JP6935688B2 - 液体吐出装置および液体吐出方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出装置および液体吐出方法に関する。

従来、例えば、特許文献１に記載の液体吐出装置は、液滴を吐出するノズルと、ノズルと連通する液室と、液室と連通する貫通孔と、貫通孔に挿通されるプランジャーとを備える。この液体吐出装置では、液室内に液体が供給された状態でプランジャーをノズルに向かって移動させることで、その慣性力によりノズルから液体が吐出される。

特開２０１３−２０８６１３号公報

特許文献１の液体吐出装置では、液滴吐出後のプランジャーの後退移動量が固定式のストッパーによって規制されており、吐出される液滴の量を吐出動作中に調整することは考慮されていなかった。このため、液体吐出装置において液体の吐出量を吐出動作中に調整可能な技術が望まれていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本発明の一形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルと、前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる制御部と、を備え、前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整する。このような形態の液体吐出装置であれば、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（２）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記液室に流入する前記液体の圧力を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整してもよい。このような液体吐出装置であれば、液室に流入する液体の圧力を調整することにより、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（３）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない時間を調整することにより、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、ノズル連通孔の周囲と移動体とが接触していない時間を調整することにより、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（４）本発明の他の形態によれば、液体吐出装置が提供される。この液体吐出装置は、液体を吐出するためのノズルと、前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、前記液室に前記液体を流入させる流入路と、前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる制御部と、を備え、前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整する。このような形態の液体吐出装置であれば、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（５）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記移動体が前記ノズルから離れる距離を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、移動体がノズルから離れる距離を調整することにより、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（６）上記形態の液体吐出装置において、前記制御部は、前記移動体が前記ノズルから離れる速度を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、移動体がノズルから離れる速度を調整することにより、吐出動作中に液体の吐出量を調整できる。

（７）上記形態の液体吐出装置において、複数の前記ノズルを有するとともに、それぞれの前記ノズルに対応する複数の前記移動体及び複数の前記アクチュエーターを有し、前記制御部は、前記ノズルごとに前記アクチュエーターを制御してもよい。このような形態の液体吐出装置であれば、ノズルごとに液体の吐出量を調整できる。

本発明は、上述した液体吐出装置としての形態以外にも、種々の形態で実現することが可能である。例えば、液体吐出装置によって実行される液体吐出方法や、液体吐出装置を制御するためのコンピュータープログラム、そのコンピュータープログラムが記録された一時的でない有形な記録媒体等の形態で実現することができる。

本発明の液体吐出装置の概略構成を示す説明図である。 ヘッド部の概略構成を示す説明図である。 吐出制御処理を示す説明図である。 第３実施形態の吐出制御処理を示す説明図である。 第４実施形態の吐出制御処理を示す説明図である。 第５実施形態のヘッド部の概略構成を示す説明図である。

Ａ．第１実施形態：
図１は、本発明の第１実施形態における液体吐出装置１００の概略構成を示す説明図である。液体吐出装置１００は、タンク１０と、加圧ポンプ２０と、流入路３０と、ヘッド部４０と、流出路５０と、液体貯留部６０と、負圧発生源７０と、制御部８０と、循環路９０と、を備える。

タンク１０には液体が収容されている。液体としては、例えば、所定の粘度を有するインクが収容される。所定の粘度としては、室温（２５℃）にて５０ｍＰａ・ｓ以上４０，０００ｍＰａ・ｓ以下が例示できる。タンク１０内の液体は加圧ポンプ２０により、流入路３０を通じてヘッド部４０に供給される。加圧ポンプ２０は、例えば、１０〜１００気圧の圧力を液体に付与する。ヘッド部４０に供給された液体は、ヘッド部４０により吐出される。ヘッド部４０の動作は、制御部８０により制御される。

ヘッド部４０によって吐出されなかった液体は、流出路５０を通じて液体貯留部６０に排出される。液体貯留部６０には、各種ポンプによって構成可能な負圧発生源７０が接続されている。負圧発生源７０は、液体貯留部６０内を負圧にすることにより、流出路５０を通じてヘッド部４０から液体を吸引する。加圧ポンプ２０および負圧発生源７０は、流入路３０と流出路５０とに差圧を発生させて流入路３０に液体を供給する機能を有するとともに、ヘッド部４０に流入する液体に一定の圧力を付与することにより、液室４２（図２）内の液体の圧力を調整する機能についても有する。なお、加圧ポンプ２０および負圧発生源７０のいずれか一方を省略して、加圧ポンプ２０または負圧発生源７０のいずれか単体で液室４２内の液体の圧力を調整してもよい。上記のように、本実施形態では、ヘッド部４０から吐出されなかった液体がヘッド部４０から流出路５０に排出されるので、ヘッド部４０内に液体内の沈降成分が堆積することを抑制することができる。

