ｒｅｓｉｎｓ Ｂ．Ｖ．社製）、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ８１９、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＴＰＯ（以上、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）に記載の化合物、特開２０００－０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４－５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開第２０１５／１５２１５３号に記載の化合物、国際公開第２０１７／０５１６８０号に記載の化合物、特開２０１７－１９８８６５号公報に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３８に記載の化合物、国際公開第２０１３／１６７５１５号に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンなどが挙げられる。市販品としては、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０１、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０２、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０３、Ｉｒｇａｃｕｒｅ ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物としては、着色性が無い化合物や、透明性が高く変色し難い化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

光重合開始剤として、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。

また、光重合開始剤として、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開第２０１３／０８３５０５号に記載の化合物が挙げられる。

光重合開始剤として、フッ素原子を有するオキシム化合物を用いることもできる。フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）などが挙げられる。

光重合開始剤として、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落番号００３１～００４７、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落番号０００８～００１２、００７０～００７９に記載されている化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７～００２５に記載されている化合物、アデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）が挙げられる。

光重合開始剤として、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開第２０１５／０３６９１０号に記載されるＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。

オキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

オキシム化合物は、波長３５０～５００ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物が好ましく、波長３６０～４８０ｎｍの範囲に極大吸収波長を有する化合物がより好ましい。また、オキシム化合物の波長３６５ｎｍ又は波長４０５ｎｍにおけるモル吸光係数は、感度の観点から、高いことが好ましく、１０００～３０００００であることがより好ましく、２０００～３０００００であることが更に好ましく、５０００～２０００００であることが特に好ましい。化合物のモル吸光係数は、公知の方法を用いて測定することができる。例えば、分光光度計（Ｖａｒｉａｎ社製Ｃａｒｙ－５ ｓｐｅｃｔｒｏｐｈｏｔｏｍｅｔｅｒ）にて、酢酸エチルを用い、０．０１ｇ／Ｌの濃度で測定することが好ましい。

光重合開始剤としては、２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤を用いてもよい。そのような光ラジカル重合開始剤を用いることにより、光ラジカル重合開始剤の１分子から２つ以上のラジカルが発生するため、良好な感度が得られる。また、非対称構造の化合物を用いた場合においては、結晶性が低下して溶剤などへの溶解性が向上して、経時で析出しにくくなり、樹脂組成物の経時安定性を向上させることができる。２官能あるいは３官能以上の光ラジカル重合開始剤の具体例としては、特表２０１０－５２７３３９号公報、特表２０１１－５２４４３６号公報、国際公開第２０１５／００４５６５号、特表２０１６－５３２６７５号公報の段落番号０４０７～０４１２、国際公開第２０１７／０３３６８０号の段落番号００３９～００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３－５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開第２０１６／０３４９６３号に記載されているＣｍｐｄ１～７、特表２０１７－５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７－１６７３９９号公報の段落番号００２０～００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７－１５１３４２号公報の段落番号００１７～００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）、特許第６４６９６６９号に記載されているオキシム化合物などが挙げられる。

光重合開始剤を含有する場合、樹脂組成物の全固形分中における光重合開始剤の含有量は０．１～３０質量％が好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。上限は、２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましい。光重合開始剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。本発明において、シランカップリング剤は、加水分解性基とそれ以外の官能基とを有するシラン化合物を意味する。また、加水分解性基とは、ケイ素原子に直結し、加水分解反応及び縮合反応の少なくともいずれかによってシロキサン結合を生じ得る置換基をいう。加水分解性基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アシルオキシ基などが挙げられ、アルコキシ基が好ましい。すなわち、シランカップリング剤は、アルコキシシリル基を有する化合物が好ましい。また、加水分解性基以外の官能基としては、例えば、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基、メルカプト基、エポキシ基、オキセタニル基、アミノ基、ウレイド基、スルフィド基、イソシアネート基、フェニル基などが挙げられ、アミノ基、（メタ）アクリロイル基およびエポキシ基が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、特開２００９－２８８７０３号公報の段落番号００１８～００３６に記載の化合物、特開２００９－２４２６０４号公報の段落番号００５６～００６６に記載の化合物が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

樹脂組成物の全固形分中におけるシランカップリング剤の含有量は、０．１～５質量％が好ましい。上限は、３質量％以下が好ましく、２質量％以下がより好ましい。下限は、０．５質量％以上が好ましく、１質量％以上がより好ましい。シランカップリング剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。

＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、樹脂や重合性化合物の反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤をさらに含有することができる。硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３－０４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４－０５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２－１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１－２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９－１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。

本発明の樹脂組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、樹脂組成物の全固形分中０．３～８．９質量％が好ましく、０．８～６．４質量％がより好ましい。

＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔｅｒｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔｅｒｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）が挙げられる。中でも、ｐ－メトキシフェノールが好ましい。樹脂組成物の全固形分中における重合禁止剤の含有量は、０．０００１～５質量％が好ましい。

＜＜界面活性剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、アニオン性界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開第２０１５／１６６７７９号の段落番号０２３８～０２４５に記載された界面活性剤が挙げられ、この内容は本明細書に組み込まれる。

界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。樹脂組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好適であり、より好ましくは５～３０質量％であり、特に好ましくは７～２５質量％である。フッ素含有率がこの範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、樹脂組成物中における溶解性も良好である。

フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４－０４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開第２０１４／０１７６６９号の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、ＡＧＣ（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。

また、フッ素系界面活性剤は、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤は、特開２０１６－２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

フッ素系界面活性剤は、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１－０８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。

上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３０００～５００００であり、例えば、１４０００である。上記の化合物中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。

また、フッ素系界面活性剤は、エチレン性不飽和結合含有基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。フッ素系界面活性剤は、特開２０１５－１１７３２７号公報の段落番号００１５～０１５８に記載の化合物を用いることもできる。

樹脂組成物の全固形分中における界面活性剤の含有量は、０．００１質量％～５．０質量％が好ましく、０．００５～３．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみでもよく、２種以上でもよい。２種以上の場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤は、共役ジエン化合物、アミノジエン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物、インドール化合物、トリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２－２０８３７４号公報の段落番号００５２～００７２、特開２０１３－０６８８１４号公報の段落番号０３１７～０３３４、特開２０１６－１６２９４６号公報の段落番号００６１～００８０の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としては、ミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）が挙げられる。また、紫外線吸収剤は、特許第６２６８９６７号公報の段落番号００４９～００５９に記載された化合物を用いることもできる。樹脂組成物の全固形分中における紫外線吸収剤の含有量は、０．０１～１０質量％が好ましく、０．０１～５質量％がより好ましい。紫外線吸収剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜酸化防止剤＞＞
本発明の樹脂組成物は、酸化防止剤を含有することができる。酸化防止剤としては、フェノール化合物、亜リン酸エステル化合物、チオエーテル化合物などが挙げられる。フェノール化合物としては、フェノール系酸化防止剤として知られる任意のフェノール化合物を使用することができる。好ましいフェノール化合物としては、ヒンダードフェノール化合物が挙げられる。フェノール性ヒドロキシ基に隣接する部位（オルト位）に置換基を有する化合物が好ましい。前述の置換基としては炭素数１～２２の置換又は無置換のアルキル基が好ましい。また、酸化防止剤は、同一分子内にフェノール基と亜リン酸エステル基を有する化合物も好ましい。また、酸化防止剤は、リン系酸化防止剤も好適に使用することができる。樹脂組成物の全固形分中における酸化防止剤の含有量は、０．０１～２０質量％であることが好ましく、０．３～１５質量％であることがより好ましい。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他成分＞＞
本発明の樹脂組成物は、必要に応じて、増感剤、フィラー、熱硬化促進剤、可塑剤及びその他の助剤類（例えば、導電性粒子、充填剤、消泡剤、難燃剤、レベリング剤、剥離促進剤、香料、表面張力調整剤、連鎖移動剤など）を含有してもよい。これらの成分を適宜含有させることにより、膜物性などの性質を調整することができる。これらの成分は、例えば、特開２０１２－００３２２５号公報の段落番号０１８３以降（対応する米国特許出願公開第２０１３／００３４８１２号明細書の段落番号０２３７）の記載、特開２００８－２５００７４号公報の段落番号０１０１～０１０４、０１０７～０１０９等の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。また、樹脂組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開第２０１４／０２１０２３号、国際公開第２０１７／０３０００５号、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。また、特開２０１８－１５５８８１号公報に記載されているように、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２９を耐候性改良の目的で添加しても良い。

本発明の樹脂組成物は、得られる膜の屈折率を調整するために金属酸化物を含有させてもよい。金属酸化物としては、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、ＳｉＯ_２等が挙げられる。金属酸化物の一次粒子径は１～１００ｎｍが好ましく、３～７０ｎｍがより好ましく、５～５０ｎｍが更に好ましい。金属酸化物はコア－シェル構造を有していてもよい。また、この場合、コア部は中空状であってもよい。

本発明の樹脂組成物は、耐光性改良剤を含んでもよい。耐光性改良剤としては、特開２０１７－１９８７８７号公報の段落番号００３６～００３７に記載の化合物、特開２０１７－１４６３５０号公報の段落番号００２９～００３４に記載の化合物、特開２０１７－１２９７７４号公報の段落番号００３６～００３７、００４９～００５２に記載の化合物、特開２０１７－１２９６７４号公報の段落番号００３１～００３４、００５８～００５９に記載の化合物、特開２０１７－１２２８０３号公報の段落番号００３６～００３７、００５１～００５４に記載の化合物、国際公開第２０１７／１６４１２７号の段落番号００２５～００３９に記載の化合物、特開２０１７－１８６５４６号公報の段落番号００３４～００４７に記載の化合物、特開２０１５－０２５１１６号公報の段落番号００１９～００４１に記載の化合物、特開２０１２－１４５６０４号公報の段落番号０１０１～０１２５に記載の化合物、特開２０１２－１０３４７５号公報の段落番号００１８～００２１に記載の化合物、特開２０１１－２５７５９１号公報の段落番号００１５～００１８に記載の化合物、特開２０１１－１９１４８３号公報の段落番号００１７～００２１に記載の化合物、特開２０１１－１４５６６８号公報の段落番号０１０８～０１１６に記載の化合物、特開２０１１－２５３１７４号公報の段落番号０１０３～０１５３に記載の化合物などが挙げられる。