本実施形態では、液体貯留部６０とタンク１０とは、循環路９０によって接続されている。液体貯留部６０に貯留された液体は、循環路９０を通じてタンク１０に戻され、再び、加圧ポンプ２０によってヘッド部４０に供給される。循環路９０には、液体貯留部６０から液体を吸引するためのポンプが備えられていてもよい。なお、循環路９０を省略し、液体吐出装置１００を、液体を循環させない構成とすることも可能である。

図２は、ヘッド部４０の概略構成を示す説明図である。図２の下方は重力方向下向きであるものとする。ヘッド部４０は、ノズル４１と、液室４２と、アクチュエーター４３と、シール部材４８と、移動体４９とを備える。

液室４２は、液体が供給される部屋である。液室４２は、液体を外部に吐出するためのノズル４１に連通するノズル連通孔４４を有する。液室４２には、液室４２に液体を流入させる流路である流入路３０と、液室４２から液体を流出させる流路である流出路５０とが接続されている。本実施形態では、ノズル４１は円柱状の空間であり、液室４２は略円柱状の空間である。液室４２の下端部分は、下方にいくほど断面積が小さくなるテーパ形状となっている。本実施形態では、ノズル４１及び液室４２は、金属材料内に空間を形成することによって構成されている。

液室４２内には、ノズル４１に向かって往復運動することによりノズル４１から液体を吐出させる移動体４９が設けられている。本実施形態では、移動体４９は、略円柱状の金属部材であり、その先端が略半球状に形成されている。液室４２の上端部分には、液室４２から液体が漏洩することを抑制するための円環状のシール部材４８が、移動体４９の周囲に配置されている。

移動体４９の上端には、移動体４９を往復移動させるアクチュエーター４３が接続されている。本実施形態では、アクチュエーター４３として、ピエゾ素子を用いる。ピエゾ素子は、複数の圧電材料が積層された構成を有しており、各圧電材料へ電圧が印加されることによって、その積層方向の長さが変化する。ピエゾ素子が伸長して最も長くなった状態では、移動体４９が下方に移動し、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲である液室４２の一部と接触して、ノズル４１を閉塞する。一方、ピエゾ素子が伸長していない状態では、移動体４９が上方に移動し、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲から離間する。移動体４９が上方に移動すると、液室４２内の液体がノズル４１内に流れ込む。本実施形態では、移動体４９が移動する距離、つまり、アクチュエーター４３が伸長する長さは、例えば、５０〜１００μｍである。

制御部８０（図１）は、ＣＰＵやメモリーを備えたコンピューターとして構成されており、メモリーに記憶された制御プログラムを実行することにより、種々の処理を実現する。例えば、制御部８０は、アクチュエーター４３を制御して、ノズル連通孔４４の周囲と移動体４９とを接触させることによりノズル４１から液体を吐出させる吐出制御処理を実現する。なお、制御プログラムは、一時的でない有形な種々の記録媒体に記録されていてもよい。

図３は、吐出制御処理を示す説明図である。図３には、液体を一滴吐出する際の吐出制御処理が示されている。このため、液体を連続的に吐出する場合には、制御部８０により一滴ずつの吐出量が調整されながら、吐出制御処理が連続して繰り返し行われる。図３において、上側には一滴の吐出量が小さい場合を示しており、下側には一滴の吐出量が大きい場合を示している。

図３に示すように、まず、移動体４９が上方に移動する直前のタイミングＴａ０では、制御部８０がアクチュエーター４３を制御することにより、移動体４９が下方に移動している。このため、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触することにより、ノズル４１を閉塞させている。なお、タイミングＴａ０において、ノズル４１は液体で満たされている。

次に、制御部８０がアクチュエーター４３を制御することにより、移動体４９が上方に移動する。このため、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない状態となるとともに、移動体４９が上昇した体積分の負圧がノズル４１に生じ、ノズル４１内の液体が液室４２に一旦、引き上げられる。移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない状態では、加圧ポンプ２０から流入路３０内の液体に加えられた圧力により、流入路３０内の液体が液室４２内に供給される。なお、タイミングＴａ１は、移動体４９が上方に移動し終わった直後のタイミングを示す。