本発明の樹脂組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離の金属の含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。この態様によれば、顔料分散性の安定化（凝集抑止）、分散性向上に伴う分光特性の向上、硬化性成分の安定化、金属原子・金属イオンの溶出に伴う導電性変動の抑止、表示特性の向上などの効果が期待できる。また、特開２０１２－１５３７９６号公報、特開２０００－３４５０８５号公報、特開２００５－２００５６０号公報、特開平０８－０４３６２０号公報、特開２００４－１４５０７８号公報、特開２０１４－１１９４８７号公報、特開２０１０－０８３９９７号公報、特開２０１７－０９０９３０号公報、特開２０１８－０２５６１２号公報、特開２０１８－０２５７９７号公報、特開２０１７－１５５２２８号公報、特開２０１８－０３６５２１号公報などに記載された効果も得られる。上記の遊離の金属の種類としては、Ｎａ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｆｅ、Ｃｒ、Ｃｏ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｓｎ、Ｚｒ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｔ、Ｃｓ、Ｎi、Ｃｄ、Ｐｂ、Ｂｉ等が挙げられる。また、本発明の樹脂組成物は、顔料などと結合または配位していない遊離のハロゲンの含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましく、５０ｐｐｍ以下であることがより好ましく、１０ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、実質的に含有しないことが特に好ましい。ハロゲンとしては、Ｆ、Ｃｌ、Ｂｒ、Ｉ及びそれらの陰イオンが挙げられる。樹脂組成物中の遊離の金属やハロゲンの低減方法としては、イオン交換水による洗浄、ろ過、限外ろ過、イオン交換樹脂による精製等の方法が挙げられる。

本発明の樹脂組成物は、テレフタル酸エステルを実質的に含まないことも好ましい。ここで、「実質的に含まない」とは、テレフタル酸エステルの含有量が、樹脂組成物の全量中、１０００質量ｐｐｂ以下であることを意味し、１００質量ｐｐｂ以下であることがより好ましく、ゼロであることが特に好ましい。

＜収容容器＞
本発明の樹脂組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や樹脂組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。また、容器内壁は、容器内壁からの金属溶出を防ぎ、樹脂組成物の保存安定性を高めたり、成分変質を抑制するなど目的で、ガラス製やステンレス製などにすることも好ましい。

＜樹脂組成物の調製方法＞
本発明の樹脂組成物は、前述の成分を混合して調製できる。樹脂組成物の調製に際しては、全成分を同時に有機溶剤に溶解および／または分散して樹脂組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して樹脂組成物を調製してもよい。

また、樹脂組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことが好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全集、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。

樹脂組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、樹脂組成物をフィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。

フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍが好ましく、０．０１～３．０μｍがより好ましく、０．０５～０．５μｍが更に好ましい。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物をより確実に除去できる。フィルタの孔径値については、フィルタメーカーの公称値を参照することができる。フィルタは、日本ポール株式会社（ＤＦＡ４２０１ＮＩＥＹなど）、アドバンテック東洋株式会社、日本インテグリス株式会社（旧日本マイクロリス株式会社）および株式会社キッツマイクロフィルタ等が提供する各種フィルタを用いることができる。

また、フィルタとしてファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。市販品としては、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）が挙げられる。

フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。

＜膜＞
本発明の膜は、上述した本発明の樹脂組成物から得られる膜である。本発明の膜は、カラーフィルタ、近赤外線透過フィルタ、近赤外線カットフィルタ、ブラックマトリクス、遮光膜などに用いることができる。例えば、カラーフィルタの着色層として好ましく用いることができる。

本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上がさらに好ましい。

本発明の膜は、窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１）で表される吸光度の変化率ΔＡが５０％以下であることが好ましく、４５％以下であることがより好ましく、４０％以下であることが更に好ましく、３５％以下であることが特に好ましい。
ΔＡ＝｜１００－（Ａ２／Ａ１）×１００｜ ・・・（１）
ΔＡは、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である。

また、本発明の膜は、波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長λ１と、膜を窒素雰囲気下にて、３００℃で５時間加熱処理した後の膜の吸光度の最大値を示す波長λ２との差の絶対値が５０ｎｍ以下であることが好ましく、４５ｎｍ以下であることがより好ましく、４０ｎｍ以下であることが更に好ましい。

また、本発明の膜は、窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の変化率の最大値が３０％以下であることが好ましく、２７％以下であることがより好ましく、２５％以下であることが更に好ましい。なお、吸光度の変化率は、下記式（２）から算出される値である。
ΔＡ_λ＝｜１００－（Ａ２_λ／Ａ１_λ）×１００｜ ・・・（２）
ΔＡ_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度の変化率であり、
Ａ１_λは、加熱処理前の膜の波長λにおける吸光度であり、
Ａ２_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度である。

＜膜の製造方法＞
本発明の膜は、上述した本発明の樹脂組成物を支持体上に塗布する工程を経て製造できる。本発明の膜の製造方法においては、更にパターン（画素）を形成する工程を含むことが好ましい。パターン（画素）の形成方法としては、フォトリソグラフィ法およびドライエッチング法が挙げられ、フォトリソグラフィ法が好ましい。

（フォトリソグラフィ法）
まず、フォトリソグラフィ法によりパターンを形成して膜を製造する場合について説明する。フォトリソグラフィ法によるパターン形成は、本発明の樹脂組成物を用いて支持体上に樹脂組成物層を形成する工程と、樹脂組成物層をパターン状に露光する工程と、樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する工程と、を含むことが好ましい。必要に応じて、樹脂組成物層をベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターン（画素）をベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。

樹脂組成物層を形成する工程では、本発明の樹脂組成物を用いて、支持体上に樹脂組成物層を形成する。支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、シリコン基板などが挙げられ、シリコン基板であることが好ましい。また、シリコン基板には、電荷結合素子（ＣＣＤ）、相補型金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）、透明導電膜などが形成されていてもよい。また、シリコン基板には、各画素を隔離するブラックマトリクスが形成されている場合もある。また、シリコン基板には、上部の層との密着性改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。

樹脂組成物の塗布方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、滴下法（ドロップキャスト）；スリットコート法；スプレー法；ロールコート法；回転塗布法（スピンコーティング）；流延塗布法；スリットアンドスピン法；プリウェット法（たとえば、特開２００９－１４５３９５号公報に記載されている方法）；インクジェット（例えばオンデマンド方式、ピエゾ方式、サーマル方式）、ノズルジェット等の吐出系印刷、フレキソ印刷、スクリーン印刷、グラビア印刷、反転オフセット印刷、メタルマスク印刷法などの各種印刷法；金型等を用いた転写法；ナノインプリント法などが挙げられる。インクジェットでの適用方法としては、特に限定されず、例えば「広がる・使えるインクジェット－特許に見る無限の可能性－、２００５年２月発行、住ベテクノリサーチ」に示された方法（特に１１５ページ～１３３ページ）や、特開２００３－２６２７１６号公報、特開２００３－１８５８３１号公報、特開２００３－２６１８２７号公報、特開２０１２－１２６８３０号公報、特開２００６－１６９３２５号公報などに記載の方法が挙げられる。また、樹脂組成物の塗布方法は、国際公開第２０１７／０３０１７４号、国際公開第２０１７／０１８４１９号に記載された方法を用いることもでき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

支持体上に形成した樹脂組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスにより膜を製造する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１５０℃以下が好ましく、１２０℃以下がより好ましく、１１０℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３００秒が好ましく、４０～２５０秒がより好ましく、８０～２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等で行うことができる。

次に、樹脂組成物層をパターン状に露光する（露光工程）。例えば、樹脂組成物層に対し、ステッパー露光機やスキャナ露光機などを用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、露光部分を硬化することができる。

露光に際して用いることができる放射線（光）としては、ｇ線、ｉ線等が挙げられる。また、波長３００ｎｍ以下の光（好ましくは波長１８０～３００ｎｍの光）を用いることもできる。波長３００ｎｍ以下の光としては、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）、ＡｒＦ線（波長１９３ｎｍ）などが挙げられ、ＫｒＦ線（波長２４８ｎｍ）が好ましい。また、３００ｎｍ以上の長波な光源も利用できる。

また、露光に際して、光を連続的に照射して露光してもよく、パルス的に照射して露光（パルス露光）してもよい。なお、パルス露光とは、短時間（例えば、ミリ秒レベル以下）のサイクルで光の照射と休止を繰り返して露光する方式の露光方法のことである。パルス露光の場合、パルス幅は、１００ナノ秒（ｎｓ）以下であることが好ましく、５０ナノ秒以下であることがより好ましく、３０ナノ秒以下であることが更に好ましい。パルス幅の下限は、特に限定はないが、１フェムト秒（ｆｓ）以上とすることができ、１０フェムト秒以上とすることもできる。周波数は、１ｋＨｚ以上であることが好ましく、２ｋＨｚ以上であることがより好ましく、４ｋＨｚ以上であることが更に好ましい。周波数の上限は５０ｋＨｚ以下であることが好ましく、２０ｋＨｚ以下であることがより好ましく、１０ｋＨｚ以下であることが更に好ましい。最大瞬間照度は、５０００００００Ｗ／ｍ^２以上であることが好ましく、１００００００００Ｗ／ｍ^２以上であることがより好ましく、２００００００００Ｗ／ｍ^２以上であることが更に好ましい。また、最大瞬間照度の上限は、１０００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることが好ましく、８００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることがより好ましく、５００００００００Ｗ／ｍ^２以下であることが更に好ましい。なお、パルス幅とは、パルス周期における光が照射されている時間のことである。また、周波数とは、１秒あたりのパルス周期の回数のことである。また、最大瞬間照度とは、パルス周期における光が照射されている時間内での平均照度のことである。また、パルス周期とは、パルス露光における光の照射と休止を１サイクルとする周期のことである。

照射量（露光量）は、例えば、０．０３～２．５Ｊ／ｃｍ^２が好ましく、０．０５～１．０Ｊ／ｃｍ^２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、または、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、または、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ^２～１０００００Ｗ／ｍ^２（例えば、５０００Ｗ／ｍ^２、１５０００Ｗ／ｍ^２、または、３５０００Ｗ／ｍ^２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

次に、樹脂組成物層の未露光部を現像除去してパターン（画素）を形成する。樹脂組成物層の未露光部の現像除去は、現像液を用いて行うことができる。これにより、露光工程における未露光部の樹脂組成物層が現像液に溶出し、光硬化した部分だけが残る。現像液の温度は、例えば、２０～３０℃が好ましい。現像時間は、２０～１８０秒が好ましい。また、残渣除去性を向上するため、現像液を６０秒ごとに振り切り、さらに新たに現像液を供給する工程を数回繰り返してもよい。