本実施形態では、制御部８０は、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない時間を調整することにより、流入路３０から液室４２に流入する液体の量を調整し、ノズル４１から吐出される液体の量を調整する。ノズル４１から吐出される液体の一滴の吐出量が小さい場合と一滴の吐出量が大きい場合とでは、制御部８０が、アクチュエーター４３を制御することによって、移動体４９を下方へ移動させ始めるタイミングＴａ２が異なる。

図３の紙面上側に示すように、一滴の吐出量を小さくする場合、制御部８０は、タイミングＴａ０からタイミングＴａ２までの時間を短くする。このようにすることにより、タイミングＴａ０から、移動体４９がノズル連通孔４４の周囲と接触するタイミングＴａ３までの時間、つまり、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない時間が短くなる。この結果として、流入路３０から液室４２に流入する液体の量が小さくなり、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が小さくなる。

一方、図３の紙面下側に示すように、一滴の吐出量を大きくする場合、制御部８０は、一滴の吐出量を小さくする場合よりも、タイミングＴａ０からタイミングＴａ２までの時間を短くする。このようにすることにより、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない時間が長くなる。この結果として、流入路３０から液室４２に流入する液体の量が大きくなり、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が大きくなる。

上述したように、本実施形態の液体吐出装置１００によれば、ノズル連通孔４４の周囲と移動体４９とが接触していない状態において、流入路３０から液室４２に流入する液体の量を調整することにより、ノズル４１から吐出される液体の量を調整することが可能となる。このため、液体吐出装置１００において液体の吐出量を吐出動作中に調整することが可能となる。この結果として、液体吐出装置１００によれば、吐出動作中において、段階的に吐出量を変更することや、各吐出量を微調整することや、一滴一滴の吐出量を調整することが可能となる。

Ｂ．第２実施形態：
第２実施形態は、第１実施形態と比較して、流入路３０から液室４２に流入する液体の量を調整する方法が異なる。第２実施形態では、制御部８０は、液室４２に流入する液体の圧力を調整することにより、流入路３０から液室４２に流入する液体の量を調整する。

第２実施形態では、図３の紙面上側に示すように、一滴の吐出量を小さくする場合、制御部８０は、タイミングＴａ０からタイミングＴａ３までの状態、つまり、移動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない状態において、液室４２に流入する液体の圧力を小さくする。具体的には、制御部８０は、加圧ポンプ２０を制御することにより、液室４２に流入する液体の圧力を小さくする。この結果として、流入路３０から液室４２に流入する液体の量が小さくなり、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が小さくなる。

一方、図３の紙面下側に示すように、一滴の吐出量を大きくする場合、制御部８０は、動体４９の先端部分がノズル連通孔４４の周囲と接触していない状態において、一滴の吐出量を小さくする場合よりも、液室４２に流入する液体の圧力を大きくする。具体的には、制御部８０は、加圧ポンプ２０を制御することにより、液室４２に流入する液体の圧力を大きくする。この結果として、流入路３０から液室４２に流入する液体の量が大きくなり、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が大きくなる。

上述したように、第２実施形態によれば、液室４２に流入する液体の圧力を調整することにより、液体の吐出量を吐出動作中に調整することが可能となる。

Ｃ．第３実施形態：
第３実施形態は、第１実施形態と比較して、ノズル４１から吐出される液体の量を調整する方法が異なる。ここで、第１実施形態及び第２実施形態では、制御部８０は、流入路３０から液室４２に流入する液体の量を調整することにより、ノズル４１から吐出される液体の量を調整している。一方、第３実施形態及び後述の第４実施形態では、制御部８０は、ノズル連通孔４４の周囲から移動体４９を引き上げることに伴って、ノズル４１から液室４２内に流入する気体量を調整することにより、ノズル４１から吐出される液体の量を調整する。

第３実施形態では、制御部８０は、アクチュエーター４３を制御することによって、移動体４９がノズル４１から離れる距離を調整することにより、液室４２内に流入する気体量を調整する。

図４は、第３実施形態の吐出制御処理を示す説明図である。図４の紙面上側に示すように、一滴の吐出量を小さくする場合、制御部８０は、アクチュエーター４３を制御することによって、タイミングＴａ１において、移動体４９がノズル４１から離れる距離を大きくする。これにより、液室４２内に流入する気体量が大きくなる。この結果として、移動体４９を下方へ移動させ始めるタイミングＴａ２において、液室４２内に流入している気体量が大きくなっているため、タイミングＴａ３において、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が小さくなる。