現像液は、有機溶剤、アルカリ現像液などが挙げられ、アルカリ現像液が好ましく用いられる。アルカリ現像液としては、アルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液（アルカリ現像液）が好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２－ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン性界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５～１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の樹脂組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の樹脂組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルを支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。

現像後、乾燥を施した後に追加露光処理や加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。追加露光処理やポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の硬化処理である。ポストベークにおける加熱温度は、例えば１００～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましい。ポストベークは、現像後の膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。追加露光処理を行う場合、露光に用いられる光は、波長４００ｎｍ以下の光であることが好ましい。また、追加露光処理は、韓国公開特許第１０－２０１７－０１２２１３０号公報に記載された方法で行ってもよい。

（ドライエッチング法）
ドライエッチング法でのパターン形成は、本発明の樹脂組成物を用いて支持体上に樹脂組成物層を形成し、この樹脂組成物層の全体を硬化させて硬化物層を形成する工程と、この硬化物層上にフォトレジスト層を形成する工程と、フォトレジスト層をパターン状に露光したのち、現像してレジストパターンを形成する工程と、このレジストパターンをマスクとして硬化物層に対してエッチングガスを用いてドライエッチングする工程と、を含むことが好ましい。フォトレジスト層の形成においては、更にプリベーク処理を施すことが好ましい。特に、フォトレジスト層の形成プロセスとしては、露光後の加熱処理、現像後の加熱処理（ポストベーク処理）を実施する形態が望ましい。ドライエッチング法でのパターン形成については、特開２０１３－０６４９９３号公報の段落番号００１０～００６７の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

＜カラーフィルタ＞
本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の膜を有する。より好ましくは、カラーフィルタの画素として、本発明の膜を有する。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。

本発明のカラーフィルタにおいて本発明の膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。

本発明のカラーフィルタは、画素の幅が０．５～２０．０μｍであることが好ましい。下限は、１．０μｍ以上であることが好ましく、２．０μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１５．０μｍ以下であることが好ましく、１０．０μｍ以下であることがより好ましい。また、画素のヤング率が０．５～２０ＧＰａであることが好ましく、２．５～１５ＧＰａがより好ましい。

本発明のカラーフィルタに含まれる各画素は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、画素の表面粗さＲａは、１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。画素の表面粗さは、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡） Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０～１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ－ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。また、画素の体積抵抗値は高いことが好ましい。具体的には、画素の体積抵抗値は１０^９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０^１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０^１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。

また、本発明のカラーフィルタは、本発明の膜の表面に保護層が設けられていてもよい。保護層を設けることで、酸素遮断化、低反射化、親疎水化、特定波長の光（紫外線、近赤外線等）の遮蔽等の種々の機能を付与することができる。保護層の厚さとしては、０．０１～１０μｍが好ましく、０．１～５μｍがより好ましい。保護層の形成方法としては、有機溶剤に溶解した保護層形成用樹脂組成物を塗布して形成する方法、化学気相蒸着法、成型した樹脂を接着材で貼りつける方法等が挙げられる。保護層を構成する成分としては、（メタ）アクリル樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、ポリオール樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、アラミド樹脂、ポリアミド樹脂、アルキド樹脂、エポキシ樹脂、変性シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、セルロース樹脂、Ｓｉ、Ｃ、Ｗ、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｍｏ、ＳｉＯ_２、Ｓｉ_２Ｎ_４などが挙げられ、これらの成分を二種以上含有しても良い。例えば、酸素遮断化を目的とした保護層の場合、保護層はポリオール樹脂と、ＳｉＯ_２と、Ｓｉ_２Ｎ_４を含むことが好ましい。また、低反射化を目的とした保護層の場合、保護層は（メタ）アクリル樹脂とフッ素樹脂を含むことが好ましい。

保護層形成用樹脂組成物を塗布して保護層を形成する場合、保護層形成用樹脂組成物の塗布方法としては、スピンコート法、キャスト法、スクリーン印刷法、インクジェット法等の公知の方法を用いることができる。保護層形成用樹脂組成物に含まれる有機溶剤は、公知の有機溶剤（例えば、プロピレングリコール１－モノメチルエーテル２－アセテート、シクロペンタノン、乳酸エチル等）を用いることが出来る。保護層を化学気相蒸着法にて形成する場合、化学気相蒸着法としては、公知の化学気相蒸着法（熱化学気相蒸着法、プラズマ化学気相蒸着法、光化学気相蒸着法）を用いることができる。

保護層は、必要に応じて、有機・無機微粒子、特定波長の光（例えば、紫外線、近赤外線等）の吸収剤、屈折率調整剤、酸化防止剤、密着剤、界面活性剤等の添加剤を含有しても良い。有機・無機微粒子の例としては、例えば、高分子微粒子（例えば、シリコーン樹脂微粒子、ポリスチレン微粒子、メラミン樹脂微粒子）、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム、酸化インジウム、酸化アルミニウム、窒化チタン、酸窒化チタン、フッ化マグネシウム、中空シリカ、シリカ、炭酸カルシウム、硫酸バリウム等が挙げられる。特定波長の光の吸収剤は公知の吸収剤を用いることができる。これらの添加剤の含有量は適宜調整できるが、保護層の全質量に対して０．１～７０質量％が好ましく、１～６０質量％がさらに好ましい。

また、保護層としては、特開２０１７－１５１１７６号公報の段落番号００７３～００９２に記載の保護層を用いることもできる。

カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。

＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素よりも低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２－２２７４７８号公報、特開２０１４－１７９５７７号公報、国際公開第２０１８／０４３６５４号、米国特許出願公開第２０１８／００４０６５６号明細書に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。

＜画像表示装置＞
本発明の画像表示装置は、上述した本発明の膜を有する。画像表示装置としては、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などが挙げられる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。

以下に実施例を挙げて本発明をさらに具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」、「％」は、質量基準である。

＜試料の重量平均分子量（Ｍｗ）の測定＞
試料の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により、以下の条件で測定した。
カラムの種類：ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺＭ－Ｈと、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ４０００と、ＴＯＳＯＨ ＴＳＫｇｅｌ Ｓｕｐｅｒ ＨＺ２０００とを連結したカラム
展開溶媒：テトラヒドロフラン
カラム温度：４０℃
流量（サンプル注入量）：１．０μＬ（サンプル濃度：０．１質量％）
装置名：東ソー製 ＨＬＣ－８２２０ＧＰＣ
検出器：ＲＩ（屈折率）検出器
検量線ベース樹脂：ポリスチレン樹脂

＜試料の酸価の測定＞
試料の酸価は、固形分１ｇあたりの酸性成分を中和するのに要する水酸化カリウムの質量を表したものである。試料の酸価は次のようにして測定した。すなわち、測定試料をテトラヒドロフラン／水＝９／１（質量比）混合溶媒に溶解し、得られた溶液を、電位差滴定装置（商品名：ＡＴ－５１０、京都電子工業製）を用いて、２５℃にて、０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液で中和滴定した。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点として、次式により酸価を算出した。
Ａ＝５６．１１×Ｖｓ×０．５×ｆ／ｗ
Ａ：酸価（ｍｇＫＯＨ／ｇ）
Ｖｓ：滴定に要した０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の使用量（ｍＬ）
ｆ：０．１ｍｏｌ／Ｌ水酸化ナトリウム水溶液の力価
ｗ：試料の質量（ｇ）（固形分換算）

（分散液の製造）
下記表に記載の原料を混合した混合液をビーズミル（ジルコニアビーズ０．３ｍｍ径）を用いて３時間混合および分散した後さらに減圧機構付き高圧分散機ＮＡＮＯ－３０００－１０（日本ビーイーイー（株）製）を用いて、２０００ｋｇ／ｃｍ^３の圧力下で流量５００ｇ／ｍｉｎとして分散処理を行った。この分散処理を１０回繰り返し分散液を得た。

上記表に記載の数値の単位は質量部である。上記表に示した原料のうち、略語で示した原料の詳細は以下の通りである。
（顔料）
ＰＲ２５４ ： Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４（赤色顔料、ジケトピロロピロール顔料）
ＰＲ２６４ ： Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４（赤色顔料、ジケトピロロピロール顔料）
ＰＢ１５：４ ： Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４（青色顔料、フタロシアニン顔料）
ＰＢ１５：６ ： Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６（青色顔料、フタロシアニン顔料）
ＰＢ１６ ： Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６（青色顔料、フタロシアニン顔料）
ＰＹ１３９ ：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９（黄色顔料、イソインドリン顔料）
ＰｃＡｌ ： アルミニウムフタロシアニン（青色顔料、下記構造の化合物）

ＩＲ顔料：下記構造の化合物（近赤外線吸収顔料、構造式中、Ｍｅはメチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す）

なお、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６はいずれも下記条件１を満たす顔料である。
条件１）
顔料を６質量％と、樹脂Ｂ－５を１０質量％と、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを８４質量％と、を含む組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１０）で表される吸光度の変化率ΔＡ１０が５０％以下である；
ΔＡ１０＝｜１００－（Ａ１２／Ａ１１）×１００｜ ・・・（１０）
ΔＡ１０は、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ１２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である；
樹脂Ｂ－５は、下記構造の樹脂であって、主鎖に付記した数値はモル比であり、重量平均分子量は１１０００であり、酸価は３２ｍｇＫＯＨ／ｇである。

（顔料誘導体）
誘導体１：下記構造の化合物

誘導体２：下記構造の化合物（構造式中、Ｍｅはメチル基を表し、Ｐｈはフェニル基を表す）

（樹脂（分散剤））
Ｂ－１：下記構造の樹脂（（メタ）アクリル樹脂、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。重量平均分子量２００００、酸価７７ｍｇＫＯＨ／ｇ）

Ｂ－２：下記構造の樹脂（重量平均分子量１２０００、酸価１９５．４ｍｇＫＯＨ／ｇ、アミン価０ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値は繰り返し単位のモル比を表す。）

Ｂ－３：下記構造の樹脂（（メタ）アクリル樹脂、主鎖に付記した数値はモル比である。重量平均分子量１４０００、酸価７９．３ｍｇＫＯＨ／ｇ）

Ｂ－４：下記構造の樹脂（（メタ）アクリル樹脂、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。重量平均分子量２４０００、酸価５２．５ｍｇＫＯＨ／ｇ）