一方、図４の紙面下側に示すように、一滴の吐出量を大きくする場合、制御部８０は、タイミングＴａ１において、一滴の吐出量を小さくする場合よりも、移動体４９がノズル４１から離れる距離を小さくする。これにより、液室４２内に流入する気体量が小さくなる。この結果として、タイミングＴａ２において、液室４２内に流入する気体量が小さくなっているため、タイミングＴａ３において、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が大きくなる。

上述したように、第３実施形態によれば、ノズル連通孔４４の周囲から移動体４９を引き上げることに伴って、ノズル４１から液室４２内に流入する気体量を調整することにより、ノズル４１から吐出される液体の量を調整する。このため、液体吐出装置１００において液体の吐出量を吐出動作中に調整することが可能となる。

Ｄ．第４実施形態：
第４実施形態は、第３実施形態と比較して、ノズル連通孔４４の周囲から移動体４９を引き上げることに伴って、ノズル４１から液室４２内に流入する気体量を調整する方法が異なる。第４実施形態では、制御部８０は、移動体４９がノズル４１から離れる速度を調整することにより、液室４２内に流入する気体量を調整する。

図５は、第４実施形態の吐出制御処理を示す説明図である。図５の紙面上側に示すように、一滴の吐出量を小さくする場合、制御部８０は、移動体４９がノズル４１から離れる速度を速くする。つまり、移動体４９が上方に移動する直前のタイミングＴａ０から、移動体４９が最も上方に移動し終わった直後のタイミングＴａ１までの時間を短くする。これにより、ノズル４１に生じる負圧が大きくなり、液室４２内に流入する気体量が大きくなる。このため、移動体４９を下方へ移動させ始めるタイミングＴａ２において、液室４２内に流入している気体量が大きくなり、タイミングＴａ３において、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が小さくなる。

一方、図５の紙面下側に示すように、一滴の吐出量を大きくする場合、制御部８０は、一滴の吐出量を小さくする場合よりも、移動体４９がノズル４１から離れる速度を遅くする。つまり、タイミングＴａ０からタイミングＴａ１までの時間を長くする。これにより、ノズル４１に生じる負圧が小さくなり、液室４２内に流入する気体量が小さくなる。このため、タイミングＴａ２において、液室４２内に流入している気体量が小さくなり、タイミングＴａ３において、ノズル４１から吐出される液体の吐出量が大きくなる。

上述したように、第４実施形態によれば、移動体４９がノズル４１から離れる速度を調整することにより、ノズル連通孔４４の周囲から移動体４９を引き上げることに伴って、ノズル４１から液室４２内に流入する気体量を調整できる。このため、ノズル４１から吐出される液体の量を調整することが可能となり、液体吐出装置１００において液体の吐出量を吐出動作中に調整することが可能となる。

Ｅ．第５実施形態：
図６は、第５実施形態のヘッド部４０Ａの概略構成を示す説明図である。第５実施形態は、第１実施形態と比較して、ヘッド部４０Ａの構成が異なるが、それ以外は同じである。第５実施形態は、複数のノズル４１ａ，４１ｂ，４１ｃを有するとともに、それぞれのノズル４１ａ〜４１ｃに対応する複数の移動体４９ａ，４９ｂ，４９ｃ及びアクチュエーター４３ａ，４３ｂ，４３ｃを有する。また、第５実施形態では、制御部８０は、ノズル４１ａ〜４１ｃごとに各アクチュエーター４３ａ〜４３ｃを制御する。

このようにすることにより、第５実施形態によれば、ノズル４１ａ〜４１ｃごとに液体の吐出量を調整できる。なお、制御部８０は、アクチュエーター４３ａ〜４３ｃを一括制御してもよい。また、第５実施形態は、流路４５，４６を介して、液室４２ａ，４２ｂ，４２ｃが並列する態様であるが、これに限られず、各液室４２ａ，４２ｂ，４２ｃが流入路３０及び流出路５０と直接つながる態様としてもよい。

Ｆ．その他の実施形態：
＜他の実施形態１＞
上記第２実施形態では、加圧ポンプ２０により液体の圧力を調整するが、これに限られず、負圧発生源７０により液体の圧力を調整してもよく、加圧ポンプ２０と負圧発生源７０により液体の圧力を調整してもよい。

＜他の実施形態２＞
上記第１実施形態から第４実施形態では、異なる方法によりノズル４１から吐出される液体の量を調整するが、これに限られず、上述の各方法を組み合わせた方法によりノズル４１から吐出される液体の量を調整してもよい。例えば、第１実施形態に記載された方法と第３実施形態に記載された方法とを組み合わせた方法により、ノズルから吐出される液体の量を調整してもよい。