Ｂ－５：下記構造の樹脂（（メタ）アクリル樹脂、主鎖に付記した数値はモル比である。重量平均分子量１１０００、酸価３２ｍｇＫＯＨ／ｇ）

Ｂ－１４：下記構造の樹脂（（メタ）アクリル樹脂、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。重量平均分子量２１０００、酸価７７ｍｇＫＯＨ／ｇ）

Ｂ－１５：下記構造の樹脂（ポリイミン樹脂、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。重量平均分子量２１０００）

（溶剤）
Ｓ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｓ－２：プロピレングリコールモノメチルエーテル
Ｓ－３：シクロヘキサノン

＜樹脂組成物の製造＞
下記の原料を混合して樹脂組成物を調製した。下記表に記載の添加量の欄の数値の単位は質量部である。樹脂組成物の全固形分、樹脂組成物の全固形分中の顔料の比率、樹脂組成物の全固形分から顔料を除いた成分中における樹脂Ａの比率についても併せて記す。

上記表に記載の原料のうち略語で示した原料の詳細は以下の通りである。

（分散液）
分散液Ｒ１、Ｒ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、ＢＫ、ＩＲ：上述した分散液Ｒ１、Ｒ２、Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３、Ｂ４、ＢＫ、ＩＲ

（樹脂）
Ｂ－５：上述した樹脂Ｂ－５
Ｂ－７：下記構造の樹脂（ポリベンゾオキサゾール前駆体、重量平均分子量２１０００、固形分１００％）

Ｂ－８：下記構造の樹脂（ポリイミド前駆体、重量平均分子量２４０００、固形分１００％）

Ｂ－９：ポリエステル変性シリコーン樹脂（ＫＲ－５２３０：信越シリコーン社製、固形分６０％）
Ｂ－１０：下記構造の樹脂（エポキシ樹脂、ＴｅｃｈｍｏｒｅＶＧ３１０１Ｍ８０、プリンテック社製、固形分８０．１％）

Ｂ－１１：ビスマレイミド樹脂（ＨＲ３０７０：プリンテック社製、固形分１００％）
Ｂ－１２：下記構造の樹脂（エポキシ変性シリコーン樹脂、コンポセランＥ１０３Ｄ、荒川化学工業（株）製、固形分４９％）

Ｂ－１３：エポキシ樹脂（デナコールＥＸ－６１１、ナガセケムテックス（株）製）

なお、樹脂Ｂ－７～Ｂ－１２は、ガラス基板に塗布し、１００℃で１２０秒加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、上記膜の波長４００～１１００ｎｍの透過率の最小値が７０％以上であった。

（重合性化合物）
Ｃ－１：下記構造の化合物

（光重合開始剤）
Ｄ－１：下記構造の化合物

Ｄ－２：下記構造の化合物

（界面活性剤）
Ｅ－１：下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％の数値はモル％である、フッ素系界面活性剤）

（溶剤）
Ｓ－１：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
Ｓ－４：ガンマブチロラクトン
Ｓ－５：Ｎ－メチル－２－ピロリドン

＜評価＞
（ΔＡ）
樹脂組成物をガラス基板上にスピンコートで塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒乾燥（プリベーク）した後に、オーブンを用いて２００℃で３０分加熱（ポストベーク）して厚さ０．６０μｍの膜を製造した。膜厚はスピン塗布の回転数およびシーケンスにより厚さ０．６０μｍになるように適宜調整した。膜厚は、膜の一部を削ってガラス基板表面を露出し、ガラス基板表面と塗布膜の段差（塗布膜の膜厚）を触針式段差計（ＤｅｋｔａｋＸＴ、ＢＲＵＫＥＲ社製）を用いて測定した。なお、膜厚及び分光は温湿度を２２±５℃、６０±２０％に管理した実験室で、基板温度を室温（２２℃）にした状態で測定した。得られた膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定した。次いで、得られた膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理した。加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定した。下記式（１）より、加熱処理後の膜の吸光度の変化率ΔＡを求めた。
ΔＡ＝｜１００－（Ａ２／Ａ１）×１００｜ ・・・（１）
ΔＡは、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
Ａ１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
Ａ２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である。

（Δλ）
樹脂組成物をガラス基板上にスピンコートで塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒乾燥（プリベーク）した後に、オーブンを用いて２００℃で３０分加熱（ポストベーク）して厚さ０．６０μｍの膜を製造した。得られた膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定し、吸光度の最大値を示す波長λ１を測定した。次いで、得られた膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理した。加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定し、吸光度の最大値を示す波長λ２を測定した。
λ１とλ２の差の絶対値Δλを算出した。

（ΔＡｍａｘ）
樹脂組成物をガラス基板上にスピンコートで塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒乾燥（プリベーク）した後に、オーブンを用いて２００℃で３０分加熱（ポストベーク）して厚さ０．６０μｍの膜を製造した。得られた膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定した。次いで、得られた膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理した。加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度を測定した。加熱処理前後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲の吸光度スペクトルを用いて、加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の変化率の最大値ΔＡｍａｘを算出した。なお、吸光度の変化率は、下記式（２）から算出される値である。
ΔＡ_λ＝｜１００－（Ａ２_λ／Ａ１_λ）×１００｜ ・・・（２）
ΔＡ_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度の変化率であり、
Ａ１_λは、加熱処理前の膜の波長λにおける吸光度であり、
Ａ２_λは、加熱処理後の膜の波長λにおける吸光度である。

（クラック）
樹脂組成物をガラス基板上にスピンコートで塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒乾燥（プリベーク）した後に、オーブンを用いて２００℃で３０分加熱（ポストベーク）して厚さ０．６０μｍの膜を製造した。
次いで、得られた膜の表面に、スパッタ法によりＳｉＯ_２を２００ｎｍ積層して無機膜を形成した。この、無機膜が表面に形成された膜を、窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理した。加熱処理後の無機膜の表面を光学顕微鏡で観察し、クラックの有無を評価した。

実施例の樹脂組成物は、吸光度の変化率がいずれも５０％以下であった。このため、比較例１の樹脂組成物と比較して、膜を製造した後の工程のプロセスウインドウの拡大を図ることができた。また、実施例の樹脂組成物を用いた場合は、いずれもクラックの評価について、無機膜にクラックが生じなかった。

（実施例１００）フォトリソグラフィ法でのパターン形成
シリコンウエハ上に、実施例１０の樹脂組成物をガラス基板上にスピンコートで塗布し、ホットプレートを用いて１００℃で１２０秒乾燥（プリベーク）した後に、オーブンを用いて２００℃で３０分加熱（ポストベーク）して厚さ０．６０μｍの樹脂組成物層を形成した。
次いで、この樹脂組成物層に対して、一辺１．１μｍの正方ピクセルがそれぞれ基板上の４ｍｍ×３ｍｍの領域に配列されたマスクパターンを介して、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して波長３６５ｎｍの光を５００ｍＪ／ｃｍ²の露光量で照射して露光した。
次いで、露光後の樹脂組成物層が形成されているシリコンウエハを、スピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型、（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、現像液（ＣＤ－２０００、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）を用い、２３℃で６０秒間パドル現像した。次いで、シリコンウエハを回転数５０ｒ．ｐ．ｍ．で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥してパターン（画素）を形成した。

作製したレジストパターンの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で観察したところ、膜厚０．６μｍ、幅１．１μｍのピクセルが形成されていた。

Claims (12)

1. 色材と、樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、溶剤と、を含むカラーフィルタの画素形成用の樹脂組成物であって、
   前記色材は顔料を含み、
   前記顔料は、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２７２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １２２、Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、および、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６から選ばれる少なくとも１種の顔料Ａを含み、
   樹脂組成物の全固形分中における顔料の含有量は２０質量％以上であり、樹脂組成物に含まれる顔料全量中における前記顔料Ａの割合は、４０～１００質量％であり、
   前記樹脂は、シリコーン樹脂を含み、
   前記シリコーン樹脂は、エポキシ変性シリコーン樹脂およびポリエステル変性シリコーン樹脂から選ばれる少なくとも１種であり、
   樹脂組成物の全固形分から色材を除いた成分中に、前記シリコーン樹脂を４０質量％以上含み、
   樹脂組成物の全固形分中における前記色材と前記シリコーン樹脂との比率は、前記色材１００質量部に対して前記シリコーン樹脂が１０～５００質量部であり、
   前記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、前記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の下記式（１）で表される吸光度の変化率ΔＡが５０％以下である、樹脂組成物；
   ΔＡ＝｜１００－（Ａ２／Ａ１）×１００｜ ・・・（１）
   ΔＡは、加熱処理後の膜の吸光度の変化率であり、
   Ａ１は、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値であり、
   Ａ２は、加熱処理後の膜の吸光度であって、加熱処理前の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長での吸光度である。
2. 前記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、前記膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の最大値を示す波長λ１と、前記膜を窒素雰囲気下にて、３００℃で５時間加熱処理した後の膜の吸光度の最大値を示す波長λ２との差の絶対値が５０ｎｍ以下である、請求項１に記載の樹脂組成物。
3. 前記樹脂組成物を用いて、２００℃で３０分加熱して厚さ０．６０μｍの膜を形成した際に、前記膜を窒素雰囲気下にて３００℃で５時間加熱処理したとき、加熱処理後の膜の波長４００～１１００ｎｍの範囲における吸光度の変化率の最大値が３０％以下である、請求項１または２に記載の樹脂組成物。
4. 前記顔料Ａは、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２６４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：４、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６、および、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １６から選ばれる少なくとも１種である、請求項１～３のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
5. 前記樹脂組成物は、ガラス基板に塗布し１００℃で１２０秒加熱して膜厚０．６μｍの膜を形成した際に、前記膜は、波長４００～１１００ｎｍの透過率の最大値が７０％以上で、最小値が３０％以下である、請求項１～４のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
6. フォトリソグラフィ法でのパターン形成用である、請求項１～５のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
7. カラーフィルタの赤色又は青色の画素形成用である、請求項１～６のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
8. 固体撮像素子用である、請求項１～７のいずれか１項に記載の樹脂組成物。
9. 請求項１～８のいずれか１項に記載の樹脂組成物から得られる膜。
10. 請求項９に記載の膜を含むカラーフィルタ。
11. 請求項９に記載の膜を含む固体撮像素子。
12. 請求項９に記載の膜を含む画像表示装置。