＜他の実施形態３＞
本発明は、インクを吐出する液体吐出装置に限らず、インク以外の他の液体を吐出する任意の液体吐出装置にも適用することができる。例えば、以下のような各種の液体吐出装置に本発明は適用可能である。
（１）ファクシミリ装置等の画像記録装置。
（２）液晶ディスプレイ等の画像表示装置用のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出装置。
（３）有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）ディスプレイや、面発光ディスプレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＦＥＤ）等の電極形成に用いられる電極材吐出装置。
（４）バイオチップ製造に用いられる生体有機物を含む液体を吐出する液体吐出装置。
（５）精密ピペットとしての試料吐出装置。
（６）潤滑油の吐出装置。
（７）樹脂液の吐出装置。
（８）時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を吐出する液体吐出装置。
（９）光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂液等の透明樹脂液を基板上に吐出する液体吐出装置。
（１０）基板などをエッチングするために酸性又はアルカリ性のエッチング液を吐出する液体吐出装置。
（１１）他の任意の微小量の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置。

なお、「液滴」とは、液体吐出装置から吐出される液体の状態をいい、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう「液体」とは、液体吐出装置が消費できるような材料であればよい。例えば、「液体」は、物質が液相であるときの状態の材料であれば良く、粘性の高い又は低い液状態の材料、及び、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような液状態の材料も「液体」に含まれる。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散または混合されたものなども「液体」に含まれる。液体の代表的な例としてはインクや液晶等が挙げられる。ここで、インクとは一般的な水性インクおよび油性インク並びにジェルインク、ホットメルトインク等の各種の液体状組成物を包含するものとする。

本発明は、上述の実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。

１０…タンク、２０…加圧ポンプ、３０…流入路、４０，４０Ａ…ヘッド部、４１，４１ａ，４１ｂ，４１ｃ…ノズル、４２，４２ａ，４２ｂ，４２ｃ…液室、４３，４３ａ，４３ｂ，４３ｃ…アクチュエーター、４４…ノズル連通孔、４５…流路、４８…シール部材、４９，４９ａ，４９ｂ，４９ｃ…移動体、５０…流出路、６０…液体貯留部、７０…負圧発生源、８０…制御部、９０…循環路、１００…液体吐出装置

Claims (9)

1. 液体吐出装置であって、
   液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整し、
   前記制御部は、前記液室に流入する前記液体の圧力を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整する、液体吐出装置。
2. 液体吐出装置であって、
   液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整し、
   前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない時間を調整することにより、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整する、液体吐出装置。
3. 液体吐出装置であって、
   液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整する、液体吐出装置。
4. 請求項３に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記移動体が前記ノズルから離れる距離を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整する、液体吐出装置。
5. 請求項３または請求項４に記載の液体吐出装置であって、
   前記制御部は、前記移動体が前記ノズルから離れる速度を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整する、液体吐出装置。
6. 請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出装置であって、
   複数の前記ノズルを有するとともに、それぞれの前記ノズルに対応する複数の前記移動体及び複数の前記アクチュエーターを有し、前記制御部は、前記ノズルごとに前記アクチュエーターを制御する、液体吐出装置。
7. 液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、を備え、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる液体吐出装置によって実行される液体吐出方法であって、
   前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整し、
   前記液室に流入する前記液体の圧力を調整することにより、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整する、液体吐出方法。
8. 液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、を備え、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる液体吐出装置によって実行される液体吐出方法であって、
   前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない状態において、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整し、
   前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とが接触していない時間を調整することにより、前記流入路から前記液室に流入する前記液体の量を調整する、液体吐出方法。
9. 液体を吐出するためのノズルと、
   前記ノズルに連通するノズル連通孔を有する液室と、
   前記液室に前記液体を流入させる流入路と、
   前記液室内で前記ノズルに向かって往復移動することにより前記ノズルから前記液体を吐出させる移動体と、
   前記移動体を往復運動させるアクチュエーターと、を備え、
   前記アクチュエーターを制御して、前記ノズル連通孔の周囲と前記移動体とを接触させることにより前記ノズルから前記液体を吐出させる液体吐出装置によって実行される液体吐出方法であって、
   前記ノズル連通孔の周囲から前記移動体を引き上げることに伴って、前記ノズルから前記液室内に流入する気体量を調整することにより、前記ノズルから吐出される前記液体の量を調整する、液体吐出方法。

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